CN106435521A - 用于石墨舟设备的硅片取放装置 - Google Patents

用于石墨舟设备的硅片取放装置 Download PDF

Info

Publication number
CN106435521A
CN106435521A CN201611159455.3A CN201611159455A CN106435521A CN 106435521 A CN106435521 A CN 106435521A CN 201611159455 A CN201611159455 A CN 201611159455A CN 106435521 A CN106435521 A CN 106435521A
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon chip
graphite boat
fixed
silicon
baffle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201611159455.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106435521B (zh
Inventor
陈五奎
刘强
冯加保
耿荣军
任超
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leshan Topraycell Co Ltd
Original Assignee
Leshan Topraycell Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leshan Topraycell Co Ltd filed Critical Leshan Topraycell Co Ltd
Priority to CN201611159455.3A priority Critical patent/CN106435521B/zh
Publication of CN106435521A publication Critical patent/CN106435521A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106435521B publication Critical patent/CN106435521B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C23C16/345—Silicon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本发明公开了一种工作效率较高的用于石墨舟设备的硅片取放装置。该用于石墨舟设备的硅片取放装置，包括支架，所述支架上设置有托架，所述托架用于放置石墨舟，所述托架上方设置有用于取放硅片的机械手，所述支架上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒与硅片下料盒，该用于石墨舟设备的硅片取放装置在工作时，只需将石墨舟放置在托架的指定位置，然后利用机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒内，可以实现生产的机械化和自动化，取缔人工单调、繁复的体力劳动，大大降低了工人的劳动强度，而且每次取出和放入的硅片数量较多，大大提高了工作效率。适合在硅片加工设备领域推广应用。

Description

用于石墨舟设备的硅片取放装置
技术领域
本发明涉及硅片加工设备领域，尤其是一种用于石墨舟设备的硅片取放装置。
背景技术
由于太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，为了减少太阳光的反射损失，通常所采取的办法是在太阳能电池的硅片表面覆盖一层减反射膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，增加光电转换效率，在晶体硅表面淀积减反射膜技术中，氮化硅膜具有高绝缘性、化学稳定性好、致密性好、硬度高等特点，同时具有良好的掩蔽金属和水离子沉积的能力，从而被广泛采用。
在晶体硅太阳能电池制造过程中，制备氮化硅膜通常采用等离子体增强化学气相沉积法，简称为PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，PECVD是利用强电场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些基团经过经一系列化学和等离子体反应，在硅片表面形成固态薄膜。
目前，在晶体硅太阳能电池制造过程中，用于制备氮化硅膜的装置主要包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，硅片放置于石墨舟上，真空沉积室上设有进气口与排气口，所述进气口上连接有用于通入制程气体的进气管，所述排气口上连接有排放管，排放管末端连接有真空泵，真空泵的进口与排放管的出口相连，真空泵的出口连接有尾排管，其中，在将硅片放置于石墨舟上或将硅片从石墨舟内取出时通过人工实现硅片的取放，这是一种单调、重复的体力劳动，效率非常低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种工作效率较高的用于石墨舟设备的硅片取放装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：该用于石墨舟设备的硅片取放装置，包括支架，所述支架上设置有托架，所述托架用于放置石墨舟，所述托架上方设置有用于取放硅片的机械手，所述支架上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒与硅片下料盒，所述机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒内；
所述机械手包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨，两个第一滑轨固定在支架上，所述移动平台的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽，两个第一滑轨分别卡入两个第一滑槽内，所述移动平台上连接有用于使移动平台来回移动的第一驱动装置，所述移动平台的上表面设置有第二滑槽，所述第二滑槽与第一滑槽互相垂直，所述第二滑槽内设置有第一滑块，所述第一滑块沿第二滑槽来回滑动，所述第二滑槽内设置有用于使第一滑块来回移动的第二驱动装置，所述第一滑块上固定有第一支撑板，所述第一支撑板水平设置，所述第一支撑板的下表面固定有第一U形支撑架，所述第一支撑板与第一U形支撑架围成第一通孔，所述移动平台穿过第一通孔，所述第一U形支撑架的底部固定有第二支撑板，所述第二支撑板竖直设置，所述第二支撑板的一侧设置有第一支撑杆，所述第二支撑板上设置有用于使第一支撑杆上下移动的第三驱动装置，所述第一支撑杆上固定有第一支撑架，所述第一支撑架上设置有第一转动轴，所述第一转动轴通过轴承固定在第一支撑架上，所述第一支撑架上设置有用于使第一转动轴转动的第四驱动装置，所述第一转动轴的末端连接有硅片吸取装置；
所述硅片吸取装置包括底座，所述底座的一侧表面固定在第一转动轴的末端，底座的另一侧表面固定有多个卡板，多个卡板依次平行设置，相邻的两个卡板之间的间距与石墨舟的两个相邻的石墨板的间距相同，且卡板的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每个卡板上设置有多个通孔，每个通孔的边缘设置有多个固定孔，每个固定孔内设置有一个固定板，所述固定板的厚度小于卡板的厚度，每个通孔中心设置有吸盘，吸盘上连接有多个弹簧，多个弹簧与多个固定孔一一对应，弹簧的一端固定在吸盘上，另一端固定在固定板上，所述卡板的一侧表面设置有多个导线槽，导线槽的数量与通孔的数量相同，每个导线槽与一个通孔连通，导线槽内设置有压缩空气管，压缩空气管的一端与空气压缩机相连，另一端与吸盘相连，所述吸盘、多个弹簧、每个固定孔内的固定板、每个导线槽内的压缩空气管均位于卡板的两个表面组成的间隙空间内；
所述硅片上料盒包括底板，所述底板的上表面设置有第一挡板与第二挡板，所述第一挡板与第二挡板平行设置，所述第一挡板朝向第二挡板的一侧表面设置有多个第一卡槽，所述第二挡板朝向第一挡板的一侧表面设置有多个第二卡槽，多个第一卡槽与多个第二卡槽一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽内，硅片的另一端卡入与第一卡槽对应的第二卡槽内，所述相邻的两个第一卡槽之间的间距与相邻的两个卡板之间的间距相同，所述第一卡槽的数量与卡板的数量相同，所述硅片下料盒与硅片上料盒的结构相同。
进一步的是，所述第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置均为电动推杆。
进一步的是，所述第四驱动装置为旋转电机。
进一步的是，每个卡板上通孔的数量为三个，且三个通孔的中心组成一个等腰三角形。
进一步的是，所述第一挡板的上端与第二挡板的上端通过U形连接板相连。
进一步的是，所述可拆卸装置为卡扣。
本发明的有益效果是：该用于石墨舟设备的硅片取放装置在工作时，只需将石墨舟放置在托架的指定位置，然后利用机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒内，可以实现生产的机械化和自动化，取缔人工单调、繁复的体力劳动，大大降低了工人的劳动强度，节约了人力成本，而且每次取出和放入的硅片数量较多，大大提高了工作效率。
附图说明
图1本发明所述用于石墨舟设备的硅片取放装置的结构示意图；
图2本发明所述机械手的部分结构示意图；
图3是本发明所述硅片吸取装置的结构示意图；
图4是本发明所述卡板的结构示意图；
图5是本发明所述硅片上料盒的结构示意图；
图中标记说明：支架 1、托架 2、机械手 3、移动平台 301、第一滑轨 302、第一滑槽 303、第一驱动装置 304、第二滑槽 305、第一滑块 306、第二驱动装置 307、第一支撑板308、第一U形支撑架 309、第一通孔 310、第二支撑板 311、第一支撑杆 312、第三驱动装置313、第一支撑架 314、第一转动轴 315、第四驱动装置 316、硅片吸取装置 317、底座31701、卡板 31702、固定孔 31703、固定板 31704、吸盘 31705、弹簧 31706、导线槽31707、压缩空气管 31708、硅片上料盒 4、底板 401、第一挡板 402、第二挡板 403、第一卡槽 404、第二卡槽 405、U形连接板 406、硅片下料盒 5。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进一步说明。
如图1至5所示，该用于石墨舟设备的硅片取放装置，包括支架1，所述支架1上设置有托架2，所述托架2用于放置石墨舟，所述托架2上方设置有用于取放硅片的机械手3，所述支架1上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒4与硅片下料盒5，所述机械手3将硅片上料盒4内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒5内；所述机械手3包括移动平台301、两个互相平行设置的第一滑轨302，两个第一滑轨302固定在支架1上，所述移动平台301的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽303，两个第一滑轨302分别卡入两个第一滑槽303内，所述移动平台301上连接有用于使移动平台301来回移动的第一驱动装置304，所述移动平台301的上表面设置有第二滑槽305，所述第二滑槽305与第一滑槽303互相垂直，所述第二滑槽305内设置有第一滑块306，所述第一滑块306沿第二滑槽305来回滑动，所述第二滑槽305内设置有用于使第一滑块306来回移动的第二驱动装置307，所述第一滑块306上固定有第一支撑板308，所述第一支撑板308水平设置，所述第一支撑板308的下表面固定有第一U形支撑架309，所述第一支撑板308与第一U形支撑架309围成第一通孔310，所述移动平台301穿过第一通孔310，所述第一U形支撑架309的底部固定有第二支撑板311，所述第二支撑板311竖直设置，所述第二支撑板311的一侧设置有第一支撑杆312312，所述第二支撑板311上设置有用于使第一支撑杆312312上下移动的第三驱动装置313，所述第一支撑杆312312上固定有第一支撑架314，所述第一支撑架314上设置有第一转动轴315，所述第一转动轴315通过轴承固定在第一支撑架314上，所述第一支撑架314上设置有用于使第一转动轴315转动的第四驱动装置316，所述第一转动轴315的末端连接有硅片吸取装置317；所述硅片吸取装置317包括底座31701，所述底座31701的一侧表面固定在第一转动轴315的末端，底座31701的另一侧表面固定有多个卡板31702，多个卡板31702依次平行设置，相邻的两个卡板31702之间的间距与石墨舟的两个相邻的石墨板的间距相同，且卡板31702的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每个卡板31702上设置有多个通孔，每个通孔的边缘设置有多个固定孔31703，每个固定孔31703内设置有一个固定板31704，所述固定板31704的厚度小于卡板31702的厚度，每个通孔中心设置有吸盘31705，吸盘31705上连接有多个弹簧31706，多个弹簧31706与多个固定孔31703一一对应，弹簧31706的一端固定在吸盘31705上，另一端固定在固定板31704上，所述卡板31702的一侧表面设置有多个导线槽31707，导线槽31707的数量与通孔的数量相同，每个导线槽31707与一个通孔连通，导线槽31707内设置有压缩空气管31708，压缩空气管31708的一端与空气压缩机相连，另一端与吸盘31705相连，所述吸盘31705、多个弹簧31706、每个固定孔31703内的固定板31704、每个导线槽31707内的压缩空气管31708均位于卡板31702的两个表面组成的间隙空间内；所述硅片上料盒4包括底板401，所述底板401的上表面设置有第一挡板402与第二挡板403，所述第一挡板402与第二挡板403平行设置，所述第一挡板402朝向第二挡板403的一侧表面设置有多个第一卡槽404，所述第二挡板403朝向第一挡板402的一侧表面设置有多个第二卡槽405，多个第一卡槽404与多个第二卡槽405一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽404内，硅片的另一端卡入与第一卡槽404对应的第二卡槽405内，所述相邻的两个第一卡槽404之间的间距与相邻的两个卡板31702之间的间距相同，所述第一卡槽404的数量与卡板31702的数量相同，所述硅片下料盒5与硅片上料盒4的结构相同。该用于石墨舟设备的硅片取放装置的工作原理如下所述：在需要将硅片放入石墨舟时，首先将石墨舟放置在托架2的指定位置，并将空的硅片上料盒4从支架1上取下，换上装满硅片的硅片上料盒4，由于相邻的两个第一卡槽404之间的间距与相邻的两个卡板31702之间的间距相同，因此可以控制第一驱动装置304、第二驱动装置307、第三驱动装置313、第四驱动装置316使每个卡板31702均插入硅片上料盒4内相邻的两个硅片之间，且由于第一卡槽404的数量与卡板31702的数量相同，每个硅片都会对应一个卡板31702，此时空气压缩机工作，每个吸盘31705将与之对应的硅片吸住，由于相邻的两个卡板31702之间的间距与石墨舟的两个相邻的石墨板的间距相同，因此控制第一驱动装置304、第二驱动装置307、第三驱动装置313、第四驱动装置316可以使卡板31702从硅片上料盒4内取出并插入石墨舟内相邻的石墨板之间，同时将空的硅片上料盒4取下换上装满硅片的硅片上料盒4，此时空气压缩机停止工作，每个吸盘31705将与之对应的硅片松开，硅片落入石墨舟内，由于卡板31702的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每次可以放置一排硅片，然后控制第一驱动装置304、第二驱动装置307、第三驱动装置313、第四驱动装置316使卡板31702从石墨舟内取出并插入硅片上料盒4内相邻的两个硅片之间，进行下一次硅片放置，重复上述过程便可以将硅片依次放入石墨舟内，而且通过第一驱动装置304、第二驱动装置307、第三驱动装置313可以控制卡板31702的上下左右前后三个方向的位移，通过第四驱动装置316控制卡板31702的转动，从而实现卡板31702的精确定位，在需要将硅片从石墨舟取出时，首先控制第一驱动装置304、第二驱动装置307、第三驱动装置313、第四驱动装置316使每个卡板31702均插入石墨舟内相邻的石墨板之间，此时空气压缩机工作，每个吸盘31705将与之对应的硅片吸住，由于卡板31702的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每次可以取出一排硅片，然后再控制第一驱动装置304、第二驱动装置307、第三驱动装置313、第四驱动装置316使卡板31702从石墨舟内取出并插入硅片下料盒5内，并且使每个硅片的两端都插入一个第一卡槽404和第二卡槽405内，此时空气压缩机停止工作，每个吸盘31705将与之对应的硅片松开，硅片落入硅片上料盒4内，同时将满的硅片下料盒5取下换上空的硅片下料盒5，再控制第一驱动装置304、第二驱动装置307、第三驱动装置313、第四驱动装置316使卡板31702从硅片下料盒5内取出并插入石墨舟内具有硅片的石墨板之间，进行下一次硅片取出，重复上述过程便可以将硅片依次取出石墨舟并放入硅片下料盒5内，整个过程可以自动进行，可以实现生产的机械化和自动化，取缔人工单调、繁复的体力劳动，大大降低了工人的劳动强度，而且每次取出和放入的硅片数量较多，大大提高了工作效率。
在上述实施方式中，所述第一驱动装置304、第二驱动装置307、第三驱动装置313均为电动推杆，所述第四驱动装置316为旋转电机。这样便可以通过PLC控制程序对第一驱动装置304、第二驱动装置307、第三驱动装置313、第四驱动装置316进行参数的自由设置，可以实现精确控制，且省时又省力。
为了使硅片吸取装置317在移动过程中避免发生硅片掉落，每个卡板31702上通孔的数量为三个，且三个通孔的中心组成一个等腰三角形，这样每个硅片用三个吸盘31705将其吸住，且吸盘31705组成一个等腰三角形，其吸力均匀可以牢牢将硅片吸住，避免发生硅片掉落。
为了保证硅片上料盒4与硅片下料盒5的结构稳定性，所述第一挡板402的上端与第二挡板403的上端通过U形连接板406相连。
为了方便将硅片上料盒4与硅片下料盒5安装在支架1上，同是也便于将其拆卸下来，所述可拆卸装置优选为卡扣。

Claims (6)

1.用于石墨舟设备的硅片取放装置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)上设置有托架(2)，所述托架(2)用于放置石墨舟，所述托架(2)上方设置有用于取放硅片的机械手(3)，所述支架(1)上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒(4)与硅片下料盒(5)，所述机械手(3)将硅片上料盒(4)内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒(5)内；
所述机械手(3)包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨(302)，两个第一滑轨(302)固定在支架(1)上，所述移动平台(301)的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽(303)，两个第一滑轨(302)分别卡入两个第一滑槽(303)内，所述移动平台(301)上连接有用于使移动平台(301)来回移动的第一驱动装置(304)，所述移动平台(301)的上表面设置有第二滑槽(305)，所述第二滑槽(305)与第一滑槽(303)互相垂直，所述第二滑槽(305)内设置有第一滑块(306)，所述第一滑块(306)沿第二滑槽(305)来回滑动，所述第二滑槽(305)内设置有用于使第一滑块(306)来回移动的第二驱动装置(307)，所述第一滑块(306)上固定有第一支撑板(308)，所述第一支撑板(308)水平设置，所述第一支撑板(308)的下表面固定有第一U形支撑架(309)，所述第一支撑板(308)与第一U形支撑架(309)围成第一通孔(310)，所述移动平台(301)穿过第一通孔(310)，所述第一U形支撑架(309)的底部固定有第二支撑板(311)，所述第二支撑板(311)竖直设置，所述第二支撑板(311)的一侧设置有第一支撑杆(312)，所述第二支撑板(311)上设置有用于使第一支撑杆(312)上下移动的第三驱动装置(313)，所述第一支撑杆(312)上固定有第一支撑架(314)，所述第一支撑架(314)上设置有第一转动轴(315)，所述第一转动轴(315)通过轴承固定在第一支撑架(314)上，所述第一支撑架(314)上设置有用于使第一转动轴(315)转动的第四驱动装置(316)，所述第一转动轴(315)的末端连接有硅片吸取装置(317)；
所述硅片吸取装置(317)包括底座(31701)，所述底座(31701)的一侧表面固定在第一转动轴(315)的末端，底座(31701)的另一侧表面固定有多个卡板(31702)，多个卡板(31702)依次平行设置，相邻的两个卡板(31702)之间的间距与石墨舟的两个相邻的石墨板的间距相同，且卡板(31702)的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每个卡板(31702)上设置有多个通孔，每个通孔的边缘设置有多个固定孔(31703)，每个固定孔(31703)内设置有一个固定板(31704)，所述固定板(31704)的厚度小于卡板(31702)的厚度，每个通孔中心设置有吸盘(31705)，吸盘(31705)上连接有多个弹簧(31706)，多个弹簧(31706)与多个固定孔(31703)一一对应，弹簧(31706)的一端固定在吸盘(31705)上，另一端固定在固定板(31704)上，所述卡板(31702)的一侧表面设置有多个导线槽(31707)，导线槽(31707)的数量与通孔的数量相同，每个导线槽(31707)与一个通孔连通，导线槽(31707)内设置有压缩空气管(31708)，压缩空气管(31708)的一端与空气压缩机相连，另一端与吸盘(31705)相连，所述吸盘(31705)、多个弹簧(31706)、每个固定孔(31703)内的固定板(31704)、每个导线槽(31707)内的压缩空气管(31708)均位于卡板(31702)的两个表面组成的间隙空间内；
所述硅片上料盒(4)包括底板(401)，所述底板(401)的上表面设置有第一挡板(402)与第二挡板(403)，所述第一挡板(402)与第二挡板(403)平行设置，所述第一挡板(402)朝向第二挡板(403)的一侧表面设置有多个第一卡槽(404)，所述第二挡板(403)朝向第一挡板(402)的一侧表面设置有多个第二卡槽(405)，多个第一卡槽(404)与多个第二卡槽(405)一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽(404)内，硅片的另一端卡入与第一卡槽(404)对应的第二卡槽(405)内，所述相邻的两个第一卡槽(404)之间的间距与相邻的两个卡板(31702)之间的间距相同，所述第一卡槽(404)的数量与卡板(31702)的数量相同，所述硅片下料盒(5)与硅片上料盒(4)的结构相同。
2.如权利要求1所述的用于石墨舟设备的硅片取放装置，其特征在于：所述第一驱动装置(304)、第二驱动装置(307)、第三驱动装置(313)均为电动推杆。
3.如权利要求2所述的用于石墨舟设备的硅片取放装置，其特征在于：所述第四驱动装置(316)为旋转电机。
4.如权利要求3所述的用于石墨舟设备的硅片取放装置，其特征在于：每个卡板(31702)上通孔的数量为三个，且三个通孔的中心组成一个等腰三角形。
5.如权利要求4所述的用于石墨舟设备的硅片取放装置，其特征在于：所述第一挡板(402)的上端与第二挡板(403)的上端通过U形连接板(406)相连。
6.如权利要求5所述的用于石墨舟设备的硅片取放装置，其特征在于：所述可拆卸装置为卡扣。
CN201611159455.3A 2016-12-15 2016-12-15 用于石墨舟设备的硅片取放装置 Active CN106435521B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611159455.3A CN106435521B (zh) 2016-12-15 2016-12-15 用于石墨舟设备的硅片取放装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611159455.3A CN106435521B (zh) 2016-12-15 2016-12-15 用于石墨舟设备的硅片取放装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106435521A true CN106435521A (zh) 2017-02-22
CN106435521B CN106435521B (zh) 2018-09-04

Family

ID=58216664

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611159455.3A Active CN106435521B (zh) 2016-12-15 2016-12-15 用于石墨舟设备的硅片取放装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106435521B (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107658257A (zh) * 2017-08-14 2018-02-02 罗博特科智能科技股份有限公司 一种石墨舟硅片批量吸取装置
CN107993970A (zh) * 2017-12-29 2018-05-04 无锡市江松科技有限公司 硅片输送系统
CN109625958A (zh) * 2019-01-10 2019-04-16 昆山玛冀电子有限公司 一种自动上下料装置
CN111636058A (zh) * 2020-05-22 2020-09-08 湖南红太阳光电科技有限公司 一种管式pecvd预热系统实验装置
CN112670221A (zh) * 2020-12-22 2021-04-16 宁波南大光电材料有限公司 一种硅片转移装置
CN116110835A (zh) * 2023-04-07 2023-05-12 江苏龙恒新能源有限公司 一种硅片载片框及硅片镀膜系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61210689A (ja) * 1985-03-14 1986-09-18 Fujitsu Ltd 半導体レ−ザの構造及び製造方法
CN104377154A (zh) * 2014-11-03 2015-02-25 江阴方艾机器人有限公司 管式pecvd石墨舟装卸片系统及其工艺
CN204243014U (zh) * 2014-11-03 2015-04-01 江阴方艾机器人有限公司 管式pecvd石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构
CN204407314U (zh) * 2015-03-20 2015-06-17 山西晨洋光伏科技有限公司 太阳能电池片生产中的石墨舟转运车
CN206232813U (zh) * 2016-12-15 2017-06-09 乐山新天源太阳能科技有限公司 用于石墨舟设备的硅片取放装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61210689A (ja) * 1985-03-14 1986-09-18 Fujitsu Ltd 半導体レ−ザの構造及び製造方法
CN104377154A (zh) * 2014-11-03 2015-02-25 江阴方艾机器人有限公司 管式pecvd石墨舟装卸片系统及其工艺
CN204243014U (zh) * 2014-11-03 2015-04-01 江阴方艾机器人有限公司 管式pecvd石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构
CN204407314U (zh) * 2015-03-20 2015-06-17 山西晨洋光伏科技有限公司 太阳能电池片生产中的石墨舟转运车
CN206232813U (zh) * 2016-12-15 2017-06-09 乐山新天源太阳能科技有限公司 用于石墨舟设备的硅片取放装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107658257A (zh) * 2017-08-14 2018-02-02 罗博特科智能科技股份有限公司 一种石墨舟硅片批量吸取装置
CN107993970A (zh) * 2017-12-29 2018-05-04 无锡市江松科技有限公司 硅片输送系统
CN109625958A (zh) * 2019-01-10 2019-04-16 昆山玛冀电子有限公司 一种自动上下料装置
CN111636058A (zh) * 2020-05-22 2020-09-08 湖南红太阳光电科技有限公司 一种管式pecvd预热系统实验装置
CN112670221A (zh) * 2020-12-22 2021-04-16 宁波南大光电材料有限公司 一种硅片转移装置
CN116110835A (zh) * 2023-04-07 2023-05-12 江苏龙恒新能源有限公司 一种硅片载片框及硅片镀膜系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN106435521B (zh) 2018-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106435521A (zh) 用于石墨舟设备的硅片取放装置
CN206088340U (zh) 一种点胶机自动上下料机构
US4947579A (en) Computer operated automatic seedling plant transplanting machine
CN107571359B (zh) 一种改性木材的生产方法
CN206493085U (zh) 一种胶塞自动上料装置
CN206232815U (zh) 用于石墨舟上下片装置
CN108666849A (zh) 一种全自动插针折弯一体机
CN106399975B (zh) 用于石墨舟上下片装置
CN104855025B (zh) 一种穴盘草莓秧苗移栽末端执行器及其取放苗控制方法
CN206232813U (zh) 用于石墨舟设备的硅片取放装置
CN109877499A (zh) 一种用于柔性线缆自动焊接机器人
CN206259333U (zh) 硅片吸取装置
CN107718204B (zh) 一种阻燃抗菌木材的制备方法
CN203013777U (zh) 一种晶硅太阳能电池自动插片装置
CN205043450U (zh) 全自动表冠组装设备
CN212887969U (zh) 一种肩章生产用冲孔装置
CN209434316U (zh) 锂离子方形动力电池全自动顶盖贴片设备
CN203812980U (zh) 一种自动包片机
CN209533018U (zh) 一种3d曲面玻璃盖板上下料设备
CN109599587A (zh) 锂离子方形动力电池全自动顶盖贴片设备
CN107779960A (zh) 一种基于真空吸盘的蚕茧分离计数装置及其使用方法
CN209374608U (zh) 一种极群入夹具设备
CN112478923A (zh) 一种上料绕线装置
CN108389935B (zh) 一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机
CN208657168U (zh) 一种pcb板全自动打销钉包胶生产线

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant