CN116884899A - 一种硅片变距传输工作台及其工作方法 - Google Patents

一种硅片变距传输工作台及其工作方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种硅片变距传输工作台及其工作方法，包括：工作台框架、上料花篮提升机、硅片上料伸出机构、上料整片置中机构和上料变截距机构构成了半成品硅片的上料部分，此部分用于半成品硅片的上料；下料变截距机构、硅片下料伸出机构、下料整片置中机构和下料花篮提升机构成了成品硅片的下料部分，此部分用于成品硅片的下料。本发明所述的硅片变距传输工作台及其工作方法，此机构适用与光伏行业管P、制绒上下料、刻蚀等，此工作台能够自动实现半成品硅片的上料以及工艺后成品硅片的自动下料，分为两路独立的工作单元，此工作太实现半成品硅片以及成品硅片的全自动上下料操作，大大提高了生产效率。

Description

一种硅片变距传输工作台及其工作方法
技术领域
本发明涉及太阳能电池及半导体制造技术领域，尤其是指一种硅片变距传输工作台及其工作方法。
背景技术
在现有技术中，硅片上下料过程采用的是机械手拿取和皮带传送相结合的方式，具体为：将待处理硅片预先保存在花篮里，通过机械手放置在皮带上，当皮带上存放一定数量硅片后，再由吸盘机械手将这些硅片一次性取放到用来覆膜的托盘上。覆膜完成后再经过吸盘机械手放回到皮带上，最后转移至花篮内。托盘即硅片载具，用于真空设备中硅片的承载和传输，现有技术中的托盘上设置有用于承载硅片的凹槽，可容纳硅片的数量由凹槽数量决定，且凹槽在托盘上等距布置，以使各个硅片之间等距分布，例如常见的一个托盘上可放置156mm*156mm的硅片56片或者64片。
然而，当制造的硅片规格较大或者承载硅片数量较多时，对硅片载具的强度要求也随之增高。现在市面上为了增大硅片载具装载硅片的能力以提高工作效率，通常选用高强度的不锈钢材料作为制备硅片载具的原料，且为了进一步并保证承载强度，硅片载具上用于放置硅片的凹槽可能并不完全等距，若直接对硅片进行上料或下料，难以保证硅片落入硅片载具上的凹槽内。
综上所述，在运输规格较大或者数量较多的硅片时，如何使硅片运输系统的中的上料、下料机构之间互相配合，以保证硅片输送过程的精准性并提高运输效率，是现有技术中亟需解决的技术问题。
发明内容
为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中对于大批量的硅片，如何实现上下料之间硅片稳定运输的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种硅片变距传输工作台及其工作方法，包括：工作台框架，其作为整体支撑结构；上料花篮提升机，其设置在工作台框架上，并且所述上料花篮提升机内设有硅片存储花篮；硅片上料伸出机构，其设置在工作台框架上，并且所述硅片上料伸出机构用于取出硅片存储花篮底部的半成品硅片；上料整片置中机构，其设置在硅片上料伸出机构上，并且所述上料整片置中机构用于调整硅片上料伸出机构上半成品硅片的位置；上料变截距机构，其设置在工作台框架上，所述上料变截距机构、上料花篮提升机和硅片上料伸出机构处于同一直线上，并且所述上料变截距机构和上料花篮提升机分别位于硅片上料伸出机构输送方向的两端，所述硅片上料伸出机构上的半成品硅片输送至上料变截距机构内，机械手抓取上料变截距机构内的半成品硅片至石墨舟内；下料变截距机构，其设置在工作台框架上，机械手抓取石墨舟内的成品硅片至所述下料变截距机构；硅片下料伸出机构，其设置在工作台框架上，并且所述硅片下料伸出机构用于取出下料变截距机构底部的成品硅片；下料整片置中机构，其设置在硅片下料伸出机构上，并且所述下料整片置中机构用于调整硅片下料伸出机构上成品硅片的位置；下料花篮提升机，其设置在工作台框架上，所述下料变截距机构、硅片下料伸出机构和下料花篮提升机处于用以直线上，并且所述下料变截距机构和下料花篮提升机分别位于硅片下料伸出机构输送方向的两端，所述硅片下料伸出机构上的成品硅片输送至下料花篮提升机的花篮内。
在本发明的一个实施例中，所述上料花篮提升机和下料花篮提升机的结构相同，所述上料花篮提升机和下料花篮提升机均包括直线模组一、竖直连接板、下底板、上支撑板、下花篮压紧组件和上花篮定位组件，所述直线模组一固定设置在工作台框架上，并且所述直线模组一的移动方向沿竖直方向，所述竖直连接板和直线模组一的滑块连接，所述上支撑板和下底板分别与竖直连接板的上下两端连接，并且所述上支撑板、下底板和竖直连接板呈“U”型设置，所述下花篮压紧组件设置在下底板上，所述上花篮定位组件设置在上支撑板上，所述上支撑板、下底板和竖直连接板内设有硅片存储花篮，所述下花篮压紧组件和上花篮定位组件分别对硅片存储花篮进行定位。
在本发明的一个实施例中，所述下花篮压紧组件包括压紧驱动气缸、转轴支撑座、转轴、压紧夹爪、推杆和推板，所述压紧驱动气缸和转轴支撑座均固定设置在下底板上，所述转轴支撑座为对称设置的两块，所述转轴的两端设置在转轴支撑座上，所述压紧夹爪套设在转轴上，所述压紧夹爪为对称的两个，并且两个压紧夹爪之间设置有推杆，所述推板的一端和压紧驱动气缸的活塞杆连接，并且推板的另一端和推杆转动连接，所述压紧夹爪压紧在硅片存储花篮的下端部上。
在本发明的一个实施例中，所述上花篮定位组件包括上定位驱动气缸和上定位头，所述上定位驱动气缸固定设置在上支撑板上，所述上定位头和上定位驱动气缸连接，所述上定位头的下端部设置为锥形，所述硅片存储花篮的顶部设有定位孔，所述上定位驱动气缸驱动上定位头伸入定位孔内。
在本发明的一个实施例中，所述硅片上料伸出机构和硅片下料伸出机构的结构相同，所述硅片上料伸出机构和硅片下料伸出机构包括：安装座，其作为传输机构的支撑结构，并且所述安装座与工作台框架连接；输送驱动装置，其设置在安装座上；推移滑动座，其与安装座滑动连接，并且所述输送驱动装置与推移滑动座连接；推入输送驱动装置，其设置在安装座上，并且所述推入输送驱动装置和推移滑动座连接，所述推入输送驱动装置驱动推移滑动座靠近或者远离花篮。
在本发明的一个实施例中，所述上料整片置中机构和下料整片置中机构的结构相同，所述上料整片置中机构和下料整片置中机构均包括整片支撑架、整片直线模组、整片手指气缸和两个对称设置的整片手指，所述整片支撑架固定设置在安装座上，所述整片直线模组设置在整片支撑架的顶板上，并且所述整片直线模组悬设于输送驱动装置上方，所述整片手指气缸和整片直线模组的滑块连接，所述两个对称设置的整片手指和整片手指气缸连接，整片手指上连接有整片导杆，所述整片导杆为圆柱杆状，并且整片导杆的下端部设有硅胶套，所述整片导杆与硅片上料伸出机构和硅片下料伸出机构上成品或者半成品硅片的边缘相接触。
在本发明的一个实施例中，所述上料变截距机构和下料变截距机构的结构相同，所述上料变截距机构和下料变截距机构均包括变距直线模组、变距龙门架、硅片变距放置组件和硅片变距定位组件，所述变距直线模组固定设置在工作台框架上，并且所述变距直线模组沿竖直方向设置，所述变距龙门架和变距直线模组连接，所述硅片变距放置组件和硅片变距定位组件设置在变距龙门架上，所述硅片变距放置组件上设有硅片，所述硅片变距定位组件用于进行硅片变距放置组件上硅片的定位。
在本发明的一个实施例中，所述硅片变距放置组件包括四根矩形安装板，所述四根矩形安装板分别位于矩形截面的四个角部位置处，所述矩形安装板上沿竖直方向依次设有若干硅片支撑圆柱杆，所述若干硅片支撑圆柱杆间隔均匀的设置，硅片设置在位于同一水平面的硅片支撑圆柱杆上。
在本发明的一个实施例中，所述硅片变距定位组件包括变距定位驱动气缸一、变距滑板一、两块变距定位推板一、变距定位驱动气缸二、变距滑板二和两块变距定位推板二，所述变距定位驱动气缸一和变距定位驱动气缸二均固定设置在变距龙门架上，所述变距滑板一和变距定位驱动气缸一的活塞杆连接，所述变距滑板二和变距定位驱动气缸二的活塞杆连接，所述两块变距定位推板一的上端部均与变距滑板一连接，所述两块变距定位推板二的上端部与变距滑板二连接，所述两块变距定位推板一和两块变距定位推板二一一对应设置，并且变距定位推板一和对应的变距定位推板二构成一组可相对靠近或者远离用于进行硅片支撑圆柱杆上硅片的定位。
在本发明的一个实施例中，一种硅片变距传输工作台的其工作方法，包括如下步骤：
半成品硅片上料过程为：半成品硅片上料过程的工作单元为：上料花篮提升机、硅片上料伸出机构、上料整片置中机构和上料变截距机构，
S1-1、将放有半成品硅片的花篮放置在竖直连接板、下底板和上支撑板构成的框架内，半成品硅片的花篮内设有一摞半成品硅片，半成品硅片的花篮内的半成品硅片间隔均匀的被分隔开；
S1-2、硅片上料伸出机构工作，推入输送驱动装置驱动推移滑动座伸入半成品硅片的花篮的底部，使得输送驱动装置的输送带的起始端端位于半成品硅片的花篮内最下方的半成品硅片下方；
S1-3、上料花篮提升机工作，上料花篮提升机驱动半成品硅片的花篮下降，使得半成品硅片的花篮最下方的半成品硅片与输送驱动装置的输送带接触；
S1-4、输送驱动装置启动，输送驱动装置的输送带带动半成品硅片的花篮最下方的半成品硅片移出半成品硅片的花篮；
S1-5、半成品硅片随着输送驱动装置的输送带水平移动，移动到上料整片置中机构位置处；
S1-6、上料整片置中机构工作，初始时，通过整片直线模组调整两个对称设置的整片手指位置，使得半成品硅片位于两个对称设置的整片手指之间，当半成品硅片移动到整片导杆之间时，整片手指气缸驱动两个对称设置的整片手指相对靠近，从而使得整片手指连接的整片导杆分别从半成品硅片的两侧与半成品硅片接触，调整半成品硅片在输送驱动装置的输送带上的位置；
S1-7、输送驱动装置的输送带输送半成品硅片至上料变截距机构一侧，输送驱动装置的输送带的末端位于上料变截距机构的正下方；
S1-8、上料变截距机构工作，初始时，变距直线模组驱动变距龙门架处于最低点位置，此时输送驱动装置的输送带的末端位于矩形安装板上最上端的硅片支撑圆柱杆上方；
S1-9、半成品硅片输送至输送驱动装置的输送带末端，变距直线模组驱动变距龙门架上升，使得硅片支撑圆柱杆接触输送驱动装置的输送带末端上的半成品硅片，由于半成品硅片两侧的硅片支撑圆柱杆之间的距离小于半成品硅片的宽度，因此硅片支撑圆柱杆上移过程中将输送驱动装置的输送带末端的半成品硅片抬起，从而是的半成品硅片置于硅片支撑圆柱杆上，变距直线模组驱动变距龙门架上升；
S1-10、不断重复上述步骤S1-3～S1-9，使得若干硅片支撑圆柱杆上均放置有半成品硅片，此时半成品硅片在上料变截距机构上成具有一定间距的一摞设置；
S1-11、上料变截距机构内放满半成品硅片后，上料变截距机构的硅片变距定位组件工作，变距定位驱动气缸一和变距定位驱动气缸二的活塞杆伸出，分别推动变距定位推板一和变距定位推板二移动，从而形成相对的变距定位推板一和变距定位推板二互相靠近，调整硅片支撑圆柱杆上的半成品硅片为整齐的一列；
S1-12、机械手将上料变截距机构内的一摞半成品硅片取走，从而完成半成品硅片的上料动作；
成品硅片下料过程为：成品硅片下料过程的工作单元为：下料变截距机构、硅片下料伸出机构、下料整片置中机构和下料花篮提升机，
S2-1、机械手将成品硅片放入下料变截距机构内，下料变截距机构的硅片变距定位组件工作，变距定位驱动气缸一和变距定位驱动气缸二的活塞杆伸出，分别推动变距定位推板一和变距定位推板二移动，从而形成相对的变距定位推板一和变距定位推板二互相靠近，调整硅片支撑圆柱杆上的成品硅片为整齐的一列；
S2-2、初始时，变距直线模组驱动变距龙门架处于最高位置，此时若干硅片支撑圆柱杆最下方的成品硅片位于输送驱动装置的输送带的起始端上方；
S2-3、变距直线模组驱动变距龙门架下降，使得若干硅片支撑圆柱杆最下方的成品硅片与输送驱动装置的输送带相接触；
S2-4、输送驱动装置的输送带带动若干硅片支撑圆柱杆最下方的成品硅片移出变距龙门架；
S2-5、输送驱动装置的输送带带动成品硅片移动至下料整片置中机构位置处；
S2-6、下料整片置中机构工作，初始时，通过整片直线模组调整两个对称设置的整片手指位置，使得成品硅片位于两个对称设置的整片手指之间，当成品硅片移动到整片导杆之间时，整片手指气缸驱动两个对称设置的整片手指相对靠近，从而使得整片手指连接的整片导杆分别从成品硅片的两侧与成品硅片接触，调整成品硅片在输送驱动装置的输送带上的位置；
S2-7、输送驱动装置的输送带带动成品硅片移动至下料花篮提升机正下方，此时直线模组一驱动竖直连接板、下底板和上支撑板构成的框架处于低点位置，即此时成品花篮位于低点位置；
S2-8、下料花篮提升机工作，直线模组一带动成品花篮上移，成品花篮上移过程中带走输送驱动装置的输送带的末端的成品硅片，直线模组一带动成品花篮上移；
S2-9、不断重复上述步骤S2-2～S2-7，从而将下料变截距机构内的成品硅片一片片的转运至下料花篮提升机内。
本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
本发明所述的硅片变距传输工作台及其工作方法，此机构适用与光伏行业管P、制绒上下料、刻蚀等，此工作台能够自动实现半成品硅片的上料以及工艺后成品硅片的自动下料，分为两路独立的工作单元，此工作太实现半成品硅片以及成品硅片的全自动上下料操作，大大提高了生产效率，降低了工人劳动强度，避免了人工手动上下料而引起的硅片破碎率高的问题，降低了生产成本。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中
图1是本发明的硅片变距传输工作台的整体结构示意图；
图2是本发明的硅片变距传输工作台的结构示意图；
图3是本发明的硅片变距传输工作台的局部结构示意图；
图4是本发明的硅片变距传输工作台的俯视图；
图5是本发明的上料花篮提升机或下料花篮提升机的结构示意图；
图6是本发明的下花篮压紧组件的结构示意图；
图7是本发明的硅片上料伸出机构的整体结构示意图；
图8是本发明的硅片上料伸出机构的结构示意图；
图9是本发明的硅片上料伸出机构的局部结构示意图一；
图10是本发明的硅片上料伸出机构的局部结构示意图二；
图11是本发明的硅片上料伸出机构的局部结构示意图三；
图12是本发明的上料整片置中机构的结构示意图；
图13是本发明的半成品硅片理片组件的结构示意图；
图14是本发明的上料变截距机构的整体结构示意图；
图15是本发明的上料变截距机构的局部结构示意图一；
图16是本发明的上料变截距机构的局部结构示意图二；
图17是本发明的上料变截距机构的局部结构示意图三。
说明书附图标记说明：工作台框架1、上料花篮提升机2、直线模组一21、竖直连接板22、下底板23、上支撑板24、下花篮压紧组件25、压紧驱动气缸251、转轴支撑座252、转轴253、压紧夹爪254、推杆255、推板256、上花篮定位组件26、上定位驱动气缸261、上定位头262、硅片上料伸出机构3、安装座31、安装底板311、直线导轨3111、电机安装板3112、前部支撑板312、后部支撑板313、驱动装置32、驱动电机321、驱动转轴322、传动装置323、传动装置组件324、主动轮3241、若干传动轮一3242、固定从动轮3243、活动从动轮3244、传动皮带3245、电池片取料板33、推移滑动座34、连接板341、竖直滑板342、滑块3421、水平支撑板343、电容感应器3431、导向轮344、推入驱动装置35、上料整片置中机构4、整片支撑架41、整片直线模组42、整片手指气缸43、整片手指44、整片导杆45、上料变截距机构5、变距直线模组51、变距龙门架52、硅片变距放置组件53、矩形安装板531、硅片支撑圆柱杆532、硅片变距定位组件54、变距定位驱动气缸一541、变距滑板一542、变距定位推板一543、变距定位驱动气缸二544、变距滑板二545、变距定位推板二546、下料变截距机构6、硅片下料伸出机构7、下料整片置中机构8、下料花篮提升机9、花篮100、定位孔101、半成品硅片理片组件20、理片支撑架201、理片驱动气缸202、理片推板203、机械手300、硅片放置工装400。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
参照图1-4所示，本发明的硅片变距传输工作台及其工作方法，包括：工作台框架1、上料花篮提升机2、硅片上料伸出机构3、上料整片置中机构4、上料变截距机构5、下料变截距机构6、硅片下料伸出机构7、下料整片置中机构8和下料花篮提升机9；上料花篮提升机2、硅片上料伸出机构3、上料整片置中机构4和上料变截距机构5构成了半成品硅片的上料部分，此部分用于半成品硅片的上料；下料变截距机构6、硅片下料伸出机构7、下料整片置中机构8和下料花篮提升机9构成了成品硅片的下料部分，此部分用于成品硅片的下料，在上料单元和下料单元之间通过机械手实现半成品硅片下料至工艺区，从工艺区将完成工艺成品硅片搬运至下料单元，上料方向和下料方向为逆向的，从而能够在工作台框架1合理设置上料花篮提升机2、硅片上料伸出机构3、上料整片置中机构4、上料变截距机构5、下料变截距机构6、硅片下料伸出机构7、下料整片置中机构8和下料花篮提升机9，最大效率的利用空间，同时满足上料和下料的需求。
具体的，工作台框架1，其作为整体支撑结构；上料花篮提升机2，其设置在工作台框架1上，并且所述上料花篮提升机2内设有硅片存储花篮；硅片上料伸出机构3，其设置在工作台框架1上，并且所述硅片上料伸出机构3用于取出硅片存储花篮底部的半成品硅片；上料整片置中机构4，其设置在硅片上料伸出机构3上，并且所述上料整片置中机构4用于调整硅片上料伸出机构3上半成品硅片的位置；上料变截距机构5，其设置在工作台框架1上，所述上料变截距机构5、上料花篮提升机2和硅片上料伸出机构3处于同一直线上，并且所述上料变截距机构5和上料花篮提升机2分别位于硅片上料伸出机构3输送方向的两端，所述硅片上料伸出机构3上的半成品硅片输送至上料变截距机构5内，机械手抓取上料变截距机构5内的半成品硅片至石墨舟内；下料变截距机构6，其设置在工作台框架1上，机械手抓取石墨舟内的成品硅片至所述下料变截距机构6；硅片下料伸出机构7，其设置在工作台框架1上，并且所述硅片下料伸出机构7用于取出下料变截距机构6底部的成品硅片；下料整片置中机构8，其设置在硅片下料伸出机构7上，并且所述下料整片置中机构8用于调整硅片下料伸出机构7上成品硅片的位置；下料花篮提升机9，其设置在工作台框架1上，所述下料变截距机构6、硅片下料伸出机构7和下料花篮提升机9处于用以直线上，并且所述下料变截距机构6和下料花篮提升机9分别位于硅片下料伸出机构7输送方向的两端，所述硅片下料伸出机构7上的成品硅片输送至下料花篮提升机9的花篮内。
参照图5所示，所述上料花篮提升机2和下料花篮提升机9的结构相同，所述上料花篮提升机2和下料花篮提升机9均包括直线模组一21、竖直连接板22、下底板23、上支撑板24、下花篮压紧组件25和上花篮定位组件26，所述直线模组一21固定设置在工作台框架1上，并且所述直线模组一21的移动方向沿竖直方向，所述竖直连接板22和直线模组一21的滑块连接，所述上支撑板24和下底板23分别与竖直连接板22的上下两端连接，并且所述上支撑板24、下底板23和竖直连接板22呈“U”型设置，所述下花篮压紧组件25设置在下底板23上，所述上花篮定位组件26设置在上支撑板24上，所述上支撑板24、下底板23和竖直连接板22内设有硅片存储花篮，所述下花篮压紧组件25和上花篮定位组件26分别对硅片存储花篮进行定位。
参照图6所示，所述下花篮压紧组件25包括压紧驱动气缸251、转轴支撑座252、转轴253、压紧夹爪254、推杆255和推板256，所述压紧驱动气缸251和转轴支撑座252均固定设置在下底板23上，所述转轴支撑座252为对称设置的两块，所述转轴253的两端设置在转轴支撑座252上，所述压紧夹爪254套设在转轴253上，所述压紧夹爪254为对称的两个，并且两个压紧夹爪254之间设置有推杆255，所述推板256的一端和压紧驱动气缸251的活塞杆连接，并且推板256的另一端和推杆255转动连接，所述压紧夹爪254压紧在硅片存储花篮的下端部上。
上述结构中，所述上花篮定位组件26包括上定位驱动气缸261和上定位头262，所述上定位驱动气缸261固定设置在上支撑板24上，所述上定位头262和上定位驱动气缸261连接，所述上定位头262的下端部设置为锥形，所述硅片存储花篮的顶部设有定位孔101，所述上定位驱动气缸261驱动上定位头262伸入定位孔101内。
参照图7-11所示，所述硅片上料伸出机构3和硅片下料伸出机构7的结构相同，所述硅片上料伸出机构3和硅片下料伸出机构7包括：安装座31，其作为传输机构的支撑结构，并且所述安装座31与工作台框架1连接；输送驱动装置32，其设置在安装座31上；推移滑动座34，其与安装座31滑动连接，并且所述输送驱动装置32与推移滑动座34连接；推入输送驱动装置35，其设置在安装座31上，并且所述推入输送驱动装置35和推移滑动座34连接，所述推入输送驱动装置35驱动推移滑动座34靠近或者远离花篮，根据不同的应用场合，所述推入输送驱动装置35为气缸、油缸或则电动缸。
安装座31既可以安装于地面上也可以安装至所需的设备上，推入输送驱动装置35将推移滑动座34向硅片花篮方向推动，然后输送驱动装置32移动至硅片花篮下方，硅片下放到输送驱动装置32上，输送驱动装置32反向驱动，从而使得输送驱动装置32将硅片输送出来。
上述结构中，所述安装座31包括安装底板311、两个对称设置的前部支撑板312和两个对称设置的后部支撑板313，所述两个对称设置的前部支撑板312和两个对称设置的后部支撑板313均设置在安装底板311上，并且两个对称设置的前部支撑板312和两个对称设置的后部支撑板313位于矩形的四个角部位置处。一块前部支撑板312和一块后部支撑板313为一组，一块前部支撑板312和一块后部支撑板313排列在一条直线上，两个对称设置的前部支撑板312和两个对称设置的后部支撑板313构成输送驱动装置32中传动部分的支撑结构。
上述结构中，所述输送驱动装置32包括驱动电机321、驱动转轴322和两个对称设置的传动装置323，所述驱动电机321设置在安装底板311上，并且所述驱动电机321的转轴和驱动转轴322连接，所述两个对称设置的传动装置323均与驱动转轴322连接。驱动电机321驱动驱动转轴322旋转，驱动转轴322同步带动两个对称设置的传动装置323传动，传动装置323设置在一块前部支撑板312和一块后部支撑板313构成的支撑结构上。其中，所述传动装置323由两个对称设置的传动装置组件324，所述传动装置组件324包括主动轮3241、若干传动轮一3242、固定从动轮3243、活动从动轮3244和传动皮带3245，所述主动轮3241套设在驱动转轴322上，所述主动轮3241和若干传动轮一3242设置在后部支撑板313的侧壁上，所述固定从动轮3243设置在前部支撑板312的侧壁上，所述活动从动轮3244设置在推移滑动座34上，所述传动皮带3245套设在主动轮3241、若干传动轮一3242、固定从动轮3243和活动从动轮3244上。由于活动从动轮3244设置在推移滑动座34上，因此推入输送驱动装置35推动推移滑动座34移动过程中，活动从动轮3244跟随推移滑动座34移动，活动从动轮3244移动过程中相当于动滑轮的原理。
上述结构中，所述推移滑动座34包括连接板341和两块对称设置的竖直滑板342，所述两块对称设置的竖直滑板342的下端部和连接板341长度方向的端部连接，并且连接板341和两块对称设置的竖直滑板342构成“U”型，所述推入输送驱动装置35和连接板341连接，所述活动从动轮3244设置在竖直滑板342的侧壁上，所述竖直滑板342位于两个对称设置的传动装置组件324之间。推入输送驱动装置35作为动力结构驱动连接板341移动，由于两块对称设置的竖直滑板342与连接板341是连接在一起的，因此两块对称设置的竖直滑板342一起移动，带动活动从动轮3244一起移动。
上述结构中，所述竖直滑板342的上端部连接有水平支撑板343，所述水平支撑板343的一端与竖直滑板342连接，并且所述水平支撑板343的另一端设有导向轮344，所述传动皮带3245绕过导向轮344，并且传动皮带3245与水平支撑板343的上下端面相接触。推入输送驱动装置35驱动推移滑动座34移动过程中，水平支撑板343可伸出或者收回，水平支撑板343为矩形平板，并且所述水平支撑板343的上端面设有凹槽，凹槽内安装有电容感应器3431，电容感应器3431用来感应传动皮带3245上是否有硅片。
上述结构中，所述竖直滑板342的下端部连接有滑块3421。所述安装底板311上设有两条平行的直线导轨3111，直线导轨3111沿所述传动皮带3245的输送方向设置。竖直滑板342水平移动过程中，滑块3421沿着直线导轨3111进行滑移。
另外，所述安装底板311上设有电机安装板3112，所述驱动电机321安装在电机安装板3112上。
参照图12所示，所述上料整片置中机构4和下料整片置中机构8的结构相同，所述上料整片置中机构4和下料整片置中机构8均包括整片支撑架41、整片直线模组42、整片手指气缸43和两个对称设置的整片手指44，所述整片支撑架41固定设置在安装座31上，所述整片直线模组42设置在整片支撑架41的顶板上，并且所述整片直线模组42悬设于输送驱动装置32上方，所述整片手指气缸43和整片直线模组42的滑块连接，所述两个对称设置的整片手指44和整片手指气缸43连接，整片手指44上连接有整片导杆45，所述整片导杆45为圆柱杆状，并且整片导杆45的下端部设有硅胶套，所述整片导杆45与硅片上料伸出机构3和硅片下料伸出机构7上成品或者半成品硅片的边缘相接触。
参照图14-17所示，所述上料变截距机构5和下料变截距机构6的结构相同，所述上料变截距机构5和下料变截距机构6均包括变距直线模组51、变距龙门架52、硅片变距放置组件53和硅片变距定位组件54，所述变距直线模组51固定设置在工作台框架1上，并且所述变距直线模组51沿竖直方向设置，所述变距龙门架52和变距直线模组51连接，所述硅片变距放置组件53和硅片变距定位组件54设置在变距龙门架52上，所述硅片变距放置组件53上设有硅片，所述硅片变距定位组件54用于进行硅片变距放置组件53上硅片的定位。所述硅片变距放置组件53包括四根矩形安装板531，所述四根矩形安装板531分别位于矩形截面的四个角部位置处，所述矩形安装板531上沿竖直方向依次设有若干硅片支撑圆柱杆532，所述若干硅片支撑圆柱杆532间隔均匀的设置，硅片设置在位于同一水平面的硅片支撑圆柱杆532上。所述硅片变距定位组件54包括变距定位驱动气缸一541、变距滑板一542、两块变距定位推板一543、变距定位驱动气缸二544、变距滑板二545和两块变距定位推板二546，所述变距定位驱动气缸一541和变距定位驱动气缸二544均固定设置在变距龙门架52上，所述变距滑板一542和变距定位驱动气缸一541的活塞杆连接，所述变距滑板二545和变距定位驱动气缸二544的活塞杆连接，所述两块变距定位推板一543的上端部均与变距滑板一542连接，所述两块变距定位推板二546的上端部与变距滑板二545连接，所述两块变距定位推板一543和两块变距定位推板二546一一对应设置，并且变距定位推板一543和对应的变距定位推板二546构成一组可相对靠近或者远离用于进行硅片支撑圆柱杆532上硅片的定位。
参照图13所示，工作台框架1上还设有半成品硅片理片组件20，半成品硅片理片组件20位于上料变截距机构5的半成品硅片进入的一侧，当传动皮带3245将半成品硅片依次送入上料变截距机构5后，上料变截距机构5内放满半成品硅片后，由于传动皮带3245将半成品硅片送入硅片支撑圆柱杆532上时，半成品硅片在硅片支撑圆柱杆532上不能保证位置全部一致，因此硅片支撑圆柱杆532上放好半成品硅片后，半成品硅片理片组件20工作，半成品硅片理片组件20包括理片支撑架201、理片驱动气缸202和理片推板203，所述理片支撑架201固定设置在工作台框架1上，所述理片驱动气缸202固定设置在理片支撑架201上，所述理片推板203和理片驱动气缸202的活塞杆连接，所述理片推板203为矩形平板状，所述理片推板203与硅片支撑圆柱杆532上的半成品硅片垂直设置。工作时，理片驱动气缸202的活塞杆伸出，驱动理片推板203向硅片支撑圆柱杆532一侧移动，理片驱动气缸202驱动理片推板203与硅片支撑圆柱杆532上的半成品硅片移动，从而将由上至下依次设置的若干硅片支撑圆柱杆532上的半成品硅片推整齐。
对于若干硅片支撑圆柱杆532上的半成品硅片，通过变距定位推板一543和对应的变距定位推板二546进行矩形薄片状的半成品硅片的长边的推动整理，通过理片推板203进行半成品硅片的短边的推动整理，从而使得若干硅片支撑圆柱杆532上的半成品硅片排列整齐。
本发明的硅片变距传输工作台及其工作方法，包括如下步骤：
半成品硅片上料过程为：半成品硅片上料过程的工作单元为：上料花篮提升机2、硅片上料伸出机构3、上料整片置中机构4和上料变截距机构5，
S1-1、将放有半成品硅片的花篮放置在竖直连接板22、下底板23和上支撑板24构成的框架内，半成品硅片的花篮内设有一摞半成品硅片，半成品硅片的花篮内的半成品硅片间隔均匀的被分隔开；
S1-2、硅片上料伸出机构3工作，推入输送驱动装置35驱动推移滑动座34伸入半成品硅片的花篮的底部，使得输送驱动装置32的输送带的起始端端位于半成品硅片的花篮内最下方的半成品硅片下方；
S1-3、上料花篮提升机2工作，上料花篮提升机2驱动半成品硅片的花篮下降，使得半成品硅片的花篮最下方的半成品硅片与输送驱动装置32的输送带接触；
S1-4、输送驱动装置32启动，输送驱动装置32的输送带带动半成品硅片的花篮最下方的半成品硅片移出半成品硅片的花篮；
S1-5、半成品硅片随着输送驱动装置32的输送带水平移动，移动到上料整片置中机构4位置处；
S1-6、上料整片置中机构4工作，初始时，通过整片直线模组42调整两个对称设置的整片手指44位置，使得半成品硅片位于两个对称设置的整片手指44之间，当半成品硅片移动到整片导杆45之间时，整片手指气缸43驱动两个对称设置的整片手指44相对靠近，从而使得整片手指44连接的整片导杆45分别从半成品硅片的两侧与半成品硅片接触，调整半成品硅片在输送驱动装置32的输送带上的位置；
S1-7、输送驱动装置32的输送带输送半成品硅片至上料变截距机构5一侧，输送驱动装置32的输送带的末端位于上料变截距机构5的正下方；
S1-8、上料变截距机构5工作，初始时，变距直线模组51驱动变距龙门架52处于最低点位置，此时输送驱动装置32的输送带的末端位于矩形安装板531上最上端的硅片支撑圆柱杆532上方；
S1-9、半成品硅片输送至输送驱动装置32的输送带末端，变距直线模组51驱动变距龙门架52上升，使得硅片支撑圆柱杆532接触输送驱动装置32的输送带末端上的半成品硅片，由于半成品硅片两侧的硅片支撑圆柱杆532之间的距离小于半成品硅片的宽度，因此硅片支撑圆柱杆532上移过程中将输送驱动装置32的输送带末端的半成品硅片抬起，从而是的半成品硅片置于硅片支撑圆柱杆532上，变距直线模组51驱动变距龙门架52上升；
S1-10、不断重复上述步骤S1-3～S1-9，使得若干硅片支撑圆柱杆532上均放置有半成品硅片，此时半成品硅片在上料变截距机构5上成具有一定间距的一摞设置；
S1-11、上料变截距机构5内放满半成品硅片后，上料变截距机构5的硅片变距定位组件54工作，变距定位驱动气缸一541和变距定位驱动气缸二544的活塞杆伸出，分别推动变距定位推板一543和变距定位推板二546移动，从而形成相对的变距定位推板一543和变距定位推板二546互相靠近，调整硅片支撑圆柱杆532上的半成品硅片为整齐的一列；
S1-12、机械手将上料变截距机构5内的一摞半成品硅片取走，从而完成半成品硅片的上料动作；
成品硅片下料过程为：成品硅片下料过程的工作单元为：下料变截距机构6、硅片下料伸出机构7、下料整片置中机构8和下料花篮提升机9，
S2-1、机械手将成品硅片放入下料变截距机构6内，下料变截距机构6的硅片变距定位组件54工作，变距定位驱动气缸一541和变距定位驱动气缸二544的活塞杆伸出，分别推动变距定位推板一543和变距定位推板二546移动，从而形成相对的变距定位推板一543和变距定位推板二546互相靠近，调整硅片支撑圆柱杆532上的成品硅片为整齐的一列；
S2-2、初始时，变距直线模组51驱动变距龙门架52处于最高位置，此时若干硅片支撑圆柱杆532最下方的成品硅片位于输送驱动装置32的输送带的起始端上方；
S2-3、变距直线模组51驱动变距龙门架52下降，使得若干硅片支撑圆柱杆532最下方的成品硅片与输送驱动装置32的输送带相接触；
S2-4、输送驱动装置32的输送带带动若干硅片支撑圆柱杆532最下方的成品硅片移出变距龙门架52；
S2-5、输送驱动装置32的输送带带动成品硅片移动至下料整片置中机构8位置处；
S2-6、下料整片置中机构8工作，初始时，通过整片直线模组42调整两个对称设置的整片手指44位置，使得成品硅片位于两个对称设置的整片手指44之间，当成品硅片移动到整片导杆45之间时，整片手指气缸43驱动两个对称设置的整片手指44相对靠近，从而使得整片手指44连接的整片导杆45分别从成品硅片的两侧与成品硅片接触，调整成品硅片在输送驱动装置32的输送带上的位置；
S2-7、输送驱动装置32的输送带带动成品硅片移动至下料花篮提升机9正下方，此时直线模组一21驱动竖直连接板22、下底板23和上支撑板24构成的框架处于低点位置，即此时成品花篮位于低点位置；
S2-8、下料花篮提升机9工作，直线模组一21带动成品花篮上移，成品花篮上移过程中带走输送驱动装置32的输送带的末端的成品硅片，直线模组一21带动成品花篮上移；
S2-9、不断重复上述步骤S2-2～S2-7，从而将下料变截距机构6内的成品硅片一片片的转运至下料花篮提升机9内。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种硅片变距传输工作台，其特征在于，包括：
工作台框架，其作为整体支撑结构；
上料花篮提升机，其设置在工作台框架上，并且所述上料花篮提升机内设有硅片存储花篮；
硅片上料伸出机构，其设置在工作台框架上，并且所述硅片上料伸出机构用于取出硅片存储花篮底部的半成品硅片；
上料整片置中机构，其设置在硅片上料伸出机构上，并且所述上料整片置中机构用于调整硅片上料伸出机构上半成品硅片的位置；
上料变截距机构，其设置在工作台框架上，所述上料变截距机构、上料花篮提升机和硅片上料伸出机构处于同一直线上，并且所述上料变截距机构和上料花篮提升机分别位于硅片上料伸出机构输送方向的两端，所述硅片上料伸出机构上的半成品硅片输送至上料变截距机构内，机械手抓取上料变截距机构内的半成品硅片至石墨舟内；
下料变截距机构，其设置在工作台框架上，机械手抓取石墨舟内的成品硅片至所述下料变截距机构；
硅片下料伸出机构，其设置在工作台框架上，并且所述硅片下料伸出机构用于取出下料变截距机构底部的成品硅片；
下料整片置中机构，其设置在硅片下料伸出机构上，并且所述下料整片置中机构用于调整硅片下料伸出机构上成品硅片的位置；
下料花篮提升机，其设置在工作台框架上，所述下料变截距机构、硅片下料伸出机构和下料花篮提升机处于用以直线上，并且所述下料变截距机构和下料花篮提升机分别位于硅片下料伸出机构输送方向的两端，所述硅片下料伸出机构上的成品硅片输送至下料花篮提升机的花篮内。
2.根据权利要求1所述的硅片变距传输工作台，其特征在于：所述上料花篮提升机和下料花篮提升机的结构相同，所述上料花篮提升机和下料花篮提升机均包括直线模组一、竖直连接板、下底板、上支撑板、下花篮压紧组件和上花篮定位组件，所述直线模组一固定设置在工作台框架上，并且所述直线模组一的移动方向沿竖直方向，所述竖直连接板和直线模组一的滑块连接，所述上支撑板和下底板分别与竖直连接板的上下两端连接，并且所述上支撑板、下底板和竖直连接板呈“U”型设置，所述下花篮压紧组件设置在下底板上，所述上花篮定位组件设置在上支撑板上，所述上支撑板、下底板和竖直连接板内设有硅片存储花篮，所述下花篮压紧组件和上花篮定位组件分别对硅片存储花篮进行定位。
3.根据权利要求2所述的硅片变距传输工作台，其特征在于：所述下花篮压紧组件包括压紧驱动气缸、转轴支撑座、转轴、压紧夹爪、推杆和推板，所述压紧驱动气缸和转轴支撑座均固定设置在下底板上，所述转轴支撑座为对称设置的两块，所述转轴的两端设置在转轴支撑座上，所述压紧夹爪套设在转轴上，所述压紧夹爪为对称的两个，并且两个压紧夹爪之间设置有推杆，所述推板的一端和压紧驱动气缸的活塞杆连接，并且推板的另一端和推杆转动连接，所述压紧夹爪压紧在硅片存储花篮的下端部上。
4.根据权利要求2所述的硅片变距传输工作台，其特征在于：所述上花篮定位组件包括上定位驱动气缸和上定位头，所述上定位驱动气缸固定设置在上支撑板上，所述上定位头和上定位驱动气缸连接，所述上定位头的下端部设置为锥形，所述硅片存储花篮的顶部设有定位孔，所述上定位驱动气缸驱动上定位头伸入定位孔内。
5.根据权利要求1所述的硅片变距传输工作台，其特征在于：所述硅片上料伸出机构和硅片下料伸出机构的结构相同，所述硅片上料伸出机构和硅片下料伸出机构包括：安装座，其作为传输机构的支撑结构，并且所述安装座与工作台框架连接；输送驱动装置，其设置在安装座上；推移滑动座，其与安装座滑动连接，并且所述输送驱动装置与推移滑动座连接；推入输送驱动装置，其设置在安装座上，并且所述推入输送驱动装置和推移滑动座连接，所述推入输送驱动装置驱动推移滑动座靠近或者远离花篮。
6.根据权利要求5所述的硅片变距传输工作台，其特征在于：所述上料整片置中机构和下料整片置中机构的结构相同，所述上料整片置中机构和下料整片置中机构均包括整片支撑架、整片直线模组、整片手指气缸和两个对称设置的整片手指，所述整片支撑架固定设置在安装座上，所述整片直线模组设置在整片支撑架的顶板上，并且所述整片直线模组悬设于输送驱动装置上方，所述整片手指气缸和整片直线模组的滑块连接，所述两个对称设置的整片手指和整片手指气缸连接，整片手指上连接有整片导杆，所述整片导杆为圆柱杆状，并且整片导杆的下端部设有硅胶套，所述整片导杆与硅片上料伸出机构和硅片下料伸出机构上成品或者半成品硅片的边缘相接触。
7.根据权利要求1所述的硅片变距传输工作台，其特征在于：所述上料变截距机构和下料变截距机构的结构相同，所述上料变截距机构和下料变截距机构均包括变距直线模组、变距龙门架、硅片变距放置组件和硅片变距定位组件，所述变距直线模组固定设置在工作台框架上，并且所述变距直线模组沿竖直方向设置，所述变距龙门架和变距直线模组连接，所述硅片变距放置组件和硅片变距定位组件设置在变距龙门架上，所述硅片变距放置组件上设有硅片，所述硅片变距定位组件用于进行硅片变距放置组件上硅片的定位。
8.根据权利要求7所述的硅片变距传输工作台，其特征在于：所述硅片变距放置组件包括四根矩形安装板，所述四根矩形安装板分别位于矩形截面的四个角部位置处，所述矩形安装板上沿竖直方向依次设有若干硅片支撑圆柱杆，所述若干硅片支撑圆柱杆间隔均匀的设置，硅片设置在位于同一水平面的硅片支撑圆柱杆上。
9.根据权利要求8所述的硅片变距传输工作台，其特征在于：所述硅片变距定位组件包括变距定位驱动气缸一、变距滑板一、两块变距定位推板一、变距定位驱动气缸二、变距滑板二和两块变距定位推板二，所述变距定位驱动气缸一和变距定位驱动气缸二均固定设置在变距龙门架上，所述变距滑板一和变距定位驱动气缸一的活塞杆连接，所述变距滑板二和变距定位驱动气缸二的活塞杆连接，所述两块变距定位推板一的上端部均与变距滑板一连接，所述两块变距定位推板二的上端部与变距滑板二连接，所述两块变距定位推板一和两块变距定位推板二一一对应设置，并且变距定位推板一和对应的变距定位推板二构成一组可相对靠近或者远离用于进行硅片支撑圆柱杆上硅片的定位。
10.一种硅片变距传输工作台的其工作方法，其特征在于：包括如下步骤：
半成品硅片上料过程为：半成品硅片上料过程的工作单元为：上料花篮提升机、硅片上料伸出机构、上料整片置中机构和上料变截距机构，
S1-1、将放有半成品硅片的花篮放置在竖直连接板、下底板和上支撑板构成的框架内，半成品硅片的花篮内设有一摞半成品硅片，半成品硅片的花篮内的半成品硅片间隔均匀的被分隔开；
S1-2、硅片上料伸出机构工作，推入输送驱动装置驱动推移滑动座伸入半成品硅片的花篮的底部，使得输送驱动装置的输送带的起始端端位于半成品硅片的花篮内最下方的半成品硅片下方；
S1-3、上料花篮提升机工作，上料花篮提升机驱动半成品硅片的花篮下降，使得半成品硅片的花篮最下方的半成品硅片与输送驱动装置的输送带接触；
S1-4、输送驱动装置启动，输送驱动装置的输送带带动半成品硅片的花篮最下方的半成品硅片移出半成品硅片的花篮；
S1-5、半成品硅片随着输送驱动装置的输送带水平移动，移动到上料整片置中机构位置处；
S1-6、上料整片置中机构工作，初始时，通过整片直线模组调整两个对称设置的整片手指位置，使得半成品硅片位于两个对称设置的整片手指之间，当半成品硅片移动到整片导杆之间时，整片手指气缸驱动两个对称设置的整片手指相对靠近，从而使得整片手指连接的整片导杆分别从半成品硅片的两侧与半成品硅片接触，调整半成品硅片在输送驱动装置的输送带上的位置；
S1-7、输送驱动装置的输送带输送半成品硅片至上料变截距机构一侧，输送驱动装置的输送带的末端位于上料变截距机构的正下方；
S1-8、上料变截距机构工作，初始时，变距直线模组驱动变距龙门架处于最低点位置，此时输送驱动装置的输送带的末端位于矩形安装板上最上端的硅片支撑圆柱杆上方；
S1-9、半成品硅片输送至输送驱动装置的输送带末端，变距直线模组驱动变距龙门架上升，使得硅片支撑圆柱杆接触输送驱动装置的输送带末端上的半成品硅片，由于半成品硅片两侧的硅片支撑圆柱杆之间的距离小于半成品硅片的宽度，因此硅片支撑圆柱杆上移过程中将输送驱动装置的输送带末端的半成品硅片抬起，从而是的半成品硅片置于硅片支撑圆柱杆上，变距直线模组驱动变距龙门架上升；
S1-10、不断重复上述步骤S1-3～S1-9，使得若干硅片支撑圆柱杆上均放置有半成品硅片，此时半成品硅片在上料变截距机构上成具有一定间距的一摞设置；
S1-11、上料变截距机构内放满半成品硅片后，上料变截距机构的硅片变距定位组件工作，变距定位驱动气缸一和变距定位驱动气缸二的活塞杆伸出，分别推动变距定位推板一和变距定位推板二移动，从而形成相对的变距定位推板一和变距定位推板二互相靠近，调整硅片支撑圆柱杆上的半成品硅片为整齐的一列；
S1-12、机械手将上料变截距机构内的一摞半成品硅片取走，从而完成半成品硅片的上料动作；
成品硅片下料过程为：成品硅片下料过程的工作单元为：下料变截距机构、硅片下料伸出机构、下料整片置中机构和下料花篮提升机，
S2-1、机械手将成品硅片放入下料变截距机构内，下料变截距机构的硅片变距定位组件工作，变距定位驱动气缸一和变距定位驱动气缸二的活塞杆伸出，分别推动变距定位推板一和变距定位推板二移动，从而形成相对的变距定位推板一和变距定位推板二互相靠近，调整硅片支撑圆柱杆上的成品硅片为整齐的一列；
S2-2、初始时，变距直线模组驱动变距龙门架处于最高位置，此时若干硅片支撑圆柱杆最下方的成品硅片位于输送驱动装置的输送带的起始端上方；
S2-3、变距直线模组驱动变距龙门架下降，使得若干硅片支撑圆柱杆最下方的成品硅片与输送驱动装置的输送带相接触；
S2-4、输送驱动装置的输送带带动若干硅片支撑圆柱杆最下方的成品硅片移出变距龙门架；
S2-5、输送驱动装置的输送带带动成品硅片移动至下料整片置中机构位置处；
S2-6、下料整片置中机构工作，初始时，通过整片直线模组调整两个对称设置的整片手指位置，使得成品硅片位于两个对称设置的整片手指之间，当成品硅片移动到整片导杆之间时，整片手指气缸驱动两个对称设置的整片手指相对靠近，从而使得整片手指连接的整片导杆分别从成品硅片的两侧与成品硅片接触，调整成品硅片在输送驱动装置的输送带上的位置；
S2-7、输送驱动装置的输送带带动成品硅片移动至下料花篮提升机正下方，此时直线模组一驱动竖直连接板、下底板和上支撑板构成的框架处于低点位置，即此时成品花篮位于低点位置；
S2-8、下料花篮提升机工作，直线模组一带动成品花篮上移，成品花篮上移过程中带走输送驱动装置的输送带的末端的成品硅片，直线模组一带动成品花篮上移；
S2-9、不断重复上述步骤S2-2～S2-7，从而将下料变截距机构内的成品硅片一片片的转运至下料花篮提升机内。
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