CN207158333U - 侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统 - Google Patents
侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207158333U CN207158333U CN201721142268.4U CN201721142268U CN207158333U CN 207158333 U CN207158333 U CN 207158333U CN 201721142268 U CN201721142268 U CN 201721142268U CN 207158333 U CN207158333 U CN 207158333U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sucking disc
- axis
- sucker
- arm
- silicon wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统，搬运臂X轴平移模组设置于安装侧架一侧，包括滑动台、水平齿轮齿条组、水平驱动伺服电机和导轨，伺服电机分别单独驱动一个齿轮并带动所述搬运臂安装底座在所述滑动台上沿X轴平移；每个吸盘X轴平移/Y轴升降模组包括丝杠及其垂直驱动伺服电机、吸盘臂升降架以及两排沿Z轴方向同高度设置的吸盘集成，垂直驱动伺服电机驱动丝杠并带动吸盘臂升降架沿Y轴升降；吸盘臂升降架上设有水平驱动气缸，其驱动吸盘集成一在吸盘臂升降架上沿X轴滑动平移，吸盘集成二固设于所述吸盘臂升降架上。本实用新型可实现上片和下片四工位的同时同步进行，大大提高了工作效率，结构紧凑，可实现硅片的精准吸放。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械搬运装置，具体涉及一种侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统。
背景技术
为了提高晶体硅太阳电池的效率，通常需要减少太阳电池表面的反射，还需要对硅片表面进行钝化处理，以降低表面缺陷对于少数载流子的复合作用。板式PECVD系统即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上(碳框载板)，放入板式PECVD主工艺机内将SiNx分子沉积到硅片表面，SiNx膜被制备在硅表面上起到钝化作用，以减少表面对可见光的反射。
未经PECVD工艺处理的硅片需通过吸盘自传送带准确转移并放入碳框载板，而经PECVD工艺处理后硅片的需从碳框载板上转移放入成品输送带，而现有工艺多为单工位操作，即上片和下片在不同工位单独进行，搬运装置结构复杂，占用空间较大，工艺流程复杂。
实用新型内容
针对上述现有硅片上下片工艺存在上述缺陷，申请人进行研究及改进，提供一种侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统，该系统可实现上片和下片四工位的同时同步进行，可大大提高工作效率，结构紧凑，可实现硅片的精准吸放。
为实现上述目的，本实用新型采用如下方案：
侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统，包括：安装侧架，搬运臂X轴平移模组、一对吸盘X轴平移/Y轴升降模组；
所述搬运臂X轴平移模组设置于所述安装侧架一侧，包括滑动台、水平齿轮齿条组、一对水平驱动伺服电机和一组导轨，所述水平齿轮齿条组包括一对齿轮和一个齿条，所述齿条和所述导轨沿X轴方向设置在所述滑动台上，所述导轨上滑动设置有一对搬运臂安装底座，两个所述伺服电机分别单独驱动一个齿轮并带动所述搬运臂安装底座在所述滑动台上沿X轴平移；
每个所述吸盘X轴平移/Y轴升降模组包括丝杠及其垂直驱动伺服电机、吸盘臂升降架以及两排沿Z轴方向同高度设置的吸盘集成，所述丝杠和垂直驱动伺服电机设置于所述搬运臂安装底座上，所述垂直驱动伺服电机驱动所述丝杠并带动所述吸盘臂升降架在所述搬运臂安装底座上沿Y轴升降；所述吸盘臂升降架上设有水平驱动气缸，其驱动吸盘集成一在所述吸盘臂升降架上沿X轴滑动平移，吸盘集成二固设于所述吸盘臂升降架上；每排所述吸盘集成上呈直线均匀间隔分布有若干吸盘。
进一步地，所述安装侧架顶部设有两排布设有柔性线缆的拖链，用于所述系统的电力传输。
进一步地，所述吸盘集成一通过导轨滑动设置于所述吸盘臂升降架上。
具体地，每排所述吸盘集成上设有5个吸盘。
优选地，所述吸盘上设有传感器，用于感应硅片有无。
优选地，所述系统由PLC控制器控制所述水平驱动伺服电机、所述垂直驱动伺服电机和所述水平驱动气缸的工作参数。
本实用新型的技术效果在于：
本实用新型所采用搬运臂X轴平移模组中的两个伺服电机(双驱)分别独立驱动一个齿轮齿条，分别带动两组吸盘X轴平移/Y轴升降模组沿X轴平移，并在垂直驱动伺服电机和丝杠配合下进行Y轴升降动作，实现了上片和下片四工位(四排吸盘集成)的同时同步进行，互不影响，大大提高了产能和工作效率。采用双驱动模组，两组吸盘X轴平移/Y轴升降模组共用一个滑动台、一个齿条和一组导轨，并采用有别于传统龙门式的侧挂安装方式，占用空间少，大大简化了内部结构，结构紧凑，控制精度高，成本低；每侧吸盘X轴平移/Y轴升降模组的两排吸盘集成之间可在水平驱动气缸驱动下做变距动作，以适应输送带之间间距以及碳框载板规格，从而实现硅片的精准吸放。
附图说明
图1为本实施例侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统的立体结构示意图。
图2为本实施例侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统的正视结构示意图。
图3为本实施侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统的侧视结构示意图。
图4为本实施例侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统的俯视结构示意图。
图中：1、安装侧架；2、滑动台；3、伺服电机；4、伺服电机；5、导轨；6、齿轮；7、拖链；8、齿条；9、搬运臂底座；10、搬运臂底座；11、垂直驱动伺服电机；12、吸盘臂升降架；13、水平驱动气缸；14、吸盘集成一；15、导轨；16、吸盘集成二；17、吸盘；18、传感器。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。
如图1、图2、图3和图4所示，本实施例侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统包括：安装侧架1，搬运臂X轴平移模组、一对吸盘X轴平移/Y轴升降模组。
搬运臂X轴平移模组设置于安装侧架1一侧，包括滑动台2、水平齿轮齿条组、一对水平驱动伺服电机(伺服电机3和伺服电机4)和一组导轨5，水平齿轮齿条组包括一对齿轮6和一个共用齿条8，齿条8和导轨5沿X轴方向设置在滑动台2上，导轨5上滑动设置有一对搬运臂安装底座(搬运臂底座9和搬运臂底座10)，两个伺服电机分别单独驱动一个齿轮并带动搬运臂安装底座在滑动台2上沿X轴平移。
每侧吸盘X轴平移/Y轴升降模组包括丝杠及其垂直驱动伺服电机11、吸盘臂升降架12以及两排沿Z轴方向同高度设置的吸盘集成，丝杠和垂直驱动伺服电机11设置于搬运臂安装底座上，垂直驱动伺服电机11驱动丝杠并带动吸盘臂升降架12在搬运臂安装底座上沿Y轴升降；吸盘臂升降架12上设有水平驱动气缸13，其驱动吸盘集成一14在吸盘臂升降架12上沿X轴方向的导轨15滑动平移，吸盘集成二16固设于吸盘臂升降架12上；每排吸盘集成上呈直线均匀间隔分布有5个吸盘17；每个吸盘上设有传感器18，用于感应硅片有无。
安装侧架1顶部设有两排布设有柔性线缆的拖链7，用于整个系统的电力传输。
本实施例系统由PLC控制器控制伺服电机3、伺服电机4、垂直驱动伺服电机11、水平驱动气缸13的工作参数，以实现自动控制。
工作时，当满载经PECVD工艺处理硅片的碳框载板传送到设定位置停下，本实施例搬运臂X轴平移模组中的两个伺服电机(双驱动)分别独立驱动一个齿轮齿条并带动两侧吸盘X轴平移/Y轴升降模组沿X轴平移，其中，一侧模组中的吸盘集成一14和吸盘集成二16平移至碳框载板待吸硅片上方，对准后，在垂直驱动伺服电机11驱动和丝杠带动下沿Y轴下降并吸起两排硅片，上升后再平移，将硅片放至成品输送带上运输，同时，另一侧模组中的吸盘集成一14和吸盘集成二16吸取未经工艺处理的两排硅片，平移至已取走硅片的碳框载板区域上方，对准后，在垂直驱动伺服电机11驱动和丝杠带动下沿Y轴下降并将硅片放入空载碳框载板上，从而实现了上片和下片四工位(四排吸盘集成)的同时同步进行，互不影响，大大提高了产能和工作效率。采用双驱动模组，两侧吸盘X轴平移/Y轴升降模组共用一个滑动台2、一个齿条8和一组导轨5，采用有别于传统龙门式的侧挂安装方式，占用空间少，大大简化了内部结构，结构紧凑，控制精度高，成本低；每侧吸盘X轴平移/Y轴升降模组的两排吸盘集成之间可在水平驱动气缸13驱动下做变距动作，以适应输送带之间间距以及碳框载板规格，从而实现硅片的精准吸放。
以上所举实施例为本实用新型的较佳实施方式，仅用来方便说明本实用新型，并非对本实用新型作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本实用新型所提技术特征的范围内，利用本实用新型所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例，并且未脱离本实用新型的技术特征内容，均仍属于本实用新型技术特征的范围内。
Claims (6)
1.侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统，其特征在于包括：安装侧架，搬运臂X轴平移模组、一对吸盘X轴平移/Y轴升降模组；
所述搬运臂X轴平移模组设置于所述安装侧架一侧，包括滑动台、水平齿轮齿条组、一对水平驱动伺服电机和一组导轨，所述水平齿轮齿条组包括一对齿轮和一个齿条，所述齿条和所述导轨沿X轴方向设置在所述滑动台上，所述导轨上滑动设置有一对搬运臂安装底座，两个所述伺服电机分别单独驱动一个齿轮并带动所述搬运臂安装底座在所述滑动台上沿X轴平移；
每个所述吸盘X轴平移/Y轴升降模组包括丝杠及其垂直驱动伺服电机、吸盘臂升降架以及两排沿Z轴方向同高度设置的吸盘集成，所述丝杠和垂直驱动伺服电机设置于所述搬运臂安装底座上，所述垂直驱动伺服电机驱动所述丝杠并带动所述吸盘臂升降架在所述搬运臂安装底座上沿Y轴升降；所述吸盘臂升降架上设有水平驱动气缸，其驱动吸盘集成一在所述吸盘臂升降架上沿X轴滑动平移，吸盘集成二固设于所述吸盘臂升降架上；每排所述吸盘集成上呈直线均匀间隔分布有若干吸盘。
2.如权利要求1所述的侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统，其特征在于：所述安装侧架顶部设有两排布设有柔性线缆的拖链，用于所述系统的电力传输。
3.如权利要求1所述的侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统，其特征在于：所述吸盘集成一通过导轨滑动设置于所述吸盘臂升降架上。
4.如权利要求1所述的侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统，其特征在于：每排所述吸盘集成上设有5个吸盘。
5.如权利要求1所述的侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统，其特征在于：所述吸盘上设有传感器，用于感应硅片有无。
6.如权利要求1所述的侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统，其特征在于：所述系统由PLC控制器控制所述水平驱动伺服电机、所述垂直驱动伺服电机和所述水平驱动气缸的工作参数。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721142268.4U CN207158333U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721142268.4U CN207158333U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207158333U true CN207158333U (zh) | 2018-03-30 |
Family
ID=61720800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721142268.4U Active CN207158333U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207158333U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109397074A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-03-01 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种陶瓷盘转运设备 |
| CN115158760A (zh) * | 2022-06-13 | 2022-10-11 | 杭州中亚机械股份有限公司 | 一种搬运装置 |
-
2017
- 2017-09-06 CN CN201721142268.4U patent/CN207158333U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109397074A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-03-01 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种陶瓷盘转运设备 |
| CN115158760A (zh) * | 2022-06-13 | 2022-10-11 | 杭州中亚机械股份有限公司 | 一种搬运装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101901773B (zh) | 一种适用于自动设备中叠堆硅片自动上料的系统 | |
| CN201362377Y (zh) | 平移式装箱机 | |
| CN207973193U (zh) | 硅片花篮导片装置 | |
| CN207158333U (zh) | 侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂系统 | |
| CN107622967B (zh) | 一种光伏硅晶电池片花篮输出姿态变换机构 | |
| CN105336648A (zh) | 一种堆叠基板的抓取分离装置及抓取分离方法 | |
| CN103964190A (zh) | 一种自动升降的可堆叠料盘机构 | |
| CN103224141A (zh) | 用于蘑菇栽培瓶筐的码垛装置 | |
| CN207158294U (zh) | 吊装式四工位硅片吸盘搬运臂系统 | |
| CN202016749U (zh) | 一种硅片太阳能电池板堆栈装置 | |
| CN108198912B (zh) | 太阳能电池自动分片设备 | |
| CN116884899A (zh) | 一种硅片变距传输工作台及其工作方法 | |
| CN105752698B (zh) | 双轨四工位旋转切换式上料机 | |
| CN209561360U (zh) | 太阳能电池硅片高效流转系统 | |
| CN112514739A (zh) | 适用于食用菌菌包的调距抓取机构及上下架机与方法 | |
| CN206985158U (zh) | 一种带有插篮的多工位机械手输料装置 | |
| CN205248240U (zh) | 一种堆叠基板的抓取分离装置 | |
| CN105173197B (zh) | 电能表装箱前自动排表装置 | |
| CN215046550U (zh) | 一种旋转分穴装置 | |
| CN106429319A (zh) | 自动分层式理瓶输送装置 | |
| CN207712960U (zh) | 一种花篮上料机用上料机构 | |
| CN213445115U (zh) | 硅片上料抓取装置 | |
| CN221070072U (zh) | 一种载具自动回流循环使用的硅片上料装置 | |
| CN213264577U (zh) | 硅片取放料装置 | |
| CN114334765B (zh) | 一种小车输送上料装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No.208 Changjiang East Road, Shuofang, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000 Patentee after: Wuxi Jiangsong Technology Co.,Ltd. Address before: 214028 plot c20-2, phase V, Shuofang industrial concentration zone, Wuxi New Area, Jiangsu Province, Wuxi City, Jiangsu Province Patentee before: WUXI JIANGSONG SCIENCE AND TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| CP03 | Change of name, title or address |