CN107658257A - 一种石墨舟硅片批量吸取装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种石墨舟硅片批量吸取装置，包括：吸盘组件；以及用于将吸盘组件锁紧固定的紧固组件，其中，吸盘组件包括若干片吸盘，相邻两片吸盘相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。根据本发明，其可实现硅片转移过程中的批量硅片吸取，同时能消吸盘对硅片表面的划伤及压迫造成的损坏，提高了生产效率的同时提高了成品率。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能硅片制造领域，特别涉及一种石墨舟硅片批量吸取装置。
背景技术
石墨舟即石墨模具，是一种载体，它可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率，在这个工序需要用到石墨舟，其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。
在上述工序中，需要对硅片进行多次批量吸取作业，在现有技术中，仍采用由人工操作的生产方式，生产效率受到一定限制，同时硅片容易在插片及取片过程中受到不同程度的污染及划伤，影响产品质量。有鉴于此，实有必要开发一种石墨舟硅片批量吸取装置，用以解决上述问题。
发明内容
针对现有技术中存在的不足之处，本发明的目的是提供一种石墨舟硅片批量吸取装置，可实现硅片转移过程中的批量硅片吸取，同时能消吸盘对硅片表面的划伤及压迫造成的损坏，提高了生产效率的同时提高了成品率。
为了实现根据本发明的上述目的和其他优点，提供了一种石墨舟硅片批量吸取装置，包括：
吸盘组件；以及
用于将吸盘组件锁紧固定的紧固组件，
其中，吸盘组件包括若干片吸盘，相邻两片吸盘相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。
优选的是，吸盘沿其纵轴方向开设有至少3条吸嘴容纳槽，每条容纳通槽中均设有吸嘴组件。
优选的是，吸嘴组件包括：
吸嘴；以及
与吸嘴相连通的吸管，其用于将吸嘴内部抽真空的吸管。
优选的是，容纳槽的末端连通地设有吸嘴通槽，吸嘴位于吸嘴通槽中。
优选的是，吸嘴通槽的边缘连通地设有至少3条弹簧通槽，每条弹簧通槽中均设有平衡弹簧，其中，平衡弹簧的一端与吸盘相连接，另一端与吸嘴的边缘相连接。
优选的是，紧固组件包括：
至少一根紧固杆；
固定板；以及
固接于固定板下表面的左紧固板与右紧固板，
其中，左紧固板与右紧固板相互平行且间隔设置以形成位于两者之间的安装空间，所述安装空间中设有若干片用于安装吸盘的安装板，紧固杆从左至右依次将左紧固板、安装板、及右紧固板串联起来并将三者锁定紧固。
优选的是，安装板的数目与吸盘的数目相同。
优选的是，安装板的其中一侧开设有指状的安装槽，安装槽设有至少4条相互平行的指端，相邻两条指端间形成有与吸嘴容纳槽的顶端相匹配的安装凸台。
优选的是，安装板内部开设有通往安装凸台的气路，所述气路的吸气口连通有吸气嘴，所述气路的抽气口通过抽气嘴与吸管相连通。
本发明与现有技术相比，其有益效果是：可实现硅片转移过程中的批量硅片吸取，同时能消吸盘对硅片表面的划伤及压迫造成的损坏，提高了生产效率的同时提高了成品率。
附图说明
图1为根据本发明所述的石墨舟硅片批量吸取装置的立体图；
图2为根据本发明所述的石墨舟硅片批量吸取装置的正视图；
图3为根据本发明所述的石墨舟硅片批量吸取装置的左视图；
图4为根据本发明所述的石墨舟硅片批量吸取装置中吸盘的左视图；
图5为根据本发明所述的石墨舟硅片批量吸取装置中吸盘的正视图；
图6为根据本发明所述的石墨舟硅片批量吸取装置中吸盘与安装板相配合的立体图；
图7为根据本发明所述的石墨舟硅片批量吸取装置中吸盘与安装板的爆炸视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，本发明的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。在说明书中，诸如“前部”、“后部”、“上部”、“下部”、“顶部”和“底部”及其衍生词的相对术语应当被解释为是指如然后所述的或如在被讨论的附图中所示出的取向。这些相对术语是为了说明方便起见并且通常并不旨在需要具体取向。涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。
参照图1、图2及图3，石墨舟硅片批量吸取装置包括：吸盘组件1、及紧固组件2，其中，紧固组件2用于将吸盘组件1锁紧固定，吸盘组件1包括若干片吸盘11，相邻两片吸盘11相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。在优选的实施方式中，吸盘11设有25片。
参照图4，吸盘11沿其纵轴方向开设有至少3条吸嘴容纳槽111，每条容纳通槽111中均设有吸嘴组件12。在优选的实施方式中，吸盘11上开设有两个减轻孔(112)。
进一步地，吸嘴组件12包括：
吸嘴121；以及
与吸嘴121相连通的吸管122，其用于将吸嘴121内部抽真空的吸管122。
参照图4中a处的局部放大处A，容纳槽111的末端连通地设有吸嘴通槽1111，吸嘴121位于吸嘴通槽1111中。在优选的实施方式中，吸盘11由铝材料制成，吸嘴121由聚氧亚甲基材料制成。
进一步地，吸嘴通槽1111的边缘连通地设有至少3条弹簧通槽1112，每条弹簧通槽1112中均设有平衡弹簧123，其中，平衡弹簧123的一端与吸盘11相连接，另一端与吸嘴121的边缘相连接。
参照图5，吸盘11的底端设有用于引导吸盘11插入硅片族中的引导倾角α，在优选的实施方式中，α为5°。
参照图1，紧固组件2包括：
至少一根紧固杆24；
固定板21；以及
固接于固定板21下表面的左紧固板22与右紧固板23，
其中，左紧固板22与右紧固板23相互平行且间隔设置以形成位于两者之间的安装空间，所述安装空间中设有若干片用于安装吸盘11的安装板25，紧固杆24从左至右依次将左紧固板22、安装板25、及右紧固板23串联起来并将三者锁定紧固。在优选的实施方式中，吸盘11的顶端设有用于将吸盘11安装于安装板25内的安装孔113以及用于穿套紧固杆24的紧固孔114。
进一步地，安装板25的数目与吸盘11的数目相同。
参照图6及图7，安装板25的其中一侧开设有指状的安装槽253，安装槽253设有至少4条相互平行的指端2531，相邻两条指端2531间形成有与吸嘴容纳槽111的顶端相匹配的安装凸台252。吸嘴容纳槽111的顶端与安装凸台252相配接，而吸盘11的顶端其余部分则被安装槽253所容纳。
进一步地，安装板25内部开设有通往安装凸台252的气路，所述气路的吸气口连通有吸气嘴251，所述气路的抽气口通过抽气嘴2521与吸管122相连通。
再次参照图1，固定板21的上部固接有用于与机械臂相连接的连接部(26)
工作原理：
工作时，首先通过与本石墨舟硅片批量吸取装置相连的机械臂驱动吸盘组件1与硅片族中的吸取狭缝错开一段距离，使得吸盘11在下降过程中其吸取面(即吸嘴开口面)不会与硅片相接触，待吸盘11插入到吸取狭缝中的预定深度后，机械臂驱动吸盘组件1平移一段距离，使得吸盘11上的吸嘴121能够与硅片相贴合，在贴合的同时，由于吸嘴121在吸嘴通槽1111中通过平衡弹簧123与吸盘11实现柔性连接，吸嘴121受到来自硅片的反作用力后对硅片的压迫力得到缓冲，从而降低了硅片被压坏损伤的几率，提高了成品率，降低了生产成本。
这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本发明的说明的。对本发明的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。
尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
Claims (9)
1.一种石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，包括：
吸盘组件(1)；以及
用于将吸盘组件(1)锁紧固定的紧固组件(2)，
其中，吸盘组件(1)包括若干片吸盘(11)，相邻两片吸盘(11)相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。
2.如权利要求1所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，吸盘(11)沿其纵轴方向开设有至少3条吸嘴容纳槽(111)，每条容纳通槽(111)中均设有吸嘴组件(12)。
3.如权利要求2所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，吸嘴组件(12)包括：
吸嘴(121)；以及
与吸嘴(121)相连通的吸管(122)，其用于将吸嘴(121)内部抽真空的吸管(122)。
4.如权利要求3所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，容纳槽(111)的末端连通地设有吸嘴通槽(1111)，吸嘴(121)位于吸嘴通槽(1111)中。
5.如权利要求4所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，吸嘴通槽(1111)的边缘连通地设有至少3条弹簧通槽(1112)，每条弹簧通槽(1112)中均设有平衡弹簧(123)，其中，平衡弹簧(123)的一端与吸盘(11)相连接，另一端与吸嘴(121)的边缘相连接。
6.如权利要求3所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，紧固组件(2)包括：
至少一根紧固杆(24)；
固定板(21)；以及
固接于固定板(21)下表面的左紧固板(22)与右紧固板(23)，
其中，左紧固板(22)与右紧固板(23)相互平行且间隔设置以形成位于两者之间的安装空间，所述安装空间中设有若干片用于安装吸盘(11)的安装板(25)，紧固杆(24)从左至右依次将左紧固板(22)、安装板(25)、及右紧固板(23)串联起来并将三者锁定紧固。
7.如权利要求6所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，安装板(25)的数目与吸盘(11)的数目相同。
8.如权利要求6所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，安装板(25)的其中一侧开设有指状的安装槽(253)，安装槽(253)设有至少4条相互平行的指端(2531)，相邻两条指端(2531)间形成有与吸嘴容纳槽(111)的顶端相匹配的安装凸台(252)。
9.如权利要求8所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，安装板(25)内部开设有通往安装凸台(252)的气路，所述气路的吸气口连通有吸气嘴(251)，所述气路的抽气口通过抽气嘴(2521)与吸管(122)相连通。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108565245A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-09-21 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 硅片转移用组合机械手 |
| CN116313978A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-06-23 | 嘉兴市耐思威精密机械有限公司 | 一种轻质化的硅片批量吸取装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106435521A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-02-22 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 用于石墨舟设备的硅片取放装置 |
| CN106637141A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-05-10 | 广东爱康太阳能科技有限公司 | 一种太阳能电池镀膜石墨舟片及石墨舟 |
| CN207116408U (zh) * | 2017-08-14 | 2018-03-16 | 罗博特科智能科技股份有限公司 | 一种石墨舟硅片批量吸取装置 |
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2017
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106435521A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-02-22 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 用于石墨舟设备的硅片取放装置 |
| CN106637141A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-05-10 | 广东爱康太阳能科技有限公司 | 一种太阳能电池镀膜石墨舟片及石墨舟 |
| CN207116408U (zh) * | 2017-08-14 | 2018-03-16 | 罗博特科智能科技股份有限公司 | 一种石墨舟硅片批量吸取装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108565245A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-09-21 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 硅片转移用组合机械手 |
| WO2019200688A1 (zh) * | 2018-04-20 | 2019-10-24 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 硅片转移用组合机械手 |
| CN108565245B (zh) * | 2018-04-20 | 2020-07-24 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 硅片转移用组合机械手 |
| CN116313978A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-06-23 | 嘉兴市耐思威精密机械有限公司 | 一种轻质化的硅片批量吸取装置 |
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