CN215247638U - 一种晶圆盒自动输送装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆盒自动输送装置，包括底板、X轴平移驱动组件、Z轴升降驱动组件和晶圆盒装夹组件，X轴平移驱动组件沿着底板上表面长度方向设置，Z轴升降驱动组件连接设置在X轴平移驱动组件上，Z轴升降驱动组件上连接设置有水平升降台，晶圆盒装夹组件包括托盒、两个电动推杆、两个吸盘组件和两L形支架，托盒通过数个锁紧件固定在水平升降台的前部，两个L形支架设置在托盒的相对两侧表面，两个电动推杆配合设置在两个L形支架上，每个电动推杆的伸缩端均穿过托盒与一吸盘组件固接，本实用新型公可便于提取多种位置的晶圆盒，其可有利于更准确地对位接收空晶圆盒，实用性较强，相较于现有技术，具有较高的使用价值。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆盒自动输送装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆可装载于晶圆框架盒，晶圆框架盒进一步可理解为：wafercassettee，其也可理解为晶圆盒。
现有相关技术中，在晶圆上料的过程中，可将晶圆与晶圆盒分离，进而将分离出晶圆的空晶圆盒移动出晶圆上料系统，其中，需先利用机械手将晶圆盒送至水平移动装置，水平移动装置可包括本体部与伸缩臂，晶圆盒被送至伸缩臂后，通过伸缩臂相对于本体部的水平伸缩，可将伸缩臂上的晶圆盒送出。
若机械手送晶圆盒时放置的位置不合适，则无法准确送至伸缩臂，可见，其还不利于空晶圆盒的对位接收，所以本实用新型提供了一种较为精准的晶圆盒自动输送装置以供使用。
实用新型内容
实用新型目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本实用新型公开了一种晶圆盒自动输送装置。
技术方案：一种晶圆盒自动输送装置，包括底板、X轴平移驱动组件、Z轴升降驱动组件和晶圆盒装夹组件，所述X轴平移驱动组件沿着底板上表面长度方向设置，所述Z轴升降驱动组件连接设置在X轴平移驱动组件上，所述Z轴升降驱动组件上连接设置有水平升降台，所述晶圆盒装夹组件包括托盒(前部和上部为敞开设置)、两个电动推杆、两个吸盘组件和两L形支架，所述托盒通过数个锁紧件固定在水平升降台的前部，两个所述L形支架设置在托盒的相对两侧表面，两个所述电动推杆配合设置在两个L形支架上，每个所述电动推杆的伸缩端均穿过托盒与一吸盘组件固接。
进一步的是，所述X轴平移驱动组件包括直线模座、伺服驱动气缸和滑动板，所述直线模座沿着底板上表面的长度方向设置，所述直线模座上相对设置有两条直线导轨，所述滑动板滑接在两条直线直线导轨上，所述伺服驱动气缸设置在直线模座的前部，且所述伺服驱动气缸的伸缩轴通过连接块与滑动板连接。
进一步的是，所述Z轴升降驱动组件为伺服直线模组。
进一步的是，每个所述吸盘组件包括竖向板和数个吸盘本体，所述竖向板于托盒的内侧与一电动推杆的伸缩端连接，所述数个吸盘本体等距排列在竖向板的一侧表面。
进一步的是，所述锁紧件具体为锁紧螺柱。
本实用新型实现以下有益效果：
本实用新型公可便于提取多种位置的晶圆盒，其可有利于更准确地对位接收空晶圆盒，实用性较强，相较于现有技术，具有较高的使用价值。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并于说明书一起用于解释本公开的原理。
图1为本实用新型公开的整体结构示意图。
图2为本实用新型公开的局部侧视结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例
参考图1-2，一种晶圆盒自动输送装置，包括底板10、X轴平移驱动组件、Z轴升降驱动组件70和晶圆盒装夹组件，X轴平移驱动组件沿着底板上表面长度方向设置，Z轴升降驱动组件连接设置在X轴平移驱动组件上，Z轴升降驱动组件上连接设置有水平升降台80，晶圆盒装夹组件包括托盒20(前部和上部为敞开设置)、两个电动推杆40、两个吸盘组件和两L形支架30，托盒通过数个锁紧件90固定在水平升降台的前部，两个L形支架设置在托盒的相对两侧表面，两个电动推杆配合设置在两个L形支架上，每个电动推杆的伸缩端均穿过托盒与一吸盘组件固接。
在本实施例中，X轴平移驱动组件包括直线模座100、伺服驱动气缸130和滑动板120，直线模座沿着底板上表面的长度方向设置，直线模座上相对设置有两条直线导轨110，滑动板滑接在两条直线直线导轨上，伺服驱动气缸设置在直线模座的前部，且伺服驱动气缸的伸缩轴通过连接块140与滑动板连接，在伺服驱动气缸的驱动下，滑动板即可进行平移运动，此处要说明的是，Z轴升降驱动组件需设置在滑动板上。
在本实施例中，Z轴升降驱动组件为伺服直线模组，在该Z轴升降驱动组件的驱动下水平升降台均可进行Z轴升降。
在本实施例中，每个吸盘组件包括竖向板50和数个吸盘本体60，竖向板于托盒的内侧与一电动推杆的伸缩端连接，数个吸盘本体等距排列在竖向板的一侧表面，在接收到晶圆盒后，每个电动推杆均驱动竖向板进行伸缩，同时每个吸盘组件所包括的数个吸盘本体均对晶圆盒的侧部进行吸附。
在本实施例中，锁紧件具体为锁紧螺柱，通过锁紧螺柱可便于操作人员将托盒与水平升降台进行快速拆装，工作效率较高。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此来限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种晶圆盒自动输送装置，包括底板、X轴平移驱动组件、Z轴升降驱动组件和晶圆盒装夹组件，所述X轴平移驱动组件沿着底板上表面长度方向设置，所述Z轴升降驱动组件连接设置在X轴平移驱动组件上，其特征在于，所述Z轴升降驱动组件上连接设置有水平升降台，所述晶圆盒装夹组件包括托盒、两个电动推杆、两个吸盘组件和两L形支架，所述托盒通过数个锁紧件固定在水平升降台的前部，两个所述L形支架设置在托盒的相对两侧表面，两个所述电动推杆配合设置在两个L形支架上，每个所述电动推杆的伸缩端均穿过托盒与一吸盘组件固接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒自动输送装置，其特征在于，所述X轴平移驱动组件包括直线模座、伺服驱动气缸和滑动板，所述直线模座沿着底板上表面的长度方向设置，所述直线模座上相对设置有两条直线导轨，所述滑动板滑接在两条直线直线导轨上，所述伺服驱动气缸设置在直线模座的前部，且所述伺服驱动气缸的伸缩轴通过连接块与滑动板连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒自动输送装置，其特征在于，所述Z轴升降驱动组件为伺服直线模组。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒自动输送装置，其特征在于，每个所述吸盘组件包括竖向板和数个吸盘本体，所述竖向板于托盒的内侧与一电动推杆的伸缩端连接，所述数个吸盘本体等距排列在竖向板的一侧表面。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆盒自动输送装置，其特征在于，所述锁紧件具体为锁紧螺柱。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202121263108.1U CN215247638U (zh) | 2021-06-07 | 2021-06-07 | 一种晶圆盒自动输送装置 |
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| CN202121263108.1U CN215247638U (zh) | 2021-06-07 | 2021-06-07 | 一种晶圆盒自动输送装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN215247638U true CN215247638U (zh) | 2021-12-21 |
Family
ID=79477348
Family Applications (1)
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| CN202121263108.1U Active CN215247638U (zh) | 2021-06-07 | 2021-06-07 | 一种晶圆盒自动输送装置 |
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| CN (1) | CN215247638U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114955358A (zh) * | 2022-08-01 | 2022-08-30 | 弥费实业(上海)有限公司 | 传送晶圆盒的驱动机构、装置、方法及存储库 |
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2021
- 2021-06-07 CN CN202121263108.1U patent/CN215247638U/zh active Active
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| CN114955358A (zh) * | 2022-08-01 | 2022-08-30 | 弥费实业(上海)有限公司 | 传送晶圆盒的驱动机构、装置、方法及存储库 |
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