CN218908996U - 双臂式基板运载装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种双臂式基板运载装置，包括待置站、两个升降站、以及设于待置站与升降站之间的搬运单元；其中，待置站用以放置基板，两个升降站皆具有载台与位移台，各升降站的位移台于至少两个空间位置之间作移动，载台供基板处于其中一个空间位置，搬运单元具有作升降的旋转轴以及设于旋转轴上的提取机构，提取机构包含可弯曲或伸缩的臂部以及设于臂部末端的两个载盘，两个载盘分别承载于两个基板下方，以通过旋转轴将两个基板由待置站转向两个升降站或由两个升降站转回至待置站。

Description

双臂式基板运载装置

技术领域

本申请涉及一种工作设备，尤其涉及一种对如晶圆、玻璃板等半导体基板进行运载的双臂式基板运载装置。

背景技术

如生产晶圆或玻璃板等半导体材料的制程中，往往需要对半导体材料进行检测等作业。而现有的检测作业，主要通过两个机械手臂于存放区与检测区之间交互拿取基材，即一个机械手臂负责从存放区拿取基材并运载至检测区，而另一机械手臂则负责从检测区拿取基材并运回至存放区，藉此缩短以单一手臂来回运载基材所需的时间。

然而，尽管上述作法可缩短单一手臂运载时所需的时间，但实际上两个机械手臂各有一半的作动中是没有实际搬运任何基材，因此在整体运载所作的工较为耗损能源而不符经济效益。

有鉴于此，本申请人为改善并解决上述的缺失，乃特潜心研究并配合学理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺失的申请。

实用新型内容

本申请的主要目的，在于可提供一种双臂式基板运载装置，其以双机械手臂等搬运单元，同时对两个基板进行搬运，同时无需等待时间，以达到节省时间及降低作工等效益。

为了达成上述的目的，本申请提供一种双臂式基板运载装置，包括一待置站、两个升降站、以及设于待置站与两个升降站之间的搬运单元；其中，待置站用以放置基板；两个升降站皆具有载台与位移台，且各升降站的位移台于至少两个空间位置之间作移动，载台供基板处于其中一个空间位置；搬运单元具有作升降的旋转轴以及设于旋转轴上的提取机构，提取机构包含可弯曲或伸缩的臂部以及设于臂部末端的两个载盘，两个载盘分别承载于两个基板下方，以通过旋转轴将两个基板由待置站转向两个升降站或由两个升降站转回至待置站。

在一种实施方式中，待置站具有供基板作间距排列的置放匣。

在一种实施方式中，两个空间位置分别为暂存位置与工作位置。

在一种实施方式中，载台供基板处于暂存位置。

在一种实施方式中，两个基板于待置站内以一方向作间距排列，且旋转轴能依方向作升降。

在一种实施方式中，提取机构以一个臂部供两个载盘枢设于其上。

在一种实施方式中，提取机构以两个臂部分别供两个载盘作枢设。

在一种实施方式中，装置还包括工作单元，工作单元具有一通过两个升降站上方的移动部以及至少一个于移动部上作位移的工作部。

在一种实施方式中，工作部用以对两个基板进行检测。

在一种实施方式中，待置站的数量为两个且相邻排置，且两个载盘分别对应两个待置站。

附图说明

图1为本申请的俯视示意图。

图2为本申请升降站与工作单元的侧面示意图。

图3为本申请搬运单元由待置站拿取基板的平面示意图。

图4为图3的俯视示意图。

图5为本申请搬运单元将基板运载至升降站的俯视示意图。

图6为图5的平面示意图。

图7为本申请搬运单元回到待置站欲拿取基板的平面示意图。

图8为本申请升降站将基板位移的平面示意图。

图9为本申请搬运单元将基板运载至升降站的平面示意图。

图10为本申请升降站将基板挪开的平面示意图。

图11为本申请升降站将基板挪回的平面示意图。

图12为本申请另一实施例的俯视示意图。

附图标记说明：

1：待置站；

10：置放匣；

11：开口；

2：升降站；

20：载台；

21：位移台；

210：暂存位置；

211：工作位置；

3：搬运单元；

30：旋转轴；

31：提取机构；

310：臂部；

311：载盘；

4：平台；

5：基板；

5a：基板；

5b：基板；

5c：基板；

6：工作单元；

60：移动部；

61：工作部。

具体实施方式

为了能更进一步揭露本申请的特征及技术内容，请参阅以下有关本申请的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本申请加以限制。

请参阅图1及图2，分别为本申请的俯视示意图、以及升降站与工作单元的侧面示意图。本申请提供一种双臂式基板运载装置，包括至少一个待置站1、两个升降站2、于待置站1与两个升降站2之间作运载的搬运单元3以及工作单元6，并通过搬运单元3用以同时搬运两个基板5，以使被搬运的两个基板5能分别于待置站1与任一升降站2之间作运载，而所述基板5可以是晶圆或玻璃板等半导体材料；其中：

上述待置站1、升降站2与搬运单元3，可由平台4所承载，所述平台4可以是一般机器设备的机台、或是厂房内的地面等平置处；而在本申请所举的实施例中，平台4可为任何机具上的机台，并依序配置待置站1、搬运单元3与两个升降站2，以构成可单独执行其工作目的的机器或设备。

请一并参阅图3及图4所示，上述待置站1可以配置为至少一个，且各待置站1皆具有供基板5依一方向F作间距排列的置放匣10，所述置放匣10相对于上述搬运单元3处可具有开口11，以供基板5通过开口11而放置于置放匣10内或由置放匣10内取出。上述升降站2则可为用以对所述基板5进行如检测等作业的处理设备，并具有载台20与位移台21，位移台21可于至少两个不重叠的空间位置之间作移动，且所述至少两个空间位置可分别为暂存位置210与工作位置211。而载台20则用于供所述基板5置放，以利于位移台21于暂存位置210与工作位置211移动时，将基板5由暂存位置210运载至工作位置211以执行一工作目的，所述工作目的例如进行检测等。

承上所述，上述搬运单元3位于待置站1与两个升降站2之间，且搬运单元3具有以方向F作升降的旋转轴30、以及设于旋转轴30上的提取机构31，提取机构31包含可弯曲或伸缩的臂部310以及设于臂部310末端的两个载盘311，载盘311即用以承载于基板5下方，进而能同时将两个所欲运载的基板5提取后，通过旋转轴30将两个基板5由待置站1分别转向两个升降站2或是由两个升降站2转回至待置站1内。在本申请所举实施例中，可通过一个臂部310末端同时枢接两个所述载盘311；但亦可设置两个臂部310而分别使两个所述载盘311枢设于各臂部310末端，即如图12所示。

是以，藉由上述的构造组成，即可得到本申请双臂式基板运载装置。

据此，如图4及图5所示，当欲将待置站1上的基板5(依序分别以5a、5b、5c等表示工作先后批次的基板5)运载至升降站2进行检测时，搬运单元3以两个载盘311于待置站1上分别提取基板5a，并同时将两个基板5a转向两个升降站2，以将两个基板5a分别放置于两个升降站2上的载台20上，以使两个基板5a位于暂存位置210处。

此时，如图6及图7所示，当搬运单元3将两个基板5a分别放置于两个升降站2的暂存位置210后，即可离开两个升降站2并转回至待置站1，以准备提取下一批次的基板5b(即如图7所示)。同时，如图7所示，两个升降站2的位移台21同步将两个基板5a由暂存位置210移动至工作位置211，移动方向可为前述方向F，以空出暂存位置210。

因此，如图8所示，即可通过上述工作单元6同时针对两个基板5a执行工作目的，而工作目的可以为进行检测、或其它必要的作业流程等。而在本申请所举的实施例中，工作单元6相对设置于两个升降站2的上方处，并具有通过两个升降站2上方的移动部60以及至少一个于移动部60上作位移的工作部61，所述工作部61视所欲执行的工作目的而设置对应的机具或器材，例如检验仪器等。如此，可以通过工作部61于移动部60上作移动之际，以同时针对两个基板5a进行并完成工作目的。

接着，如图9所示，在上述升降站2对前一批次的两个基板5a完成检测后，搬运单元3亦已提取下一批次的两个基板5b并转向至升降站2，以将下一批次的两个基板5b分别放置于两个升降站2上已空出的暂存位置210处。如图10所示，搬运单元3再通过旋转轴30上升至工作位置211，以提取上一批次的两个基板5a，如此即可离开两个升降站2并转回至待置站1，以再准备提取下下一批次的基板5c即如图11所示；其中，在搬运单元3回到待置站1的存放设计上，可视对各基板5所检测的结果分类存放，例如检验合格与不合格分开存放。且搬运单元3于存放动作完成后，再提取后续欲进行检测的下下一基板5c重复上述动作，以此类推。

因此，藉由本申请基板运载装置，由于搬运单元3在待置站1与两个升降站2之间的往返过程中皆分别搬运一基板5，因此在一次的往返动作中都有对两个基板5进行运载，没有浪费作工，以达到一次循环作动即可完成两个基板5的搬运，同时达到节省时间及降低作工等效益。

再者，如图12所示，本申请亦可适用于多个待置站1与搬运单元3的场合上；其中，待置站1的数量可为两个且相邻排置，而搬运单元3的旋转轴30则可带动两个提取机构31以分别对应两个待置站1，从而通过两个提取机构31分别对两个待置站1的基板5进行提取或存放。

综上所述，本申请实为不可多得的新型创作产品，其确可达到预期的使用目的，而解决现有技术的缺失，又因极具新颖性及进步性，完全符合实用新型专利申请要件，爰依专利法提出申请，敬请详查并赐准本案专利，以保障申请人的权利。

惟以上所述仅为本申请的较佳可行实施例，非因此即局限本申请的专利范围，故凡运用本申请说明书及附图内容所为的等效结构变化，均同理皆包含于本申请的范围内，合予陈明。

Claims (10)

1.一种双臂式基板运载装置，其特征在于，包括：

待置站，用以放置所述基板；

两个升降站，皆具有载台与位移台，且各所述升降站的位移台于至少两个空间位置之间作移动，所述载台供所述基板处于其中一个所述空间位置；以及

搬运单元，设于所述待置站与所述两个升降站之间，并具有作升降的旋转轴以及设于所述旋转轴上的提取机构，所述提取机构包含可弯曲或伸缩的臂部以及设于所述臂部末端的两个载盘，所述两个载盘分别承载于两个所述基板下方，以通过所述旋转轴将两个所述基板由所述待置站转向所述两个升降站或由所述两个升降站转回至所述待置站。

2.如权利要求1所述的双臂式基板运载装置，其特征在于，所述待置站具有供所述基板作间距排列的置放匣。

3.如权利要求1所述的双臂式基板运载装置，其特征在于，所述两个空间位置分别为暂存位置与工作位置。

4.如权利要求3所述的双臂式基板运载装置，其特征在于，所述载台供所述基板处于所述暂存位置。

5.如权利要求1所述的双臂式基板运载装置，其特征在于，两个所述基板于所述待置站内以一方向作间距排列，且所述旋转轴能依所述方向作升降。

6.如权利要求1所述的双臂式基板运载装置，其特征在于，所述提取机构以一个所述臂部供两个所述载盘枢设于其上。

7.如权利要求1所述的双臂式基板运载装置，其特征在于，所述提取机构以两个所述臂部分别供两个所述载盘作枢设。

8.如权利要求1所述的双臂式基板运载装置，其特征在于，所述装置还包括工作单元，所述工作单元具有一通过所述两个升降站上方的移动部以及至少一个于所述移动部上作位移的工作部。

9.如权利要求8所述的双臂式基板运载装置，其特征在于，所述工作部用以对两个所述基板进行检测。

10.如权利要求1所述的双臂式基板运载装置，其特征在于，所述待置站的数量为两个且相邻排置，且两个所述载盘分别对应所述两个待置站。

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