CN116313978A - 一种轻质化的硅片批量吸取装置 - Google Patents

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Abstract

本申请涉及太阳能硅片加工设备技术领域，尤其是一种轻质化的硅片批量吸取装置。一种轻质化的硅片批量吸取装置，包括紧固基座和若干连接于紧固基座的硅片吸盘片，所述硅片吸盘片包括吸盘底座和可拆卸连接于吸盘底座的硅片吸盘单元件，所述吸盘底座为铝制或者铝合金材质；所述硅片吸盘单元件为碳纤维材质；所述紧固基座可拆卸连接有若干固定杆件；所述固定杆件连接有总气管；单个所述硅片吸盘片均与总气管相连通。本申请整体的质量相对较轻盈，降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。

Description

一种轻质化的硅片批量吸取装置
技术领域
本申请涉及太阳能硅片加工设备技术领域，尤其是涉及一种轻质化的硅片批量吸取装置。
背景技术
在太阳能硅片的生产加工过程中，会涉及到PECVD镀膜工段，PECVD镀膜工段对太阳能硅片电池有着较大的影响，经过PECVD镀膜工段处理后太阳能硅片电池的太阳能转化率有所提高改善。
在PECVD镀膜工序加工过程中，需要用到石墨舟。石墨舟作为硅片加工载体可把需要定位或定型的原材料和零部件一起放于其石墨舟中对转运的硅片进行高温烧结成型。具体工作原理如下：将未镀膜的硅片通过硅片批量吸取装置放在石墨舟片的卡点上，每个石墨舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，通过硅片批量吸取装置将硅片从石墨舟上卸取下来。
目前，现有的石墨舟硅片批量吸取装置中包括紧固基座和若干硅片吸盘片，正常来说根据每个石墨舟片上可放固定数量硅片的不同，连接于紧固基座的硅片吸盘片数量在16-32片。硅片吸盘片通常是采用模具钢或者铝合金加工而成，因而会存以下问题，硅片批量吸取装置整体质量偏重，与硅片批量吸取装置连接的机器人负重较大，不仅影响整体操作的精度，进而影响硅片电池的质量，而且整体的生产能耗偏大。
发明内容
为了解决上述技术问题，本申请提供了一种轻质化的硅片批量吸取装置。
本申请提供的一种轻质化的硅片批量吸取装置，是通过以下技术方案得以实现的：一种轻质化的硅片批量吸取装置，包括紧固基座和若干连接于紧固基座的硅片吸盘片，所述硅片吸盘片包括吸盘底座和可拆卸连接于吸盘底座的硅片吸盘单元件，所述吸盘底座为铝制或者铝合金材质；所述硅片吸盘单元件为碳纤维材质；所述紧固基座可拆卸连接有若干固定杆件；所述固定杆件连接有总气管；单个所述硅片吸盘片均与总气管相连通。
通过采用上述技术方案，本申请整体的质量相对较轻盈，降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
优选的，所述吸盘底座长度方向的一侧面形成有嵌合槽；所述吸盘底座背向嵌合槽的侧面贯穿开设有若干第一紧固孔位；所述硅片吸盘单元件一体成型有若干第二紧固孔位；当所述硅片吸盘单元件嵌合于吸盘底座的嵌合槽，所述第一紧固孔位与第二紧固孔位重合，通过螺栓将吸盘底座和硅片吸盘单元件可拆卸且固定连接在一起形成硅片吸盘片。
通过采用上述技术方案，便于碳纤维材质的硅片吸盘单元件可拆卸且固定连接于吸盘底座形成硅片吸盘片整体，降低了硅片吸盘片整体的整体质量，进而降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
优选的，所述吸盘底座宽度方向的侧面开设有调整空槽；所述吸盘底座底部宽度方向两侧形成有调整块；所述调整块沿自身长度方向贯穿开设有形变空间；所述吸盘底座贯穿开设有与调整空槽、形变空间连通的微调孔位；所述微调孔位螺纹连接有模具钢材质的调节螺栓；所述调整块的底面开设有与形变空间连通的第一螺纹通孔；所述形变空间内垫衬有钢制垫片，所述钢制垫片位于调节螺栓的锥头的正下方；所述调整块的底面开设有与形变空间连通的第二螺纹通孔；所述第二螺纹通孔竖直向上的投影不与钢制垫片竖直向上的投影重合；所述吸盘底座底面开设有第三螺纹通孔；所述第三螺纹通孔和第二螺纹通孔同轴且直径相等，紧固基座底部通过螺栓螺纹连接吸盘底座的第三螺纹通孔和第二螺纹通孔，将紧固基座和硅片吸盘片可拆卸且固定连接在一起。
本申请可通过模具钢材质的调节螺栓较为快速校准调整硅片吸盘片整体与紧固基座的垂直度，进而保证硅片吸取质量，降低破片概率。
优选的，所述吸盘底座内部沿自身长度方向形成有气道A；所述气道A与总气管相连通；所述吸盘底座上表面形成有与气道A连通的气道B；所述硅片吸盘单元件包括硅片吸盘单元主体、陶瓷吸嘴、吸管组件，所述陶瓷吸嘴连接于硅片吸盘单元主体；所述吸管组件与陶瓷吸嘴、气道B相连通。
通过采用上述技术方案，可保证硅片吸盘片的硅片吸取质量。
优选的，所述硅片吸盘单元件沿自身长度方向一体成型有两个吸嘴容纳槽，且两个所述吸嘴容纳槽分别位于硅片吸盘单元件长度方向的两端侧；所述硅片吸盘单元件一体成型有四个吸嘴安装槽；单个所述吸嘴容纳槽与两个所述吸嘴安装槽相连通；所述陶瓷吸嘴设置于吸嘴容纳槽内；所述陶瓷吸嘴周侧铰接有四根平衡弹簧；四根所述平衡弹簧均布于陶瓷吸嘴周侧形成“X”字型；单个所述平衡弹簧一端铰接于陶瓷吸嘴周侧，另一端铰接于硅片吸盘单元主体的吸嘴安装槽周侧形成的铰接孔。
通过采用上述技术方案，便于陶瓷吸嘴安装于硅片吸盘单元主体，保证陶瓷吸嘴安装稳定性，进而保证硅片吸盘片的硅片吸取质量。
优选的，所述吸管组件包括第一吸管组件和第二吸管组件，所述第一吸管组件连通于设置于同一吸嘴容纳槽中的两个陶瓷吸嘴；所述第二吸管组件一端连通于吸盘底座的气道B，且另一端连通于与吸盘底座相邻的陶瓷吸嘴。
通过采用上述技术方案，可保证硅片吸盘片的硅片吸取质量。
优选的，所述第一吸管组件和第二吸管组件结构相同；以第一吸管组件为例，包括气管和气管接头，所述气管接头分别固定连通于气管的两端；第一吸管组件中的所述气管接头胶接连通于陶瓷吸嘴；第二吸管组件中的气管一端的气管接头胶接连通于陶瓷吸嘴，另一端的气管接头胶接连通于吸盘底座的气道B。
通过采用上述技术方案，所制备的硅片吸盘单元件成本相对较低且也便于批量化加工生产。
优选的，所述硅片吸盘单元件主要是由上层经纬编树脂浸渍碳纤维布、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布、0°树脂浸渍碳纤维布、90°树脂浸渍碳纤维布热压成型制备；所述0°树脂浸渍碳纤维布一体形成于上层经纬编树脂浸渍碳纤维布、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布之间；所述90°树脂浸渍碳纤维布一体形成于上层经纬编树脂浸渍碳纤维布、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布之间。
通过采用上述技术方案，硅片吸盘单元件为碳纤维材质，降低了硅片吸盘片整体的整体质量，进而降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
优选的，所述上层经纬编树脂浸渍碳纤维布和下层经纬编树脂浸渍碳纤维布是由环氧浸渍树脂和经纬编碳纤维布制成；所述0°树脂浸渍碳纤维布是由环氧浸渍树脂和0°碳纤维制成；所述90°树脂浸渍碳纤维布是由环氧浸渍树脂和90°碳纤维制成；所述上层经纬编树脂浸渍碳纤维布、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布、0°树脂浸渍碳纤维布、90°树脂浸渍碳纤维布中的环氧浸渍树脂配方相同；所述环氧浸渍树脂主要是由环氧树脂组合物、固化剂组合物、稀释剂丙酮、增塑剂-顺酐制成；所述固化剂组合物为甲基四氢苯酐和均苯四甲酸二酐，所述甲基四氢苯酐和均苯四甲酸二酐的质量比为(75-90)：(10-25)；所述环氧树脂组合物是由环氧改性氟硅树脂搭配双酚S型环氧树脂、4.4-二氨基二苯甲烷四缩水甘油胺、聚丁二烯环氧树脂组成；所述环氧改性氟硅树脂占环氧树脂组合物总质量的20-35wt％；所述环氧改性氟硅树脂是由全氟辛基丙基丙烯酸酯、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷和环氧树脂E41制得，全氟辛基丙基丙烯酸酯与γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷化学反应生产氟硅中间体，氟硅中间体再与环氧树脂E41反应制得环氧改性氟硅树脂；所述全氟辛基丙基丙烯酸酯的摩尔量等于γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷摩尔量的18-24％；所述γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷和环氧树脂E41摩尔比控制在1：(0.25-0.30)。
通过上述技术方案中的环氧浸渍树脂配方制备的硅片吸盘单元件具有更好的防火阻燃性能、机械强度、耐高热性、抗蠕变、强韧性能，采用该硅片吸盘单元件制备的轻质化的硅片批量吸取装置，其硅片吸盘单元件与紧固基座的垂直度稳定，不易发生垂直度偏差，检修维护周期延长，降低人工维修成本且保证的硅片吸取质量。
优选的，所述硅片吸盘单元件的制备方法，包括以下步骤：
步骤一，先制备环氧改性氟硅树脂，再制备环氧浸渍树脂；
步骤二，采用步骤一中的环氧浸渍树脂制得上层经纬编树脂浸渍碳纤维布、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布、0°树脂浸渍碳纤维布、90°树脂浸渍碳纤维布；
步骤三，在成型模具中从下至上依次堆叠下层经纬编树脂浸渍碳纤维布、若干0°树脂浸渍碳纤维布、90°树脂浸渍碳纤维布、若干0°树脂浸渍碳纤维布、上层经纬编树脂浸渍碳纤维布合模，热压成型，开模，打磨得成品硅片吸盘单元件。
本申请中的硅片吸盘单元件的制备方法相对简单，便于工业级批量生产。
综上所述，本申请具有以下优点：
1、本申请整体的质量相对较轻盈，降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
2、本申请可通过模具钢材质的调节螺栓较为快速校准调整硅片吸盘片整体与紧固基座的垂直度，进而保证硅片吸取质量，降低破片概率。
附图说明
图1是本申请中实施例1的整体结构示意图。
图2是本申请中实施例1的整体的主视图。
图3是本申请中实施例1中吸盘底座的结构示意图。
图4是本申请中实施例1中硅片吸盘片结构示意图。
图5是本申请中实施例1的吸盘底座的结构展示图。
图6是本申请中实施例1中的吸盘底座与调整块的结构展示图。
图7是图6中A处的局部放大图。
图8是本申请中实施例1中的硅片吸盘单元件的层结构示意图。
图中，1、紧固基座；10、硅片吸盘片安装槽；2、硅片吸盘片；201、气管；202、气管接头；21、吸盘底座；210、嵌合槽；2101、降质通槽；211、气道A；2111、连通气孔；212、气道B；213、第一紧固孔位；214、调整空槽；215、调整块；2151、第一螺纹通孔；2512、钢制垫片；2513、第二螺纹通孔；216、形变空间；217、微调孔位；218、调节螺栓；219、第三螺纹通孔；22、硅片吸盘单元件；220、硅片吸盘单元主体；221、陶瓷吸嘴；222、吸管组件；2221、第一吸管组件；2222、第二吸管组件；223、平衡弹簧；224、第二紧固孔位；225、吸嘴容纳槽；2251、固定片；226、铰接孔；23、吸嘴安装槽；3、固定杆件；4、总气管；5、上层经纬编树脂浸渍碳纤维布；6、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布；7、0°树脂浸渍碳纤维布；8、90°树脂浸渍碳纤维布。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本申请作进一步详细说明。
实施例1
参照图1，为本申请公开的一种轻质化的硅片批量吸取装置，包括紧固基座1和26片通过紧固螺栓可拆卸且固定连接于紧固基座1的硅片吸盘片2。
参照图1和图2，硅片吸盘片2包括吸盘底座21和通过经过螺栓可拆卸且固定连接于吸盘底座21的硅片吸盘单元件22。紧固基座1开设有26个相互间隔的硅片吸盘片安装槽10。硅片吸盘片2通过紧固螺栓可拆卸且固定连接于固基座1的硅片吸盘片安装槽10。
为了降低硅片吸盘片2整体质量，吸盘底座21为铝制或者铝合金材质，优选6061或者7075铝合金材质。此外，硅片吸盘单元件22为轻质的碳纤维材质。
参照图1，紧固基座1可拆卸连接有四根固定杆件3。其中两个固定杆件3分别通过紧固螺栓可拆卸且固定连接于紧固基座1底部长度方向的两端，另外的两个固定杆件3分别通过紧固螺栓可拆卸且固定连接于紧固基座1底部，且于通过紧固螺栓可拆卸且固定连接于紧固基座1底部长度方向的两端的两个固定杆件3之间。固定杆件3的长度方向与紧固基座1的长度方向垂直。四根固定杆件3共同套接有一根总气管4，总气管4的轴线与紧固基座1的长度方向同向且平行，且单个硅片吸盘片2均通过单独的气管与总气管4相连通。总气管4与外接的抽真空设备连通，给硅片吸盘片2提供负压，进而吸取硅片转运至花篮。
参照图2和图3，吸盘底座21长度方向的一侧面形成有嵌合槽210。为了降低硅片吸盘片2整体质量，吸盘底座21机加工形成有四个相互间隔的降质通槽2101。吸盘底座21背向嵌合槽210的侧面贯穿开设有八个第一紧固孔位213。其中，四个第一紧固孔位213位于吸盘底座21长度方向的一侧，另一四个第一紧固孔位213位于吸盘底座21长度方向的另一侧。位于吸盘底座21长度方向的一侧的四个第一紧固孔位213的垂直投影形成的圆形的圆心连线围成一个矩形。硅片吸盘单元件22一体成型有八个第二紧固孔位224。当硅片吸盘单元件22嵌合于吸盘底座21的嵌合槽210，第一紧固孔位213与第二紧固孔位224重合，通过螺栓将吸盘底座21和硅片吸盘单元件22可拆卸且固定连接在一起形成硅片吸盘片2。
参照图2和图3，吸盘底座21内部沿自身长度方向贯穿形成有气道A211。吸盘底座21的气道A211一端通过气管与总气管4相连通，另一端采用螺栓密封封堵，即单个硅片吸盘片2均通过单独的气管与总气管4相连通。吸盘底座21上表面形成有与气道A211连通的气道B212。吸盘底座21开设有与气道A211、气道B212连通的连通气孔2111，实现了气道B212与硅片吸盘单元件22连通，与总气管4连通的外接抽真空设备工作，给硅片吸盘片2提供负压，进而吸取硅片转运至花篮。
参照图3和图4，硅片吸盘单元件22包括硅片吸盘单元主体220、陶瓷吸嘴221、吸管组件222，陶瓷吸嘴221可拆卸连接于硅片吸盘单元主体220。吸管组件222与陶瓷吸嘴221、气道B212相连通。具体地，硅片吸盘单元主体220沿自身长度方向一体成型有两个相互间隔的吸嘴容纳槽225，且两个嘴容纳槽225分别位于硅片吸盘单元件22长度方向的两端侧，即关于硅片吸盘单元主体220长度方向的垂直平分线呈对称设置。硅片吸盘单元主体220一体成型有四个吸嘴安装槽23，其中两个吸嘴安装槽23位于一嘴容纳槽225，其中另外的两个吸嘴安装槽23位于另一嘴容纳槽225。单个吸嘴容纳槽225与两个吸嘴安装槽23相连通，两个吸嘴安装槽23相互间隔，即陶瓷吸嘴221开设于硅片吸盘单元主体220，位于吸嘴容纳槽221内。陶瓷吸嘴221周侧铰接有四根平衡弹簧223，四根平衡弹簧223均布于陶瓷吸嘴221周侧形成“X”字型。单个平衡弹簧223一端铰接于陶瓷吸嘴221周侧，另一端铰接于硅片吸盘单元主体220的吸嘴安装槽23周侧形成的铰接孔226。
参照图3和图4，吸管组件222包括第一吸管组件2221和第二吸管组件2222，第一吸管组件2221连通于设置于同一吸嘴容纳槽221中的两个陶瓷吸嘴221。第二吸管组件2222一端连通于吸盘底座21的气道B212，且另一端连通于与吸盘底座21相邻的陶瓷吸嘴221。
参照图3和图4，第一吸管组件2221和第二吸管组件2222结构相同，以第一吸管组件2221为例，第一吸管组件2221包括气管201和气管接头202，气管接头202分别固定连通于气管201的两端。第一吸管组件2221中的气管接头202胶接连通于陶瓷吸嘴221，本申请中的气管接头202区别有现有常规的螺纹接头。第二吸管组件2222中的气管201一端的气管接头202胶接连通于陶瓷吸嘴221，另一端的气管接头202胶接连通于吸盘底座21的气道B212。
参照图3和图4，气管201位于硅片吸盘单元主体220的嘴容纳槽225内，为了固定气管201，硅片吸盘单元主体220的嘴容纳槽225内部一体加工形成有用于限定气管201移动的固定片2251。
参照图6和图7，为了便于调整紧固基座1和硅片吸盘片2的垂直度，吸盘底座21宽度方向的侧面开设有调整空槽214，吸盘底座21底部宽度方向两侧形成有调整块215，调整块215沿自身长度方向贯穿开设有形变空间216，吸盘底座21贯穿开设有与调整空槽214、形变空间216连通的微调孔位217，微调孔位217螺纹连接有模具钢材质的调节螺栓218。调整块215的底面开设有与形变空间216连通的第一螺纹通孔2151。调整块215的形变空间216内垫衬有钢制垫片2152，钢制垫片2152位于调节螺栓218的锥头的正下方，通过模具钢材质的调节螺栓218较为快速校准调整硅片吸盘片2整体与紧固基座1的垂直度，进而保证硅片吸取质量，降低吸取硅片的破片概率。
参照图6和图7，调整块215的底面开设有与形变空间216连通的第二螺纹通孔2153，第二螺纹通孔2153竖直向上的投影不与钢制垫片2152竖直向上的投影重合。吸盘底座21底面开设有第三螺纹通孔219，第三螺纹通孔219和第二螺纹通孔2153同轴且直径相等，即可实现紧固基座1底部通过螺栓螺纹连接吸盘底座21的第三螺纹通孔219和第二螺纹通孔2153，将紧固基座1和硅片吸盘片2可拆卸且固定连接在一起的目的。
参照图8，硅片吸盘单元件22主要是由上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6、0°树脂浸渍碳纤维布7、90°树脂浸渍碳纤维布8热压成型制备。
0°树脂浸渍碳纤维布7一体形成于上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6之间且90°树脂浸渍碳纤维布8一体形成于上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6之间。
上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5和下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6是由环氧浸渍树脂和经纬编碳纤维布制成。
0°树脂浸渍碳纤维布7是由环氧浸渍树脂和0°碳纤维制成；所述90°树脂浸渍碳纤维布8是由环氧浸渍树脂和90°碳纤维制成。
上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6、0°树脂浸渍碳纤维布7、90°树脂浸渍碳纤维布8中的环氧浸渍树脂配方相同。
环氧浸渍树脂主要是由环氧树脂组合物100份、固化剂组合物80份、稀释剂丙酮120份、增塑剂-顺酐20份制成。固化剂组合物为甲基四氢苯酐和均苯四甲酸二酐，甲基四氢苯酐和均苯四甲酸二酐的质量比为85：15。
环氧树脂组合物是由环氧改性氟硅树脂搭配双酚S型环氧树脂、4.4-二氨基二苯甲烷四缩水甘油胺、聚丁二烯环氧树脂组成。环氧改性氟硅树脂占环氧树脂组合物总质量的25wt％。双酚S型环氧树脂占环氧树脂组合物总质量的60wt％、4.4-二氨基二苯甲烷四缩水甘油胺占环氧树脂组合物总质量的10wt％、聚丁二烯环氧树脂占环氧树脂组合物总质量的5wt％。
环氧改性氟硅树脂是由全氟辛基丙基丙烯酸酯、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷和环氧树脂E41制得，全氟辛基丙基丙烯酸酯与γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷化学反应生产氟硅中间体，氟硅中间体再与环氧树脂E41反应制得环氧改性氟硅树脂，全氟辛基丙基丙烯酸酯的摩尔量等于γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷摩尔量的20％，且γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷和环氧树脂E41摩尔比控制在1：0.25。
硅片吸盘单元件22的制备方法，包括以下步骤：
步骤一，先制备环氧改性氟硅树脂：
S1.1，将计量准确的全氟辛基丙基丙烯酸酯、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷预先与二甲苯混合均匀，其中二甲苯的质量等于全氟辛基丙基丙烯酸酯、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷总质量的60％，得粘度适中的混合液物质；
S1.2，将混合均匀的混合液加入带有回流装置的反应釜中，冲入氮气保护，搅拌升温至80℃，保温10.0min，每隔20min滴加一次引发剂AIBN，单次滴加的引发剂AIBN占引发剂AIBN总质量的20％，反应温度维持在80-82之间℃，反应140min，即可得到氟硅中间体树脂；
S1.3，采用环氧树脂E41和二甲苯混合均匀，二甲苯的用量等环氧树脂质量的50％，在氮气保护下加热至110-112℃，滴加占环氧树脂质量的0.25％的DMP-30，再以6g/min滴加制备的氟硅中间体树脂，反应130min，冷却取得环氧改性氟硅树脂；
再利用环氧改性氟硅树脂制备环氧浸渍树脂：将计量准确的S1.3中制备的环氧改性氟硅树脂、双酚S型环氧树脂、4.4-二氨基二苯甲烷四缩水甘油胺、聚丁二烯环氧树脂与丙酮混合均匀，丙酮的质量是环氧改性氟硅树脂、双酚S型环氧树脂、4.4-二氨基二苯甲烷四缩水甘油胺、聚丁二烯环氧树脂总量的1.2倍，调整体系粘度后在氮气保护下和0-4℃条件下，加入计量准确的固化剂组合物(质量比为85：15的甲基四氢苯酐和均苯四甲酸二酐)、增塑剂-顺酐，以300rpm搅拌10min，混合均匀得成品环氧浸渍树脂，0-4℃下储存备用；
步骤二，采用步骤一中的环氧浸渍树脂制得上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6、0°树脂浸渍碳纤维布7、90°树脂浸渍碳纤维布8；
上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6的制备方法相同，以上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5为例，上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5的制备方法如下：经纬编的碳纤维布(3K斜纹经编碳纤)上、下表面均匀涂覆步骤一中的环氧浸渍树脂，加热除去有机溶剂，预热至环氧浸渍树脂呈胶态，然后两面复合上离型膜，得成品经纬编树脂浸渍碳纤维布，使用时揭开离型膜；
0°树脂浸渍碳纤维布7制备方法如下：0°碳纤维布上、下表面均匀涂覆步骤一中的环氧浸渍树脂，加热除去有机溶剂，预热至环氧浸渍树脂呈胶态，然后两面复合上离型膜，得成品0°树脂浸渍碳纤维布，使用时揭开离型膜；
90°树脂浸渍碳纤维布8制备方法如下：90°碳纤维布上、下表面均匀涂覆步骤一中的环氧浸渍树脂，加热除去有机溶剂，预热至环氧浸渍树脂呈胶态，然后两面复合上离型膜，得成品90°树脂浸渍碳纤维布，使用时揭开离型膜；
步骤三，上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6、0°树脂浸渍碳纤维布7、90°树脂浸渍碳纤维布8使用时，揭开自身复合的离型膜，在成型模具中从下至上依次堆叠下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6、若干0°树脂浸渍碳纤维布7、90°树脂浸渍碳纤维布8、若干0°树脂浸渍碳纤维布7、上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5合模，热压成型：模具居中放置放置在上压机，压机温度150℃，上压机成型，控制压力0.8MPa，起始气压0.2Mpa，注意加气速度不要过快，防止瞬间爆袋，320S后缓慢放气，气放完后加至0.60Mpa，保温3000S，保温结束后，先放气后把气头，最后泄压开模，冷却至室温后，采用依次采用200#、500#、1200#、2000#砂纸打磨得成品硅片吸盘单元件22。
实施例2
实施例2与实施例1的区别在：
环氧浸渍树脂主要是由环氧树脂组合物100份、固化剂组合物80份、稀释剂丙酮120份、增塑剂-顺酐20份制成。固化剂组合物为甲基四氢苯酐，环氧树脂组合物为双酚A型环氧树脂E41。
硅片吸盘单元件的制备方法，包括以下步骤：
步骤一，环氧浸渍树脂的制备：将计量准确的双酚A型环氧树脂E41与丙酮混合均匀，调整体系粘度后在氮气保护下和0-4℃条件下，加入计量准确的固化剂组合物-甲基四氢苯酐、增塑剂-顺酐，以300rpm搅拌10min，混合均匀得成品环氧浸渍树脂，0-4℃下储存备用；
步骤二，采用步骤一中的环氧浸渍树脂制得上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6、0°树脂浸渍碳纤维布7、90°树脂浸渍碳纤维布8；
上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6的制备方法相同，以上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5为例，上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5的制备方法如下：经纬编的碳纤维布(3K斜纹经编碳纤)上、下表面均匀涂覆步骤一中的环氧浸渍树脂，加热除去有机溶剂，预热至环氧浸渍树脂呈胶态，然后两面复合上离型膜，得成品经纬编树脂浸渍碳纤维布，使用时揭开离型膜；
0°树脂浸渍碳纤维布7制备方法如下：0°碳纤维布上、下表面均匀涂覆步骤一中的环氧浸渍树脂，加热除去有机溶剂，预热至环氧浸渍树脂呈胶态，然后两面复合上离型膜，得成品0°树脂浸渍碳纤维布，使用时揭开离型膜；
90°树脂浸渍碳纤维布8制备方法如下：90°碳纤维布上、下表面均匀涂覆步骤一中的环氧浸渍树脂，加热除去有机溶剂，预热至环氧浸渍树脂呈胶态，然后两面复合上离型膜，得成品90°树脂浸渍碳纤维布，使用时揭开离型膜；
步骤三，上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6、0°树脂浸渍碳纤维布7、90°树脂浸渍碳纤维布8使用时，揭开自身复合的离型膜，在成型模具中从下至上依次堆叠下层经纬编树脂浸渍碳纤维布6、若干0°树脂浸渍碳纤维布7、90°树脂浸渍碳纤维布8、若干0°树脂浸渍碳纤维布7、上层经纬编树脂浸渍碳纤维布5合模，热压成型：模具居中放置放置在上压机，压机温度145℃，上压机成型，控制压力0.8MPa，起始气压0.2Mpa，注意加气速度不要过快，防止瞬间爆袋，300S后缓慢放气，气放完后加至0.60Mpa，保温3000S，保温结束后，先放气后把气头，最后泄压开模，冷却至室温后，采用依次采用200#、500#、1200#、2000#砂纸打磨得成品硅片吸盘单元件。
对实施例1中制备的硅片吸盘单元件和实施例2中制备的硅片吸盘单元件进行性能检测。性能检测包括热变形温度测试(JJ-TEST热变形温度测试试验机测试)、力学强度检测(抗压强度GB/T 9341-2008、拉伸强度GB/T 1040-2006)和耐热性能检测。
数据分析
表1是实施例1-2中的硅片吸盘单元件的测试参数
密度g/cm3 热变形温度(℃) 抗压强度(MPa) 拉伸强度(MPa)
实施例1 1.38 193.4 132.1 96.2
实施例2 1.36 120.6 102.8 72.5
实施例1-2结合图1可知，实施例1中所制备的硅片吸盘单元件具有较好的力学强度和耐热性能，相对实施例1中硅片吸盘单元件更加适用于耐热环境下的硅片批量吸取，尺寸稳定性更优异，具有相对更为长久的使用寿命。
本具体实施方式的实施例均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：包括紧固基座（1）和若干连接于紧固基座（1）的硅片吸盘片（2），所述硅片吸盘片（2）包括吸盘底座（21）和可拆卸连接于吸盘底座（21）的硅片吸盘单元件（22），所述吸盘底座（21）为铝制或者铝合金材质；所述硅片吸盘单元件（22）为碳纤维材质；所述紧固基座（1）可拆卸连接有若干固定杆件（3）；所述固定杆件（3）连接有总气管（4）；单个所述硅片吸盘片（2）均与总气管（4）相连通。
2.根据权利要求1所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述吸盘底座（21）长度方向的一侧面形成有嵌合槽（210）；所述吸盘底座（21）背向嵌合槽（210）的侧面贯穿开设有若干第一紧固孔位（213）；所述硅片吸盘单元件（22）一体成型有若干第二紧固孔位（224）；当所述硅片吸盘单元件（22）嵌合于吸盘底座（21）的嵌合槽（210），所述第一紧固孔位（213）与第二紧固孔位（224）重合，通过螺栓将吸盘底座（21）和硅片吸盘单元件（22）可拆卸且固定连接在一起形成硅片吸盘片（2）。
3.根据权利要求1所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述吸盘底座（21）宽度方向的侧面开设有调整空槽（214）；所述吸盘底座（21）底部宽度方向两侧形成有调整块（215）；所述调整块（215）沿自身长度方向贯穿开设有形变空间（216）；所述吸盘底座（21）贯穿开设有与调整空槽（214）、形变空间（216）连通的微调孔位（217）；所述微调孔位（217）螺纹连接有模具钢材质的调节螺栓（218）；所述调整块（215）的底面开设有与形变空间（216）连通的第一螺纹通孔（2151）；所述形变空间（216）内垫衬有钢制垫片（2152），所述钢制垫片（2152）位于调节螺栓（218）的锥头的正下方；所述调整块（215）的底面开设有与形变空间（216）连通的第二螺纹通孔（2153）；所述第二螺纹通孔（2153）竖直向上的投影不与钢制垫片（2152）竖直向上的投影重合；所述吸盘底座（21）底面开设有第三螺纹通孔（219）；所述第三螺纹通孔（219）和第二螺纹通孔（2153）同轴且直径相等，紧固基座（1）底部通过螺栓螺纹连接吸盘底座（21）的第三螺纹通孔（219）和第二螺纹通孔（2153），将紧固基座（1）和硅片吸盘片（2）可拆卸且固定连接在一起。
4.根据权利要求1所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述吸盘底座（21）内部沿自身长度方向形成有气道A（211）；所述气道A（211）与总气管（4）相连通；所述吸盘底座（21）上表面形成有与气道A（211）连通的气道B（212）；所述硅片吸盘单元件（22）包括硅片吸盘单元主体（220）、陶瓷吸嘴（221）、吸管组件（222），所述陶瓷吸嘴（221）连接于硅片吸盘单元主体（220）；所述吸管组件（222）与陶瓷吸嘴（221）、气道B（212）相连通。
5.根据权利要求4所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述硅片吸盘单元件（22）沿自身长度方向一体成型有两个吸嘴容纳槽（225），且两个所述吸嘴容纳槽（225）分别位于硅片吸盘单元件（22）长度方向的两端侧；所述硅片吸盘单元件（22）一体成型有四个吸嘴安装槽（23）；单个所述吸嘴容纳槽（225）与两个所述吸嘴安装槽（23）相连通；所述陶瓷吸嘴（221）设置于吸嘴容纳槽（221）内；所述陶瓷吸嘴（221）周侧铰接有四根平衡弹簧（223）；四根所述平衡弹簧（223）均布于陶瓷吸嘴（221）周侧形成“X”字型；单个所述平衡弹簧（223）一端铰接于陶瓷吸嘴（221）周侧，另一端铰接于硅片吸盘单元主体（220）的吸嘴安装槽（23）周侧形成的铰接孔（226）。
6.根据权利要求4或5所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述吸管组件（222）包括第一吸管组件（2221）和第二吸管组件（2222），所述第一吸管组件（2221）连通于设置于同一吸嘴容纳槽（221）中的两个陶瓷吸嘴（221）；所述第二吸管组件（2222）一端连通于吸盘底座（21）的气道B（212），且另一端连通于与吸盘底座（21）相邻的陶瓷吸嘴（221）。
7.根据权利要求6所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述第一吸管组件（2221）和第二吸管组件（2222）结构相同；以第一吸管组件（2221）为例，包括气管（201）和气管接头（202），所述气管接头（202）分别固定连通于气管（201）的两端；第一吸管组件（2221）中的所述气管接头（202）胶接连通于陶瓷吸嘴（221）；第二吸管组件（2222）中的气管（201）一端的气管接头（202）胶接连通于陶瓷吸嘴（221），另一端的气管接头（202）胶接连通于吸盘底座（21）的气道B（212）。
8.根据权利要求1所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述硅片吸盘单元件（22）主要是由上层经纬编树脂浸渍碳纤维布（5）、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布（6）、0°树脂浸渍碳纤维布（7）、90°树脂浸渍碳纤维布（8）热压成型制备；所述0°树脂浸渍碳纤维布（7）一体形成于上层经纬编树脂浸渍碳纤维布（5）、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布（6）之间；所述90°树脂浸渍碳纤维布（8）一体形成于上层经纬编树脂浸渍碳纤维布（5）、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布（6）之间。
9.根据权利要求8所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述上层经纬编树脂浸渍碳纤维布（5）和下层经纬编树脂浸渍碳纤维布（6）是由环氧浸渍树脂和经纬编碳纤维布制成；所述0°树脂浸渍碳纤维布（7）是由环氧浸渍树脂和0°碳纤维制成；所述90°树脂浸渍碳纤维布（8）是由环氧浸渍树脂和90°碳纤维制成；所述上层经纬编树脂浸渍碳纤维布（5）、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布（6）、0°树脂浸渍碳纤维布（7）、90°树脂浸渍碳纤维布（8）中的环氧浸渍树脂配方相同；所述环氧浸渍树脂主要是由环氧树脂组合物、固化剂组合物、稀释剂丙酮、增塑剂-顺酐制成；所述固化剂组合物为甲基四氢苯酐和均苯四甲酸二酐，所述甲基四氢苯酐和均苯四甲酸二酐的质量比为（75-90）：（10-25）；所述环氧树脂组合物是由环氧改性氟硅树脂搭配双酚S型环氧树脂、4.4-二氨基二苯甲烷四缩水甘油胺、聚丁二烯环氧树脂组成；所述环氧改性氟硅树脂占环氧树脂组合物总质量的20-35wt%；所述环氧改性氟硅树脂是由全氟辛基丙基丙烯酸酯、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷和环氧树脂E41制得，全氟辛基丙基丙烯酸酯与γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷化学反应生产氟硅中间体，氟硅中间体再与环氧树脂E41反应制得环氧改性氟硅树脂；所述全氟辛基丙基丙烯酸酯的摩尔量等于γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷摩尔量的18-24%；所述γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷和环氧树脂E41摩尔比控制在1：（0.25-0.30）。
10.根据权利要求9所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述硅片吸盘单元件（22）的制备方法，包括以下步骤：
步骤一，先制备环氧改性氟硅树脂，再制备环氧浸渍树脂；
步骤二，采用步骤一中的环氧浸渍树脂制得上层经纬编树脂浸渍碳纤维布（5）、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布（6）、0°树脂浸渍碳纤维布（7）、90°树脂浸渍碳纤维布（8）；
步骤三，在成型模具中从下至上依次堆叠下层经纬编树脂浸渍碳纤维布（6）、若干0°树脂浸渍碳纤维布（7）、90°树脂浸渍碳纤维布（8）、若干0°树脂浸渍碳纤维布（7）、上层经纬编树脂浸渍碳纤维布（5）合模，热压成型，开模，打磨得成品硅片吸盘单元件。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117024088A (zh) * 2023-07-25 2023-11-10 桐庐鼎力建材有限公司 一种高耐蚀性混凝土及其制备方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202454545U (zh) * 2011-12-22 2012-09-26 南京华伯仪器科技有限公司 吸盘片和吸盘夹具
CN107481964A (zh) * 2017-07-18 2017-12-15 罗博特科智能科技股份有限公司 一种硅片批量吸取装置
CN107658257A (zh) * 2017-08-14 2018-02-02 罗博特科智能科技股份有限公司 一种石墨舟硅片批量吸取装置
CN210403690U (zh) * 2019-09-11 2020-04-24 苏州诚拓机械设备有限公司 分组控制石墨舟吸盘装置
CN218004818U (zh) * 2022-07-25 2022-12-09 江苏创生源智能装备股份有限公司 硅片吸附抓取装置
CN115505238A (zh) * 2022-09-17 2022-12-23 嘉兴翔翌复合材料有限公司 一种碳纤维rs4风箱导管及其制备方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202454545U (zh) * 2011-12-22 2012-09-26 南京华伯仪器科技有限公司 吸盘片和吸盘夹具
CN107481964A (zh) * 2017-07-18 2017-12-15 罗博特科智能科技股份有限公司 一种硅片批量吸取装置
CN107658257A (zh) * 2017-08-14 2018-02-02 罗博特科智能科技股份有限公司 一种石墨舟硅片批量吸取装置
CN210403690U (zh) * 2019-09-11 2020-04-24 苏州诚拓机械设备有限公司 分组控制石墨舟吸盘装置
CN218004818U (zh) * 2022-07-25 2022-12-09 江苏创生源智能装备股份有限公司 硅片吸附抓取装置
CN115505238A (zh) * 2022-09-17 2022-12-23 嘉兴翔翌复合材料有限公司 一种碳纤维rs4风箱导管及其制备方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117024088A (zh) * 2023-07-25 2023-11-10 桐庐鼎力建材有限公司 一种高耐蚀性混凝土及其制备方法

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