CN103268850B - 一种太阳能电池片离子注入机 - Google Patents
一种太阳能电池片离子注入机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103268850B CN103268850B CN201310159613.5A CN201310159613A CN103268850B CN 103268850 B CN103268850 B CN 103268850B CN 201310159613 A CN201310159613 A CN 201310159613A CN 103268850 B CN103268850 B CN 103268850B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- film magazine
- blanking
- sheet
- elevator
- material loading
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
本发明涉及一种太阳能电池片离子注入机，包括真空片库，还包括将电池片在标准片盒与真空片库之间循环输送的传片装置，该传片装置包括用于放置满载标准片盒和空载标准片盒的标准片盒传递机构、用于放置多片电池片的上料缓存片电梯和下料缓存片电梯、用于将标准片盒传递机构中满载标准片盒内的电池片输送至上料缓存片电梯内的上料输送带和将下料缓存片电梯内的电池片输送至标准片盒传递机构中空载标准片盒内的下料输送带，本发明为一种太阳能电池片离子注入机，通过设置传片装置，能独立完成电池片在标准片盒与真空片库间的自动传递，提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池片离子注入机。
背景技术
太阳能电池片离子注入机是利用离子掺杂技术发展高效电池片的一种关键装备，离子注入技术取代传统的扩散掺杂工艺，由于其除了精度更高和更好的工艺控制外，还能实现精确控制的图形掺杂（选择性掩膜注入），并且提高了太阳能电池的一致性，离子注入技术的引入减少传统晶硅电池生产中的边沿刻蚀和二次清洗，能够提高效率和降低成本来大量生产转换效率超过19%的晶体太阳能电池，使得太阳能电池制造商能够以更低的生产成本制造更高效率的太阳能电池。
但目前，并没有配套的设备将满载标准片盒中的电池片自动送入真空片库处理或将已处理的电池片放回空载片盒内的传送设备。
发明内容
本发明的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种太阳能电池片离子注入机，带有将电池片在标准片盒与真空片库之间循环输送的传片装置，能独立完成电池片在标准片盒与真空片库间的自动传递，提高生产效率。
本发明的技术方案为，一种太阳能电池片离子注入机，包括真空片库，还包括将电池片在标准片盒与真空片库之间循环输送的传片装置，该传片装置包括用于放置满载标准片盒和空载标准片盒的标准片盒传递机构、用于放置多片电池片的上料缓存片电梯和下料缓存片电梯、用于将标准片盒传递机构中满载标准片盒内的电池片输送至上料缓存片电梯内的上料输送带和将下料缓存片电梯内的电池片输送至标准片盒传递机构中空载标准片盒内的下料输送带，并在标准片盒传递机构中的满载标准片盒与上料输送带之间、标准片盒传递机构中的空载标准片盒与下料输送带之间分别设有上料电池片传递装置和下料电池片传递装置，该离子注入机还包括在上料缓存片电梯、下料缓存片电梯与真空片库之间传递电池片的传片机械手。
标准片盒上下片槽间距为4.76mm，每个标准片盒能装100个电池片。
所述标准片盒传递机构包括平行设置的用于放置满载标准片盒的满载片盒位和用于放置空载标准片盒的空载片盒位，并在满载片盒位和空载片盒位底部分别设有沿前后方向传动的第一片盒传递皮带。
标准片盒传递机构除了包含满载片盒位和空载片盒位，还可设有下料周转片盒位。
所述上料电池片传递装置包括上料片盒升降电梯和上料装卸片机构，所述下料电池片传递装置包括下料片盒升降电梯和下料装卸片机构，
所述上料片盒升降电梯置于满载片盒位的后方而下料片盒升降电梯置于空载片盒位的后方，所述上料片盒升降电梯上设有用于放置满载标准片盒的上料平台，下料片盒升降电梯上设有用于放置空载标准片盒的下料平台，所述上料平台和下料平台的的底部分别设有与第一片盒传递皮带水平对接且传动方向相同的第二片盒传递皮带；所述上料片盒升降电梯中设有带动上料平台升降的第一片盒升降机构，所述下料片盒升降电梯中设有带动下料平台升降的第二片盒升降机构。
标准片盒传递机构中的满载片盒位上的满载标准片盒通过第一片盒传递皮带及对应的第二片盒传递皮带传送到上料平台，标准片盒传递机构中的空载片盒位上的空载标准片盒通过第一片盒传递皮带及对应的第二片盒传递皮带传送到下料平台。
所述上料装卸片机构包括由第一气缸带动往复伸缩的上料滑块，所述上料滑块可伸到上料片盒升降电梯中满载标准片盒内，所述下料装卸片机构包括由第二气缸带动往复伸缩的下料滑块，所述下料滑块可伸到下料片盒升降电梯中的空载标准片盒内，所述上料滑块两侧装有与上料输送带水平对接且传送方向相同的上料传片皮带，所述下料滑块两侧装有与下料输送带水平对接且传送方向相同的下料传片皮带。
上料滑块深入到上料升降电梯中片盒的最底层，每次取完一块电池片后，上料滑块缩回，并通过上料传片皮带传送到上料输送皮带上，上料升降电梯向下降一层，上料滑块再取下数第二层的电池片，按照此方法，直到将满载标准片盒中的100片电池片全部取完；下料滑块的工作过程与上料滑块相反，下料传片皮带将下料输送带上的电池片输送到下料滑块，下料滑块滑向下料升降电梯中空载标准片盒的最顶层，放好电池片后，下料滑块再去取第二块电池片，下料升降电梯向上升一层，下料滑块将第二块电池片放到空载标准片盒的上数第二层，按照此方法，直到将空载标准片盒中的100片电池片全部放满。
靠近上料缓存片电梯的上料输送带的一端向上倾斜，靠近下料缓存片电梯的下料输送带的一端向上倾斜。
所述上料缓存片电梯和下料缓存片电梯分别包括由缓存片电梯升降机构驱动的可升降的两排竖直升降杆，两排升降杆中的每列升降杆一一对应，每排升降杆中相邻升降杆的距离与电池片的长度对应，且每列升降杆的距离与电池片的宽度对应，每排升降杆中相邻升降杆相对的一侧设有上下多个用于支撑电池片的承载端头，且每个升降杆上的承载端头的安装位置及相邻上下承载端头的间距一致。
相邻成矩形的四根升降杆可支撑一层或多层电池片，按照本发明的实施例，上料缓存片电梯和下料缓存片电梯分别设有8根升降杆，升降杆上的承载端头为4层，因此，上料缓存片电梯和下料缓存片电梯可分别承载12个电池片。
所述传片机械手包括载片台、带动载片台旋转的机械手旋转机构和带动载片台水平滑动的机械手滑动机构，所述载片台上设有多个载片位，且载片台的水平载片位的数量与上料缓存片电梯中升降杆每一层能承载电池片的数量一致。
按照本发明的实施例，机械手的载片台上共设有两排三列的载片位，传片机械手伸到存放好电池片的上料缓存片电梯正下方，上料缓存片电梯下放3片到传片机械手的载片台第一排，机械手再前伸一个位置，上料缓存片电梯再下降并放3片到机械手的载片台第二排；从真空片库中取出工艺完成的电池片放到下料缓存电梯上是上料的相反过程。
所述离子注入机包括两个真空片库，每个真空片库对应设有一组传片装置。
本发明为一种太阳能电池片离子注入机，通过设置传片装置，能独立完成电池片在标准片盒与真空片库间的自动传递，提高生产效率。
附图说明
图1为本发明所述离子注入机的结构俯视图；
图2为图1中片盒传递机构的结构示意图；
图3为上料片盒升降电梯和下料片盒升降电梯的结构俯视图；
图4为上料装卸片机构的结构示意图；
图5为上料缓存片电梯和下料缓存片电梯的结构示意图；
图6为传片机械手的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，一种太阳能电池片离子注入机，包括两个真空片库9，还包括将电池片在标准片盒与真空片库9之间循环输送的传片装置，每个真空片库9对应设有一组传片装置，该传片装置包括用于放置满载标准片盒和空载标准片盒的标准片盒传递机构1、用于放置多片电池片的上料缓存片电梯10和下料缓存片电梯7、用于将标准片盒传递机构1中满载标准片盒内的电池片输送至上料缓存片电梯10内的上料输送带4和将下料缓存片电梯7内的电池片输送至标准片盒传递机构1中空载标准片盒内的下料输送带5，并在标准片盒传递机构1中的满载标准片盒与上料输送带4之间、标准片盒传递机构1中的空载标准片盒与下料输送带5之间分别设有上料电池片传递装置和下料电池片传递装置，该离子注入机还包括传片机械手6，该传片机械手6在上料缓存片电梯10与真空片库9之间，以及下料缓存片电梯7与真空片库9之间传递电池片。
如图2所示，标准片盒传递机构包括平行设置的用于放置满载标准片盒的满载片盒位11和用于放置空载标准片盒的空载片盒位12，并在满载片盒位11和空载片盒位12底部分别设有沿前后方向传动的第一片盒传递皮带13。
上料电池片传递装置包括上料片盒升降电梯2和上料装卸片机构14，所述下料电池片传递装置包括下料片盒升降电梯8和下料装卸片机构3。
如图3所示，上料片盒升降电梯2置于满载片盒位11的后方而下料片盒升降电梯8置于空载片盒位12的后方，所述上料片盒升降电梯2上设有用于放置满载标准片盒的上料平台，下料片盒升降电梯8上设有用于放置空载标准片盒的下料平台，所述上料平台和下料平台的的底部分别设有与第一片盒传递皮带13水平对接且传动方向相同的第二片盒传递皮带15；所述上料片盒升降电梯2中设有带动上料平台升降的第一片盒升降机构，所述下料片盒升降电梯8中设有带动下料平台升降的第二片盒升降机构。第一片盒升降机构和第二片盒升降机构均可采用由直线电缸驱动的升降器。
如图4所示，上料装卸片机构包括由第一气缸17带动往复伸缩的上料滑块16，上料滑块16可伸到上料片盒升降电梯2中满载标准片盒内，下料装卸片机构包括由第二气缸带动往复伸缩的下料滑块，所述下料滑块可伸到下料片盒升降电梯中的空载标准片盒内，所述上料滑块16两侧装有与上料输送带4水平对接且传送方向相同的上料传片皮带18，所述下料滑块两侧装有与下料输送带水平对接且传送方向相同的下料传片皮带。图4为上料装卸片机构的结构示意图，下料装卸片机构的结构与上料装卸片机构的结构一致。
如图5所示，靠近上料缓存片电梯10的上料输送带的一端向上倾斜，靠近下料缓存片电梯7的下料输送带5的一端向上倾斜。
上料缓存片电梯10和下料缓存片电梯7分别包括由缓存片电梯升降机构驱动的可升降的两排、共8根竖直升降杆19，两排升降杆19中的每列升降杆19一一对应，每排升降杆19中相邻升降杆19的距离与电池片的长度对应，且每列升降杆19的距离与电池片的宽度对应，每排升降杆19中相邻升降杆19相对的一侧设有上下4个用于支撑电池片的承载端头20，且每个升降杆上的承载端头20的安装位置及相邻上下承载端头20的间距一致。电梯升降机构可采用由直线电缸驱动的升降器。
如图6所示，传片机械手包括载片台21、带动载片台21旋转的机械手旋转机构和带动载片台水平滑动的机械手滑动机构，所述载片台上设有6个载片位，且载片台21的水平载片位的数量与上料缓存片电梯中升降杆每一层能承载电池片的数量一致。
Claims (9)
1. 一种太阳能电池片离子注入机，包括真空片库（9），其特征是，还包括将电池片在标准片盒与真空片库（9）之间循环输送的传片装置，该传片装置包括用于放置满载标准片盒和空载标准片盒的标准片盒传递机构（1）、用于放置多片电池片的上料缓存片电梯（10）和下料缓存片电梯（7）、用于将标准片盒传递机构（1）中满载标准片盒内的电池片输送至上料缓存片电梯（10）内的上料输送带（4）和将下料缓存片电梯（7）内的电池片输送至标准片盒传递机构（1）中空载标准片盒内的下料输送带（5），并在标准片盒传递机构（1）中的满载标准片盒与上料输送带（4）之间、标准片盒传递机构（1）中的空载标准片盒与下料输送带（5）之间分别设有上料电池片传递装置和下料电池片传递装置，该离子注入机还包括传片机械手（6）,该传片机械手（6）在上料缓存片电梯（10）与真空片库（9）之间，以及下料缓存片电梯（7）与真空片库（9）之间传递电池片。
2.根据权利要求1所述太阳能电池片离子注入机，其特征是，所述标准片盒传递机构包括平行设置的用于放置满载标准片盒的满载片盒位（11）和用于放置空载标准片盒的空载片盒位（12），并在满载片盒位（11）和空载片盒位（12）底部分别设有沿前后方向传动的第一片盒传递皮带（13）。
3.根据权利要求2所述太阳能电池片离子注入机，其特征是，所述上料电池片传递装置包括上料片盒升降电梯（2）和上料装卸片机构（14），所述下料电池片传递装置包括下料片盒升降电梯（8）和下料装卸片机构（3）。
4.根据权利要求3所述太阳能电池片离子注入机，其特征是，所述上料片盒升降电梯（2）置于满载片盒位（11）的后方而下料片盒升降电梯（8）置于空载片盒位（12）的后方，所述上料片盒升降电梯（2）上设有用于放置满载标准片盒的上料平台，下料片盒升降电梯（8）上设有用于放置空载标准片盒的下料平台，所述上料平台和下料平台的的底部分别设有与第一片盒传递皮带（13）水平对接且传动方向相同的第二片盒传递皮带（15）；所述上料片盒升降电梯（2）中设有带动上料平台升降的第一片盒升降机构，所述下料片盒升降电梯（8）中设有带动下料平台升降的第二片盒升降机构。
5.根据权利要求4所述太阳能电池片离子注入机，其特征是，所述上料装卸片机构包括由第一气缸（17）带动往复伸缩的上料滑块（16），所述上料滑块（16）可伸到上料片盒升降电梯（2）中满载标准片盒内，所述下料装卸片机构包括由第二气缸带动往复伸缩的下料滑块，所述下料滑块可伸到下料片盒升降电梯中的空载标准片盒内，所述上料滑块（16）两侧装有与上料输送带（4）水平对接且传送方向相同的上料传片皮带（18），所述下料滑块两侧装有与下料输送带水平对接且传送方向相同的下料传片皮带。
6.根据权利要求1所述太阳能电池片离子注入机，其特征是，靠近上料缓存片电梯（10）的上料输送带的一端向上倾斜，靠近下料缓存片电梯（7）的下料输送带（5）的一端向上倾斜。
7.根据权利要求1所述太阳能电池片离子注入机，其特征是，所述上料缓存片电梯（10）和下料缓存片电梯（7）分别包括由缓存片电梯升降机构驱动的可升降的两排竖直升降杆（19），两排升降杆（19）中的每列升降杆（19）一一对应，每排升降杆（19）中相邻升降杆（19）的距离与电池片的长度对应，且每列升降杆（19）的距离与电池片的宽度对应，每排升降杆（19）中相邻升降杆（19）相对的一侧设有上下多个用于支撑电池片的承载端头（20），且每个升降杆上的承载端头（20）的安装位置及相邻上下承载端头（20）的间距一致。
8.根据权利要求7所述太阳能电池片离子注入机，其特征是，所述传片机械手包括载片台（21）、带动载片台（21）旋转的机械手旋转机构和带动载片台水平滑动的机械手滑动机构，所述载片台上设有多个载片位，且载片台（21）的水平载片位的数量与上料缓存片电梯中升降杆每一层能承载电池片的数量一致。
9.根据权利要求1所述太阳能电池片离子注入机，其特征是，所述离子注入机包括两个真空片库（9），每个真空片库（9）对应设有一组传片装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310159613.5A CN103268850B (zh) | 2013-05-03 | 2013-05-03 | 一种太阳能电池片离子注入机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310159613.5A CN103268850B (zh) | 2013-05-03 | 2013-05-03 | 一种太阳能电池片离子注入机 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103268850A CN103268850A (zh) | 2013-08-28 |
| CN103268850B true CN103268850B (zh) | 2015-09-02 |
Family
ID=49012473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310159613.5A Active CN103268850B (zh) | 2013-05-03 | 2013-05-03 | 一种太阳能电池片离子注入机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103268850B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108545457B (zh) * | 2017-03-10 | 2024-02-27 | 嘉善铂汉塑胶五金有限公司 | 一种用于自动移动产品位置的装置及方法 |
| WO2018205192A1 (zh) * | 2017-05-11 | 2018-11-15 | 无锡智谷锐拓技术服务有限公司 | 一种太阳能电池板的收料装置 |
| CN108372962B (zh) * | 2018-04-16 | 2023-11-24 | 苏州迈为科技股份有限公司 | 一种电池片全自动包装线及包装方法 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5816454A (ja) * | 1982-05-26 | 1983-01-31 | Ulvac Corp | イオン注入装置に於けるウエハ処理装置 |
| EP0228901A2 (en) * | 1985-12-24 | 1987-07-15 | Vg Instruments Group Limited | Wafer transfer apparatus |
| JPH03232969A (ja) * | 1990-02-07 | 1991-10-16 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPH0927536A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-01-28 | Nissin Electric Co Ltd | ロ−ドロック室内に基板位置合わせ機構を有するイオン注入装置 |
| JPH11265680A (ja) * | 1998-03-17 | 1999-09-28 | Ebara Corp | イオン注入装置 |
| US6414328B1 (en) * | 1999-11-05 | 2002-07-02 | Kair Nussupov | Method and apparatus for the conveying and positioning of ion implantation targets |
| CN101964319A (zh) * | 2010-08-04 | 2011-02-02 | 清华大学 | 离子注入机晶圆传送系统及晶圆传送方法 |
| CN102683147A (zh) * | 2011-03-18 | 2012-09-19 | 日新离子机器株式会社 | 离子注入装置 |
-
2013
- 2013-05-03 CN CN201310159613.5A patent/CN103268850B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5816454A (ja) * | 1982-05-26 | 1983-01-31 | Ulvac Corp | イオン注入装置に於けるウエハ処理装置 |
| EP0228901A2 (en) * | 1985-12-24 | 1987-07-15 | Vg Instruments Group Limited | Wafer transfer apparatus |
| JPH03232969A (ja) * | 1990-02-07 | 1991-10-16 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPH0927536A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-01-28 | Nissin Electric Co Ltd | ロ−ドロック室内に基板位置合わせ機構を有するイオン注入装置 |
| JPH11265680A (ja) * | 1998-03-17 | 1999-09-28 | Ebara Corp | イオン注入装置 |
| US6414328B1 (en) * | 1999-11-05 | 2002-07-02 | Kair Nussupov | Method and apparatus for the conveying and positioning of ion implantation targets |
| CN101964319A (zh) * | 2010-08-04 | 2011-02-02 | 清华大学 | 离子注入机晶圆传送系统及晶圆传送方法 |
| CN102683147A (zh) * | 2011-03-18 | 2012-09-19 | 日新离子机器株式会社 | 离子注入装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103268850A (zh) | 2013-08-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104377154B (zh) | 管式pecvd石墨舟装卸片系统及其工艺 | |
| CN205328211U (zh) | 一种自动上下料装置 | |
| CN205050814U (zh) | 一种硅片上下料装置 | |
| CN205471311U (zh) | 一种用于多晶硅硅棒破碎加工的自动取料系统 | |
| CN204486623U (zh) | 片材自动供料装置 | |
| CN211109845U (zh) | 上下料周转装置 | |
| CN205916392U (zh) | 一种晶体硅太阳能电池制绒加工的硅片收集装置 | |
| CN102653859A (zh) | 一种石墨舟自动装卸片升降传递装置 | |
| CN104766821A (zh) | 一种裂片装置及裂片方法 | |
| CN103268850B (zh) | 一种太阳能电池片离子注入机 | |
| KR20130054592A (ko) | 솔라셀 피치체인저 시스템 | |
| CN112707174A (zh) | 一种物流搬运用的设备 | |
| CN207158333U (zh) | 侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统 | |
| CN108328273B (zh) | 电池模组翻转机构及其全自动模组组装码垛机 | |
| CN207467086U (zh) | 一种包装盒拆分传输装置 | |
| CN112599347B (zh) | 一种磁芯分层机 | |
| KR101106098B1 (ko) | 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치 | |
| CN210167341U (zh) | 一种硅片传输装置 | |
| CN209249429U (zh) | 硅片热处理装置 | |
| CN108455271B (zh) | 电池模组下料机构及其全自动模组组装码垛机 | |
| CN216516997U (zh) | 一种建筑用砌墙机 | |
| CN209804620U (zh) | 电池片储料装置及电池片输送机 | |
| CN103872173A (zh) | 一种堆叠-插片转换系统和方法 | |
| CN212892760U (zh) | 一种托盘上下料结构 | |
| CN206142387U (zh) | 一种自动化摆放装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20210120 Address after: 101111 1st floor, building 1, 6 Xingguang 2nd Street, Tongzhou District, Beijing Patentee after: Beijing Scintillation Section Zhongkexin Electronic Equipment Co.,Ltd. Address before: 410111, No. 1025, paving road, Tianxin District, Hunan, Changsha Patentee before: FORTY-EIGHTH RESEARCH INSTITUTE OF CHINA ELECTRONICS TECHNOLOGY Group Corp. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |