CN109397074A - 一种陶瓷盘转运设备 - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 40
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract description 20
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 241000252254 Catostomidae Species 0.000 abstract description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 abstract 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 238000004018 waxing Methods 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000003447 ipsilateral effect Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/005—Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/0069—Other grinding machines or devices with means for feeding the work-pieces to the grinding tool, e.g. turntables, transfer means
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Abstract
本发明创造提供了一种陶瓷盘转运设备，该陶瓷盘转运设备用于转运抛光过程中使用涂蜡法粘有硅片的陶瓷盘，旨在提供一种具有转运效率高、转运位置准确的转运设备，包括xyz方向移动模组装置和开合吸盘机构，xyz方向移动模组装置与开合吸盘机构均通过伺服电机与内置的丝杠驱动，电机驱动xyz方向移动模组装置移动到特定位置，开合吸盘机构上的四个真空吸盘吸取四个陶瓷盘，然后电机驱动xyz方向移动模组装置将四个陶瓷盘移动到第二个抛光机进行硅片精抛。本发明创造能够有效提升硅片抛光过程中的陶瓷盘转运效率，采用四个吸盘同时吸取方法，缩短抛光时间，减少人工参与，降低操作失误率，提升工作效率。
Description
技术领域
本发明创造涉及半导体材料领域，特别是涉及一种陶瓷盘转运设备。
背景技术
在半导体材料领域，半导体硅单晶片需要多次抛光才能达到所需的效果，抛光之前，将蜡涂抹到硅片表面，然后烘干，使用机械手翻转将其放置于陶瓷盘上，进行加载，使陶瓷盘与硅片粘合，然后将粘有硅片的陶瓷盘放到抛光机上对硅片进行粗抛，粗抛完成后，用机械手将陶瓷盘连带硅片传送至下一个抛光机，现有技术中，通常采用单臂机械手将陶瓷盘连带硅片传送至下一个抛光机，每次只能抓取一个，严重影响抛光效率，浪费生产时间，难以操作且容易出现误操作。
发明内容
有鉴于此，本发明创造旨在上述现有技术中存在的缺陷，提供一种陶瓷盘转运设备。
为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：
一种陶瓷盘转运设备，包括xyz方向移动模组装置和开合吸盘机构，二者均通过伺服电机驱动，所述xyz方向移动模组装置包括两个x向模组、两个y向模组和一个z向模组，所述开合吸盘机构固设于所述z向模组上部，包括开合机构和两个吸盘机构，两个所述吸盘机构分别与开合机构滑动连接，方向水平且互相平行；
所述开合机构包括底板、丝杠和位于丝杠两侧的导轨，所述丝杠上设有两个与其匹配连接的丝母，两个所述丝母的内螺纹方向相反，所述导轨上设有两个与其滑动连接的滑块，所述吸盘机构包括连接板和位于连接板一端的两个真空吸盘，所述连接板远离真空吸盘的一端与位于开合机构同一侧的丝母和两个滑块固定连接，两个所述吸盘机构上的真空吸盘位置对称。
进一步地，两个所述x向模组对称设置于底座之上，两个所述y向模组分别竖直设置于两个x向模组上，两个所述y向模组相互平行对称且能够沿着x向模组滑动，所述z向模组垂直设置于两个y向模组上，能够沿着y向模组滑动。
进一步地，两个所述x向模组长度相同，位置相对，两者同一方向的顶端之间设有连杆，伺服电机位于连杆的一端，伺服电机通过驱动连杆带动两个x向模组的内置丝杠同时转动。
进一步地，两个所述y向模组长度相同，位置相对，两者同一方向的顶端之间设有连杆，伺服电机位于连杆的一端，伺服电机通过驱动连杆带动两个y向模组的内置丝杠同时转动。
进一步地，两个所述丝母相对的一侧设有拱形槽，槽口尺寸大于丝杠外径。
进一步地，所述真空吸盘均与气泵相连通。
相对于现有技术，本发明创造的有益效果是：本发明创造所述的一种陶瓷盘转运设备，解决了硅片抛光过程中的转运效率问题，实现了利用四个吸盘同时转运四个陶瓷盘，大大节约了工作时间，提高生产效率，具有高效性、稳定性、易操作等优点。
附图说明
构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：
图1为本发明创造所述的一种陶瓷盘转运设备立体结构示意图；
图2为本发明创造所述的一种陶瓷盘转运设备xyz方向移动模组装置立体结构示意图；
图3为本发明创造所述的一种陶瓷盘转运设备开合吸盘机构立体结构示意图。
附图标记说明：
1-抛光机；11-中心轴；12-滚轮；13-陶瓷盘；2-xyz方向移动模组装置；21-x向模组；22-y向模组；23-z向模组；231-支撑板；232-螺栓；24-直线滑轨；3-开合吸盘机构；31-开合机构；310-底板；311-导轨；32-吸盘机构；320-连接板；321-丝母；3211-拱形槽；322-滑块；323-真空吸盘；4-连杆；5-伺服电机；6-丝杠；7-底座。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明创造：
一种陶瓷盘转运设备，包括xyz方向移动模组装置2和开合吸盘机构3，二者对称设于底座7之上，均通过伺服电机5驱动，所述xyz方向移动模组装置2包括两个x向模组21、两个y向模组22和一个z向模组23，区别于普通三轴滑台，所述xyz方向移动模组装置2包括了两个y向模组22，用于加强整个设备的移动精度，减少y向模组22在频繁移动过程中因两侧受力不均产生的磨损，两个所述x向模组21长度相同，位置对称，两者同侧顶端之间设有连杆4，连杆4的两端设有换向齿轮箱，伺服电机5位于连杆4的一端，伺服电机5通过驱动连杆4的旋转带动两个x向模组21的内置丝杠6同时转动，内置丝杠6的转动带动直线滑台24及y向模组22沿直线运动，两个y向模组22与两个x向模组21的结构相同，连杆4的设计用于增强两个x向模组21以及两个y向模组22动作的稳定性和一致性，提高设备的转运精度。
所述开合吸盘机构3通过支撑板231和螺栓232固设于所述z向模组23上，包括开合机构31和两个吸盘机构32，两个所述吸盘机构32的结构相同，分设于所述开合机构31的两边，所述开合机构31包括底板310、丝杠6和位于丝杠6两侧的导轨311，所述吸盘机构32包括连接板320和位于连接板320一端的两个真空吸盘323，所述连接板320的另一端固设有一个丝母321与两个滑块322，所述丝母321与开合机构31上的丝杠6匹配连接，两个所述滑块322分别与开合机构31上的两个导轨311滑动连接，两个所述丝母321的内螺纹方向相反，在伺服电机5驱动下，两个吸盘机构32沿着开合机构31的轴线做相对或相背运动，两个所述丝母321相对的一侧设有拱形槽3211，用以减少丝母321与丝杠6的接触面积，减少丝母321与丝杠6之间的摩擦力，提高设备运作的灵活性，两个所述吸盘机构32上的真空吸盘323位置对称，真空吸盘323均与气泵相连通，所述四个气泵可同时开关，保证吸取过程的一致性。
工作原理说明：
硅片在抛光机上粗抛后，利用y向模组将真空吸盘移动至四个粘有硅片的陶瓷盘正上方，利用z向模组使真空吸盘下移吸取陶瓷盘，然后利用z向模组上移使陶瓷盘与抛光机分离，然后采用电机驱动对称的两个吸盘机构向两端移动，避开中心轴，再利用y向模组使陶瓷盘移出抛光机，最后利用x向模组使四个粘有硅片的陶瓷盘转运至下一个抛光机进行精抛，将陶瓷盘放置在精抛抛光机上的顺序与从粗抛抛光机上取下陶瓷盘的顺序相反。
以上所述仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种陶瓷盘转运设备，其特征在于：包括xyz方向移动模组装置(2)和开合吸盘机构(3)，二者均通过伺服电机(5)驱动，所述xyz方向移动模组装置(2)包括两个x向模组(21)、两个y向模组(22)和一个z向模组(23)，所述开合吸盘机构(3)固设于所述z向模组(23)上部，包括开合机构(31)和两个吸盘机构(32)，两个所述吸盘机构(32)分别与开合机构(31)滑动连接，方向水平且互相平行；
所述开合机构(31)包括底板(310)、丝杠(6)和位于丝杠(6)两侧的导轨(311)，所述丝杠(6)上设有两个与其匹配连接的丝母(321)，两个所述丝母(321)的内螺纹方向相反，所述导轨(311)上设有两个与其滑动连接的滑块(322)，所述吸盘机构(32)包括连接板(320)和位于连接板(320)一端的两个真空吸盘(323)，所述连接板(320)远离真空吸盘(323)的一端与位于开合机构(31)同一侧的丝母(321)和两个滑块(322)固定连接，两个所述吸盘机构(32)上的真空吸盘(323)位置对称。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备，其特征在于：两个所述x向模组(21)对称设置于底座(7)之上，两个所述y向模组(22)分别竖直设置于两个x向模组(21)上，两个所述y向模组(22)相互平行对称且能够沿着x向模组(21)滑动，所述z向模组(23)垂直设置于两个y向模组(22)上，能够沿着y向模组(22)滑动。
3.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备，其特征在于：两个所述x向模组(21)长度相同，位置相对，两者同一方向的顶端之间设有连杆(4)，伺服电机(5)位于连杆(4)的一端，伺服电机(5)通过驱动连杆(4)带动两个x向模组(21)的内置丝杠(6)同时转动。
4.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备，其特征在于：两个所述y向模组(22)长度相同，位置相对，两者同一方向的顶端之间设有连杆(4)，伺服电机(5)位于连杆(4)的一端，伺服电机(5)通过驱动连杆(4)带动两个y向模组(22)的内置丝杠(6)同时转动。
5.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备，其特征在于：两个所述丝母(321)相对的一侧设有拱形槽(3211)，槽口尺寸大于丝杠(6)外径。
6.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备，其特征在于：所述真空吸盘(323)均与气泵相连通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811320599.1A CN109397074A (zh) | 2018-11-07 | 2018-11-07 | 一种陶瓷盘转运设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811320599.1A CN109397074A (zh) | 2018-11-07 | 2018-11-07 | 一种陶瓷盘转运设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109397074A true CN109397074A (zh) | 2019-03-01 |
Family
ID=65472085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811320599.1A Pending CN109397074A (zh) | 2018-11-07 | 2018-11-07 | 一种陶瓷盘转运设备 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN109397074A (zh) |
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