CN217626332U - 夹持传送机构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及固晶设备技术领域，提供了一种夹持传送机构，包括：传送机架，传送机架的两端部分别设置有接驳入口和接驳出口；夹持装置，滑动装配于传送机架上，用于夹持固定基板；驱动装置，安装于传送机架上且连接于夹持装置，用于驱使夹持装置在接驳入口和接驳出口之间来回滑动；隔挡装置，安装于传送机架上，沿夹持装置的滑动方向布置，隔挡装置至少位于夹持装置的一侧；以及，辅助传送装置，安装于隔挡装置上，辅助传送装置用于接触夹持装置上所夹持基板的一侧部，并辅助输送基板。本申请提供的夹持传送机构，结构简单，重量轻，震动小，输送稳定性高，而且大幅度缩短输送基板的时间，运行速度较快，提高了固晶效率和精度。

Description

夹持传送机构

技术领域

本申请属于固晶设备技术领域，更具体地说，是涉及一种夹持传送机构。

背景技术

固晶一般是通过固晶摆臂将晶圆上的晶片从供晶位吸取，再移动至基板上的固晶位，以将晶片精准安装在基板上，以实现固晶。晶圆一般安装在晶环中，通过晶环支撑晶圆。晶圆上晶片被取出后，形成空晶环。为便于描述，将存储有晶圆的晶环称为满晶环。晶片具有正面与背面，晶片的背面一般设有电极，以与基板相连，而晶圆上晶片的正面贴于蓝膜上，基板一般为PCB板。

现有的固晶机在固晶时，一般是由上料机构直接推送支架或基板到载移机构，载移平台多为皮带滚支架的传送方式，结构复杂，滚支架跟随整个固晶工作台一起移动，重量较大，运动时间较长，稳定性不高。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种夹持传送机构，以解决以下技术问题：常见固晶机的基板上料机构，重量较大，运动时间较长，稳定性不高。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：

提供一种夹持传送机构，包括：

传送机架，所述传送机架的两端部分别设置有接驳入口和接驳出口；

夹持装置，滑动装配于所述传送机架上，用于夹持固定基板；

驱动装置，安装于所述传送机架上且连接于所述夹持装置，用于驱使所述夹持装置在所述接驳入口和所述接驳出口之间来回滑动；

隔挡装置，安装于所述传送机架上，并沿所述夹持装置的滑动方向布置，所述隔挡装置至少位于所述夹持装置的一侧；以及，

辅助传送装置，安装于所述隔挡装置上，用于接触所述夹持装置上所夹持基板的一侧部，并辅助输送基板。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述夹持装置包括：

滑动基座，滑动装配于所述传送机架上；

夹持单元，沿竖直方向滑动装配于所述滑动基座上，用于夹持固定基板；以及，

升降驱动单元，安装于所述滑动基座上且连接于所述夹持单元，用于驱使所述夹持单元升降。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述夹持单元包括：

夹持基座；

固定夹，固定安装于所述夹持基座上；

活动夹，用于配合所述固定夹以夹持固定基板；以及，

伸缩动力件，安装于所述夹持基座上，用于驱使所述活动夹靠近或者远离所述固定夹，所述活动夹连接于所述伸缩动力件的输出端。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述滑动基座的侧部设置有竖向布置的第一导轨，所述夹持基座的侧部设置有第一滑块，所述第一滑块和所述第一导轨滑动装配。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述升降驱动单元包括：

升降丝杆，转动装配于所述滑动基座的侧部，所述升降丝杆的转动轴线竖向布置，所述升降丝杆贯穿所述夹持基座且与所述夹持基座螺纹传动装配；以及，

第一动力件，安装于所述滑动基座的侧部，用于驱使所述升降丝杆正、反转，所述第一动力件的输出端连接于所述升降丝杆的一端。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述活动夹和所述固定夹均为长条形板状，所述活动夹和所述固定夹相互靠近的侧面设置有防滑结构。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述驱动装置包括：

第一从动带轮，转动安装于所述传送机架上；

第一主动带轮，转动安装于所述传送机架上；

第一同步带，连接于所述第一从动带轮和所述第一主动带轮，所述第一同步带的局部和所述夹持装置固定连接；以及，

第二动力件，安装于所述传送机架上，用于驱使所述第一主动带轮正、反转，所述第二动力件的输出端连接于所述第一主动带轮。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述隔挡装置包括：

固定底板，安装于所述传送机架上；

可调挡板，滑动装配于所述固定底板上，所述可调挡板的滑动方向垂直于所述夹持装置的滑动方向；以及，

锁紧件，用于将所述可调挡板锁紧固定于所述固定底板上。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述辅助传送装置包括：

第二主动带轮，转动装配于所述可调挡板靠近基板的一侧部；

多个第二从动带轮，转动装配于所述可调挡板靠近基板的一侧部；

第二同步带，连接于多个所述第二从动带轮和所述第二主动带轮，所述第二同步带支撑输送所述夹持装置上所夹持的基板的侧面；以及，

第三动力件，安装于所述可调挡板远离基板的一侧部，用于驱使所述第二主动带轮正、反转，所述第三动力件的输出端连接于所述第二主动带轮。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述传送机架上设置有第二导轨，所述夹持装置上设置有第二滑块，所述第二滑块和所述第二导轨滑动装配。

综上所述，本申请至少包括以下一种有益的技术效果：

1.基板被输送至传送机架的接驳入口后，夹持装置可以夹持固定基板的一端，隔挡装置对基板的侧边具有一定隔挡限位作用，辅助传送装置也可以接触基板的侧部，在驱动装置和辅助传送装置的共同带动下，基板可以稳定的从接驳入口被输送至接驳出口，整个夹持传送机构结构简单，重量轻，震动小，输送稳定性高，而且大幅度缩短输送基板的时间，运行速度较快，提高了固晶效率和精度；

2.升降驱动单元工作时，可以带动夹持单元沿着滑动基座升降，进而有利于夹持单元快速对准基板所在位置，有利于基板顺利且高效的被夹取，提升了输送效率；

3.伸缩动力件工作时，可以带动活动夹运动，活动夹再配合固定夹，一起牢固夹紧或者松开基板，实现夹取基板和放下基板的目的，结构设计相对比较简单，操控维修比较方便，夹持操作相对也比较稳定，有利于基板稳定被输送。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的夹持传送机构的结构示意图。

图2为本申请实施例提供中夹持装置的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

1、传送机架；2、夹持装置；21、滑动基座；22、夹持单元；221、夹持基座；222、固定夹；223、活动夹；224、伸缩动力件；23、升降驱动单元；231、升降丝杆；232、第一动力件；24、第一导轨；25、第一滑块；3、驱动装置；31、第一从动带轮；32、第一主动带轮；33、第一同步带；34、第二动力件；4、隔挡装置；41、固定底板；42、可调挡板；5、辅助传送装置；51、第二主动带轮；52、第二从动带轮；53、第二同步带；54、第三动力件；6、第二导轨；7、第二滑块。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1-图2，现对本申请实施例提供的夹持传送机构进行说明。

本申请实施例提供一种夹持传送机构，请参阅图1，包括：传送机架1、夹持装置2、驱动装置3、隔挡装置4和辅助传送装置5

传送机架1传送机架1的两端部分别设置有接驳入口和接驳出口；夹持装置2滑动装配于传送机架1上，夹持装置2用于夹持固定基板；驱动装置3安装于传送机架1上且连接于夹持装置2，驱动装置3用于驱使夹持装置2在接驳入口和接驳出口之间来回滑动；隔挡装置4安装于传送机架1上，隔挡装置4沿夹持装置2的滑动方向布置，隔挡装置4至少位于夹持装置2的一侧；辅助传送装置5安装于隔挡装置4上，辅助传送装置5用于接触夹持装置2上所夹持基板的一侧部，并辅助输送基板。

本申请实施例中，隔挡装置4设置有两组且分别位于夹持装置2的两侧布置，每一组隔挡装置4上都设置有一组辅助传送装置5，进而基板在输送过程中，基板的两侧可以通过两组辅助传送装置5进行支撑输送，基板不易晃动，输送更加稳定。

驱动装置3包括：第一从动带轮31、第一主动带轮32、第一同步带33和第二动力件34。

第一从动带轮31转动安装于传送机架1上；第一主动带轮32转动安装于传送机架1上；第一同步带33连接于第一从动带轮31和第一主动带轮32之间，部分第一同步带33和夹持装置2固定连接；第二动力件34安装于传送机架1上，第二动力件34的输出端连接于第一主动带轮32，第二动力件34用于驱使第一主动带轮32正、反转。

在本实施例中，第二动力件34为可通过PLC程序精准控制的伺服电机，第二动力件34工作时，可以通过第一主动带轮32带动第一同步带33转动，第一同步带33再带动夹持装置2往复运动，上述设计的驱动装置3，结构简单，操控方便，制作、维修成本比较低，而且可以驱使夹持装置2精准移动至预设的位置。

隔挡装置4包括：固定底板41、可调挡板42和多个锁紧件，固定底板41水平安装于传送机架1上；可调挡板42滑动装配于固定底板41上，固定底板41和可调挡板42垂直布置，可调挡板42的滑动方向垂直于夹持装置2的滑动方向，例如本实施例中，夹持装置2的滑动方向为Y轴方向，即可调挡板42的滑动方向为X轴方向；锁紧件用于将可调挡板42锁紧固定于固定底板41上，附图中具体标示出锁紧件，锁紧件可以为螺钉或者插销等配件。

辅助传送装置5包括：第二主动带轮51、多个第二从动带轮52、第二同步带53和第三动力件54。第二主动带轮51转动装配于可调挡板42靠近基板的一侧部；第二从动带轮52转动装配于可调挡板42靠近基板的一侧部；第二同步带53连接于多个第二从动带轮52和第二主动带轮51之间，第二同步带53支撑输送夹持装置2上所夹持的基板的侧面；第三动力件54安装于可调挡板42远离基板的一侧部，第三动力件54的输出端连接于第二主动带轮51，第三动力件54用于驱使第二主动带轮51正、反转。

在本实施例中，第三动力件54为可通过PLC程序精准控制的伺服电机，第三动力件54工作时，可以通过第二主动带轮51带动第二同步带53转动，第二同步带53再通过摩擦力辅助基板运动，上述设计的辅助传送装置5，结构简单，操控方便，制作、维修成本比较低。

在本申请的一种可实现的技术方案中，传送机架1上设置有第二导轨6，夹持装置2上设置有第二滑块7，第二滑块7和第二导轨6滑动装配。通过第二滑块7和第二导轨6配合作用，夹持装置2在滑动过程中，更加稳定。

请参阅图1和图2，夹持装置2包括：滑动基座21、夹持单元22和升降驱动单元23，滑动基座21滑动装配于传送机架1上；夹持单元22沿竖直方向滑动装配于滑动基座21上，夹持单元22用于夹持固定基板；升降驱动单元23安装于滑动基座21上且连接于夹持单元22，升降驱动单元23用于驱使夹持单元22升降。

升降驱动单元23工作时，可以带动夹持单元22沿着滑动基座21升降，进而有利于夹持单元22快速对准基板所在位置，有利于基板顺利且高效的被夹取，提升了输送效率。

夹持单元22包括：夹持基座221、固定夹222、活动夹223和伸缩动力件224，固定夹222固定安装于夹持基座221上；活动夹223用于配合固定夹222以夹持固定基板；伸缩动力件224安装于夹持基座221上，活动夹223连接于伸缩动力件224的输出端，伸缩动力件224用于驱使活动夹223靠近或者远离固定夹222。

伸缩动力件224工作时，可以带动活动夹223运动，活动夹223再配合固定夹222，一起牢固夹紧或者松开基板，实现夹取基板和放下基板的目的，结构设计相对比较简单，操控维修比较方便，夹持操作相对也比较稳定，有利于基板稳定被输送。在本实施例中，伸缩动力件224为气缸，且气缸的输出端朝上布置，在其他实施例中，伸缩动力件224还可以为油缸或者电动推杆。

滑动基座21的侧部设置有竖向布置的第一导轨24，夹持基座221的侧部设置有第一滑块25，第一滑块25和第一导轨24滑动装配。通过第一滑块25和第一导轨24配合作用，夹持单元22在升降过程中，更加稳定。

升降驱动单元23包括：升降丝杆231和第一动力件232，升降丝杆231转动装配于滑动基座21的侧部，升降丝杆231的转动轴线竖向布置，升降丝杆231贯穿夹持基座221且与夹持基座221螺纹传动装配；第一动力件232，安装于滑动基座21的侧部，第一动力件232的输出端连接于升降丝杆231的一端，第一动力件232用于驱使升降丝杆231正、反转。

在本实施例中，第一动力件232为可通过PLC程序精准控制的伺服电机，第一动力件232工作时，可以驱使升降丝杆231转动，进而带动夹持基座221稳定升降，上述设计的升降驱动单元23，结构简单，操控方便，制作、维修成本比较低。

活动夹223和固定夹222均为长条形板状，活动夹223和固定夹222相互靠近的侧面设置有防滑结构。长条形板状的活动夹223和固定夹222，可以和基板的端部具有更大的接触面积，而且防滑结构具有较大的摩擦系数，有效防止基板在被输送过程中晃动。

综上描述，本申请提供的夹持传送机构的工作过程大致如下：

基板被输送至传送机架1的接驳入口后，夹持装置2可以夹持固定基板的一端，隔挡装置4对基板的侧边具有一定隔挡限位作用，辅助传送装置5也可以接触基板的侧部，在驱动装置3和辅助传送装置5的共同带动下，基板可以稳定的从接驳入口被输送至接驳出口，然后驱动装置3驱使夹持装置2往回运动至接驳入口，复位后输送下一块基板。

本申请提供的夹持传送机构的有益技术效果大致如下：

结构简单，重量轻，震动小，输送稳定性高，而且大幅度缩短输送基板的时间，运行速度较快，提高了固晶效率和精度。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种夹持传送机构，其特征在于，包括：

传送机架(1)，所述传送机架(1)的两端部分别设置有接驳入口和接驳出口；

夹持装置(2)，滑动装配于所述传送机架(1)上，用于夹持固定基板；

驱动装置(3)，安装于所述传送机架(1)上且连接于所述夹持装置(2)，用于驱使所述夹持装置(2)在所述接驳入口和所述接驳出口之间来回滑动；

隔挡装置(4)，安装于所述传送机架(1)上，并沿所述夹持装置(2)的滑动方向布置，所述隔挡装置(4)至少位于所述夹持装置(2)的一侧；以及，

辅助传送装置(5)，安装于所述隔挡装置(4)上，用于接触所述夹持装置(2)上所夹持基板的一侧部，并辅助输送基板。

2.如权利要求1所述的夹持传送机构，其特征在于，所述夹持装置(2)包括：

滑动基座(21)，滑动装配于所述传送机架(1)上；

夹持单元(22)，沿竖直方向滑动装配于滑动基座(21)上，用于夹持固定基板；以及，

升降驱动单元(23)，安装于所述滑动基座(21)上且连接于所述夹持单元(22)，所述升降驱动单元(23)用于驱使所述夹持单元(22)升降。

3.如权利要求2所述的夹持传送机构，其特征在于，所述夹持单元(22)包括：

夹持基座(221)；

固定夹(222)，固定安装于所述夹持基座(221)上；

活动夹(223)，用于配合所述固定夹(222)以夹持固定基板；以及，

伸缩动力件(224)，安装于所述夹持基座(221)上，用于驱使所述活动夹(223)靠近或者远离所述固定夹(222)，所述活动夹(223)连接于所述伸缩动力件(224)的输出端。

4.如权利要求3所述的夹持传送机构，其特征在于，所述滑动基座(21)的侧部设置有竖向布置的第一导轨(24)，所述夹持基座(221)的侧部设置有第一滑块(25)，所述第一滑块(25)和所述第一导轨(24)滑动装配。

5.如权利要求3所述的夹持传送机构，其特征在于，所述升降驱动单元(23)包括：

升降丝杆(231)，转动装配于所述滑动基座(21)的侧部，所述升降丝杆(231)的转动轴线竖向布置，所述升降丝杆(231)贯穿所述夹持基座(221)且与所述夹持基座(221)螺纹传动装配；以及，

第一动力件(232)，安装于所述滑动基座(21)的侧部，用于驱使所述升降丝杆(231)正、反转，所述第一动力件(232)的输出端连接于所述升降丝杆(231)的一端。

6.如权利要求3所述的夹持传送机构，其特征在于，所述活动夹(223)和所述固定夹(222)均为长条形板状，所述活动夹(223)和所述固定夹(222)相互靠近的侧面设置有防滑结构。

7.如权利要求1所述的夹持传送机构，其特征在于，所述驱动装置(3)包括：

第一从动带轮(31)，转动安装于所述传送机架(1)上；

第一主动带轮(32)，转动安装于所述传送机架(1)上；

第一同步带(33)，连接于所述第一从动带轮(31)和所述第一主动带轮(32)，所述第一同步带(33)的局部和所述夹持装置(2)固定连接；以及，

第二动力件(34)，安装于所述传送机架(1)上，用于驱使所述第一主动带轮(32)正、反转，所述第二动力件(34)的输出端连接于所述第一主动带轮(32)。

8.如权利要求1所述的夹持传送机构，其特征在于，所述隔挡装置(4)包括：

固定底板(41)，安装于所述传送机架(1)上；

可调挡板(42)，滑动装配于所述固定底板(41)上，所述可调挡板(42)的滑动方向垂直于所述夹持装置(2)的滑动方向；以及，

锁紧件，用于将所述可调挡板(42)锁紧固定于所述固定底板(41)上。

9.如权利要求8所述的夹持传送机构，其特征在于，所述辅助传送装置(5)包括：

第二主动带轮(51)，转动装配于所述可调挡板(42)靠近基板的一侧部；

多个第二从动带轮(52)，转动装配于所述可调挡板(42)靠近基板的一侧部；

第二同步带(53)，连接于多个所述第二从动带轮(52)和所述第二主动带轮(51)，所述第二同步带(53)支撑输送所述夹持装置(2)上所夹持的基板的侧面；以及，

第三动力件(54)，安装于所述可调挡板(42)远离基板的一侧部，用于驱使所述第二主动带轮(51)正、反转，所述第三动力件(54)的输出端连接于所述第二主动带轮(51)。

10.如权利要求1至9任一项所述的夹持传送机构，其特征在于，所述传送机架(1)上设置有第二导轨(6)，所述夹持装置(2)上设置有第二滑块(7)，所述第二滑块(7)和所述第二导轨(6)滑动装配。

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