WO2019063513A1 - Verfahren und vorrichtung zum transport von substraten - Google Patents

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WO2019063513A1
WO2019063513A1 PCT/EP2018/075876 EP2018075876W WO2019063513A1 WO 2019063513 A1 WO2019063513 A1 WO 2019063513A1 EP 2018075876 W EP2018075876 W EP 2018075876W WO 2019063513 A1 WO2019063513 A1 WO 2019063513A1
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WO
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carrier
substrates
transported
transport
substrate
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PCT/EP2018/075876
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Inventor
Lars VENHUES
Olaf Anders
Original Assignee
Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh
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Publication date
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    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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    • H—ELECTRICITY
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    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
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    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • H01L21/67781—Batch transfer of wafers
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    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for transporting substrates, in particular for the production of solar cells.
  • Diffusion furnaces in which substrates, in particular their surfaces, are doped. However, there are also other manufacturing steps in which chemical and / or thermal changes of the substrate take place. These can also be performed in appropriate facilities, especially ovens.
  • substrates are usually arranged in a so-called process boat.
  • this process boat is unsuitable. Therefore, the processed or
  • unprocessed substrates for transport also arranged in so-called transfer carriers.
  • EP 1 925 577 A1 discloses a method for forming stacks of wafers to be doped on one side, in particular solar wafers, and for loading a process boat with wafer charges, in which a predetermined even number of wafers in the
  • Receiving slots of a firmly in a horizontal plane to exciting transfer carrier with upwardly facing stacking opening is provided in rows.
  • the transfer carrier is fixed in a predetermined position, wherein then in this fixed position, a stacking step for forming a so-called back-to-back stack (BTB stack), a transfer step to Transporting the BTB stack from the transfer carrier into the process boat, a further transfer step for transporting a further BTB stack from the process boat into the transfer carrier and an unpacking step for unpacking the now in the transfer carrier arranged BTB stack was performed.
  • BTB stack back-to-back stack
  • a disadvantage of this method is the high amount of time it takes to load the process boat with BTB stacks or unload the process boat.
  • the technical problem therefore arises of providing a method and a device for transporting substrates, in particular for producing solar cells, which have a time for loading, in particular complete loading, of a process boat with substrates from carriers or for unloading, in particular complete unloading , from substrates of the process boat into carriers (t).
  • a throughput of a device for processing substrates can be increased.
  • a substrate refers to a semiconductor blank.
  • Substrates can be used in particular for the production of solar cells and e.g.
  • substrates can have a rectangular, in particular square, base area.
  • a carrier and a process boat respectively denote a container in which substrates can be placed in single position as well as in back-to-back position, e.g. in a so-called square position or in a so-called diamond position.
  • the container may in this case be an open container, in particular an upwardly open container.
  • Such a container may in particular comprise or form receiving means, eg slots, for receiving a single substrate, eg at edge portions.
  • a receiving means also allows the inclusion of multiple substrates, in particular the inclusion of a pair of substrates.
  • receiving means can in this case along a central axis / longitudinal axis of the container with a
  • the process boat can be used to transport substrates to and / or in facilities for carrying out production or processing steps of the substrate, in particular in process plants, such as, for example, Ovens, serve.
  • the process boat may be formed in particular of glass, quartz or ceramic. Further, a process boat can accommodate a greater number of substrates or substrate pairs than a carrier. Further, a material of the process boat may be different from the material of a carrier.
  • a pair of substrates denotes two adjacent substrates.
  • an upper or lower side of a first substrate may rest against an upper or lower side of a second substrate of the substrate pair.
  • the two substrates In a BTB position (back-to-back position), the two substrates can overlap exactly.
  • a substrate package refers to an amount of at least one, preferably more than one, substrate pair, especially in the BTB position.
  • a reference coordinate system may include a vertical axis.
  • the vertical axis may here be oriented parallel and opposite to a direction of a gravitational force.
  • the vertical axis is oriented by a predetermined angle, for example an angle of 3 °, inclined to the direction of the gravitational force and opposite to this.
  • Directional information such as "top”, "bottom” can refer to this vertical axis.
  • an upward movement may refer to a movement in the direction of the vertical axis.
  • a downward movement may refer to a movement opposite to the direction of the vertical axis.
  • the reference coordinate system may comprise a longitudinal axis, wherein the longitudinal axis may be oriented orthogonal to the vertical axis. It can continue
  • Reference coordinate system include a transverse axis. This can be oriented perpendicular to the longitudinal axis and perpendicular to the vertical axis.
  • Vertical axis can form a Cartesian coordinate system.
  • a processing device denotes a device for carrying out a production step for producing a desired end product from the substrate carry out.
  • a processing device may in particular be a process plant.
  • a transport device for a carrier describes a device by means of which a transport movement of exactly one carrier or several carriers into different positions can be carried out. She can do it all
  • a process water transport device (process boat transport device) describes a device by which a movement of exactly one
  • Process boats or multiple process boats can be performed. It may include all facilities, means and elements necessary to carry out
  • a transport movement of the carrier is a linear movement.
  • a transporting movement can also be a movement along a curved, e.g. be part-circular, trajectory.
  • a movement direction of the movement is oriented parallel and in the direction of a longitudinal axis explained in more detail below.
  • the movement may comprise a directional portion which is oriented parallel and in the direction of this longitudinal axis.
  • the trajectories of the individual transport movements form subsections of a common trajectory, in particular a straight-line trajectory.
  • a packing device serves for carrying out a first working step, which will be explained below, and thus may comprise all the devices, means and elements which are necessary for this execution.
  • the packing device can for this purpose one or more substrate removal device (s), e.g. a lifting comb or more
  • Lifting combs, gripping means e.g. include a suction comb.
  • gripping device can comprise, for example, at least one movable section. It is also possible that the packing device at least one
  • Centering device for centering of substrates and / or a fixing device for fixing the carrier in the pack position comprises.
  • a transfer device serves to carry out a second work step, which will be explained in more detail below, and thus may include all devices, means and elements which are necessary for this implementation.
  • the unpacking device serves to carry out a third step, which will be explained in more detail below, and thus may include all the devices, means and elements which are necessary for this implementation.
  • the unpacking device can in this case comprise at least one gripping device, in particular a suction gripping device, e.g. a suction comb, and at least one substrate (pair) removal means, e.g. a Ausheticianm, in particular designed as a suction gripping device
  • the gripping device can comprise, for example, at least one movable section. It is still possible that the
  • Unpacking comprises at least one centering device for centering of substrates or substrate pairs and / or a fixing device for fixing the carrier in the unpacking.
  • Proposed is a method for transporting substrates, in particular for or in the manufacture of solar cells.
  • a first carrier having a first number of substrates is transported to a packing position, e.g. by a carrier transport device.
  • the transport into the packing position can take place from a starting position, the starting position being a different spatial position from the packing position.
  • the movement can take place along a predetermined trajectory.
  • the substrates may be arranged individually and not adjacent to each other in the carrier.
  • the first number here may be an even number in particular.
  • the first number can be at least 2. It is possible that the first number is 100.
  • the longitudinal axis of a carrier in the packing position may be oriented parallel to the transverse axis.
  • a first step at least one first substrate package is provided or formed in the first carrier.
  • the first step is carried out here, when the first carrier is in the packing position. It is possible that the first Carrier at least during the implementation of the first step in the
  • the substrate package may comprise a number of pairs of substrates corresponding to half of the first number of substrates previously discussed. For example, if the first number of substrates in the carrier is 100, then the substrate package 50 provided in the first step may include substrate pairs in the BTB position. After carrying out the first working step, a substrate pair may be arranged in BTB position in a receiving means. The first step can be performed by the packing device.
  • a second transport step the first carrier is moved with the substrate package formed in the first step into a transfer position.
  • the transfer position is a different spatial position from the pack position.
  • the second transport step can be carried out by the previously explained carrier transport device or another carrier transport device for moving the first carrier.
  • the at least one substrate package which is arranged in the first carrier, is transported into a first process boat.
  • at least one further substrate package is transported by the first process boat into the first carrier.
  • a substrate package is thus arranged in the first carrier, which was taken from a process boat.
  • a substrate package is arranged, which was taken from the first carrier.
  • the second step may be performed by the transfer device.
  • the first carrier is in an unpacking position
  • the unpacking position may differ from the transfer position. Furthermore, the unpacking position can also be different from the packing position. However, this is not mandatory. It is also conceivable that the unpacking position corresponds to the packing position.
  • the movement can take place along a predetermined trajectory.
  • the third transport step can be carried out by one of the previously explained carrier transport devices or another carrier transport device for moving the first carrier.
  • the at least one further substrate package that is to say the substrate package taken from a process boat and arranged in the first carrier, is unpacked.
  • the substrates of the substrate package can be separated.
  • the substrates of the further substrate package which are arranged in the BTB position in the first carrier, can be offset from the BTB position into an individual position.
  • substrates of a substrate pair can thus be separated from one another and then arranged individually and at a distance from one another in the first carrier.
  • the unpacking can be done by means of a
  • the third step is here
  • the third step can be performed by the unpacker.
  • the first carrier can be transported out of the unpacking position, for example by manual or automatic removal.
  • the first carrier from the unpacking in one
  • step sequence which comprises the first transport step up to the third work step or fourth transport step, can form a carrier-specific step sequence.
  • This step sequence can also be carried out for other carriers. This will be explained in more detail below.
  • Step sequence in mutually different positions of the first carrier results in an advantageous manner, the possibility that transport and / or operations of carrier-specific step sequences of multiple carriers simultaneously, so at least partially simultaneously, can be performed when the multiple (n) carrier in
  • first step, the second step, and the third step may each be performed simultaneously for different carriers in different positions.
  • Transport step are carried out simultaneously for different carriers.
  • Carrier-specific transport steps for different carriers can only then be carried out if carrier-specific work steps have been carried out. This reduces the time required to load and / or unload the process boat.
  • the first working step may comprise all steps which are necessary in order to form a substrate package consisting of at least one substrate pair in BTB position from the substrates in individual position and to arrange them in the first carrier.
  • the first working step may comprise one or more of the following sub-steps: transporting at least a first number of substrates from the carrier, gripping the substrates, changing a position and / or orientation of at least a part number of substrates, releasing the substrates, transporting at least one first first number of substrates from the carrier, gripping the substrates, changing a position and / or orientation of at least a part number of substrates, releasing the substrates, transporting at least one first first number of substrates from the carrier, gripping the substrates, changing a position and / or orientation of at least a part number of substrates, releasing the substrates, transporting at least one first first number of substrates from the carrier, gripping the substrates, changing a position and / or orientation of at least a part number of substrates, releasing the substrates,
  • the change of position and / or orientation at e.g. a lift out of the carrier may include a pivoting of the substrates by 180 ° about the vertical axis. Furthermore, this change may include a movement of the substrates parallel to the vertical axis and / or parallel to the transverse axis, in particular a linear movement. In addition, but not necessarily, it is also possible that the substrates can be moved by means of the gripping device parallel to the longitudinal axis.
  • the first substrate package is arranged in a segment of the receiving volume for substrates available in the first carrier.
  • the available receiving volume of a carrier can be divided into a plurality, preferably two, segments. The segments can be arranged side by side along the longitudinal axis of the carrier.
  • Carrying out the first working step can be arranged in one of the segments, for example a first segment, the first substrate package, in particular with substrates in BTB position, wherein in at least one further segment of the first carrier no Substrates (more) are arranged.
  • This segment can also be called a free segment. In such a free segment can subsequently, in particular in the second step, another substrate package, which was taken from the process boat, are arranged.
  • the at least one substrate package arranged in the first carrier can be transported into a first process boat.
  • a further substrate package, which is arranged in the process boat can be transported from the first process boat into the first carrier.
  • Substrate package are transported from the first carrier in the first process boat.
  • the second operation may include one or more of the following sub-steps: transporting substrates from the carrier or process boat, gripping the substrates, changing a position and / or orientation of at least a part number of substrates, releasing the substrates, forming substrate pairs,
  • the second step is carried out here, when the first carrier is in the transfer position. It is possible, but not mandatory, for the first carrier to be fixed in the transfer position during the execution of the second working step, for example by means of a suitable fixing device. Furthermore, the first process boat can be arranged in a loading and / or unloading position. It is possible, but not mandatory, for the first process boat to be fixed in the loading and / or unloading position during the execution of the second working step, for example by a fixing device. In the and / or unloading position, the process boat may be arranged, in particular, along the transverse direction spaced from the first carrier in the transfer position.
  • the second step can be performed by the transfer device, which can move substrate packets in space.
  • the first substrate package from the segment in which the first substrate package is arranged, in the first
  • Transport volume of the first carrier transported As a result, a time period for loading and / or unloading a process boat is also advantageously reduced further.
  • the third working step may comprise all steps which are necessary in order to arrange the substrates of a substrate package in individual position in the first carrier.
  • the third working step may in particular comprise one or more of the following sub-steps: transport of at least a first part number of substrates out of the carrier, gripping of the substrates, separation of the substrates of a substrate pair, change of position and / or orientation of at least a part number of substrates,
  • a step sequence of the third working step can in this case be carried out inversely to the step sequence of the first working step.
  • the transport out of the carrier may in particular be a lift-out.
  • the change in position and / or orientation which can be carried out, for example, by means of the gripper device, can include a pivoting of the substrates through 180 ° about the vertical axis. Furthermore, this change may include a movement of the substrates parallel to the vertical axis and / or parallel to the transverse axis, in particular a linear movement.
  • the substrates can be moved by means of the gripping device parallel to the longitudinal axis.
  • the number of substrates gripped by the gripping device can be moved into the individual position explained above.
  • the substrate package arranged in a segment of the carrier is unpacked in the third working step.
  • this pre-occupied segment may be a free segment of the first carrier prior to the third operation.
  • substrates can be arranged in this segment.
  • Process boats can be further reduced.
  • the movement from the packing position to the transfer position and / or the movement from the transfer position to the unpacking position is a linear movement. Further preferably, a direction of movement of the movement from the packing position to the transfer position parallel or even concentric to
  • the first carrier can be transported in the transport steps along the longitudinal axis, in particular in the direction of the longitudinal axis.
  • a second carrier is transported from the pack position to the transfer position.
  • the transport of the first carrier into the packing position takes place simultaneously for the transport of the second carrier from the packing position into the transfer position.
  • a third carrier from the transfer position in the first transport step is transported from the pack position to the transfer position.
  • the second carrier in the second transport step of the carrier-specific step sequence of the first carrier, is transported from the transfer position to the unpacking position.
  • a fourth carrier is transported to the packing position, in particular from a starting position.
  • the fourth carrier in the third transport step of the carrier-specific step sequence of the first carrier, is moved from the packing position into the first carrier
  • Transfer position and / or a fifth carrier transported in the packing position e.g. from the starting position.
  • simultaneous transport of carriers can take place in such a way that a carrier is not transported to a position until the carrier has arrived
  • Transport direction preceding carrier has already left the position.
  • the previously explained simultaneous transport steps advantageously result in a reduction of the time duration for loading and / or unloading a process boat.
  • a process boat is transported out of the loading and unloading position before or after the second work step of a carrier-specific step sequence.
  • the process boat can be transported out of the loading and unloading position if it is completely loaded with substrate packages taken from carriers, in particular from different carriers.
  • another process boat can then be transported to the loading and unloading position.
  • the further process boat can be an unloaded process boat.
  • the further process boat is a process boat in which substrate packages are arranged, which are to be reloaded into carriers.
  • the amount of substrates that can be placed in a process boat can be many times, e.g. a tenfold, the amount that can be arranged in a carrier.
  • a process boat for example, 10 substrate packages
  • the transport of the process boat from and / or into the loading and unloading position can take place here by means of a process boat transport device.
  • Transport device can be changed in particular a position of process boats.
  • the change in position can in this case with linear movements, for example parallel to the longitudinal axis and / or parallel to the transverse axis and / or parallel to
  • the transport of a plurality of loaded process boats can take place by means of the previously explained process-boat transport device or another, different transport device. Even during this transport, a position, but preferably no orientation of the process boats, can be changed.
  • this movement may also comprise a movement parallel to the longitudinal axis and / or parallel to the transverse axis and / or parallel to the vertical axis.
  • a device for transporting substrates in particular for transferring substrates from a carrier into a process boat or vice versa.
  • the device is in this case configured, in particular thus arranged and / or configured such that by means of the device, a method according to one in this
  • the device comprises at least one carrier transport device for moving a first carrier into a packing position, into a transfer position and / or into an unpacking position. It is also conceivable that the transport into the various layers can be carried out by different carrier transport devices. Furthermore, the device comprises at least one packing device for providing or forming a substrate package. Furthermore, the device comprises at least one transfer device for transferring substrate packets. Furthermore, the device comprises at least one unpacking device for unpacking a substrate package.
  • the packing device the transfer device and the
  • Unpacking arranged along a movement trajectory for carriers at different positions.
  • a carrier can be transported to the packing position, the transfer position and / or the unpacking position, wherein the packing position of the Transfer position is different and / or wherein the transfer position of the
  • Unpacking is different. Also, by means of the carrier transport device (s), several carriers can be transported at least partially simultaneously.
  • the at least one carrier transport device may in particular be designed as a conveyor belt or comprise a conveyor belt. Of course, other transport devices can be used.
  • the at least one carrier transport device and possibly also the other devices of the device can in this case be arranged such that a carrier can be transported at a predetermined angle, for example an angle of 3 °, inclined to a direction of the gravitational force.
  • a predetermined angle for example an angle of 3 °, inclined to a direction of the gravitational force.
  • This may mean, in particular, that a central longitudinal axis of a carrier is inclined during transport at an angle other than 90 ° to the direction of gravity, in particular at an angle of 93 ° or 87 °.
  • the proposed device can advantageously carry out a method according to an embodiment described in this disclosure, the advantages of which have already been explained above.
  • the device comprises at least one process boat changing device for moving a process boat out of a loading and / or loading
  • the process boat changer may also serve to move another process boat into the loading and unloading position.
  • a linear movement of a process boat along one or more spatial axes can be carried out by means of this process-boat changing device. Also, several can
  • Process boats are transported simultaneously, in particular between the device for reloading and various process equipment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of a device according to the invention in a first state
  • FIG. 3 is a schematic plan view of a device according to the invention in a second state
  • FIG. 4 is a schematic plan view of a device according to the invention in a third state
  • FIG. 5 is a schematic plan view of a device according to the invention in a fourth state
  • FIG. 6 is a schematic plan view of a device according to the invention in a fifth state
  • Fig. 7 is a schematic plan view of a device according to the invention in a sixth state.
  • Fig. 8 is a schematic plan view of a device according to the invention in a seventh state.
  • FIG. 1 shows a schematic sequence of a method according to the invention.
  • a substrate package 8 may in this case comprise one or more pairs of substrates 6. For the sake of clarity, not all substrates 2, substrate pairs 6 and substrate packages 8 with a
  • a receiving volume of the first carrier C1 for substrates 2 or substrate packages 8 comprises a first segment SA and a further segment SB.
  • substrates 2 are arranged in individual positions both in the first and in the second segment SA, SB of the first carrier C1.
  • the substrates 2 arranged in the first and second segments SA, SB of the first carrier C1 may in this case be unprocessed substrates 2.
  • a substrate package 8 is formed in the first carrier C1.
  • FIG. 1 shows that the substrate package 8 is arranged in the further segment SB of the first carrier C1.
  • no substrates 2 are arranged in the first segment SA of the first carrier C1.
  • the first operation AS1 is performed when the first carrier C1 is in the packing position PP.
  • the first carrier C1 may be fixed and / or centered in the pack position PP, e.g. by a
  • the first carrier C1 is moved from the packing position PP to a transfer position TP in a second transport step TS2.
  • a first partial step AS2a of a second working step the first
  • Work step AS 1 formed and arranged in the further segment SB of the first carrier C1 substrate package 8 transported in a free segment SC of a process boat SB.
  • Process boat SB hereby comprises by way of example three segments SA, SB, SC, wherein in the first segment SA and in the second segment SB of the process boat SB
  • Substrate packages 8 are arranged.
  • the substrate packages 8 arranged in the first and second segments SA, SB of the process boat SB may in this case comprise already processed substrates 2.
  • the choice of the segments for the occupancy with substrates 2 or substrate pairs 6 in the carrier C1 and the process boat B1 is pure here
  • a second partial step AS2b of the second working step the substrate packet 8 arranged in the first segment SA of the process boat SB is transported into the first, free segment SA of the first carrier C1.
  • the second step is performed when the first carrier C1 is in the transfer position TP.
  • Transfer position TP fixed and / or centered, e.g. by a corresponding fixing and / or centering device.
  • the first carrier C1 is moved to an unpacking position EP in a third transport step TS3.
  • a third transport step TS3 In a third
  • Operation AS3 becomes that in the first segment SA of the first carrier C1
  • the substrates 2 of this substrate package 8 are separated, wherein a part of these separated substrates 2 is then arranged in the further segment SB of the first carrier C1 and another part of these separated substrates 2 in the first segment SA.
  • the third operation AS3 is performed when the first carrier C1 in the
  • Entpackposition EP is located.
  • the first carrier C1 can be moved to a removal position NP in a fourth transport step TS4.
  • FIG. 2 shows a schematic top view of a device 1 for transporting substrates 2, which are used for transferring substrates 2 from carriers C1, C4 into one
  • Process boat B1, B2, B3 and vice versa is used. These substrates 2 may be formed as semiconductor blanks. Substrates 2 may be formed in particular plate-shaped. In particular, by means of the device 1 substrates 2 from carriers C1, C4 in process boats B1, B2, B3 as well as substrates 2 of process boats B1, B2, B3 in carrier C1 can be used , C4 are transhipped (see also Fig. 3 to 8).
  • FIG. 2 shows that eight substrates 2 are arranged in the first carrier C1. In this case, the substrates 2 are arranged individually, ie not adjacent to one another, in the first carrier C1. In particular, the substrates 2 are not arranged in a back-to-back position (BTB position) in the first carrier C1. The number of eight substrates 2 is purely exemplary in this case. Of course, more than the illustrated eight substrates 2 may be arranged in a carrier C1.
  • substrates 2 not yet processed by a process plant can be reloaded into a process boat B1 by carriers C1, C5 and then in the
  • Process boat B1 to be transported and possibly in a process plant.
  • a process plant may e.g. be designed as a diffusion furnace. Processed by a process plant, so processed substrates 2 can then be transported in the process boats B1, B2, B3 and from a process plant to the Vorauml and there from the process boats B1, B2, B3 in Carrier C1, C5.
  • the transfer device 1 comprises a carrier transport device 4, which may for example be designed as a conveyor belt.
  • the carrier transport device 4 can move carriers C1, C5 with a linear movement along a desired movement trajectory.
  • FIG. 1 shows that a first carrier C1 with a first number of substrates 2 is in an initial position AP. Dashed lines show a packing position PP, a transfer position TP and an unpacking position EP and a removal position NP for carriers C1, C5.
  • carriers C1, C5 can be transported from the starting position AP to the packing position PP, from the packing position PP to the transfer position TP, and from the transfer position TP to the unpacking position EP.
  • the movement between the individual positions AP, PP, TP, EP is in this case a linear movement.
  • the device 1 comprises a packing device 5 for providing a packing device 5
  • Substrate packages 6 in a carrier C1, .., C5 (see Fig. 4).
  • the packing device 5 will be explained in more detail below.
  • the device 1 comprises a
  • Transfer device 7 for transporting substrate packages 6 of
  • the device 1 comprises an unpacking device 9, wherein by means of
  • Unpacking 9 substrate packages 6, which are removed by the transfer device 7 from a process boat B1, B2, B3 and arranged in a carrier C1, C5, can be unpacked.
  • the unpacking 9 will be explained in more detail below.
  • FIG. 2 shows that the packing device 5, the transfer device 7 and the unpacking device 9 are arranged along a linear movement trajectory for carriers C1, C5 at mutually different positions.
  • the longitudinal and transverse axes x, y can hereby be oriented orthogonally to one another. Not shown is a vertical axis that can be oriented orthogonal to the longitudinal axis x and orthogonal to the transverse axis y and can form a Cartesian coordinate system with these.
  • Fig. 2 is further shown that the direction of movement of the movement of the carrier C1, C5 is oriented parallel to the longitudinal direction x. It is further shown that the substrates 2 are arranged in the first carrier C1 in a single position along a longitudinal axis of the first carrier C1, wherein this longitudinal axis of the first carrier C1 parallel to
  • Transverse direction y is oriented.
  • substrates 2 can be arranged individually and along the longitudinal axis of the carrier C1, spaced apart from one another, that is to say in particular not lying against one another, in the carrier C1.
  • a carrier C1 C5 can hereby recording means for receiving substrates 2 in individual position or for
  • a pair of substrates 6 may comprise two substrates 2. In the BTB position, substrates 2 are one
  • Substrate pair 6 over the entire surface with surfaces, especially backs, to each other.
  • FIG. 2 Shown in FIG. 2 is a first process boat B1, which is located in a loading and
  • Unloading position BEP is located. Also shown is a second process boat B2.
  • FIG. 6 shows a third process boat B3.
  • the illustration of the second and the third process boat B2, B3 adjacent to the first process boat B1 is here purely schematic and serves to visualize the presence of further process boats B2, B3.
  • These process boats B2, B3 are especially in the loading and
  • a process boat B1, B2, B3 can in this case comprise or form receiving means for receiving substrates 2 in individual positions and of substrate pairs 6. It is shown in FIGS. 2 to 8 that in process boats B1, B2, B3, twelve pairs of substrates 6 can be arranged along a longitudinal axis of the respective process boat B1, B2, B3. This number is purely exemplary. In particular, more than twelve pairs of substrates 6 can be picked up by a process boat B1, B2, B3. Also shown is a process boat changer 10.
  • Fig. 2 shows a state of the device 1 before performing a first
  • Transport step TS1 (see FIG. 1) of a method according to the invention for transporting substrates 2.
  • FIG. 3 shows a schematic plan view of the device 1 shown in FIG. 2 after the first transport step TS1 has been carried out, in particular in a second state ,
  • the first carrier C1 is transported from the starting position AP to the packing position PP.
  • a second carrier C2 with individually arranged therein substrates 2 in the starting position AP is transported from the starting position AP to the packing position PP.
  • FIG. 4 shows a schematic plan view of the device 1 shown in FIG. 1 after carrying out a second transport step TS2 and a first working step AS1 (see FIG. 1), ie in particular in a third state.
  • a first substrate package 8 is provided in the first carrier C1.
  • the first operating step AS1 can be performed by the packing device 5 when the first carrier C1 is in the packing position PP.
  • the first substrate package 8 comprises the substrates 2, which are arranged in the BTB position.
  • the first substrate package 8 comprises substrate pairs 6 of substrates 2 of the first carrier C1.
  • FIG. 4 shows that the first substrate package 8 is arranged by the packing device 5 in a further segment SB of the first carrier C1, wherein no substrates 2 are arranged in a first segment SA.
  • Transport step TS2 of the first carrier C1 are moved to a transfer position TP.
  • the second carrier C2 can be further moved from the home position AP to the packing position PP.
  • a third carrier C3 having substrates 2 disposed therein in an individual posture can be moved to the home position AP.
  • FIG. 5 shows a schematic plan view of the device 1 shown in FIG. 1 after the execution of a first substep AS2a of a second working step (see FIG. 1), ie in particular in a fourth state.
  • the first substrate package 8 is transported by the first carrier C1 into a first process boat B1, in particular into a free segment SC of a receiving volume available in the first process boat B1. This can also be referred to as a changeover of the first substrate package 8.
  • the transport of the first substrate package 8 from the first carrier C1 into the first process boat B1 can be carried out by the transfer device 7.
  • the first carrier C1 no longer contains any substrates 2 after this first substep AS2a.
  • the substrates 2 arranged in the form of substrate pairs 6 prior to the first substep AS2a in the first carrier C1 are after the second
  • the first process boat B1 is here in a loading and unloading position BEP. After complete loading of the first process boat B1 with substrates 2 from carriers C1, a process vessel change can take place. For this purpose, the first process boat B1 can be moved out of the loading and unloading position BEP.
  • Process boat B2 are moved to the loading and unloading position BEP. This change can be performed by a process boat changer 10.
  • the substrates 2 transported by the carriers C1, C5 into the process boats B1, B2, B3 can in this case be unprocessed substrates 2, ie substrates 2 for which one or more processing steps have not yet been carried out.
  • the substrates 2 which are transported by the process boats B1, B2 into the carriers C1, C5 may in particular be processed substrates 2, ie substrates 2 for which at least one or more predetermined production steps have already been carried out.
  • FIG. 6 shows a schematic plan view of the device 1 shown in FIG. 1 after a second substep AS2b of the second working step (see FIG. 1) has been carried out, in particular in a fifth state.
  • a further substrate package 8 can then be transported by the second process boat B2, which is now in the loading and unloading position BEP, into the first carrier C1, in particular into the free, first segment SA.
  • substrate pairs 6 comprise substrates 2 in the BTB position, which were transported by the second process boat B2 into the first carrier C1, in particular by the transfer device 7.
  • a third process boat B3 is shown in FIG already processed substrates 2 loaded in BTB position.
  • Substrate pairs 6 are transported into the process boat B1, B2, B3, in particular in the segment of the process boat B1, B2, B3, in which the immediately before in the carrier C1 transported substrates 2 were arranged.
  • the explained process water change can be performed before the first substep AS2a or after the second substep AS2b.
  • the first step AS1 can be carried out for the second carrier C2. Therefore, it is shown in FIG. 6 that in the further segment SB of the second carrier C2 a substrate package 8 is arranged, which was formed from substrates 2 which were arranged in the second carrier C2.
  • Fig. 7 is a schematic plan view of the device 1 shown in Fig. 1 after the implementation of a third transport step TS3 (see FIG. 1), in particular in a sixth state shown.
  • the first carrier C1 with the substrates 2 arranged therein in the form of a substrate package 8 is then transported from the transfer position TP into an unpacking position EP.
  • the second carrier C2 is arranged with one therein
  • Substrate package 8 transported from the packing position PP in the transfer position TP. Further, the third carrier C3 is transported from the home position AP to the packing position PP. Also in the third transport step, a fourth carrier C4 is transported with arranged therein in individual position substrates 2 in the starting position AP.
  • FIG. 8 shows a schematic plan view of the device 1 shown in FIG. 2 after the execution of a third working step AS3 (see FIG. 1), ie in particular in a seventh state.
  • the substrate package 8 is then unpacked in the first carrier C1, which comprises substrate pairs 6 and comprises substrates 2.
  • the unpacking can be carried out here by the unpacking device 9.
  • substrates 2 are arranged in individual positions in two sub-segments SA, SB of the first carrier C1.
  • a first operating step AS1 for the substrates 2a_C3, 2d_C3 of the third carrier C3, which is in the pack position PP can be carried out at least partially simultaneously.
  • a second operation or at least one sub-step AS2a, AS2b for substrates 2 of the second carrier C2, which is located in the transfer position TP can also be carried out.
  • the first carrier C1 can be transported from the unpacking position EP into a removal position EP (see FIG. 1). This can be done in a fourth transport step TS4. Further, in the seventh step, in particular during the fourth transport step TS4, the second carrier C2 from the transfer position TP to the unpacking position EP, the third carrier C3 from the packing position PP in the transfer position TP, the fourth carrier C4 are transported from the starting position AP packing position PP and a fifth carrier with arranged therein in individual position substrates 2 in the starting position AP.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Transport von Substraten (2), insbesondere zur Herstellung von Solarzellen, wobei in einem ersten Transportschritt (TS1 ) ein erster Carrier (C1) mit einer ersten Anzahl von Substraten (2) in eine Packposition (PP) transportiert wird, wobei in einem ersten Arbeitsschritt (AS1) mindestens ein erstes Substratpaket (8) in dem ersten Carrier (C1) bereitgestellt wird, wobei in einem zweiten Transportschritt (TS2) der erste Carrier (C1) in eine Transferposition (TP) bewegt wird, wobei in einem zweiten Arbeitsschritt das mindestens erste Substratpaket (8) von dem ersten Carrier (C1) in ein erstes Prozessboot (B1) und mindestens ein weiteres Substratpaket (8) von einem Prozessboot (B1, B2) in den ersten Carrier (C1) transportiert wird, wobei in einem dritten Transportschritt (TS3) der erste Carrier (C1) in eine Entpackposition (EP) transportiert wird, wobei in einem dritten Arbeitsschritt (AS3) das mindestens ein weiteres Substratpaket (8) entpackt wird.

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Transport von Substraten
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Transport von Substraten, insbesondere zur Herstellung von Solarzellen.
Die Herstellung von Solarzellen aus Substraten erfordert in der Regel die Durchführung mehrerer Herstellungsschritte. Derartige Herstellungsschritte können insbesondere in sogenannten Prozessöfen durchgeführt werden. U.a. bekannt sind sogenannte
Diffusionsöfen, in denen Substrate, insbesondere deren Oberflächen, dotiert werden. Allerdings existieren auch weitere Herstellungsschritte, in denen chemische und/oder thermische Veränderungen des Substrats erfolgen. Auch diese können in entsprechenden Einrichtungen, insbesondere Öfen, durchgeführt werden.
Es ist notwendig, unprozessierte Substrate zu derartigen Einrichtungen zur Herstellung zu transportieren als auch durch diese Einrichtungen prozessierte Substrate von der entsprechenden Einrichtung abzutransportieren. Zur Prozessierung, also zur
Durchführung eines Herstellungsschritts, werden Substrate in der Regel in einem sogenannten Prozessboot angeordnet. Für einen längeren Transport, z.B. zwischen zwei verschiedenen Einrichtungen Herstellung oder zum Transport aus einem/in ein Lager, ist dieses Prozessboot jedoch ungeeignet. Daher werden die prozessierten oder
unprozessierten Substrate für den Transport auch in sogenannten Transfer-Carriern angeordnet.
Daher ist notwendig, Substrate von einem solchen Transfer Carrier in ein Prozessboot oder umgekehrt umzuladen.
Die EP 1 925 577 A1 offenbart ein Verfahren zum Bilden von Stapeln einseitig zu dotierender Wafer, insbesondere Solarwafer, und zum Beladen eines Prozessbootes mit Wafer Chargen, bei dem eine vorbestimmte gerade Anzahl von Wafern in den
Aufnahmeschlitzen eines in einer waagerechten Ebene fest zu spannenden Transfer- Carriers mit nach oben weisender Einstapelöffnung reihenmäßig bereitgestellt wird.
In dem in dieser Druckschrift offenbarten Verfahren wird der Transfer-Carrier in einer vorbestimmten Lage fixiert, wobei dann in dieser fixierten Lage ein Stapelschritt zur Bildung eines sogenannten Back-to-Back-Stapels (BTB-Stapel), ein Transferschritt zum Transport des BTB-Stapels von dem Transfer-Carrier in das Prozessboot, ein weiterer Transferschritt zum Transportieren eines weiteren BTB-Stapels von dem Prozessboot in den Transfer-Carrier sowie ein Entpackschritt zum Entpacken des nunmehr im Transfer- Carrier angeordneten BTB-Stapels durchgeführt wurde.
Nachteilig bei diesem Verfahren ist die hohe Zeitdauer, die benötigt wird, um das Prozessboot mit BTB-Stapeln zu beladen bzw. das Prozessboot zu entladen.
Es stellt sich daher das technische Problem, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Transport von Substraten, insbesondere zur Herstellung von Solarzellen, zu schaffen, die eine Zeitdauer zum Beladen, insbesondere vollständigen Beladen, eines Prozessbootes mit Substraten aus Carriern oder zum Entladen, insbesondere vollständigen Entladen, von Substraten des Prozessbootes in Carrier verringern(t). Somit kann ein Durchsatz einer Einrichtung zur Bearbeitung von Substraten erhöht werden.
Die Lösung des technischen Problems ergibt sich durch die Gegenstände mit den Merkmalen der Ansprüche 1 und 10. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
In dieser Offenbarung bezeichnet ein Substrat insbesondere einen Halbleiterrohling. Substrate können insbesondere zur Herstellung von Solarzellen dienen und z.B.
plattenförmig ausgebildet sein. Weiter können Substrate eine rechteckige, insbesondere quadratische, Grundfläche aufweisen.
Weiter bezeichnet ein Carrier sowie ein Prozessboot jeweils einen Behälter, in dem Substrate in Einzelstellung sowie in Back-To-Back-Stellung angeordnet werden können, z.B. in einer sogenannten Square-Stellung oder in einer sogenannten Diamant-Stellung. Der Behälter kann hierbei ein offener Behälter sein, insbesondere ein nach oben geöffneter Behälter sein.
Carrier und Prozessboote sind dem Fachmann bekannt, beispielsweise aus der eingangs erläuterten EP 1 925 577 A1 . Ein solcher Behälter kann insbesondere Aufnahmemittel, z.B. Schlitze, zur Aufnahme eines einzelnen Substrats aufweisen oder ausbilden, z.B. an Randabschnitten. Bevorzugt ermöglicht ein Aufnahmemittel ebenfalls die Aufnahme mehrere Substrate, insbesondere die Aufnahme eines Substratpaares. Aufnahmemittel können hierbei entlang einer Mittelachse/Längsachse des Behälters mit einem
vorbestimmten Abstand benachbart zueinander angeordnet sein.
Das Prozessboot kann im Unterschied zum Carrier zum Transport von Substraten zu und/oder in Einrichtungen zur Durchführung von Herstellungs- oder Bearbeitungsschritten des Substrats, insbesondere in Prozessanlagen wie z.B. Öfen, dienen. Das Prozessboot kann insbesondere aus Glas, Quarz oder Keramik ausgebildet sein. Weiter kann ein Prozessboot eine größere Anzahl von Substraten oder Substratpaaren aufnehmen als ein Carrier. Weiter kann ein Material des Prozessboots vom Material eines Carriers verschieden sein.
Ein Substratpaar bezeichnet zwei aneinander anliegende Substrate. Insbesondere kann eine Ober- oder Unterseite eines ersten Substrats an einer Ober- oder Unterseite eines zweiten Substrats des Substratpaares anliegen. In einer BTB-Stellung (Back-To-Back- Stellung) können sich die beiden Substrate exakt überdecken.
Ein Substratpaket bezeichnet eine Menge von mindestens einem, vorzugsweise von mehr als einem, Substratpaar, insbesondere in BTB-Stellung.
Ein Referenzkoordinatensystem kann eine Hochachse umfassen. Die Hochachse kann hierbei parallel und entgegengesetzt zu einer Richtung einer Gravitationskraft orientiert sein. Es ist jedoch auch vorstellbar, dass die Hochachse um einen vorbestimmten Winkel, beispielsweise einen Winkel von 3°, geneigt zur Richtung der Gravitationskraft und entgegengesetzt zu dieser orientiert ist. Richtungsangaben wie„oben",„unten" können sich hierbei auf diese Hochachse beziehen. Insbesondere kann eine Bewegung nach oben eine Bewegung in Richtung der Hochachse bezeichnen. Eine Bewegung nach unten kann eine Bewegung entgegengesetzt zur Richtung der Hochachse bezeichnen.
Weiter kann das Referenzkoordinatensystem eine Längsachse umfassen, wobei die Längsachse orthogonal zur Hochachse orientiert sein kann. Weiter kann das
Referenzkoordinatensystem eine Querachse umfassen. Diese kann senkrecht zur Längsachse und senkrecht zur Hochachse orientiert sein. Die Längs-, Quer- und
Hochachse können ein kartesisches Koordinatensystem bilden.
Eine Bearbeitungseinrichtung bezeichnet eine Einrichtung zur Durchführung eines Herstellungsschritts zur Herstellung eines gewünschten Endprodukts aus dem Substrat durchführen. Eine Bearbeitungseinrichtung kann insbesondere eine Prozessanlage sein.
Eine Transporteinrichtung für einen Carrier (Carrier-Transporteinrichtung) beschreibt eine Einrichtung, durch die eine Transportbewegung genau eines Carriers oder mehrerer Carrier in verschiedene Positionen durchgeführt werden kann. Sie kann alle
Einrichtungen, Mittel und Elemente umfassen, die zur Durchführung von
Transportschritten eines oder mehrerer Carrier(s) notwendig sind. Dementsprechend beschreibt eine Transporteinrichtung für ein Prozessboot (Prozessboot- Transporteinrichtung) eine Einrichtung, durch die eine Bewegung genau eines
Prozessboots oder mehrerer Prozessboote durchgeführt werden kann. Sie kann alle Einrichtungen, Mittel und Elemente umfassen, die zur Durchführung von
Transportschritten eines oder mehrerer Prozessboots/e notwendig sind.
Nachfolgend werden mehrere Transportbewegungen eines Carriers erläutert. Jede der Transportbewegungen des Carriers kann hierbei entlang einer vorbestimmten Trajektorie erfolgen. Die Trajektorien können voneinander verschieden sein. Vorzugsweise ist eine Transportbewegung des Carriers eine Linearbewegung. Eine Transportbewegung kann aber auch eine Bewegung entlang einer gekrümmten, z.B. teilkreisförmigen, Trajektorie sein. Weiter vorzugsweise ist eine Bewegungsrichtung der Bewegung parallel und in Richtung einer nachfolgend noch näher erläuterten Längsachse orientiert. Alternativ kann die Bewegung einen Richtungsanteil umfassen, der parallel und in Richtung dieser Längsachse orientiert ist. Weiter vorzugsweise bilden die Trajektorien der einzelnen Transportbewegungen Teilabschnitte einer gemeinsamen Trajektorie, insbesondere einer geradlinigen Trajektorie.
Eine Packeinrichtung dient zur Durchführung eines nachfolgend noch erläuterten ersten Arbeitsschritts und kann somit alle Einrichtungen, Mittel und Elemente umfassen, die zu dieser Durchführung notwendig sind. Die Packeinrichtung kann hierzu eine oder mehrere Substratentnahmeeinrichtung(en), z.B. einen Aushebekamm oder mehrere
Aushebekämme, eine Greifeinrichtung, z.B. eine Saugkamm umfassen. Die
Greifeinrichtung kann hierzu beispielsweise mindestens einen beweglichen Abschnitt umfassen. Es ist weiter möglich, dass die Packeinrichtung mindestens eine
Zentriereinrichtung zur Zentrierung von Substraten und/oder eine Fixiereinrichtung zur Fixierung des Carriers in der Packposition umfasst. Eine Transfereinrichtung dient hierbei zur Durchführung eines nachfolgend noch näher erläuterten zweiten Arbeitsschritts und kann somit alle Einrichtungen, Mittel und Elemente umfassen, die zu dieser Durchführung notwendig sind.
Eine Entpackeinrichtung dient hierbei zur Durchführung eines nachfolgend noch näher erläuterten dritten Arbeitsschrittes und kann somit alle Einrichtungen, Mittel und Elemente umfassen, die zu dieser Durchführung notwendig sind. Die Entpackeinrichtung kann hierbei mindestens eine Greifeinrichtungen, insbesondere eine Sauggreifeinrichtung, z.B. einen Saugkamm, und mindestens eine Substrat(paar)entnahmeeinrichtung, z.B. einen Aushebekamm, insbesondere einen als Sauggreifeinrichtung ausgebildeten
Aushebekamm, umfassen. Die Greifeinrichtung kann hierzu beispielsweise mindestens einen beweglichen Abschnitt umfassen. Es ist weiter möglich, dass die
Entpackeinrichtung mindestens eine Zentriereinrichtung zur Zentrierung von Substraten oder Substratpaaren und/oder eine Fixiereinrichtung zur Fixierung des Carriers in der Entpackposition umfasst.
Vorgeschlagen wird ein Verfahren zum Transport von Substraten, insbesondere zur oder bei der Herstellung von Solarzellen.
In einem ersten Transportschritt wird ein erster Carrier mit einer ersten Anzahl von Substraten in eine Packposition transportiert, z.B. durch eine Carrier- Transporteinrichtung. Der Transport in die Packposition kann aus einer Ausgangsposition heraus erfolgen, wobei die Ausgangsposition eine von der Packposition verschiedene Raumlage ist. Die Bewegung kann hierbei entlang einer vorbestimmten Trajektorie erfolgen. Für oder bei der Durchführung des ersten Transportschrittes können die Substrate einzeln und nicht aneinander anliegend in dem Carrier angeordnet sein.
Die erste Anzahl kann hierbei insbesondere eine geradzahlige Anzahl sein. Die erste Anzahl kann mindestens 2 betragen. Es ist möglich, dass die erste Anzahl 100 ist.
Selbstverständlich sind jedoch auch andere Anzahlen möglich. Die Längsachse eines Carriers in der Packposition kann parallel zur Querachse orientiert sein.
In einem ersten Arbeitsschritt wird mindestens ein erstes Substratpaket in dem ersten Carrier bereitgestellt bzw. gebildet. Der erste Arbeitsschritt wird hierbei durchgeführt, wenn sich der erste Carrier in der Packposition befindet. Es ist möglich, dass der erste Carrier zumindest während der Durchführung des ersten Arbeitsschritts in der
Packposition zentriert und/oder fixiert wird. Dies ist jedoch nicht zwingend.
Das Substratpaket kann eine Anzahl von Substratpaaren umfassen, die der Hälfte der vorhergehend erläuterten ersten Anzahl von Substraten entspricht. Beträgt die erste Anzahl von Substraten im Carrier beispielsweise 100, so kann das im ersten Arbeitsschritt bereitgestellte Substratpaket 50 Substratpaare in BTB-Stellung umfassen. Nach der Durchführung des ersten Arbeitsschritts kann in einem Aufnahmemittel ein Substratpaar in BTB-Stellung angeordnet sein. Der erste Arbeitsschritt kann durch die Packeinrichtung durchgeführt werden.
In einem zweiten Transportschritt wird der erste Carrier mit dem im ersten Arbeitsschritt gebildeten Substratpaket in eine Transferposition bewegt. Die Transferposition ist eine von der Packposition verschiedene Raumposition. Der zweite Transportschritt kann durch die vorhergehend erläuterte Carrier-Transporteinrichtung oder eine weitere Carrier- Transporteinrichtung zur Bewegung des ersten Carriers durchgeführt werden.
In einem zweiten Arbeitsschritt wird das mindestens eine Substratpaket, das in dem ersten Carrier angeordnet ist, in ein erstes Prozessboot transportiert. Alternativ oder kumulativ wird mindestens ein weiteres Substratpaket von dem ersten Prozessboot in den ersten Carrier transportiert. Nach dem zweiten Arbeitsschritt ist somit im ersten Carrier ein Substratpaket angeordnet, das einem Prozessboot entnommen wurde. Weiter ist in dem ersten oder in einem weiteren Prozessboot ein Substratpaket angeordnet, das dem ersten Carrier entnommen wurde. Der zweite Arbeitsschritt kann durch die Transfereinrichtung durchgeführt werden.
In einem dritten Transportschritt wird der erste Carrier in eine Entpackposition
transportiert. Die Entpackposition kann hierbei von der Transferposition verschieden sein. Weiter kann die Entpackposition auch von der Packposition verschieden sein. Dies ist jedoch nicht zwingend. Es ist auch vorstellbar, dass die Entpackposition der Packposition entspricht. Die Bewegung kann hierbei entlang einer vorbestimmten Trajektorie erfolgen. Der dritte Transportschritt kann durch eine der vorhergehend erläuterten Carrier- Transporteinrichtungen oder eine weitere Carrier-Transporteinrichtung zur Bewegung des ersten Carriers durchgeführt werden. In einem dritten Arbeitsschritt wird das mindestens eine weitere Substratpaket, also das einem Prozessboot entnommene und in dem ersten Carrier angeordnete Substratpaket, entpackt. Beim Entpacken können die Substrate des Substratpakets vereinzelt werden. Insbesondere können die Substrate des weiteren Substratpakets, die in BTB-Stellung im ersten Carrier angeordnet sind, aus der BTB-Stellung in eine Einzelstellung versetzt werden. Durch den dritten Arbeitsschritt können Substrate eines Substratpaares also voneinander getrennt werden und dann einzeln und beabstandet voneinander in dem ersten Carrier angeordnet werden. Das Entpacken kann hierbei mittels einer
Entpackeinrichtung durchgeführt werden. Der dritte Arbeitsschritt wird hierbei
durchgeführt, wenn sich der erste Carrier in der Entpackposition befindet. Es ist möglich, dass der erste Carrier zumindest während der Durchführung des dritten Arbeitsschritts in der Packposition fixiert wird. Dies ist jedoch nicht zwingend. Der dritte Arbeitsschritt kann durch die Entpackeinrichtung durchgeführt werden.
In einem vierten Transportschritt kann der erste Carrier aus der Entpackposition heraustransportiert werden, beispielsweise durch eine manuelle oder automatische Entnahme. Insbesondere kann der erste Carrier aus der Entpackposition in eine
Entnahmeposition transportiert werden. Dieser vierte Transportschritt ist jedoch optional.
Die vorhergehend erläuterte Schrittsequenz, die den ersten Transportschritt bis zum dritten Arbeitsschritt oder vierten Transportschritt umfasst, kann eine carrierspezifische Schrittsequenz bilden. Diese Schrittsequenz kann auch für weitere Carrier durchgeführt werden. Dies wird nachfolgend noch näher erläutert.
Durch die Durchführung der Transportschritte sowie einzelner Arbeitsschritte der
Schrittsequenz in voneinander verschiedenen Lagen des ersten Carriers ergibt sich in vorteilhafter Weise die Möglichkeit, dass Transport- und/oder Arbeitsschritte von carrierspezifischen Schrittsequenzen mehrerer Carrier simultan, also zumindest teilweise gleichzeitig, durchgeführt werden können, wenn sich die mehrere(n) Carrier in
voneinander verschiedenen Positionen befinden. Beispielsweise können der erste Arbeitsschritt, der zweite Arbeitsschritt sowie der dritte Arbeitsschritt jeweils für verschiedene Carrier in verschiedenen Positionen gleichzeitig durchgeführt werden. Auch können der erste Transportschritt, der zweite Transportschritt sowie der dritte
Transportschritt jeweils für verschiedene Carrier gleichzeitig durchgeführt werden. Carrierspezifische Transportschritte für verschiedene Carrier können insbesondere erst dann durchgeführt werden, wenn carrierspezifische Arbeitsschritte durchgeführt wurden. Damit wird die Zeitdauer zum Be- und/oder Entladen des Prozessbootes reduziert.
Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine verringerte Zeitdauer zum Be- und/oder Entladen eines Prozessboots, insbesondere zum vollständigen Be- und/oder Entladen des Prozessboots. Dies wiederum ermöglicht in vorteilhafter Weise eine Reduktion der Herstellungszeit von Substraten, da Prozessboote schneller zu Einrichtungen zur Herstellung transportiert werden können. So ist es beispielsweise möglich, einen erhöhten Durchsatz von z.B. 10.000 bis 1 1.000 Substraten pro Stunde zu erreichen.
Der erste Arbeitsschritt kann hierbei alle Schritte umfassen, die notwendig sind, um aus den Substraten in Einzelstellung ein Substratpaket, bestehend aus zumindest einem Substratpaar in BTB-Stellung zu bilden und im ersten Carrier anzuordnen. So kann der erste Arbeitsschritt einen oder mehrere der folgenden Teilschritte umfassen: Transport mindestens einer ersten Teilanzahl von Substraten aus dem Carrier heraus, Greifen der Substrate, Veränderung einer Position und/oder Orientierung zumindest einer Teilanzahl von Substraten, Loslassen der Substrate, Transport von mindestens einer ersten
Teilanzahl von Substraten in den Carrier hinein.
Die Veränderung der Position und/oder Orientierung bei z.B. einem Herausheben aus dem Carrier, die z.B. mittels der Greifereinrichtung durchgeführt werden kann, kann eine Verschwenkung der Substrate um 180° um die Hochachse umfassen. Weiter kann diese Veränderung eine Bewegung der Substrate parallel zur Hochachse und/oder parallel zur Querachse umfassen, insbesondere eine Linearbewegungen. Zusätzlich, jedoch nicht zwingend, ist es auch möglich, dass die Substrate mittels der Greifeinrichtung parallel zur Längsachse bewegt werden können.
In einer weiteren Ausführungsform wird im ersten Arbeitsschritt das erste Substratpaket in einem Segment des im ersten Carrier verfügbaren Aufnahmevolumens für Substrate angeordnet. Beispielsweise kann das verfügbare Aufnahmevolumen eines Carriers in mehrere, vorzugsweise zwei, Segmente unterteilt sein. Die Segmente können hierbei entlang der Längsachse des Carriers nebeneinander angeordnet sein. Nach der
Durchführung des ersten Arbeitsschritts kann in einem der Segmente, z.B. einem ersten Segment, das erste Substratpaket angeordnet sein, insbesondere mit Substraten in BTB- Stellung, wobei in mindestens einem weiteren Segment des ersten Carriers keine Substrate (mehr) angeordnet sind. Dieses Segment kann auch als freies Segment bezeichnet werden. In einem solchen freien Segment kann nachfolgend, insbesondere im zweiten Arbeitsschritt, ein weiteres Substratpaket, das dem Prozessboot entnommen wurde, angeordnet werden.
Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise, dass in einem Carrier zumindest zeitweise mehrere Substratpakete angeordnet sein können. Insbesondere ist es nicht erforderlich, einen Carrier vor der Anordnung oder vor dem Bilden eines Substratpakets in dem Carrier vollständig zu entleeren. Hierdurch wird in vorteilhafter Weise eine Zeitdauer zum Be- und/oder Entladen eines Prozessboots weiter reduziert.
Weiter kann in einem ersten Teilschritt des zweiten Arbeitsschritts das mindestens eine Substratpaket, das in dem ersten Carrier angeordnet ist, in ein erstes Prozessboot transportiert werden. Alternativ kann in dem ersten Teilschritt ein weiteres Substratpaket, das im Prozessboot angeordnet ist, von dem ersten Prozessboot in den ersten Carrier transportiert werden.
In einem weiteren Teilschritt des zweiten Arbeitsschritts kann mindestens ein weiteres Substratpaket von dem ersten Prozessboot in den ersten Carrier oder das erste
Substratpaket von dem ersten Carrier in das erste Prozessboot transportiert werden.
Weiter kann der zweite Arbeitsschritt einen oder mehrere der folgenden Teilschritte umfassen: Transport von Substraten aus dem Carrier bzw. dem Prozessboot heraus, Greifen der Substrate, Veränderung einer Position und/oder Orientierung zumindest einer Teilanzahl von Substraten, Loslassen der Substrate, Bilden von Substratpaaren,
Transport von mindestens einer ersten Teilanzahl von Substraten in den Carrier bzw. in das Prozessboot hinein.
Der zweite Arbeitsschritt wird hierbei durchgeführt, wenn sich der erste Carrier in der Transferposition befindet. Es ist möglich, jedoch nicht zwingend, dass der erste Carrier während der Durchführung des zweiten Arbeitsschritts in der Transferposition fixiert wird, z.B. durch eine geeignete Fixiereinrichtung. Weiter kann das erste Prozessboot in einer Be- und/oder Entladestellung angeordnet sein. Es ist möglich, jedoch nicht zwingend, dass das erste Prozessboot während der Durchführung des zweiten Arbeitsschritts in der Be- und/oder Entladeposition fixiert wird, z.B. durch eine Fixiereinrichtung. In der Be- und/oder Entladeposition kann das Prozessboot insbesondere entlang der Querrichtung beabstandet von dem ersten Carrier in der Transferposition angeordnet sein.
Der zweite Arbeitsschritt kann hierbei durch die Transfereinrichtung, die Substratpakete im Raum bewegen kann, durchgeführt werden.
In einer weiteren Ausführungsform wird im zweiten Arbeitsschritt das erste Substratpaket aus dem Segment, in dem das erste Substratpaket angeordnet ist, in das erste
Prozessboot, z.B. in ein freies Segment eines mehrere Segmente umfassenden
Prozessboots, transportiert. Alternativ wird mindestens ein weiteres Substratpaket von dem ersten Prozessboot in ein Segment, insbesondere das vorhergehend erläuterte freie Segment oder in das frei gewordene Segment, des im ersten Carrier verfügbaren
Aufnahmevolumens des ersten Carriers transportiert. Hierdurch wird ebenfalls in vorteilhafter Weise eine Zeitdauer zum Be- und/oder Entladen eines Prozessboots weiter reduziert.
Der dritte Arbeitsschritt kann hierbei alle Schritte umfassen, die notwendig sind, um die Substrate eines Substratpakets in Einzelstellung in dem ersten Carrier anzuordnen. Der dritte Arbeitsschritt kann insbesondere einen oder mehrere der folgenden Teilschritte umfassen: Transport mindestens einer ersten Teilanzahl von Substraten aus dem Carrier heraus, Greifen der Substrate, Trennen der Substrate eines Substratpaares, Veränderung einer Position und/oder Orientierung zumindest einer Teilanzahl von Substraten,
Loslassen der Substrate, Transport von mindestens einer Teilanzahl von Substraten in den Carrier hinein. Eine Schrittsequenz des dritten Arbeitsschritts kann hierbei umgekehrt zur Schrittsequenz des ersten Arbeitsschrittes durchgeführt werden.
Der Transport aus dem Carrier heraus kann insbesondere ein Herausheben sein. Die Veränderung der Position und/oder Orientierung, die z.B. mittels der Greifereinrichtung durchgeführt werden kann, kann eine Verschwenkung der Substrate um 180° um die Hochachse umfassen. Weiter kann diese Veränderung eine Bewegung der Substrate parallel zur Hochachse und/oder parallel zur Querachse umfassen, insbesondere eine Linearbewegung. Zusätzlich, jedoch nicht zwingend, ist es auch möglich, dass die Substrate mittels der Greifeinrichtung parallel zur Längsachse bewegt werden können. Insbesondere können die von der Greifeinrichtung gegriffene Anzahl von Substraten in die vorhergehend erläuterte Einzelstellung bewegt werden. In einer weiteren Ausführungsform wird im dritten Arbeitsschritt das in einem Segment des Carriers angeordnete Substratpaket entpackt. Nach dem zweiten Arbeitsschritt oder nach einem Teilschritt des zweiten Arbeitsschritts können im dem im ersten Arbeitsschritt mit einem Substratpaket belegten Segment insbesondere keine Substrate angeordnet sein. Somit kann dieses vorher belegte Segment vor dem dritten Arbeitsschritt ein freies Segment des ersten Carriers sein. Im dritten Arbeitsschritt können dann, insbesondere vereinzelte, Substrate in diesem Segment angeordnet werden. Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine optimale Nutzung des verfügbaren Aufnahmevolumens eines Carriers, wodurch wiederum die Zeitdauer zum Be- und/oder Entladen eines
Prozessboots weiter reduziert werden kann.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Bewegung von der Packposition in die Transferposition und/oder die Bewegung von der Transferposition in die Entpackposition eine Linearbewegung. Weiter vorzugsweise kann eine Bewegungsrichtung der Bewegung von der Packposition in die Transferposition parallel oder sogar konzentrisch zur
Bewegungsrichtung der Bewegung von der Transferposition in die Entpackposition sein. Allerdings ist es auch vorstellbar, dass die Bewegungsrichtung der Linearbewegung von der Packposition in die Transferposition von der Bewegungsrichtung der Bewegung von der Transferposition in die Entpackposition verschieden ist. Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise ein einfach zu implementierender Transport von Carriern. Hierbei kann der erste Carrier in den Transportschritten entlang der Längsachse, insbesondere in Richtung der Längsachse, transportiert werden.
In einer weiteren Ausführungsform wird im ersten Transportschritt ein zweiter Carrier von der Packposition in die Transferposition transportiert. Hierbei erfolgt also der Transport des ersten Carriers in die Packposition gleichzeitig zum Transport des zweiten Carriers von der Packposition in die Transferposition. Alternativ, vorzugsweise jedoch kumulativ, wird im ersten Transportschritt ein dritter Carrier von der Transferposition in die
Entpackposition transportiert.
In einer weiter bevorzugten Ausführungsform wird im zweiten Transportschritt der carrierspezifischen Schrittsequenz des ersten Carriers der zweite Carrier von der Transferposition in die Entpackposition transportiert. Alternativ, vorzugsweise jedoch kumulativ, wird während dieses zweiten Transportschrittes ein vierter Carrier in die Packposition transportiert, insbesondere aus einer Ausgangsposition. In einer weiteren Ausführungsform wird im dritten Transportschritt der carrierspezifischen Schrittsequenz des ersten Carriers der vierte Carrier von der Packposition in die
Transferposition und/oder ein fünfter Carrier in die Packposition transportiert, z.B. aus der Ausgangsposition. Der gleichzeitige Transport von Carriern kann selbstverständlich derart erfolgen, dass ein Carrier erst dann in eine Position transportiert wird, wenn der in
Transportrichtung vorausgehende Carrier die Position bereits verlassen hat. Durch die vorhergehend erläuterten simultan ausgeführten Transportschritte ergibt sich in vorteilhafter Weise eine Reduktion der Zeitdauer zum Be- und/oder Entladen eines Prozessboots.
In einer weiteren Ausführungsform wird zeitlich vor oder zeitlich nach dem zweiten Arbeitsschritt einer carrierspezifischen Schrittsequenz ein Prozessboot aus der Be- und Entladeposition transportiert. Insbesondere kann das Prozessboot aus der Be- und Entladeposition transportiert werden, wenn es vollständig mit Substratpaketen beladen ist, die Carriern, insbesondere verschiedenen Carriern, entnommen wurden. Weiter kann dann ein weiteres Prozessboot in die Be- und Entladeposition transportiert werden.
Das weitere Prozessboot kann ein unbeladenes Prozessboot sein. Vorzugsweise ist jedoch das weitere Prozessboot ein Prozessboot, in dem Substratpakete angeordnet sind, die in Carrier umzuladen sind.
Die Menge der Substrate, die in einem Prozessboot angeordnet werden können, kann ein Vielfaches, z.B. ein Zehnfaches, der Menge sein, die in einem Carrier angeordnet werden können. Somit können in einem Prozessboot beispielsweise 10 Substratpakete
angeordnet werden, die einem oder mehreren Carriern entnommen wurden.
Der Transport des Prozessboots aus und/oder in die Be- und Entladeposition kann hierbei mittels einer Prozessboot-Transporteinrichtung erfolgen. Mittels dieser
Transporteinrichtung kann insbesondere eine Position von Prozessbooten verändert werden. Die Positionsveränderung kann hierbei mit Linearbewegungen, beispielsweise parallel zur Längsachse und/oder parallel zur Querachse und/oder parallel zur
Hochachse, erfolgen. Insbesondere ist es möglich, dass mittels der Prozessboot- Transporteinrichtung mehrere Prozessboote gleichzeitig transportiert werden können. Hierdurch kann in vorteilhafter Weise eine Herstellungszeit für Substrate verkürzt werden, da mehrere Prozessboote gleichzeitig zu verschiedenen Bearbeitungseinrichtungen transportiert werden können oder von verschiedenen Bearbeitungseinrichtungen zur Umladeeinrichtung.
Es ist möglich, dass der Transport eines Prozessboots aus oder in die Be- und/oder Entladeposition gleichzeitig zu einem Transportschritt eines Carriers erfolgt. Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine weitere Reduktion der Be- und Entladedauer.
Der Transport von mehreren beladenen Prozessbooten kann hierbei mittels der vorhergehend erläuterten Prozessboot-Transporteinrichtung oder einer weiteren, davon verschiedenen, Transporteinrichtung erfolgen. Auch während dieses Transports kann eine Position, vorzugsweise jedoch keine Orientierung der Prozessboote, verändert werden. Beispielsweise kann auch diese Bewegung eine Bewegung parallel zur Längsachse und/oder parallel zur Querachse und/oder parallel zur Hochachse umfassen.
Weiter vorgeschlagen wird eine Vorrichtung zum Transport von Substraten, insbesondere zum Umladen von Substraten aus einem Carrier in ein Prozessboot oder umgekehrt. Die Vorrichtung ist hierbei derart konfiguriert, insbesondere also derart angeordnet und/oder ausgebildet, dass mittels der Vorrichtung ein Verfahren gemäß einer in dieser
Offenbarung beschriebenen Ausführungsformen durchführbar ist.
Die Vorrichtung umfasst mindestens eine Carrier-Transporteinrichtung zur Bewegung eines ersten Carriers in eine Packposition, in eine Transferposition und/oder in eine Entpackposition. Es ist auch vorstellbar, dass der Transport in die verschiedenen Lagen durch voneinander verschiedene Carrier-Transporteinrichtungen durchgeführt werden kann. Weiter umfasst die Vorrichtung mindestens eine Packeinrichtung zur Bereitstellung bzw. Bildung eines Substratpakets. Weiter umfasst die Vorrichtung mindestens eine Transfereinrichtung zum Transfer von Substratpaketen. Weiter umfasst die Vorrichtung mindestens eine Entpackeinrichtung zum Entpacken eines Substratpakets.
Erfindungsgemäß sind die Packeinrichtung, die Transfereinrichtung und die
Entpackeinrichtung entlang einer Bewegungstrajektorie für Carrier an voneinander verschiedenen Positionen angeordnet. Mit anderen Worten ist mittels der mindestens einen Carrier-Transporteinrichtung ein Carrier in die Packposition, die Transferposition und/oder die Entpackposition transportierbar, wobei die Packposition von der Transferposition verschieden ist und/oder wobei die Transferposition von der
Entpackposition verschieden ist. Auch können mittels der/den Carrier- Transporteinrichtung(en) mehrere Carrier zumindest teilweise gleichzeitig transportiert werden.
Die mindestens eine Carrier-Transporteinrichtung kann insbesondere als Transportband ausgebildet sein oder ein Transportband umfassen. Selbstverständlich können auch andere Transporteinrichtungen verwendet werden.
Die mindestens eine Carrier-Transporteinrichtung und gegebenenfalls auch die weiteren Einrichtungen der Vorrichtung können hierbei derart angeordnet sein, dass ein Carrier mit einem vorbestimmten Winkel, beispielsweise einem Winkel von 3°, geneigt zu einer Richtung der Gravitationskraft, transportiert werden kann. Dies kann insbesondere bedeuten, dass eine zentrale Längsachse eines Carriers beim Transport mit einem von 90° verschiedenen Winkel zur Gravitationsrichtung, insbesondere mit einem Winkel von 93° bzw. 87°, geneigt ist.
Durch die vorgeschlagene Vorrichtung kann in vorteilhafter Weise ein Verfahren gemäß einer in dieser Offenbarung beschriebenen Ausführungsformen durchgeführt werden, dessen Vorteile vorhergehend bereits erläutert wurden.
In einer weiteren Ausführungsform umfasst die Vorrichtung mindestens eine Prozessboot- Wechseleinrichtung zur Bewegung eines Prozessboots aus einer Be- und/oder
Entladeposition. Die Prozessboot-Wechseleinrichtung kann auch zur Bewegung eines weiteren Prozessboots in die Be- und Entladeposition dienen. Mittels dieser Prozessboot- Wechseleinrichtung kann insbesondere eine Linearbewegung eines Prozessboots entlang einer oder mehrerer Raumachsen durchgeführt werden. Auch können mehrere
Prozessboote gleichzeitig transportiert werden, insbesondere zwischen der Vorrichtung zum Umladen und verschiedenen Prozessanlagen.
Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise, dass das Umladen von Substraten nach einem vollständigen Beladen eines Prozessboots mit Substratpaketen aus Carriern möglichst schnell fortgesetzt werden kann. Dies wiederum verkürzt in vorteilhafter Weise eine Herstellungszeit für Substrate. Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Die Figuren zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Verfahrens,
Fig. 2 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einem ersten Zustand,
Fig. 3 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einem zweiten Zustand,
Fig. 4 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einem dritten Zustand,
Fig. 5 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einem vierten Zustand,
Fig. 6 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einem fünften Zustand,
Fig. 7 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einem sechsten Zustand und
Fig. 8 eine schematische Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einem siebten Zustand.
Nachfolgend bezeichnen gleiche Bezugszeichen Elemente mit gleichen oder ähnlichen technischen Merkmalen.
Fig. 1 zeigt einen schematischen Ablauf eines erfindungsgemäßen Verfahrens.
Dargestellt ist ein erster Carrier C1 , der zur Aufnahme von Substraten 2 in Einzelstellung als auch zur Aufnahme mindestens eines Substratpakets 8 dient. Ein Substratpaket 8 kann hierbei ein oder mehrere Substratpaare 6 umfassen. Der Übersichtlichkeit halber sind nicht alle Substrate 2, Substratpaare 6 und Substratpakete 8 mit einem
Bezugszeichen versehen. Ein Aufnahmevolumen des ersten Carriers C1 für Substrate 2 bzw. Substratpakete 8 umfasst ein erstes Segment SA und ein weiteres Segment SB. Hierbei sind sowohl im ersten als auch im zweiten Segment SA, SB des ersten Carriers C1 Substrate 2 in Einzelstellung angeordnet. Die in dem ersten und zweiten Segment SA, SB des ersten Carriers C1 angeordneten Substrate 2 können hierbei unprozessierte Substrate 2 sein.
In einem ersten Transportschritt TS1 wird der erste Carrier C1 mit den Substraten 2 in Einzelstellung aus einer Ausgangsposition AP in eine Packposition PP bewegt. In einem ersten Arbeitsschritt AS1 wird in dem ersten Carrier C1 ein Substratpaket 8 gebildet. Hierfür werden die Substrate 2, die im ersten Segment SA des ersten Carriers C1 angeordnet sind, und die Substrate 2, die im weiteren Segment SB des ersten Carriers C1 angeordnet sind, in eine Back-to-Back-Stellung versetzt. In Fig. 1 ist dargestellt, dass das Substratpaket 8 im weiteren Segment SB des ersten Carriers C1 angeordnet wird. Nach dem ersten Arbeitsschritt AS1 sind keine Substrate 2 mehr im ersten Segment SA des ersten Carriers C1 angeordnet. Der erste Arbeitsschritt AS1 wird durchgeführt, wenn sich der erste Carrier C1 in der Packposition PP befindet. Insbesondere kann der erste Carrier C1 in der Packposition PP fixiert und/oder zentriert werden, z.B. durch eine
entsprechende Fixier- und/oder Zentriereinrichtung.
Nach der Beendigung des ersten Arbeitsschritts AS1 wird der erste Carrier C1 in einem zweiten Transportschritt TS2 von der Packposition PP in eine Transferposition TP bewegt. In einem ersten Teilschritt AS2a eines zweiten Arbeitsschritts wird das im ersten
Arbeitsschritt AS 1 gebildete und im weiteren Segment SB des ersten Carriers C1 angeordnete Substratpaket 8 in ein freies Segment SC eines Prozessbootes SB transportiert. Ein Aufnahmevolumen für Substrate 2 bzw. Substratpakete 8 des
Prozessbootes SB umfasst hierbei exemplarisch drei Segmente SA, SB, SC, wobei in dem ersten Segment SA und in dem zweiten Segment SB des Prozessbootes SB
Substratpakete 8 angeordnet sind. Die in dem ersten und zweiten Segment SA, SB des Prozessboots SB angeordneten Substratpakete 8 können hierbei bereits prozessierte Substrate 2 umfassen. Die Wahl der Segmente für die Belegung mit Substraten 2 bzw. Substratpaaren 6 in dem Carrier C1 und dem Prozessboot B1 ist hierbei rein
exemplarisch. Selbstverständlich können auch andere Segmente in diesem Carrier C1 und dem Prozessboot B1 für die Belegung gewählt werden. In einem zweiten Teilschritt AS2b des zweiten Arbeitsschritts wird das im ersten Segment SA des Prozessboots SB angeordnete Substratpaket 8 in das erste, freie Segment SA des ersten Carriers C1 transportiert.
Der zweite Arbeitsschritt wird durchgeführt, wenn sich der erste Carrier C1 in der Transferposition TP befindet. Insbesondere kann der erste Carrier C1 in der
Transferposition TP fixiert und/oder zentriert werden, z.B. durch eine entsprechende Fixier- und/oder Zentriereinrichtung.
Nach der Beendigung des zweiten Arbeitsschritts wird der erste Carrier C1 in einem dritten Transportschritt TS3 in eine Entpackposition EP bewegt. In einem dritten
Arbeitsschritt AS3 wird das in dem ersten Segment SA des ersten Carriers C1
angeordnete Substratpaket 8 entpackt.
Hierfür werden die Substrate 2 dieses Substratpakets 8 vereinzelt, wobei ein Teil dieser vereinzelten Substrate 2 dann im weiteren Segment SB des ersten Carriers C1 und ein weiterer Teil dieser vereinzelten Substrate 2 im ersten Segment SA angeordnet wird. Der dritte Arbeitsschritt AS3 wird durchgeführt, wenn sich der erste Carrier C1 in der
Entpackposition EP befindet. Insbesondere kann der erste Carrier C1 in der
Entpackposition EP fixiert und/oder zentriert werden.
Nach der Beendigung des dritten Arbeitsschritts AS3 kann der erste Carrier C1 in einem vierten Transportschritt TS4 in eine Entnahmeposition NP bewegt.
Fig. 2 zeigt eine schematische Draufsicht auf eine Vorrichtung 1 zum Transport von Substraten 2, die zum Umladen von Substraten 2 aus Carriern C1 , C4 in ein
Prozessboot B1 , B2, B3 und umgekehrt dient. Diese Substrate 2 können als Halbleiter- Rohlinge ausgebildet sein. Substrate 2 können insbesondere plattenförmig ausgebildet sein. Die Vorrichtung 1 dient insbesondere dem Transport während der Herstellung von Solarzellen aus den Substraten 2. Insbesondere können mittels der Vorrichtung 1 Substrate 2 aus Carriern C1 , C4 in Prozessboote B1 , B2, B3 sowie Substrate 2 von Prozessbooten B1 , B2, B3 in Carrier C1 , C4 umgeladen werden (siehe auch Fig. 3 bis 8). In Fig. 2 ist dargestellt, dass in dem ersten Carrier C1 acht Substrate 2 angeordnet sind. Hierbei sind die Substrate 2 einzeln, also nicht aneinander anliegend, in dem ersten Carrier C1 angeordnet. Insbesondere sind die Substrate 2 nicht in einer Back-To-Back- Stellung (BTB-Stellung) im ersten Carrier C1 angeordnet. Die Anzahl von acht Substraten 2 ist hierbei rein exemplarisch. Selbstverständlich können in einem Carrier C1 auch mehr als die dargestellten acht Substrate 2 angeordnet sein.
Beispielsweise können noch nicht durch eine Prozessanlage bearbeitete Substrate 2 von Carriern C1 , C5 in ein Prozessboot B1 umgeladen werden und dann in dem
Prozessboot B1 zu und gegebenenfalls in eine Prozessanlage transportiert werden. Eine Prozessanlage kann z.B. als Diffusionsofen ausgebildet sein. Durch eine Prozessanlage bearbeitete, also prozessierte Substrate 2 können dann in den Prozessbooten B1 , B2, B3 aus und von einer Prozessanlage zu der Vorichtungl transportiert werden und dort von den Prozessbooten B1 , B2, B3 in Carrier C1 , C5.
Die Umladevorrichtung 1 umfasst eine Carrier-Transporteinrichtung 4, die beispielsweise als Transportband ausgebildet sein kann. Die Carrier-Transporteinrichtung 4 kann Carrier C1 , C5 mit einer Linearbewegung entlang einer gewünschten Bewegungstrajektorie bewegen. In Fig. 1 ist dargestellt, dass sich ein erster Carrier C1 mit einer ersten Anzahl von Substraten 2 in einer Ausgangsposition AP befindet. Gestrichelt dargestellt ist eine Packposition PP, eine Transferposition TP und eine Entpackposition EP sowie eine Entnahmeposition NP für Carrier C1 , C5. Mittels der Carrier-Transporteinrichtung 4 können Carrier C1 , C5 von der Ausgangsposition AP in die Packposition PP, von der Packposition PP in die Transferposition TP und von der Transferposition TP in die Entpackposition EP transportiert werden. Die Bewegung zwischen den einzelnen Position AP, PP, TP, EP ist hierbei eine Linearbewegung.
Weiter umfasst die Vorrichtung 1 eine Packeinrichtung 5 zur Bereitstellung eines
Substratpakets 6 in einem Carrier C1 , .., C5(siehe Fig. 4). Die Packeinrichtung 5 wird hierbei nachfolgend noch näher erläutert. Weiter umfasst die Vorrichtung 1 eine
Transfereinrichtung 7 zum Transport von Substratpaketen 6 von
Substrattransportbehältern C1 , C5 in Prozessboote B1 , B2, B3 und zum Transport von Substratpaketen 6 von Prozessbooten B1 , B2, B3 in Carrier C1 , C5. Auch die
Transfereinrichtung 7 wird nachfolgend noch näher erläutert. Weiter umfasst die Vorrichtung 1 eine Entpackeinrichtung 9, wobei mittels der
Entpackeinrichtung 9 Substratpakete 6, die durch die Transfereinrichtung 7 aus einem Prozessboot B1 , B2, B3 entnommen und in einem Carrier C1 , C5 angeordnet sind, entpackt werden können. Auch die Entpackeinrichtung 9 wird nachfolgend noch näher erläutert.
In Fig. 2 ist dargestellt, dass die Packeinrichtung 5, die Transfereinrichtung 7 und die Entpackeinrichtung 9 entlang einer linearen Bewegungstrajektorie für Carrier C1 , C5 an voneinander verschiedenen Positionen angeordnet sind.
Weiter ist in Fig. 1 eine Längsachse x und eine Querachse y eines
Referenzkoordinatensystems dargestellt. Die Längs- und Querachse x, y können hierbei orthogonal zueinander orientiert sein. Nicht dargestellt ist eine Hochachse, die orthogonal zur Längsachse x und orthogonal zur Querachse y orientiert sein kann und mit diesen ein kartesisches Koordinatensystem bilden kann.
In Fig. 2 ist weiter dargestellt, dass die Bewegungsrichtung der Bewegung der Carrier C1 , C5 parallel zur Längsrichtung x orientiert ist. Weiter dargestellt ist, dass die Substrate 2 im ersten Carrier C1 entlang einer Längsachse des ersten Carriers C1 in Einzelstellung angeordnet sind, wobei diese Längsachse des ersten Carriers C1 parallel zur
Querrichtung y orientiert ist. In der Einzelstellung können Substrate 2 einzeln und entlang der Längsachse des Carriers C1 beabstandet voneinander, also insbesondere nicht aneinander anliegend, im Carrier C1 angeordnet sein. Ein Carrier C1 C5 kann hierbei Aufnahmemittel zur Aufnahme von Substraten 2 in Einzelstellung oder auch zur
Aufnahme von Substratpaaren 6 eines Substratpaketes 8 aufweisen. Ein Substratpaar 6 kann zwei Substrate 2 umfassen. In der BTB-Stellung liegen Substrate 2 eines
Substratpaares 6 vollflächig mit Oberflächen, insbesondere Rückseiten, aneinander an.
In Fig. 2 dargestellt ist ein erstes Prozessboot B1 , der sich in einer Be- und
Entladeposition BEP befindet. Weiter dargestellt ist ein zweites Prozessboot B2. In Fig. 6 ist ein drittes Prozessboot B3 dargestellt. Die Darstellung des zweiten und des dritten Prozessboots B2, B3 benachbart zu dem ersten Prozessboot B1 ist hierbei rein schematisch und dient der Visualisierung des Vorhandenseins weiterer Prozessboote B2, B3. Diese Prozessboote B2, B3 werden insbesondere erst dann in die Be- und
Entladeposition BEP bewegt, wenn ein Prozessbootwechsel erfolgt. Ein Prozessboot B1 , B2, B3 kann hierbei Aufnahmemittel zur Aufnahme von Substraten 2 in Einzelstellung und von Substratpaaren 6 aufweisen oder ausbilden. In den Figuren 2 bis 8 ist hierbei dargestellt, dass in Prozessbooten B1 , B2, B3 zwölf Substratpaare 6 entlang einer Längsachse des jeweiligen Prozessboots B1 , B2, B3 angeordnet werden können. Diese Anzahl ist wiederum rein exemplarisch. Insbesondere können auch mehr als zwölf Substratpaare 6 von einem Prozessboot B1 , B2, B3 aufgenommen werden. Weiter dargestellt ist eine Prozessboot-Wechseleinrichtung 10.
Fig. 2 zeigt einen Zustand der Vorrichtung 1 vor Durchführung eines ersten
Transportschritts TS1 (siehe Fig. 1 ) eines erfindungsgemäßen Verfahrens zum Transport von Substraten 2. In Fig. 3 ist eine schematische Draufsicht auf die in Fig. 2 dargestellte Vorrichtung 1 nach der Durchführung des ersten Transportschritts TS1 , insbesondere also in einem zweiten Zustand, dargestellt.
In dem ersten Transportschritt TS1 wird der erste Carrier C1 von der Ausgangsposition AP in die Packposition PP transportiert. Gleichzeitig wurde ein zweiter Carrier C2 mit darin in Einzelstellung angeordneten Substraten 2 in die Ausgangsposition AP
transportiert.
In Fig. 4 ist eine schematische Draufsicht auf die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung 1 nach der Durchführung eines zweiten Transportschritts TS2 und eines ersten Arbeitsschritts AS1 (siehe Fig. 1 ), insbesondere also in einem dritten Zustand, dargestellt. In dem ersten Arbeitsschritt AS1 wird ein erstes Substratpaket 8 im ersten Carrier C1 bereitgestellt. Der erste Arbeitsschritt AS1 kann hierbei durch die Packeinrichtung 5 durchgeführt werden, wenn sich der erste Carrier C1 in der Packposition PP befindet.
Das erste Substratpaket 8 umfasst die Substrate 2, die in BTB-Stellung angeordnet sind. Insbesondere umfasst das erste Substratpaket 8 Substratpaare 6 aus Substraten 2 des ersten Carriers C1.
In Fig. 4 ist ersichtlich, dass das erste Substratpaket 8 von der Packeinrichtung 5 in einem weiteren Segment SB des ersten Carriers C1 angeordnet wird, wobei in einem ersten Segment SA keine Substrate 2 angeordnet sind. Das Gesamtvolumen, welches aus dem ersten und dem zweiten Segment SA, SB besteht, bildet das im ersten Carrier C1 verfügbare Aufnahmevolumen für Substrate 2. Die Bereitstellung eines Substratpakets 8 in einem ersten Arbeitsschritt AS1 durch eine Packeinrichtung 5 wurde vorhergehend bereits detailliert erläutert.
Nach der Bereitstellung des ersten Substratpakets 8 kann in dem zweiten
Transportschritt TS2 der erste Carrier C1 in eine Transferposition TP bewegt werden. Gleichzeitig kann weiter der zweite Carrier C2 von der Ausgangsposition AP in die Packposition PP bewegt werden. Weiter gleichzeitig kann ein dritter Carrier C3 mit darin in Einzelstellung angeordneten Substraten 2 in die Ausgangsposition bewegt AP werden.
In Fig. 5 ist eine schematische Draufsicht auf die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung 1 nach der Durchführung eines ersten Teilschritts AS2a eines zweiten Arbeitsschritts (siehe Fig. 1 ), insbesondere also in einem vierten Zustand, dargestellt. In dem ersten Teilschritt AS2a des zweiten Arbeitsschritts wird das erste Substratpaket 8 von dem ersten Carrier C1 in ein erstes Prozessboot B1 , insbesondere in ein freies Segment SC eines im ersten Prozessboot B1 verfügbaren Aufnahmevolumens, transportiert. Dies kann auch als Umhorden des ersten Substratpakets 8 bezeichnet werden. Der Transport des ersten Substratpakets 8 von dem ersten Carrier C1 in das erste Prozessboot B1 kann durch die Transfereinrichtung 7 erfolgen.
Dargestellt ist, dass der erste Carrier C1 nach diesem ersten Teilschritt AS2a keine Substrate 2 mehr enthält. Die vor dem ersten Teilschritt AS2a im ersten Carrier C1 in Form von Substratpaaren 6 angeordneten Substrate 2 sind nach dem zweiten
Arbeitsschritt im ersten Prozessboot B1 angeordnet.
Dargestellt ist, dass das im ersten Prozessboot B1 verfügbare Aufnahmevolumen vollständig mit Substratpaaren 6 in Form von Substratpaketen 8 gefüllt ist, die
insbesondere aus Carriern C1 in das erste Prozessboot B1 transportiert wurden. Das erste Prozessboot B1 befindet sich hierbei in einer Be- und Entladeposition BEP. Nach vollständiger Beladung des ersten Prozessboots B1 mit Substraten 2 aus Carriern C1 kann ein Prozessbootwechsel erfolgen. Hierzu kann das erste Prozessboot B1 aus der Be- und Entladeposition BEP herausbewegt werden. Weiter kann ein zweites
Prozessboot B2 in die Be- und Entladeposition BEP bewegt werden. Dieser Wechsel kann durch eine Prozessboot-Wechseleinrichtung 10 durchgeführt werden. Die von den Carriern C1 , C5 in die Prozessboote B1 , B2, B3 transportierten Substrate 2 können hierbei unprozessierte Substrate 2 sein, also Substrate 2, für die ein oder mehrere Bearbeitungsschritte noch nicht durchgeführt wurden.
Die Substrate 2, die von den Prozessbooten B1 , B2 in die Carrier C1 , C5 transportiert werden, können insbesondere prozessierte Substrate 2 sein, also Substrate 2, für die mindestens ein oder mehrere vorbestimmte Herstellungsschritte bereits durchgeführt wurden.
In Fig. 6 ist eine schematische Draufsicht auf die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung 1 nach der Durchführung eines zweiten Teilschritts AS2b des zweiten Arbeitsschritts (siehe Fig. 1 ), insbesondere also in einem fünften Zustand, dargestellt. In dem zweiten Teilschritt AS2b des zweiten Arbeitsschritts kann dann ein weiteres Substratpaket 8 von dem zweiten Prozessboot B2, das sich nun in der Be- und Entladeposition BEP befindet, in den ersten Carrier C1 , insbesondere in das freie, erste Segment SA, transportiert werden. Hierbei ist insbesondere dargestellt, dass Substratpaare 6 Substrate 2 in BTB- Stellung umfassen, die von dem zweiten Prozessboot B2 in den ersten Carrier C1 transportiert wurden, insbesondere durch die Transfereinrichtung 7. Weiter ist in Fig. 6 ein drittes Prozessboot B3 dargestellt, das mit bereits prozessierten Substraten 2 in BTB- Stellung beladen ist.
Es ist alternativ auch möglich, im ersten Teilschritt AS2a des zweiten Arbeitsschritts Substrate 2 von einem Prozessboot B1 , B2, B3 in den ersten Carrier C1 , insbesondere in dessen freies, erstes Segment SA, zu transportieren. Dann können im zweiten Teilschritt AS2b des zweiten Arbeitsschritts die im weiteren Segment SB angeordneten
Substratpaare 6 in das Prozessboot B1 , B2, B3 transportiert werden, insbesondere in das Segment des Prozessboots B1 , B2, B3, in dem die unmittelbar zeitlich zuvor in den Carrier C1 transportierten Substrate 2 angeordnet waren. In diesem Fall kann der erläuterte Prozessbootwechsel vor dem ersten Teilschritt AS2a oder nach dem zweiten Teilschritt AS2b durchgeführt werden.
Zeitlich parallel zum zweiten Arbeitsschritt kann für den zweiten Carrier C2 der erste Arbeitsschritt AS1 durchgeführt werden. Daher ist in Fig. 6 dargestellt, dass im weiteren Segment SB des zweiten Carriers C2 ein Substratpaket 8 angeordnet ist, welches aus Substraten 2 gebildet wurde, die im zweiten Carrier C2 angeordnet waren. In Fig. 7 ist eine schematische Draufsicht auf die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung 1 nach der Durchführung eines dritten Transportschritts TS3 (siehe Fig. 1 ), insbesondere also in einem sechsten Zustand, dargestellt. In dem dritten Transportschritt TS3 wird dann der erste Carrier C1 mit den darin in Form eines Substratpakets 8 angeordneten Substraten 2 von der Transferposition TP in eine Entpackposition EP transportiert. Ebenfalls im dritten Transportschritt TS3 wird der zweite Carrier C2 mit einem darin angeordneten
Substratpaket 8 von der Packposition PP in die Transferposition TP transportiert. Weiter wird der dritte Carrier C3 von der Ausgangsposition AP in die Packposition PP transportiert. Ebenfalls im dritten Transportschritt wird ein vierter Carrier C4 mit darin in Einzelstellung angeordneten Substraten 2 in die Ausgangsposition AP transportiert.
In Fig. 8 ist eine schematische Draufsicht auf die in Fig. 2 dargestellte Vorrichtung 1 nach der Durchführung eines dritten Arbeitsschritts AS3 (siehe Fig. 1 ), insbesondere also in einem siebten Zustand, dargestellt. In dem dritten Arbeitsschritt AS3 wird dann das Substratpaket 8 im ersten Carrier C1 , welches aus Substratpaaren 6 besteht und Substrate 2 umfasst, entpackt. Das Entpacken kann hierbei durch die Entpackeinrichtung 9 durchgeführt werden. In diesem dritten Arbeitsschritt AS3 werden die Substrate 2 der Substratpaare 6, die vor dem dritten Arbeitsschritt AS3 in BTB-Stellung im ersten Teilsegment SA des ersten Carriers C1 angeordnet waren, aus dieser BTB-Stellung vereinzelt und dann in Einzelstellung in dem ersten Carriers C1 angeordnet. Nach dem dritten Arbeitsschritt AS3 sind in beiden Teilsegmenten SA, SB des ersten Carriers C1 Substrate 2 in Einzelstellung angeordnet.
Während des dritten Arbeitsschritts AS3 kann zumindest teilweise gleichzeitig ein erster Arbeitsschritt AS1 für die Substrate 2a_C3, 2d_C3 des dritten Carriers C3, der sich in der Packposition PP befindet, durchgeführt werden. Ebenfalls gleichzeitig kann ein zweiter Arbeitsschritt oder mindestens ein Teilschritt AS2a, AS2b für Substrate 2 des zweiten Carriers C2, der sich in der Transferposition TP befindet, durchgeführt werden.
Nach dem dritten Arbeitsschritt AS2 kann in dem siebten Schritt der erste Carrier C1 von der Entpackposition EP in eine Entnahmeposition EP (siehe Fig. 1 ) transportiert werden. Dies kann in einem vierten Transportschritt TS4 erfolgen. Weiter kann im siebten Schritt, insbesondere während des vierten Transportschritts TS4, der zweite Carrier C2 von der Transferposition TP in die Entpackposition EP, der dritte Carrier C3 von der Packposition PP in die Transferposition TP, der vierte Carrier C4 von der Ausgangsposition AP Packposition PP und ein fünfter Carrier mit darin in Einzelstellung angeordneten Substraten 2 in die Ausgangsposition AP transportiert werden.
Bezugszeichenliste
1 Vorrichtung zum Transport von Substraten
2 Substrat
4 Transportband
5 Packeinrichtung
6 Substratpaare
7 Transfereinrichtung
8 Substratpaket
9 Entpackeinrichtung
10 Prozessboot-Wechseleinrichtung
AP Ausgangsposition
BL Packposition
TP Transferposition
EP Entpackposition
BEP Be- und Entladeposition
X Längsrichtung
y Querrichtung
SA erstes Segment
SB weiteres Segment
sc weiteres Segment

Claims

Patentansprüche
1 . Verfahren zum Transport von Substraten (2), insbesondere zur Herstellung von Solarzellen, wobei in einem ersten Transportschritt (TS1 ) ein erster Carrier (C1 ) mit einer ersten Anzahl von Substraten (2) in eine Packposition (PP) transportiert wird, wobei in einem ersten Arbeitsschritt (AS1 ) mindestens ein erstes Substratpaket (8) in dem ersten Carrier (C1 ) gebildet wird, wobei in einem zweiten Transportschritt (TS2) der erste Carrier (C1 ) in eine Transferposition (TP) bewegt wird, wobei in einem zweiten Arbeitsschritt das mindestens erste Substratpaket (8) von dem ersten Carrier (C1 ) in ein erstes Prozessboot (B1 ) und mindestens ein weiteres
Substratpaket (8) von einem Prozessboot (B1 , B2) in den ersten Carrier (C1 ) transportiert wird, wobei in einem dritten Transportschritt (TS3) der erste Carrier (C1 ) in eine Entpackposition (EP) transportiert wird, wobei in einem dritten
Arbeitsschritt (AS3) das mindestens eine weitere Substratpaket (8) entpackt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegung von der Packposition (PP) in die Transferposition (TP) und/oder die Bewegung von der Transferposition (TP) in die Entpackposition (EP) eine Linearbewegung ist.
3. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Transportschritt (TS1 ) ein zweiter Carrier von der Packposition (PP) in die Transferposition (TP) transportiert wird und/oder ein dritter Carrier von der Transferposition (TP) in die Entpackposition (EP) transportiert wird.
4. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten Transportschritt (TS2) der zweite Carrier von der Transferposition (TP) in die Entpackposition (EP) transportiert wird und/oder ein vierter Carrier in die Packposition (PP) transportiert wird.
5. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im dritten Transportschritt (TS3) der vierte Carrier von der Packposition (PP) in die Transferposition (TP) und/oder ein fünfter Carrier in die Packposition (PP) transportiert wird.
6. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Arbeitsschritt (AS1 ) das erste Substratpaket (8) in einem Segment (TV1 ) des im ersten Carrier (C1 ) verfügbaren Aufnahmevolumens für Substrate (2) angeordnet wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten Arbeitsschritt das erste Substratpaket aus dem Segment (TV1 ) in ein Prozessboot (B1 , B2, B3) und/oder mindestens ein weiteres Substratpaket von einem Prozessboot (B1 , B2, B3) in ein Segment (TV1 , TV2) des im ersten Carrier (C1 ) verfügbaren
Aufnahmevolumens transportiert wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass im dritten Arbeitsschritt das in dem Segment (TV1 , TV2) angeordnete Substratpaket (8) entpackt wird.
9. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zeitlich vor oder zeitlich nach dem zweiten Arbeitsschritt einer
carrierspezifischen Schrittsequenz ein Prozessboot (B1 , B2, B3) aus einer Be- und Entladeposition (BEP) transportiert wird.
10. Vorrichtung zum Transport von Substraten (2), wobei die Vorrichtung (1 )
mindestens eine Carrier-Transporteinrichtung (4) zur Bewegung eines Carriers (C1 ,..., C4) in eine Packposition (PP), in eine Transferposition (TP) und/oder in eine Entpackposition (EP), mindestens eine Packeinrichtung (5) zur Bereitstellung eines Substratpakets (8), mindestens eine Transfereinrichtung (7) zum Transfer von Substratpaketen (8) und mindestens eine Entpackeinrichtung (9) zum Entpacken eines Substratpakets (8) umfasst,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Packeinrichtung (5), die Transfereinrichtung (7) und die Entpackeinrichtung (9) entlang einer Bewegungstrajektorie für den Carrier (C1 , C4) an voneinander verschiedenen Positionen angeordnet sind. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1 ) mindestens eine Prozessboot-Wechseleinrichtung (10) zur Bewegung eines Prozessboots (B1 , B2, B3) in und/oder aus einer Be- und/oder Entladeposition (BEP) umfasst.
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