KR101281465B1 - 웨이퍼 트레이 클램핑 장치 - Google Patents

웨이퍼 트레이 클램핑 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 트레이 클램핑 장치는, 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 웨이퍼가 한 장씩 인출되어 순차적으로 이송 배열되는 웨이퍼 가이드 레일과 직교상태로 좌우 양측에 설치되는 가이드레일을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판이 구비된 사각의 베이스프레임과; 상기 베이스프레임의 전,후 양단에 설치되며, 모터와 벨트 연결되는 구동풀리와 종동풀리를 컨베이어벨트로 연결하여 상기 모터 회전에 의한 컨베이어벨트의 이송작용을 통해 트레이를 이송시키는 벨트전동수단과; 상기 베이스프레임의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 실린더에 의한 스토퍼의 상승작용을 통해 정지시키는 트레이스토퍼수단과; 상기 베이스프레임의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되어 트레이스토퍼수단에 의해 정지된 트레이의 일측면을 실린더의 푸싱작용을 통해 고정하여 1차 게이징하는 트레이측면푸셔수단과; 상기 베이스프레임의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단과 트레이측면푸셔수단을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이의 후면을 실린더의 푸싱작용을 통해 고정하여 2차 게이징하는 트레이후면푸셔수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명에 의하면, 캠팔로우를 이용해 트레이의 전,후,좌,우 4면에 대한 게이징을 통해 고정하였던 종래 방식에 비해 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하여 상기 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키거나 인출하는 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading) 시 위치 제어를 보다 간편하고 빠르게 실행할 수 있으며, 더욱이 종래와 같이 작업자가 일일이 트레이의 위치를 조정해야 하는 등의 번거롭고 불편한 문제점을 방지함은 물론, 상기 트레이의 정위치 고정에 따른 작업공정 및 작업시간 역시 단축시켜 이를 통한 제품의 생산성 및 경제성을 크게 향상시킬 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.

Description

웨이퍼 트레이 클램핑 장치{The device for clamping to wafer tray}
본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 웨이퍼의 일면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposion System)에 초기 웨이퍼를 공급하거나 증착된 웨이퍼를 배출시키기 위한 웨이퍼 로드/언로드 시스템(Wafer Load/Unload System) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 가이드 레일과 직교상태로 설치되는 가이드레일을 따라 직선왕복운동하는 웨이퍼 픽커장치가 진공 취부하여 트레이 측에 이송 공급시키거나 또는 상기 트레이로부터 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터에 의해 상승되어 모터 구동에 의한 컨베이어벨트의 이송작용을 통해 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 트레이를 정위치에 지지 고정하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대하여, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 베이스프레임의 전면, 측면, 후면에 각각 설치된 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단에 의해 상기 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 빈 트레이를 정위치에 정지 및 1,2차 게이징(gauging)시키도록 구성함으로써, 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 위치를 조정하여 상기 트레이의 전,후,좌,우 4면을 게이징하였던 종래 방식에 비해 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하여 상기 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키거나 인출하는 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading) 시 위치 제어를 보다 간편하고 빠르게 실행할 수 있도록 한 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.
이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.
한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 상기 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계)→ 솔라 셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라 셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.
그리고, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라 셀 웨이퍼의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키기 위하여 기상증착법(Vapor Deposion) 중 그 일종인 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 솔라 셀 웨이퍼의 사용면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 장치인 PECVD 시스템이 주로 사용되며, 여기에 초기 웨이퍼를 공급하거나 또는 증착물질이 증착된 웨이퍼를 배출시키기 위한 장치로서 웨이퍼 로드/언로드 시스템(Wafer Load/Unload System; 도 1 참조)이 사용된다.
이러한 상기 웨이퍼 로드/언로드 시스템에는 웨이퍼 워킹 빔 유닛을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 가이드 레일과 직교상태로 설치되는 가이드레일을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임의 하단에 웨이퍼 픽커가 일렬로 배열 설치된 웨이퍼 픽커장치를 통해 진공흡입작용으로 취부하여 PECVD 시스템에 공급하기 위한 트레이 측으로 이송시켜 공급 안착시키거나 또는 상기 PECVD 시스템으로부터 배출된 트레이 내의 증착 웨이퍼를 상기 트레이로부터 픽업 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터에 의해 상승되어 모터 구동에 의한 컨베이어벨트의 이송작용을 통해 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 트레이를 정위치에 지지 고정하는데 사용되는 트레이 클램핑 작업이 수반되는데, 상기한 트레이 클램핑 작업의 경우 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 목적한 위치에 맞게 조정하여 게이징을 통해 상기 트레이를 고정하였을 뿐, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 베이스프레임의 전면, 측면, 후면에 각각 설치된 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단에 의해 상기 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 빈 트레이를 정위치에 정지 및 1,2차 게이징(gauging)시키는 등 3면 게이징 방식의 구조로 이루어진 웨이퍼 트레이 클램핑 장치(도 2 참조)가 전무하기 때문에 트레이를 정위치에 지지 고정된 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 상기 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 상기 트레이를 정위치에 지지 고정시키기 위하여 작업자가 수동으로 트레이의 전,후,좌,우로 이동시키는 등 상기 트레이의 4면을 게이징하기 위한 준비과정 및 트레이의 위치결정과정이 매우 번거롭고 불편하며, 상기와 같이 트레이의 게이징 준비과정과 위치결정과정이 번거롭고 불편함에 따라 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키는 로딩(Loading) 시나 또는 상기 트레이로부터 웨이퍼를 인출 픽업하는 언로딩(Unloading) 시 상기 트레이의 위치를 제어하는데 시간이 오래 걸릴 수밖에 없는 등의 문제점이 있었다.
또한, 종래 트레이 클램핑 작업의 경우 전술한 바와 같이 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 목적한 위치에 맞게 조정하여 게이징을 통해 상기 트레이를 고정하기 때문에 이와 같이 상기 트레이를 정위치에 지지 고정시키는데 대한 작업공정 및 작업시간이 증가됨과 아울러, 이를 통한 제품의 생산성 및 경제성 역시 크게 낮아질 수밖에 없는 등의 문제점도 있었다.
상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대하여, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 베이스프레임의 전면, 측면, 후면에 각각 설치된 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단에 의해 상기 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 빈 트레이를 정위치에 정지 및 1,2차 게이징시키도록 구성함에 따라 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 위치를 조정하여 상기 트레이의 전,후,좌,우 4면을 게이징하였던 종래 방식에 비해 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하여 상기 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키거나 인출하는 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading) 시 위치 제어를 보다 간편하고 빠르게 실행할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 경우 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하도록 구성됨에 따라 종래와 같이 캠팔로우를 이용해 트레이의 전,후,좌,우 4면을 게이징하여 상기 트레이를 정위치에 지지 고정시키는데 대한 작업공정 및 작업시간을 단축시켜 이를 통한 제품의 생산성 및 경제성을 크게 향상시킬 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.
상기한 목적을 해결하기 위한 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치는, 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 웨이퍼가 한 장씩 인출되어 순차적으로 이송 배열되는 웨이퍼 가이드 레일과 직교상태로 좌우 양측에 설치되는 가이드레일을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판이 구비된 사각의 베이스프레임과; 상기 베이스프레임의 전,후 양단에 설치되며, 모터와 벨트 연결되는 구동풀리와 종동풀리를 컨베이어벨트로 연결하여 상기 모터 회전에 의한 컨베이어벨트의 이송작용을 통해 트레이를 이송시키는 벨트전동수단과; 상기 베이스프레임의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 실린더에 의한 스토퍼의 상승작용을 통해 정지시키는 트레이스토퍼수단과; 상기 베이스프레임의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되어 트레이스토퍼수단에 의해 정지된 트레이의 일측면을 실린더의 푸싱작용을 통해 고정하여 1차 게이징하는 트레이측면푸셔수단과; 상기 베이스프레임의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단과 트레이측면푸셔수단을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이의 후면을 실린더의 푸싱작용을 통해 고정하여 2차 게이징하는 트레이후면푸셔수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.
이러한 본 발명에 의하면, 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 위치를 조정하여 상기 트레이의 전,후,좌,우 4면을 게이징하였던 종래 방식에 비해 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하여 상기 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키거나 인출하는 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading) 시 위치 제어를 보다 간편하고 빠르게 실행할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.
또한, 상기와 같이 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하도록 웨이퍼 트레이 클램핑 장치를 구성함에 따라 종래와 같이 작업자가 일일이 트레이의 위치를 조정해야 하는 등의 번거롭고 불편한 문제점을 방지함은 물론, 상기 트레이의 정위치 고정에 따른 작업공정 및 작업시간 역시 단축시켜 이를 통한 제품의 생산성 및 경제성을 크게 향상시킬 수 있는 등의 효과도 있다.
도 1은 본 발명이 적용된 웨이퍼 로드/언로드 시스템을 개략적으로 나타낸 구성도.
도 2는 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대한 사시도 및 세부 상세도.
도 3은 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대한 정면도 및 측면도.
도 4는 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대한 저면도.
도 5는 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대한 또 다른 실시예도.
도 6은 도 5에 도시된 또 다른 웨이퍼 트레이 클램핑 장치 중 트레이스토퍼수단 및 트레이후면푸셔수단의 스토퍼 및 후면푸싱바와 트레이 전,후면에 대한 세부 상세도.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 대한 웨이퍼 트레이 클램핑 장치의 작동과정을 나타낸 상태도.
본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치(이하, 트레이 클램핑 장치라 함)를 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 트레이 클램핑 장치에 대한 사시도 및 세부 상세도를 나타낸 것이고, 도 3은 본 발명의 트레이 클램핑 장치에 대한 정면도 및 측면도를 나타낸 것이며, 도 4는 본 발명의 트레이 클램핑 장치에 대한 저면도를 나타낸 것이다.
먼저, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)를 상세히 설명하기에 앞서, 상기 트레이 클램핑 장치(40)가 적용된 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1)에 대하여 간략히 설명하면 다음과 같다.
이에 대한 상기 로드/언로드 시스템(Wafer Load/Unload System)(1)은, 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 웨이퍼의 일면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposion System)(미도시)에 초기 웨이퍼(W)를 공급하거나 증착된 웨이퍼(W)를 배출시키기 위한 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이 증착물질이 증착되지 않은 초기 웨이퍼(W)가 적층된 웨이퍼 매거진(미도시)을 공급하는 웨이퍼 로더(10)와; 상기 웨이퍼 로더(10)로부터 공급된 웨이퍼 매거진 내에 적층된 초기 웨이퍼(W)를 한 장씩 꺼내 후방에 이웃하게 설치된 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열시키는 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)과; 상기 웨이퍼 가이드 레일(15)과 직교상태로 설치되는 가이드레일(25)을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임(31)의 하단에 일렬로 배열 설치된 웨이퍼 픽커(32)를 통해 상기 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 진공흡입작용으로 취부하여 PECVD 시스템에 공급하기 위한 트레이(T) 측으로 이송 안착시키는 웨이퍼 픽커 유닛(30)과; 상기 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 트레이(T)를 정위치에 지지 고정하는 트레이 클램핑 유닛(40)과; 상기 PECVD 시스템으로부터 증착물질이 증착되어 트레이(T)에 수용된 상태로 배출된 증착 웨이퍼(W)가 웨이퍼 픽커 유닛(30)에 의해 웨이퍼 컨베이어벨트(70)에 순차적으로 안착되어 상기 웨이퍼 컨베이어벨트(70)의 이송작용을 통해 빈 매거진 내에 적층되어진 최종 웨이퍼 매거진을 외부로 배출하는 웨이퍼 언로더(75)로 구성되어 있다.
여기서, 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)과 웨이퍼 픽커 유닛(30)의 경우 본 출원인이 선출하여 공개 및 등록된 "솔라 셀 웨이퍼 워킹 빔 장치(특허공개번호 10-2011-0019826호)" 및 "솔라 셀 웨이퍼 픽커장치(특허등록번호 제1045029호)" 와 각각 동일 구조로 이루어져 있기 때문에 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 하고, 상기 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)과 웨이퍼 픽커 유닛(30)에 대한 상세한 설명은 상기 "솔라 셀 웨이퍼 워킹 빔 장치" 와 상기 "솔라 셀 웨이퍼 픽커장치" 로서 대신하며, 이하에서는 본 발명의 트레이 클램핑 유닛(40) 즉, 트레이 클램핑 장치(40)에 대해 상세히 설명하기로 한다.
이에 대한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)는, 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 가이드 레일(15)과 직교상태로 설치되는 가이드레일(25)을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임(31)의 하단에 웨이퍼 픽커(32)가 일렬로 배열 설치된 웨이퍼 픽커 유닛(30) 즉, 웨이퍼 픽커장치(30)를 통해 취부하여 상기 PECVD 시스템에 공급하기 위한 트레이(T) 측에 이송 공급시키거나 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 트레이(T)를 정위치에 지지 고정하는 장치적 요소로서, 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 웨이퍼 픽커 유닛(30) 중 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판(45)이 구비된 사각의 베이스프레임(41)과; 상기 베이스프레임(41)의 전,후 양단에 설치되며, 모터(42)와 벨트 연결되는 구동풀리(43a)와 종동풀리(43b)를 컨베이어벨트(44)로 연결하여 상기 모터(42) 회전에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 트레이(T)를 이송시키는 벨트전동수단과; 상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 실린더(53)에 의한 스토퍼(55)의 상승작용을 통해 정지시키는 트레이스토퍼수단(50)과; 상기 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되어 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 실린더(58)에 의한 측면푸싱바(60)의 푸싱작용을 통해 고정하여 1차 게이징하는 트레이측면푸셔수단(57)과; 상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면을 실린더(66)에 의한 후면푸싱바(67)의 푸싱작용을 통해 고정하여 2차 게이징하는 트레이후면푸셔수단(61)으로 구성되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 상기 베이스프레임(41)의 하단 좌우 양측에는 정사각바 형태로 형성됨과 동시에 양단에 "L"자 형태의 지지브라켓(47a)이 볼트 고정된 실린더고정프레임(47)이 설치 고정되어 있고, 상기 트레이 지지판(45)의 하단 양측에는 실린더고정프레임(47)의 각 일측면 중앙에 설치 고정된 상태로 트레이 지지판(45)의 하단에 지지판승강실린더(48)가 설치 고정되어 상기 웨이퍼 픽커장치(30)를 통해 진공 취부되어 공급되는 웨이퍼(W)를 트레이(T)에 안착시키거나 또는 상기 PECVD 시스템을 통해 일면에 증착물질이 증착되어 트레이(T)에 안착된 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 픽커장치(30)가 다시 진공 취부 시 베이스프레임(41)으로부터 트레이 지지판(45)을 상승시키며, 이와 반대로 상기 트레이(T)의 이송 시 즉, 빈 트레이(T)가 베이스프레임(41) 측으로 이송 위치되거나 또는 웨이퍼(W)가 장착된 트레이(T)가 베이스프레임(41)으로부터 이송 배출되는 상태에서는 지지판승강실린더(48)의 길이단축 작용을 통해 트레이 지지판(45)을 하강시켜 트레이(T)의 이송작용이 원활하게 이루어진다.
또한, 상기 트레이 지지판(45)에는 PECVD 시스템으로부터 트레이(T)에 수용된 상태로 배출되는 증착된 웨이퍼(W)로부터 방출되는 열을 외부로 방열시키기 위한 다수의 방열홀(45a)이 관통 형성되어 있고, 상기 트레이 지지판(45)의 상단에는 웨이퍼 픽커(32)를 통해 트레이(T) 내에 안착된 웨이퍼(W)를 진공 취부하는 과정에서 상기 웨이퍼 픽커(32)의 바닥면이 수평을 유지한 상태로 웨이퍼(W)를 취부할 수 있도록 하기 위한 수평유지돌기(46)가 웨이퍼(W) 크기 및 형상에 맞게 등간격으로 돌출 형성되어 있다.
이와 더불어, 상기 베이스프레임(41)의 좌우 양측면에는 벨트전동수단에 의한 트레이(T)의 이송과정에서 보다 원활하게 목적한 위치인 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되도록 안내하는 가이드롤러(49)가 등간격으로 설치 고정되어 있다.
그리고, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 상기 트레이스토퍼수단(50)의 경우 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 사각평판 형태의 브라켓(52)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 스토퍼수평실린더(51)와; "ㄱ"자 형태의 브라켓(54)에 고정된 상태로 상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a)에 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 정지시키기 위해 상기 트레이(T)의 높이에 맞게 스토퍼(55)를 상승시키는 스토퍼수직실린더(53)와; 상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정되며, 상기 로드(53a)의 길이신장을 통해 상승되어 트레이(T)를 목적한 위치에 정지시키는 스토퍼(55)로 구성되어 있다.
여기서, 상기 스토퍼(55)의 경우 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 직접 볼트 고정되거나 또는 연결블럭을 통해 볼트 고정될 수 있으며, 상기 스토퍼(55)의 전면(前面)에는 트레이(T)의 높이에 맞게 단턱부(56)가 형성되어 벨트전동수단을 통해 이송된 트레이(T)의 전면(前面)이 상기 단턱부(56)에 결착 지지된 상태로 목적한 위치에 정지되게 된다.
또한, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 상기 트레이측면푸셔수단(57)의 경우 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 "L"자 형태의 브라켓(59)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 로드(58a)의 길이신장을 통해 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 푸싱하는 트레이측면실린더(58)와; 상기 트레이측면실린더(58)의 로드(58a)에 고정되며, 상기 로드(58a)의 길이신장을 통해 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 수평으로 푸싱 고정하여 1차 게이징하는 측면푸싱바(60)로 구성되어 있다.
마지막으로, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 상기 트레이후면푸셔수단(61)의 경우 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 사각평판 형태의 브라켓(63)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 트레이수평실린더(62)와; "ㄱ"자 형태의 브라켓(65)에 고정된 상태로 상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a) 일측에 고정되며, 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 높이에 맞게 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 상승시키는 트레이수직실린더(64)와; 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정되며, 상기 트레이수직실린더(64)를 통해 트레이(T)의 높이에 맞게 상승된 후면푸싱바(67)를 수평으로 이송시키는 푸싱실린더(66)와; 상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정되며, 상기 로드(66a)의 길이신장을 통해 수평 이송되어 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하여 2차 게이징하는 후면푸싱바(67)로 구성되어 있다.
도 5는 본 발명의 트레이 클램핑 장치에 대한 또 다른 실시예를 나타낸 것이고, 도 6은 도 5에 도시된 또 다른 트레이 클램핑 장치 중 트레이스토퍼수단(50) 및 트레이후면푸셔수단의 스토퍼(55) 및 후면푸싱바(67)와 트레이 전,후면에 대한 세부 상세도를 나타낸 것이다.
한편, 본 발명에 대한 또 다른 실시예의 트레이 클램핑 장치(40a)는, 전술한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 트레이측면푸셔수단(57) 대신에 트레이스토퍼수단(50) 및 트레이후면푸셔수단(61)의 스토퍼(55) 전면(前面)과 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에는 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)와 초기위치 결정된 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)를 각각 구비하고, 이와 대응되는 트레이(T)의 전,후면에는 상기 위치결정돌기(56a) 및 위치고정돌기(67a)와 각각 대응 결합되기 위한 위치결정홈(Ta)과 위치고정홈(Tb)을 구비하며, 그 나머지 구성인 베이스프레임(41), 벨트전동수단, 트레이스토퍼수단(50a) 및 트레이후면푸셔수단(61a)은 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)의 베이스프레임(41), 벨트전동수단, 트레이스토퍼수단(50) 및 트레이후면푸셔수단(61)과 동일구조 즉, 도 5에 도시한 바와 같이 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판(45)이 구비된 사각의 베이스프레임(41)과; 상기 베이스프레임(41)의 전,후 양단에 설치되며, 모터(42)와 벨트 연결되는 구동풀리(43a)와 종동풀리(43b)를 컨베이어벨트(44)로 연결하여 상기 모터(42) 회전에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 트레이(T)를 이송시키는 벨트전동수단과; 상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 실린더(53)에 의한 스토퍼(55)의 상승작용을 통해 정지시킴과 아울러, 상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)가 구비된 트레이스토퍼수단(50a)과; 상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 후면을 실린더(66)에 의한 후면푸싱바(67)의 푸싱작용을 통해 고정하여 게이징함과 아울러, 상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 초기위치 결정된 트레이(T)의 후면에 결착시켜 상기 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)가 구비된 트레이후면푸셔수단(61a)으로 구성되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 또 다른 실시예인 트레이 클램핑 장치(40a) 중 상기 베이스프레임(41) 및 벨트전동수단의 경우 전술한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 베이스프레임(41) 및 벨트전동수단과 동일구조로 이루어짐에 따라 이에 따른 상세한 설명은 생략하고, 본 발명에 대한 트레이 클램핑 장치(40)의 베이스프레임(41)과 벨트전동수단의 상세한 설명으로 대신하기로 한다.
그리고, 본 발명의 또 다른 실시예인 트레이 클램핑 장치(40a) 중 상기 트레이스토퍼수단(50a)의 경우 도 6에 도시한 바와 같이 사각평판 형태의 브라켓(52)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 스토퍼수평실린더(51)와; "ㄱ"자 형태의 브라켓(54)에 고정된 상태로 상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a)에 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 정지시키기 위해 상기 트레이(T)의 높이에 맞게 스토퍼(55)를 상승시키는 스토퍼수직실린더(53)와; 상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정되며, 상기 로드(53a)의 길이신장을 통해 상승되어 트레이(T)를 목적한 위치에 정지시키는 스토퍼(55)와; 상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 일체로 형성되며, 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)로 구성되어 있다.
여기서, 상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 일체로 형성된 위치결정돌기(56a)를 제외한 나머지 구성요소 즉, 스토퍼수평실린더(51), 스토퍼수직실린더(53) 및 스토퍼(55)의 경우 역시 전술한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 트레이스토퍼수단(50)을 이루는 스토퍼수평실린더(51), 스토퍼수직실린더(53) 및 스토퍼(55)와 동일구조와 함께 동일한 작동을 이루는 것임을 미리 밝혀두며, 이에 대한 상세한 설명 역시도 생략하기로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예인 트레이 클램핑 장치(40a) 중 상기 트레이후면푸셔수단(61a)의 경우 도 6에 도시한 바와 같이 사각평판 형태의 브라켓(63)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 트레이수평실린더(62)와; "ㄱ"자 형태의 브라켓(65)에 고정된 상태로 상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a)에 고정되며, 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 높이에 맞게 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 상승시키는 트레이수직실린더(64)와; 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정되며, 상기 트레이수직실린더(64)를 통해 트레이(T)의 높이에 맞게 상승된 후면푸싱바(67)를 수평으로 이송시키는 푸싱실린더(66)와; 상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정되며, 상기 로드(66a)의 길이신장을 통해 수평 이송되어 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하여 게이징하는 후면푸싱바(67)와; 상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 일체로 형성되며, 초기위치 결정된 트레이(T)의 후면에 결착시켜 상기 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)로 구성되어 있다.
여기서, 상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 일체로 형성된 위치고정돌기(67a)를 제외한 나머지 구성요소 즉, 트레이수평실린더(62), 트레이수직실린더(64), 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)의 역시 전술한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 트레이후면푸셔수단(61)을 이루는 트레이수평실린더(62), 트레이수직실린더(64), 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)와 동일구조로 이루어짐과 함께 동일한 작동을 이루는 것임을 미리 밝혀두며, 이에 대한 상세한 설명 역시도 생략하기로 한다.
이하, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)에 대한 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 대한 트레이 클램핑 장치의 작동과정을 나타낸 상태도이다.
먼저, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)는 앞서 상세한 설명의 서두(序頭)에서 밝힌 바와 같이 본 발명이 적용된 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 웨이퍼 픽커 유닛(30) 즉, 웨이퍼 픽커장치(30)의 웨이퍼 픽커(32)가 진공 취부하여 상기 PECVD 시스템에 공급하기 위한 트레이(T) 측으로 이송 공급시키거나, 또는 상기 PECVD 시스템으로부터 증착물질이 증착되어 트레이(T)에 수용된 상태로 배출된 증착 웨이퍼(W)를 웨이퍼 픽커(32)가 진공 취부하여 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 빈 트레이(T)를 정위치에 지지 고정하는데 사용되는 장치이기 때문에 이에 따른 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)에 대한 작동과정은 상기와 같이 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 빈 트레이(T)를 정위치에 지지 고정시키는 과정으로서 한정하여 상세히 설명한다.
이와 같은 작동과정으로서, 상기와 같이 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)가 적용된 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 웨이퍼 픽커장치(30)의 웨이퍼 픽커(32)가 진공 취부하여 트레이(T) 측으로 이송 공급시키기 위하여, 먼저 도 7a에 도시한 바와 같이 트레이 엘리베이터(35)에 의해 트레이 클램핑 장치(40)의 하단으로부터 상승된 빈 트레이(T)가 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 빈 트레이(T)가 베이스프레임(41)의 좌우 양측면에 등간격으로 설치된 가이드롤러(49)의 안내에 따라 트레이 지지판(45) 상단으로 이송 공급되게 된다.
이렇게 상기 컨베이어벨트(44)의 이송작용에 따라 베이스프레임(41)의 전면(前面) 끝단으로 이송된 트레이(T)를 정지시키기 위하여 1차적으로 도 7b에 도시한 바와 같이 상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정된 트레이스토퍼수단(50)을 통해 정지시키게 되는데, 이의 과정을 좀더 상세히 설명하면, 상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양측 하단에 설치 고정된 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a)가 길이 신장을 통해 상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a)에 고정된 스토퍼수직실린더(53) 및 상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정된 스토퍼(55)를 전방(前方)으로 이송시킴과 동시에 상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)가 수직 상방(上方)으로 길이 신장을 통해 스토퍼(55)를 트레이(T)의 높이에 맞게 상승시켜 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 상기 트레이(T)를 목적한 정위치에 정지시킨다.
그리고, 상기와 같이 트레이스토퍼수단(50)을 통해 목적한 정위치에 트레이(T)가 정지된 상태에서 2차적으로 상기 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정된 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 상기 트레이(T)의 일측면을 푸싱 고정하여 1차 게이징시키게 되는데, 이의 과정을 좀더 상세히 설명하면, 도 7c에 도시한 바와 같이 상기 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정된 트레이측면실린더(58)의 로드(58a)가 길이 신장을 통해 상기 트레이측면실린더(58)의 로드(58a)에 고정된 측면푸싱바(60)를 정지된 트레이(T)의 일측면으로 이송시키는 등 상기 측면푸싱바(60)를 통해 트레이(T)의 일측면을 수평으로 푸싱 고정하는 1차 게이징이 이루어진다.
마지막으로, 상기와 같이 트레이스토퍼수단(50) 및 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 트레이(T)가 정지 및 1차 게이징된 상태에서 3차적으로 상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정된 트레이후면푸셔수단(61)을 통해 상기 트레이(T)의 후면을 푸싱 고정하여 1차 게이징시키게 되는데, 이의 과정을 좀더 상세히 설명하면, 도 7d에 도시한 바와 같이 상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양측 하단에 설치 고정된 트레이수평실린더(62)의 로드(62a)가 길이 신장을 통해 상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a)에 고정된 트레이수직실린더(64) 및 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정된 푸싱실린더(66)와, 상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정된 후면푸싱바(67)를 후방(後方)으로 이송시킴과 동시에 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)가 수직 상방(上方)으로 길이 신장을 통해 상기 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 트레이(T)의 높이에 맞게 상승시키고, 그 다음 순(順)으로 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정된 푸싱실린더(66)의 로드(66a)가 길이 신장을 통해 상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정된 후면푸싱바(67)를 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면으로 이송시키는 등 상기 후면푸싱바(67)를 통해 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하는 2차 게이징이 이루어지게 된다.
이와 같은 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)에 대한 작동과정을 통해 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 빈 트레이(T)를 정위치에 정지 및 1,2차 게이징시키는 모든 과정이 종료되게 되면, 도 7e에 도시한 바와 같이 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 웨이퍼 픽커장치(30)의 웨이퍼 픽커(32)가 진공 취부하여 상기 웨이퍼(W)의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템에 상기 웨이퍼(W)를 공급하기 위한 트레이(T) 내부로 이송 공급해 각기 구획된 상태로 안착시켜 이와 같은 동일과정을 통해 상기 트레이(T) 내부 전체에 웨이퍼(W)가 각기 구획된 상태로 안착되게 된다.
이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.
1. 웨이퍼 로드/언로드 시스템 10. 웨이퍼 로더
15. 웨이퍼 가이드 레일 20. 웨이퍼 워킹 빔 유닛
25. 가이드레일 30. 웨이퍼 픽커장치
31. 이송프레임 32. 웨이퍼 픽커
35. 트레이 엘리베이터 40, 40a. 트레이 클램핑 장치
41. 베이스프레임 42. 모터
43a. 구동풀리 43b. 종동풀리
44. 컨베이어벨트 45. 트레이 지지판
45a. 방열홀 46. 수평유지돌기
47. 실린더고정프레임 48. 지지판승강실린더
49. 가이드롤러 50, 50a. 트레이스토퍼수단
51. 스토퍼수평실린더 53. 스토퍼수직실린더
55. 스토퍼 56. 단턱부
56a. 위치결정돌기 57. 트레이측면푸셔수단
58. 트레이측면실린더 60. 측면푸싱바
61, 61a. 트레이후면푸셔수단 62. 트레이수평실린더
64. 트레이수직실린더 66. 푸싱실린더
67. 후면푸싱바 67a. 위치고정돌기
70. 웨이퍼 컨베이어벨트 75. 웨이퍼 언로더
T. 트레이 Ta. 위치결정홈
Tb. 위치고정홈 W. 웨이퍼

Claims (12)

  1. 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 웨이퍼(W)의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템(미도시)에 웨이퍼(W)를 공급 및 증착된 웨이퍼(W)를 배출시키는 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진(미도시)으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 가이드 레일(15)과 직교상태로 설치되는 가이드레일(25)을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임(31)의 하단에 웨이퍼 픽커(32)가 일렬로 배열 설치된 웨이퍼 픽커장치(30)를 통해 진공 취부하여 트레이(T) 측에 이송 공급시키거나 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 트레이(T)를 정위치에 지지 고정하는 클램핑 장치(40)에 있어서,
    상기 트레이 클램핑 장치(40)는, 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판(45)이 구비된 사각의 베이스프레임(41)과; 상기 베이스프레임(41)의 전,후 양단에 설치되며, 모터(42)와 벨트 연결되는 구동풀리(43a)와 종동풀리(43b)를 컨베이어벨트(44)로 연결하여 상기 모터(42) 회전에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 트레이(T)를 이송시키는 벨트전동수단과; 상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 실린더(53)에 의한 스토퍼(55)의 상승작용을 통해 정지시키는 트레이스토퍼수단(50)과; 상기 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되어 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 실린더(58)에 의한 측면푸싱바(60)의 푸싱작용을 통해 고정하여 1차 게이징하는 트레이측면푸셔수단(57)과; 상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면을 실린더(66)에 의한 후면푸싱바(67)의 푸싱작용을 통해 고정하여 2차 게이징하는 트레이후면푸셔수단(61)으로 구성되며,
    상기 트레이후면푸셔수단(61)은 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 트레이수평실린더(62)와; 상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a) 일측에 고정되며, 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 높이에 맞게 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 상승시키는 트레이수직실린더(64)와; 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정되며, 상기 트레이수직실린더(64)를 통해 트레이(T)의 높이에 맞게 상승된 후면푸싱바(67)를 수평으로 이송시키는 푸싱실린더(66)와; 상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정되며, 상기 로드(66a)의 길이신장을 통해 수평 이송되어 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하여 2차 게이징하는 후면푸싱바(67)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스프레임(41) 및 트레이 지지판(45)의 각 하단 양측에는 웨이퍼 픽커장치(30)를 통해 진공 취부되어 공급되는 웨이퍼(W)를 트레이(T)에 안착시키거나 또는 상기 PECVD 시스템을 통해 일면에 증착물질이 증착되어 트레이(T)에 안착된 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 픽커장치(30)가 다시 진공 취부 시 베이스프레임(41)으로부터 트레이 지지판(45)을 상승시킬 수 있도록 양단에 지지브라켓(47a)이 고정된 실린더고정프레임(47), 및 상기 실린더고정프레임(47)의 각 일측면 중앙에 설치 고정된 상태로 트레이 지지판(45)의 하단에 결착된 지지판승강실린더(48)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 트레이 지지판(45) 및 그 상단에는 PECVD 시스템으로부터 트레이(T)에 수용된 상태로 배출되는 증착된 웨이퍼(W)로부터 방출되는 열을 외부로 방열시키기 위한 다수의 방열홀(45a)과, 상기 웨이퍼 픽커(32)를 통해 트레이(T) 내에 안착된 웨이퍼(W)를 진공 취부하는 과정에서 상기 웨이퍼 픽커(32)의 바닥면이 수평을 유지한 상태로 웨이퍼(W)를 취부할 수 있도록 하기 위한 수평유지돌기(46)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스프레임(41)의 좌우 양측면에는 벨트전동수단에 의한 트레이(T)의 이송과정에서 보다 원활하게 목적한 위치인 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되도록 안내하는 가이드롤러(49)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 트레이스토퍼수단(50)은 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 스토퍼수평실린더(51)와;
    상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a) 일측에 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 정지시키기 위해 상기 트레이(T)의 높이에 맞게 스토퍼(55)를 상승시키는 스토퍼수직실린더(53)와;
    상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정되며, 상기 로드(53a)의 길이신장을 통해 상승되어 트레이(T)를 목적한 위치에 정지시키는 스토퍼(55)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 스토퍼(55)의 전면(前面)에는 트레이(T)의 높이에 맞게 단턱부(56)가 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 트레이측면푸셔수단(57)은 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 로드(58a)의 길이신장을 통해 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 푸싱하는 트레이측면실린더(58)와;
    상기 트레이측면실린더(58)의 로드(58a)에 고정되며, 상기 로드(58a)의 길이신장을 통해 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 수평으로 푸싱 고정하여 1차 게이징하는 측면푸싱바(60)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  8. 삭제
  9. 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 웨이퍼(W)의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템(미도시)에 웨이퍼(W)를 공급 및 증착된 웨이퍼(W)를 배출시키는 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 가이드 레일(15)과 직교상태로 설치되는 가이드레일(25)을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임(31)의 픽커고정플레이트 상에 픽커승강수단과 함께 웨이퍼 픽커(32)가 일렬로 배열 설치된 웨이퍼 픽커장치를 통해 비접촉식으로 진공 취부하여 상기 PECVD 시스템에 공급하기 위한 트레이(T) 측에 이송 공급시키거나 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 트레이(T)를 정위치에 지지 고정하는 클램핑 장치에 있어서,
    상기 트레이 클램핑 장치(40a)는, 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판(45)이 구비된 사각의 베이스프레임(41)과;
    상기 베이스프레임(41)의 전,후 양단에 설치되며, 모터(42)와 벨트 연결되는 구동풀리(43a)와 종동풀리(43b)를 컨베이어벨트(44)로 연결하여 상기 모터(42) 회전에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 트레이(T)를 이송시키는 벨트전동수단과;
    상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 실린더(53)에 의한 스토퍼(55)의 상승작용을 통해 정지시킴과 아울러, 상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)가 구비된 트레이스토퍼수단(50a)과;
    상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 후면을 실린더(66)에 의한 후면푸싱바(67)의 푸싱작용을 통해 고정하여 게이징함과 아울러, 상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 초기위치 결정된 트레이(T)의 후면에 결착시켜 상기 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)가 구비된 트레이후면푸셔수단(61a)으로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 트레이(T)의 전,후 각 양측단에는 위치결정돌기(56a) 및 위치고정돌기(67a)와 각각 대응 결합되기 위한 위치결정홈(Ta)과 위치고정홈(Tb)이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 트레이스토퍼수단(50a)은 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 스토퍼수평실린더(51)와;
    상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a) 일측에 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 정지시키기 위해 상기 트레이(T)의 높이에 맞게 스토퍼(55)를 상승시키는 스토퍼수직실린더(53)와;
    상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정되며, 상기 로드(53a)의 길이신장을 통해 상승되어 트레이(T)를 목적한 위치에 정지시키는 스토퍼(55)와;
    상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 일체로 형성되며, 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 트레이후면푸셔수단(61a)은 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 트레이수평실린더(62)와;
    상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a) 일측에 고정되며, 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 높이에 맞게 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 상승시키는 트레이수직실린더(64)와;
    상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정되며, 상기 트레이수직실린더(64)를 통해 트레이(T)의 높이에 맞게 상승된 후면푸싱바(67)를 수평으로 이송시키는 푸싱실린더(66)와;
    상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정되며, 상기 로드(66a)의 길이신장을 통해 수평 이송되어 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하여 게이징하는 후면푸싱바(67)와;
    상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 일체로 형성되며, 초기위치 결정된 트레이(T)의 후면에 결착시켜 상기 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.
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