CN218004818U

CN218004818U - 硅片吸附抓取装置

Info

Publication number: CN218004818U
Application number: CN202221915401.6U
Authority: CN
Inventors: 徐雷达
Original assignee: Jiangsu Chuangshengyuan Intelligent Equipment Co ltd
Current assignee: Jiangsu Chuangshengyuan Intelligent Equipment Co ltd
Priority date: 2022-07-25
Filing date: 2022-07-25
Publication date: 2022-12-09
Anticipated expiration: 2032-07-25

Abstract

本实用新型公开了硅片吸附抓取装置，包括：安装架，其底部等距安装有多个负压吸附装置，负压吸附装置包括间隔块和板式吸附机构，间隔块固定安装于安装架的底部，板式吸附机构安装于间隔块的底端，板式吸附机构包括安装板和吸盘组件，安装板连接于间隔块的底端，多个吸盘组件穿插设置于安装板的内部；负压管道组件。本实用新型利用负压吸附装置和负压管道组件相配合的设置方式，通过板式吸附机构会插到石墨舟中，然后通过外接的真空发生器，将负压管道组件的内腔抽至负压状态，然后负压状态的吸盘组件吸取石墨舟中的单晶硅片，由于三角形稳定性最高，在对硅片的吸附中，采用三点吸附的方式，使得硅片的吸附更加稳定。

Description

硅片吸附抓取装置

技术领域

本实用新型涉及抓取装置领域，特别涉及硅片吸附抓取装置。

背景技术

石墨舟是太阳能PECVD设备中硅片镀膜的载体。在机器人抓取石墨舟中的单晶硅片时，目前采用的是铝制的整体吸盘，在插入至石墨舟中时，由于整体性的吸盘，对单晶硅片的吸附时，受力点较为单一，从而使得硅片吸附时稳定性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供硅片吸附抓取装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：硅片吸附抓取装置，包括：

安装架，其底部等距安装有多个负压吸附装置，所述负压吸附装置包括间隔块和板式吸附机构，所述间隔块固定安装于安装架的底部，所述板式吸附机构安装于间隔块的底端，所述板式吸附机构包括安装板和吸盘组件，所述安装板连接于间隔块的底端，多个所述吸盘组件穿插设置于安装板的内部；

负压管道组件，其连接于安装架的顶部，所述负压管道组件用于将负压吸附装置抽至负压状态。

优选的，所述安装板上开设有多个开槽，所述吸盘组件设置于开槽的内部。

优选的，所述吸盘组件包括负压陶瓷吸盘、负压管件、连接件和连接片，所述负压陶瓷吸盘位于开槽的内部，所述负压管件连接于负压陶瓷吸盘的顶端，且所述负压管件与负压陶瓷吸盘内腔相通，所述连接片固定套设于负压陶瓷吸盘的外部，多个所述连接件连接于连接片的边角处。

优选的，所述负压管件包括气管和第二连接头，所述气管与安装板穿插连接，两个所述第二连接头分别连接于气管的两端，所述气管通过其中一个第二连接头与负压陶瓷吸盘连通，所述气管通过其中另一个第二连接头与间隔块的内腔连通。

优选的，所述连接件包括拉簧和耳板，所述耳板与开槽边角处内壁固定连接，所述拉簧的一端与耳板连接，所述拉簧的另一端与连接片连接。

优选的，所述负压管道组件包括负压主管和第三连接头，所述负压主管安装于安装架的顶部，多个所述第三连接头等距连接于负压主管的边侧。

优选的，所述间隔块的边侧连接有第一连接头，所述第一连接头与间隔块的内腔相通，所述第一连接头与第三连接头的位置相对应。

本实用新型的技术效果和优点：

（1）本实用新型利用负压吸附装置和负压管道组件相配合的设置方式，通过板式吸附机构会插到石墨舟中，然后通过外接的真空发生器，将负压管道组件的内腔抽至负压状态，然后负压状态的吸盘组件吸取石墨舟中的单晶硅片，由于三角形稳定性最高，在对硅片的吸附中，采用三点吸附的方式，使得硅片的吸附更加稳定；

（2）本实用新型利用拉簧和耳板相配合的设置方式，通过边角处的多个拉簧的牵拉，使负压陶瓷吸盘的受力均匀，不会随着机器人机械手的摆动而进行大幅度位置移动。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为本实用新型正面内部结构示意图。

图3为本实用新型负压吸附装置处侧面内部结构示意图。

图4为本实用新型吸盘组件处侧面结构示意图。

图中：1、安装架；2、负压吸附装置；21、间隔块；211、第一连接头；22、板式吸附机构；221、安装板；222、吸盘组件；2221、负压陶瓷吸盘；2222、气管；2223、第二连接头；2224、连接片；2225、拉簧；2226、耳板；3、负压管道组件；31、负压主管；32、第三连接头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-4所示的硅片吸附抓取装置，包括：

安装架1，其底部等距安装有多个负压吸附装置2，负压吸附装置2包括间隔块21和板式吸附机构22，间隔块21为玻纤材质，间隔块21固定安装于安装架1的底部，板式吸附机构22安装于间隔块21的底端，板式吸附机构22包括安装板221和吸盘组件222，第一连接头211为碳纤维材质，安装板221连接于间隔块21的底端，多个吸盘组件222穿插设置于安装板221的内部，安装板221上开设有多个开槽，吸盘组件222设置于开槽的内部，通过开槽便于对三个吸盘组件222的安装放置，通过安装板221便于对各个吸盘组件222的位置进行承载，使得吸盘组件222的位置更加稳定，每个间隔块21的宽度大小都在13.5±0.02mm以内，保证每片吸盘吸取硅片时的精确位置，使得安装板221可以插入石墨舟的内部；

吸盘组件222包括负压陶瓷吸盘2221、负压管件、连接件和连接片2224，负压陶瓷吸盘2221位于开槽的内部，负压管件连接于负压陶瓷吸盘2221的顶端，且负压管件与负压陶瓷吸盘2221内腔相通，连接片2224固定套设于负压陶瓷吸盘2221的外部，多个连接件连接于连接片2224的边角处，通过负压陶瓷吸盘2221便于对硅片的吸附，通过负压管件便于将间隔块21与负压陶瓷吸盘2221的内腔相通，将负压陶瓷吸盘2221的内腔抽至负压状态，通过各个连接件的牵引，使得负压陶瓷吸盘2221的位置相对安装板221的位置更加稳定，通过连接片2224便于拉簧2225的勾连；

负压管件包括气管2222和第二连接头2223，气管2222与安装板221穿插连接，两个第二连接头2223分别连接于气管2222的两端，气管2222通过其中一个第二连接头2223与负压陶瓷吸盘2221连通，气管2222通过其中另一个第二连接头2223与间隔块21的内腔连通；气管2222与安装板221穿插连接，用于对负压陶瓷吸盘2221的抽真空，连接件包括拉簧2225和耳板2226，耳板2226与开槽边角处内壁固定连接，拉簧2225的一端与耳板2226连接，拉簧2225的另一端与连接片2224连接，通过边角处的多个拉簧2225的牵拉，使负压陶瓷吸盘2221的受力均匀，不会随着机器人机械手的摆动而进行大幅度位置移动；

负压管道组件3，其连接于安装架1的顶部，负压管道组件3用于将负压吸附装置2抽至负压状态，负压管道组件3包括负压主管31和第三连接头32，负压主管31安装于安装架1的顶部，多个第三连接头32等距连接于负压主管31的边侧，间隔块21的边侧连接有第一连接头211，第一连接头211与间隔块21的内腔相通，第一连接头211与第三连接头32的位置相对应，第一连接头211与第三连接头32之间可以连接接通管，从而使得负压主管31、第三连接头32、第一连接头211、间隔块21、气管2222和负压陶瓷吸盘2221的内腔依次连通，以便各个负压陶瓷吸盘2221可以对硅片进行吸附，第一连接头211通过间隔块21与第二连接头2223的内腔相通。

本实用新型工作原理：

在使用中，将安装架1安装在外界机器人工作位上，当机器人工作时，板式吸附机构22会插到石墨舟中，然后通过外接的真空发生器，将负压主管31的内腔抽至负压状态，然后负压状态的负压陶瓷吸盘2221吸取石墨舟中的单晶硅片，由于三角形稳定性最高，在对硅片的吸附中，采用三点吸附的方式，使得硅片的吸附更加稳定，然后机器人转动把负压吸附装置2运送到下一工位，负压陶瓷吸盘2221放下硅片空气从负压陶瓷吸盘2221流入，经过安装板221上穿插的气管2222，进入间隔块21的内部，从间隔块21上的第一连接头211进入到第三连接头32中，然后汇总到负压主管31中，最终流向真空发生器，达到真空吸附单晶硅片运输的效果。

最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.硅片吸附抓取装置，其特征在于，包括：

安装架（1），其底部等距安装有多个负压吸附装置（2），所述负压吸附装置（2）包括间隔块（21）和板式吸附机构（22），所述间隔块（21）固定安装于安装架（1）的底部，所述板式吸附机构（22）安装于间隔块（21）的底端，所述板式吸附机构（22）包括安装板（221）和吸盘组件（222），所述安装板（221）连接于间隔块（21）的底端，多个所述吸盘组件（222）穿插设置于安装板（221）的内部；

负压管道组件（3），其连接于安装架（1）的顶部，所述负压管道组件（3）用于将负压吸附装置（2）抽至负压状态。

2.根据权利要求1所述的硅片吸附抓取装置，其特征在于，所述安装板（221）上开设有多个开槽，所述吸盘组件（222）设置于开槽的内部。

3.根据权利要求1所述的硅片吸附抓取装置，其特征在于，所述吸盘组件（222）包括负压陶瓷吸盘（2221）、负压管件、连接件和连接片（2224），所述负压陶瓷吸盘（2221）位于开槽的内部，所述负压管件连接于负压陶瓷吸盘（2221）的顶端，且所述负压管件与负压陶瓷吸盘（2221）内腔相通，所述连接片（2224）固定套设于负压陶瓷吸盘（2221）的外部，多个所述连接件连接于连接片（2224）的边角处。

4.根据权利要求3所述的硅片吸附抓取装置，其特征在于，所述负压管件包括气管（2222）和第二连接头（2223），所述气管（2222）与安装板（221）穿插连接，两个所述第二连接头（2223）分别连接于气管（2222）的两端，所述气管（2222）通过其中一个第二连接头（2223）与负压陶瓷吸盘（2221）连通，所述气管（2222）通过其中另一个第二连接头（2223）与间隔块（21）的内腔连通。

5.根据权利要求3所述的硅片吸附抓取装置，其特征在于，所述连接件包括拉簧（2225）和耳板（2226），所述耳板（2226）与开槽边角处内壁固定连接，所述拉簧（2225）的一端与耳板（2226）连接，所述拉簧（2225）的另一端与连接片（2224）连接。

6.根据权利要求1所述的硅片吸附抓取装置，其特征在于，所述负压管道组件（3）包括负压主管（31）和第三连接头（32），所述负压主管（31）安装于安装架（1）的顶部，多个所述第三连接头（32）等距连接于负压主管（31）的边侧。

7.根据权利要求6所述的硅片吸附抓取装置，其特征在于，所述间隔块（21）的边侧连接有第一连接头（211），所述第一连接头（211）与间隔块（21）的内腔相通，所述第一连接头（211）与第三连接头（32）的位置相对应。