CN114368617A - 自动上下料装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及半导体制造设备领域,公开了一种自动上下料装置,包括基座;设于基座上的料匣、上下料机构、取料机构、送料机构、暂存台和工作台;料匣固定于料匣拖板上,暂存台设于工作台和料匣之间,暂存台分别与料匣、工作台间隔设置;上下料机构包括第一驱动模组和与第一驱动模组连接的料匣拖板,第一驱动模组驱动料匣拖板带动所述料匣上下运动以调整料匣的高度;取料机构包括第二驱动模组以及与第二驱动模组连接的夹料模组,第二驱动模组驱动夹料模组在暂存台和料匣之间往复运动;送料机构包括第三驱动模组以及与第三驱动模组连接的吸盘模组,第三驱动模组驱动吸盘模组在暂存台和工作台之间往复运动。通过上述方式,能够节约成本、提高生产效率。

Description

自动上下料装置
技术领域
本发明涉及半导体制造设备领域,具体涉及一种自动上下料装置。
背景技术
传统的材料载体(硅、玻璃、陶瓷等)一般是一层矽胶带薄膜,材料粘贴在薄膜上,而薄膜粘贴在钢圈上,因此,每次切割完成一版材料,都需要耗费一张薄膜。当材料载体为玻璃基板或其他材质的基板时,载体就可以重复利用,一定程度下降低了切割的成本。另外,目前材料加工上下料通常采用人工的方式,在输送线不同的工位上配置不同的岗位人员,导致人力成本高,同时,人工上下料容易污染材料,影响产品品质且生产效率较低。
鉴于此,克服以上现有技术中的缺陷,提供一种新的自动上下料装置成为本领域亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的上述缺陷,提供一种自动上下料装置。
本发明的目的可通过以下的技术措施来实现:
本发明提供一种自动上下料装置,包括:
基座;
设于所述基座上且用于承载物料的料匣;
设于所述基座上的上下料机构,所述上下料机构包括固定于所述基座上的第一驱动模组和与所述第一驱动模组连接的料匣拖板,所述料匣固定于所述料匣拖板上,所述第一驱动模组驱动所述料匣拖板带动所述料匣上下运动以调整所述料匣的高度;
固定于所述基座上且用于存放所述物料的暂存台和工作台,所述暂存台设于所述工作台和所述料匣之间,所述暂存台分别与所述料匣、所述工作台间隔设置;
设于所述基座上的取料机构,所述取料机构包括固定于所述基座上的第二驱动模组以及与所述第二驱动模组连接的夹料模组,所述第二驱动模组驱动所述夹料模组在所述暂存台和所述料匣之间往复运动,以将所述物料从所述料匣中取出并放置于所述暂存台上或从所述暂存台夹取所述物料并置于所述料匣中;
设于所述基座上的送料机构,所述送料机构包括固定于所述基座上的第三驱动模组以及与所述第三驱动模组连接的吸盘模组,所述第三驱动模组驱动所述吸盘模组在所述暂存台和所述工作台之间往复运动,以从所述暂存台吸取所述物料并传送到所述工作台上或从所述工作台吸取所述物料并传送到所述暂存台上。
作为本发明的一个实施例,所述料匣包括具有至少一个腔体的料匣本体、叠设于所述腔体内且用于放置所述物料的料槽以及设于所述料匣本体上且用于将所述物料固定于所述料槽中的锁紧组件。
作为本发明的一个实施例,所述暂存台包括固定于所述基座上的固定座以及至少一个设于所述固定座上且用于存放所述物料的放置区,所述放置区包括间隔设于所述固定座上的承料部以及形成于所述承料部内侧的承料槽,所述承料槽包括靠近所述料匣一端的第一切槽以及从所述第一切槽延伸至远离所述料匣一端的第二切槽,所述第一切槽的槽宽大于所述第二切槽的槽宽。
作为本发明的一个实施例,所述腔体设置多个时,所述放置区的数量与所述腔体的数量一致且所述放置区的位置与所述腔体的位置一一对应设置。
作为本发明的一个实施例,所述料匣拖板上设有用于控制所述料匣在所述料匣拖板上的位置的限位组件。
作为本发明的一个实施例,所述夹料模组还包括与所述第二驱动模组连接的第一连接组件以及与所述第一连接组件连接的夹料组件,所述第一连接组件包括与所述第二驱动模组连接的第一滑块、与第一滑块固定连接的第一固定块以及与所述第一固定块连接的第一连接臂,所述夹料组件与所述第一连接臂连接,所述第二驱动模组驱动所述第一滑块通过所述第一连接臂带动所述夹料组件在所述暂存台和所述料匣之间往复运动。
作为本发明的一个实施例,所述夹料组件包括固定于所述第一连接臂下方的气缸和与所述气缸连接的气爪,所述气缸驱动所述气爪夹取所述料匣中或所述暂存台上的所述物料。
作为本发明的一个实施例,所述吸盘模组还包括与所述第三驱动模组连接的第二连接组件以及与所述第二连接组件连接的吸盘组件,所述第三驱动模组驱动所述第二连接件带动所述吸盘组件在所述暂存台和所述工作台之间往复运动。
作为本发明的一个实施例,所述第二连接组件包括与所述第三驱动模组连接的第二滑块、与所述第二滑块固定连接的第二固定块以及与所述第二固定块连接的第二连接臂,所述吸盘组件与所述第二连接臂连接,所述第三驱动模组驱动所述第二滑块通过所述第二连接臂带动所述吸盘组件在所述暂存台和所述工作台之间往复运动。
作为本发明的一个实施例,所述吸盘组件包括固定于所述第二连接臂上方的第一安装块、活动设于所述第一安装块上的电机、与所述电机连接的丝杆、与所述丝杆固定连接且位于所述第一安装块下方的第二安装块、固定于所述第二安装块上的吸嘴以及与所述第一安装块、所述第二安装块活动连接的导向柱。
本发明的自动上下料装置通过料匣装载物料,利用上下料机构自动调整料匣的高度以使取料机构能够到达料匣中的不同位置,并结合送料机构实现物料从料匣、暂存台以及工作台之间的往复运动,从而实现自动化取料、放料以及送料,无需人工参与,节约成本、提高生产效率以及产品品质。
附图说明
图1是本发明一实施例的自动上下料装置的结构示意图;
图2是本发明一实施例的料匣的结构示意图;
图3是本发明一实施例的上下料机构的结构示意图;
图4是本发明一实施例的暂存台的结构示意图;
图5是本发明一实施例的取料机构的结构示意图;
图6是本发明一实施例的送料机构的结构示意图;
图7是本发明一实施例的物料的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
在下文中,将参考附图来更好地理解本发明的许多方面。附图中的部件未必按照比例绘制。替代地,重点在于清楚地说明本发明的部件。此外,在附图中的若干视图中,相同的附图标记指示相对应零件。
如本文所用的词语“示例性”或“说明性”表示用作示例、例子或说明。在本文中描述为“示例性”或“说明性”的任何实施方式未必理解为相对于其它实施方式是优选的或有利的。下文所描述的所有实施方式是示例性实施方式,提供这些示例性实施方式是为了使得本领域技术人员做出和使用本公开的实施例并且预期并不限制本公开的范围,本公开的范围由权利要求限定。在其它实施方式中,详细地描述了熟知的特征和方法以便不混淆本发明。出于本文描述的目的,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”和其衍生词将与如图1定向的发明有关。而且,并无意图受到前文的技术领域、背景技术、发明内容或下文的详细描述中给出的任何明示或暗示的理论限制。还应了解在附图中示出和在下文的说明书中描述的具体装置和过程是在所附权利要求中限定的发明构思的简单示例性实施例。因此,与本文所公开的实施例相关的具体尺寸和其他物理特征不应被理解为限制性的,除非权利要求书另作明确地陈述。
图1为一实施例的自动上下料装置的结构示意图,请参见图1,该自动上下料装置100包括基座10、料匣20、上下料机构30、取料机构40、送料机构50、暂存台60和工作台70,其中,上下料机构30、取料机构40、送料机构50、暂存台60和工作台70均固定于基座10上,料匣20固定与上下料机构30上,暂存台60设于工作台70和料匣20之间,暂存台60分别与料匣20、工作台70间隔设置。
在一种可实现的实施例中,如图2所示,料匣20用于承载物料200,请参见图7,该物料200包括基板载体201和放置在基板载体201上的材料202,例如玻璃,本实施例的物料200可以为待加工的物料,也可以为加工完成的物料,待加工的物料是需要从料匣中取出的物料,加工完成的物料是需要放进料匣中的物料。请参见图1和图3,上下料机构30包括固定于基座10上的第一驱动模组31和与第一驱动模组31连接的料匣拖板32,料匣20固定于料匣拖板32上,第一驱动模组31驱动料匣拖板32带动料匣20上下运动以调整料匣20的高度;请参见图1和图5,取料机构40包括固定于基座10上的第二驱动模组41以及与第二驱动模组41连接的夹料模组42,第二驱动模组41驱动夹料模组42在暂存台60和料匣20之间往复运动,以将物料200从料匣20中取出并放置于暂存台60上或从暂存台60夹取物料200并置于料匣20中;请参见图1和图6,送料机构50包括固定于基座10上的第三驱动模组51以及与第三驱动模组51连接的吸盘模组52,第三驱动模组51驱动吸盘模组52在暂存台60和工作台70之间往复运动,以从暂存台60吸取物料200并传送到工作台70上或从工作台70吸取物料200并传送到暂存台60上。
该实施例的自动上下料装置100的工作流程包括待加工的物料的自动取料、放料以及送料的工作过程以及加工完成的物料的自动取料、放料以及送料的工作过程。待加工的物料的自动取料、放料以及送料的工作过程如下:第一驱动模组31驱动料匣拖板32带动料匣20上下运动以调整料匣20的高度,使料匣20中的待加工的物料的位置与取料机构40所在的位置对齐;然后第二驱动模组41驱动夹料模组42向靠近料匣20的方向运动至取出待加工的物料,接着第二驱动模组41驱动夹料模组42向远离料匣20的方向运动至暂存台60并将所取出的待加工的物料置于暂存台60上;第三驱动模组51驱动吸盘模组52向靠近暂存台60的方向运动至暂存台60上方并吸取暂存台60上的待加工的物料,然后第三驱动模组51驱动吸盘模组52向远离暂存台60的方向运动至工作台70的上方并将所吸取的待加工的物料置于工作台70上,上述完成了待加工物料的自动取料、放料以及送料的过程。本实施例的自动取料、放料以及送料的过程可逆,加工完成的物料的自动取料、放料以及送料的工作过程如下:工作台70上的待加工物料加工完成后,吸盘模组52吸取工作台70上的加工完成的物料,第三驱动模组51驱动吸盘模组52向靠近暂存台60的方向运动至暂存台60上方,将加工完成的物料置于暂存台60上,夹料模组42夹取暂存台60上的加工完成的物料,第二驱动模组41驱动夹料模组42向靠近料匣20的方向运动至将加工完成的物料置于料匣20中,上述完成了加工完成的物料的自动取料、放料以及送料的过程。
本实施例的自动上下料装置100通过料匣20装载物料200,利用上下料机构30自动调整料匣20的高度以使取料机构40能够到达料匣20中的不同位置,并结合送料机构50实现物料200从料匣20、暂存台60以及工作台70之间的往复运动,从而实现自动化取料、放料以及送料,无需人工参与,节约成本、提高生产效率以及产品品质。
在一种可实现的实施例中,请参见图2,料匣20包括具有至少一个腔体21的料匣本体22、叠设于腔体21内且用于放置物料200的料槽23以及设于料匣本体22上且用于将物料200固定于料槽23中的锁紧组件24。本实施例的料匣本体22一体成型,料匣本体22的正面和背面与外界贯通,腔体21在横向上可扩展,相邻两个腔体21之间完全分隔;料槽23形成于构成腔体21的壁体上,料槽23在纵向上可扩展,相邻两个料槽23间隔设置。进一步地,请参见图1和图2,料匣本体22的正面正对暂存台60,锁紧组件24活动设于料匣本体22的正面,在待取料状态时,锁紧组件24处于关闭状态,防止物料200从料匣20的正面中脱出,在取料状态时,锁紧组件24处于打开状态,以便物料200能够从料匣20的正面取出。
在一种可实现的实施例中,请参见图1和图4,暂存台60包括固定于基座10上的固定座61以及至少一个设于固定座61上且用于存放物料的放置区62。作为一种实施例,固定座61包括固定于基座10上的固定柱611、设于固定柱611上的座体612、间隔设于座体612上的凸台613和形成于凸台613之间的凹槽614。本实施例的,凸台613的设置数量与放置区62的数量相关。放置区62包括设于凸台613上的承料部621以及形成于承料部621内侧的承料槽622,承料槽622包括靠近料匣52一端的第一切槽6221以及从第一切槽6221延伸至远离料匣20一端的第二切槽6222,第一切槽6221的槽宽大于第二切槽6222的槽宽。取料机构40从料匣20上取料时,当夹料模组42夹取到物料200时,第二驱动模组41驱动夹料模组42向靠近暂存台60的方向运动的过程中,带动物料200先沿着第一切槽6221拖入承料槽622中,然后沿着第二切槽6222到达存放位置。本实施例的第一切槽6221和第二切槽6222起导向作用,第一切槽6221的槽宽大于第二切槽6222的槽宽便于物料200快速进入承料槽622,从而提高生产效率。
在一种可实现的实施例中,腔体21设置多个时,放置区62的数量与腔体21的数量一致且放置区62的位置与腔体21的位置一一对应设置。例如,腔体21设置两个,则暂存台60上的放置区62对应设置两个,并且一个放置区62对应一个腔体21,以使暂存台60与料匣20中物料200的位置能够精确对接,在取放物料200过程中,无需调整料匣20的左右方向的位置,只需调整上下方向的位置,提高定位效率。
在一种可实现的实施例中,请参见图5,夹料模组42还包括与第二驱动模组41连接的第一连接组件421以及与第一连接组件421连接的夹料组件422,第一连接组件421包括与第二驱动模组41连接的第一滑块4211、与第一滑块4211固定连接的第一固定块4212以及与第一固定块4212连接的第一连接臂4213,夹料组件422与第一连接臂4213连接,第二驱动模组41驱动第一滑块4211通过第一连接臂4213带动夹料组件422在暂存台60和料匣20之间往复运动。本实施例的第二驱动模组41可以为丝杆电机。
请参见图5,夹料组件422包括固定于第一连接臂4213下方的气缸4221和与气缸4221连接的气爪4222,气缸4221驱动气爪4222夹取料匣20中或暂存台60上的物料200。本实施例的夹料组件422的数量与放置区62的数量相同,且夹料组件422与放置区62一一对应设置,即一个夹料组件422对应一个放置区62。
在一种可实现的实施例中,请参见图6,吸盘模组52还包括与第三驱动模组51连接的第二连接组件521以及与第二连接组件521连接的吸盘组件522,第三驱动模组51驱动第二连接件521带动吸盘组件522在暂存台60和工作台70之间往复运动。本实施例的第三驱动模组51可以为丝杆电机。
请参见图6,第二连接组件521包括与第三驱动模组51连接的第二滑块5211、与第二滑块5211固定连接的第二固定块5212以及与第二固定块5212连接的第二连接臂5213,吸盘组件522与第二连接臂5213连接,第三驱动模组51驱动第二滑块5211通过第二连接臂5213带动吸盘组件522在暂存台60和工作台70之间往复运动。
请参见图6,吸盘组件522包括固定于第二连接臂5213上方的第一安装块5221、活动设于第一安装块5221上的电机5222、与电机5222连接的丝杆5223、与丝杆523固定连接且位于第一安装块5221下方的第二安装块5224、固定于第二安装块5224上的吸嘴5225以及与第一安装块5221、第二安装块5224活动连接的导向柱5226。本实施例的吸盘组件522的数量与放置区62的数量相同,且吸盘组件522与放置区62一一对应设置,即一个吸盘组件522对应一个放置区62。本实施例的电机5222驱动丝杆5223带动第二安装块5224在导向柱5226的做下作上下运动,从而带动固定于第二安装块5224上的吸嘴5225做上下运动。
在一种可实现的实施例中,如图1所示,料匣拖板32上设有用于控制料匣20在料匣拖板32上的位置的限位组件321,限位组件321能够固定料匣20在料匣拖板32的位置,防止在取料、放料过程中料匣20的位置发生改变,导致取料或放料错误,甚至失败。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种自动上下料装置,其特征在于,包括:
基座;
设于所述基座上且用于承载物料的料匣;
设于所述基座上的上下料机构,所述上下料机构包括固定于所述基座上的第一驱动模组和与所述第一驱动模组连接的料匣拖板,所述料匣固定于所述料匣拖板上,所述第一驱动模组驱动所述料匣拖板带动所述料匣上下运动以调整所述料匣的高度;
固定于所述基座上且用于存放所述物料的暂存台和工作台,所述暂存台设于所述工作台和所述料匣之间,所述暂存台分别与所述料匣、所述工作台间隔设置;
设于所述基座上的取料机构,所述取料机构包括固定于所述基座上的第二驱动模组以及与所述第二驱动模组连接的夹料模组,所述第二驱动模组驱动所述夹料模组在所述暂存台和所述料匣之间往复运动,以将所述物料从所述料匣中取出并放置于所述暂存台上或从所述暂存台夹取所述物料并置于所述料匣中;
设于所述基座上的送料机构,所述送料机构包括固定于所述基座上的第三驱动模组以及与所述第三驱动模组连接的吸盘模组,所述第三驱动模组驱动所述吸盘模组在所述暂存台和所述工作台之间往复运动,以从所述暂存台吸取所述物料并传送到所述工作台上或从所述工作台吸取所述物料并传送到所述暂存台上。
2.根据权利要求1所述的自动上下料装置,其特征在于,所述料匣包括具有至少一个腔体的料匣本体、叠设于所述腔体内且用于放置所述物料的料槽以及设于所述料匣本体上且用于将所述物料固定于所述料槽中的锁紧组件。
3.根据权利要求2所述的自动上下料装置,其特征在于,所述暂存台包括固定于所述基座上的固定座以及至少一个设于所述固定座上且用于存放所述物料的放置区,所述放置区包括间隔设于所述固定座上的承料部以及形成于所述承料部内侧的承料槽,所述承料槽包括靠近所述料匣一端的第一切槽以及从所述第一切槽延伸至远离所述料匣一端的第二切槽,所述第一切槽的槽宽大于所述第二切槽的槽宽。
4.根据权利要求3所述的自动上下料装置,其特征在于,所述腔体设置多个时,所述放置区的数量与所述腔体的数量一致且所述放置区的位置与所述腔体的位置一一对应设置。
5.根据权利要求1所述的自动上下料装置,其特征在于,所述料匣拖板上设有用于控制所述料匣在所述料匣拖板上的位置的限位组件。
6.根据权利要求1所述的自动上下料装置,其特征在于,所述夹料模组还包括与所述第二驱动模组连接的第一连接组件以及与所述第一连接组件连接的夹料组件,所述第一连接组件包括与所述第二驱动模组连接的第一滑块、与第一滑块固定连接的第一固定块以及与所述第一固定块连接的第一连接臂,所述夹料组件与所述第一连接臂连接,所述第二驱动模组驱动所述第一滑块通过所述第一连接臂带动所述夹料组件在所述暂存台和所述料匣之间往复运动。
7.根据权利要求6所述的自动上下料装置,其特征在于,所述夹料组件包括固定于所述第一连接臂下方的气缸和与所述气缸连接的气爪,所述气缸驱动所述气爪夹取所述料匣中或所述暂存台上的所述物料。
8.根据权利要求1所述的自动上下料装置,其特征在于,所述吸盘模组还包括与所述第三驱动模组连接的第二连接组件以及与所述第二连接组件连接的吸盘组件,所述第三驱动模组驱动所述第二连接件带动所述吸盘组件在所述暂存台和所述工作台之间往复运动。
9.根据权利要求8所述的自动上下料装置,其特征在于,所述第二连接组件包括与所述第三驱动模组连接的第二滑块、与所述第二滑块固定连接的第二固定块以及与所述第二固定块连接的第二连接臂,所述吸盘组件与所述第二连接臂连接,所述第三驱动模组驱动所述第二滑块通过所述第二连接臂带动所述吸盘组件在所述暂存台和所述工作台之间往复运动。
10.根据权利要求9所述的自动上下料装置,其特征在于,所述吸盘组件包括固定于所述第二连接臂上方的第一安装块、活动设于所述第一安装块上的电机、与所述电机连接的丝杆、与所述丝杆固定连接且位于所述第一安装块下方的第二安装块、固定于所述第二安装块上的吸嘴以及与所述第一安装块、所述第二安装块活动连接的导向柱。
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