CN219617801U - 一种大尺寸配对陶瓷吸盘 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种大尺寸配对陶瓷吸盘，属于硅片吸盘技术领域，包括两个吸盘主体，两个吸盘主体上均设置有多个凸块，吸盘主体表面开设有用于抽真空的开槽，开槽延伸至多个凸块处，吸盘主体表面位于开槽内开设有多个开孔，吸盘主体表面位于开槽一侧开设有用于安装抽真空管的通槽，吸盘主体侧壁开设有连通开槽的充气口，吸盘主体表面开设有两个连通腔，两个连通腔均连通开槽。将充气管连接外部加气管路，向充气口加气，气体进入开槽，并通过两个连通腔快速均匀扩散至开槽各个位置，进而可轻松将硅片取下，减少发生硅片的一部分与吸盘主体吸附，硅片的另一部分分离的情况，保证硅片分离的效率。

Description

一种大尺寸配对陶瓷吸盘

技术领域

本申请属于硅片吸盘技术领域，尤其涉及一种大尺寸配对陶瓷吸盘。

背景技术

传统的硅片吸附装置通常采用带有真空发生器的吸料杆进行吸取，由于吸取面积较小，在吸取大尺寸硅片时需采用多个吸料杆进行吸取，在需要放料时，由于多个吸料杆在控制真空状态时，较难保持一致，所以会造成硅片重心偏离，从而导致吸力大的地方会留下吸盘印等问题，因此产生了真空陶瓷吸盘。

现有授权公告号为CN214818663U的专利，型公开了一种大尺寸配对陶瓷吸盘，通过将吸附硅片的真空腔体和分离硅片的分离管道设置在一个整体的内部，且通过两个吸盘的相对错位安装，可以实现将吸附区域维持在硅片中心，保证硅片分离瞬间不会发生重心偏移，减少吸盘印的产生。

上述现有技术中，陶瓷吸盘吸附的硅片在分离时，通过快速分片口加气即可分离，但是加入的气体无法均匀的扩散至真空腔体的各个部分，导致硅片在分离时，硅片的一部分与陶瓷吸盘吸附，硅片的另一部分与陶瓷吸盘分离的情况，影响硅片分离效率。

实用新型内容

为了提高硅片分离的效率，本申请提供一种大尺寸配对陶瓷吸盘。

为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：一种大尺寸配对陶瓷吸盘，包括两个吸盘主体，两个所述吸盘主体上均设置有多个凸块，所述吸盘主体表面开设有用于抽真空的开槽，所述开槽延伸至多个凸块处，所述吸盘主体表面位于开槽内开设有多个开孔，所述吸盘主体表面位于开槽一侧开设有用于安装抽真空管的通槽，所述吸盘主体侧壁开设有连通开槽的充气口，所述吸盘主体表面开设有两个连通腔，两个所述连通腔均连通开槽。

通过采用上述技术方案，当需分离硅片时，向充气口加气，气体进入开槽，并通过两个连通腔快速均匀扩散至开槽各个位置，进而可轻松将硅片取下，减少发生硅片的一部分与陶瓷吸盘吸附，硅片的另一部分分离的情况，保证硅片分离的效率。

优选地，两个所述吸盘主体上的多个凸块分别错位设置。

通过采用上述技术方案，通过错位交叉安装的多个凸块，在发生碰撞时，保证吸附的稳定性。

优选地，所述吸盘主体内侧开设有两个分别连通多个开孔的通道，两个所述通道与通槽连通。

通过采用上述技术方案，通过通道连接多个开孔和通槽。

优选地，所述吸盘主体侧壁位于充气口处固定连接有充气管，所述充气管上安装有密封盖。

通过采用上述技术方案，方便通过充气管连接外部充气管路。

优选地，所述吸盘主体上固定设置有安装板，所述安装板上开设有多个安装孔，所述通槽贯穿安装板。

通过采用上述技术方案，通过安装板方便固定吸盘主体。

优选地，所述吸盘主体远离安装板一侧固定设置有导向块，所述导向块端部设置有倒角。

通过采用上述技术方案，吸附安装硅片时，通过导向块可以引导硅片的插入方向，更加高效。

与现有技术相比，本申请的有益效果为：

通过将充气管连接外部加气管路，向充气口加气，气体进入开槽，并通过两个连通腔快速均匀扩散至开槽各个位置，进而可轻松将硅片取下，减少发生硅片的一部分与吸盘主体吸附，硅片的另一部分分离的情况，保证硅片分离的效率。

附图说明

图1为本申请提出的一种大尺寸配对陶瓷吸盘整体的结构示意图；

图2为本申请提出的一种大尺寸配对陶瓷吸盘吸盘主体的结构示意图；

图3为本申请提出的一种大尺寸配对陶瓷吸盘吸盘主体剖视的结构示意图；

图4为本申请提出的一种大尺寸配对陶瓷吸盘图2中A处放大的结构示意图。

图中：1、吸盘主体；2、凸块；3、开槽；4、开孔；5、通槽；6、充气口；7、连通腔；8、通道；9、充气管；10、安装板；11、安装孔；12、导向块。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-4，一种大尺寸配对陶瓷吸盘，包括两个吸盘主体1，两个吸盘主体1上均固定连接有多个凸块2，两个吸盘主体1上的多个凸块2分别错位设置，吸盘主体1表面开设有用于抽真空的开槽3，开槽3延伸至多个凸块2处，通过设置多个凸块2，使开槽3对硅片的吸附面积更大，通过错位交叉安装的多个凸块2，在发生碰撞时，保证吸附的稳定性。

其中，吸盘主体1表面位于开槽3内开设有多个开孔4，吸盘主体1表面位于开槽3一侧开设有用于安装抽真空管的通槽5，吸盘主体1内侧开设有两个分别连通多个开孔4的通道8，两个通道8与通槽5连通，将通槽5与抽真空管进行连接，真空发生器启动，通过多个开孔4将开槽3中的空气吸出，可以实现对硅片稳固吸附的效果。

参照图1，吸盘主体1上固定设置有安装板10，安装板10上开设有多个安装孔11，通槽5贯穿安装板10，通过安装板10方便固定吸盘主体1。

参照图2和图4，吸盘主体1侧壁开设有连通开槽3的充气口6，吸盘主体1表面开设有两个连通腔7，两个连通腔7均连通开槽3，当需分离硅片时，向充气口6加气，气体进入开槽3，并通过两个连通腔7快速均匀扩散至开槽3各个位置，进而可轻松将硅片取下，减少发生硅片的一部分与吸盘主体1吸附，硅片的另一部分分离的情况，保证硅片分离的效率。

参照图4，吸盘主体1侧壁位于充气口6处固定连接有充气管9，充气管9上安装有密封盖，方便通过充气管9连接外部充气管路。

参照图2，吸盘主体1远离安装板10一侧固定设置有导向块12，导向块12端部设置有倒角，吸附安装硅片时，通过导向块12可以引导硅片的插入方向，更加高效。

现对本申请的操作原理做如下描述：将通槽5与抽真空管进行连接，真空发生器启动，通过多个开孔4将开槽3中的空气吸出，可以实现对硅片稳固吸附的效果。当需分离硅片时，通过将充气管9连接外部加气管路，向充气口6加气，气体进入开槽3，并通过两个连通腔7快速均匀扩散至开槽3各个位置，进而可轻松将硅片取下，减少发生硅片的一部分与吸盘主体1吸附，硅片的另一部分分离的情况，保证硅片分离的效率。

以上所述，仅为本申请较佳的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，根据本申请的技术方案及其申请构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本申请的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种大尺寸配对陶瓷吸盘，包括两个吸盘主体（1），其特征在于，两个所述吸盘主体（1）上均设置有多个凸块（2），所述吸盘主体（1）表面开设有用于抽真空的开槽（3），所述开槽（3）延伸至多个凸块（2）处，所述吸盘主体（1）表面位于开槽（3）内开设有多个开孔（4），所述吸盘主体（1）表面位于开槽（3）一侧开设有用于安装抽真空管的通槽（5），所述吸盘主体（1）侧壁开设有连通开槽（3）的充气口（6），所述吸盘主体（1）表面开设有两个连通腔（7），两个所述连通腔（7）均连通开槽（3）。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸配对陶瓷吸盘，其特征在于，两个所述吸盘主体（1）上的多个凸块（2）分别错位设置。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸配对陶瓷吸盘，其特征在于，所述吸盘主体（1）内侧开设有两个分别连通多个开孔（4）的通道（8），两个所述通道（8）与通槽（5）连通。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸配对陶瓷吸盘，其特征在于，所述吸盘主体（1）侧壁位于充气口（6）处固定连接有充气管（9），所述充气管（9）上安装有密封盖。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸配对陶瓷吸盘，其特征在于，所述吸盘主体（1）上固定设置有安装板（10），所述安装板（10）上开设有多个安装孔（11），所述通槽（5）贯穿安装板（10）。

6.根据权利要求5所述的一种大尺寸配对陶瓷吸盘，其特征在于，所述吸盘主体（1）远离安装板（10）一侧固定设置有导向块（12），所述导向块（12）端部设置有倒角。