KR101108484B1

KR101108484B1 - 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼장치

Info

Publication number: KR101108484B1
Application number: KR1020090022416A
Authority: KR
Inventors: 장수호
Original assignee: 주식회사 포틱스
Priority date: 2009-03-17
Filing date: 2009-03-17
Publication date: 2012-01-31
Also published as: KR20100104175A

Abstract

본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템 중 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치에 관한 것이다.

이러한 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치는, 2개의 매거진 및 보우트 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바를 포함하며, 모터 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 픽커를 원하는 위치에 수평이송시키는 픽커수평이송유닛과; 상기 수평가이드바에 연결 설치되며, 전면(前面)에 수직가이드레일을 구비하면서 픽커를 승하강시키기 위한 픽커승강유닛을 지지하는 지지프레임과; 상기 수직가이드레일에 연결 설치되며, 모터 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진 및 보우트로부터 픽커를 승하강시키는 픽커승강유닛과; 상기 픽커승강유닛의 일단에 연결브라켓을 통해 설치 고정되며, 픽커승강유닛의 구동에 따른 매거진으로부터 웨이퍼를 취부하여 상승시키거나 또는 로테이트 픽커 유닛에 파지된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼를 취부한 상태로 하강하여 보우트에 안착시키는 픽커유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

따라서 본 발명에 의하면, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 한 번에 로테이트 픽커 유닛에 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 취부 하강하여 보우트에 안착시 키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화를 이뤄 이를 통한 웨이퍼 이송작업의 간편성 및 정확성을 이룰 수 있음은 물론, 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화에 따른 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급할 수 있음과 아울러, 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.

솔라 셀, 웨이퍼, 트랜스퍼 시스템, 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치, 매거진 엘리베이터 유닛, 보우트 엘리베이터 유닛, 픽커수평이송유닛, 픽커승강유닛, 픽커유닛, 고정픽커, 이송픽커, 매거진, 보우트

Description

솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치{The elevator and transfer device for using solar cell wafer transfer system}

본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로테이트 픽커 유닛(Rotate Picker Unit), 픽커 트랜스퍼 유닛(Picker Transfer unit), 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(Elevator & Transfer Unit), 매거진 및 보우트 로더 유닛(Magazine & Boat Loader Unit)으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(Wafer Transfer System) 중 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛에 대해 두 개의 매거진 내에 슬라이드 이송되면서 각기 안착된 웨이퍼를 파지하여 로테이트 픽커 유닛 측으로 공급시키기 위한 상승작용 및 보우트 내에 슬라이드 이송되면서 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 파지하여 보우트 내에 안착시키기 위한 하강작용을 이룰 수 있도록 구성함으로써, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 한 번에 로테이트 픽커 유닛에 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 취부 하강하여 보우트에 안착시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화를 이뤄 이를 통한 웨이퍼 이송작업의 간편성 및 정확성을 이룰 수 있음과 아울러 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있도록 한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.

이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.

한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 상기 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계) → 솔라 셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라 셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.

그러나, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중에서 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라 셀 웨이퍼를 전기로에 공급하여 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업인 도핑 주입 공정을 수행하기 위한 준비과정으로서, 작업자가 일일이 각 낱장의 웨이퍼를 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹친 다음 이를 전기로 공급용 보우트 측으로 이송하여 상기 보우트의 각 슬롯에 삽입 안착시키는 등 상기 준비과정이 수동으로 이루어짐에 따라 이에 대한 작업공정이 매우 번거롭고 복잡할 뿐만 아니라, 상기 준비과정에 따른 작업시간 역시 오래 걸리게 되는 등의 커다란 문제점이 있었다.

또한, 상기와 같이 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위한 웨이퍼를 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보우트에 안착시킴에 있어 이의 과정 모두 작업자가 수동으로 수행하기 때문에 이에 따른 웨이퍼 이송작업의 간편성 및 정확성을 이룰 수 없는 등의 문제점 역시 있었다.

그리고, 상기와 같이 웨이퍼의 이송작업과정이 수동으로 이루어지기 때문에 솔라 셀 웨이퍼를 전기로에 공급하기 위한 준비과정 자체가 오래 걸림으로 인해 규정된 시간 내에 많은 양의 웨이퍼를 보우트 측에 이송시킬 수 없으며, 이와 같은 문제점을 토대로 할 때 제품의 생산성 및 경제성 역시 크게 저하될 수밖에 없는 등 의 문제점도 있었다.

상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 구성요소 중 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛에 대해 두 개의 매거진 내에 슬라이드 이송되면서 각기 안착된 웨이퍼를 파지하여 로테이트 픽커 유닛 측으로 공급시키기 위한 상승작용 및 보우트 내에 슬라이드 이송되면서 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 파지하여 보우트 내에 안착시키기 위한 하강작용을 이룰 수 있도록 구성함으로써, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 한 번에 로테이트 픽커 유닛에 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 취부 하강하여 보우트에 안착시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화를 이뤄 이를 통한 웨이퍼 이송작업의 간편성 및 정확성을 이룰 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명의 경우 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화에 따라 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급할 수 있도록 하는데 다른 목적이 있다.

그리고, 본 발명의 경우 상기와 같이 장치적 자동화를 이룬 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛을 통해 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함에 따라 이에 따른 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 상기 웨이퍼에 대한 대량생산 역시 가능할 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.

본 발명에 대한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치는, 로테이트 픽커 유닛, 픽커 트랜스퍼 유닛, 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛, 매거진 및 보우트 로더 유닛으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서,

상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛은, 2개의 매거진 및 보우트 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바를 포함하며, 모터 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 픽커를 원하는 위치에 수평이송시키는 픽커수평이송유닛과;

상기 수평가이드바에 연결 설치되며, 전면(前面)에 수직가이드레일을 구비하면서 픽커를 승하강시키기 위한 픽커승강유닛을 지지하는 지지프레임과;

상기 수직가이드레일에 연결 설치되며, 모터 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진 및 보우트로부터 픽커를 승하강시키는 픽커승강유닛과;

상기 픽커승강유닛의 일단에 연결브라켓을 통해 설치 고정되며, 픽커승강유닛의 구동에 따른 매거진으로부터 웨이퍼를 취부하여 상승시키거나 또는 로테이트 픽커 유닛에 파지된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼를 취부한 상태로 하강하여 보우트에 안착시키는 픽커유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

이러한 본 발명의 경우 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 한 번에 로테이트 픽커 유닛에 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛을 통해 회전 이송된 웨이퍼를 취부 하강하여 보우트에 안착시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화를 이뤄 이를 통한 웨이퍼 이송작업의 간편성 및 정확성을 이룰 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.

또한, 본 발명의 경우 웨이퍼의 이송작업에 대한 장치적 자동화에 따라 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급할 수 있는 등의 효과 역시 있다.

그리고, 본 발명의 경우 상기와 같이 장치적 자동화를 이룬 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛을 통해 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함에 따라 이에 따른 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 상기 웨이퍼에 대한 대량생산 역시 가능할 수 있는 효과 등도 있다.

본 발명에 대한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(이하, 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치라 함)에 대하여 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 정 면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 측면도를 나타낸 것이며, 도 5는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 평면도를 나타낸 것이다.

또한, 도 6은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치 중 매거진 엘리베이터 유닛의 분해도 및 세부 상세도를 나타낸 것이고, 도 7은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치 중 보우트 엘리베이터 유닛의 분해도 및 세부 상세도를 나타낸 것이다.

본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)에 대해 상세히 설명하기에 앞서, 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(Solar Cell Wafer Transfer System)(1)에 대하여 간략히 설명하면, 이는 각 픽커(14,21)의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진(Magazine)(M) 내에 개별적으로 삽입되어 있는 웨이퍼(W)를 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하여 전기로(미도시)에 공급하기 위한 보우트(Boat)(B) 측으로 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼(W)를 짧은 시간에 보우트(B) 측에 이송시키는데 사용되는 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이 베이스판(5) 상단 중앙에 고정된 수평가이드바(41a)의 상단에 사각 브라켓 형태의 이송대(41)가 슬라이드 이송 가능하게 설치되되, 이송대구동모터(미도시)와 연결되어 이의 회전력을 전달받아 회전하는 볼스크류(미도시)에 상기 이송대(41)의 하단이 나사 결합되어 상기 이송대구동모터 구동에 의한 볼스크류의 회전 시 발생되는 나사이송작용과 대응되어 상기 이송대(41)가 볼스크류의 외주면을 따라 좌우로 직선이송되면서 상기 이송대(41)의 상단에 고정된 메인구동모터(12)와 함께 상기 메인구동모터(12)의 상단에 위치 고정되는 로테이트 픽커 유닛(10)을 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(85a,87a)와 대응되도록 2개의 매거진(M) 즉, 일측 매거진(M)과 이웃한 타측 매거진(M) 사이를 직선이송시킴과 동시에 상기 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 상기 로테이트 픽커 유닛(10)을 보우트(B) 측으로 180도 회전시키는 픽커 트랜스퍼 유닛(Picker Transfer unit)(40)과; 상기 메인구동모터(12)의 상단에 고정되어 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 일측으로 이격 설치된 2개의 매거진(M)으로부터 승,하강작용을 이루는 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(85a,87a)에 의해 상승된 웨이퍼(W)를 취부하여 상기 웨이퍼(W)를 메인구동모터(12)의 회전작용에 따라 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 타측에 이격 설치된 보우트(B) 측으로 회전이송 공급하는 로테이트 픽커 유닛(Rotate Picker Unit)(10)과; 각기 픽커(85a,87a)(85b,87b)를 구비한 매거진 엘리베이터 유닛(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(55)으로 구분되어 2개의 매거진(M)과 보우트(B) 내에서 수평이송과 승하강이 가능하게 설치됨과 동시에 상기 픽커(85a,87a)(85b,87b)의 승강작용을 통해 매거진(M)에서 웨이퍼(W)를 상승시켜 로테이트 픽커 유닛(10) 측으로 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛(10)으로부터 웨이퍼(W)를 공급받아 보우트(B) 측으로 하강 안착시키는 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(Elevator & Transfer Unit)(50)과; 매거진 로더 유닛(91)과 보우트 로더 유닛(95)으로 구분되어 2개의 매거진(M) 사이 및 양 끝단과 보우트(B)의 일측단에 각각 설치됨과 동시에 상기 매거진 로더 유닛(91)을 통해 2개의 매거진(M)을 서로 반대방향으로 로딩하여 2개의 매거진(M)에 내삽된 웨이퍼(W)를 서로 대향된 한쪽 방향으로 정렬시키고, 상기 보우트 로더 유닛(95)을 통해 보우트 슬롯(Bs)의 각도에 맞게 로딩하여 보우트(B)의 각도를 셋팅해 웨이퍼(W)의 안착이 원활하도록 하는 매거진 및 보우트 로더 유닛(Magazine & Boat Loader Unit)(90)으로 구성되어 있다.

여기서, 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(50)의 경우 각기 픽커(85a,87a)(85b,87b)를 구비한 매거진 엘리베이터 유닛(Magazine Elevator Unit)(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(Boat Elevator Unit)(51a)으로 구분되어 2개의 매거진(M)과 보우트(B) 내에서 수평이송과 승하강이 가능하도록 설치되는데, 이때 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)은 로딩된 매거진(M) 밑에서 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(85a,87a)가 웨이퍼(W)를 잡고 상승시켜 로테이트 픽커 유닛(10) 측으로 공급하는 역할을 수행하며, 상기 보우트 엘리베이터 유닛(55)은 보우트(B) 밑에서 보우트 엘리베이터 유닛(55)의 픽커(85b,87b)가 상승하여 로테이트 픽커 유닛(10)이 파지하고 있는 웨이퍼(W)를 잡아 아래로 하강하면서 보우트 슬롯(Bs)에 웨이퍼(W)를 집어넣는 역할을 수행하는 장치적 요소로서, 이에 대한 설명은 이하에서 기술되는 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)에서 상세히 설명하기로 한다.

또한, 상기 로테이트 픽커 유닛(10)의 경우 로딩(Loading)된 두 개의 매거진(M)으로부터 순차적으로 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(85a,87a)에 의해 1차로 상승된 웨이퍼(W)를 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 개별 흡착하고, 상기 웨이퍼(W)가 1차 진공흡착된 상태에서 2차로 상승되는 또 다른 웨이퍼(W)의 일면이 1차 진공흡된 웨이퍼(W)의 일면에 상호 겹쳐져 면착되는 상태로 상승하여 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 하나의 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 진공흡착된 후 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 180도 회전을 하여 매거진(M) 뒤쪽에 로딩되어 있는 보우트(B)에 이송 공급하는 역할을 수행하는 장치적 요소로서, 메인구동모터(12)의 상단에 고정되는 베이스프레임의 좌우 양측에 진공픽커(14)와 회동픽커유닛(20)을 구비하며, 일측 매거진(M)으로부터 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(85a,87a)가 웨이퍼(W)를 결착한 상태로 1차 상승하여 상기 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 웨이퍼(W)가 1차 흡착되고, 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40) 중 이송대(41)의 직선이송작용에 따라 이웃한 타측 매거진(M)과 대응되는 위치로 이송된 진공픽커(14) 측에 상기 이웃한 타측 매거진(M)으로 직선이송된 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(85a,87a)를 통해 상기 타측 매거진(M)으로부터 또 다른 웨이퍼(W)가 결착된 상태로 1차 진공흡착된 웨이퍼(W)의 일면에 또 다른 웨이퍼(W)의 일면이 상호 겹쳐져 면착되도록 상승하여 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 하나의 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 흡착됨과 아울러, 상기 진공픽커(14)에 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 흡착된 웨이퍼(W)를 픽커(85a,87a)에 결착시켜 진공해제와 함께 하강시킨 후 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 진공픽커(14)와 회동픽커유닛(20)의 위치를 180도 전환시킴과 동시에 픽커(85a,87a)를 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 최종 상승된 웨이퍼(W)에 대하여 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21) 일단에 설치된 회동픽커구동모터(24)의 구동에 따라 각 회동픽커(21)를 서로 대향되게 회동시켜 상기 웨이퍼(W)를 고정 취부하는 진공/회동픽커유닛(11)과; 상기 진공/회동픽커유닛(11)의 상단 일측에 설치되며, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 사이드푸셔유닛(30)으로 구성되는데, 이때 상기 진공/회동픽커유닛(11)의 경우 매거진(M)으로부터 상승된 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 개별적으로 취부하는 진공픽커(14)와; 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)의 양측면 상하측으로 각각 회동하여 취부하는 회동픽커유닛(20)과; 상기 회동픽커유닛(20) 및 상기 회동픽커유닛의 각 회동픽커(21)를 회동시키는 회동픽커유닛구동모터(23) 및 회동픽커구동모터(24)로 이루어져 있다.
즉, 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 이송대(41) 상단에 위치된 메인구동모터(12)의 상단에 설치 고정되는 로테이트 픽커장치(10) 중 진공픽커(14)가 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 로딩된 두 개의 매거진(M) 측으로 회동 위치된 상태에서, 상기 로딩된 두 개의 매거진(M) 중 일측의 매거진(M)으로부터 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 상승 구동에 따라 픽커(85a,87a)와 함께 상기 픽커(85a,87a)에 결착된 웨이퍼(W)가 상승하면서 상기 진공픽커(14)의 일면에 병렬형태로 다수 형성된 각 슬롯(17) 사이로 웨이퍼(W)가 삽입됨과 동시에 상기 각 슬롯(17)의 측면 양측에 형성된 흡착구(미도시)를 통해 진공작용에 따른 진공 흡착력이 작용되면서 상기 각 슬롯(17) 측면에 웨이퍼(W)가 개별적으로 진공 흡착되어 1차 취부되고, 이의 상태에서 이와 연동적으로 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 구성요소인 이송대(41)의 슬라이드 이송작용에 따라 이웃한 타측의 매거진(M) 측으로 상기 진공픽커(14)가 대응되도록 로테이트 픽커장치(10)가 이송됨과 동시에 상기 타측의 매거진(M)으로부터 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 상승 구동에 따라 이 역시 픽커(85a,87a)에 결착된 웨이퍼(W)가 상승하여 이의 일면인 사용 반대측면과 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 취부된 웨이퍼(W)의 일면인 사용 반대측면이 서로 면착되는 상태로 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)까지 상승하게 되고, 이의 상승작용을 통해 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 취부되는 제1취부공정이 이루어지게 된다.
그리고, 상기 제1취부공정을 통해 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태에서 상기 진공픽커(14)에 작용되었던 진공 흡착력이 해제되면서 상기 진공픽커(14)로부터 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 분리됨과 동시에 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(85a,87a)에 결착되어 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 하강 구동에 따라 픽커(85a,87a)와 함께 상기 픽커(85a,87a)에 2장씩 겹쳐진 상태로 결착된 웨이퍼(W)가 하강하여 상기 타측의 매거진(M) 상단 일정높이에 위치되고, 이의 상태에서 메인구동모터(12)가 반대방향으로 회전하는 회전작용을 통해 회동픽커유닛(20)이 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 위치한 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치된 후, 상기와 같이 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치한 회동픽커유닛(20)이 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 상기 회동픽커유닛(20) 중 2개의 회동픽커(21)가 양단에 고정된 픽커고정프레임이 45도 각도로 회전되면서 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 상승 구동에 따라 상기 픽커(85a,87a)에 결착된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 상승함과 동시에 상기 회동픽커구동모터(24)에 의해 각 회동픽커(21)가 각각 시계방향 및 반시계방향으로 회동하면서 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 양측면 상,하측으로 회동 위치되는 제2취부공정이 이루어지되, 상기 제1취부공정과 제2취부공정이 연속적으로 이루어지면서 하나의 슬롯(22)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 삽입 취부되도록 구성된 것이다.
미 설명 부호 17 및 22는 진공픽커(14)와 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21) 일측면에 다수 형성된 슬롯(17,22)을 나타낸 것이다.

그리고, 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 경우 앞서 밝힌 바와 같이 베이스판(5) 상단 중앙에 수평가이드바(41a)가 설치 고정되고, 상기 수평가이드바(41a)의 상단에 이송대구동모터(미도시)와 연결되어 회전하는 볼스크류(미도시)와 나사 결합된 상태로 사각 브라켓 형태의 이송대(41)가 슬라이드 이송 가능하게 설치되어 있는데, 이때 상기 이송대구동모터의 구동에 따라 회전하는 볼스크류의 나사모양에 의한 나사이송작용이 발생하게 되고, 상기 볼스크류와 나사 결합된 이송대는 상기 볼스크류의 나사이송작용과 대응되어 회전하는 볼스크류의 외주면을 따라 직선이송이 이루어지는 등 상기 수평가이드바(41a)에 안내되어 직선왕복이송이 이루어지게 되면서 상기 이송대의 상단에 고정된 메인구동모터(12) 및 이의 상단에 고정된 로테이트 픽커 유닛(10)을 X-축 방향인 수평가이드바(41a)의 길이방향으로 직선왕복이송시킴과 동시에 모터라이즈 스테이지(motorized stage)인 메인구동모터(12)를 통해 로테이트 픽커 유닛(10)을 180도 회전시키는 역할을 수행한다.
여기서, 상기 수평가이드바(41a)의 상단에 설치된 이송대(41)가 직선왕복이송되기 위한 작동방식의 경우 앞서 밝힌 바와 같이 이송대구동모터와 함께 상기 이송대구동모터의 회전력을 전달받아 회전하는 볼스크류와 상기 이송대(41)의 하단이 나사 결합되어 상기 이송대구동모터 구동에 의한 볼스크류의 회전시 발생되는 나사이송작용과 대응되어 상기 이송대가 볼스크류의 외주면을 따라 좌,우로 직선이송되는 것으로서, 이와 같은 작동방식은 통상적으로 이송부재가 승하강이나, 직선왕복이송하는데 있어, 공지기술 즉, 모터 구동에 의해 회전하는 볼스크류의 나사이송작용에 따라 이송부재가 좌우로 직선왕복이송되거나, 상하로 승하강이 이루어지는 것은 해당기술분야에서 종사하는 통상의 기술자라면 누구나 알고 있고, 누구나 사용하는 일반적인 공지의 기술 및 구조라는 것을 밝혀둔다.

마지막으로, 상기 매거진 및 보우트 로더 유닛(90)의 경우 매거진(M)을 로딩하는 매거진 로더 유닛(Magazine Loader Unit)(91)과 보우트(B)를 로딩하는 보우트 로더 유닛(Boat Loader Unit)(95)으로 구분되어 2개의 매거진(M) 사이 및 양 끝단과 보우트(B)의 일측단에 각각 설치되는데, 이때 상기 매거진 로더 유닛(91)은 두 개의 매거진(M) 사이에 설치된 중앙실린더(92)가 각 매거진(M)의 일측단을 올린 후 양 사이드 즉, 각 매거진(M)의 타측면에 대응 설치된 측면실린더(93)가 각 매거진(M)을 연속적으로 밀면서 상기 두 개의 매거진(M)을 서로 반대방향으로 로딩하여 상기 2개의 매거진(M)에 내삽된 웨이퍼(W)를 서로 대향된 한쪽 방향으로 정렬시키는 역할을 수행하며, 상기 보우트 로더 유닛(95)은 보우트 슬롯(Bs) 각도에 맞춰 셋팅하는 역할을 수행함과 아울러, 상기와 같이 슬롯(Bs) 각도에 맞게 셋팅 후 로딩된 보우트 슬롯(Bs)에 보우트 엘리베이터 유닛(51a)의 하강작동을 통해 웨이퍼(W)를 집어넣게 된다.

이상과 같이 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1) 중 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛인 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)의 경우 전술한 바와 같이 각기 픽커(85a,87a)(85b,87b)를 구비한 매거진 엘리베이터 유닛(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(51a)으로 구분되는데, 이때 상기와 같이 구분된 매거진 엘리베이터 유닛(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(51a)의 경우 매거진(M)측과 보우트(B)측에 각각 설치되는 것일 뿐, 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(51a)의 세부구성요소는 상호 동일구조로 이루어져 있으며, 이에 대한 동일구조의 세부구성요소에 대해서는 각각 동일부호를 적용하기로 한다.
이러한 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)는, 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이 2개의 매거진(M)과 1개의 보우트(B) 내에 각각 길이방향으로 설치된 2개의 수평가이드바(56)를 포함하며, 모터(53) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진(M)측 픽커(85a,87a)와 보우트(B)측 픽커(85b,87b)를 원하는 위치에 수평이송시키는 2개의 픽커수평이송유닛(52)과; 상기 각 수평가이드바(56)에 각각 연결 설치되며, 전면(前面)에 각각 수직가이드레일(71)을 구비하면서 매거진(M)측 픽커(85a,87a)와 보우트(B)측 픽커(85b,87b)를 승하강시키기 위한 2개의 픽커승강유닛(65)을 지지하는 2개의 지지프레임(60)과; 상기 각 수직가이드레일(71)에 연결 설치되며, 모터(66) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진(M)으로부터 매거진(M)측 픽커(85a,87a)를 승하강시키거나, 또는 보우트(B)로부터 보우트(B)측 픽커(85b,87b)를 승하강시키는 2개의 픽커승강유닛(65)과; 상기 각 픽커승강유닛(65)의 일단에 2개의 연결브라켓(64)을 통해 각각 설치 고정되며, 상기 각 픽커승강유닛(65)의 구동에 따른 매거진(M)으로부터 웨이퍼(W)를 취부하여 상승시키거나, 또는 로테이트 픽커 유닛(10)에 파지된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부한 상태로 하강하여 보우트(B)에 안착시키는 2개의 픽커유닛(74)을 포함하여 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50) 중 상기 픽커수평이송유닛(52)의 경우 전술한 바와 같이 2개의 매거진(M)과 1개의 보우트(B) 내에 각각 길이방향으로 설치된 2개의 수평가이드바(56)를 포함함과 동시에 모터(53) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 픽커(85a,87a,85b,87b) 즉, 매거진(M)측 픽커(85a,87a)와 보우트(B)측 픽커(85b,87b)를 원하는 위치에 수평이송시키는 역할의 장치적 요소로서, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 2개의 매거진(M)과 1개의 보우트(B) 내에 각각 길이방향으로 설치되는 수평가이드바(56)와; 상기 수평가이드바(56)의 배면에 설치된 상태로 매거진(M)과 보우트(B)의 각 내부 상단 일측에 고정되며, 상기 수평가이드바(56)를 지지하는 수평바지지프레임(57)과; 상기 수평가이드바(56)의 일측에 이웃하게 설치되며, 회전축 일단에 구동풀리(53a)를 갖는 구동모터(53)와; 상기 수평가이드바(56) 내에 삽착된 상태로 돌출된 일단에 종동풀리(54a)를 구비하면서 연결벨트(55)에 의해 구동모터(53)와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터(53)의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류(54)와; 상기 볼스크류(54)에 결합된 상태로 지지프레임(60)의 배면(背面)에 고정되며, 모터(53) 구동에 의한 볼스크류(54)의 회전에 따라 상기 매거진(M)측 픽커(85a,87a)와 보우트(B)측 픽커(85b,87b)가 각각 설치된 지지프레임(60)을 수평이송시키는 수평이송브라켓(59)과; 상기 지지프레임(60)의 배면(背面)과 수평바지지프레임(57)의 하단에 양단이 고정되며, 모터(53) 구동에 따라 수평이송되는 각 지지프레임(60)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하도록 다수의 중공 사각브라켓과 중공 사각브라켓을 힌지로 결합하여 일렬로 연결한 사각띠 형태로 형성된 롤브라켓(R)으로 구성되어 있다.

여기서, 상기 수평가이드바(56)의 경우 단면이 직육각형 형태인 중공바로 형성되어 있는데, 이때 그 전면(前面)에는 모터(53) 구동에 의한 볼스크류(54)의 회전에 따라 상기 픽커(85a,87a,85b,87b) 즉, 매거진(M)측 픽커(85a,87a)와 보우트(B)측 픽커(85b,87b)가 각각 설치된 지지프레임(60)을 수평이송시키기 위한 수평이송브라켓(59)이 삽착되어 슬라이드 이송작용이 이루어질 수 있도록 안내하는 레일부(56a)가 형성되어 있고, 상기 수평가이드바(56)의 내부에는 상기 수평가이드바(56)의 일측에 이웃하게 설치된 구동모터(53)의 회전력을 전달받아 동일방향으로 회전하는 볼스크류(54)가 설치되되, 일단이 외부로 돌출되도록 삽착되어 있으며, 상기 볼스크류(54)의 일단에는 연결벨트(55)를 통해 구동모터(53)의 회전축 일단에 설치된 구동풀리(53a)와 연결되어 벨트전동방식을 이룰 수 있도록 종동풀리(54a)가 설치되어 있다.

또한, 상기 수평바지지프레임(57)의 경우 수평가이드바(56)의 배면(背面)에 설치된 상태로 매거진(M)과 보우트(B)의 각 내부 상단 일측에 고정되어 상기 수평가이드바(56)를 지지하는 요소로서, 전체형상이 "ㄱ"자 형태로 형성되어 있으며, 사각형태의 상부수평판(57a) 및 하부수직판(57b) 사이에는 수평바지지프레임(57)의 보강을 위한 보강대(57c)가 설치 고정되어 있다.

이와 더불어, 상기 수평이송브라켓(59)의 경우 전체형상이 "ㅛ"자 형태로 형성되는 등 상기 볼스크류(54)에 결합되는 이송너트블록(58)과 체결됨과 동시에 수평가이드바(56)의 전면(前面)에 위치되어 상기 수평가이드바(56)의 전면(前面)에 슬라이드 가능하게 삽착되도록 전면(前面) 중앙에 요(凹) 형태의 슬라이드홈(59a)이 형성되어 있고, 상기 슬라이드홈의 중앙에는 볼스크류(54)와 결합되기 위한 암나사홀이 구비된 이송너트블록(58)이 설치 고정되어 있다.
또한, 상기 롤브라켓(R)의 경우 일명 케이블 베어(Cable Veyor)라 하며, 파워케이블이나 에어호스 등이 내장되어 부재가 직선왕복이송이나 상하이송 중에 상기 파워케이블이나 에어호스 등이 이동중에 주위에 간섭을 받지 않도록 하는 것으로서, 플라스틱이나 철 재질로 이루어진 중공의 사각브라켓과 사각브라켓을 힌지로 결합하는 등 다수의 사각브라켓을 일렬로 연결한 사각띠 형태의 구조로 이루어져 있음과 아울러, 일단은 상기 지지프레임(60)의 배면(背面)에 고정되고, 타단은 상기 수평바지지프레임(57)의 하단에 고정되어 모터(53) 구동에 따라 수평이송되는 각 지지프레임(60)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하는 역할을 수행한다.
이와 아울러, 상기 픽커수평이송유닛(52)의 구성요소 중 지지프레임(60)의 배면(背面)과 수평바지지프레임(57)의 하단 사이, 및 상기 픽커승강유닛(65)의 구성요소 중 지지프레임(60)의 일측면과 연결브라켓(64)의 일측면 사이에 양단이 고정된 롤브라켓(R,Ra) 즉, 케이블 베어는 상기 수평바지지프레임(57)의 전면(前面) 하단에 고정된 수평가이드바(56)의 레일부(56a)를 따라 지지프레임(60)이 좌우로 수평이송되거나, 또는 상기 지지프레임(60)으로부터 연결브라켓(64)이 상하로 승,하강되는데 있어, 공지기술 즉, 모터 구동에 의해 회전하는 볼스크류의 나사이송작용에 따라 좌우로 수평이송되거나 상하로 승,하강하는 지지프레임(60) 및 연결브라켓(64)의 이송거리 제한 및 상기 롤브라켓의 내부에 설치된 파워케이블이나 에어호스, 각종 전선들을 보호하는데 사용되는 등 해당기술분야에서 종사하는 통상의 기술자라면 누구나 알고 있고, 누구나 사용하는 일반적인 공지의 기술 및 구조로서, 이는 특별한 구조 및 형상으로 이루어진 것이 아니라 통상적 구조의 "모터" 와 같이 공구상가나 대리점을 통해 구입하여 사용하는 구입해 장착하여 사용하는 것임을 밝혀둔다.

그리고, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50) 중 상기 지지프레임(60)의 경우 전술한 바와 같이 수평가이드바(56)에 연결 설치되어 전면(前面)에 수직가이드레일(71)을 구비하면서 픽커(85a,87a,85b,87b) 즉, 매거진(M)측 픽커(85a,87a)와 보우트(B)측 픽커(85b,87b)를 각각 승하강시키기 위한 픽커승강유닛(65)을 지지하는 역할의 요소로서, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 전체형상이 "ㄷ"자 형태로 형성되어 있는데, 이때 그 전면(前面) 양측벽에는 수직가이드레일(71)을 고정시키기 위한 레일안착부(62)가 형성되어 있고, 상기 지지프레임(60)의 상하 양단에는 볼스크류(67)를 고정하기 위한 축고정브라켓(69)이 설치 고정되어 있다.

한편, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50) 중 상기 픽커승강유닛(65)의 경우 전술한 바와 같이 수직가이드레일(71)에 연결 설치되어 모터(66) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진(M) 및 보우트(B)로부터 픽커(85a,87a,85b,87b)를 승하강시키는 역할의 장치적 요소로서, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 지지프레임(60)의 배면(背面) 하단 중앙에 지지 고정되며, 회전축 일단에 구동풀리(66a)를 갖는 구동모터(66)와; 상기 지지프레임(60)의 전면(前面) 양측에 고정되는 수직가이드레일(71)과; 상기 지지프레임(60)의 전면(前面) 중앙에 축고정브라켓(69)에 의해 고정된 양단 중 일단에 종동풀리(67a)를 구비하면서 연결벨트(68)에 의해 구동모터(66)와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터(66)의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류(67)와; 상기 볼스크류(67)와 결합된 상태로 연결브라켓(64)의 배면(背面)에 고정되며, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)와 결합된 이송너트블록(70)의 상하이송작용을 통해 픽커유닛(74)이 고정된 연결브라켓(64)을 승하강시키는 승강브라켓(73)과; 상기 볼스크류(67)와 상호 결합된 상태로 승강브라켓(73)의 배면(背面) 중앙에 고정되며, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)를 따라 상하 이송되면서 승강브라켓(73)을 승하강시키는 이송너트블록(70)과; 상기 수직가이드레일(71)과 상호 결합된 상태로 승강브라켓(73)의 배면(背面) 좌우 양측에 고정되며, 모터(66) 구동에 의한 볼스크류(67)의 회전에 따라 이송너트블록(70)과 함께 승하강하는 승강브라켓(73)의 이송작용을 안내하는 슬라이드부재(72)와; 상기 지지프레임(60)의 일측면과 연결브라켓(64)의 일측면에 양단이 각각 고정되며, 모터(66) 구동에 따라 상하이송되는 각 연결브라켓(64)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하도록 다수의 중공 사각브라켓과 중공 사각브라켓을 힌지로 결합하여 일렬로 연결한 사각띠 형태로 형성된 롤브라켓(Ra)으로 구성되어 있다.

여기서, 상기 승강브라켓(73)의 경우 전체형상이 전면(前面)에 외력이나 미세먼지로부터 지지프레임(60) 내부에 설치된 요소들을 보호하기 위한 보호커버(63)를 설치할 수 있도록 커버삽입홈(73a)이 형성된 "ㄷ"자 형태로 형성되어 있다.

이와 더불어, 상기 승강브라켓(73)의 배면(背面) 중앙에 고정되는 이송너트블록(70)의 경우 전체형상이 사각블럭체로 형성됨과 동시에 그 중앙에는 볼스크류(67)와 결합되어 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)를 따라 상하 이송될 수 있도록 암나사홀이 형성되어 있고, 상기 승강브라켓(73)의 배면(背面) 양측에 각각 고정되는 슬라이드부재(72)의 경우 승강브라켓(73)과 동일높이의 사각블럭체로 형성됨과 동시에 그 하단에는 수직가이드레일(71)과 대응 결합되어 슬라이드작용이 원활히 이루어질 수 있도록 레일홈(73b)이 형성되어 있다.
또한, 상기 롤브라켓(Ra)의 경우 상기 픽커수평이송유닛(52)의 구성요소 중 롤브라켓(R)과 동일구조로 이루어진 케이블 베어(Cable Veyor)로서, 이 역시 플라스틱이나 철 재질로 이루어진 중공의 사각브라켓과 사각브라켓을 힌지로 결합하는 등 다수의 사각브라켓을 일렬로 연결한 사각띠 형태의 구조로 이루어져 있음과 아울러, 일단은 상기 지지프레임(60)의 일측면에 고정되고, 타단은 상기 연결브라켓(64)의 일측면에 고정되어 모터(66) 구동에 따라 상하이송되는 각 연결브라켓(64)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하는 역할을 수행한다.

그리고, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50) 중 상기 픽커유닛(74)의 경우 전술한 바와 같이 픽커승강유닛(65)의 일단 즉, 보호커버(63)가 설치된 상태의 승강브라켓(73) 전면(前面)에 연결브라켓(64)을 통해 설치 고정되어 상기 픽커승강유닛(65)의 구동에 따른 매거진(M)으로부터 웨이퍼(W)를 취부하여 상승시키거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛(10)에 파지된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부한 상태로 하강하여 보우트(B)에 안착시키는 역할의 장치적 요소로서, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 각 연결브라켓(64)의 상단에 매거진(M)측 고정픽커(85a)와 보우트(B)측 고정픽커(85b)를 각각 상호 이격된 상태로 고정시키는 2개의 고정프레임(75)과; 상기 각 고정프레임(75)의 상단에 각각 고정되며, 하나 이상의 슬롯(86a,86b)이 등간격으로 형성됨과 동시에 2개씩 1조로 하여 매거진(M)측과 보우트(B)측으로 구분되는 2개조의 고정픽커(85a,85b)와; 상기 2개조로 이루어진 매거진(M)측 고정픽커(85a) 사이와 보우트(B)측 고정픽커(85b) 사이에 각각 설치되며, 모터 구동에 따라 어느 한 방향으로 각각 수평이송됨으로써 상기 각 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b)에 삽입된 웨이퍼(W)의 타면을 가압하고, 이의 작용과 연동되어 상기 웨이퍼(W)의 일면이 각 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b) 측벽에 지지되면서 상기 각 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b)에 삽입된 웨이퍼(W)를 안정되게 파지토록 하는 하나 이상의 슬롯(88a,88b)이 등간격으로 형성된 2개의 이송픽커(87a,87b)와; 상기 각 고정픽커(85a,85b)의 하단 내측에 고정되며, 이송픽커(87a,87b)를 각각 고정 지지하는 2개의 지지바(84)와; 상기 각 지지바(84)의 하단에 고정되며, 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)와 결합된 이송너트블록(81)과 함께 동일방향으로 이송되면서 지지바(84) 및 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키는 이송바(83)와; 상기 이송바(83)의 하단에 위치되며, 구동모터(78)를 고정 지지하는 모터고정블록(77)과; 상기 모터고정블록(77)의 일단에 고정되며, 고정픽커(85a,85b) 사이에 설치된 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키기 위한 구동모터(78); 및 이의 일단에 연결된 볼스크류(80)와; 상기 볼스크류(80)에 결합된 상태로 모터고정블록(77)의 일측 상단과 이송바(83)의 하단 사이에 설치되며, 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)를 따라 이송되면서 이송바(83), 지지바(84) 및 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키는 이송너트블록(81)과; 상기 이송너트블록(81)과 모터고정블록(77)의 일단 사이에 설치되며, 모터(78) 구동에 의한 볼스크류(80)의 회전에 따라 수평이송하는 이송너트블록(81)을 안내하는 가이드블록(82)과; 상기 모터고정블록(77) 하단에 고정된 상태로 각 고정프레임(75)의 내측면에 고정되며, 모터고정블록(77)을 지지하는 베이스판(76)으로 구성되어 있다.

여기서, 상기 2개의 매거진(M) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 고정픽커(85a)는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사진 등간격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼(W)를 사각형태로 취부하도록 형성되어 있고, 상기 2개의 고정픽커(85a) 사이에 설치되는 이송픽커(87a)는 고정픽커(85a)와 동일형상 즉, 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사진 등간격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼(W)가 이송픽커(87a)의 슬롯(88a)과 고정픽커(85a)의 슬롯(86a)에 공통되게 삽입된 후에 모터(78) 구동에 따라 이송픽커(87a)를 어느 한 방향으로 수평이송시켜 상기 웨이퍼(W)의 일면은 고정픽커(85a)의 슬롯(86a) 측벽에 지지되고, 상기 웨이퍼(W)의 타면은 이송픽커(87a)의 슬롯(88a) 측벽에 가압되어 안정되게 파지되게 된다.

또한, 상기 보우트(B) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 고정픽커(85b)는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사짐과 동시에 상기 상단 내측으로부터 외측으로 경사진 등간격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼(W)를 마름모형태로 취부하도록 형성되어 있고, 상기 2개의 고정픽커(85b) 사이에 설치되는 이송픽커(87b)는 전술한 2개의 매거진(M) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 이송픽커(87a)와 동일형상 및 동일작용을 수행한다.

그리고, 상기 이송바(83)의 경우 각 지지바(84)의 하단에 고정된 상태로 이송너트블록(81) 상단에 고정되어 모터(78) 구동에 의해 회전되는 볼스크류(80)를 따라 이송되는 이송너트블록(81)과 함께 수평이송되는 요소로서, 전체형상이 사각 블록의 상단 양측으로 각 지지바(84)의 양단을 볼트 고정하기 위한 고정바(83a)가 일체로 돌출 형성된 구조로 이루어져 있으며, 상기 이송바(83)의 일측 저면(底面)과 상기 베이스판(76)의 일측 상단에는 상호 슬라이드 가능하게 고정되어 모터(78) 구동에 의해 회전되는 볼스크류(80)를 따라 이송되는 이송너트블록(81)과 이송바(83)의 수평이송작용을 감지할 수 있도록 감지센서(89)가 설치되어 있다.

또한, 상기 모터고정블록(77)의 경우 전체형상이 구동모터(78)를 고정 지지하기 위한 모터고정부(77a)가 상측으로 절곡된 "L"자 형태로 형성된 구조로 이루어져 있으며, 상기 구동모터(78)의 일단에는 정전 시 상기 구동모터(78)를 수동으로 회전시켜 이송너트블록(81)과 이송바(83)를 수평이송시킬 수 있도록 수동레버(79)가 설치되어 있다.

이와 더불어, 상기 이송너트블록(81)의 경우 전체형상이 사각블록체로 형성되어 있는데, 이때 그 일측에는 가이드블록(82)이 삽입되기 위한 공간부(미도시)가 형성되어 있고, 상기 공간부 후단으로부터 볼스크류(80)가 결합되기 위한 암나사홀이 관통 형성되어 있다.

그리고, 상기 로테이트 픽커 유닛(10) 중 각 회동픽커(21)를 시계방향 및 반시계방향으로 회동시키는 회동픽커구동모터(24)와, 상기 회동픽커유닛(20)을 45도 각도로 회전시키는 회동픽커유닛구동모터(23)을 비롯하여 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(50) 중 상기 픽커수평이송유닛(52)의 구동모터(53)와, 상기 픽커승강유닛(65)의 구동모터(66) 및 상기 픽커유닛(74)의 구동모터(78) 역시 입력 펄스 수와 모터의 회전각도가 완전히 비례하여 펄스 신호를 줄 때마다 일정한 각도씩 회전하 는 모터 즉, 입력 펄스 수에 대응하여 일정 각도씩 움직여 회전각도를 정확하게 제어할 수 있는 스텝모터를 사용함이 바람직하다.

이하, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)에 대한 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.

도 8a 내지 도 8g는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 작동 상태도를 나타낸 것이다.

먼저, 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1)의 전체 작동과정 중 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)의 작동과정에 대해서만 중점적으로 설명하기로 한다.

이상에서 밝힌 바와 같이 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)의 작동과정으로서, 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 이송대(41) 상단에 설치된 로테이트 픽커 유닛(10) 중 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 진공픽커(14)가 로딩된 두 개의 매거진(M) 중 일측의 매거진(M) 측으로 회동 위치되게 되면, 도 8a에 도시한 바와 같이 상기 일측 매거진(M) 하단에 위치된 매거진 엘리베이터 유닛(51) 즉, 연결브라켓(64)을 통해 픽커유닛(74)이 고정된 픽커승강유닛(65)의 모터(66) 구동 시 이와 연결된 볼스크류(67)가 벨트전동방식을 통해 전달된 회전력에 따라 동일방향으로 회전하게 되고, 상기 볼스크류(67)와 결합된 이송너트블록(70)이 상기와 같이 회전하는 볼스크류(67)의 나선이송작용을 통해 상기 볼스크류(67)를 따라 상방(上方)으로 이송되면서 상기 이송너트블록(70)이 고정된 승강브라켓(73)을 비롯하여 상기 승강브라켓(73)이 고정된 연결브라켓(64) 및 상기 연결브라켓(64)에 고정된 픽커유닛(74)을 상승시킴과 동시에 상기 일측 매거진(M) 내에 안착되어 있는 웨이퍼(W)를 취부하여 로테이트 픽커 유닛(10)의 진공픽커(14) 일면에 병렬형태로 다수 형성된 각 슬롯(17) 사이로 삽입시킨 다음 상기 진공픽커(14)의 진공 흡입력을 통해 상기 삽입된 웨이퍼(W)를 개별적으로 취부하게 되는데, 이때 상기 픽커승강유닛(65)에 의해 상승된 픽커유닛(74)이 웨이퍼(W)를 취부함에 있어, 웨이퍼(W)가 이송픽커(87a)의 슬롯(88a)과 고정픽커(85a)의 슬롯(86a)에 공통되게 삽입된 후 상기 픽커유닛(74)의 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)를 따라 이송너트블록(81)이 이송되면서 상기 이송너트블록(81)에 고정된 이송바(83)를 비롯하여 지지바(84) 및 이송픽커(87a)를 어느 한 방향으로 수평이송시키는 등 2개의 고정픽커(85a) 사이에서 수평이송되는 이송픽커(87a)를 통해 상기 웨이퍼(W)의 일면은 고정픽커(85a)의 슬롯(86a) 측벽에 지지되고, 상기 웨이퍼(W)의 타면은 이송픽커(87a)의 슬롯(88a) 측벽에 가압되어 안정되게 파지되게 된다.

이와 같이 상기 픽커유닛(74)에 취부된 상태로 픽커승강유닛(65)의 상승작용을 통해 상기 로테이트 픽커 유닛(10)의 진공픽커(14) 측으로 웨이퍼(W)가 상승되어 상기 진공픽커(14)에 개별적으로 1차 취부되게 되면, 도 8b의 (a)에 도시한 바와 같이 상기 픽커승강유닛(65)의 하강작용 즉, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)를 따라 이송너트블록(70)이 하방(下方)으로 이송되면서 상기 이송너트블록(70)이 고정된 승강브라켓(73)을 비롯하여 상기 승강브라켓(73)이 고정된 연결브라켓(64) 및 상기 연결브라켓(64)에 고정된 픽커유닛(74)을 일측 매거진(M) 하단으로 하강시킴과 동시에, 도 8b의 (b)에 도시한 바와 같이 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51) 중 픽커수평이송유닛(52)의 모터(53) 구동 시 이와 연결된 볼스크류(54)가 벨트전동방식을 통해 전달된 회전력에 의해 동일방향으로 회전하게 되고, 상기 볼스크류(54)와 결합된 이송너트블록(58)이 상기와 같이 회전하는 볼스크류(54)의 나선이송작용을 통해 상기 볼스크류(54)를 따라 이송되면서 상기 이송너트블록(58)이 고정된 수평이송브라켓(59) 및 상기 수평이송브라켓(59)에 고정된 지지프레임(60) 즉, 상기 픽커승강유닛(65)과 함께 픽커유닛(74)이 고정된 지지프레임(60)을 타측 매거진(M) 하단으로 수평이송시키는 등 상기 2개의 매거진(M) 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바(56)의 전면(前面)을 따라 수평이송브라켓(59)이 슬라이드 이송되면서 타측 매거진(M) 하단으로 픽커유닛(74)을 수평이송시키게 된다.

그리고, 상기와 같이 일측 매거진(M) 하단으로 하강된 픽커유닛(74)을 픽커수평이송유닛(52)의 이송작용을 통해 타측 매거진(M) 하단으로 수평이송시키게 되면, 도 8a와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 상승작용을 통해 픽커유닛(74)이 도 8c의 (a)에 도시한 바와 같이 상기 타측 매거진(M) 내에 안착되어 있는 또 다른 웨이퍼(W)를 취부 상승하여 상기 또 다른 웨이퍼(W)의 일면 즉, 사용 반대측면이 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 1차 진공흡착된 웨이퍼(W)의 일면 즉, 사용 반대측면에 상호 겹쳐져 면착되는 상태로 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)까지 상승하게 되고, 이와 연동적으로 상기 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 각 슬롯(17) 즉, 하나의 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 진공흡착 취부되게 되고, 이의 과정이 완료되면 상기 진공픽커(14)에 작용되었던 진공 흡착력이 해제되면서 상기 진공픽커(14)로부터 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 분리됨과 동시에 도 8b의 (a)와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 하강작용을 통해 상기 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)를 취부하고 있는 픽커유닛(74)이 도 8c의 (b)에 도시한 바와 같이 상기 타측의 매거진(M) 상단 일정높이에 위치되도록 하강하게 되는데, 이때 상기 픽커유닛(74)이 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)를 취부함에 있어, 이 역시 전술한 도 8a의 과정에서 상기 픽커유닛(74)이 웨이퍼(W)를 취부하는 과정과 동일과정 즉, 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 이송픽커(87a)의 슬롯(88a)과 고정픽커(85a)의 슬롯(86a)에 공통되게 삽입된 후 상기 픽커유닛(74)의 모터(78) 구동에 따라 상기 2개의 고정픽커(85a) 사이에서 어느 한 방향으로 수평이송되는 이송픽커(87a)를 통해 상기 웨이퍼(W)의 일면은 고정픽커(85a)의 슬롯(86a) 측벽에 지지되고, 상기 웨이퍼(W)의 타면은 이송픽커(87a)의 슬롯(88a) 측벽에 가압되어 안정되게 파지되게 된다.

이후, 상기와 같이 진공작용의 해제에 따라 상기 진공픽커(14)로부터 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 분리되어 상기 픽커승강유닛(65)의 하강작용을 통해 타측의 매거진(M) 상단 일정높이까지 하강하게 되면, 상기 로테이트 픽커 유닛(10) 중 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 회동픽커유닛(20)이 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 위치한 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치하게 되고, 상기와 같이 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치한 회동픽커유닛(20)은 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하여 이웃한 보우트(B)의 사양에 맞게 삽입시킬 수 있도록 45도 각도로 회전된 상태에서 전술한 도 8a 및 도 8c의 (a)와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 상승작용을 통해 상기 타측 매거진(M) 상단 일정높이에 위치한 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 도 8d에 도시한 바와 같이 상기 회전된 회동픽커유닛(20) 측까지 상승시키게 된다.

그 다음, 상기와 같이 픽커승강유닛(65)의 상승작용을 통해 회동픽커유닛(20) 측까지 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 상승하게 되면, 상기 회동픽커구동모 터(24)에 의해 시계방향 및 반시계방향으로 회동하는 각 회동픽커(21)로 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하기에 앞서, 상기 회동픽커유닛(20)의 상단 일측에 설치된 사이드푸셔유닛(30)을 통해 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시킨 후 상기 각 회동픽커(21)와 상호 연결된 각 회동픽커구동모터(24)의 회전작용에 따라 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W) 측으로 상기 각 회동픽커(21)가 각기 시계방향 및 반시계방향으로 회동하여 하나의 슬롯(22)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 삽입되도록 취부하게 되는데, 이때 상기 과정에서 상승하였던 픽커유닛(74)은 전술한 도 8b의 (a) 및 도 8c의 (b)와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 하강작용을 통해 타측의 매거진(M) 아래로 하강하게 되고, 이와 동시에 상기 회동픽커유닛구동모터(23)의 반대회전작용을 통해 45도 각도로 회전되었던 회동픽커유닛(20)을 원위치로 회전시켜 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21)에 취부된 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 마름모 형태로 형성시킨 후 상기 메인구동모터(12) 역시 원위치로 회전시켜 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있는 회동픽커유닛(20)은 보우트(B) 측으로, 상기 진공픽커(14)는 타측의 매거진(M) 측으로 각각 회전 위치시킨다.

그리고, 상기와 같이 메인구동모터(12)를 원위치로 회전시켜 회동픽커유닛(20)은 보우트(B) 측으로, 상기 진공픽커(14)는 타측의 매거진(M) 측으로 각각 회전 위치시키게 되면, 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키기 위해 작동되었던 사이드푸셔유닛(30)의 작동을 해제함과 동시에 도 8e에 도시한 바와 같이 보우트(B) 하단에 위치된 보우트 엘리베이터 유닛(51a) 중 픽커유닛(74)이 고정된 픽커승강유닛(65)이 전술한 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커승강유닛(65)과 동일한 상승작용을 통해 상기 픽커유닛(74)이 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 취부된 회동픽커유닛(20) 측으로 상승하여 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 하단이 삽입되도록 취부하게 되고, 이의 과정이 완료되면 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있던 각 회동픽커(21)가 상기 각 회동픽커구동모터(24)의 원위치 회전에 따라 각기 회동되었던 반대방향으로 회동하게 되면서 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있던 각 회동픽커(21)의 파지상태가 해제되게 되는데, 이때 상기 픽커유닛(74)이 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부함에 있어, 이 역시 전술한 도 8a의 과정에서 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커유닛(74)이 웨이퍼(W)를 취부하는 과정과 동일과정 즉, 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 이송픽커(87b)의 슬롯(88b)과 고정픽커(85b)의 슬롯(86b)에 공통되게 삽입된 후 상기 픽커유닛(74)의 모터(78) 구동에 따라 상기 2개의 고정픽커(85b) 사이에서 어느 한 방향으로 수평이송되는 이송픽커(87b)를 통해 상기 웨이퍼(W)의 일면은 고정픽커(85b)의 슬롯(86b) 측벽에 지지되고, 상기 웨이퍼(W)의 타면은 이송픽커(87b)의 슬롯(88b) 측벽에 가압되어 안정되게 파지되게 된다.

또한, 상기 과정을 수행키 위해 픽커유닛(74)을 상승시켰던 픽커승강유닛(65)은 전술한 도 8b의 (a) 및 도 8c의 (b)와 같은 픽커승강유닛(65)의 동일한 하강작용을 통해 도 8f에 도시한 바와 같이 상기 픽커유닛(74)을 보우트(B) 측으로 하강시켜 상기 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 안착 취부시키게 된다. 이때 역시 상기 픽커유닛(74)에 파지된 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 상기 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 안착 취부시키기 위해서는 전술한 도 8a의 과정에서 픽커유닛(74)이 웨이퍼(W)를 취부하는 과정과 반대과정 즉, 모터(78) 구동에 따 라 상기 고정픽커(85b) 사이에서 수평이송되는 이송픽커(87b)를 반대방향으로 이송시켜 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 파지상태를 해제시킴으로써, 상기 픽커유닛(74)으로부터 안전하게 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 안착 취부시키게 된다.

그리고, 상기와 같이 픽커승강유닛(65)의 하강작용을 통해 픽커유닛(74)으로부터 상기 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 안착 취부시키게 되면, 상기와 같은 픽커승강유닛(65)의 계속적인 하강작용을 통해 도 8g에 도시한 바와 같이 상기 픽커유닛(74)이 보우트(B)의 하단으로 하강 위치됨으로써, 본 발명의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)에 대한 작동과정이 종료되게 되며, 상기 보우트 엘리베이터 유닛(51a) 중 픽커수평이송유닛(52)의 경우 역시 전술한 도 8b와 같은 매거진 엘리베이터 유닛(51) 중 픽커수평이송유닛(52)과 동일한 작동과정으로 보우트(B) 내에 길이방향으로 설치된 수평가이드바(56)의 전면(前面)을 따라 수평이송브라켓(59)이 슬라이드 이송되면서 픽커유닛(74)을 목적한 위치로 수평이송시킬 수 있음을 밝혀둔다.

이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.

도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도.

도 2는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치를 개략적으로 나타낸 사시도.

도 3은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 정면도.

도 4는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 측면도.

도 5는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 평면도.

도 6은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치 중 매거진 엘리베이터 유닛의 분해도 및 세부 상세도.

도 7은 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치 중 보우트 엘리베이터 유닛의 분해도 및 세부 상세도.

도 8a 내지 도 8g는 본 발명에 대한 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치의 작동 상태도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1. 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템 10. 로테이트 픽커장치

11. 진공/회동픽커유닛 12. 메인구동모터

14. 진공픽커 17, 22, 86a, 86b, 88a, 88b. 슬롯

20. 회동픽커유닛 21. 회동픽커

23. 회동픽커유닛구동모터 24. 회동픽커구동모터

30. 사이드푸셔유닛 40. 픽커 트랜스퍼 유닛

41. 이송대 50. 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛

51. 매거진 엘리베이터 유닛 51a. 보우트 엘리베이터 유닛

52. 픽커수평이송유닛 53, 66, 78. 구동모터

53a, 66a. 구동풀리 54a, 67a. 종동풀리

55, 68. 연결벨트 54, 67, 80. 볼스크류

56. 수평가이드바 57. 수평바지지프레임

58, 70, 81. 이송너트블록 59. 수평이송브라켓

60. 지지프레임 62. 레일안착부

63. 보호커버 64. 연결브라켓

65. 픽커승강유닛 69. 축고정브라켓

71. 수직가이드레일 72. 슬라이드부재

73. 승강브라켓 74. 픽커유닛

75. 고정프레임 76. 베이스판

77. 모터고정블록 79. 수동레버

82. 가이드블록 83. 이송바

84. 지지바 85a, 85b. 고정픽커

87a, 87b. 이송픽커 89. 감지센서

90. 매거진 및 보우트 로더 유닛 91. 매거진 로더 유닛

92. 중앙실린더 93. 측면실린더

95. 보우트 로더 유닛 B. 보우트

Bs. 보우트 슬롯 M. 매거진

Ms. 매거진 슬롯 W. 웨이퍼

Claims

베이스판(5) 상단 중앙에 고정된 수평가이드바(41a)의 상단에 사각 브라켓 형태의 이송대(41)가 슬라이드 이송 가능하게 설치되되, 이송대구동모터(미도시)와 연결되어 이의 회전력을 전달받아 회전하는 볼스크류(미도시)에 상기 이송대(41)의 하단이 나사 결합되어 상기 이송대구동모터 구동에 의한 볼스크류의 회전 시 발생되는 나사이송작용과 대응되어 상기 이송대(41)가 볼스크류의 외주면을 따라 좌우로 직선이송되면서 상기 이송대(41)의 상단에 고정된 메인구동모터(12)와 함께 상기 메인구동모터(12)의 상단에 위치 고정되는 로테이트 픽커 유닛(10)을 직선왕복이송시키는 픽커 트랜스퍼 유닛(40)과; 상기 메인구동모터(12)의 상단에 고정되어 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 일측으로 이격 설치된 2개의 매거진(M)으로부터 승,하강작용을 이루는 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(85a,87a)에 의해 상승된 웨이퍼(W)를 취부하여 상기 웨이퍼(W)를 메인구동모터(12)의 회전작용에 따라 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 타측에 이격 설치된 보우트(B) 측으로 회전이송 공급하는 로테이트 픽커 유닛(10)과; 각기 픽커(85a,87a)(85b,87b)를 구비한 매거진 엘리베이터 유닛(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(55)으로 구분되어 2개의 매거진(M)과 보우트(B) 내에서 수평이송과 승하강이 가능하게 설치됨과 동시에 상기 픽커(85a,87a)(85b,87b)의 승강작용을 통해 매거진(M)에서 웨이퍼(W)를 상승시켜 로테이트 픽커 유닛(10) 측으로 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛(10)으로부터 웨이퍼(W)를 공급받아 보우트(B) 측으로 하강 안착시키는 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(50)과; 매거진 로더 유닛(91)과 보우트 로더 유닛(95)으로 구분되어 2개의 매거진(M) 사이 및 양 끝단과 보우트(B)의 일측단에 각각 설치됨과 동시에 상기 매거진 로더 유닛(91)을 통해 2개의 매거진(M)을 서로 반대방향으로 로딩하여 2개의 매거진(M)에 내삽된 웨이퍼(W)를 서로 대향된 한쪽 방향으로 정렬시키고, 상기 보우트 로더 유닛(95)을 통해 보우트 슬롯(Bs)의 각도에 맞게 로딩하여 보우트(B)의 각도를 셋팅해 웨이퍼(W)의 안착이 원활하도록 하는 매거진 및 보우트 로더 유닛(90)으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1) 중 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛인 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치(50)에 있어서,

상기 2개의 매거진(M)과 1개의 보우트(B) 내에 각각 길이방향으로 설치된 2개의 수평가이드바(56)를 포함하며, 모터(53) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진(M)측 픽커(85a,87a)와 보우트(B)측 픽커(85b,87b)를 각각 원하는 위치에 수평이송시키는 2개의 픽커수평이송유닛(52)과;

상기 각 수평가이드바(56)에 각각 연결 설치되며, 전면(前面)에 각각 수직가이드레일(71)을 구비하면서 매거진(M)측 픽커(85a,87a)와 보우트(B)측 픽커(85b,87b)를 승하강시키기 위한 2개의 픽커승강유닛(65)을 각각 지지하는 2개의 지지프레임(60)과;

상기 각 수직가이드레일(71)에 연결 설치되며, 모터(66) 구동에 따른 벨트전동방식을 통해 매거진(M)으로부터 매거진(M)측 픽커(85a,87a)를 승하강시키거나, 또는 보우트(B)로부터 보우트(B)측 픽커(85b,87b)를 승하강시키는 2개의 픽커승강유닛(65)과;

상기 각 픽커승강유닛(65)의 일단에 2개의 연결브라켓(64)을 통해 각각 설치 고정되며, 상기 각 픽커승강유닛(65)의 구동에 따른 매거진(M)으로부터 웨이퍼(W)를 취부하여 상승시키거나, 또는 로테이트 픽커 유닛(10)에 파지된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부한 상태로 하강하여 보우트(B)에 안착시키는 2개의 픽커유닛(74)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 각 픽커수평이송유닛(52)은 2개의 매거진(M)과 1개의 보우트(B) 내에 각각 길이방향으로 설치되는 수평가이드바(56)와;

상기 수평가이드바(56)의 배면에 설치된 상태로 매거진(M)과 보우트(B)의 각 내부 상단 일측에 고정되며, 상기 수평가이드바(56)를 지지하는 수평바지지프레임(57)과;

상기 수평가이드바(56)의 일측에 이웃하게 설치되며, 회전축 일단에 구동풀리(53a)를 갖는 구동모터(53)와;

상기 수평가이드바(56) 내에 삽착된 상태로 돌출된 일단에 종동풀리(54a)를 구비하면서 연결벨트(55)에 의해 구동모터(53)와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터(53)의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류(54)와;

상기 볼스크류(54)에 결합된 상태로 지지프레임(60)의 배면(背面)에 고정되며, 모터(53) 구동에 의한 볼스크류(54)의 회전에 따라 상기 매거진(M)측 픽커(85a,87a)와 보우트(B)측 픽커(85b,87b)가 각각 설치된 지지프레임(60)을 수평이송시키는 수평이송브라켓(59)과;

상기 지지프레임(60)의 배면(背面)과 수평바지지프레임(57)의 하단에 양단이 고정되며, 모터(53) 구동에 따라 수평이송되는 각 지지프레임(60)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하도록 다수의 중공 사각브라켓과 중공 사각브라켓을 힌지로 결합하여 일렬로 연결한 사각띠 형태로 형성된 롤브라켓(R)으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 각 수평이송브라켓(59)은 볼스크류(54)에 결합되는 이송너트블록(58)과 체결됨과 동시에 수평가이드바(56)의 전면(前面)에 위치되어 상기 수평가이드바(56)의 전면(前面)에 슬라이드 가능하게 삽착되도록 전체형상이 "ㅛ"자 형태로 형성되며, 그 전면(前面) 중앙에 요(凹) 형태의 슬라이드홈(59a)이 형성되고,

상기 슬라이드홈(59a)의 중앙에는 볼스크류(54)와 결합되기 위한 암나사홀이 구비된 이송너트블록(58)이 설치 고정된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 각 픽커승강유닛(65)은 지지프레임(60)의 배면(背面) 하단 중앙에 지지 고정되며, 회전축 일단에 구동풀리(66a)를 갖는 구동모터(66)와;

상기 지지프레임(60)의 전면(前面) 양측에 고정되는 수직가이드레일(71)과;

상기 지지프레임(60)의 전면(前面) 중앙에 축고정브라켓(69)에 의해 고정된 양단 중 일단에 종동풀리(67a)를 구비하면서 연결벨트(68)에 의해 구동모터(66)와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터(66)의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류(67)와;

상기 볼스크류(67)와 결합된 상태로 연결브라켓(64)의 배면(背面)에 고정되며, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)와 결합된 이송너트블록(70)의 상하이송작용을 통해 픽커유닛(74)이 고정된 연결브라켓(64)을 승하강시키는 승강브라켓(73)과;

상기 볼스크류(67)와 상호 결합된 상태로 승강브라켓(73)의 배면(背面) 중앙에 고정되며, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)를 따라 상하 이송되면서 승강브라켓(73)을 승하강시키는 이송너트블록(70)과;

상기 수직가이드레일(71)과 상호 결합된 상태로 승강브라켓(73)의 배면(背面) 좌우 양측에 고정되며, 모터(66) 구동에 의한 볼스크류(67)의 회전에 따라 이송너트블록(70)과 함께 승하강하는 승강브라켓(73)의 이송작용을 안내하는 슬라이드부재(72)와;

상기 지지프레임(60)의 일측면과 연결브라켓(64)의 일측면에 양단이 각각 고정되며, 모터(66) 구동에 따라 상하이송되는 각 연결브라켓(64)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하도록 다수의 중공 사각브라켓과 중공 사각브라켓을 힌지로 결합하여 일렬로 연결한 사각띠 형태로 형성된 롤브라켓(Ra)으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 지지프레임(60)은 전체형상이 "ㄷ"자 형태로 형성되되, 그 전면(前面) 양측벽에는 수직가이드레일(71)을 고정시키기 위한 레일안착부(62)가 형성되고,

상기 승강브라켓(73)은 전체형상이 전면(前面)에 보호커버(63)를 설치하기 위한 커버삽입홈(73a)이 형성된 "ㄷ"자 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 각 픽커유닛(74)은 각 연결브라켓(64)의 상단에 매거진(M)측 고정픽커(85a)와 보우트(B)측 고정픽커(85b)를 각각 상호 이격된 상태로 고정시키는 2개의 고정프레임(75)과;

상기 각 고정프레임(75)의 상단에 각각 고정되며, 하나 이상의 슬롯(86a,86b)이 등간격으로 형성됨과 동시에 2개씩 1조로 하여 매거진(M)측과 보우트(B)측으로 구분되는 2개조의 고정픽커(85a,85b)와;

상기 2개조로 이루어진 매거진(M)측 고정픽커(85a) 사이와 보우트(B)측 고정픽커(85b) 사이에 각각 설치되며, 모터 구동에 따라 어느 한 방향으로 각각 수평이송됨으로써 상기 각 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b)에 삽입된 웨이퍼(W)의 타면을 가압하고, 이의 작용과 연동되어 상기 웨이퍼(W)의 일면이 각 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b) 측벽에 지지되면서 상기 각 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b)에 삽입된 웨이퍼(W)를 안정되게 파지토록 하는 하나 이상의 슬롯(88a,88b)이 등간격으로 형성된 2개의 이송픽커(87a,87b)와;

상기 각 고정픽커(85a,85b)의 하단 내측에 고정되며, 이송픽커(87a,87b)를 각각 고정 지지하는 2개의 지지바(84)와;

상기 각 지지바(84)의 하단에 고정되며, 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)와 결합된 이송너트블록(81)과 함께 동일방향으로 이송되면서 지지바(84) 및 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키는 이송바(83)와;

상기 이송바(83)의 하단에 위치되며, 구동모터(78)를 고정 지지하는 모터고정블록(77)과;

상기 모터고정블록(77)의 일단에 고정되며, 고정픽커(85a,85b) 사이에 설치된 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키기 위한 구동모터(78); 및 이의 일단에 연결된 볼스크류(80)와;

상기 볼스크류(80)에 결합된 상태로 모터고정블록(77)의 일측 상단과 이송바(83)의 하단 사이에 설치되며, 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)를 따라 이송되면서 이송바(83), 지지바(84) 및 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키는 이송너트블록(81)과;

상기 이송너트블록(81)과 모터고정블록(77)의 일단 사이에 설치되며, 모터(78) 구동에 의한 볼스크류(80)의 회전에 따라 수평이송하는 이송너트블록(81)을 안내하는 가이드블록(82)과;

상기 모터고정블록(77) 하단에 고정된 상태로 각 고정프레임(75)의 내측면에 고정되며, 모터고정블록(77)을 지지하는 베이스판(76)으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 2개의 매거진(M) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 고정픽커(85a)는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사진 등간격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼(W)를 사각형태로 취부하도록 형성되고,

상기 보우트(B) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 고정픽커(85b)는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사짐과 동시에 상기 상단 내측으로부터 외측으로 경사진 등간격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼(W)를 마름모형태로 취부하도록 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 이송너트블록(81)은 전체형상이 사각블록체로 형성되되, 그 일측에는 가이드블록(82)이 삽입되기 위한 공간부가 형성되어 있고, 상기 공간부 후단으로부터 볼스크류(80)가 결합되기 위한 암나사홀이 관통 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 이송바(83)의 일측 저면(底面)과 상기 베이스판(76)의 일측 상단에는 상호 슬라이드 가능하게 고정되어 모터(78) 구동에 의해 회전되는 볼스크류(80)를 따라 이송되는 이송너트블록(81)과 이송바(83)의 수평이송작용을 감지하는 감지센서(89)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 구동모터(78)의 일단에는 정전 시 상기 구동모터(78)를 수동으로 회전시켜 이송너트블록(81)과 이송바(83)를 수평이송시키기 위한 수동레버(79)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.