CN210167341U - 一种硅片传输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及太阳能电池加工设备技术领域，尤其涉及一种硅片传输装置。该硅片传输装置包括机械手、承载台及运输机构，所述机械手用于将硅片逐片叠放于所述承载台上，所述承载台能带动叠放的所述硅片升降，以将叠放的所述硅片放置于所述运输机构上，所述运输机构用于将所述硅片运输至指定位置。该硅片传输装置中，通过机械手实现两张硅片在承载台上的堆叠，之后通过承载台的升降将堆叠好的硅片放置于运输机构上，通过运输机构将堆叠好的硅片运输至指定位置。该插片方式不需使用压缩空气将硅片吹气，杜绝了硅片抖动的问题，从而避免堵片；两张硅片堆叠后在一同传输，避免硅片在传输过程中相互摩擦，有利于减少硅落、崩边等现象的发生。

Description

一种硅片传输装置

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池加工设备技术领域，尤其涉及一种硅片传输装置。

背景技术

在硅片的加工生产中，为了满足不同的应用需求，时常需要将硅片进行各种化学处理，随着自动化生产的普及，硅片一般会通过流水线运送至各个加工工位，而为了提高生产效率，有些加工工段需要将一个硅片放入另一个硅片底部进行堆叠，以便后续加工、运输或收纳。

现有技术中，一般将堆叠在一起的两张硅片放入花篮的一个卡槽内。为将两张硅片自动运输至同一卡槽内从而解放人力，提高效率，目前采取的方法是首先将第一张硅片送入花篮的卡槽内，之后利用压缩空气将放入卡槽内的第一硅片的一端吹起，使得第一张硅片与卡槽之间形成容纳第二张硅片的空间；再将第二张硅片送入该空间内。但第二张硅片在送入卡槽内的过程中会与第一张硅片发生摩擦，容易导致硅片磨损从而产生硅落、崩边等现象；第一张硅片通过压缩空气吹起，硅片位置不稳定，且容易与卡槽的顶面碰撞而导致硅片上下抖动严重，使得第二张硅片无法顺利送入第一张硅片与卡槽底部之间的空间，即频繁堵片。

因此，亟需一种硅片传输装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种硅片传输装置，能够实现硅片双片插入，避免硅片在传输过程中堆叠时相互摩擦，防止因硅片抖动而引起的堵片现象。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种硅片传输装置，包括机械手、承载台及运输机构，所述机械手用于将硅片逐片叠放于所述承载台上，所述承载台能带动叠放的所述硅片升降，以将叠放的所述硅片放置于所述运输机构上，所述运输机构用于将所述硅片运输至指定位置。

其中，所述承载台和所述运输机构二者中的一个包括相对设置的两个支撑部，另一个设置于两个所述支撑部之间，所述硅片能搭接于两个支撑部上。

其中，所述承载台包括相对设置的两个所述支撑部，每个所述支撑部上均设置有凹槽，两个所述支撑部上相对的两个所述凹槽围成容纳所述硅片的容纳槽。

其中，所述承载台上沿所述运输机构的传输方向设置有多个所述容纳槽。

其中，所述硅片传输装置还包括：

感应器，所述感应器被配置为检测叠放的所述硅片是否放置于所述运输机构上。

其中，所述运输机构包括：

传送带组件，所述传送带组件用于运输所述硅片；及

伸缩台，所述伸缩台设置于所述传送带组件的传送终端，所述伸缩台能沿承接所述传送带组件运输的所述硅片，并带动所述硅片伸入所述指定位置。

其中，所述运输机构还包括：

安装架，所述安装架包括相对设置的两个侧支架，每个所述侧支架上装设有一所述传送带组件，所述伸缩台设置于两个所述侧支架之间且能相对所述侧支架沿所述传送带组件的运输方向滑动。

其中，所述硅片传输装置还包括：

放置台，所述放置台被配置为承载收纳机构，所述指定位置位于所述收纳机构内；及

升降机构，所述升降机构被配置为驱动所述放置台升降。

其中，所述硅片传输装置还包括：

输入机构，所述输入机构被配置为向所述放置台运输所述收纳机构；及

输出机构，所述输出机构被配置为将满载硅片的所述收纳机构由所述放置台输出。

其中，所述硅片传输装置还包括：

辅助运输机构，设置于所述放置台上，所述辅助运输机构被配置为承接所述输入机构传入的所述收纳机构，以及将满载硅片的所述收纳机构输送至所述输出机构。

有益效果：本实用新型提供了一种硅片传输装置。该硅片传输装置中，通过机械手实现两张硅片在承载台上的堆叠，之后通过承载台的升降将堆叠好的硅片放置于运输机构上，通过运输机构将堆叠好的硅片运输至指定位置。该插片方式不需使用压缩空气将硅片吹起，杜绝了硅片抖动的问题，从而避免因硅片抖动而堵片；两张硅片堆叠后在一同传输，避免硅片在传输过程中相互摩擦，有利于减少硅落、崩边等现象的发生。

附图说明

图1是本实用新型提供的硅片传输装置的立体图；

图2是本实用新型提供的花篮与硅片配合后的的结构示意图；

图3是本实用新型提供的运输机构和承载台的结构示意图。

其中：

1、运输机构；11、侧支架；12、传送带组件；13、伸缩台；131、平台；132、皮带组件；14、感应器；

2、承载台；21、支撑部；211、凹槽；22、升降驱动件；

3、放置台；4、升降机构；5、输入机构；6、输出机构；7、辅助运输机构；

8、花篮；81、侧板；82、侧部支撑杆；821、卡齿；83、底部支撑杆；9、硅片。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实施例提供了一种硅片传输装置，该硅片传输装置可以应用于太阳能电池制备的过程中，例如制绒工艺内，用于运输硅片，并可以将运输过程中相邻的两片硅片堆叠，以方便硅片的储存或加工。

如图1所示，硅片传输装置包括运输机构1、承载台2和机械手(图中未示出)。机械手可以将硅片逐片叠放于承载台2上，实现硅片的堆叠；承载台2能够带动叠放的硅片升降，以将叠放的硅片放置在运输机构1上，之后运输机构1将叠放的硅片运输至指定位置，从而使硅片在指定位置存储或加工。

本实施例中，硅片传输装置通过机械手实现两张硅片在承载台2上的堆叠，之后通过承载台2的升降将堆叠好的硅片放置于运输机构1上，通过运输机构1将堆叠好的硅片运输至指定位置。该硅片的运输方式不需使用压缩空气将硅片吹起，杜绝了硅片抖动的问题，从而避免因硅片抖动而堵片；两张硅片堆叠后在一同传输，避免硅片在传输过程中相互摩擦，有利于减少硅落、崩边等现象的发生。

本实施例中，指定位置可以位于收纳机构内，硅片可以通过该硅片传输装置运输至收纳机构内，便于硅片的储存以及后续工序加工。

本实施例中，收纳机构可以为花篮8，硅片9放入花篮8内，以花篮8为载体进行运输、加工或存储。如图2所示，花篮8可以竖直放置，花篮8包括上下相对设置的两个侧板81，两个侧板81之间连接有侧部支撑杆82和底部支撑杆83。侧部支撑杆82和底部支撑杆83上均设置有卡齿821，相邻的两个卡齿821分别为上限位件和下限位件，上限位件和下限位件之间形成卡槽，侧部支撑杆82和底部支撑杆83可以为侧面挡板。硅片9水平送入花篮8内，相邻的两个卡齿821可以放置有两张硅片9。本实施例中的指定位置为花篮8的卡槽内。

在其他实施例中，收纳机构也可以为其他机构，只要能够实现收纳硅片9的作用即可。

具体地，如图3所示，承载台2包括相对设置的两个支撑部21，运输机构1设置在两个支撑部21之间，且两个支撑部21之间的距离与硅片9的边长相匹配，以使硅片9的两侧边缘分别搭接在对应侧的支撑部21上，从而使两个支撑部21能够稳定支撑硅片9。通过设置两个支撑部21，可以使承载台2通过升降的方式将其上承载的硅片9放置于运输机构1上。每个支撑部21均连接有升降驱动件22，升降驱动件22可以为气缸、液压缸或直线电机。

为方便介绍，定义先运送至承载台2上的硅片9为第一硅片，定义后运送至承载台2上的硅片9为第二硅片。硅片传输装置工作时，承载台2位于运输机构1的上方，机械手依次将第一硅片和第二硅片运输至承载台2上，使第一硅片和第二硅片堆叠放置。第一硅片相对的两侧边缘分别搭接在对应侧的支撑部21上。之后，承载台2带动堆叠的第一硅片和第二硅片下降，使第一硅片的底面与两个支撑部21之间的运输机构1接触；支撑台2继续下降，使得支撑部21与第一硅片脱离，第一硅片和第二硅片被运输机构1支撑，以使第一硅片和第二硅片以堆叠的状态放置于运输机构1上。之后，通过运输机构1带动堆叠的第一硅片和第二硅片移动至花篮8对应的卡槽内，完成硅片9的传输。

本实施例中，运输机构1位于两个支撑部21之间，可以堆叠的第一硅片和第二硅片在承载台2与运输机构1之间平稳过渡，运输过程中硅片受到的冲击小，第一硅片和第二硅片之间不存在相对运动，避免摩擦而引发的硅落和崩边现象。

在其他实施例中，也可以是运输机构1包括相对设置的两个支撑部21，支撑部21支撑硅片9并能带动硅片9移动，对应地，承载台2设置于两个支撑部21之间，承载台2可以通过升降将其上叠放的硅片9放置于运输机构1上。

为了避免堆叠在承载台2上的硅片9掉落，承载台2上还设置有容纳硅片9的容纳槽，通过容纳槽对硅片9限位，避免硅片9因振动等原因掉落，也可以提高机械手放置硅片9的定位精度。

具体地，每个支撑部21上均设置有凹槽211，凹槽211贯穿支撑部21靠近运输机构1的一端，使得相对设置的两个支撑部21上相对的两个凹槽211围成上述容纳槽。

本实施例中，承载台2上沿运输机构1的运输方向设置有两个容纳槽，机械手可以一次向两个容纳槽内放置硅片9，可以提高硅片9的运输效率。在其他实施例中，容纳槽的数量可以根据需要调整。

如图3所示，运输机构1可以为带传送机构，包括传送带组件12和安装架，传送带组件12设置在安装架上，传送带组件12能够承接承载台2上叠放的第一硅片和第二硅片，并将第一硅片和第二硅片以叠放的状态输送。

具体地，安装架包括相对设置的两个侧支架11，每个侧支架11上均对应设置有一个传送带组件12，每个传送带组件12支撑硅片底面对应的一端，以减小与硅片9的接触面积，从而减小磨损。通过两个传送带组件12的配合，可以提高硅片传输的平稳性。

为使承载台2和运输机构1能够更好配合，从而缩短硅片传输装置的节拍，硅传输装置还包括感应器14，感应器14能够检测叠放的硅片9是否放置于运输机构1上，以便承载台2能够根据需要升降。

可选地，感应器14可以设置在两个侧支架11之间，感应器14的位置与容纳槽对应，可以设置在容纳槽的下方。当承载台2带动叠放的硅片9向下移动时，当感应器14感应到硅片9与传送带组件12完全接触，则控制承载台2停止。

为避免传送带组件12带动硅片9移动的过程中，硅片9与承载台2接触而增大传动摩擦力，当承载台2下降使硅片9与传送带组件12接触后，承载台2继续下降一定距离，以使硅片9与承载台2完全脱离，有利于减小摩擦组件，避免承载台2干涉运输机构1运输硅片。

可选地，感应器14可以为距离传感器、接近传感器等，只要能够检测硅片在承载台2与运输机构1之间的切换状态即可。

本实施例中，运输机构1还包括伸缩台13，伸缩台13可以设置在传动带组件12的传送终端，用于承接传送带组件12运输的硅片9，并相对传送带组件12滑动，以带动硅片9伸入到花篮8内的卡槽中，有利于提高硅片9与花篮8内卡槽的对位精度。

具体地，伸缩台13包括平台131以及皮带组件132，平台131沿传动带组件12的运输方向滑动连接于两个侧支架11之间，以带动其上的硅片9伸入花篮8内。皮带组件132设置于平台131上，平台131伸入花篮8内后，平台131上的硅片9能够在皮带组件132的带动下继续向对应的卡槽内移动，以使硅片9能够完全进入卡槽内，保证硅片9放置的稳定性。

本实施例中，伸缩台13的伸缩方向与传送带组件12的运输方向相同，可以减小硅片传输装置的尺寸。在其他实施例中，伸缩台13的伸缩方向也可以与传送带组件12的运输方向呈夹角设置，例如垂直。

可选地，硅片传输装置还包括放置台3，放置台3用于放置花篮8，方便运输机构1将硅片9送入花篮8的卡槽内。

为提高硅片传输装置的自动化程度，硅片传输装置还包括升降机构4，升降机构4能够驱动放置台3升降，以使置于放置台3上的花篮8能够升降，从而调整花篮8内与上运输机构2对应的卡槽，使得装有两片硅片9的卡槽与运输机构1错开，未装满硅片的卡槽与运输机构1对应，进而使硅片9依次传输至花篮8的多个卡槽内。

本实施例中，升降机构4可以为丝杠螺母机构，通过丝杠螺母机构带动放置台3升降，运动精度更准确。在其他实施例中，升降机构4也可以为气缸、液压缸、直线电机或齿轮齿条机构等。

进一步地，硅片传输装置还包括输入机构5及输出机构6，输入机构5用于向放置台3运输空载的收纳机构，即运送空花篮；输出机构6用于将满载硅片9的收纳机构由放置台3输出，即运送满花篮。通过设置输入机构5及输出机构6，可以实现空载花篮和满载花篮的自动运输，进一步提高硅片传输装置的自动化。

为使硅片传输装置的结构更加紧凑，输入机构5和输出机构6上下排布，充分利用放置台3旁侧的竖向空间，减小硅片传输装置的占地面积。

具体地，输入机构5位于输出机构6上方，花篮8置于放置台3上后，运输机构1首先将硅片9运输至花篮8最底部的卡槽内。当花篮8最底部的卡槽内装有两片硅片9后，升降机构4驱动放置台3向下移动，使花篮底部由下至上第二个卡槽与运输机构1的位置对应，以向花篮底部由下至上第二个卡槽内运输硅片9。重复上述动作，直至花篮顶部的卡槽内装有两片硅片9，此时放置台3位于最低位置，放置台3上的花篮8与输出机构6对应，便于满载的花篮8通过输出机构6传出。通过上述布置，可以提高硅片9的传输效率。

在其他实施例中，输入机构5也可以位于输出机构6的下方，对应地，花篮8通过输入机构5置于放置台3上时，运输机构1与花篮顶部的卡槽的位置对应，以使运输机构1由上至下向花篮8内运输硅片9。花篮8的每一个卡槽装入两片硅片9后，升降机构4驱动放置台3向下运动，直至花篮8满载。花篮8满载后，花篮8位于最高位置，并与输出机构6的位置对应，以便满载的花篮8直接通过输出机构6输出。

可选地，放置台3上还设置有辅助运输机构7。辅助运输机构7能够承接输入机构5传入的空花篮，以及将满载硅片9的花篮8送至输出机构6。

可选地，输入机构5、输出机构6和辅助运输机构7均可以带传送机构，其结构此处不再赘述。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种硅片传输装置，其特征在于，包括机械手、承载台(2)及运输机构(1)，所述机械手用于将硅片(9)逐片叠放于所述承载台(2)上，所述承载台(2)能带动叠放的所述硅片(9)升降，以将叠放的所述硅片(9)放置于所述运输机构(1)上，所述运输机构(1)用于将所述硅片(9)运输至指定位置。

2.如权利要求1所述的硅片传输装置，其特征在于，所述承载台(2)和所述运输机构(1)二者中的一个包括相对设置的两个支撑部(21)，另一个设置于两个所述支撑部(21)之间，所述硅片(9)能搭接于两个所述支撑部(21)上。

3.如权利要求2所述的硅片传输装置，其特征在于，所述承载台(2)包括相对设置的两个所述支撑部(21)，每个所述支撑部(21)上均设置有凹槽(211)，两个所述支撑部(21)上相对的两个所述凹槽(211)围成容纳所述硅片(9)的容纳槽。

4.如权利要求3所述的硅片传输装置，其特征在于，所述承载台(2)上沿所述运输机构(1)的传输方向设置有多个所述容纳槽。

5.如权利要求1-4中任一项所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括：

感应器(14)，所述感应器(14)被配置为检测叠放的所述硅片(9)是否放置于所述运输机构(1)上。

6.如权利要求1-4中任一项所述的硅片传输装置，其特征在于，所述运输机构(1)包括：

传送带组件(12)，所述传送带组件(12)用于运输所述硅片(9)；及

伸缩台(13)，所述伸缩台(13)设置于所述传送带组件(12)的传送终端，所述伸缩台(13)能沿承接所述传送带组件(12)运输的所述硅片(9)，并带动所述硅片(9)伸入所述指定位置。

7.如权利要求6所述的硅片传输装置，其特征在于，所述运输机构(1)还包括：

安装架，所述安装架包括相对设置的两个侧支架(11)，每个所述侧支架(11)上装设有一所述传送带组件(12)，所述伸缩台(13)设置于两个所述侧支架(11)之间且能相对所述侧支架(11)沿所述传送带组件(12)的运输方向滑动。

8.如权利要求1-4中任一项所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括：

放置台(3)，所述放置台(3)被配置为承载收纳机构，所述指定位置位于所述收纳机构内；及

升降机构(4)，所述升降机构(4)被配置为驱动所述放置台(3)升降。

9.如权利要求8所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括：

输入机构(5)，所述输入机构(5)被配置为向所述放置台(3)运输所述收纳机构；及

输出机构(6)，所述输出机构(6)被配置为将满载硅片的所述收纳机构由所述放置台(3)输出。

10.如权利要求9所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括：

辅助运输机构(7)，设置于所述放置台(3)上，所述辅助运输机构(7)被配置为承接所述输入机构(5)传入的所述收纳机构，以及将满载硅片的所述收纳机构输送至所述输出机构(6)。

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