KR20080103177A - 트레이 정렬장치와 이를 포함하는 태양전지 제조장치 및이를 이용한 트레이 정렬방법 - Google Patents

트레이 정렬장치와 이를 포함하는 태양전지 제조장치 및이를 이용한 트레이 정렬방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 태양전지용 기판을 다수 적재하는 용도의 트레이를 정렬하는 장치로서, 상기 트레이를 거치하는 지지프레임; 상기 지지프레임에 놓여진 상기 트레이에 수평방향의 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 정렬수단을 포함하는 트레이 정렬장치와 이를 포함한 태양전지 제조장치와 이를 이용한 트레이 정렬방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 태양전지 제조시스템에 사용되는 트레이에 기판을 로딩하거나 언로딩하기 전에 트레이의 위치를 정렬할 수 있기 때문에 기판이송의 정확성을 높일 수 있다. 또한 태양전지 제조시스템의 내부에서 공정이 진행되는 동안 트레이의 위치가 정확하게 제어될 수 있기 때문에 공정불량이나 부품손상 등을 방지할 수 있다.
태양전지, 트레이, 정렬

Description

트레이 정렬장치와 이를 포함하는 태양전지 제조장치 및 이를 이용한 트레이 정렬방법{Tray aligner and solar cell manufacturing device comprising the same and tray aligning method using the same}
도 1은 태양전지 제조장치의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 트레이 정렬장치의 구성도
도 3은 사각 트레이를 정렬하는 모습을 나타낸 평면도
도 4는 원형 트레이를 정렬하는 모습을 나타낸 평면도
도 5는 정렬부재가 사각 트레이의 변에 힘을 가하여 정렬하는 모습을 나타낸 도면
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 실시예에 따라 트레이가 정렬되는 과정을 순서대로 나타낸 도면
도 7은 로딩영역과 언로딩영역이 별도로 설치된 태양전지 제조장치의 블록도
도 8은 기판이적부와 로드락챔버의 사이에 버퍼챔버가 설치된 모습을 나타낸 도면
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10: 기판이적부 12, 22, 32: 롤러
20: 로드락챔버 30: 공정챔버
40: 트레이 50: 기판이송로봇
100: 트레이 정렬장치 110: 지지프레임
120: 지지부재 122: 마찰저감부재
130: 상하구동부 140: 정렬부재
150: 정렬부재구동부
본 발명은 태양전지 제조장치에서 기판 운송용으로 사용되는 트레이를 정렬하는 장치와 이를 이용한 트레이 정렬방법에 관한 것이다.
화석자원의 고갈과 환경오염에 대처하기 위해 최근 태양력 등의 청정에너지에 대한 관심이 높아지면서, 태양에너지를 전기에너지로 변환하는 태양전지에 대한 연구개발이 활력을 얻고 있다.
태양전지는 pn접합이 형성된 반도체의 내부에서 태양광에 의해 여기된 소수캐리어의 확산에 의하여 기전력을 발생시키는 소자로서 단결정실리콘, 다결정실리콘, 비정질실리콘, 화합물반도체 등의 반도체 재료를 이용하여 제조된다.
단결정실리콘이나 다결정실리콘을 이용하면 발전효율은 높지만 재료비가 비싸고 공정이 복잡한 단점을 가지기 때문에 최근에는 유리나 플라스틱 등의 값싼 기판에 비정질실리콘이나 화합물반도체 등의 박막을 증착한 박막형 태양전지가 많이 사용되고 있다.
이러한 태양전지를 제조하기 위해서는 실리콘 웨이퍼나 유리기판(이하 '기판'이라 함)에 전극, 반도체층, 반사방지막 등을 형성하여야 하며, 이러한 공정은 해당공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 공정챔버의 내부에서 진행된다.
도 1은 태양전지 시스템의 구성을 개략적으로 예시한 도면으로서, 기판이적(移積)부(10), 로드락챔버(20), 공정챔버(30) 등을 포함하여 구성된다.
일반적으로 태양전지 제조시스템에서는 생산성을 높이기 위하여 다수의 기판(s)을 한꺼번에 처리하는 경우가 많으며, 이 경우에는 주로 수십 내지 수백 매의 기판(s)을 안치할 수 있는 트레이(40)를 많이 사용한다.
즉, 다수의 기판(s)을 안치한 트레이(40)를 공정챔버(30)의 내부로 반입하여 기판(s)이 트레이(40)에 올려진 상태에서 공정을 진행하는 것이다.
이와 같이 트레이(40)를 이용하는 태양전지 제조시스템은 트레이(40)에 기판(s)을 로딩시키거나 트레이(40)에서 기판(s)을 언로딩시키는 기판이송수단을 필요로 한다.
또한 트레이(40)를 공정챔버(10)로 반입하거나 공정챔버(10)로부터 반출할 수 있는 트레이 이송수단을 필요로 한다. 트레이 이송수단은 도 1에 도시된 바와 같이 롤러를 이용한 인라인 타입일 수도 있고 트레이(40)를 픽업하여 이동시키는 트레이 이송로봇일 수도 있다.
기판이적부(10)는 로드락챔버(20)의 기판출입구 전면에 설치되며, 트레이(40)에 태양전지용 기판(s)을 올려놓거나 트레이(40)에서 공정을 마친 기판(s)을 내려놓는 영역이다. 따라서 트레이(40)를 거치하는 트레이거치대(11)와 트레이(40)에 기판(s)을 올려놓거나 내려놓는 기판이송로봇(50)을 포함한다.
도 1의 트레이거치대(11)는 외부의 트레이 이송용 컨베이어 또는 인라인 반송시스템과 연결되는 롤러(12)를 포함하며, 상기 롤러(12)는 미도시된 롤러구동수단에 의하여 작동한다. 트레이가 이송로봇에 의해 픽어되어 이송되는 경우에는 롤러(12)가 생략될 수 있다.
기판이송로봇(50)은 트레이거치대(11)에 놓여진 트레이(40)에 기판 카세트(미도시)에서 픽업한 기판(s)을 올려 놓거나, 트레이(40)에서 픽업한 기판(s)을 기판카세트로 이송하는 역할을 한다. 기판이송로봇(50)은 기판(s)을 픽업하기 위한 진공흡착부(52)를 구비한다.
로드락챔버(20)는 대기압 상태의 기판이적부(10)와 진공압력의 공정챔버(30)의 사이에서 완충역할을 하는 공간으로서, 기판이적부(10)와 트레이(40)를 교환할 때는 대기압 상태이고 공정챔버(30)와 트레이(40)를 교환할 때는 진공상태가 된다.
로드락챔버(20)의 내부에도 기판이적부(10)의 롤러(12)와 연계하여 트레이(40)를 이동시키는 롤러(22)가 설치되며, 상기 롤러(22)는 미도시된 구동수단에 의하여 동작한다.
로드락챔버(20)의 측부에는 기판이적부(10)와 트레이(40)를 교환할 때 출입통로를 개폐하는 제1 슬롯밸브(60)가 설치된다.
공정챔버(30)는 트레이(40)에 안치된 기판(s)에 대하여 증착 또는 식각공정을 수행하는 영역이며, 로드락챔버(20)의 롤러(22)와 연계하여 트레이(40)를 이동시키는 롤러(32)와 상기 롤러(32)를 구동시키는 롤러구동수단(미도시)이 설치된다.
또한 공정챔버(30)의 내부에는 공정이 진행되는 동안 트레이(40)를 거치하는 트레이거치대(34)가 설치된다. 공정챔버(30)의 트레이거치대(34)는 승강수단에 의하여 상하로 승강할 수 있으며, 그 내부에는 트레이(40)를 가열시키기 위한 발열수단이 내장될 수도 있다.
공정챔버(30)와 로드락챔버(20)의 사이에는 트레이(40)의 출입을 위해 출입구를 개폐하는 제2슬롯밸브(70)가 설치된다.
이러한 태양전지 제조시스템에서 태양전지용 기판을 처리하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저 트레이 이송로봇이나 컨베이어를 이용하여 빈 트레이(40)를 기판이적부(10)의 트레이거치대(11)에 올려놓으면, 기판이송로봇(50)이 기판 카세트에서 기 판(s)을 픽업하여 트레이(40)에 올려 놓는다.
트레이(40)에 기판(s)을 모두 올려놓은 이후에는 제1슬롯밸브(60)를 열고 롤러(12)를 이용하여 로드락챔버(20)의 내부로 트레이(40)를 반입시킨다. 이어서 제1슬롯밸브(60)를 닫고 로드락챔버(20)를 진공펌핑한 후에 로드락챔버(20)와 공정챔버(30) 사이의 제2슬롯밸브(70)를 열어서 롤러(22)를 이용하여 공정챔버(30)의 내부로 트레이(40)를 반입시킨다.
공정챔버(30)에서 공정을 마친 이후에는 제2슬롯밸브(70)를 열어서 트레이(40)를 로드락챔버(20)로 반출한 후에 로드락챔버(20)를 대기압상태로 전환하고, 이어서 제1슬롯밸브(60)를 열고 로드락챔버(20)에서 기판이적부(10)로 트레이(40)를 반출시킨다.
기판이적부(10)에서는 기판이송로봇(50)이 트레이(40)에 안치된 기판(s)을 픽업하여 기판 카세트에 적재한다.
이러한 태양전지 제조시스템에서는 트레이(40)에 수십 내지 수백 매의 기판(s)을 올려 놓아야 하기 때문에 트레이(40)의 이송과정에서 매우 높은 정확도가 요구된다. 즉, 기판이적부(10)의 정확한 장소에 트레이(40)가 위치해야만 기판의 로딩 또는 언로딩 작업이 정확하게 진행될 수 있다.
그런데 컨베이어 장치나 트레이 이송로봇의 동작이 정밀하게 제어된다 하더라도 장시간 사용하면 오차누적으로 인하여 트레이(40)가 기판이적부(10)의 정위치에서 조금씩 벗어나는 경우가 발생한다.
일단 트레이(40)가 정위치에서 벗어나면 기판(s)이 정위치에 놓여지지 못하기 때문에 제품 불량의 위험이 높아질 뿐만 아니라, 극단적으로는 트레이(40)가 로드락챔버(20)나 공정챔버(30)의 내부에서 이동하는 도중에 주변부품과 충돌할 위험도 높아진다.
따라서 트레이(40)가 기판이적부(10)의 정위치에 제대로 위치하는지를 확인하여 정위치를 벗어나면 시스템의 동작을 중단시킨 후에 트레이(40)를 정렬시켜야 한다.
그러나 현재까지는 마땅한 트레이 정렬장치가 없기 때문에 수작업을 통해 트레이(40)를 정렬시켜야 한다. 그런데 수십 내지 수백 kg에 달하는 트레이(40)를 수작업으로 정확하게 정렬시키는 것은 결코 용이한 일이 아니다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서 태양전지 제조시스템에 사용되는 트레이에 기판을 로딩하거나 언로딩하기 전에 트레이의 위치를 용이하게 정렬할 수 있는 수단을 제공하는데 목적이 있다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 태양전지용 기판을 다수 적재하는 용도의 트레이를 정렬하는 장치로서, 상기 트레이를 거치하는 지지프레임; 상기 지지프레임에 놓여진 상기 트레이에 수평방향의 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키 는 정렬수단을 포함하는 트레이 정렬장치를 제공한다.
상기 지지프레임의 상부에는 마찰저감부재가 형성되는 것을 특징으로 할 수 있으며, 이때 상기 마찰저감부재는 볼 베어링일 수 있다.
또한 상기 지지프레임의 상부에는 상기 트레이가 놓여지는 다수의 지지부재가 돌출되고, 상기 마찰저감부재는 상기 지지부재의 상단부에 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 지지프레임을 승강시키는 상하구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 정렬수단은, 상기 지지프레임의 측부에 위치하는 다수의 정렬부재; 상기 다수의 정렬부재를 수평방향으로 이동시키는 정렬부재구동부를 포함하며, 상기 다수의 정렬부재가 상기 지지프레임에 놓여진 상기 트레이의 측면에 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 것을 특징으로 할 수 있다.
이때 상기 트레이는 사각형상이고, 상기 다수의 정렬부재는 각각 상기 트레이의 2변에 동시에 접하는 직각면을 가지는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명은 태양전지용 기판을 트레이에 다수 적재하여 공정을 진행하는 태양전지 제조장치에 있어서, 상기 다수의 기판을 상기 트레이에 로딩시키거나 상기 트레이로부터 언로딩시키는 영역으로서, 상기 트레이를 올려놓는 트레이거치대와 상기 트레이를 정렬하는 트레이 정렬장치를 포함하는 기판이적부; 상기 다수의 기판을 상기 트레이에 적재한 상태에서 공정을 진행하는 공정챔버; 상기 공정챔 버와 상기 기판이적부의 사이에 위치하며, 트레이의 출입과정에서 대기압상태 및 진공상태를 교번하는 로드락챔버를 포함하는 태양전지 제조장치를 제공한다.
이때 상기 트레이 정렬장치는, 상기 트레이를 거치하며 상기 트레이거치대에 대하여 승강운동이 가능하게 설치되는 지지프레임; 상기 지지프레임에 놓여진 상기 트레이에 수평방향의 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 정렬수단을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 지지프레임의 상부에는 마찰저감부재가 형성되는 것을 특징으로 할 수 있으며, 이때 상기 마찰저감부재는 볼 베어링일 수 있다.
또한 상기 지지프레임의 상부에는 상기 트레이가 놓여지는 다수의 지지부재가 돌출되고, 상기 마찰저감부재는 상기 지지부재의 상단부에 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 정렬수단은, 상기 지지프레임의 측부에 위치하는 다수의 정렬부재; 상기 다수의 정렬부재를 수평방향으로 이동시키는 정렬부재구동부를 포함하며, 상기 다수의 정렬부재가 상기 지지프레임에 놓여진 상기 트레이의 측면에 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명은, 트레이에 기판을 로딩시키는 영역으로서, 상기 트레이를 올려놓는 트레이거치대와, 상기 트레이거치대에 대하여 승강운동이 가능하게 설치되는 지지프레임과 상기 트레이를 정렬시키는 정렬수단을 포함하는 트레이 정렬장치를 구비하는 기판이적부; 상기 기판을 상기 트레이에 적재한 상태에서 공정을 진 행하는 공정챔버; 상기 공정챔버와 상기 기판이적부의 사이에 위치하며, 상기 트레이의 출입과정에서 대기압상태 및 진공상태를 교번하는 로드락챔버를 포함하는 태양전지 제조장치에서 상기 트레이를 정렬시키는 방법에 있어서,
상기 트레이를 상기 기판이적부로 반입하여 상기 트레이거치대에 올려놓는 제1단계; 상기 정렬수단이 상기 트레이의 측부에서 상기 트레이의 중심방향으로 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 제2단계; 상기 기판이적부에서 정렬된 상기 트레이의 상부에 기판을 로딩시키 제3단계를 포함하는 트레이 정렬방법을 제공한다.
상기 제2단계는, 상기 지지프레임이 상승하여 상기 트레이를 상기 트레이거치대로부터 분리하여 반입된 위치보다 상승시키는 단계; 상기 트레이가 상승된 위치에서 상기 정렬수단이 상기 트레이를 정렬시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제2단계는, 상기 트레이의 중심에 대하여 동일 각도로 이격되어 배치된 다수의 정렬부재가 상기 트레이의 중심방향으로 수평이동하여 상기 트레이의 측면에 힘을 가함으로써 이루어지는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명은, 트레이에서 기판을 언로딩시키는 영역으로서, 상기 트레이를 올려놓는 트레이거치대와, 상기 트레이거치대에 대하여 승강운동이 가능하게 설치되는 지지프레임과 상기 트레이를 정렬시키는 정렬수단을 포함하는 트레이 정렬장치를 구비하는 기판이적부; 상기 기판을 상기 트레이에 적재한 상태에서 공정을 진행하는 공정챔버; 상기 공정챔버와 상기 기판이적부의 사이에 위치하며, 상기 트레이의 출입과정에서 대기압상태 및 진공상태를 교번하는 로드락챔버를 포함하는 태양전지 제조장치에서 상기 트레이를 정렬시키는 방법에 있어서,
상기 트레이를 상기 로드락챔버에서 상기 기판이적부로 반출하여 상기 트레이거치대에 올려놓는 제1단계; 상기 정렬수단이 상기 트레이의 측부에서 상기 트레이의 중심방향으로 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 제2단계; 상기 기판이적부에서 정렬된 상기 트레이로부터 기판을 언로딩시키는 제3단계를 포함하는 트레이 정렬방법을 제공한다.
상기 제2단계는, 상기 지지프레임이 상승하여 상기 트레이를 상기 트레이거치대로부터 분리하여 상기 로드락챔버로부터 반출된 위치보다 상승시키는 단계; 상기 트레이가 상승된 위치에서 상기 정렬수단이 상기 트레이를 정렬시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제2단계는, 상기 트레이의 중심에 대하여 동일 각도로 이격되어 배치된 다수의 정렬부재가 상기 트레이의 중심방향으로 수평이동하여 상기 트레이의 측면에 힘을 가함으로써 이루어지는 것을 특징으로 할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예는 도 1의 기판이적부(10)에 도 2에 도시된 바와 같은 트레이 정렬장치(Aligner)를 추가로 설치한 점에 특징이 있다.
상기 트레이 정렬장치(100)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상하구동부(130)에 의해 승강이 가능한 지지프레임(110), 상기 지지프레임(110)의 상부로 돌출 형성되어 트레이(40)를 직접 지지하는 다수의 지지부재(120), 상기 지지프레임(110)의 측방에 배치되어 트레이(40)를 정렬시키는 정렬부재(140), 상기 정렬부재(140)를 구동시키는 정렬부재구동부(150)를 포함한다.
지지프레임(110)은 트레이(40)의 하중을 지지하면서 상하구동부(130)에 의해 승강하는 구조물이며, 그 형상이 특별히 제한되지는 않는다. 예를 들어 지지프레임(110)은 플레이트 형태일 수도 있고 격자형태일 수도 있다.
이때 지지프레임(110)은 기판이적부(10)를 구성하는 트레이거치대(11)에 방해 받지 않고 승강할 수 있도록 설치되어야 한다.
지지부재(120)는 정렬과정에서 트레이(40)와 지지프레임(110)간의 마찰력을 줄이기 위한 것이다.
이러한 지지부재(120)는 지지프레임(110)과 일체로 형성될 수도 있고 볼트식으로 분리 가능하게 결합될 수도 있으며, 지지부재(120)의 설치위치와 개수는 트레이(40)의 크기나 무게에 따라 달라질 수 있다.
지지부재(120)의 상부에 놓여진 트레이(40)는 정렬부재(142)가 가하는 힘에 의하여 수평 이동할 수 있어야 하므로 지지부재(120)의 상단부에는 지지부재(120)와 트레이(40)의 마찰을 보다 줄일 수 있는 볼베어링 등의 마찰저감부재(122)를 설치하는 것이 바람직하다.
마찰저감부재(122)를 설치하면, 측방에서 가해지는 약간의 힘만으로도 트레이(40)가 수평방향으로 이동할 수 있으므로 트레이(40)의 정렬이 훨씬 용이해진다.
한편, 지지부재(120)는 트레이(40)가 지지프레임(110)과 직접 접하지 않도록 하기 위한 것이므로, 지지부재(120)를 생략하고 지지프레임(110)의 상단부에 볼베어링 등의 마찰저감부재(122)를 설치할 수도 있다.
정렬부재(140)는 도 3의 평면도에 도시된 바와 같이 트레이(40)의 중심을 기준으로 대칭적으로 설치되며, 트레이(40)의 측면에서 중심방향으로 힘을 가해주는 역할을 한다.
따라서 정렬부재(140)의 힘이 트레이(40)의 측면에 제대로 인가되기 위해서는 정렬부재(140)의 단부가 트레이(40)의 측면에 밀착될 수 있는 형상을 가지는 것이 바람직하다.
도 3에 도시된 바와 같이 트레이(40)가 사각 형상이면, 정렬부재(140)가 트레이(40)의 꼭지점을 감쌀 수 있도록 정렬부재(140)의 단부가 직각면을 가지도록 가공하는 것이 바람직하다.
만일 트레이(40)가 원형이면, 도 4에 도시된 바와 같이 정렬부재(140)의 단부가 곡면을 가지도록 가공하는 것이 바람직하다.
한편 정렬부재(140)는 최소한의 개수로 정렬효과를 얻을 수 있는 위치에 설치되는 것이 바람직하다.
따라서 트레이(40)가 사각 형상이면, 도 3에 도시된 바와 같이 트레이(40)의 서로 마주보는 꼭지점에 대응하는 한 쌍의 정렬부재(140)만으로도 트레이(40)를 정렬시키는 것이 가능하다.
만일 트레이(40)가 원형이면, 중심을 기준으로 서로 대향하는 한 쌍의 정렬부재(140)를 이용할 수도 있으나, 도 4에 도시된 바와 같이 3개의 정렬부재(140)를 트레이(40)의 중심에 대하여 서로 등간격으로 배치하는 것이 보다 바람직하다.
하지만 정렬부재(140)의 개수나 위치를 반드시 전술한 경우로 한정하여야 하는 것은 아니며 필요에 따라 변형될 수 있음은 당연하다.
예를 들어 사각의 트레이(40)를 정렬하기 위해서는 트레이(40)의 각 꼭지점에 대응하는 위치에 4개의 정렬부재(140)를 설치할 수도 있고, 도 5에 도시된 바와 같이 트레이(40)의 꼭지점이 아니라 네 변에 대응하는 위치에 4개의 정렬부재(140)를 설치할 수도 있다.
정렬부재구동부(150)는 정렬부재(140)를 트레이(40)의 중심방향으로 왕복운동시키는 역할을 하며, 예를 들어 공압 또는 유압실린더를 이용하여 정렬부재(140)를 수평방향으로 이동시킨다.
또한 정렬부재구동부(150)는 다양한 트레이(40)의 높이에 대응할 수 있도록 정렬부재(140)를 상하로 이동시키는 승강구동 수단을 구비할 수도 있다.
이하에서는 도 6a 내지 도 6e를 이용하여 기판이적부(10)에서 트레이 정렬 장치(100)에 의하여 트레이(40)가 정렬되는 과정을 순서대로 설명한다.
먼저 도 6a에 도시된 바와 같이 트레이 이송로봇이나 컨베이어가 빈 트레이(40)를 기판이적부(10)로 이송하여 트레이거치대(11) 위에 올려 놓는다. 트레이거치대(11) 위에 놓여진 상기 트레이(40)는 트레이 정렬장치(100)의 지지프레임(110)의 상부에 위치하게 된다.
이어서 트레이 정렬장치(100)의 상하구동부(130)가 작동하여 지지프레임(110)을 상승시키면, 도 6b에 도시된 바와 같이 지지프레임(110)이 상승하면서 트레이(40)를 들어올려 트레이거치대(11)로부터 이격시킨다.
이 과정에서 트레이(40)는 지지프레임(110)의 상부로 돌출되는 지지부재(120)의 상단에 놓여지며, 특히 지지부재(120)의 단부에 마찰저감부재(122)가 부착된 경우에는 마찰저감부재(122)의 상단에 의해 지지된다.
트레이(40)가 설정된 높이까지 상승하면, 도 6c에 도시된 바와 같이 예를 들어 사각 트레이(40)의 대각선 방향에 위치한 한 쌍의 정렬부재(140)가 정렬부재구동부(150)에 의해 트레이(40)쪽으로 이동하여 트레이(40)의 마주보는 두 꼭지점을 중심방향으로 밀어서 트레이(40)를 정렬시킨다.
이때 트레이(40)는 마찰저감부재(122)의 상단에 놓여져 있으므로 정렬부재(140)가 트레이(40)를 이동시키는데 큰 힘이 요구되지는 않는다.
정렬부재(140)를 설정된 위치까지 이동시켜 트레이(40)를 정렬시킨 이후에 는 정렬부재(140)의 작동을 중단시키고 도 6d에 도시된 바와 같이 트레이(40)에 기판(s)을 올려 놓은 작업을 시작한다.
이와 같이 정렬부재(140)가트레이(40)를 지지한 상태에서 기판 로딩작업을 진행하면 기판(s)을 정확한 위치에 올려 놓을 수 있는 장점이 있지만, 반드시 이 상태에서 기판로딩 작업을 수행해야 하는 것은 아니므로 정렬부재(140)에 의해 정렬된 트레이(40)를 하강시킨 상태에서 트레이(40)에 기판(s)을 올려 놓는 것도 가능하다.
정렬부재(140)가 트레이(40)를 지지하는 상태에서 기판 로딩작업을 진행한 경우에는 기판 로딩작업을 완료한 다음 트레이(40)를 로드락챔버(20)로 반입시키기 위해 도 6e에 도시된 바와 같이 트레이(40)를 다시 하강시켜서 트레이거치대(11)위에 올려 놓아야 한다.
트레이거치대(11)에 트레이(40)가 놓여지면, 도 1과 관련하여 설명한 바와 같이 로드락챔버(20)에 연결된 제1슬롯밸브(60)를 열어서 로드락챔버(20)의 내부로 트레이(40)를 반송한다.
이어서 로드락챔버(20)에서 진공펌핑을 실시한 이후에 제2슬롯밸브(70)를 열어서 공정챔버(30)로 트레이(40)를 이송하고, 공정챔버(30)의 내부에서 공정을 진행한다.
공정챔버(30)에서 공정을 마친 트레이(40)는 다시 로드락챔버(20)를 거쳐서 기판이적부(10)의 트레이거치대(11)로 다시 반출된다.
트레이거치대(11)에 트레이(40)가 놓여지면 기판이송로봇(50)이 기판(s)을 픽업하여 기판카세트로 이송한다. 이때 기판이송로봇(50)이 정확하게 기판(s)을 픽업할 수 있도록 기판로딩의 경우와 마찬가지로 지지프레임(110)을 상승시켜서 정렬부재(140)를 이용하여 트레이(40)를 한번 더 정렬시킨 상태에서 기판(s)을 이적하는 것이 보다 바람직하다.
이때 정렬부재(140)를 이용하여 트레이(40)를 정렬한 후에 다시 트레이(40)를 하강시켜 트레이거치대(11)에 올려 놓은 상태에서 기판(s)을 이적하는 것도 가능함은 물론이다.
한편 이상에서는 기판이적부(10)에서 기판의 로딩과 언로딩이 모두 진행되는 태양전지 제조시스템을 예를 들어 본 발명의 실시예를 설명하였다.
그러나 이는 예시에 불과한 것이어서 트레이에 기판을 로딩하는 로딩영역과 공정을 마친 트레이에서 기판을 언로딩하는 언로딩영역이 서로 분리되어 있는 경우도 있다.
즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1기판이적부(210), 로딩용 로드락챔버(220), 공정챔버(230), 언로딩용 로드락챔버(240), 제2기판이적부(250)의 순으로 기판을 안치한 트레이가 이동하도록 태양전지 제조시스템을 구성할 수도 있다.
이 경우에는 로딩작업을 수행하는 제1기판이적부(210)와 언로딩작업을 수행하는 제2기판이적부(250)에 각각 전술한 트레이 정렬장치(100)를 설치할 수 있다.
한편, 로드락챔버(220)(240)는 트레이의 이송과정에서 주기적으로 진공펌핑과정을 거쳐야 하기 때문에 용적이 커지면 진공펌핑 시간의 증가로 인해 생산성이 저하된다.
이를 방지하기 위해서는 로드락챔버(220)(240)의 내부에 트레이안치용 슬롯을 하나만 설치하는 것이 바람직하며, 이 경우에는 트레이 반입속도를 높이기 위하여 도 8에 예시된 바와 같이 로드락챔버(220)와 제1기판이적부(210)의 사이에 트레이안치용 슬롯을 2이상 구비하는 버퍼챔버(260)를 설치할 수 있다.
이때 버퍼챔버(260)는 대기압 상태를 유지하며, 트레이를 승강시키면서 연속적으로 로드락챔버(220)의 내부로 반입하기 위하여 트레이안치대를 승강시키는 승강수단과 로드락챔버(220)로 이송하는 롤러 등의 이송수단을 구비하는 것이 바람직하다.
한편 이상에서는 트레이정렬장치(100)를 기판이적부에 설치하는 경우만을 설명하였으나, 이러한 트레이정렬장치(100)를 공정챔버나 로드락챔버의 내부에 설치하여 트레이의 위치를 정렬시키는 수단으로 사용할 수도 있다.
본 발명에 따르면, 태양전지 제조시스템에 사용되는 트레이에 기판을 로딩하거나 언로딩하기 전에 트레이의 위치를 정렬할 수 있기 때문에 기판이송의 정확성을 높일 수 있다.
또한 태양전지 제조시스템의 내부에서 공정이 진행되는 동안 트레이의 위치가 정확하게 제어될 수 있기 때문에 공정불량이나 부품손상 등을 방지할 수 있다.

Claims (19)

  1. 태양전지용 기판을 다수 적재하는 용도의 트레이를 정렬하는 장치로서,
    상기 트레이를 거치하는 지지프레임;
    상기 지지프레임에 놓여진 상기 트레이에 수평방향의 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 정렬수단;
    을 포함하는 트레이 정렬장치
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지프레임의 상부에는 마찰저감부재가 형성되는 것을 특징으로 하는 트레이 정렬장치
  3. 제2항에 있어서,
    상기 마찰저감부재는 볼 베어링인 것을 특징으로 하는 트레이 정렬장치
  4. 제2항에 있어서,
    상기 지지프레임의 상부에는 상기 트레이가 놓여지는 다수의 지지부재가 돌 출되고, 상기 마찰저감부재는 상기 지지부재의 상단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 트레이 정렬장치
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지프레임을 승강시키는 상하구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 정렬장치
  6. 제1항에 있어서,
    상기 정렬수단은,
    상기 지지프레임의 측부에 위치하는 다수의 정렬부재;
    상기 다수의 정렬부재를 수평방향으로 이동시키는 정렬부재구동부;
    를 포함하며, 상기 다수의 정렬부재가 상기 지지프레임에 놓여진 상기 트레이의 측면에 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 것을 특징으로 하는 트레이 정렬장치
  7. 제6항에 있어서,
    상기 트레이는 사각형상이고, 상기 다수의 정렬부재는 각각 상기 트레이의 2변에 동시에 접하는 직각면을 가지는 것을 특징으로 하는 트레이 정렬장치
  8. 태양전지용 기판을 트레이에 다수 적재하여 공정을 진행하는 태양전지 제조장치에 있어서,
    상기 다수의 기판을 상기 트레이에 로딩시키거나 상기 트레이로부터 언로딩시키는 영역으로서, 상기 트레이를 올려놓는 트레이거치대와 상기 트레이를 정렬하는 트레이 정렬장치를 포함하는 기판이적부;
    상기 다수의 기판을 상기 트레이에 적재한 상태에서 공정을 진행하는 공정챔버;
    상기 공정챔버와 상기 기판이적부의 사이에 위치하며, 트레이의 출입과정에서 대기압상태 및 진공상태를 교번하는 로드락챔버;
    를 포함하는 태양전지 제조장치
  9. 제8항에 있어서,
    상기 트레이 정렬장치는,
    상기 트레이를 거치하며 상기 트레이거치대에 대하여 승강운동이 가능하게 설치되는 지지프레임;
    상기 지지프레임에 놓여진 상기 트레이에 수평방향의 힘을 가하여 상기 트 레이를 정렬시키는 정렬수단;
    을 포함하는 태양전지 제조장치
  10. 제9항에 있어서,
    상기 지지프레임의 상부에는 마찰저감부재가 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조장치
  11. 제10항에 있어서,
    상기 마찰저감부재는 볼 베어링인 것을 특징으로 하는 태양전지 제조장치
  12. 제9항에 있어서,
    상기 지지프레임의 상부에는 상기 트레이가 놓여지는 다수의 지지부재가 돌출되고, 상기 마찰저감부재는 상기 지지부재의 상단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조장치
  13. 제9항에 있어서,
    상기 정렬수단은,
    상기 지지프레임의 측부에 위치하는 다수의 정렬부재;
    상기 다수의 정렬부재를 수평방향으로 이동시키는 정렬부재구동부;
    를 포함하며, 상기 다수의 정렬부재가 상기 지지프레임에 놓여진 상기 트레이의 측면에 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조장치
  14. 트레이에 기판을 로딩시키는 영역으로서, 상기 트레이를 올려놓는 트레이거치대와, 상기 트레이거치대에 대하여 승강운동이 가능하게 설치되는 지지프레임과 상기 트레이를 정렬시키는 정렬수단을 포함하는 트레이 정렬장치를 구비하는 기판이적부;
    상기 기판을 상기 트레이에 적재한 상태에서 공정을 진행하는 공정챔버;
    상기 공정챔버와 상기 기판이적부의 사이에 위치하며, 상기 트레이의 출입과정에서 대기압상태 및 진공상태를 교번하는 로드락챔버를 포함하는 태양전지 제조장치에서 상기 트레이를 정렬시키는 방법에 있어서,
    상기 트레이를 상기 기판이적부로 반입하여 상기 트레이거치대에 올려놓는 제1단계;
    상기 정렬수단이 상기 트레이의 측부에서 상기 트레이의 중심방향으로 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 제2단계;
    상기 기판이적부에서 정렬된 상기 트레이의 상부에 기판을 로딩시키 제3단계;
    를 포함하는 트레이 정렬방법
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제2단계는,
    상기 지지프레임이 상승하여 상기 트레이를 상기 트레이거치대로부터 분리하여 반입된 위치보다 상승시키는 단계;
    상기 트레이가 상승된 위치에서 상기 정렬수단이 상기 트레이를 정렬시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 정렬방법
  16. 제14항에 있어서,
    상기 제2단계는, 상기 트레이의 중심에 대하여 동일 각도로 이격되어 배치된 다수의 정렬부재가 상기 트레이의 중심방향으로 수평이동하여 상기 트레이의 측면에 힘을 가함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 트레이 정렬방법
  17. 트레이에서 기판을 언로딩시키는 영역으로서, 상기 트레이를 올려놓는 트레이거치대와, 상기 트레이거치대에 대하여 승강운동이 가능하게 설치되는 지지프레임과 상기 트레이를 정렬시키는 정렬수단을 포함하는 트레이 정렬장치를 구비하는 기판이적부;
    상기 기판을 상기 트레이에 적재한 상태에서 공정을 진행하는 공정챔버;
    상기 공정챔버와 상기 기판이적부의 사이에 위치하며, 상기 트레이의 출입과정에서 대기압상태 및 진공상태를 교번하는 로드락챔버를 포함하는 태양전지 제조장치에서 상기 트레이를 정렬시키는 방법에 있어서,
    상기 트레이를 상기 로드락챔버에서 상기 기판이적부로 반출하여 상기 트레이거치대에 올려놓는 제1단계;
    상기 정렬수단이 상기 트레이의 측부에서 상기 트레이의 중심방향으로 힘을 가하여 상기 트레이를 정렬시키는 제2단계;
    상기 기판이적부에서 정렬된 상기 트레이로부터 기판을 언로딩시키는 제3단계;
    를 포함하는 트레이 정렬방법
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제2단계는,
    상기 지지프레임이 상승하여 상기 트레이를 상기 트레이거치대로부터 분리하여 상기 로드락챔버로부터 반출된 위치보다 상승시키는 단계;
    상기 트레이가 상승된 위치에서 상기 정렬수단이 상기 트레이를 정렬시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 정렬방법
  19. 제17항에 있어서,
    상기 제2단계는, 상기 트레이의 중심에 대하여 동일 각도로 이격되어 배치된 다수의 정렬부재가 상기 트레이의 중심방향으로 수평이동하여 상기 트레이의 측면에 힘을 가함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 트레이 정렬방법
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101020051B1 (ko) * 2008-12-05 2011-03-09 (주)리드 태양 전지 모듈 제조를 위한 레이업 시스템 및 그 시스템에 사용되는 어셈블리 유닛
CN102332502A (zh) * 2011-10-28 2012-01-25 天津必利优科技发展有限公司 太阳能组件组框机边框防划机构
KR101281465B1 (ko) * 2011-09-27 2013-07-03 주식회사 포틱스 웨이퍼 트레이 클램핑 장치
KR101355916B1 (ko) * 2011-08-31 2014-01-28 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 기판 이송 방법
KR101380978B1 (ko) * 2011-12-09 2014-04-02 주식회사 탑 엔지니어링 합착장치
KR101415999B1 (ko) * 2012-12-20 2014-07-08 주식회사 테스 기판처리장치
KR101510531B1 (ko) * 2013-09-04 2015-04-08 주식회사 포스코 보정결합유닛 및 이를 포함한 쌍롤식 박판 주조장치
CN106784394A (zh) * 2013-12-30 2017-05-31 Sfa工程股份有限公司 用于附着玻璃与掩模的设备及方法、以及用于装载基板的系统及方法
CN108122809A (zh) * 2016-11-30 2018-06-05 圆益Ips股份有限公司 基板处理系统
CN110265342A (zh) * 2019-07-02 2019-09-20 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 晶片定位装置及晶片加工系统
CN112428714A (zh) * 2020-10-21 2021-03-02 浙江爱旭太阳能科技有限公司 一种se叠瓦电池电极印刷系统的对位方法
CN112477459A (zh) * 2020-10-21 2021-03-12 浙江爱旭太阳能科技有限公司 一种se叠瓦电池印刷系统的对位方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200142882Y1 (ko) * 1994-12-31 1999-06-01 이해규 트레이 정렬장치
JPH09283602A (ja) * 1996-04-08 1997-10-31 Sony Corp トレイの位置決め装置
JP2000044059A (ja) * 1998-07-28 2000-02-15 Ando Electric Co Ltd ハンドラのデバイス収納機構
KR100646161B1 (ko) * 1999-06-03 2006-11-14 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 얼라인 장치

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101020051B1 (ko) * 2008-12-05 2011-03-09 (주)리드 태양 전지 모듈 제조를 위한 레이업 시스템 및 그 시스템에 사용되는 어셈블리 유닛
KR101355916B1 (ko) * 2011-08-31 2014-01-28 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 기판 이송 방법
KR101281465B1 (ko) * 2011-09-27 2013-07-03 주식회사 포틱스 웨이퍼 트레이 클램핑 장치
CN102332502A (zh) * 2011-10-28 2012-01-25 天津必利优科技发展有限公司 太阳能组件组框机边框防划机构
KR101380978B1 (ko) * 2011-12-09 2014-04-02 주식회사 탑 엔지니어링 합착장치
KR101415999B1 (ko) * 2012-12-20 2014-07-08 주식회사 테스 기판처리장치
KR101510531B1 (ko) * 2013-09-04 2015-04-08 주식회사 포스코 보정결합유닛 및 이를 포함한 쌍롤식 박판 주조장치
CN106784394B (zh) * 2013-12-30 2018-10-09 Sfa工程股份有限公司 用于附着玻璃与掩模的设备及方法、以及用于装载基板的系统及方法
CN106784394A (zh) * 2013-12-30 2017-05-31 Sfa工程股份有限公司 用于附着玻璃与掩模的设备及方法、以及用于装载基板的系统及方法
CN108122809A (zh) * 2016-11-30 2018-06-05 圆益Ips股份有限公司 基板处理系统
KR20180061675A (ko) * 2016-11-30 2018-06-08 주식회사 원익아이피에스 기판처리시스템
CN108122809B (zh) * 2016-11-30 2021-11-26 圆益Ips股份有限公司 基板处理系统
CN110265342A (zh) * 2019-07-02 2019-09-20 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 晶片定位装置及晶片加工系统
CN110265342B (zh) * 2019-07-02 2021-07-02 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 晶片定位装置及晶片加工系统
CN112428714A (zh) * 2020-10-21 2021-03-02 浙江爱旭太阳能科技有限公司 一种se叠瓦电池电极印刷系统的对位方法
CN112477459A (zh) * 2020-10-21 2021-03-12 浙江爱旭太阳能科技有限公司 一种se叠瓦电池印刷系统的对位方法
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