CH692741A5

CH692741A5 - Verfahren zur Herstellung in Vakuum oberflächenbehandelter Werkstücke und Vakuumbehandlungsanlage zu dessen Durchführung

Info

Publication number: CH692741A5
Application number: CH01653/97A
Authority: CH
Inventors: Rudolf Wagner; Jerome Perrin; Jacques Schmitt
Original assignee: Unaxis Trading Ltd C O Balzers
Priority date: 1997-07-08
Filing date: 1997-07-08
Publication date: 2002-10-15
Also published as: JPH11154633A; US6890862B2; US20010051081A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung in Vakuum oberflächenbehandelter Werkstücke nach dem Oberbegriff von Anspruch 1, eine Vakuumbehandlungsanlage zur Durchführung des Verfahrens nach demjenigen von Anspruch 11 sowie eine Vakuumkammer hierfür nach demjenigen von Anspruch 19.

Ein Satz mehrerer Werkstücke wird nachfolgend als "Batch" bezeichnet.

Die Vakuum-Behandlung von ganzen Batchs gleichzeitig ist schon lange bekannt. Hierzu war es üblich, einen Vakuum-Rezipienten mit einem Batch zu beladen und nach Abpumpen des Rezipienten die Behandlung darin vorzunehmen. Nach Beendigung des Behandlungsprozesses wurde der Rezipient geflutet, geöffnet und der behandelte Batch herausgenommen.

Dieses Verfahren ist auf Prozesse limitiert, bei denen hintereinander, üblicherweise mit Zwischenphasen in Normal-Atmosphäre, jeweils eine Batch-Behandlung vorgenommen werden kann. Damit ist eine solche Batch-Behandlung nicht einsetzbar für die Behandlung von Werkstücken, bei der eine Abfolge von Vakuumbehandlungsschritten vorzunehmen ist, die alle, oder mindestens zum Grossteil, hohen Reinhaltungsanforderungen zu genügen haben. Für diese Art heikler Prozessabfolgen wurde eine abweichende Behandlungstechnik entwickelt, bei der die Werkstücke in Vakuumatmosphäre eingeschleust werden und, ohne diese zu verlassen, einer Abfolge von Behandlungsprozessschritten zugeführt werden, wie beispielsweise Beschichtungsprozessen in allen bekannten vakuumtechnischen Varianten, wie beispielsweise CVD, LPCVD, PECVD, PVD, Ätzprozessen, Reinigungsprozessen, Heiz- oder Abkühlprozessen.

So ist es beispielsweise aus der US 5 344 542 bekannt, die Werkstücke von einer Speicher-Schleusenstation über eine zentral angeordnete Vakuum-Transportkammer mehreren damit in Verbindung stehenden Behandlungsstationen zuzuführen, wozu in der Transportkammer ein Transportroboter vorgesehen ist. Um eine Kreuzkontamination der einzelnen Behandlungsschritte an den Behandlungsstationen über die Transportkammer zu minimalisieren, sind die Behandlungsstationen bezüglich der Transportkammer vakuumtechnisch mittels Ventilen abtrennbar. Die Werkstücke werden einzeln über die Transportkammer den vorgesehenen Behandlungsstationen zugeführt.

Werden, um eine solche Transportkammer herum und unterschiedlichen Erfordernissen entsprechend, verschiedene Typen von Behandlungsstationen angeflanscht, so ergeben sich auch unterschiedliche Bedürfnisse bezüglich zeitlicher Abfolge, mit welcher die einzelnen Behandlungsstationen von einem Werkstück zu durchlaufen sind und auch bezüglich Behandlungsdauer, denen die einzelnen Werkstücke an den jeweiligen Behandlungsstationen unterworfen werden. Um flexibel die einzelnen Werkstücke der jeweils vorgesehenen Behandlung unterziehen zu können, schlägt die US 5 344 542 weiter vor, insbesondere die Roboteranordnung mit einer Prozesssteuerung wirkzuverbinden, an welcher die jeweilige zeitliche Abfolge, mit welcher die Behandlungsstationen von der Roboteranordnung bedient werden, frei vorgebbar ist.

Auch aus der US 5 019 233 ist es bekannt, hochkomplexe vakuumtechnische Werkstückbehandlungen mit behandlungskritischen und insbesondere kontaminationsempfindlichen Behandlungsschritten, wie bereits im Zusammenhang mit der US 5 344 542 besprochen, unter Befolgung des Einzelwerkstück-Behandlungsprinzips zu behandeln. Dabei wird aber erkannt, dass die Werkstücke, nach ih rem Einschleusen in eine Eingangsschleusenkammer, erst konditioniert werden müssen, d.h. so entgast werden müssen, dass sie darnach nicht absorbierte Fremdgase als Kontamination in die hochkritischen Prozesse einführen. Will man laut der US 5 019 233 diese Konditionierung der Werkstücke beim Einschleusen wie notwendig vornehmen, so erfordert dies relativ lange Konditionierungszeiten.

Die Schleuse wird zum langsamsten Glied der Prozessschritt-Abfolge und beschränkt die Durchlaufrate durch eine entsprechende Behandlungsanlage massgeblich.

Dieses Problem wird hier so gelöst, dass zwei Eintrittsschleusenkammern parallel betrieben werden. Ein Werkstück-Batch wird einer ersten Schleusenkammer zugeführt und dort konditioniert, wonach er einer zweiten übergeben wird. Von Letzterer wird Werkstück um Werkstück über die zentrale Transportkammer an die vorgesehenen Behandlungsstationen, wiederum in frei wählbarer Abfolge, verteilt, während in der ersten Schleusenkammer bereits der nächste Batch eingeschleust und konditioniert wird. Für das Durchlaufen der hochdiffizilen Prozessschritte an den Behandlungsstationen wird vom vorgenannten Einzelwerkstück-Behandlungsprinzip somit nicht abgewichen. Lediglich beim Einschleusen und Konditionieren sowie beim Ausschleusen werden die Werkstücke zu Batchs gruppiert.

Ganz ähnlich wird gemäss der EP 0 608 620 vorgegangen. Grundsätzlich sollen auch hier Werkstücke einer komplexen Abfolge einzelner, kritischer Vakuumbehandlungsschritte unterzogen werden. Auch hier wird das vorerwähnte Konzept Ein- und Ausschleusen der Werkstücke im Batch-Betrieb und Unterziehen der Werkstücke den einzelnen Behandlungsschritten im Einzelwerkstück-Betrieb beibehalten.

Gemäss dieser Schrift sollen dünne Glassubstrate behandelt werden. Dabei bestehe ein akutes Bruchproblem, wenn solche Substrate abrupten Temperaturwechseln ausgesetzt werden. Sollen aber solche Glassubstrate, im Einzelbehandlungsmode, je einzeln sachte aufgewärmt bzw. sachte abgekühlt werden, so wird, im Einzelwerkstückbetrieb, wie dies bereits in der US 5 019 233 ausgeführt ist, die Durchlaufrate durch die Gesamtanlage massgeblich beeinträchtigt. Gleich wie bei der US 5 019 233 werden auch hier in der Prozessabfolgekette die langsamsten Prozessschritte, nämlich sachtes Aufwärmen und sachtes Abkühlen, noch im Batch-Betrieb durchgeführt. Dabei handelt es sich ohnehin um Prozessschritte, die als solche eher unkritisch sind.

Es wird also auch gemäss dieser Schrift ein Werkstück-Batch eingeschleust, der eingeschleuste Batch wird unmittelbar darauf als Batch in einer Heizstation langsam aufgewärmt. Darnach werden aber die Werkstücke einzeln den einzelnen Behandlungsstationen zugeführt und erst wieder in einer Ausschleusstation zu einem Werkstück-Batch gesammelt, wo sie gemeinsam sachte abgekühlt werden, bevor sie in die Umgebung ausgegeben werden.

Wie ersichtlich, war man mithin bisher konsequent bedacht, Werkstücke, die in einer komplexen Abfolge heikler Behandlungsprozesse zu bearbeiten sind, je einzeln, d.h. Werkstück für Werkstück, zu behandeln. Ein wesentlicher Grund hierfür war auch die herrschende Meinung, dass bei einer komplexen Prozessschrittabfolge und mithin teuren behandelten Werkstücken nur eine Einzelwerkstückbehandlung sinnvoll sei, um einerseits die Prozesse besser kontrollieren und die Prozessabfolge kontrollieren, überwachen und rekonstruieren zu können und zudem, um insbesondere auch den Schaden bei auftretenden Fehlern auf einige wenige Werkstücke begrenzen zu können.

Nach diesseitigem Wissen erstmals schlug die DE-OS 4 412 902 vor, auch bei derartigen hochdiffizilen Werkstückbehandlungs-Prozessen nicht nur die Werkstücke als Batch ein- bzw. auszuschleusen, sondern sie auch als Transport-Batch einer zentralen Transportkammer zuzuführen, darin weiterzutransportieren und sie weiterhin als Batch - als Stationsbatch - in Behandlungsstationen zu behandeln. Es wurden zur weiteren Erhöhung der Durchlaufrate dabei mehrere gleiche bzw. gleich betriebene Behandlungsstationen vorgesehen und parallel betrieben.

Die vorliegende Erfindung geht unter einem ersten Aspekt von einem Verfahren bzw. einer Anlage letztgenannter Art aus. Wie erwähnt, werden darin Werkstücke als Batchs ein- und ausgeschleust, dann transportiert und parallel mehreren gleichen Behandlungsstationen als Batch zugeführt. Die vorliegende Erfindung stellt sich nun zur Aufgabe, bei diesem Vorgehen eine hohe Anpassungsflexibilität für unterschiedliche Prozessabläufe sicherzustellen, dabei unter Beibehalt der mit der erwähnten Werkstück-Batchbehandlung erzielten, hohen Produktionsrate, und zwar auch dann, wenn erforderlichenfalls und im Rahmen der angestrebten Flexibilität hochkritische, unterschiedlichste Einzelprozessschritte in komplexer Abfolge realisiert werden sollen.

Dies wird durch ein Verfahren erreicht, das sich nach dem Kennzeichen von Anspruch 1 auszeichnet.

Somit wird mit der herrschenden Meinung gebrochen, Batch-Behandlungen von Werkstücken seien, wie erfindungsgemäss mit dem Vorsehen der freien Vorgebbarkeit der Behandlungsabfolge gerade angestrebt, für hochkomplexe Behandlungsprozess-Abfolgen auch mit flexibel wählbarem, diffizilen Prozessschritten nicht sinnvoll realisierbar.

Es ermöglicht nun das erfindungsgemässe Verfahren und die entsprechende erfindungsgemässe Anlage nach Anspruch 1 bzw. 11, dass mit ein und derselben Anlagen-Grundkonfiguration eine Vielzahl unterschiedlicher Batchbehandlungsprozesse bzw. -Behandlungsprozess-Abfolgen je nach Kundenwunsch, bzw. gar entsprechend den Erfordernissen einzelner Produktionsserien, gezielt konfiguriert werden können. Mithin können an ein und derselben Batch-Anlagengrundkonfiguration, trotz des damit erwirkten hohen Durchsatzes, die lediglich für Einzelbehandlungsanlagen bekannten Vorteile bezüglich Konfigurations-Flexibilität realisiert werden, und es wird damit möglich, auch Prozessschritte und insbesondere Prozessschrittabfolgen in Batch-Bearbeitung zu realisieren, die bis anhin der Einzelwerkstück-Behandlung vorbehalten waren.

Unter der angesprochenen Anwendungsflexibilität ein und derselben Anlage wird unter einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung von folgender Erkenntnis ausgegangen: Wenn an einer Behandlungsanlage zwei oder mehr Vakuumstationen vorgesehen sind, in welchen die Werkstücke, dem obgenannten Konzept folgend, als Stations-Batch aufgenommen werden, so kann der Fall auftreten, in welchem die Stations-Batchgrösse an der einen oder andern der vorgesehenen Vakuum-Stationen, je nach ihrem Typus und auch Realisationsaufwand-bezogen, kleiner sein sollte als an einer anderen Vakuum-Station.

Hierzu kann beispielsweise auf die US 5 590 994 verwiesen werden. An der daraus vorbekannten Anlage ist als erste Vakuum-Station im hier angesprochenen Sinne eine Transportstation vorgesehen mit einem einen Werkstück-Transport-Batch tragenden Transportkarussell. Bevor Werkstücke vom Transport-Batch einem weiteren Transportroboter zugeführt werden, von welch Letzterem sie, wiederum dem Einzelbehandlungs-Prinzip folgend, je einzeln Behandlungsstationen zugeführt werden, werden sie von Ersterem in eine grosse Konditionierungskammer abgelegt. Dort wird ein wesentlich grösserer Werkstück-Stationsbatch aufgenommen, als in der ersterwähnten Transportkammer.

Die Konditionierungskam mer wird zyklisch betrieben, indem jeweils von der erwähnten Transportkammer ein Werkstück in die Konditionierungskammer eingelegt wird, während gleichzeitig ein bereits konditioniertes wieder zurückgeholt wird. Daran ist ersichtlich, dass bereits dort erkannt wurde, dass es höchst vorteilhaft sein kann, an einer Anlage im Batch-Betrieb operierende Vakuum-Stationen vorzusehen mit unterschiedlicher Stationsbatch-Grösse. Wie erwähnt wurde, erfolgt aber an dieser vorbekannten Anlage sowohl die Behandlung wie auch der Transport zwischen den beiden Vakuum-Stationen unterschiedlicher Batch-Grösse im Einzelwerkstück-Mode.

Unter diesem zweiten Aspekt setzt sich die vorliegende Erfindung hinzukommend zur Aufgabe, ausgehend von einem Vorgehen letztgenannter Art, bei dem grundsätzlich mindestens zwei Vakuum-Stationen für unterschiedliche Stationsbatch-Grösse vorgesehen sind, die Durchlaufrate der Gesamtanlage über die durch die an der vorbekannten Anlage weiterhin befolgte Einzelwerkstück-Übergabe und -Behandlung gegebene Rate hinaus weiter zu erhöhen. Dies wird bei Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 2 bzw. bei Realisierung der Anlage nach Anspruch 12 erreicht.

Damit wird einerseits die Möglichkeit beibehalten, je nach vorgesehenem Vakuumstationen-Typ unterschiedliche Stationsbatch-Grössen darin zu bearbeiten und trotzdem konsequent das Prinzip des Batch-Betriebes zu befolgen. Damit kann beispielsweise eine als Schleusenstation ausgebildete Vakuumstation mit einem sehr grossen Stationsbatch ausgerüstet werden, und eine vorgesehene Transport-Roboteranordnung nimmt, quasi portionenweise, jeweils einen kleineren Transportbatch aus dem Schleusenstationsbatch, um ihn einer jeweiligen Behandlungsstation zuzuführen, welche sinnvollerweise nicht so realisiert wird, dass alle Werkstücke des Schleusenstationsbatchs gleichzeitig behandelt werden können.

Wie noch zu erläutern sein wird, geht ein weiterer erfindungsgemässer Schritt nun dahin, auch die Grösse des jeweiligen Transportbatches gesteuert zu variieren, womit dann die Möglichkeit gegeben ist, bei mehreren Vakuumstationen mit jeweils unterschiedlichen Stationsbatch-Grössen den gesamten Bearbeitungsablauf zu optimieren, z.B. in Funktion davon, aus welcher Stationsbatch-Quelle ein Transport zu welchem Ziel-Stationsbatch zu bewerkstelligen ist. Dieser Aspekt der Erfindung, bei dem zwischendurch auch eine "Batchgrösse 1" und damit Einzelwerkstückbetrieb angesteuert werden kann, ist in den Ausführungsformen nach Anspruch 3 bzw. Anspruch 13 spezifiziert.

Unter diesem dritten bevorzugten Aspekt geht somit die vorliegende Erfindung, weiterhin mit dem Ziel höchstmöglicher Einsatzflexibilität bei optimierter Durchsatzrate, davon aus, dass beispielsweise ausgehend von der US 5 590 994, mit Vakuum-Stationen unterschiedlicher Stationsbatch-Grösse, durchaus mindestens zwei Vakuum-Stationen mit solch unterschiedlicher Stationsbatch-Grösse vorgesehen sein können, deren Beladung und/oder Entladung aber optimalerweise nicht mit ein und derselben Transportbatch-Grösse erfolgen sollte.

Ist beispielsweise die eine jeweils zu beladende Vakuum-Station für eine Stationsbatch-Grösse von neun ausgerüstet, die zweite für eine Stationsbatch-Grösse von zehn, so ist ohne weiteres ersichtlich, dass ein und dieselbe Transportbatch-Grösse, sei dies beispielsweise von drei oder fünf, nicht geeignet ist, um bei beiden Stationen starr eingesetzt zu werden. Unter diesem Aspekt wird deshalb vorgeschlagen, bei einem Behandlungsverfahren von Werkstücken, bei dem mindestens zwei Vakuumstationen vorgesehen sind, in denen die Werkstücke je als Stationsbatch aufgenommen werden, diese Vakuum-Stationen mit Transportbatchs zu beliefern bzw. zu entladen, deren Grösse steuerbar ist.

Werden mithin diese beiden Stationen z.B. durch ein und denselben Transport-Roboter bedient, so wird vorgeschlagen, z.B. an letzterem Mass nahmen vorzusehen, mittels welchen gesteuert werden kann, wie viele Werkstücke der Roboter jeweils aufnehmen soll.

Vorzugsweise wird auch hier die jeweilige Transportbatch-Grössen-Abfolge über eine Prozesssteuerung frei vorgebbar ausgebildet, oder durch eine solche Steuerung, bei freier Vorgebbarkeit z.B. von Stationen-Batchgrössen und Prozessschritt-Abfolgen, optimierend bestimmt.

Dabei ist es nun wie erwähnt ohne weiteres möglich, ggf. die Transportbatch-Grösse auf ein einziges Werkstück zu reduzieren, falls erforderlich.

Unter einem vierten bevorzugten Aspekt wird weiter erkannt, dass, wenn ausgehend von ein und derselben Anlagengrundkonfiguration die unterschiedlichsten Gesamtkonfigurationen aufgebaut werden sollen, zu berücksichtigen ist, dass - wie unter dem dritten bevorzugten Aspekt diskutiert wurde - Vakuum-Stationen auch für unterschiedliche Stationsbatch-Grössen ausgelegt sein können. Damit werden bevorzugte Ausführungen gemäss den Ansprüchen 4 bzw. 14 vorgeschlagen. Hierbei ist die Werkstückzahl der Stationen-Batchs mittels einer Prozesssteuerung frei vorgebbar.

Wird z.B. an einer Bedienungsöffnung einer Transportkammer eine Vakuumstation mit einer Stationsbatch-Grösse von zehn vorgesehen, an einer anderen \ffnung eine Vakuumstation mit einer Stationen-Batchgrösse von fünf, so kann dies nun erfindungsgemäss ohne weiteres dadurch berücksichtigt werden, dass an die Prozesssteuerung fallweise eingegeben wird, mit welcher Stationen-Batchgrösse an der jeweiligen \ffnung zu rechnen ist, die Steuerung kann dann z.B. die notwendigen optimalen Transport-Batchgrössen, fix oder variabel, berechnen.

Weitere bevorzugte Ausführungsvarianten der vorliegenden Erfindung unter all ihren Aspekten sind, was das Verfahren anbelangt, in den Ansprüchen 5 bis 10 spezifiziert, bevorzugte Aus führungsformen der erfindungsgemässen Anlage in den Ansprüche 11 bis 24.

Bevorzugterweise wird mindestens ein Teil der vorgesehenen Vakuum-Stationen, soweit notwendig, vakuumtechnisch gegeneinander abgeschottet, sodass die Kontaminationsgefahr einzelner Prozessschritte durch andere eliminiert wird.

Die erfindungsgemässen Verfahren sowie die Anlagen hierfür eignen sich insbesondere für die Behandlung von flachen Werkstückscheiben, insbesondere von Halbleiter-Wafern, Speicherscheiben, Substraten für aktive Bildschirme, grundsätzlich zweidimensional flächige und dreidimensionale Werkstücke, unter Letzterem z.B. Maschinenbauteile, Werkzeuge, insbesondere zum Zerspanen und Umformen, z.B. zum Aufbringen von Verschleissschutz-Beschichtungssystemen.

Die Erfindung unter all ihren Aspekten wird anschliessend beispielsweise anhand von Figuren erläutert. Diese zeigen:

Fig. 1 in Form eines schematischen Ablaufdiagrammes eine erfindungsgemässe Anlage bzw. ein erfindungsgemässes Verfahren mit an einer Prozesssteuerung frei eingebbarer Abfolge der Bedienung von Batch-Vakuum-Stationen;
Fig. 2 in einer schematischen Darstellung, analog zu Fig. 1, eine nach dem erfindungsgemässen Verfahren arbeitende Anlage, bei der mindestens zwei Stationen unterschiedlicher Stationen-Batchgrösse mit unterschiedlichen Transport-Batches bedient werden;
Fig. 3 ausgehend von dem Vorgehen gemäss Fig. 2, schematisch den Transport von einer Station zur andern über eine als Zwischenspeicher-Station wirkende weitere Station am Teilprozess;

Fig. 4 in einer Darstellung analog zu Fig. 1, schematisch eine nach dem erfindungsgemässen Verfahren arbeitende Anlage, bei der Stationen unterschiedlicher Stationen-Batchgrösse mit während dem Betrieb gesteuerter Transport-Batchgrössen bedient werden;
Fig. 5 schematisch einen Ausschnitt aus einer ersten erfindungsgemäss arbeitenden, erfindungsgemässen Anlage, als Linearanlage ausgebildet;
Fig. 6 in Aufsicht schematisch eine weitere Ausführungsvariante einer nach dem erfindungsgemässen Verfahren arbeitenden Anlage;
Fig. 7 schematisch eine Teillängsschnitt-Darstellung einer Anlage gemäss Fig. 6;
Fig. 8a eine weitere Ausführungsform einer Transportroboter-Anordnung, wie sie an einer Anlage der in den Fig. 6 und 7 dargestellten Art eingesetzt werden kann;

Fig. 8b, 8c, 8d weitere Ausführungsformen von Roboteranordnungen dieser Art, so für freie Zusammenstellbarkeit der Transportbatch-Grössen (Fig. 8b), für freie Einstellbarkeit der Pitchweite (Fig. 8c), für kombinierte Realisation freier Pitchweitenwahl und freier Transportbatch-Grössenwahl (Fig. 8d);
Fig. 9 schematisch eine weitere Ausführungsform einer nach den erfindungsgemässen Verfahren arbeitenden, erfindungsgemässen Anlage, bei der die Batchs in Batchmagazinen gehandhabt werden;
Fig. 10 schematisch eine insbesondere für dreidimensionale Werkstücke, wie für Werkzeuge, geeignete Ausführungsform eines Batch-Magazins und
Fig. 11 in Aufsicht und weiterhin schematisch eine weitere Ausführungsform einer nach den erfindungsgemässen Verfahren arbeitenden, erfindungsgemässen Anlage.

In Fig. 1 ist in Form eines Ablaufdiagrammes prinzipiell ein erstes Vorgehen unter dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung dargestellt.

Ein komplexer Vakuum-Behandlungsprozess für Werkstücke, worin bereits Behandlungsschritte, wie Transportieren, Ein-, Ausschleusen, CVD-, PECVD-, LPCVD-, PVD-Behandlungen in hier nicht interessierender Abfolge vorgenommen werden können, ist in Fig. 1 im Teilprozessblock 1 zusammengefasst. Mindestens ein weiterer Teil des Gesamtprozesses erfolgt an mindestens zwei schematisch dargestellten Behandlungs-Vakuum-Stationen 3a und 3b. Beide Behandlungsstationen 3a und 3b, bei denen es sich beispielsweise um CVD-, PECVD-, LPCVD-, PVD-, dabei Beschichtungsstationen, Ätzstationen, Reinigungsstationen etc. handeln kann, sind für die Aufnahme je eines Stations-Werkstück-Batches 5a bzw. 5b ausgebildet.

Es erfolgt ein Transport T13a zwischen dem Teilprozess 1 und der Vakuum-Station 3a, umgekehrt ein Transport T31a von der Station 3a zum Restprozess 1, analog zwischen Restprozess 1 und Behandlungsstation 3b. Gegebenenfalls erfolgende Transporte zwischen den Behandlungsstationen 3a und 3b erfolgen in der in Fig. 1 gewählten Darstellung über den Teilprozess 1.

Erfindungsgemäss ist eine Prozesssteuerung 7 vorgesehen, mit welcher die zeitliche Abfolge der Transportbewegung mindestens zwischen Teilprozess 1 und vorzugsweise den mindestens zwei vorgesehenen Batch-Behandlungsstationen 3a, 3b gesteuert wird, wie dies in dem die Prozesssteuerung schematisch darstellenden Block 7 mit Txy(t) dargestellt ist. Damit ist es möglich, durch freie Vorgabe der erwähnten zeitlichen Abfolge Txy(t) anwendungsspezifisch zu wählen, wann im Gesamtprozess die Behandlungsstation 3a und wann die Behandlungsstation 3b mit ihren zugeordneten Stationen-Batches 5a bzw. 5b beladen bzw. entladen werden soll.

Die Beladung und/oder Entladung selber kann, wie noch ausgeführt werden wird, auch mit Batches, Transport-Batches, die gleich gross oder von abweichender Grösse sein können bezüglich der Stations-Batchgrössen, vorzugsweise auch an den Stationen 3a, 3b, oder kann im Einzelwerkstück-Transportmode erfolgen, indem z.B. für die Beladung eines der Batches 5a, 5b in die Station 3a oder 3b rasch und vorzugsweise hintereinander einzelne Werkstücke in die entsprechende Station 3 geladen werden. Der Werkstücktransport kann dabei zusammen mit entsprechenden Haltern oder Magazinen erfolgen, so insbesondere bei Batch-Transport zusammen mit einem jeweils den Transport-Werkstückbatch definierenden Trägermagazin, ausgebildet je nach den zu behandelnden Werkstücken.

Die Abfolgesteuerung kann, wie erwähnt, frei vorgebbar, auch an anderen, nicht speziell dargestellten Vakuum-Stationen - im Teilprozess 1 - erfolgen, zusätzlich zur Abfolge-Vorgabe bezüglich den Behandlungsstationen 3a, 3b oder - falls erwünscht - anderenstatt.

Selbstverständlich werden vorzugsweise mehr als zwei Vakuumstationen vorgesehen, deren Stationen-Batchgrösse frei vorgebbar ist und/oder wesbezüglich die Transport-Batchgrössen variabel oder fix vorgebbar sind. So können in einem Gesamtprozess auch Stationen vorgesehen sein, die nur im Einzelwerkstück-Mode be treibbar sind und/oder Stationen, die den Vakuum-Stationen vor- bzw. nachgeschaltet, mit Normalatmosphäre arbeiten. Sind teilweise Einzelstückstationen vorgesehen, so kann die angestrebte hohe Durchlaufrate durch Parallelbetrieb mehrerer solcher Einwerkstück-Stationen sichergestellt werden.

In Fig. 2 ist in Darstellung analog zu Fig. 1 das erfindungsgemässe Vorgehen unter dem zweiten Aspekt der Erfindung dargestellt. Wiederum zeigt Block 1 einen Teil des Gesamtprozesses, der im Moment weniger interessiert und worin Schleusenstationen, Reinigungsstationen, Ätzstationen, Beschichtungsstationen, dabei insbesondere CVD-, PECVD-, LPCVD- und PVD-Stationen vorgesehen und mit entsprechenden Transportvorkehrungen an Transportstationen bedient werden. Auch bei den Stationen 30a, b kann es sich um alle Stationen der genannten Art handeln. Beide Vakuum-Stationen 30a, b sind ausgebildet, je einen Stationen-Batch 50a, 50b unterschiedlicher Grosse na bzw. nb aufzunehmen. Es erfolgt zwischen den Stationen 30 und dem Teilprozess 1 der Werkstück-Transport mittels Transport-Batchs Ba1, Ba2 bzw. Bb1, Bb2.

Damit wird auch bei unterschiedlichen Batch-Grössen in den Stationen 30a, b, entsprechend beispielsweise ihrem Typus, erreicht, dass mindestens bezüglich der betrachteten Stationen und dem Teilprozess 1 konsequent Batch-Betrieb und damit hohe Durchlaufraten realisiert werden. In dem in Fig. 2 dargestellten, allgemeinen Fall, bei welchem sowohl die Batch-Grösse na und nb beliebig unterschiedlich sind und zudem die Transport-Batchs Ba1, Ba2 bzw. Bb1, Bb2 ebenfalls unterschiedlich sein können, und zwar beliebig, muss grundsätzlich je nach den Stationenbatch-Grössenverhältnissen mit einem oder mehreren Zwischenspeichern im Teilprozess 1 operiert werden. Dies sei an einem Beispiel erläutert, bei welchem der Batch 50a aus der Station 30a von Fig. 2 in Stationen 30b transportiert werden soll. Dabei gelte

a) na = 3,5 . nb

b) na = 3 . Ba2

c) nb = 2 . Bb1

Daraus ergibt sich mit der "Massgrösse" Ba2:

a1) Bb1 = 3/7 . Ba2

b1) nb = 6/7 . Ba2

c1) na = 3 . Ba2

In Fig. 3 ist dargestellt, wie von der Station 30a mit der Batch-Grösse Ba2 eine Zwischenspeicherstation 32 am Teilprozess 1 gemäss Fig. 1 geladen und von dort mit der Transportbatchgrösse Bb1 mehrere Stationen 30b geladen werden. In der nachfolgenden Tabelle ist, als Beispiel, Schritt für Schritt ausgeführt, welche Batch-Grösse, mit der Masseinheit Ba2, jeweils wo abgelegt wird.
<tb><TABLE> Columns=7
<tb>Head Col 1: Schritt
<tb>Head Col 2: 30a [Ba2]
<tb>Head Col 3: Ba2 [Ba2]
<tb>Head Col 4: ZS [Ba2]
<tb>Head Col 5:

Bb1 [Ba2]
<tb>Head Col 6: 30b [Ba2]
<tb><SEP>0<SEP>3<SEP>0<SEP>0<SEP>0<SEP>0
<tb><SEP>1.<SEP>2<CEL AL=L>1<SEP>0<SEP>0<SEP>0
<tb><SEP>2.<SEP>2<SEP>0<SEP>1<SEP>0<SEP>0
<tb><CEL AL=L>3.<CEL AL=L>2<SEP>0<SEP>4/7<SEP>3/7<SEP>0
<tb><SEP>4.<SEP>2<SEP>0<SEP>4/7<SEP>0<CEL AL=L>3/7
<tb><SEP>5.<SEP>2<SEP>0<SEP>1/7<SEP>3/7<SEP>3/7
<tb><SEP>6.<SEP>2<SEP>0<CEL AL=L>1/7<SEP>0<SEP>6/7<SEP>-> voll 1.
<tb><SEP>7.<SEP>1<SEP>1<SEP>1/7<SEP>0<CEL AL=L>6/7
<tb><SEP>8.<SEP>1<SEP>0<SEP>8/7<SEP>0<SEP>6/7
<tb><SEP>9.<SEP>1<SEP>0<CEL AL=L>5/7<SEP>3/7<SEP>6/7
<tb><SEP>10.<SEP>1<SEP>0<SEP>5/7<SEP>0<SEP>6/7 / 3/7
<tb><CEL AL=L>11.<SEP>1<SEP>0<SEP>2/7<SEP>3/7<SEP>6/7 / 3/7
<tb><SEP>12.<SEP>1<SEP>0<CEL AL=L>2/7<CEL AL=L>0<SEP>6/7 / 6/7<SEP>-> voll 2.
<tb><SEP>13.<SEP>0<SEP>1<SEP>2/7<SEP>0<SEP>6/7 / 6/7
<tb><SEP>14.<SEP>0<SEP>0<SEP>9/7<SEP>0<SEP>6/7 / 6/7
<tb><SEP>15.<SEP>0<SEP>0<CEL AL=L>6/7<SEP>3/7<SEP>6/7 /

6/7
<tb><SEP>16.<SEP>0<SEP>0<SEP>6/7<SEP>0<SEP>6/7 / 6/7 / 3/7
<tb><SEP>17.<SEP>0<SEP>0<SEP>3/7<SEP>0<SEP>6/7 / 6/7 / 6/7<SEP> ->voll 3.
<tb></TABLE>

Daraus ist ersichtlich, dass nach 17 Transportschritten drei der Stationen 30b gefüllt sind und im Zwischenspeicher 3/7 der Transport-Batchgrösse Ba2 verbleibt. Erst beim nächsten Durchlauf des Transportes von Stationen 30a nach Stationen 30b wird der Zwischenspeicher 32 gemäss Fig. 3 wieder geleert sein, d.h. wenn zwei Stationen-Batchs 50a aus der Station 30a in sieben Batchs 50b für Stationen 30b transportiert worden sind. Es versteht sich dabei von selbst, dass die Werkstücke in der hier als Zielstation betrachteten Station 30b je nach Behandlungs zeit-Verhältnissen von dieser Station zwischenzeitlich wieder weitertransportiert werden können, womit bei der Steuerung des Prozesses im Sinne der obgenannten Tabelle der Prozess als Ganzes zu berücksichtigen ist und die notwendigen Transportschritte und deren Zeitabfolge zu optimieren sind.

Selbstverständlich werden weiter die Verhältnisse wesentlich einfacher, aber nicht unbedingt Durchlaufraten-optimal, wenn einheitliche Transportbatchgrössen eingehalten werden, d.h. gemäss Fig. 2

Ba1 = Ba2 = Bb2 = Bb1

gewählt werden und dann vorzugsweise angestrebt wird, dass die Stationen-Batchgrössen ganzzahlige Vielfache der einen Transportbatchgrösse sind.

Im Rahmen der erfindungsgemäss angestrebten Flexibilität bezüglich der Anlagenkonfiguration, und insbesondere unter Berücksichtigung, dass erfindungsgemäss an einer Behandlungsanlage der Transport von Werkstücken zwischen Stationen, worin die Werkstücke in Batchform abgelegt werden, auch in Batchform erfolgen soll, d.h. mittels Transport-Batchs, ist ersichtlich, dass bei komplexerer Anlagenkonfiguration mit Stationen unterschiedlichster Batchgrössen oft eine optimale, für die Bedienung aller Stationen gültige, einheitlich beizubehaltende Transportbatchgrösse schwerlich gefunden werden kann.

Dies ist insbesondere dann problematisch, wenn alle wahlweise vorzusehenden Vakuumstationen oder ein Teil dieser Stationen um eine zentrale Transportstation gruppiert sind, mit einem Bedienungsroboter, welcher Transport-Batchs von und zu den Stationen unterschiedlicher Stationen-Batchgrössen transportiert. Um auch diesen Aspekt zu berücksichtigen und damit auch bei vorzusehen dem Transport mittels Transport-Batchs hohe Flexibilität, auch bezüglich Prozessablauf-Optimierung, zu realisieren, wird als ein Aspekt der vorliegenden Erfindung vorgeschlagen, dass man die Transportbatchgrösse steuerbar ausbildet. Dies sei schematisch anhand von Fig. 4 erläutert.

Gemäss Fig. 4 umfasse eine betrachtete Vakuumbehandlungsanlage eine Transportkammer 40 mit einem schematisch dargestellten Transport-Roboter 42. Mit der Transportkammer 40 sind mehrere, wie dargestellt drei, Vakuum-Stationen 43a bis 43c verbunden. Die dargestellten Vakuum-Stationen 43x sind ausgebildet, Stationen-Batchs mit den unterschiedlichen Batch-Grössen na, nb bzw. nc aufzunehmen. Der Transport der Werkstücke zwischen den Vakuum-Stationen 43 erfolgt in Batchform, d.h. der Roboter 42 ist in der Lage, jeweils einen Werkstück-Batch BT in einer der Vakuum-Stationen aufzunehmen und einer der übrigen zuzuführen.

Um nun optimal den jeweiligen wechselseitigen Stationen-Batch-Grössenverhältnissen in den Stationen 43 Rechnung zu tragen, wird, wie in Fig. 4 erst schematisch dargestellt, die Transport-Batch-Grösse gesteuert variiert, sodass beispielsweise von einem grossen Batch nc in der Station 43c ein Batch der Grösse nb der Station 43b und ein der Batch-Grösse na entsprechender Batch, wie gestrichelt dargestellt, der Station 43a zugeführt werden kann.

In Anbetracht, dass die vorgeschlagene Anlage in ihrer Grundkonfiguration flexibel den jeweiligen Anforderungen, was Anzahl, Typ und Ausbildung der jeweilig vorgesehenen Vakuum-Stationen anbelangt, konfiguriert werden soll, werden auch die Stationen-Batch-Grössen, für welche jeweils vorgesehene Vakuum-Stationen vorgesehen sind, also die Grösse na, nb gemäss den Fig. 2 oder 4 und/oder die Transport-Batchgrösse BT, d.h. Ba1 bis Bb2 gemäss Fig. 2, ob fix oder während dem Anlagenbetrieb steuerbar, mittels einer dem Gesamtprozess zugeordneten Prozesssteuerung 47 frei vorgegeben.

In Fig. 2 ist zu diesem Zweck die Prozesssteuerung 27 vorgesehen, woran einerseits die zeitliche Bedienungsabfolge T der Stationen 30 frei eingebbar ist und/oder die Stationen-Batch-Grössen n der vorzusehenden Vakuum-Stationen und/oder die Transport-Batchgrössen B zu bzw. von den vorzusehenden Vakuum-Stationen. Mit der Prozesssteuerung 47 von Fig. 4 werden die Bedienungsabfolge T der Stationen 43 und/oder deren Stationen-Batchgrössen n und/oder die anzusteuernden Transport-Batchgrössen BT je nach zu konfigurierender Gesamtanlage frei vorgegeben.

Nachdem bezüglich der erfindungsgemässen Verfahren die erfindungsgemäss befolgten Grundprinzipien anhand der Fig. 1 bis 4 erläutert worden sind, sodass ein mit entsprechender Realisation betrauter Fachmann dies im Rahmen seines Könnens durchaus realisieren kann, insbesondere, was die Prozesssteuerung anbelangt, sollen nun anhand der weiteren Figuren vereinfacht und teilweise schematisierend Anlagebeispiele vorgestellt werden, woran die erwähnten Verfahrensprinzipien einzeln oder in beliebiger Kombination realisiert sind.

In Fig. 5 ist schematisch eine Linearanlage dargestellt, bei der folgende Grundprinzipien gemäss vorliegender Erfindung realisiert sind:
- Die zeitliche Abfolge T, mit welcher Werkstücke Batch-Behandlungsstationen zugeführt werden können, ist mittels Prozesssteuerung frei vorgebbar.
- Es sind Vakuum-Stationen vorgesehen je für Stationen-Batchs unterschiedlicher Grössen, und der Transport zu bzw. von diesen Stationen erfolgt mittels Transport-Batchs BT.
- Die Grösse der Transport-Batchs ist steuerbar.
- Die Werkstückzahl, welche der Stationen-Batchgrösse jeweils vorzusehender Vakuum-Station entspricht, ist mittels einer Prozesssteuerung frei vorgebbar.
- Ebenso mittels einer Prozesssteuerung gegebenenfalls frei vorgebbar sind die eine oder die mehreren oder die zeitliche Abfolge von Transport-Batch-Grösse.

Selbstverständlich können an der erwähnten, anhand von Fig. 5 noch zu beschreibenden Linearanlage, selektiv auch nur einzelne der erwähnten erfindungsgemässen Prinzipien realisiert werden bzw. Kombinationen davon.

Die Grundkonfiguration der in Fig. 5 schematisch dargestellten Anlage umfasst einen getrieben hin- und herbewegbaren Linearförderer 51 mit Antriebsaggregat 53 und Steuereingang S53 hierzu. Die gestrichelt bei GF angedeutete Anlagen-Grundkonfiguration umfasst weiter die Transportkammer 55 mit der einen dargestellten Begrenzungswand 57, woran Bedienungsöffnungen 59 zum Anflanschen von Vakuum-Stationen vorgesehen sind. Mindestens einem Teil der Bedienungsöffnungen 59 ist, als Teil der Transportanordnung in der Transportkammer 55, eine Hubstösselanordnung 61a bzw. 61b zugeordnet.

Die Transportstössel-Einheiten 61 weisen Quertransport-Stössel 63 auf, welche aber unabhängig voneinander ausfahrbar bzw. rückholbar sind. Zur Ansteuerung, welcher der jeweils an den Stösselanordnungen 61 vorgesehenen Stössel 63 auszufahren bzw. rückzuholen sind, ebenso zum Ansteuern der zeitlichen Abfolge, mit welcher solche Bewegungen erfolgen sollen, sind die Einheiten 61 steuerbar, wie schematisch je mit dem Steuereingang S61a bzw. S61b dargestellt ist.

Es werden auf die Grundkonfiguration der Anlage GF, gemäss jeweiligem Einsatzzweck und vorgesehener Abfolge von Werkstück-Behandlungsschritten, auf die vorgesehenen Bedienungsöffnungen 59 die jeweils benötigten Vakuum-Stationen 65a, 65b frei wählbar angeflanscht, die nicht benötigten mittels Deckeln (nicht dargestellt) verschlossen. So kann beispielsweise die Station 65a eine CVD-Beschichtungsstation sein, während die Station 65b eine Sputterätzstation sei. Beispielsweise als CVD-Beschichtungsstation ausgebildet, ermöglicht die Station 65a die Batchbearbeitung eines Stationen-Batchs der Grösse na, wie als Beispiel dargestellt und nur in einer Dimension betrachtet, z.B. einer Grösse na von vier Werkstücken 67.

Z.B. als Sputterätzstation ausgebildet und beispielsweise auf Grund beschränkter Wirkungsverteilung des Sputterätzprozesses, ist die Station 65b für die Bearbeitung eines Stationen-Batchs ausgebildete, mit einer Werkstückzahl nb, die beispielsweise kleiner ist, wie in einer Dimension dargestellt, beispielsweise 2 Werkstücke umfasst. Der Linearförderer 51 ermöglicht, dass die Stössel 63 quer durch ihn durchgreifen und auf ihm geförderte Werkstücke 67 zu den Bedienungsöffnungen 59 bzw. den daran angeflanschten Stationen hochheben bzw. rückholen und während der vorgenommenen Behandlung auch in Bearbeitungsposition haltern, ohne die freie Hin-/Her-Beweglichkeit des Linearförderers 51 zu beeinträchtigen.

An der Grundkonfiguration GF ist eine Prozesssteuereinheit 69 vorgesehen, an welcher, frei vorgebbar, die in einer vorgesehe nen Anlagenkonfiguration zu berücksichtigenden Stationen-Batchgrössen n, die erwünschte Bedienungsabfolge T des Linearförderers 51, die vorgesehen Transportbatchgrössen BT mit eingegeben werden. Selbstverständlich werden nur so viele der genannte Grössen eingegeben, dass die gesamte Prozesssteuerung nicht überbestimmt wird.

Wie ohne weiteres ersichtlich, erlaubt eine solche Anlagenkonfiguration höchst flexibel, wahlfrei völlig unterschiedlich konstelliert zu werden und zudem durch Abstimmung der Transportabfolge und/oder der Transportbatchgrössen unterschiedlichen Batchgrössen n in den jeweils vorgesehenen Vakuum-Stationen Rechnung zu tragen.

Es versteht sich weiter von selbst, dass diese Erläuterungen dem Fachmann eine grosse Variationsvielfalt eröffnen. So wäre es beispielsweise durchaus möglich, nur eine der dargestellten Transportstössel-Anordnungen 61 vorzusehen, sie aber unabhängig vom Linearförderer 51, entlang seiner Bewegungsbahn ebenfalls getrieben und gesteuert getaktet beweglich auszubilden. Dann ist sicherzustellen, dass die Werkstücke bzw. Werkstück-Batchs, einmal in Behandlungposition an den jeweiligen Stationen, unabhängig von der Wirkung der Stösselanordnung 61 so lange in dieser Bearbeitungsposition bleiben, bis sie von der nun beweglichen Stösseleinrichtung 61 praktisch wieder abgeholt werden, sei dies als Gesamtbatch oder "portioniert" in Form von kleineren Transportbatchs.

Bei einer weiteren Variante der Linearanlage von Fig. 5 wird an Stelle des Linearförderers 51 eine Stösseleinheit 61 linear entlang den \ffnungen 59 bewegt und bedient diese mit vorgebbarer Transport-Batchgrösse, entsprechend den geforderten Stationen-Batchgrössen.

In den Fig. 6 und 7 ist eine weitere erfindungsgemässe Anlage dargestellt, eine Zirkularanlage. Auch hier können, wie erläutert werden wird, alle vorerwähnten erfindungsgemässen Grundprinzipien einzeln oder in erwünschter Kombination realisiert werden. Die Grundkonfiguration der Anlage, insbesondere in Fig. 6 ersichtlich, umfasst eine Transportkammer 70. In der Transportkammer ist ein Transport-Roboter 72 vorgesehen. Er ist um seine Achse A72 in ansteuerbaren Winkeln getrieben drehbar, wozu, wie in Fig. 7 schematisch am Drehantrieb 74 hierfür dargestellt, ein Steuereingang S74 vorgesehen ist.

Verteilt azimutal um die Drehachse A72 bzw. einem Träger 75 sind zwei oder mehr Batchträger 76 aus Werkstückträgern 80 angeordnet. Gemäss Darstellung von Fig. 7 weist ein erster Batchträger 76a Aufnahmekapazität für einen Batch von drei Werkstücken 77 auf. Der Batchträger 76a ist bezüglich des Trägers 75 beispielsweise mit einem gekapselten Linearantrieb 78aR radial, wie mit dem Doppelpfeil R in Fig. 7 dargestellt, ausfahrbar und rückholbar. Ein zweiter Batchträger 76b hat die Kapazität für einen Batch von vier Werkstücken und ist ebenso radial mittels eines gekapselten Antriebes 78b ausfahrbar und rückholbar. Er kann, was je nach Hub der vorgesehenen gekapselten Antriebe 78 nicht zwingend erforderlich ist, winkelgestaffelt am Träger 74 montiert sein.

Am dargestellten Beispiel ist am Träger 74, wiederum optional winkelgestaffelt, ein dritter Batchträger 76c vorgesehen.

Wie in Fig. 7 schematisch dargestellt, ist für die Ansteuerung der Ausfahr- bzw. Rückholbewegung der Antriebe 78 Steuereingang S78 vorgesehen. An der Anlagengrundkonfiguration sind wiederum mehrere Bedienungsöffnungen 82 vorgesehen, an welche wahlweise Vakuum-Stationen und gegebenenfalls auch Normaldruck-Stationen angeflanscht werden können bzw. die, wie bei 84 dargestellt, falls nicht eingesetzt mittels Deckeln vakuumdicht verschlossen werden können.

In Fig. 7 ist, wie erläutert wurde, ein Transport-Roboter 72 dargestellt, bei welchem über Radialantriebe 78 jeweils Batchträger 76 ausgefahren bzw. rückgeholt werden können. Zum Ablegen der Werkstücke 77 in den jeweiligen Vakuumstationen 86, dort auf Werkstückträger 88, wird zwischen Roboter-Anordnung 72 und Stationen 86 eine Relativbewegung, entsprechend dem Entnahme- bzw. Aufnahmehub H von Fig. 7 angesteuert. Ebenso muss eine relativ grosshubige Bewegung in dieser Richtung erfolgen, entsprechend K von Fig. 7, wenn beispielsweise Batchträger 76a einen Batch an der einen Station 86a aufnimmt und in eine weiter unten gelegene, 86b, ablegen soll.

Diese Bewegungen werden, wie schematisch dargestellt, durch einen Relativantrieb 90 gesteuert bewirkt, wobei selbstverständlich sowohl Roboter 72 wie auch die vorgesehenen Stationen 86 entsprechend den Erfordernissen relativ zueinander in dieser Richtung bewegbar ausgebildet werden können. Sind, wie mit den Radialantrieben 78 dargestellt, die jeweiligen Transport-Batchträger 76 in Richtung R genügend ausfahrbar, so bedarf es gegebenenfalls keiner zusätzlichen Bewegbarkeit der Roboteranordnung 72 in x/y-Richtung gemäss Fig. 7.

In Fig. 8a ist eine Ausführungsform der Roboteranordnung 72 dargestellt, bei der winkelgestaffelt die Transport-Batchträger 76c bis 75f fest am Träger 75 vorgesehen sind. Mit dem Hub K werden die Transport-Batchträger in notwendige Bedienungshöhe gebracht und mit dem Kurzhub H die Werkstücke dann den jeweiligen Stationen entnommen bzw. dorthin abgelegt. Auf Grund der fehlenden radialen Expandierbarkeit wird hier die Roboteranord nung 72, wie mit x/y dargestellt, und je nach räumlicher Anordnung von Station 86 gesteuert, in der x/y-Ebene bewegt.

Bei der Ausführungsform der Roboteranordnung 72 gemäss 8b ist am Träger 75 jeder der vorgesehenen Werkstückträger 80 separat für sich über einen zugeordneten Radialantrieb 78o gesteuert ausfahrbar bzw. rückholbar. Dies erlaubt höchst flexibel und in Anlehnung an die Ausführungsform von Fig. 7, jeweils Batchträger 76 variabel zu konfigurieren und auch variabel während des Betriebes zu ändern, indem die jeweils notwendige Anzahl Einzelwerkstückträger 80 zur gemeinsamen Transport-Batchübernahme ausgefahren bzw. rückgeholt werden.

Auch hier ist zum Bedienen entlang verschiedener Höhen angeordneter Stationen ein Grosshub K sowie zur Aufnahme bzw. zum Ablegen der Einzelwerkstücke ein Kleinhub H gesteuert vorgesehen. Es entfällt aber bei dieser Konstellation gegebenenfalls die notwendige Beweglichkeit der Roboteranordnung 72 in der Ebene senkrecht zur Achse A72, d.h. in den Richtungen x/y.

In Fig. 8c ist eine Roboteranordnung 72 dargestellt, bei der der Abstand a zwischen den Batchträger-Werkstückträgern 80 flexibel eingestellt und mithin auch bei der Anlagenkonfiguration vorgegeben werden kann, sei dies fix oder sei dies auch im Betrieb variabel. Damit wird ermöglicht, Stationen zu bedienen, woran beispielsweise mit Blick auf Fig. 7 der entsprechende Einzelwerkstückträger-Abstand a min unterschiedlich ist. Selbstverständlich lässt sich das Vorsehen variabler und steuerbarer Einzelwerkstückträger-Abstände gemäss Fig. 8c mit all den in den Fig. 7, 8a und 8b dargestellten Varianten kombiniert realisieren. In Fig. 8d ist beispielsweise die höchst flexible Kombination der Ausführungsform nach Fig. 8b und 8c dargestellt.

Dabei sind nun drei der dargestellten sechs Werkstückträger 30 gemeinsam zu einem Transportbatchträger 76g ausgefahren und dabei der Einzelträger-Abstand a reduziert, während die übrigen drei vorgesehenen Werkstückträger 80 min inaktiv auf ihre Bestimmung warten.

Selbstverständlich eröffnen sich dem Fachmann eine grosse Anzahl möglicher Realisationsvarianten, wie an einer Roboteranordnung gesteuert unterschiedliche Transportbatchträger flexibel zusammengestellt werden können und wie die hierfür notwendigen Bewegungen nebst denjenigen für die Batchaufnahme bzw. -abgabe an die vorgesehenen Stationen realisiert werden können. Prinzipiell aber wird gemäss vorliegender Erfindung vorgeschlagen, sowohl die Transportbatch-Grösse, sei dies fix oder während des Anlagenbetriebes variabel, frei vorzusehen und dabei gegebenenfalls auch die so genannte "Pitchweite" am Roboter und/oder gegebenenfalls auch an den Stationenbatchs zu variieren, der beispielsweise in Fig. 8d dargestellte Werkstückträger-Abstand a.

Zurück zu Fig. 6. Es sei an der Anlagengrundkonfiguration eine Austrittsschleusenkammer 86b vorgesehen sowie, wiederum ausschliesslich beispielsweise, zwei Werkstückbehandlungskammern, wie zwei PECVD-Kammern 86a und 86b, nebst einer Heiz- oder Abkühlkammer 86c.

Gemäss Fig. 7 weise die eine der erwähnten Stationen bzw. Kammern 86, z.B. die Station 86a, eine Batch-Kapazität na von zwölf auf, die Batchkapazität der Kammern 86b, nb, sei beispielsweise drei, die Batchgrösse an einer weiteren Kammer beispielsweise fünf etc. Die Werkstücke der jeweiligen Batchs in den Kammern 86 sind, wie dargestellt, an den einzelnen Werk stückträgern 88 abgelegt, wobei die Batchaufnahme bzw. Batchentnahme aus einer betrachteten Station 86 dadurch erfolgt, dass Werkstückträger 80 mittels des zugeordneten Antriebes 78 an der Roboteranordnung 72 in die betrachtete Kammer 86 eingefahren werden und, beispielsweise durch relative Anhebbewegung H der betrachteten Kammer 86 bezüglich der Roboteranordnung 72, die Werkstücke an die Batchträger 89 der Kammer 86 abgelegt werden.

Die Übergabe der Werkstücke von der Kammer 86 an die Roboteranordnung 72 erfolgt durch relatives Anheben der Roboteranordnung 72 bezüglich der Kammer 86. Die Übergabebewegungen H werden durch Bewegungen der Kammern 86 und/oder der Roboteranordnung 72 realisiert.

Gemäss Fig. 7 kann nun beispielsweise aus der Kammer 86a mit einer Batchgrösse na von dargestellten zwölf Werkstücken mit der Roboteranordnung 72 durch Ausfahren des Transportbatchträgers 76a eine Transportbatchgrösse von drei Werkstücken aufgenommen werden. Durch gesteuertes Absenken - K-Hub - (nicht dargestellter Antrieb) des Roboters 72 wird der Transportbatch-Träger 76a auf die Zielstation 86b ausgerichtet und durch Drehen der Roboteranordnung 72 gegenüber ihrer Aufnahmeöffnung positioniert. Mittels des Antriebes 78a erfolgt die Übergabe des Dreierbatchs an die Station 86b. Selbstverständlich ist es auch ohne weiteres möglich, mit der Roboteranordnung 72 im Wesentlichen gleichzeitig mehrere Transportbatchs zu transportieren.

Wie aus Fig. 6 ersichtlich, sind an der Anlage die bereits erwähnten Steuereingänge S78 für die vorgesehenen Radialantriebe 78 vorgesehen, Steuereingänge S74 für die Drehwinkel-Inkremente entsprechend omega 72 von Fig. 7 sowie Steuereingänge Z für die Relativ-Hubbewegungen H bzw. K zwischen Roboteranordnung 72 und jeweiligen Kammern 86.

Es ist weiter eine Prozesssteuereinheit 94 vorgesehen, welcher bei Konfiguration der Anlage die den jeweiligen Vakuum-Stationen zugeordneten Stationen-Batchgrössen, die Abfolge T, mit welcher die erwähnten Stationen bedient werden sollen und gegebenenfalls jeweilige Transportbatchgrössen BT eingegeben werden, wobei vorzugsweise die Prozesssteuereinheit 94 anhand der vorgegebenen Stationenbatchgrössen und der optimal befundenen Stationenbedienungs-Abfolge selbstständig die optimalen Transportbatchgrössen BT errechnet.

Das hier befolgte Prinzip ist, dass an einer Roboteranordnung eine relativ grosse Zahl von Werkstückträgern vorgesehen ist, welche selektiv gesteuert zu Transportbatch-Trägern kombiniert zum Einsatz gebracht werden können, nämlich durch selektive Aktivierung der zugeordneten Radialantriebe 78, wobei hierzu die Pitch-Grösse fix frei vorgebbar ist, oder gar ihr Änderungsverlauf, a(t).

Eine weitere erfindungsgemässe Anlage, woran alle der vorliegenden Erfindung zu Grunde gelegten Prinzipien realisierbar sind, aber auch einzeln oder in beliebiger Kombination, ist in Fig. 9 schematisch dargestellt. Auch diese Anlage kann nach all den erwähnten erfindungsgemässen Grundprinzipien realisiert sein. Während bei den bis anhin besprochenen Ausführungsvarianten die jeweils einen Batch bildenden Werkstücke doch als einzeln transportiert beschrieben wurden, ist die Anlage nach Fig. 9 ausgebildet, um Batchmagazine mit einzelnen Werkstücken aufzunehmen und zu transportieren, was allerdings auch bei den bis anhin beschriebenen Anlagen, wie ohne weiteres ersichtlich, durchaus möglich ist. Nach bisherigen Erläuterungen bedarf die in Fig. 9 dargestellte Anlage nicht mehr allzu vieler Erklärungen.

Die Grundkonfiguration umfasst wiederum eine Transportkam mer 100 mit Transportroboter 102 und einer Mehrzahl in der Wandung der Transportkammer 100 vorgesehener Bedienungsöffnungen. Der Roboter 102 ist um eine Achse A102 getrieben drehbar in der Transportkammer gelagert, ansteuerbar über schematisch eingetragene Steuereingänge S102. Ein Radialantrieb 104, vorzugsweise ein linearer und gekapselter, ermöglicht es, über den Eingang S104 angesteuert, die Aufnahmepartie 106 radial in je nach Konfiguration vorgesehene Vakuum-Stationen 108 an der Anlagengrundkonfiguration einzuführen, rückzuholen und damit die erwähnten Stationen zu bedienen. An Stelle jeweils einzelner zu Batchs zusammengestellter Werkstücke werden hier Batchmagazine behandelt.

Ein solches Batchmagazin, wie in der dargestellten Vakuum-Station 108 vorgesehen, umfasst beispielsweise eine Trägertrommel 110, an deren Peripherie mehrere Werkstücke 112 aufgenommen sind. Die Batchmagazine 110 sind aufeinander stapelbar und mit dem Axialantrieb 114, ansteuerbar am Steuereingang S114, sowie dem Drehantrieb 105, ansteuerbar am Eingang S102, weiter dem Radialantrieb 104, ansteuerbar am Eingang S104, können ein, zwei oder beliebig viele der Batchmagazin-Einheiten 110 aufgenommen (gestrichelt an der Aufnahmepartie 106 dargestellt) und in eine der weiteren vorgesehenen Vakuum-Stationen, wie die beispielsweise dargestellte Station 116, gefördert und dort abgelegt werden.

Auch hier ist eine Prozesssteuereinheit 118 vorgesehen, welcher die an den Vakuum-Stationen, mit welcher die Grundkonfiguration der Anlage konfiguriert wird, zu verarbeitenden Magazin-Batchgrössen frei eingebbar sind, sowie die Abfolge T der Bedienungssequenzen der einzelnen Vakuum-Stationen, woraus die Prozesseinheit 118 die notwendigen Steuersignale in der richti gen Zeitabfolge für Drehantrieb des Roboters 102, Radialantrieb 104 bzw. Axialantrieb 114 ermittelt und ausgibt.

Dabei kann es gegebenenfalls vorteilhaft sein, die Magazin-Batcheinheiten 110 in der einen und/oder anderen der vorgesehenen Vakuum-Stationen um ihre Achse A110 während der Werkstückbehandlung drehen zu lassen, was ohne weiteres dadurch möglich ist, dass die einzelnen vorgesehenen und aufeinander gestapelten Batchmagazine 110 drehfest, jedoch axial lösbar, miteinander verriegelt werden und mittels eines an der jeweiligen Vakuum-Station vorgesehenen Antriebsmotors 120 gedreht werden.

Auf diese Art und Weise lassen sich insbesondere kleine Werkstücke, wie Werkzeuge, dabei insbesondere beispielsweise Fräser, Wendeschneidplatten, Bohrer, generell Werkzeuge für die spanende oder formende Bearbeitung, oberflächenbehandeln, wie insbesondere mit Verschleissschutzschichten versehen oder optische Werkstücke, wie Gläser, Linsen etc. behandeln.

In Fig. 10 ist beispielsweise ein Batchmagazin analog zu den Batchmagazinen 110 von Fig. 9 dargestellt, aber für die Aufnahme z.B. von Fräsern oder Bohrern etc., generell von dreidimensional zu behandelnden Werkstücken. Eine solche Einheit 110a umfasst einen Käfig, gebildet durch eine untere und eine obere, vorzugsweise kreisförmige Platte 130 bzw. 134, welche drehfest mit Verbindungsankern 138 verbunden sind. Die Platten 134 und 130 weisen Nocken bzw. Einnehmungsverbindungen 136, 137 auf, mit welchen sie einerseits, mit Blick auf Fig. 10, an einem Drehantrieb 139 ankoppelbar sind bzw. das Drehmoment für die Drehbewegung auf die darüber gestapelten Einheiten übertragen. Drehfrei bezüglich der Platten 130, 134 ist ein Zentralanker 132 vorgesehen, welcher, wie dargestellt bei 141, im Betrieb drehfest gehalten wird.

Am Batchmagazin 110a ist am Anker 132 ein Drehübertrager vorgesehen, wie ein Zahnrad 140, und es sind an der Peripherie der unteren und/oder oberen der Käfigplatten 130 bzw. 134 an Zahnrädern 146 drehbare Trägerbäumchen 144 vorgesehen, woran eine Vielzahl von Werkstücken 147, wie beispielsweise Bohrer, Schleifer, Fräser etc., gehaltert sind. Damit wird erreicht, dass während der Behandlung nicht nur mit dem Käfig, 130, 134 138 alle Bäumchen gemeinsam um die Achse A110 drehen, sondern zusätzlich jedes einzelne Bäumchen 144 individuell um seine eigene Achse A144 gedreht wird.

Eine weitere erfindungsgemässe Anlage ist in Fig. 11 dargestellt. Sie umfasst mindestens eine Transportkammer 200, welche vorzugsweise über eine Transportkammer-Pumpanordnung 201 evakuierbar ist. In der Transportkammer 200 ist ein Transport-Roboter 203 vorgesehen. Bei der in der Figur dargestellten Konzeption ist der Transport-Roboter 203 mittels eines Antriebsmotors 205 um eine Drehachse D drehbar gelagert und weist einen radial zur Drehachse D schiefwinklig oder, wie dargestellt, rechtwinklig gelagerten Arm 207 auf. Über einen mittels einer Balganordnung 209 vakuumtechnisch abgekapselten, nicht dargestellten Linearantrieb ist der Arm 207 radial entsprechend dem Hub R ausfahrbar bzw. rückholbar. Er trägt an seinem äusseren Ende eine Aufnahmeplatte 211. Der Roboter 203 mit Arm 207 ist somit im Wesentlichen aufgebaut wie Roboter 72 in den Fig. 6, 7, 8b.

Verteilt entlang der Wandung der Transportkammer 200 sind mehrere, wie dargestellt sieben, Durchreichöffnungen 213 vorgesehen, welche, gegebenenfalls, je durch Ventile 215 verschliessbar sein können. Je nach durchzuführender Bearbeitungs-Prozessabfolge sind an den \ffnungen 213 Vakuum-Stationen 217 angeflanscht. So zeigt beispielsweise die Figur eine \ffnung 213a mit zugeordnetem Ventil 215a, welche beispielsweise nicht eingesetzt ist, das Ventil 215a ist inaktiv permanent geschlossen oder (nicht dargestellt) die \ffnung 213a mittels eines Deckels verschlossen.

Die Stationen 217 können auch weitere Transportkammern zum Aufbau eines weit verzweigten Transportsystems für Werkstück-Batches umfassen. Beispielsweise und in der dargestellten Konfiguration ist eine Station durch eine Eingabe- und Ausgabeschleusen-Station 219 gebildet. Bei den weiteren Stationen kann es sich, wieder je nach beabsichtigter Bearbeitung, um CVD, PECVD, PVD, Heizstationen, Kühlstationen oder, wie erwähnt, weitere Transportstationen bzw. Schleusenstationen handeln. In der dargestellten Ausführungsform werden die Werkstücke 221 auf kugelkalottenförmigen Batchmagazinen 223 in die Schleusenstation 219 eingeschleust. Das Batchmagazin 223 mit den beispielsweise dargestellten sechs Werkstückscheiben wird von der Schleusenstation 219, nach \ffnen des zugeordneten Ventils 215, auf die Platte 211 am Transportarm 207 übernommen und dort fixiert.

Je nach Wahl des Prozess- bzw. Bearbeitungsschritt-Ablaufes wird der Batch sequenziell an den vorgesehenen Stationen 217 eingeführt, jeweils nach \ffnen des zugeordneten Ventils 215, falls vorhanden. Nach Ablage des Batchmagazins 223 in der entsprechenden Station 217 wird der Arm 207 mit der Platte 211 rückgeholt und das zugeordnete Schleusenventil 215 wieder geschlossen. Wie bei einer der Stationen 217 dargestellt, sind daran, beispielsweise ebenfalls kugelkalottenförmig verteilt, z.B. mehrere Behandlungsquellen, beispielsweise Sputterquellen 225, je für die gleichzeitige Bearbeitung bzw. Behandlung der Werkstücke 221 in der Behandlungsstation vorgesehen.

Wie bei 227 gestrichelt dargestellt, ist es auch hier ohne weiteres möglich, das Magazin 223 auf einen Drehantrieb 227 in einer Station 215 abzulegen und, wie mit dem Doppelpfeil omega schematisch dargestellt, das Magazin 223 mit den Werkstücken 221 während der Behandlung in einer solchen Station zu drehen.

Aus Betrachtung von Fig. 11 ist es für den Fachmann ohne weiteres ersichtlich, dass Stationen 215 auch entlang mehrerer Grosskreis-Ebenen, senkrecht zur Drehachse D der Roboteranordnung, vorgesehen werden können, und dass damit auch ein Hubantrieb entsprechend K gemäss den Ausführungen beispielsweise zu Fig. 7 vorgesehen werden kann, ebenfalls ein Kurzhubantrieb entsprechend H, zum Ablegen bzw. Aufnehmen der Batchmagazine 223. Im Weiteren kann der Roboter mehrere der Arme 207 aufweisen, gegebenenfalls und in Analogie zu den Fig. 8c bzw. 8d Pitch-verstellbar, sodass damit mehrere Batchmagazine gleichzeitig bearbeitet werden können.

Es tritt an die Stelle der einzelnen Werkstücke, beispielsweise bei einer Anlage gemäss Fig. 7, nun, und wie dies bereits im Zusammenhang mit der Anlage gemäss Fig. 9 erläutert wurde, ein Batchmagazin, und es können "Supter-Batches", bestehend aus mehreren Batchmagazinen, gehandhabt werden.

Es ist weiter eine Steuereinheit 230 vorgesehen, welcher die Zeitabfolge der Drehwinkel +/- @(t) des mindestens einen Armes 207, die Zeitabfolge seiner Hubbewegungen R(t) sowie gegebenenfalls die Zeitabfolge der Hubbewegungen K(t), H(t) eingegeben wird. Die Prozesssteuereinheit 230 steuert weiter, in Funktion der eingegebenen Drehwinkelabfolge, Hubabfolge, Aufnahme- bzw. Ablagebewegungen die \ffnungs- und Schliessbewegungen der zugeordneten Ventile 215. Je nachdem, ob eine Vakuumtrennung bzw. Abschottung zwischen den Stationen und der Transportkammer 201, und damit auch zwischen den Stationen 217 unter sich, erforderlich ist oder nicht, werden die Ventile 215 angesteuert oder nicht. Nicht benötigte \ffnungen an der Transportkammer werden vakuumdicht verschlossen gehalten (215a).

Die Vakuum-Stationen können gebildet sein durch alle bekannten derartigen Stationen, teilweise sogar durch unter atmosphärischen Bedingungen betriebene Stationen, wie durch Stationen für Atmosphärendruck-CVD oder aber durch Stationen für LPCVD, PECVD, PVD, dabei Beschichtungsstationen, Ätzstationen, Reinigungsstationen, Konditionierungsstationen etc., weiter durch Transportstationen, Schleusenstationen. Je nach Erfordernissen werden die Stationen gegenseitig und insbesondere bezüglich Transportkammern, welche mehrere solcher Stationen bedienen, vakuumtechnisch abgeschottet, und zwar in dem jeweils prozessbedingt erforderlichen Umfang, d.h. z.B. vakuumdicht oder über Druckstufendichtungen, wie Labyrinthdichtungen etc. Die hierzu vorzunehmenden Massnahmen, wie Vorsehen von entsprechenden Ventilen, sind bekannt.

Mit den erfindungsgemässen Behandlungsverfahren bzw. Anlagen, die danach betrieben werden, werden Werkstücke, wie Halbleiterwafer, Speicherdisks, Glassubstrate, wie für die Aktivmatrixbildschirm-Herstellung sowie grundsätzlich zweidimensionale flächig oder dreidimensionale Werkstücke behandelt. Dreidimensional werden insbesondere Maschinenbauteile bzw. Werkzeug zum spanenden und umformenden Behandeln behandelt, dabei insbesondere mit Verschleissschutz-Beschichtungen versehen.

Es wurden schematisch einige mögliche Anlagentypen vorgestellt und wie daran die erfindungsgemässen Grundprinzipien realisiert werden. Es versteht sich von selber, dass bezüglich Detailkon struktion, wie insbesondere auch der Roboteranordnungen, sich dem Fachmann viele Möglichkeiten eröffnen, je nach dem auch, ob Linear- oder Zirkularanlagen ausgelegt werden sollen. Im Weiteren muss betont sein, dass im Rahmen einer Grossanlage auch nur ein Teil einer solchen Anlage praktisch als ein "Anlagensatellit" erfindungsgemäss ausgelegt und betrieben werden kann.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung in Vakuum oberflächenbehandelter Werkstücke, bei dem die Werkstücke in Vakuumstationen (3a, 3b) aufgenommen und in mindestens einer davon als Stations-Batch (5a, 5b) oberflächenbehandelt werden, dadurch gekennzeichnet, dass die zeitliche Abfolge der Zuführung zu und Wegführung von den Vakuumstationen (3a, 3b) frei programmierbar (7) ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Werkstücke in mindestens zwei Vakuumstationen (30a, 30b) als Stations-Batch (50a, 50b) aufgenommen werden, dabei die Grösse (na, nb) der Stations-Batches (50a, 50b) an diesen mindestens zwei Stationen (30a, 30b) unterschiedlich ist und der Transport zu und/oder von den mindestens zwei Stationen als Transport-Batch (Ba1, Ba2, Bb2, Bb1) vorgenommen wird.

3.

Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass man die Grösse (Ba, Bb) des Transport-Batches zu und/oder von den mindestens zwei Vakuumstationen (30a, 30b) steuert (27), vorzugsweise frei programmierbar steuert.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man die Grösse (na, nb) des Stations-Batches steuert (27), vor zugsweise frei programmierbar steuert.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man die Grösse eines Transportbatches (Ba1, Bb1) zu der mindestens einen Vakuumstation (30a, 30b) höchstens gleich der Grösse des Stationsbatches (50a, 50b) an der mindestens einen Vakuumstation (30a, 30b) wählt, vorzugsweise die Werkstückzahl des ersterwähnten Batches (Ba1, Bb1) gleich einem ganzzahligen Teiler der Werkstückzahl (na, nb) des Letzterwähnten (50a, 50b).

6.

Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass man die Grösse eines Batches (Ba2, Bb2) von der mindestens einen Vakuumstation (30a, 30b) gleich einem ganzzahligen Teiler der Grösse des Batches in dieser Vakuumstation wählt.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass mehr als mindestens zwei der genannten Stationen (30a, 30b) vorgesehen sind.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass Vakuumstationen vorgesehen werden, welche zur Aufnahme nur einzelner Werkstücke ausgebildet sind.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Werkstücke in mobilen Magazinen an Vakuumstationen aufgenommen und vorzugsweise auch zu bzw. von diesen transportiert werden.

10.

Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Teil der Vakuumstationen gesteuert voneinander getrennt werden.

11. Vakuumbehandlungsanlage zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10, mit Vakuumstationen (43a, 43b) für Werkstücke, wovon mindestens zwei für die Oberflächenbehandlung von Werkstück-Stations-Batches ausgebildet sind und mit einer Transportanordnung (40) für die Bedienung der Vakuumstationen (43a, 43b) mit Werkstücken, dadurch gekennzeichnet, dass eine Prozesssteuereinheit (47) vorgesehen ist, deren Ausgang mit mindestens einer Antriebsanordnung an der Transportanordnung (40) wirkverbunden ist und die die zeitliche Abfolge der Stationenbedienung durch die Transportanordnung (40) steuert und woran weiter diese Abfolge (T) frei wählbar eingebbar ist.

12.

Vakuumbehandlungsanlage nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Vakuumstationen (43a, 43b) für die Aufnahme unterschiedlich grosser (na, nb) Werkstück-Stations-Batches ausgelegt sind, und dass die Transportanordnung (40) zur Bedienung der mindestens zwei Stationen (43a, 43b) mit zu- und/oder weggeführten Werkstück-Transport-Batches (BT) ausgelegt ist.

13. Vakuumbehandlungsanlage nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass an der Transportanordnung (40) die Grösse (BT(t)) der zu- und/oder weggeführten Transport-Batches (BT) steuerbar ist, vorzugsweise mittels einer frei programmierbaren Prozesssteuereinheit (47).

14. Vakuumbehandlungsanlage nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Grösse (na, nb) von an Vakuumstationen (43a, 43b) aufgenommenen Werkstück-Stations-Batches steuerbar ist.

15.

Vakuumbehandlungsanlage nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Grösse (na, nb) mittels einer freiprogrammierbaren Prozesssteuereinheit (47) steuerbar ist.

16. Vakuumbehandlungsanlage nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Grösse mittels der Transportanordnung (40) transportierter Werkstück-Transport-Batches steuerbar ist.

17. Vakuumbehandlungsanlage nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Grösse der Transportbatches fix oder zeitvariabel steuerbar ist.

18. Vakuumbehandlungsanlage nach einem der Ansprüche 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Grösse der Transport-Batches mittels einer frei programmierbaren Prozesssteuereinheit (47) steuerbar ist.

19.

Vakuumkammer für eine Vakuumbehandlungsanlage nach einem der Ansprüche 11 bis 18 mit einer Transportanordnung (40) sowie Bedienungsöffnungen, welche Bedienungsöffnungen durch die Transportanordnung bedient werden und an welchen Bedienungsöffnungen Vakuumstationen (43a, 43b, 43c) für Werkstücke anflanschbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass an der Transportanordnung die Grösse mittels der Transportanordnung (40) transportierter Werkstück-Transport-Batches eingebbar ist.