CN202454545U - 吸盘片和吸盘夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种吸盘片，包括加工板、气管、硅胶吸盘和真空孔，所述硅胶吸盘设在加工板上，所述气管连接硅胶吸盘，所述真空孔设在所述加工板的侧面，所述真空孔通过加工板的内隙连通到气管。本实用新型还公开了一种吸盘夹具，包括至少2只吸盘片，各只所述吸盘片用穿过所述通孔的螺栓连接。本实用新型减少人力，降低成本，减少碎片和不良品，提高太阳能电池片的产品质量。本实用新型便于加工，制造成本低，使用本实用新型能实现全自动的上下(硅)片，不易掉片，碎片率低，损坏后易维护、更换。
Description
技术领域
本发明涉及一种吸盘片和吸盘夹具，特别涉及一种石墨舟自动上下片吸盘片和吸盘夹具。
背景技术
镀膜是太阳能电池片生产的关键工序，管式PECVD（等离子体化学气相沉积镀膜）设备是该工序的主要设备，生产时硅片需要装入石墨舟内，然后送入炉管实行工艺。由于石墨舟间隙狭小，其间隙只有11mm，而深度大于180mm，因此人工插片和卸片很困难。
目前国内太阳能电池生产线还普遍是人工上下片，而人工手法不稳定，上下片碎片率较高，插片不到位导致镀膜不良，手法过重易造成石墨舟损坏。该工序对人员技能要求高，目前国内在用管式PECVD设备超过1500台，一台管式PECVD设备约需15个操作工，人力成本高。
发明内容
发明目的：针对上述现有技术存在的问题和不足，本发明的目的是提供一种不易掉片的全自动吸盘片和吸盘夹具。
技术方案：为实现上述发明目的，本发明采用的第一种技术方案为一种吸盘片，包括加工板、气管、硅胶吸盘和真空孔，所述硅胶吸盘设在加工板上，所述气管连接硅胶吸盘，所述真空孔设在所述加工板的侧面，所述真空孔通过加工板的内隙连通到气管。
由于加工板主要起连接固定作用，不需要承受弹性压力，因此优选材质较轻的铝加工板或碳纤维加工板，中心部分区域镂空，进一步减轻重量。铝加工板端部有竖直方向的内隙，用于真空输入，气管从铝加工板根部连接到硅胶吸盘侧，把真空供给硅胶吸盘。为组成吸盘夹具，所述加工板的边缘可设有通孔。所述通孔的数量优选2个。所述硅胶吸盘的数量可以为1至10只，所述气管的数量与硅胶吸盘的数量相同。
本发明采用的第二种技术方案为一种吸盘夹具，包括至少2只如上所述的吸盘片，各只所述吸盘片用穿过所述通孔的螺栓连接。
所述吸盘片的数量优选18只。
有益效果：本发明减少人力，降低成本，减少碎片和不良品，提高太阳能电池片的产品质量。本发明便于加工，制造成本低，使用本发明能实现全自动的上下（硅）片，不易掉片，碎片率低，损坏后易维护、更换。
附图说明
图1为吸盘片的结构示意图；
图2为吸盘夹具的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
如图1和图2所示，铝加工板6的侧面设有一真空孔1，真空孔通过铝加工板的内隙连通到3只安装在铝加工板上的气管2的一端，气管的另一端连接3只安装在铝加工板上的硅胶吸盘3。为减轻重量，铝加工板上具有镂空结构4。铝加工板的边缘设有2个通孔5,18只吸盘片用穿过该通孔的螺栓7连接组成吸盘夹具，如图2所示。当真空孔开启时，真空从真空孔接入，通过气管输送到硅胶吸盘，吸住硅片（图中未示出），保证硅片随吸盘夹具移动。
吸盘夹具安装在6轴机器人上，操作人员将空的石墨舟推进工位，按下“上料”按钮，设备将石墨舟固定，机器人按指令带动吸盘夹具运动到放置硅片的花篮处，运动使硅胶吸盘面贴近硅片面，启动真空，硅片吸附到硅胶吸盘上，机器人按指令带动吸盘夹具及硅片移动到石墨舟处，将携带的硅片插入到指定位置，真空释放，硅片脱离硅胶吸盘装载到石墨舟内。
PECVD工艺结束后，操作人员将装有硅片的石墨舟推到工位，按下“下料”按钮，设备将石墨舟固定，机器人按指令带动吸盘夹具插入石墨舟间隙内，移动使得硅胶吸盘面贴近硅片面，启动真空，硅片吸附到硅胶吸盘上，机器人按指令带动吸盘夹具及硅片移动到放置硅片的花篮处，将携带的硅片插入到指定位置，真空释放，硅片脱离硅胶吸盘卸载到花篮内。
本发明并不限于上述实施方式，组成吸盘夹具的吸盘片的数量可以由1至50片不等。吸盘片的形状和大小可以有其他变形，每只吸盘片使用硅胶吸盘的数量可以是1-10只。
Claims (9)
1.一种吸盘片，包括加工板、气管、硅胶吸盘和真空孔，所述硅胶吸盘设在加工板上，所述气管连接硅胶吸盘，所述真空孔设在所述加工板的侧面，所述真空孔通过加工板的内隙连通到气管。
2.根据权利要求1所述吸盘片，其特征在于：所述加工板上具有镂空结构。
3.根据权利要求1所述吸盘片，其特征在于：所述硅胶吸盘的数量为1至10只，所述气管的数量与硅胶吸盘的数量相同。
4.根据权利要求3所述吸盘片，其特征在于：所述硅胶吸盘的数量为3只，所述气管的数量为3只。
5.根据权利要求1所述吸盘片，其特征在于：所述加工板为铝加工板或碳纤维加工板。
6.根据权利要求1至5任一项所述吸盘片，其特征在于：所述加工板的边缘设有通孔。
7.根据权利要求6所述吸盘片，其特征在于：所述通孔的数量为2个。
8.一种吸盘夹具，包括至少2只如权利要求6或7所述的吸盘片，各只所述吸盘片用穿过所述通孔的螺栓连接。
9.根据权利要求8所述吸盘夹具，其特征在于：所述吸盘片的数量为18只。
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Country Status (1)
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Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| CN104538328A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-04-22 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种硅片真空吸附机械手 |
| CN107481964A (zh) * | 2017-07-18 | 2017-12-15 | 罗博特科智能科技股份有限公司 | 一种硅片批量吸取装置 |
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2011
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| CN104538328A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-04-22 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种硅片真空吸附机械手 |
| CN104538328B (zh) * | 2014-11-26 | 2018-01-02 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种硅片真空吸附机械手 |
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