CN107993970B - 硅片输送系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种硅片输送系统，包括花篮上下料机构、用于固定花篮且带动花篮上下移动的升降机构以及硅片运载轨道、硅片缓存机构、六轴机械手、吸盘组件，所述硅片运载轨道的数量为四个，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置。当需要运载外侧硅片运载轨道上的硅片时，丝杠将硅片缓存机构上的收料盒推出，缩短收料盒和六轴机械手的距离，当取片完成，收料盒归位，不阻碍机械手的运动。从而提高整体的工作效率，减少设备占地体积，且本发明可以实现硅片装载进入石墨舟的自动化运动，减少人工。
Description
技术领域
本发明涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种硅片输送系统。
背景技术
目前在使用太阳能硅片制绒、刻蚀、扩散等机对太阳能硅片进行处理的过程中，上下料台往往需要通过人工进行，将一叠硅片通过人工或机械的方式导入花篮中，然后人工将花篮转移至上料台上，花篮中经过处理工艺后，将被传送至下料台，然后人工转移至下料导片机。
这个过程一般依赖人工，导致产能低的同时，人工操作过程中容易损坏硅片以及对硅片造成污染。而现有的上料导片机及下料导片机通常是吸盘式的，吸盘可以固定在一个六轴机械手上，六轴机械手行程方式复杂，且六轴机械手量程有限，因此一个六轴机械手一般可以同时运载两到三个硅片运载轨道上的硅片，效率较低。若要增加轨道数量，则需要增加六轴机械手的量程，成本增加。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种机械化程度高、且布局合理，可以提高六轴机械手效率的硅片输送系统。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种硅片输送系统，包括花篮上下料机构、用于固定花篮且带动花篮上下移动的升降机构以及硅片运载轨道，每个硅片运载轨道的一端伸入一个升降机构的花篮中取片，另一端设置有硅片缓存机构，且伸入该硅片缓存机构中将硅片运载至硅片缓存机构中，硅片运载轨道的端部外侧还设置与之垂直的石墨舟轨道以及石墨舟，在石墨舟轨道的外侧还设置有一个六轴机械手，六轴机械手的端部设有吸盘组件，所述硅片运载轨道的数量为四个，互相平行且端部对齐，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，其到内侧的两个硅片运载轨道的距离也相同，硅片缓存机构内设置有个多个硅片槽用于放置硅片，所述吸盘组件上设置与若干个吸盘，吸盘的间距与硅片缓存机构内的硅片槽的间距相同，且吸盘可伸入硅片槽中用于吸附硅片，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置。
进一步的，所述花篮上下料机构包括载片花篮轨道和空花篮轨道，所述载片花篮轨道位于空花篮轨道正上方，升降机构位于花篮上下料机构的端部，升降机构中设置有花篮固定装置以及上下滑轨，花篮固定装置可在上下滑轨上下滑动。
进一步的，所述石墨舟轨道的两侧设置有可沿垂直石墨舟轨道方向来回移动的用于固定石墨舟的限位机构。
进一步的，所限机构包括滑轨以及支架，支架在丝杆作用下可沿滑轨滑动，支架上设置有若干个水平的导柱，导柱的另一个端固定设置限位条上，该限位条竖直设置，导柱位于支架与限位条之间的部分套装有弹簧，且导柱与支架滑动配合。
进一步的，位于外侧两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构包括竖直导轨以及可在竖直导轨上进行上下滑动的底座，在底座上设置有水平滑轨以及收料盒，收料盒可在丝杠作用下沿水平滑轨滑动，收料盒中设置有硅片槽用于缓存硅片。
进一步的，所述吸盘包括吸盘本体，吸盘本体上设置有若个中空部，中空部从吸盘本体的正面贯穿至反面，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘本体，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸盘本体的顶部设置有一个主气道，主气道连接若干个气嘴，气嘴通过气管连通吸嘴，所述吸盘本体上设置有若干个凹槽，气嘴位于凹槽中且与凹槽一一对应，凹槽连通中空部，所述吸盘本体的上顶面还设置有两个螺孔，用于将吸盘本体固定在外部设备上。
从上述技术方案可以看出本发明具有以下优点：六轴机械手的最大量程可以为其到内侧两个硅片运载轨道的距离，当需要运载外侧硅片运载轨道上的硅片时，丝杠将硅片缓存机构上的收料盒推出，缩短收料盒和六轴机械手的距离，当取片完成，收料盒归位，不阻碍机械手的运动，从而提高整体的工作效率，布局合理，减少设备占地体积，且本发明可以实现硅片装载进入石墨舟的自动化运动，减少人工。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明俯视图；
图3为本发明中升降机构的结构示意图；
图4为本发明中限位机构的结构示意图；
图5为本发明中硅片缓存机构的结构示意图；
图6为本发明中吸盘的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式做详细说明。
如图1、2所示，本发明的硅片输送系统，包括花篮上下料机构10、用于固定花篮且带动花篮上下移动的升降机构20以及四个硅片运载轨道30，每个硅片运载轨道30的一端伸入一个升降机构20的花篮中取片，另一端设置有硅片缓存机构40，且伸入该硅片缓存机构40中将硅片运载至硅片缓存机构中，硅片运载轨道30的端部外侧还设置与之垂直的石墨舟轨道50以及石墨舟60，在石墨舟轨道50的外侧还设置有一个六轴机械手70，六轴机械手70的端部设有吸盘组件80，所述硅片运载轨道30的数量为四个，互相平行且端部对齐，所述六轴机械手70的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，其到内侧的两个硅片运载轨道的距离也相同，硅片缓存机构40内设置有个多个硅片槽用于放置硅片，所述吸盘组件上设置与若干个吸盘，吸盘的间距与硅片缓存机构内的硅片槽的间距相同，且吸盘可伸入硅片槽中用于吸附硅片，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置。
所述花篮上下料机构包括载片花篮轨道11和空花篮轨道12，所述载片花篮轨道11位于空花篮轨道12正上方，升降机构20位于花篮上下料机构的端部，升降机构20如图3所示中，其花篮固定装置21以及上下滑轨23，花篮固定装置可在上下滑轨上下滑动，硅片运载轨道伸入花篮中没抽取一个硅片，花篮固定装置下降一个槽距。装载硅片的花篮从载片花篮轨道的一端上料，进入升降机构中，并随花篮固定装置下降，当花篮中的硅片抽取完毕后，花篮进入空花篮轨道12将其运出。
如图4所示，所述石墨舟轨道50的两侧设置有可沿垂直石墨舟轨道方向来回移动的用于固定石墨舟的限位机构90。所限机构包括滑轨91以及支架92，支架92在丝杆作用下可沿滑轨91滑动，支架92上设置有若干个水平的导柱93，导柱93的另一个端固定设置限位条95上，该限位条95竖直设置，导柱93位于支架与限位条之间的部分套装有弹簧94，且导柱与支架92滑动配合。在石墨舟装载硅片时，该限位机构对石墨舟进行固定。
位于外侧两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构如图5所示，包括竖直导轨41以及可在竖直导轨41上进行上下滑动的底座42，在底座42上设置有水平滑轨43以及收料盒44，收料盒44可在丝杠45作用下沿水平滑轨滑动，收料盒44中设置有硅片槽用于缓存硅片。
六轴机械手的最大量程可以为其到内侧两个硅片运载轨道的距离，当需要运载外侧硅片运载轨道上的硅片时，丝杠将硅片缓存机构上的收料盒推出，缩短收料盒和六轴机械手的距离，当取片完成，收料盒归位，不阻碍机械手的运动。从而提高整体的工作效率，减少设备占地体积，且本发明可以实现硅片装载进入石墨舟的自动化运动，减少人工。
如图6所示，吸盘包括吸盘本体6，吸盘本体6上设置有3个中空部2，中空部2从吸盘本体6的正面贯穿至反面，每个中空部中设置有一个吸嘴3，吸嘴3的拐角处通过挂钩弹簧1连接吸盘本体6，挂钩弹簧1的两端均设置有挂钩，在吸盘本体的四个拐角处设置有挂环，吸盘本体6上相应位置也设置挂环结构，挂钩弹簧1的两端分别设置吸嘴3以及吸盘本体6的挂环上，每个吸嘴3配置四个挂钩弹簧1，挂钩弹簧1两两对称设置，利用挂钩弹簧1将吸嘴3进行悬挂，在初始装置下，挂钩弹簧1以及吸嘴的吸附面均与吸盘平行设置。在吸附过程中，吸嘴3的吸附面与挂钩弹簧1摆动轨迹形成的平面垂直设置。采用该吸盘吸附硅片时，当吸盘发生抖动时，挂钩弹簧可以起到缓冲作用，减少吸嘴与吸盘的碰撞动量，从而保护硅片。吸盘本体6的顶部设置有一个主气道8(主气道位于吸盘本体内部部分未画出)，主气道8连接若干个气嘴7，气嘴7固定在吸盘本体6上，气嘴7可通过气管连通吸嘴3上的气管接头4。吸盘本体6上还设置有若3个凹槽5，气嘴7位于凹槽中且与凹槽5一一对应，凹槽5连通中空部，凹槽5用于布置连通气嘴与吸嘴的气管。
Claims (2)
1.一种硅片输送系统，其特征在于：包括花篮上下料机构、用于固定花篮且带动花篮上下移动的升降机构以及硅片运载轨道，每个硅片运载轨道的一端伸入一个升降机构的花篮中取片，另一端设置有硅片缓存机构，且伸入该硅片缓存机构中将硅片运载至硅片缓存机构中，硅片运载轨道的端部外侧还设置与之垂直的石墨舟轨道以及石墨舟，在石墨舟轨道的外侧还设置有一个六轴机械手，六轴机械手的端部设有吸盘组件，所述硅片运载轨道的数量为四个，互相平行且端部对齐，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，其到内侧的两个硅片运载轨道的距离也相同，硅片缓存机构内设置有个多个硅片槽用于放置硅片，所述吸盘组件上设置与若干个吸盘，吸盘的间距与硅片缓存机构内的硅片槽的间距相同，且吸盘可伸入硅片槽中用于吸附硅片，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置；
所述石墨舟轨道的两侧设置有可沿垂直石墨舟轨道方向来回移动的用于固定石墨舟的限位机构；所限机构包括滑轨以及支架，支架在丝杆作用下可沿滑轨滑动，支架上设置有若干个水平的导柱，导柱的另一个端固定设置限位条上，该限位条竖直设置，导柱位于支架与限位条之间的部分套装有弹簧，且导柱与支架滑动配合；
所述吸盘包括吸盘本体，吸盘本体上设置有若个中空部，中空部从吸盘本体的正面贯穿至反面，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘本体，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸盘本体的顶部设置有一个主气道，主气道连接若干个气嘴，气嘴通过气管连通吸嘴，所述吸盘本体上设置有若干个凹槽，气嘴位于凹槽中且与凹槽一一对应，凹槽连通中空部，所述吸盘本体的上顶面还设置有两个螺孔，用于将吸盘本体固定在外部设备上；
位于外侧两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构包括竖直导轨以及可在竖直导轨上进行上下滑动的底座，在底座上设置有水平滑轨以及收料盒，收料盒可在丝杠作用下沿水平滑轨滑动，收料盒中设置有硅片槽用于缓存硅片。
2.根据权利要求1所述的硅片输送系统，其特征在于：所述花篮上下料机构包括载片花篮轨道和空花篮轨道，所述载片花篮轨道位于空花篮轨道正上方，升降机构位于花篮上下料机构的端部，升降机构中设置有花篮固定装置以及上下滑轨，花篮固定装置可在上下滑轨上下滑动。
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: No.208 Changjiang East Road, Shuofang, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000 Applicant after: Wuxi Jiangsong Technology Co.,Ltd. Address before: 214028 plot c20-2, phase V, Shuofang industrial concentration zone, Wuxi New Area, Wuxi City, Jiangsu Province Applicant before: WUXI JIANGSONG SCIENCE AND TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
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| CB02 | Change of applicant information | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |