CN112670221A - 一种硅片转移装置 - Google Patents

Abstract

本发明适用硅片转移技术领域，提供了一种硅片转移装置，包括：底座；设置于底座上、用于放置硅片盒的支架；活动设置于底座上的支撑板，支撑板可相对底座向支架的方向移动或向远离支架的方向移动；支撑于支撑板上、并可相对支撑板升降的支撑主轴；以及与支撑主轴形成转动连接的多层硅片载台，多层硅片载台沿支撑主轴的轴向彼此间隔设置并可分别绕支撑主轴转动。本发明提供的硅片转移装置可以实现硅片盒内的硅片批量转移，方便将硅片盒内的硅片批量转移到另外的硅片盒或将硅片盒内的硅片批量转移出来进行硅片的表面观察检查，无需人工手动逐一将硅片盒内的硅片取出，方便用户使用，且结构简单轻巧，便于携带使用，生产成本低。

Description

一种硅片转移装置

技术领域

本发明涉及硅片转移技术领域，具体涉及一种硅片转移装置。

背景技术

在半导体产业高速发展的今天，无论是材料还是芯片研发，均需要用到硅片，在实际生产过程中，经常会面临需要将硅片从一个硅片盒转移到另一个硅片盒以进行试验产品归类或分批检测，或者需要将硅片盒的硅片取出以观察检查硅片表面。

现有技术中，在将硅片从一个硅片盒转移到另一个硅片盒或者需要将硅片盒的硅片取出以观察检查硅片表面时，通常需要操作人员手工逐一将硅片盒内的硅片取出以进行转移，硅片转移效率低，不利于硅片的批量转移。

发明内容

本发明提供一种硅片转移装置，旨在解决现有技术中存在硅片盒的硅片转移效率低，不利于硅片批量转移的问题。

本发明是这样实现的，提供一种硅片转移装置，包括：

底座；

设置于所述底座上、用于放置硅片盒的支架；

活动设置于所述底座上的支撑板，所述支撑板可相对所述底座向所述支架的方向移动或向远离所述支架的方向移动；

支撑于所述支撑板上、并可相对所述支撑板上下移动的支撑主轴；以及

与所述支撑主轴形成转动连接、并用于承载硅片的多层硅片载台，多层所述硅片载台沿所述支撑主轴的轴向彼此间隔设置并可分别绕所述支撑主轴转动。

优选的，所述硅片转移装置还包括固定于所述底座上的滑轨，所述支撑板滑动设置于所述滑轨上并可沿所述滑轨来回移动。

优选的，所述硅片转移装置还包括设于所述支撑板上、用于升降所述支撑主轴的升降装置。

优选的，所述升降装置包括固定于所述支撑主轴底端的螺纹杆，所述支撑板设有螺纹孔，所述螺纹杆穿入所述螺纹孔并与所述螺纹孔螺纹连接，所述支撑主轴可带动所述螺纹杆转动以带动多层所述硅片载台同步上下移动。

优选的，所述硅片转移装置还包括：

可拆卸固定于所述支撑板并分别位于多层所述硅片载台两侧的两个档杆，多层所述硅片载台限位在两个所述档杆之间。

优选的，两个所述档杆分别与所述支撑板插接形成可拆卸固定。

优选的，所述硅片载台包括用于承载硅片的载盘、以及与所述载盘连接的连接杆，所述连接杆与所述支撑主轴形成转动连接。

优选的，所述连接杆的一端固定有滚动轴承，所述连接杆通过所述滚动轴承与所述支撑主轴形成转动连接。

优选的，所述载盘的边缘设置有防止硅片脱落的若干个挡片。

优选的，所述底座由大理石制成。

本发明提供的硅片转移装置通过设置可相对底座移动的支撑板、设置于支撑板上并可升降的支撑主轴以及分别转动连接于支撑主轴的多层硅片载台。利用该硅片转移装置转移硅片盒的硅片时，将支撑板向支架方向移动以带动支撑主轴以及多层硅片载台同步移动，直至多层硅片载台伸入硅片盒底部再向上调节支撑主轴的高度，以使硅片盒内的硅片分别承载在对应的硅片载台上，再将多层硅片载台连同支撑主轴向远离支架的方向移动，使硅片盒内的硅片批量转移出来，方便将硅片盒内的硅片批量转移到另外的硅片盒或批量转移到硅片载台以便硅片的表面观察检查，无需人工手动逐一将硅片盒内的硅片取出，硅片转移效率高，利于硅片的批量转移。而且，利用该硅片转移装置既可以将硅片盒内的硅片进行批量转移，也可以根据需要单独转移硅片盒内的任意硅片，且结构简单轻巧，不易出现故障，方便用户使用和携带搬运。

附图说明

图1为本发明实施例提供的硅片转移装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的硅片转移装置的硅片载台的俯视结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明实施例提供的硅片转移装置通过设置可相对底座移动的支撑板、设置于支撑板上并可升降的支撑主轴以及分别转动连接于支撑主轴的多层载台。利用该硅片转移装置可以将硅片盒内的硅片批量转移出来，方便将硅片盒内的硅片批量转移到另外的硅片盒或将硅片盒内的硅片批量转移到多层载台上以便硅片的表面观察检查，无需手工逐一将硅片盒内的硅片取出，硅片转移效率高，利于硅片的批量转移；而且也可以根据用户需要单独转移硅片盒内的任意硅片，方便用户使用，且该硅片转移装置结构简单轻巧，操作简单方便，实现成本低，且便于携带搬运。

请参照图1-图2，本发明实施例提供一种硅片转移装置，包括：

底座1；

设置于底座1上、用于放置硅片盒的支架2；

活动设置于底座1上的支撑板3，支撑板3可相对底座1向支架2方向移动或向远离支架2方向移动；

支撑于支撑板3上、并可相对支撑板3升降的支撑主轴4；以及

与支撑主轴4形成转动连接、并用于承载硅片的多层硅片载台5，多层硅片载台5沿支撑主轴4的轴向彼此间隔设置并可分别绕支撑主轴4转动。

本发明实施例中，底座1为板状结构。其中，底座1采用大理石制成，使底座1的表面水平度高，保证硅片载台5在移动过程中整个硅片转移装置不会产生倾斜，使得硅片载台5不会自由转动或倾斜，避免硅片载台5上的硅片掉落，安全性高。

本发明实施例中，支架2用于固定放置硅片盒，以便进行硅片的转移操作。当需要将硅片盒中的硅片转移到另外的硅片盒或者需要将硅片盒中的硅片取出观察检查时，操作人员将装有硅片的硅片盒固定放置在支架2上，以便利用该硅片转移装置将硅片盒的硅片进行转移操作。

作为本发明的一个实施例，支架2包括设置于底座1上的三个支撑柱，且三个支撑柱的高度可调，以便调节硅片盒放置在支架2上的高度，以使硅片盒与多层硅片载台5的高度位置相对应。

请参照图2，作为本发明的一个实施例，每层硅片载台5包括用于承载硅片的载盘51、以及与载盘51连接的连接杆52，连接杆52与支撑主轴4形成转动连接。

本实施例中，载盘51用于在转移硅片时承载硅片，连接杆52起到连接载盘51和支撑主轴4的作用。其中，载盘51的具体形状不限。在本实施例中，载盘51包括与所述连接杆52连接的第一臂511、以及分别连接于第一臂两侧的第二臂512和第三臂513，利用第一臂511、第二臂512和第三臂513承载硅片，便于硅片的取放。

其中，多层硅片载台5可以同时绕支撑主轴4转动，每层硅片载台5也可以单独转动，以便批量转移硅片盒中的所有硅片或利用其中任意一个硅片载台5单独取放对应的硅片，灵活性好，方便用户使用。优选的，载盘51和连接杆52一体成型。硅片载台5由铝合金材质制成，使其刚度高，长期使用不会变形。

作为本发明的一个实施例，连接杆52的一端固定有滚动轴承53，连接杆52通过滚动轴承53与支撑主轴4形成转动连接。其中，多层硅片载台5的结构完全相同，支撑主轴4同时穿过每层硅片载台5的滚动轴承53的内圈并与滚动轴承53的内圈形成过盈配合，连接杆52利用滚动轴承53与支撑主轴4形成转动连接，使硅片载台5转动自如，转动手感好。优选的，硅片载台5的转动角度为180°，便于用户操作。

本发明实施例中，硅片载台5的层数与硅片盒的硅片放置数量相适配。本实施例中，硅片盒的硅片放置数量为25片，硅片载台5的层数为25层，每层硅片载台5可以用于取放硅片盒中对应的硅片。其中，相邻两层的硅片载台5之间间距不超过硅片盒的相邻两个硅片之间片槽间距。在本实施例中，相邻两层的硅片载台5之间间距为15mm。

作为本发明的一个实施例，载盘51的边缘设置有防止硅片脱落的若干个挡片50。本实施例中，挡片50的数量为四个，载盘51的前后左右均设置一个所述挡片，确保硅片在前后左右方向上受到限位。其中，第一臂511的前后端部分别设置有一个挡片50，第二臂512和第三端部分别设有一个挡片50。通过在载盘51边缘设置挡片50，防止硅片载盘51上的硅片在硅片载台5移动或转动时滑落，确保硅片载台5转移硅片的可靠性。

作为本发明的一个实施例，硅片转移装置还包括固定于底座1上的滑轨6，支撑板3滑动设置于滑轨6上并可沿滑轨6来回移动。

本实施例中，滑轨6对支撑板3的移动提供导向和限位作用，使支撑板3沿滑轨6相对底座1向支架2方向移动或向远离支架2方向稳定移动，确保支撑板3运动过程中的平稳性。支撑板3沿滑轨6左右移动时，支撑板3带动支撑主轴4及多层硅片载台5同时沿滑轨6平稳移动，以实现多层硅片载台5向硅片盒内取放硅片。除此之外，也可以直接在底座1上设置滑槽，支撑板3直接与滑槽配合同样可以实现支撑板3的左右滑动。

作为本发明的一个实施例，硅片转移装置还包括设于支撑板3上、用于升降支撑主轴4的升降装置。

本实施例中，支撑主轴4利用升降装置实现支撑主轴4相对支撑板3升降，从而支撑主轴4可以带动多层硅片载台5同步升降，便于调节硅片载台5的高度。

作为本发明的一个实施例，升降装置包括固定于支撑主轴4底端的螺纹杆7，支撑板3设有螺纹孔，螺纹杆7穿入螺纹孔并与螺纹孔螺纹连接，支撑主轴4可带动螺纹杆7转动以带动多层硅片载台5同步上下移动。

本实施例中，通过将升降装置设置成固定于支撑主轴4底端的螺纹杆7，利用螺纹杆7与支撑板3上的螺纹孔形成螺纹连接，这样螺纹杆7在左右转动时以带动多层硅片载台5同步上下移动，从而实现多层硅片载台5升降，调节方式简单可靠。另外，支撑主轴4也可以直接与支撑板3形成螺纹连接，通过转动支撑主轴4也可以实现支撑主轴4的升降。支撑主轴4还可以通过伸缩杆固定在支撑板3上，利用伸缩杆伸缩也可以实现支撑主轴4升降。

具体的，当需要增大多层硅片载台5的高度时，将支撑主轴4正向转动一个角度，支撑主轴4带动螺纹杆7同步转动角度，这样在螺纹杆7与支撑板3的螺纹孔的配合作用下，螺纹杆7会向上移动对应一个距离，从而螺纹杆7带动支撑主轴4会向上移动相同的距离，从而增大硅片载台5的高度。当需要降低多层硅片载台5的高度时，将支撑主轴4反向转动一个角度，支撑主轴4带动螺纹杆7同步转动角度，这样在螺纹杆7与支撑板3的螺纹孔的配合作用下，螺纹杆7会向下移动对应的一个距离，从而螺纹杆7带动支撑主轴4会向下移动相同的距离，从而降低硅片载台5的高度。

作为本发明的一个实施例，螺纹杆7为固定于支撑主轴4底端的一个螺栓，其结构简单，生产成本低。除此之外，螺纹杆7也可以与支撑主轴4一体成型。

作为本发明的一个实施例，支撑主轴4的顶部设有用于旋转支撑主轴4的旋拧头41。通过旋转该旋拧头41实现支撑主轴4的转动，便于支撑主轴4的升降调节操作。

作为本发明的一个实施例，硅片转移装置还包括可拆卸固定于支撑板3并分别位于多层硅片载台5两侧的两个档杆8，多层硅片载台5限位两个档杆8之间。

本实施例中，通过在支撑板3上设置两个档杆8，多层硅片载台5限位在两个档杆8之间，这样确保多层硅片载台5在沿滑轨6移动过程中不会自由转动，确保硅片载台5移动的稳定性。而且，由于两个档杆8与支撑板3可拆卸固定，在需要转动硅片载台5时可以将其中一个档杆8拆卸，以便转动硅片载台5进行观察硅片载台5上的硅片。同时，在硅片载台5转动90度后，可以将两个档杆8重新固定在支撑板3上，可以避免硅片载台5的自由复位，确保可以稳定保持在转动90度位置以便操作者观察硅片载台5上的硅片。

作为本发明的一个实施例，两个档杆8与支撑板3插接形成可拆卸固定。通过将两个档杆8直接与支撑板3插接，便于两个档杆8的快速安装和拆卸，方便用户操作。

本发明提供的硅片转移装置的使用过程如下：

操作人员将装有硅片的硅片盒放在支架2上，操作人员将硅片载台5向支架2方向缓慢移动，再根据硅片盒的硅片实际位置通过旋转支撑主轴4微调硅片载台5的高度，使每个硅片载台5的载盘51刚好能对应伸进硅片之间的片槽，然后缓慢一直将硅片载台5的载盘51伸入硅片盒底部，再旋转支撑主轴4使硅片载台5缓慢上升；当观察到硅片刚好卡入硅片载台5的载盘51后，继续旋转支撑主轴4带动硅片载台5升高使硅片与硅片盒分离，再将硅片载台5向远离支架2方向移动一段距离，此时硅片盒中的硅片批量转移到对应的硅片载台5的载盘51上。

硅片盒中的硅片批量转移到对应的硅片载台5的载盘51上之后，如果操作者需要批量观察检查硅片盒中的硅片时，将其中一个档杆8拔除，将硅片载台5向操作人员方向转动90度，从而可以方便检查转移到硅片载台5上的硅片。待所有硅片观察检查完毕后，转动硅片载台5与硅片盒相对，再向支架2方向硅片载台5，并调节硅片载台5的高度以使硅片载台5上的硅片重新放入硅片盒中，从而可以实现硅片盒中硅片的批量检查。

在硅片盒中的硅片批量转移到对应的硅片载台5的载盘51上之后，当需要将该硅片盒的硅片转移至另一个硅片盒中，操作人员将支架2上的硅片盒取下，并在支架2上放置另一个空硅片盒，再向支架2方向硅片载台5，多层硅片载台5的载盘51对应伸入空硅片盒的底部后缓慢下降一定距离，以使硅片全部落到硅片盒对应的片槽内，然后再向远离支架2方向移动硅片载台5，从而完成硅片盒的硅片转移至另一个硅片盒。

当需要单独观察检查硅片盒中的硅片时，例如需要抽检时，操作人员将其中一个挡杆8拔除，将其它无需取硅片的硅片载台5先单独转动到90度位置，然后再将需要取硅片的硅片载台5向支架2方向缓慢移动，通过旋转支撑主轴4微调硅片载台5的高度；当观察硅片刚好卡入硅片载台5的载盘51内部后，再将硅片载台5向远离支架2方向移动一段距离，从而可以从硅片盒中取出需要检查观察的硅片，再将硅片载台5向操作人员方向转动90度，从而可以观察检查转移到硅片载台5上的硅片，在硅片观察检查完毕后，又可以转动硅片载台5并移动硅片载台5以将硅片重新放入硅片盒中。

本发明实施例提供的硅片转移装置通过设置可相对底座移动的支撑板、设置于支撑板上并可升降的支撑主轴以及分别转动连接于支撑主轴的多层硅片载台。利用该硅片转移装置转移硅片盒的硅片时，将支撑板向支架方向移动以带动支撑主轴以及多层硅片载台同步移动，直至多层硅片载台伸入硅片盒底部再向上调节支撑主轴的高度，以使硅片盒内的硅片分别承载在对应的硅片载台上，再将多层硅片载台连同支撑主轴向远离支架的方向移动，使硅片盒内的硅片批量转移出来，方便将硅片盒内的硅片批量转移到另外的硅片盒或批量转移到硅片载台以便硅片的表面观察检查，无需人工手动逐一将硅片盒内的硅片取出，硅片转移效率高，利于硅片的批量转移。而且，利用该硅片转移装置既可以将硅片盒内的硅片进行批量转移，也可以根据需要单独转移硅片盒内的任意硅片，灵活性好，方便用户使用，且结构简单轻巧，便于携带搬运。

以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅片转移装置，其特征在于，包括：

底座；

设置于所述底座上、用于放置硅片盒的支架；

活动设置于所述底座上的支撑板，所述支撑板可相对所述底座向所述支架的方向移动或向远离所述支架的方向移动；

支撑于所述支撑板上、并可相对所述支撑板升降的支撑主轴；以及

与所述支撑主轴形成转动连接、并用于承载硅片的多层硅片载台，多层所述硅片载台沿所述支撑主轴的轴向彼此间隔设置并可分别绕所述支撑主轴转动。

2.根据权利要求1所述的硅片转移装置，其特征在于，所述硅片转移装置还包括固定于所述底座上的滑轨，所述支撑板滑动设置于所述滑轨上并可沿所述滑轨来回移动。

3.根据权利要求1所述的硅片转移装置，其特征在于，所述硅片转移装置还包括设于所述支撑板上、用于升降所述支撑主轴的升降装置。

4.根据权利要求3所述的硅片转移装置，其特征在于，所述升降装置包括固定于所述支撑主轴底端的螺纹杆，所述支撑板设有螺纹孔，所述螺纹杆穿入所述螺纹孔并与所述螺纹孔螺纹连接，所述支撑主轴可带动所述螺纹杆转动以带动多层所述硅片载台同步上下移动。

5.根据权利要求1所述的硅片转移装置，其特征在于，所述硅片转移装置还包括：

可拆卸固定于所述支撑板并分别位于多层所述硅片载台两侧的两个档杆，多层所述硅片载台限位在两个所述档杆之间。

6.根据权利要求5所述的硅片转移装置，其特征在于，两个所述档杆分别与所述支撑板插接形成可拆卸固定。

7.根据权利要求1所述的硅片转移装置，其特征在于，所述硅片载台包括用于承载硅片的载盘、以及与所述载盘连接的连接杆，所述连接杆与所述支撑主轴形成转动连接。

8.根据权利要求7所述的硅片转移装置，其特征在于，所述连接杆的一端固定有滚动轴承，所述连接杆通过所述滚动轴承与所述支撑主轴形成转动连接。

9.根据权利要求7或8所述的硅片转移装置，其特征在于，所述载盘的边缘设置有防止硅片脱落的若干个挡片。

10.根据权利要求1所述的硅片转移装置，其特征在于，所述底座由大理石制成。

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