CN205050814U - 一种硅片上下料装置 - Google Patents
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Abstract
一种硅片上下料装置,其包括硅片盒、石墨舟、机架、硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手,硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手依次设置在机架上,硅片盒经硅片盒输送机构送至硅片盒升降机构上,并由第一输送线将硅片盒上的硅片输送到第一储料中转机构,再由取片机械手将硅片取出,放置在石墨舟内。本实用新型的优点在于:能够自动硅片的自动上下,既提高了硅片的移动效率,又防止了移动后硅片质量的下降。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅片上下料装置。
背景技术
硅片是太阳能电池的重要材料,在加工过程中需要对硅片进行上传或下卸。现有硅片上下料时,先将硅片放在硅片盒内,再将硅片盒放在小车上,操作者用小车,或人工推着硅片运送到下一工序人工直接卸载硅片,这样的硅片装卸不但费工费时,而且在转运过程中,人的手可能接触到硅片,不但有可能损坏硅片,造成直接经济损失,而且会污染硅片,造成最终完工的电池片质量下降,电池转换效率降低,带来经济损失,为此需要设计出一种硅片的自动上下料装置。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术现状而提供一种硅片上下料装置,其能自动装卸硅片,极大地提高工作效率。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为:
一种硅片上下料装置,其包括硅片盒、石墨舟、机架、硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手,硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手依次设置在机架上,硅片盒经硅片盒输送机构送至硅片盒升降机构上,并由第一输送线将硅片盒上的硅片输送到第一储料中转机构,再由取片机械手将硅片取出,放置在石墨舟内。
本实用新型的优点在于:能够自动硅片的自动上下,既提高了硅片的移动效率,又防止了移动后硅片质量的下降。
附图说明
图1是本实用新型实施例的俯视图。
图2是本实用新型实施例的立体示意图。
图3是本实用新型实施例的硅片盒升降机构的结构示意图。
图4是本实用新型实施例硅片盒升降机构带动硅片盒升降的结构示意图。
图5是本实用新型实施例带储料盒机构的送料线的结构示意图。
图6是本实用新型实施例送料线的结构示意图。
图7是本实用新型实施例送料线的结构示意图。
图8是本实用新型实施例送料线的结构示意图。
图9是本实用新型实施例的硅片盒升降机构的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步描述。
如图1和图2所示,一种硅片上下料装置,其包括机架1、硅片盒输送机构2、硅片盒升降机构3、第一输送线4、第一储料中转机构5、取片机械手14。
上述硅片盒输送机构2包括硅片盒输入传输机构21和输出传输机构22,输入和输出传输机构结构相同,均为常用的输送机构,具体不在此详细展开说明,本实施例采用运输带传输,硅片盒放在运输带上。上述硅片盒输送机构2的输入传输机构21将硅片盒15输送到硅片盒升降机构3上,待硅片从硅片盒5中输送完毕之后,再将空的硅片盒5经硅片盒升降机构3升降至硅片盒输出传输机构22上而被输出。
上述硅片盒输送机构2还包括辅助传输机构23,如图3所示,所述辅助传输机构23安装在硅片盒升降机构3上,包括驱动电机2301,其输出轴上安装有第一同步带轮(图中未示),第一同步带轮通过带与同步带轮2302和2304连接,由于同步带轮2302和2303、同步带轮2304和2305分别安装在由硅片盒升降机构3支撑的两根轴(图中未示)上,同步带轮2303和2305通过带连接,所以电机2301驱动同步带轮2302和2304转动,同时同步带轮2303和2305也会转动,通过同步带轮传动将硅片盒15平稳输送到硅片盒升降机构3上,如图4所示。
上述硅片盒升降机构3包括线性滑台301、升降座302、下底板303、上压板304、气缸安装板305、气缸306、左限位块307和右限位块308以及前后限位块309。
所述线性滑台301垂直安装在机架1上,线性滑台301在中国专利201320532231.8中有详细介绍,在此不再细说。
所述升降座302安装在线性滑台301的滑台上,线性滑台301一侧下部安装下底板303,所述下底板303三个侧面安装限制硅片盒位置的限位块307、308和309,如图3所示,对应下底板303上方的线性滑台301一侧安装气缸安装板305,气缸306安装在气缸安装板305上,上压板304与气缸306的活塞杆连接。
使用时,硅片盒15从硅片盒输送机构2送到下底板303上,由下底板303支撑并由限位块307、308和309定位,待硅片盒15输送到位后,上压板304由气缸306下移压住硅片盒15上端,将硅片盒15固定好,而后线性滑台301启动带动升降座302及其上固定的硅片盒15上下移动。
上述第一输送线4包括输送线座401、皮带驱动机构402、输送线伸缩座404、气缸405,上述输送线座401安装在机架1上,输送线座401上安装皮带驱动机构402,所述气缸405安装在输送线座401上,输送线伸缩座404置于气缸405的移动件上,通过气缸405的动作来控制输送线伸缩座404沿着硅片16的输送方向来回移动,输送线座401上平面和输送线伸缩座404上平面在同一平面上,输送线座401和输送线伸缩座404两侧面分别安装有数个滚柱409,每测的各滚柱409与皮带驱动机构402的输出滚轮410通过皮带连接,因此皮带驱动机构402驱动皮带运动,从而将硅片从硅片盒中传送到储料盒403和储料中转机构上。
上述输送线伸缩座404与输送线座401还设置导向机构,本实施例的导向机构为输送线座401的延伸条407和输送线伸缩座404上引导槽408,延伸条407插入引导槽408中,这样输送线伸缩座404在气缸405驱动时,能够平稳地相对输送线座401移动。
本实施例还设置与第一输送线4结构相同的第二输送线7,第二输送线7与第一输送线4并排放置。
还设置储料盒升降驱动机构406、储料盒403,所述储料盒升降驱动机构安装在输送线座401上,其与储料盒403连接,可使储料盒403上下移动,此处增加储料盒的目的就是防止在硅片盒输入输出时出现空挡,影响工作效率。
上述第一储料中转机构5包括线性滑台501、支架502、硅片层架503;上述硅片层架503上设置放置硅片的多层硅片槽;上述线性滑台501垂直安装在机架1上,与线性滑台301结构相同,其滑台上安装支架502,上述硅片层架503与支架502连接,线性滑台501动作将会带动支架502和硅片层架503上下移动。
为了能够适应不同宽度的硅片,本实施例硅片层架503采用分体式,其包括左硅片层架5031和右硅片层架5032,所述左硅片层架5031和右硅片层架5032分别与安装在支架502上的气缸5033和5034的活塞杆连接,并通过气缸5033和5034分别控制左硅片层架5031和右硅片层架5032的接近和远离,从而调节硅片层架上的硅片槽的大小,以适应不同硅片安放的需要。
本实施例还设置与第一储料中转机构5结构相同的第二储料中转机构6,第一储料中转机构5与第二储料中转机构6并排放置。
上述第一石墨舟定位机构10和第二石墨舟定位机构11结构相同,第一石墨舟运输机构17和第二石墨舟运输机构18结构相同。
如图1所示,硅片盒输送机构2、硅片盒升降机构3、第一输送线4、第一储料中转机构5、第一石墨舟定位机构10、第一石墨舟运输机构17与第二储料中转机构6、第二输送线7、吸盘移送机构8、储料机构9、第二石墨舟定位机构11、第二石墨舟运输机构18平行设置,取片机械手14设置在第二石墨舟定位机构11的侧边,这样放置缩短机械手14取片放片的移动距离,可以大大提高工作效率。
还包括第二储料中转机构6、第二输送线7、吸盘移送机构8、储料机构9。
还包括第一石墨舟定位机构10、第二石墨舟定位机构11、石墨舟12、石墨舟抓取机构13、第一石墨舟运输机构17、第二石墨舟运输机构18以及运输小车19。
工作时,硅片盒15通过硅片盒输送机构2的输入传输机构21和辅助传输机构23被输送到硅片盒升降机构3上,并被固定好,然后升降机构3使硅片盒最底层硅片的下平面与第一输送线4的输送皮带表面平齐,且第一输送线4的气缸405动作使输送线伸缩座404连同输送皮带一起伸入硅片底部,同时第一储料中转机构5移动使硅片层架的面5036也与第一输送线的输送皮带表面平齐,而后硅片盒升降机构3使硅片盒一步步下降,同时第一储料中转机构5一步步上升,通过第一输送线4将硅片盒中的硅片一片片输送到第一储料中转机构5的硅片层架上。
上述硅片盒中的硅片被取空后,第一输送线4的气缸405动作使输送线伸缩座404连同输送皮带一起退出,硅片盒升降机构3下降到位后松开硅片盒,通过输出传输机构22将空的硅片盒输出,然后硅片盒升降机构3上升到位准备下一硅片盒的输入。
上述第一储料中转机构5上硅片放置满后,取片机械手14将其上的硅片全部取出放置在由第一石墨舟定位机构10固定的石墨舟12上,待此石墨舟放满硅片后,第一石墨舟定位机构10松开石墨舟12,石墨舟12被第一石墨舟运输机构17运输到图1所示的虚线框12a的位置,然后通过石墨舟抓取机构13抓取放满硅片的石墨舟12并放置在运输小车19上,运输小车19会将其运输到PECVD设备处对硅片进行处理。
经过PECVD设备处理过的石墨舟会被运输小车运回,并通过石墨舟抓取机构13被放置在图1所示的虚线框12b所示位置,然后石墨舟会被第二石墨舟运输机构18运输到第二石墨舟定为机构11处,并被夹紧,取片机械手14将被PECVD设备处理过的硅片放置在第二储料中转机构6上,通过第二输送线7输出,同时吸盘移送机构8会将硅片16逐一吸附并移送到储料机构9上叠加放置,硅片叠加到一定高度会被再输出到其他设备中进行其它处理。石墨舟上的硅片被取完之后,第二石墨舟定位机构11松开石墨舟,并通过第二石墨舟运输机构18退回到12b所示位置。
Claims (6)
1.一种硅片上下料装置,其特征在于:包括硅片盒、石墨舟、机架、硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手,硅片盒输送机构、硅片盒升降机构、第一输送线、第一储料中转机构、取片机械手依次设置在机架上,硅片盒经硅片盒输送机构送至硅片盒升降机构上,并由第一输送线将硅片盒上的硅片输送到第一储料中转机构,再由取片机械手将硅片取出,放置在石墨舟内。
2.如权利要求1所述的硅片上下料装置,其特征在于:所述硅片盒升降机构包括线性滑台、升降座、下底板、上压板、气缸安装板、气缸,所述线性滑台垂直安装在机架上,所述升降座安装在线性滑台的滑台上,线性滑台一侧下部安装下底板,所述下底板三个侧面安装限制硅片盒位置的左限位块、右限位块以及前后限位块,对应下底板上方的线性滑台一侧安装气缸安装板,气缸安装在气缸安装板上,上压板与气缸的活塞杆连接。
3.如权利要求1所述的硅片上下料装置,其特征在于:所述第一输送线包括输送线座、皮带驱动机构、输送线伸缩座、气缸,输送线座安装在机架上,输送线座上安装皮带驱动机构,所述气缸安装在输送线座上,输送线伸缩座置于气缸的移动件上,通过气缸的动作来控制输送线伸缩座沿着硅片的输送方向来回移动,输送线座上平面和输送线伸缩座上平面在同一平面上,输送线座上平面上设置传动机构,输送线伸缩座上平面上设置另一传动机构,传动机构和另一传动机构通过皮带与皮带驱动机构连接。
4.如权利要求1所述的硅片上下料装置,其特征在于:所述第一输送线包括输送线座、皮带驱动机构、输送线伸缩座、气缸,所述输送线座安装在机架上,输送线座上安装皮带驱动机构,所述气缸安装在输送线座上,输送线伸缩座置于气缸的移动件上,通过气缸的动作来控制输送线伸缩座沿着硅片的输送方向来回移动,输送线座上平面和输送线伸缩座上平面在同一平面上,输送线座和输送线伸缩座两侧面分别安装有数个滚柱,每测的各滚柱与皮带驱动机构的输出滚轮通过皮带连接。
5.如权利要求1所述的硅片上下料装置,其特征在于:所述第一储料中转机构包括线性滑台、支架、硅片层架;硅片层架上设置放置硅片的多层硅片槽;线性滑台垂直安装在机架上,与线性滑台结构相同,其滑台上安装支架,上述硅片层架与支架连接,线性滑台动作将会带动支架和硅片层架上下移动。
6.如权利要求5所述的硅片上下料装置,其特征在于:所述硅片层架包括左硅片层架和右硅片层架,所述左硅片层架和右硅片层架分别与安装在支架上的气缸的活塞杆连接,并通过气缸分别控制左硅片层架和右硅片层架的接近和远离。
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