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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung.
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Es
wird Priorität
in Bezug auf die
japanische Patentanmeldung
Nr. 2005-221099 , eingereicht am 29. Juli 2005, beansprucht,
deren Inhalte hiermit durch Literaturhinweis eingefügt sind.
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Stand der Technik
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In
Plasmaanzeigetafeln wird ein MgO-Film als Schutzschicht der Elektroden
und der Dielektrika verwendet. Eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung bzw.
eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung, wie z. B. eine Abscheidungsvorrichtung,
wird verwendet, um den MgO-Film auszubilden.
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11 ist
eine Draufsicht, die schematisch eine Konfiguration einer bekannten
Vakuumbearbeitungsvorrichtung zeigt. Die Vakuumbearbeitungsvorrichtung 100 enthält eine
Heizkammer 114 zum Erhitzen eines zu bearbeitenden Substrats
und eine Filmausbildungskammer 115 zum Ausbilden des MgO-Films
auf dem Substrat nach dem Erhitzen. Das Substrat wird auf einen
Träger
montiert, wobei mehrere Träger
sequenziell zu den Bearbeitungskammern bewegt werden, während die
Substrate sequenziell den Prozessen unterworfen werden.
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Inder
Filmausbildungskammer 115 wird ein Teil des MgO-Films auf
dem Träger
sowie auf dem Substrat ausgebildet. Der MgO-Film weist das Merkmal
auf, dass er leicht Feuchtigkeit oder Kohlensäuregas in der Atmosphäre adsorbiert.
Die vom MgO-Film adsorbierte Feuchtigkeit kann nicht einfach entfernt
werden. Dementsprechend wird in dem Fall, in dem der Träger in die
Filmausbildungskammer 115 eintritt, MgO durch Erhitzen
vergast (verdampft), wodurch der Grad des Vakuums der Filmausbildungskammer 115 destabilisiert
wird. In dem Fall, in dem der Grad des Vakuums der Filmausbildungskammer 115 destabilisiert
wird, wird die Kristallorientierung des MgO-Films, der auf dem Substrat ausgebildet
wird, destabilisiert. Dies liegt daran, dass das Koexistenzverhältnis einer
(111)-Kristallorientierungskomponente
und einer (200)-Kristallorientierungskomponente des MgO-Films aufgrund
des Drucks zum Zeitpunkt der Ausbildung eines Films variiert; ferner
wird auch die Durchlässigkeit
des MgO-Films destabilisiert.
Andererseits wird in dem Fall, in dem das Kohlensäuregas (CO2, CO) von MgO adsorbiert wird, C den MgO-Film
infiltrieren und die Katodenlumineszenzintensität verringern. Das heißt, das
den MgO-Film infiltrierende
C beeinträchtigt
eine Entladungseigenschaft der Plasmaanzeigetafel.
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Es
wurde daher eine Technik vorgeschlagen, die die Feuchtigkeit oder
das Kohlensäuregas
daran hindert, vom MgO-Film, der auf dem Träger ausgebildet ist, adsorbiert
zu werden, indem der Bewegungsdurchlass des Trägers in einem Vakuumzustand
gehalten wird und das Substrat durch eine Ladeverschlusskammer auf
den Träger
geladen und von dem selben entladen wird (siehe z. B. Patentdokument
1). In der in 11 gezeigten Vakuumbearbeitungsvorrichtung
ist ein Rückkehrtransportdurchlass
(eine zweite Transportkammer 92, eine dritte Transportkammer 93 und
eine erste Transportkammer 112) des Trägers vom Auslass der Filmausbildungskammer 115 bis
zum Einlass der Heizkammer 114 ausgebildet. Der Transportdurchlass,
die Heizkammer 114 und die Filmausbildungskammer 115 werden
in einem Vakuumzustand gehalten, um somit eine Vakuumzirkulationsbahn 108 von
mehreren Trägern
auszubilden. Die erste Transportkammer 112 ist mit einer Substrat-Lade-
und -Entladekammer 110 für den Träger versehen. In der Substrat-Lade-
und -Entladekammer 110 werden vor der Bearbeitung Substrate auf
die Träger
geladen, die auf der Vakuumzirkulationsbahn 108 umlaufen,
wobei nach der Bearbeitung die Substrate von den Trägern entladen
werden.
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- Patentdokument 1: ungeprüfte
japanische Patentanmeldung, erste Veröffentlichungsnummer H09-279341
- Patentdokument 2: ungeprüfte
japanische Patentanmeldung, erste Veröffentlichungsnummer 2001-156158
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Offenbarung der Erfindung
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Von der Erfindung zu lösende Probleme
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Da
jedoch der Rückkehrtransportdurchlass des
Trägers
nicht zur Produktionsaktivität
beiträgt,
ist ein zusätzlicher
Raum für
die Installation von Vorrichtungen erforderlich, wodurch höhe Anlagenkosten
erforderlich sind.
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Dementsprechend
wurde eine Technik vorgeschlagen, die eine Filmausbildungskammer
oder andere Bearbeitungskammern auf dem Rückkehrtransportdurchlass vorsieht
(siehe z. B. Patentdokument 2). Die Taktzeit für die Bearbeitung eines Substrats
in der obenerwähnten
Vakuumbearbeitungsvorrichtung wird jedoch durch die Lade- und Entladezeit
eines Substrats bestimmt, wodurch eine Verbesserung des Durchsatzes
begrenzt wird.
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Die
vorliegende Erfindung ist dafür
gedacht, die obenerwähnten
Probleme zu lösen.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung
zu schaffen, die den Durchsatz verbessern kann.
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Mittel zum Lösen der
Probleme
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Um
die obenerwähnte
Aufgabe zu lösen, wird
gemäß einem
Aspekt der Erfindung eine Vakuumbe- bzw. Vakuumbearbeitungsvorrichtung
geschaffen, die enthält:
mehrere Träger,
auf denen ein Basiselement montierbar ist; eine Zirkulationsbahn, die
in einer kontrollierten Atmosphäre
haltbar ist und durch die sich die Träger bewegen; mehrere Basiselement-Lade-
und -Entlade-Kammern, die in der Zirkulationsbahn angeordnet sind
und das Basiselement auf die Träger
laden und von diesen entladen; und eine Vakuumbearbeitungskammer,
die zwischen den Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammern in der
Zirkulationsbahn angeordnet ist und einen Vakuumprozess am Basiselement
ausführt.
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Eine
Heizkammer zum Heizen des Basiselements kann an vorgelagerten bzw.
stromaufwärts
liegenden Seiten der Vakuumbearbeitungskammern in der Zirkulationsbahn
angeordnet sein.
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Ein
Kühlelement
zum Kühlen
des Basiselements kann an nachgelagerten bzw. stromabwärts liegenden
Seiten der Vakuumbearbeitungskammern in der Zirkulationsbahn angeordnet
sein.
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Hierbei
bezeichnet "kontrollierte
Atmosphäre" eine Atmosphäre, in der
die Partialdrücke
der Feuchtigkeit und des Kohlensäuregases
niedergehalten werden, d. h. einen Vakuumzustand, CDA (Clean Dry
Air = reine trockene Luft), oder eine Atmosphäre aus Schutzgas, wie z. B.
N2.
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In
de Vergangenheit wurde ein Basiselement auf einen Träger in der
Ba siselement-Lade- und -Entlade-Kammer geladen, das Basiselement
wurde einem Vakuumprozess mittels der Vakuumbearbeitungskammer unterworfen,
und anschließend
wurde das Basiselement vom Träger
in derselben Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammer entladen. Das heißt, es wurde
ein Bearbeitungssystem mittels einer Zirkulationsbahn gebildet.
Im Gegensatz hierzu wird gemäß der Konfiguration
der vorliegenden Erfindung ein Basiselement auf einen Träger in der
ersten Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammer geladen, das Basiselement
einem Vakuumprozess mittels der ersten Vakuumbearbeitungskammer
unterworfen, und anschließend
das Basiselement vom Träger
in der zweiten Basiselement-Lade-
und -Entlade-Kammer entladen. Gleichzeitig wird ein Basiselement
auf einen weiteren Träger
in der zweiten Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammer geladen, das
Basiselement einem Vakuumprozess mittels des zweiten Vakuumbearbeitungselements
unterworfen, und anschließend
das Basiselement vom Träger
in der dritten Basiselement-Lade-
und -Entlade-Kammer entladen. Auf diese Weise werden mehrere Bearbeitungssysteme
längs einer
Zirkulationsbahn gebildet, wobei die Basiselemente gleichzeitig
von den Bearbeitungssystemen bearbeitet werden können. Selbst wenn daher die
Taktzeit für
die Bearbeitung eines Basiselements durch die Lade- und Entladezeit
bestimmt wird, ist es möglich,
den Durchsatz zu verbessern, indem die Basiselemente unter Verwendung von
mehreren Bearbeitungssystemen gleichzeitig bearbeitet werden, im
Vergleich zu dem bekannten Fall, in dem das Basiselement durch nur
ein Bearbeitungssystem bearbeitet wird.
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Die
Vakuumbearbeitungskammern können eine
erste Vakuumbearbeitungskammer und eine zweite Vakuumbearbeitungskammer
enthalten. Hierbei können
die erste Vakuumbearbeitungskammer und die zweite Vakuumbearbeitungskammer
so angeordnet sein, dass sie unterschiedliche Prozesse durchführen.
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Gemäß dieser
Konfiguration ist es möglich, mehrere
Arten von Produkten in geeigneter Weise zu bewältigen, wodurch der Durchsatz
verbessert wird.
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Die
Vakuumbearbeitungskammern können eine
erste Vakuumbearbeitungskammer und eine zweite Vakuumbearbeitungskammer
enthalten. Eine Transportkammer des Basiselements kann an einer nachgelagerten
bzw. stromabwärts
liegenden Seite der ersten Vakuumbearbeitungskammer und an einer vorgelagerten
bzw. stromaufwärts
liegenden Seite der zweiten Vakuumbearbeitungskammer in der Zirkulationsbahn
angeordnet sein. Die Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammern können an
einem Ende der Transportkammer nahe an der zweiten Vakuumbearbeitungskammer
angeordnet sein.
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Die
Transportkammer kann als Kühlkammer zum
Abkühlen
des Basiselements dienen, bevor es von der zweiten Vakuumbearbeitungskammer
bearbeitet wird.
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Die
Transportkammer dient als Heizkammer zum Aufheizen des Basiselements,
bevor es von der zweiten Vakuumbearbeitungskammer bearbeitet wird.
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Gemäß diesen
Konfigurationen kann nahezu die gesamte Vakuumzirkulationsbahn für die Produktion
verwendet werden, wodurch der Durchsatz verbessert wird.
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Eine
Basiselemententladekammer und eine Basiselementladekammer können als
Unterteilung der Basiselement-Lade- und -Entladekammer vorgesehen
sein.
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Gemäß dieser
Konfiguration kann das Entladen eines Basiselements von einem Träger in der
Basiselemententladekammer und das Laden eines Basiselements auf
einen weiteren Träger
in der Basiselementladekammer gleichzeitig unter Verwendung der
umlaufenden Träger
durchgeführt
werden. Im Vergleich zu einem Fall, in dem ein Basiselement von einem
Träger
in der Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammer entladen wird und
anschließend
ein Basiselement auf denselben Träger geladen wird, ist es möglich, die
Taktzeit zu verkürzen.
Dementsprechend ist es möglich,
den Durchsatz zu verbessern.
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Wirkungen der Erfindung
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In
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
sind mehrere Bearbeitungssysteme längs einer Zirkulationsbahn
ausgebildet, wobei die Basiselemente von den Bearbeitungssystemen
gleichzeitig bearbeitet werden können.
Selbst wenn daher die Taktzeit für
die Bearbeitung eines Basiselements durch die Lade- und Entladezeit
bestimmt wird, ist es möglich,
den Durchsatz zu verbessern, indem die Basiselemente unter Verwendung
der mehreren bearbeitungssysteme gleichzeitig bearbeitet werden,
im Vergleich zu dem bekannten Fall, in dem das Basiselement durch
nur ein Bearbeitungssystem bearbeitet wird.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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1 ist
ein Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt;
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2 ist
eine perspektivische Ansicht, die einen Träger in der Vakuumbearbeitungsvorrichtung zeigt.
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3 ist
eine Seitenschnittansicht, die eine schematische Konfiguration einer
ersten Filmausbildungskammer in der Vakuumbearbeitungsvorrichtung
zeigt.
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4 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration eines Substratverteilungssystems zeigt,
das die Vakuumbearbeitungsvorrichtung enthält.
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5 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration des Substratverteilungssystems zeigt,
die die Vakuumbearbeitungsvorrichtung enthält.
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6 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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7 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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8 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
vierten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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9 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
fünften
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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10 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
sechsten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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11 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer bekannten
Vakuumbearbeitungsvorrichtung zeigt.
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Bester Modus zur Ausführung der
Erfindung
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Im
Folgenden werden Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Über alle
in der folgenden Beschreibung verwendeten Figuren hinweg sind die Schichten
und Elemente auf eine erkennbare Größe skaliert.
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Obwohl
in der folgenden Beschreibung beispielhaft dargestellt ist, dass
ein MgO-Film als Schutzschicht einer Elektrode und eines Dielektrikums
einer Plasmaanzeigetafel ausgebildet wird, kann die vorliegende
Erfindung auch auf die Ausbildung anderer Filme angewendet werden.
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Erste Ausführungsform
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Eine
Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung wird zuerst beschrieben.
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1 ist
eine Draufsicht, die schematisch eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß der ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. Eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 gemäß der ersten
Ausführungsform
enthält
eine Vakuumzirkulationsbahn (Zirkulationsbahn) 8 eines
Trägers zum
Halten eines Substrats, eine erste Lade- und -Entlade-Kammer (Basiselement-Lade-
und -Entlade-Kammer) 10 und eine zweite Lade- und -Entlade-Kammer
(Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammer) 20 zum Laden und
Entladen eines Substrats auf und von dem Träger, eine erste Filmausbildungskammer
(Vakuumbearbeitungskammer) 15, die in der Vakuumzirkulationsbahn 8 angeordnet
ist, die sich von ersten Lade- und
-Entlade-Kammer 10 zur zweiten Lade- und -Entlade-Kammer 20 erstreckt,
und eine zweite Filmausbildungskammer (Vakuumbearbeitungskammer) 25,
die in der Vakuumzirkulationsbahn 8 angeordnet ist, die
sich von der zweiten Lade- und -Entlade-Kammer 20 zur ersten
Lade- und -Entlade-Kammer 10 erstreckt. Eine erste Transportkammer
(Transportkammer) 12 ist an einer nachgelagerten bzw. stromabwärts liegenden
Seite der zweiten Filmausbildungskammer 25 und auf einer
vorgelagerten bzw. stromaufwärts
liegenden Seite der ersten Filmausbildungskammer 15 in
der Vakuumzirkulationsbahn 8 angeordnet, während eine
erste Lade- und -Entlade-Kammer 10 an einem Ende der ersten Transportkammer 12 nahe
an der ersten Filmausbildungskammer 15 angeordnet ist.
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Vakuumbearbeitungsvorrichtung
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Die
Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 weist einen Träger zum
Halten eines Substrats (Basiselement) auf.
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2 ist
eine perspektivische Ansicht des Trägers. Ein Träger 50 weist
einen inneren Rahmen 54 innerhalb eines äußeren Rahmens 52 auf,
wobei ein Fensterabschnitt 56 im inneren Rahmen 54 ausgebildet
ist. Ein Substrat 6 kann auf dem Träger 5 montiert werden,
wobei das Substrat 6 am Fensterabschnitt 56 freiliegt,
indem das Substrat 6 auf dem inneren Rahmen 54 platziert
wird. 2 zeigt einen Fall, in dem sechs Fensterabschnitte 56 im
inneren Rahmen 54 ausgebildet sind, wobei ein Substrat 6 als
eine Platte eines Mutterglases auf dem Träger 50 montiert ist.
Eine Platte der Tafel oder mehrere Platten der Tafel können aus
dem Mutterglas herausgenommen werden, indem die folgenden Prozesse durch
einen oder mehrere Fensterabschnitte 56, die im inneren
Rahmen 54 ausgebildet sind, ausgeführt werden.
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Wie
in 1 gezeigt ist, enthält die Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 die
erste Filmausbildungskammer 15.
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3 ist
eine Seitenschnittansicht, die eine schematische Konfiguration der
ersten Filmausbildungskammer zeigt. Die erste Filmausbildungskammer 15 enthält eine
Abscheidungskammer 60 unterhalb der Vakuumzirkulationsbahn 8.
Eine Elektronenstrahlemissionsvorrichtung 62 ist an einer
Seitenfläche
der Abscheidungskammer 60 angeordnet. Eine Ablenkspule 64 und
ein Gestell 66 sind in der Abscheidungskammer 60 angeordnet.
Ein Elektronenstrahl 63 wird von der Elektronenstrahlemissionsvorrichtung 62 emittiert,
wobei dessen Ortskurve durch die Ablenkspule 64 abgelenkt
wird und auf das Gestell 66 trifft. Als Ergebnis wird ein
Filmausbildungsmaterial 67, wie z. B. in das Gestell 66 gefülltes MgO, erwärmt und
verdampft. Das verdampfte Filmausbildungsmaterial 67 tritt
durch einen Fensterabschnitt 68 der Vakuumzirkulationsbahn 8 und
wird auf das auf dem Träger 5 montierte
Substrat 6 aufgebracht. Dementsprechend wird das Substrat 6 einem
Filmausbildungsprozess unterworfen. Der Filmausbildungsprozess kann
mittels der Filmausbildungskammer nicht nur auf einem Träger 50,
sondern auch auf mehreren kontinuierlich transportierten Trägern durchgeführt werden.
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Wie
in 1 gezeigt ist, ist eine erste Heizkammer (Heizkammer) 14 neben
der ersten Filmausbildungsvorrichtung 15 angeordnet. Die
erste Heizkammer 14 dient zum Aufheizen des Substrats vor dem
Filmausbildungs prozess, wobei Heizvorrichtungen oder dergleichen
den vorderen und hinteren Oberflächen
des Substrats gegenüberliegend
angeordnet sind.
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Eine
zweite Heizkammer (Heizkammer) 24 und die zweite Filmausbildungskammer
(Vakuumbearbeitungskammer) 25, die ähnlich konfiguriert sind, sind
neben der ersten Heizkammer 14 und der ersten Filmausbildungskammer 15 angeordnet.
Die erste Transportkammer 12 ist von der zweiten Filmausbildungskammer 25 zur
ersten Heizkammer 14 angeordnet, und eine zweite Transportkammer
(Transportkammer) 22 ist von der ersten Filmausbildungskammer 15 zur
zweiten Heizkammer 24 angeordnet. Die Kammern werden alle
unter Vakuum gehalten, wobei darin der Träger zirkuliert. Das heißt, die
Vakuumzirkulationsbahn des Trägers
wird von den Kammern gebildet.
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Andererseits
ist die erste Lade- und -Entlade-Kammer 10 mit der ersten
Transportkammer 12 verbunden. Die erste Lade- und -Entlade-Kammer 10 wird
verwendet, um ein Substrat auf den Träger zu laden und von diesem
zu entladen, und weist einen Roboter und dergleichen (nicht gezeigt)
auf. Die erste Lade- und -Entlade-Kammer 10 dient als eine
Ladeverschlusskammer für
die Vakuumzirkulationsbahn 8. Die erste Lade- und -Entlade-Kammer 10 enthält eine
Vakuumpumpe und ist mit der ersten Transportkammer 12 über ein
Ventil verbunden. In ähnlicher Weise
ist die zweite Lade- und -Entlade-Kammer 20 mit der zweiten
Transportkammer 22 verbunden.
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Auf
diese Weise sind mehrere Substrat-Lade- und -Entlade-Kammern in
der Vakuumzirkulationsbahn 8 angeordnet. Die erste Filmausbildungskammer 15 ist
in der Vakuumzirkulationsbahn 8 angeordnet, die sich von
der ersten Lade- und -Entlade-Kammer 10 zur zweiten Lade-
und -Entlade-Kammer 20 erstreckt, während die zweite Filmausbildungskammer 25 in
der Vakuumzirkulationsbahn 8 angeordnet ist, die sich von
der zweiten Lade und -Entlade-Kammer 20 zur ersten Lade-
und -Entlade-Kammer 10 erstreckt.
Andere Vakuumbearbeitungskammern können anstelle der ersten Filmausbildungskammer 15 und
der zweiten Filmaus bildungskammer 25 vorgesehen sein. Zum
Beispiel kann eine Oberflächenbearbeitungskammer
für den MgO-Film
anstelle der zweiten Filmausbildungskammer 25 vorgesehen
sein.
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Die
erste Transportkammer 12 gemäß der ersten Ausführungsform
dient als Kühlkammer
für das
Substrat, das dem Filmausbildungsprozess mittels der zweiten Filmausbildungskammer 25 unterworfen
worden ist. Dementsprechend ist die erste Lade- und -Entlade-Kammer 10 mit
einem nachgelagerten Ende (nahe der ersten Filmausbildungskammer 15)
der ersten Transportkammer 12 verbunden. Genauer ist das
nachgelagerte bzw. stromabwärts
liegende Ende ein anderes Ende (ein Ende gegenüberliegend der ersten Heizkammer 14 in
dem in 1 gezeigten Beispiel) als ein Verbindungsabschnitt
zur ersten Heizkammer 14. In ähnlicher Weise ist die zweite
Lade- und -Entlade-Kammer mit einem nachgelagerten Ende (nahe der
zweiten Filmausbildungskammer 25) der Transportkammer 22 verbunden. Genauer
ist das nachgelagerte Ende ein anderes Ende (ein Ende gegenüberliegend
der zweiten Heizkammer 24 in dem in 1 gezeigten
Beispiel) als ein Verbindungsabschnitt zur zweiten Heizkammer 24.
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Substratverteilungssystem
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Die 4 und 5 sind
Draufsichten, die schematisch eine Konfiguration eines Substratverteilungssystems
zeigen, das die Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 enthält. 4 ist
eine vergrößerte Ansicht
eines Abschnitts A der 5, während 5 ein Gesamtdiagramm
ist. Wie in 4 gezeigt ist, ist eine erste
Substratzuführungsvorrichtung 71 an
einer Seite der ersten Lade und -Entlade-Kammer 10 in der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 angeordnet.
Die erste Substratzuführungsvorrichtung 71 enthält einen Substrattransportroboter 76.
Der ersten Substratzuführungsvorrichtung 71 wird
ein Unbearbeitete-Substrate-Gestell 78 und ein Bearbeitete-Substrate-Gestell 79 zugeführt.
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Mehrere
unbearbeitete Substrate 6 sind auf dem Unbearbeitete-Substrate- Gestell 78 mit
nach oben weisenden Bearbeitungsoberflächen der Substrate montiert.
Das Substrat 6 wird von dem Unbearbeitete-Substrate-Gestell 78 entladen,
wobei der Substratzuführungsroboter 76 das
Substrat 6 aufnimmt und das Substrat 6 so umdreht,
dass die Bearbeitungsoberfläche
nach unten weist. Das umgedrehte Substrat 6 wird der ersten
Lade- und -Entlade-Kammer
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 zugeführt.
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Der
Substrattransportroboter 76 nimmt das in die erste Lade-
und -Entlade-Kammer 10 entladene Substrat 6 nach
der Bearbeitung auf und dreht das Substrat 6 um, so dass
die Bearbeitungsoberfläche des
Substrats nach oben weist. Das umgedrehte Substrat 6 wird
auf dem Bearbeitete-Substrate-Gestell 79 platziert. Das
Bearbeitete-Substrate-Gestell 79 kann mehrere bearbeitete
Substrate 6 aufnehmen.
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Wie
in 5 gezeigt ist, ist die erste Substratzuführungsvorrichtung 71 an
einer Seite der ersten Lade- und -Entlade-Kammer 10 in
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 angeordnet. Eine zweite Substratzuführungsvorrichtung 72 mit
demselben Aufbau ist an einer Seite der zweite Lade- und -Entlade-Kammer 20 angeordnet.
Die Substratzuführungsvorrichtungen 71 und 72 sind
benachbart zu einem Durchlass 82 eines automatisch geführten Fahrzeugs
(AGV, automatic guided vehicle), wobei der Durchlass 82 mit
einem Gestelllager 80 in Verbindung steht.
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Das
Gestelllager 80 lagert vorübergehend das Unbearbeitete-Substrate-Gestell 78,
das aus einem vorangehenden Prozess transportiert worden ist, und
das Bearbeitete-Substrate-Gestell 79, das zu einem nachfolgenden
Prozess zu transportieren ist.
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Das
AGV entnimmt das Unbearbeitete-Substrate-Gestell 78 aus
dem Gestelllager 80 und führt das entnommene Unbearbeitete-Substrate-Gestell der ersten
Substratzuführungsvorrichtung 71 zu.
Das AGV nimmt ein Bearbeitete-Substrate-Gestell 79 aus der
ersten Substratzuführungsvorrichtung 71 auf
und führt
das aufgenommene Bearbeitete-Substrate-Gestell dem Gestelllager 80 zu.
Anschließend
entnimmt das AGV ein weiteres Unbearbeitete-Substrate-Gestell 78 aus
dem Gestelllager 80 und führt das entnommene Unbearbeitete-Substrate-Gestell
der zweiten Substratzuführungsvorrichtung 72 zu.
Das AGV nimmt ein weiteres Bearbeitete-Substrate-Gestell 79 von
der zweiten Substratzuführungsvorrichtung 72 auf
und führt
das aufgenommene Bearbeitete-Substrate-Gestell 79 dem Gestelllager 80 zu.
Ein Substratverteilungssystem, das sich vom vorangehenden Prozess
zum nachfolgenden Prozess durch den Vakuumprozess erstreckt, ist
wie oben beschrieben konfiguriert.
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Es
kann ein weiteres Substratverteilungssystem verwendet werden. Zum
Beispiel ist eine Gestellzuführungstransporteinrichtung,
die sich von einem vorangehenden Prozess ausgehend erstreckt, verzweigt
und mit der ersten Substratzuführungsvorrichtung 71 und
der zweiten Substratzuführungsvorrichtung 72 verbunden,
während
eine Gestellentnahmetransportvorrichtung sich von der ersten Substratzuführungsvorrichtung 71 und
der zweiten Substratzuführungsvorrichtung 72 ausgehend
vereinigt und mit einem nachfolgenden Prozess verbunden ist.
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Vakuumbearbeitungsverfahren.
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Ein
Vakuumbearbeitungsverfahren, das die Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform
verwendet, wird mit Bezug auf 1 beschrieben.
Zuerst wird ein unbearbeitetes Substrat auf den Träger in der
Vakuumzirkulationsbahn 8 von der ersten Lade- und -Entlade-Kammer 10 geladen.
Das Substrat wird einem Heizprozess mittels der ersten Heizkammer 14 unterworfen,
einem Filmausbildungsprozess mittels der ersten Filmausbildungskammer
unterworfen, und anschließend einem
Abkühlungsprozess
mittels der zweiten Transportkammer 22 unterworfen. Das
bearbeitete Substrat wird vom Träger
in der Vakuumzirkulationsbahn zu der zweiten Lade- und -Entlade-Kammer 20 entladen.
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Gleichzeitig
wird ein weiteres unbearbeitetes Substrat von der zweiten Lade-
und Entlade-Kammer 20 auf den Träger in der Vakuumzirkulationsbahn 8 geladen.
Das Substrat wird einem Heizprozess mittels der zweiten Heizkammer 24 unterworfen,
einem Ausbildungsprozess mittels der zweiten Filmausbildungskammer
unterworfen, und einem Abkühlungsprozess
mittels der ersten Transportkammer 12 unterworfen. Das
bearbeitete Substrat wird vom Träger in
der Vakuumzirkulationsbahn zur ersten Lade- und Entlade-Kammer 10 entladen.
Auf diese Weise weist die Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform
zwei Bearbeitungssysteme auf, die längs der Vakuumzirkulationsbahn 8 ausgebildet sind.
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Die
zweite Filmausbildungskammer 25 kann den Filmausbildungsprozess
unter Bedingungen durchführen,
die sich von denjenigen der ersten Filmausbildungskammer 15 unterscheiden.
Das heißt,
es kann ein Filmausbildungsprozess mit Bedingungen durchgeführt werden,
die bezüglich
Filmausbildungstemperatur, Druck, Prozessgas, Filmausbildungsgeschwindigkeit
und dergleichen verschieden sind. Zum Beispiel kann ein MgO-Film
mit (111)-Orientierung mittels der ersten Filmausbildungskammer 15 ausgebildet
werden, und ein MgO-Film mit (220)-Orientierung mittels der zweiten
Filmausbildungskammer 25 ausgebildet werden. Die erste
Filmausbildungskammer 15 und die zweite Filmausbildungskammer 25 können den
Filmausbildungsprozess auf Substraten unterschiedlicher Dicke durchführen.
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Die
erste Filmausbildungskammer 15 und/oder die zweite Filmausbildungskammer 25 können einen
anderen Prozess als den Filmausbildungsprozess ausführen.
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Die
Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform
ist so konfiguriert, dass sie die erste Lade- und Entlade-Kammer 10 und
die zweite Lade- und Entlade-Kammer 20 zum Laden eines
Substrats auf einen Träger
und zum Entladen desselben von einem Träger, die erste Filmausbildungskammer 15,
die in der Vakuumzirkulationsbahn 8 angeordnet ist, die
sich von der ersten Lade- und Entlade-Kammer 10 zur zweiten
Lade- und Entlade-Kammer 20 erstreckt, und die zweite Filmausbildungskammer 25,
die in der Vakuumzirkulationsbahn 8 angeordnet ist, die
sich von der zweiten Lade- und Entlade-Kammer 20 zur ersten
Lade- und Entlade-Kammer 10 erstreckt,
enthält.
Gemäß dieser
Konfiguration sind zwei Bearbeitungssysteme längs einer Zirkulationsbahn
ausgebildet, wobei die Basiselemente von den Bearbeitungssystemen
gleichzeitig bearbeitet werden können.
Selbst wenn dementsprechend die Taktzeit für die Bearbeitung eines Basiselements
durch die Lade- und Entladezeit bestimmt wird, ist es möglich, den
Durchsatz zu verbessern, indem die Basiselemente unter Verwendung
von zwei Bearbeitungssystemen gleichzeitig bearbeitet werden, im
Vergleich zu dem bekannten Fall, in dem ein Basiselement durch nur
ein Bearbeitungssystem bearbeitet wird.
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In
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform
dient die erste Transportkammer 12 als Kühlkammer
und die erste Lade- und
Entlade-Kammer 10 ist mit dem nachgelagerten Ende der ersten
Transportkammer 12 verbunden. Gemäß dieser Konfiguration kann
nahezu die gesamte Vakuumzirkulationsbahn für die Produktionsaktivität verwendet
werden, um somit den Durchsatz zu verbessern.
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Es
ist ferner möglich,
eine Raumeinsparung zu verwirklichen und die Installationskosten
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung zu reduzieren.
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In
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform
können
die erste Filmausbildungskammer 15 und die zweite Filmausbildungskammer 25 Filmausbildungsprozesse
unter verschiedenen Filmausbildungsbedingungen durchführen. Zum
Beispiel kann die erste Filmausbildungskammer 15 einen
ersten Filmausbildungsprozess durchführen, um ein erstes Produkt
herzustellen, während
die zweite Filmausbildungskammer 25 einen zweiten Filmausbildungsprozess
durchführen kann,
um ein zweites Produkt herzustellen. In dem Fall, in dem beabsichtigt
ist, nur das erste Produkt herzustellen, kann der zweite Filmausbildungsprozess
der zweiten Filmausbildungskammer 25 gestoppt werden und
der erste Filmausbildungsprozess kann durch nur die erste Filmausbildungskammer 15 durchgeführt werden.
In diesem Fall kann der zweiten Filmausbildungskammer 25 erlaubt
werden, als bloße
Vakuumtransportbahn zu dienen. In dem Fall, in dem beabsichtigt
ist, die Menge des herzustellenden ersten Produkts zu steigern,
können
die Filmausbildungsbedingungen der zweiten Filmausbildungskammer 25 an
die Filmausbildungsbedingungen der ersten Filmausbildungskammer 15 angeglichen
werden und der erste Filmausbildungsprozess kann von beiden Filmausbildungskammern
ausgeführt
werden. Im Gegensatz hierzu kann in dem Fall, in dem beabsichtigt
ist, die Fertigung des ersten Produkts zu regulieren, ein Wartungszyklus
der ersten Filmausbildungskammer und der zweiten Filmausbildungskammer
verdoppelt werden, indem alternierend die erste Filmausbildungskammer
und die zweite Filmausbildungskammer verwendet werden. Auf diese
Weise ist es in der Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß dieser
Ausführungsform
möglich,
mehrere Arten von Produkten zu handhaben. Selbst wenn ein Filmausbildungsprozess
unmittelbar vor einem nachfolgenden Prozess auszuführen ist,
ist es möglich,
den Filmausbildungsprozess in angemessener Zeit und Menge durchzuführen.
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In
dem Fall, in dem die gleiche Art von Film mittels der ersten Filmausbildungskammer 15 und der
zweiten Filmausbildungskammer 25 ausgebildet wird, hat
der auf dem Träger
in einer Filmausbildungskammer ausgebildete Film kaum einen schlechten
Einfluss auf den Filmausbildungsprozess in der anderen Filmausbildungskammer.
In dem Fall, in dem die Kontamination aufgrund unterschiedlicher Arten
von Filmen kein Problem hervorruft, können unterschiedliche Arten
von Filmen mittels der ersten Filmausbildungskammer 15 und
der zweiten Filmausbildungskammer 25 ausgebildet werden.
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Zweite Ausführungsform
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6 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Beschreibungen der Elemente,
die denjenigen der ersten Ausführungsform
entsprechen, werden weggelassen.
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Die
erste Transportkammer 12 einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1B gemäß der zweiten Ausführungsform
dient als Heizkammer zum Aufheizen eines Substrats vor einem Filmausbildungsprozess
in der ersten Filmausbildungskammer 15. Dementsprechend
ist die erste Lade- und Entlade-Kammer 10 mit einem vorgelagerten
bzw. stromaufwärts liegenden
Ende (nahe der zweiten Filmausbildungskammer 25) der ersten
Transportkammer 12 verbunden. In ähnlicher Weise ist die zweite
Lade- und Entlade-Kammer 20 mit einem vorgelagerten Ende
(nahe der ersten Filmausbildungskammer 15) der zweiten
Transportkammer 22 verbunden. Gemäß dieser Konfiguration kann ähnlich der
ersten Ausführungsform
nahezu die gesamte Vakuumzirkulationsbahn für die Produktionsaktivität verwendet
werden, um somit den Durchsatz zu verbessern. Es ist ferner möglich, eine
Raumeinsparung zu verwirklichen und die Installationskosten der
Vakuumbearbeitungsvorrichtung zu reduzieren.
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Da
die erste Transportkammer 12 als Heizkammer dienen kann,
können
zwei Heizkammern, einschließlich
der ersten Heizkammer 14, an der vorgelagerten Seite der
ersten Filmausbildungskammer 15 angeordnet sein. In diesem
Fall wird z. B. die Substrattemperatur in der ersten Transportkammer 12 von
70 °C auf
180 °C angehoben,
wobei die Substrattemperatur in der ersten Heizkammer 14 von
180 °C auf
250 °C angehoben
wird. Durch Verteilen des Aufheizprozesses auf diese Weise ist es
möglich,
die Taktzeit zu verkürzen
und den Durchsatz zu verbessern, wobei die Belastung der Heizvorrichtung
reduziert Werden kann.
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Dritte Ausführungsform
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7 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Beschreibungen der Elemente,
die denjenigen der obenerwähnten Ausführungsformen
entsprechen, werden weggelassen.
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In
einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung 10 gemäß der dritten
Ausführungsform
sind vier Sätze von
Heizkammern (die erste Heizkammer 14, eine zweite Heizkammer 24,
eine dritte Heizkammer 34 und eine vierte Heizkammer 44)
und Filmausbildungskammern (die erste Filmausbildungskammer 15,
die zweite Filmausbildungskammer 25, eine dritte Filmausbildungskammer 35 und
eine vierte Filmausbildungskammer 45) über Puffer 12, 22, 32 und 42 miteinander
verbunden, um somit eine Vakuumzirkulationsbahn zu bilden. Die vier
Puffer sind mit Substrat-Lade- und -Entlade-Kammern (Basiselement-Lade-
und -Entlade-Kammern) 10, 20, 30 bzw. 40 verbunden.
Dementsprechend sind die Heizkammern und die Filmausbildungskammern
in der Vakuumzirkulationsbahn (in 7 nicht
gezeigt) zwischen vier Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammern angeordnet.
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Die
Vakuumbearbeitungsvorrichtung 10 gemäß der dritten Ausführungsform
kann die gleichen Vorteile wie die erste Ausführungsform aufweisen und kann
mehr Substrate in derselben Taktzeit bearbeiten; somit ist es möglich, den
Durchsatz im Vergleich zur ersten Ausführungsform weiter zu verbessern.
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Obwohl
in der ersten Ausführungsform
beschrieben worden ist, dass zwei Sätze von Substrat-Lade- und
-Entlade-Kammern, Heizkammern und Filmausbildungskammern vorgesehen
sind, und in der zweiten Ausführungsform
beschrieben worden ist, dass vier Sätze von Substrat-Lade- und -Entlade-Kammern,
Heizkammern und Filmausbildungskammern vorgesehen sind, können drei
Sätze oder fünf oder
mehr Sätze
von Substrat-Lade- und -Entlade-Kammern, Heizkammern und Filmausbildungskammern
vorgesehen sein.
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Vierte Ausführungsform
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8 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
vierten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Beschreibungen der Elemente,
die denjenigen der obenerwähnten Ausführungsformen
entsprechen, werden weggelassen.
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In
einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1D gemäß der vierten
Ausführungsform
sind eine Ladekammer für
ein unbearbeitetes Substrat und eine Entladekammer für ein bearbeitetes
Substrat unabhängig
als eine Substrat-Lade- und -Entlade-Kammer vorgesehen. Die Substratladekammer
dient als eine Ladeverschlusskammer, während die Substratentladekammer
als eine Entladeverschlusskammer dient. Dementsprechend weisen die
Substratladekammer und die Substratentladekammer eine Vakuumpumpe
auf und stehen über
ein Ventil mit einer Transportkammer in Verbindung.
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In
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1D gemäß der vierten
Ausführungsform
sind eine erste Ladekammer (Basiselementladekammer) 11 und eine
zweite Entladekammer (Entladekammer) 29 mit der ersten
Transportkammer 12 verbunden, und eine erste Entladekammer
(Entladekammer) 19 und eine zweite Ladekammer (Ladekammer) 21 sind
mit der zweiten Transportkammer 22 verbunden. Ein von der ersten
Ladekammer 11 geladenes Substrat wird durch die erste Heizkammer 14 und
die erste Filmausbildungskammer 15 zur ersten Entladekammer 19 entladen.
Ein von der zweiten Ladekammer 21 geladenes Substrat wird
durch die zweite Heizkammer 24 und die zweite Filmausbildungskammer 25 zur zweiten
Entladekammer 29 entladen.
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In
der Vakuumbearbeitungskammer 1D gemäß der vierten Ausführungsform
können
das Entladen eines Basiselements von einem Träger in der Basiselemententladekammer
und das Laden eines Basiselements auf einen weiteren Träger in der
Basiselementladekammer unter Verwendung der zirkulierenden Träger gleichzeitig
durchgeführt
werden, da die Substratladekammer und die Substratentladekammer
getrennt sind. Dementsprechend ist es möglich, die Taktzeit im Vergleich
zur Vakuumbearbeitungskammer 1 gemäß der ersten Ausführungsform, in
der ein Basiselement von einem Träger in der Basiselement-Lade-
und Entlade-Kammer entladen wird und anschließend ein Basiselement auf den
gleichen Träger
geladen wird, zu verkürzen.
Es ist somit möglich,
den Durchsatz zu verbessern.
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Fünfte Ausführungsform
-
9 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
fünften
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Beschreibungen der Elemente,
die denjenigen der obenerwähnten Ausführungsformen
entsprechen, werden weggelassen.
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In
eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1E gemäß der fünften Ausführungsform
ist eine erste Kühlkammer
(Kühlkammer) 16 an
einer nachgelagerten Seite der ersten Filmausbildungskammer 15 angeordnet.
Die erste Kühlkammer 16 dient
zum Abkühlen
eines Substrats, das einem Filmausbildungsprozess mittels der ersten
Filmausbildungskammer 15 unterworfen worden ist. Das Kühlverfahren
kann ein Zwangskühlprozess
sein, in welchem Kühlplatten so
angeordnet werden, dass sie den vorderen und hinteren Oberflächen des
Substrats gegenüberliegen,
oder kann ein natürlicher
Kühlprozess
sein. In ähnlicher
Weise ist eine zweite Kühlkammer
(Kühlkammer) 26 mit
einer nachgelagerten Seite der zweiten Filmausbildungskammer 25 verbunden.
Eine Darstellung einer Vakuumzirkulationsbahn ist in 9 weggelassen.
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In
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1E gemäß der fünften Ausführungsform
sind ähnlich
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1D gemäß der vierten
Ausführungsform
eine Substratladekammer und eine Substratentladekammer getrennt.
In diesem Fall ist es schwierig, der zweiten Transportkammer 2 zu erlauben,
als Kühlkammer
zu dienen (das Gleiche gilt für
die erste Transportkammer 12), da die zweite Ladekammer 21 mit
einer nachgelagerten Seite der zweiten Transportkammer 22 verbunden
ist und die erste Entladekammer 19 mit einer vorgelagerten
Seite der zweiten Transportkammer 22 verbunden ist. Durch
Vorsehen einer Kühlkammer
auf der nachgelagerten Seite der Filmausbildungskammer ist es daher
möglich,
das Substrat, das einem Filmausbildungsprozess unter worfen worden
ist, zuverlässig
zu kühlen.
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Sechste Ausführungsform
-
10 ist
eine Draufsicht, die eine schematische Konfiguration einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung
gemäß einer
sechsten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Beschreibungen der Elemente,
die denjenigen der obenerwähnten Ausführungsformen
entsprechen, werden weggelassen.
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In
einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1F gemäß der sechsten
Ausführungsform
ist eine erste Entlüftungskammer 13 zwischen
der ersten Transportkammer 12 und der ersten Heizkammer 14 über Ventile
verbunden. Eine erste Belüftungskammer 15 ist
zwischen der ersten Kühlkammer 16 und
der zweiten Transportkammer 22 über Ventile verbunden. Die erste
Entlüftungskammer 13 und
die erste Belüftungskammer 17 weisen
jeweils eine Vakuumpumpe auf und können im Inneren evakuiert werden.
Im Gegensatz hierzu ist mit der ersten Ladekammer 11 und der
ersten Entladekammer 19 keine Vakuumpumpe verbunden. In ähnlicher
Weise ist eine zweite Entlüftungskammer 23 zwischen
der zweiten Transportkammer 22 und der zweiten Heizkammer 24 über Ventile
verbunden. Eine zweite Belüftungskammer 27 ist
zwischen der zweiten Kühlkammer 26 und
der ersten Transportkammer 12 über Ventile verbunden. Eine
Darstellung einer Vakuumzirkulationsbahn ist in 10 weggelassen.
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Das
Innere der ersten Transportkammer 12 und der zweiten Transportkammer 22 wird
jeweils unter einer kontrollierten Atmosphäre gehalten. Hierbei bezeichnet "kontrollierte Atmosphäre" eine Atmosphäre, in der
die Partialdrücke
der Feuchtigkeit und des Kohlensäuregases
niedergehalten sind, d. h. einen Vakuumzustand, CDA (reine trockene
Luft) oder eine Atmosphäre
aus Schutzgas, wie z. B. N2. Der Raum zwischen
der ersten Entlüftungskammer 13 bis
zur ersten Belüftungskammer 17 und
der Raum zwischen der zweiten Entlüftungskammer 23 bis
zur zweiten Belüftungskammer 27 werden
unter Vakuum gehalten. Das heißt,
die Zirkulations bahn eines Trägers
wird unter der "kontrollierten
Atmosphäre" gehalten, in der
die Partialdrücke
der Feuchtigkeit und des CO2 niedergehalten
sind.
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Dementsprechend
adsorbiert der auf einem Träger
ausgebildete MgO-Film
nicht die Feuchtigkeit oder das CO2. Da
außerdem
die Innenräume
der ersten Transportkammer 12 und der zweiten Transportkammer 22,
die ein großes
Volumen aufweisen, nicht unter Vakuum gehalten werden müssen, ist
es möglich,
die Installationskosten und die Fertigungskosten deutlich zu reduzieren.
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In
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1F gemäß dieser
Ausführungsform
ist die Substratladekammer, die als eine Ladeverschlusskammer in
der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1D gemäß der vierten
Ausführungsform
dient, in eine reine Substratladekammer und eine Entlüftungskammer
unterteilt; und die Substratentladekammer, die als eine Entladeverschlusskammer
in der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1D gemäß der vierten
Ausführungsform dient,
ist in eine reine Substratentladekammer und eine Belüftungskammer
unterteilt. Dementsprechend können
das Laden eines Substrat auf einem Träger in der Substratladekammer
und das Entlüften
der Entlüftungskammer,
in der ein weiterer Träger
platziert ist, unter Verwendung der umlaufenden Träger gleichzeitig
durchgeführt
werden. Somit ist es möglich,
die Taktzeit im Vergleich zu der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1B gemäß der vierten
Ausführungsform,
in der die Ladeverschlusskammer mit darin platziertem Träger entlüftet wird
und anschließend ein
Substrat auf denselben Träger
geladen wird, zu verkürzen.
Das Entladen eines Substrats von einem Träger in der Substratentladekammer
und das Entlüften
der Belüftungskammer
mit einem weiteren darin platzierten Träger können unter Verwendung der umlaufenden
Träger
gleichzeitig ausgeführt
werden. Dementsprechend ist es im Vergleich zu der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1D gemäß der vierten Ausführungsform,
in der ein Substrat entladen wird und anschließend die Entlüftung in
der Entladeverschlusskammer mit einem darin platzierten Träger durchgeführt wird,
möglich,
die Taktzeit zu verkürzen. Dementsprechend
ist es möglich,
den Durchsatz zu verbessern.
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Der
technische Umfang der vorliegenden Erfindung ist nicht auf die obenbeschriebenen
Ausführungsformen
beschränkt,
sondern ist so auszulegen, dass er verschiedene Modifikationen der
Ausführungsformen
einschließt,
ohne vom Erfindungsgedanken der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
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Das
heißt,
bestimmte Materialien, Konstruktionen und dergleichen, die in den
Ausführungsformen
beschrieben und gezeigt sind, sind lediglich beispielhaft und können auf
verschiedene Weise modifiziert werden.
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Obwohl
in den obenerwähnten
Ausführungsformen
z. B. beschrieben worden ist, dass verschiedene Prozesse an einem
Substrat ausgeführt
werden, das von einem Träger
horizontal gehalten wird, kann die vorliegende Erfindung auch auf
einen Fall angewendet werden, in dem verschiedene Prozesse an einem
Substrat durchgeführt
werden, das von einem Träger
vertikal gehalten wird. Außerdem
ist in den obenerwähnten
Ausführungsformen
beschrieben worden, dass die Vakuumzirkulationsbahn in zwei Dimensionen
konstruiert ist; die vorliegende Erfindung kann jedoch auch auf
einen Fall angewendet werden, in dem die Vakuumzirkulationsbahn
in drei Dimensionen konstruiert ist. Obwohl ferner in den obenerwähnten Ausführungsformen
beschrieben worden ist, dass ein Elektronenstrahlabscheidungsprozess
mittels der Vakuumbearbeitungskammer durchgeführt wird, kann die vorliegende
Erfindung auch auf einen Fall angewendet werden, in dem ein Sputter-Filmausbildungsprozess
mittels der Vakuumbearbeitungskammer durchgeführt wird.
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Industrielle Anwendbarkeit
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Die
vorliegende Erfindung kann in geeigneter Weise als Vakuumbearbeitungsvorrichtung
verwendet werden, die in einem Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeigetafel
verwendet werden soll.
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Zusammenfassung
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Eine
Vakuumbearbeitungsvorrichtung enthält: mehrere Träger, auf
denen ein Basiselement montiert wird; eine Zirkulationsbahn, die
unter einer kontrollierten Atmosphäre gehalten wird und durch die
die Träger
umlaufen; mehrere Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammern, die in
der Zirkulationsbahn angeordnet sind und das Basiselement auf die Träger laden
und von diesen entladen; und mehrere Vakuumbearbeitungskammern,
die zwischen den Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammern in der Zirkulationsbahn
angeordnet sind, um einen Vakuumprozess an dem Basiselement auszuführen.
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- 1,
1B, 1C, 1D, 1E, 1F
- Vakuumbearbeitungsvorrichtung
- 8
- Vakuumzirkulationsbahn (Zirkulationsbahn)
- 10
- erste
Lade- und -Entlade-Kammer (Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammer)
- 11
- erste
Ladekammer (Ladekammer)
- 12
- erste
Transportkammer (Transportkammer)
- 14
- erste
Heizkammer (Heizkammer)
- 15
- erste
Filmausbildungskammer (Vakuumbearbeitungskammer)
- 16
- erste
Kühlkammer
(Kühlkammer)
- 19
- erste
Entladekammer (Entladekammer)
- 20
- zweite
Lade- und -Entlade-Kammer (Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammer)
- 21
- zweite
Ladekammer (Ladekammer)
- 22
- zweite
Transportkammer (Transportkammer)
- 24
- zweite
Heizkammer (Heizkammer)
- 25
- zweite
Filmausbildungskammer (Vakuumbearbeitungskammer)
- 26
- zweite
Kühlkammer
(Kühlkammer)
- 29
- zweite
Entladekammer (Entladekammer)
- 30
- dritte
Lade- und -Entlade-Kammer (Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammer)
- 34
- dritte
Heizkammer (Heizkammer)
- 35
- dritte
Filmausbildungskammer (Vakuumbearbeitungskammer)
- 40
- vierte
Lade- und -Entlade-Kammer (Basiselement-Lade- und -Entlade-Kammer)
- 44
- vierte
Heizkammer (Heizkammer)
- 45
- vierte
Filmausbildungskammer (Vakuumbearbeitungskammer)
- 50
- Träger