JPWO2009037753A1 - 基板搬送システム - Google Patents

Abstract

本発明は、基板の収納カセットと、処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムを提供する。この基板搬送システムは、複数枚の基板を同時搬送可能な第１のコンベアと、前記第１のコンベアと連続して配置され、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第２のコンベアと、前記第２のコンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記第２のコンベア上で前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、前記載置部と前記第２コンベアとを相対的に昇降する昇降ユニットと、を備える。

Description

本発明は、ガラス基板、液晶基板、ＰＤＰ基板等の基板を収納する収納カセットと、前記基板を処理する処理装置との間で基板を搬送する搬送システムに関する。

薄型ディスプレイ等の製造設備においては、ガラス基板等の基板は、収納カセット内に収納される。そして、基板の処理時には処理装置へ基板が搬送され、処理が終了すると再び収納カセットに収納される。このような製造設備では、収納カセットと処理装置との間で基板を搬送する搬送システムが必要となる。基板の搬送システムは、処理装置の基板の処理能力に応じた搬送能力を有していることが要求される。例えば、処理装置の基板の処理能力の方が、搬送システムの搬送能力を上回っている場合、処理装置において基板の搬送待ちの時間が生じて、製造効率が悪くなる。したがって、搬送システムの基板の搬送能力は、処理装置の基板の処理能力を上回っていることが望ましい。

日本特開２００５−６０１１０号公報には、複数の収納カセットから選択的に基板を処理装置に搬送するシステムが開示されている。このシステムでは、基板の搬送能力は収納カセットの数に依存する。したがって、例えば、一つの収納カセットと、処理装置との間で基板を搬送する場合、基板の搬送能力が処理装置の処理能力よりも劣る場合がある。

日本特開平９−１３２３０９号公報には、複数枚の基板を同時に搬送し、搬送の過程で複数枚の基板を処理するシステムが開示されている。このシステムでは、処理装置が複数枚の基板を同時に受け渡しできることが必要となる。しかし、薄型ディスプレイ等の製造設備では、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置が採用されることが多い。このシステムは、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置を採用した製造設備には適用することが難しい。

本発明の目的は、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置に対応しつつ、基板の搬送能力を向上した基板搬送システムを提供することにある。

本発明によれば、基板を収納する収納カセットと、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、前記収納カセット側に配置され、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第１のコンベアと、前記処理装置側において前記第１のコンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第２のコンベアと、前記第２のコンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記第２のコンベア上で前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、前記載置部と前記第２コンベアとを相対的に昇降する昇降ユニットと、を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。

本発明の基板搬送システムでは、前記第１のコンベアを設けたことにより、基板の搬送途中では、複数枚の基板を並列搬送することが可能であり、搬送能力を向上できる。そして、前記第２のコンベア、前記移動ユニット及び前記昇降ユニットを設けたことにより、前記処理装置に対しては、１枚ずつ基板の受け渡しができる。したがって、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置に対応できる。

また、本発明によれば、基板を収納する第１及び第２の収納カセットと、前記第１及び第２の収納カセットの配置方向と直交する方向に前記第１及び第２の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、前記第１の収納カセット側に配置され、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第１の同時搬送コンベアと、前記第２の収納カセット側に配置され、前記搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第２の同時搬送コンベアと、前記処理装置側において前記第１の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第１の個別搬送コンベアと、前記処理装置側において前記第２の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第２の個別搬送コンベアと、前記第１及び第２の個別搬送コンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記第１及び第２の個別搬送コンベアに跨って、前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、前記載置部と前記第１及び２の個別搬送コンベアとを相対的に昇降する昇降ユニットと、を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。

本発明の基板搬送システムでは、前記第１及び第２の同時搬送コンベアを設けたことにより、基板の搬送途中では、複数枚の基板を並列搬送することが可能であり、搬送能力を向上できる。そして、前記第１及び第２の個別搬送コンベア、前記移動ユニット及び前記昇降ユニットを設けたことにより、前記処理装置に対しては、１枚ずつ基板の受け渡しができる。したがって、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置に対応できる。更に、前記移動ユニットが前記第１及び第２の個別搬送コンベアに跨って前記基板を移動することで、前記処理装置と、前記第１及び第２の収納カセットとの間でそれぞれ基板を搬送することができ、基板の搬送能力を向上できる。

また、本発明によれば、基板を収納する第１及び第２の収納カセットと、前記第１及び第２の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、前記第１の収納カセット側に配置され、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第１の同時搬送コンベアと、前記第２の収納カセット側に配置され、前記搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第２の同時搬送コンベアと、前記処理装置側において前記第１の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な個別搬送コンベアと、前記処理装置側において前記第２の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有する第３の同時搬送コンベアと、前記個別搬送コンベア及び前記第３の同時搬送コンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記個別搬送コンベア及び前記第３の同時搬送コンベアに跨って、前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、前記載置部と、前記個別搬送コンベア及び前記第３の同時搬送コンベアと、を相対的に昇降する昇降ユニットと、を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。

本発明の基板搬送システムでは、前記第１及び第２の同時搬送コンベアを設けたことにより、基板の搬送途中では、複数枚の基板を並列搬送することが可能であり、搬送能力を向上できる。そして、前記個別搬送コンベア、前記移動ユニット及び前記昇降ユニットを設けたことにより、前記処理装置に対しては、１枚ずつ基板の受け渡しができる。したがって、基板の受け渡しを１枚ずつ行う処理装置に対応できる。更に、前記移動ユニットが前記個別搬送コンベア及び前記第３の同時搬送コンベアに跨って前記基板を移動することで、前記処理装置と、前記第１及び第２の収納カセットとの間でそれぞれ基板を搬送することができ、基板の搬送能力を向上できる。

本発明の一実施形態に係る基板搬送システムＡのレイアウトを示す平面図である。 基板搬送システムＡの側面図である。 収納カセット１０の斜視図である。 各コンベア３０、３１及び３２を構成するローラコンベアユニット１００及び１１０を示す斜視図である。 収納カセット１０におけるガラス基板Ｗの収納態様及び移載コンベア３２上のガラス基板Ｗの位置の例（２例）を示す平面図である。 一対の昇降装置８０の斜視図である。 昇降装置８０の分解斜視図である。 ガラス基板Ｗを収納カセット１０から搬出する場合の、昇降装置８０による収納カセット１０の昇降動作を示す図である。 載置部材５６及び５７の斜視図である。 昇降ユニット６０の昇降動作と、これに伴う載置部材５６の昇降を示す図である。 基板搬送システムＡの制御装置２００の構成を示すブロック図である。 移載コンベア３２から同時搬送コンベア３０へガラス基板Ｗ１を搬送する場合の態様の例を示した図である。 移載コンベア３２から同時搬送コンベア３０へガラス基板Ｗ１を搬送する場合の態様の他の例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。 処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢのレイアウトを示す平面図である。 ２つの個別搬送コンベア３１上でのガラス基板Ｗの搬送態様の説明図である。 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢ’のレイアウトを示す平面図である。 ２つの個別搬送コンベア３１上でのガラス基板Ｗの搬送態様の説明図である。 ２つの個別搬送コンベア３１上でのガラス基板Ｗの搬送態様の説明図である。 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢ”のレイアウトを示す平面図である。 本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＣのレイアウトを示す平面図である。 載置部材５６及び５７の移動機構の他の例を示す図である。

＜第１実施形態＞
＜全体構成＞
図１は本発明の一実施形態に係る基板搬送システムＡのレイアウトを示す平面図、図２は基板搬送システムＡの側面図である。なお、各図において、矢印Ｘ、Ｙは相互に直交する水平方向、矢印Ｚは上下方向（鉛直方向）を示す。本実施形態の場合、基板搬送システムＡは、方形薄板状のガラス基板Ｗを収納する収納カセット１０と、ガラス基板Ｗを処理する処理装置２０（その一部のみが図示されている。）と、の間でガラス基板を搬送する。なお、ガラス基板Ｗは図２においては破線で図示し、図１においては図示を省略している。

処理装置２０は、例えば、ガラス基板の洗浄、乾燥、その他の処理を行う。処理装置２０は、その内部に複数枚のガラス基板、例えば、収納カセット１０に収納可能な数のガラス基板Ｗを収納可能である。但し、処理装置２０は、一枚ずつガラス基板Ｗの搬入、搬出を行うものである。

収納カセット１０と処理装置２０とは、Ｘ方向に離間して配置されている。したがって、本実施形態の場合、基板搬送システムＡの基板の搬送方向はＸ方向であり、搬送方向に直交する方向はＹ方向である。また、収納カセット１０及び処理装置２０は、これらのガラス基板Ｗの搬入出部が互いに向かい合うように配置されている。

基板搬送システムＡは、同時搬送コンベア３０と、個別搬送コンベア３１と、移動ユニット５０と、昇降ユニット６０と、移載コンベア３２及び７０と、一対の昇降装置８０と、を備える。

＜収納カセット＞
図３は収納カセット１０の斜視図である。収納カセット１０はガラス基板ＷをＺ方向に多段に収納可能なカセットである。なお、図３はガラス基板Ｗが未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット１０は複数の柱部材１１と、梁部材１２と、により略直方体形状のフレーム体をなしている。柱部材１１の配設間隔及び梁部材１２の配設間隔は、移載コンベア３２が収納カセット１０の下方から収納カセット１０内に進入できるように設定される。

柱部材１１は、Ｘ方向に複数配設されると共に、Ｙ方向に離間して同数並設されている。Ｙ方向に離間した一対の柱部材１１間には、Ｚ方向に並べて、かつ、所定のピッチでワイヤ１３が張設されている。各ワイヤ１３の上下間のスペースは、ガラス基板Ｗを収納するスロットを形成し、ガラス基板Ｗは略水平姿勢でワイヤ１３上に載置される。そして、Ｚ方向に並んだワイヤ１３の数だけ、スロットが形成される。

本実施形態の場合、一つのスロットに複数のガラス基板ＷがＹ方向又はＸ方向に並べて収納される。しかし、一つのスロットに一つのガラス基板Ｗを収納するようにしてもよい。また、本実施形態ではスロットをワイヤにより形成したが、他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット１０の収納効率を高めることができる。

＜コンベア＞
次に、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１及び移載コンベア３２の構成について説明する。本実施形態の場合、これらのコンベアは、いずれも、複数のローラコンベアをマトリックス状に配置して構成されている。しかし、ベルトコンベア等、他の形式のコンベアを用いてもよい。

図４は、各コンベア３０、３１及び３２を構成するローラコンベアユニット１００及び１１０を示す斜視図である。同図に示すように、本実施形態では、大きさが異なる２種類のローラコンベアユニット１００及び１１０を使用することで、サイズの異なるガラス基板Ｗを同じシステムで搬送できるようにしている。

ローラコンベアユニット１００は、ガラス基板Ｗ（図４において不図示）が載置される複数のローラ１０１と、ローラ１０１の駆動装置を内蔵した駆動ボックス１０２と、ローラ１０１上のガラス基板Ｗを検出するセンサ１０３と、を備える。ローラ１０１は、Ｙ方向の回転軸回りに回転し、ガラス基板ＷをＸ方向に搬送する。

ローラコンベアユニット１１０は、ガラス基板Ｗが載置される複数のローラ１１１と、ローラ１１１の駆動装置を内蔵した駆動ボックス１１２と、ローラ１１１上のガラス基板Ｗを検出するセンサ１１３と、を備える。ローラ１１１は、Ｙ方向の回転軸回りに回転し、ガラス基板ＷをＸ方向に搬送する。ローラコンベアユニット１１０のＹ方向の幅は、ローラコンベアユニット１００のＹ方向の幅の約半分である。各ローラコンベアユニット１００及び各ローラコンベアユニット１１０はそれぞれ独立して駆動可能である。

本実施形態の場合、Ｙ方向の両端部に一つずつローラコンベアユニット１００が配置され、これらのローラコンベアユニット１００の間に２つのローラコンベアユニット１１０が配置されている。Ｙ方向に並ぶこれら４つローラコンベアユニット１００及び１１０を、「ローラコンベアユニットの組」とも呼ぶ。図４は、「ローラコンベアユニットの組」をＸ方向に３つ並べた態様を示している。

図１及び図２を参照して、本実施形態では、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１及び移載コンベア３２は、いずれも「ローラコンベアユニットの組」をＸ方向に６つ並べて構成されている。同時搬送コンベア３０、及び、移載コンベア３２は、Ｘ方向に連続して配置されており、ガラス基板ＷをＸ方向に連続的に搬送することが可能である。

また、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１及び移載コンベア３２は、いずれもガラス基板Ｗの搬送方向（Ｘ方向）に直交するＹ方向に複数枚のガラス基板Ｗを並べて載置可能な幅（Ｙ方向の幅）を有している。更に、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１及び移載コンベア３２は、いずれもガラス基板Ｗの搬送方向（Ｘ方向）に複数枚のガラス基板Ｗを並べて載置可能な長さ（Ｘ方向の長さ）を有している。図５は、収納カセット１０におけるガラス基板Ｗの収納態様及び移載コンベア３２上のガラス基板Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）の位置の例（２例）を示す平面図である。

図５の上の例は、収納カセット１０の各スロットに４枚のガラス基板Ｗ１を収納した例であり、移載コンベア３２は、Ｘ方向に２枚、Ｙ方向に２枚、のガラス基板Ｗ１を載置可能である。図５の下の例は、収納カセット１０の各スロットに６枚のガラス基板Ｗ２を収納した例であり、移載コンベア３２は、Ｘ方向に２枚、Ｙ方向に３枚、のガラス基板Ｗ２を載置可能である。ガラス基板Ｗ２は、ガラス基板Ｗ１よりもＹ方向の幅が小さいガラス基板である。

ガラス基板Ｗ１を搬送対象とした場合、移載コンベア３２と同様に、同時搬送コンベア３０及び個別搬送コンベア３１上には、Ｙ方向に２枚のガラス基板Ｗ１を載置できる。また、ガラス基板Ｗ２を搬送対象とした場合、移載コンベア３２と同様に、同時搬送コンベア３０及び個別搬送コンベア３１上には、Ｙ方向に３枚のガラス基板Ｗ２を載置できる。

本実施形態では、同時搬送コンベア３０上に、ガラス基板をＸ方向及びＹ方向にそれぞれ複数載置することができる。同時搬送コンベア３０上に、このように多数のガラス基板を載置できるようにすることで、処理装置２０に対するガラス基板の搬送待ちが生じないようにすることができる。また、収納カセット１０を空にして交換したい場合に、一旦、同時搬送コンベア３０にガラス基板を搬出しておき、交換後の収納カセット１０に再び搬入することもでき、収納カセット１０の交換の便宜が図れる。

図１及び図２に戻り、移載コンベア７０は単一のローラコンベアユニットから構成されたローラコンベアである。移載コンベア７０は、処理装置２０と個別搬送コンベア３１との間のガラス基板Ｗの受け渡しを行う。なお、移載コンベア７０を設けずに、個別搬送コンベア３１と処理装置２０との間で直接ガラス基板Ｗを受け渡すようにしてもよい。

＜昇降装置＞
図６は一対の昇降装置８０の斜視図、図７は昇降装置８０の分解斜視図である。本実施形態では、昇降装置８０により収納カセット１０をＺ方向に昇降することで、収納カセット１０と移載コンベア３２とをＺ方向に相対的に移動させる。しかし、移載コンベア３２をＺ方向に昇降する構成としてもよい。なお、移載コンベア３２を昇降する構成とした場合は、同時搬送コンベア３０も昇降する構成とすることになる。

本実施形態の場合、昇降装置８０は収納カセット１０を挟むように収納カセット１０の互いに対向するＹ方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット１０を片持ち支持する。この構成によれば、昇降装置８０をより薄型化できる。

昇降装置８０は、収納カセット１０の底部の梁部材１２が載置されるビーム部材８１を備える。各昇降装置８０の各ビーム部材８１が同期的にＺ方向に移動することで収納カセット１０が昇降される。昇降装置８０はＺ方向に延びる支柱８２を備え、支柱８２の内側表面にはＺ方向に延びる一対のレール部材８３及びラック８４が固定されている。各昇降装置８０間には、支柱８２の上端に梁部材８０ａが架設されている。

ビーム部材８１は支持板８５の一側面にブラケット８５ａを介して固定されて支持される。支持板８５の他側面にはレール部材８３に沿って移動可能な４つのスライド部材８６が固定され、ビーム部材８１及び支持板８５はレール部材８３の案内により上下に移動する。駆動ユニット８７はモータ８７ａと減速機８７ｂとから構成されており、支持板８８の一側面に固定されて支持されている。減速機８７ｂの出力軸は支持板８８を貫通して支持板８８の他側面に配設されたピニオン８９ａに接続されている。

支持板８５と支持板８８とは所定の間隔を置いて相互に固定され、支持板８５と支持板８８との空隙にはピニオン８９ｂ乃至８９ｄが配設されている。ピニオン８９ｂ乃至８９ｄは支持板８５と支持板８８との間で回転可能に軸支され、ピニオン８９ｂ及びピニオン８９ｃは、ピニオン８９ａの回転に従動して回転する。ピニオン８９ｄはピニオン８９ｃの回転に従動して回転する。ピニオン８９ｂ乃至８９ｄは相互に同じ仕様のピニオンであり、２つのピニオン８９ｂ及び８９ｄは各ラック８４と噛み合っている。

しかして、駆動ユニット８７を駆動するとピニオン８９ａが回転し、その駆動力により、駆動ユニット８７、支持板８５及び８８、スライド部材８６、及び、ビーム部材８１が一体となって上方又は下方へ移動することになり、ビーム部材８１上に載置された収納カセット１０を昇降することができる。各昇降装置８０には、互いのビーム部材８１の昇降高さのずれを検出するセンサ８１ａがビーム部材８１の端部に設けられている。

センサ８１ａは例えば発光部と受光部とを備えた光センサであり、図６に示すように相互に光をＹ方向に照射してこれを受光したか否かを判定する。受光した場合は互いのビーム部材８１の昇降高さのずれがないことになり、受光しない場合は昇降高さにずれがあることになる。昇降高さのずれがセンサ８１ａで検出されると、モータ８７ａの制御によりずれが解消されるよう制御される。センサ８１ａを設けてビーム部材８１の昇降高さのずれを制御することで、昇降時に収納カセット１０が傾くことを防止し、収納カセット１０をより安定して昇降することができる。

なお、各ビーム部材８１に設けられる２つのセンサ８１ａは、その一方が発光部と受光部とのいずれか一方を、その他方が発光部と受光部との他方を、有する構成としてもよい。また、光センサに限られず、他のセンサも採用可能である。

図８はガラス基板Ｗを収納カセット１０から搬出する場合の、昇降装置８０による収納カセット１０の昇降動作を示す図である。なお、同図において昇降装置８０は図示が省略されている。ガラス基板Ｗの搬出は、ガラス基板Ｗが収納されたスロットのうち、最下方のスロットに収納されたガラス基板Ｗから順番に行う。

まず、図８の左上図に示すように、移載コンベア３２の上方に収納カセット１０が位置した状態から、昇降装置８０（図８において不図示）により収納カセット１０を降下させ、図８の右上図に示すように、移載コンベア３２上に、搬送対象のガラス基板Ｗを載置する。このとき、移載コンベア３２は収納カセット１０内に下方から進入し、搬送対象のガラス基板Ｗは収納カセット１０のワイヤ１３から浮いた状態となり、移載コンベア３２のみによって支持された状態となる。続いて移載コンベア３２を駆動して、図８の左下図に示すように、搬送対象のガラス基板Ｗを収納カセット１０から搬出する。以下、同様に、収納カセット１０の降下と移載コンベア３２の駆動とを繰り返し（図８の右下図）、下方側から順番にガラス基板Ｗを搬出することになる。

移載コンベア３２を構成するローラコンベアユニット１００及び１１０は、搬送対象のガラス基板の位置及びサイズに応じて選択的に駆動される。例えば、図５の上側の例において、＋Ｘ側に位置する２枚のガラス基板Ｗ１を搬出する場合、これらのガラス基板Ｗ１の下に位置する３つの「ローラコンベアユニットの組」を駆動することになる。また、例えば、図５の上側の例において、＋Ｘ側に位置し、かつ、＋Ｙ側に位置する１枚のガラス基板Ｗ１を搬出する場合、このガラス基板Ｗ１の下に位置する３つの「ローラコンベアユニットの組」のうち、＋Ｙ側に位置する３つのローラコンベアユニット１００及び１１０を駆動することになる。

ガラス基板Ｗを収納カセット１０へ搬入する場合は、上述した搬出時の動作と概ね逆の動作となる。ガラス基板Ｗの搬入は、ガラス基板Ｗが収納されていないスロットのうち、最下方のスロットから順番に行う。

＜移動ユニット及び昇降ユニット＞
図１及び図２を参照して、移動ユニット５０は、個別搬送コンベア３１のＹ方向両側にそれぞれ設けられたベース部材５１を備える。各ベース部材５１上には、モータ５２と、モータ５２により回転駆動される一対の駆動プーリ５３と、一対の従動プーリ５４と、が搭載されている。駆動プーリ５３と従動プーリ５４との組は合計４組あり、各組の駆動プーリ５３と従動プーリ５４との間にはベルト５５が巻き回されている。モータ５２を駆動することで駆動プーリ５３が回転し、ベルト５５が走行する。

ベルト５５は、個別搬送コンベア３１をＹ方向に跨って延びており、２本ずつ、互いに隣接する「ローラコンベアユニットの組」の間の空間を通過している。各ベルト５５上には、載置部材５６又は５７が固定されている。図９は載置部材５６及び５７の斜視図である。載置部材５６及び５７は、ベルト５５と略同幅の板状の部材上に半球状の突起５６ａ、５７ａが形成されたものである。載置部材５６の＋Ｙ側の端部には突起５６ａよりも突出した、直方体形状の位置決め部材５６ｂが形成され、載置部材５７の−Ｙ側の端部には突起５７ａよりも突出した、直方体形状の位置決め部材５７ｂが形成されている。

載置部材５６及び５７は、個別搬送コンベア３１上のガラス基板Ｗを載置する載置部として機能し、ガラス基板Ｗをその下側から支持する。載置部材５６及び５７は、ベルト５５の走行によって、Ｙ方向に移動する。ガラス基板Ｗは突起５６ａ、５７ａ上に載置される。突起５６ａ、５７ａを半球状とすることで、ガラス基板Ｗと突起５６ａ、５７ａとの接触面積を小さくし、ガラス基板Ｗに傷が付くことを低減する。

位置決め部材５６ｂ及び５７ｂは、その側面がガラス基板Ｗの端縁に当接することで、ガラス基板Ｗの位置決め（ガラス基板Ｗの向き及び位置の調整）を行う。本実施形態の場合、４本のベルト５５上に、載置部材５６又は５７のいずれかがそれぞれ１つずつ設けられているため、位置決め部材５６ｂ及び５７ｂは合計４つあり、Ｘ方向及びＹ方向に離間した４箇所でガラス基板Ｗの位置決めを行う。

次に、図２を参照して昇降ユニット６０について説明する。昇降ユニット６０は、各ベース部材５１毎に、各ベース部材５１の下方に配設されている。したがって、本実施形態の場合、昇降ユニット６０は個別搬送コンベア３１のＹ方向両側にそれぞれ設けられ、合計２つ設けられている。

各昇降ユニット６０はベース部材６１を備える。ベース部材６１上には、複数の支柱６２が立設されており、支柱６２はベース部材５１を支持する。支柱６２は、例えば、シリンダと、ロッドとから構成され、Ｚ方向に伸縮可能である。ベース部材６１上には、モータ６３と、モータ６３の駆動により回動する一対のカム板６４を備える。カム板６４のカム面は、ベース部材５１の下面に当接しており、その回動によりベース部材５１が昇降される。ベース部材５１の昇降に伴い、支柱６２が伸縮される。

本実施形態では、２つの昇降ユニット６０による昇降動作を同期的に行うことで、移動ユニット５０が昇降される。これにより、載置部材５６及び５７がＺ方向に昇降され、載置部材５６及び５７と、個別搬送コンベア３１とを相対的にＺ方向に移動する。しかし、個別搬送コンベア３１をＺ方向に昇降させ、載置部材５６及び５７と個別搬送コンベア３１とをＺ方向に相対的に移動するようにしてもよい。

図１０は、昇降ユニット６０の昇降動作と、これに伴う載置部材５６の昇降を示す図である。なお、載置部材５７の昇降も同様である。図１０においては、昇降ユニット６０の要部のみ図示されている。昇降ユニット６０は、載置部材５６を下降位置と上昇位置との２つの位置の間で、昇降させる。

図１０の左側は、載置部材５６が下降位置にある場合を示している。この場合、昇降ユニット６０は、カム板６４の頂部がＹ方向を向いた状態にある。載置部材５６は、個別搬送コンベア３１を構成するローラコンベアユニット１００のローラ１０１が、ガラス基板Ｗを搬送する搬送高さＬよりも低い位置にある。

図１０の右側は、載置部材５６が上昇位置にある場合を示している。この場合、昇降ユニット６０は、カム板６４の頂部が＋Ｚ方向を向いた状態にある。すなわち、図１０の左側に示した状態からモータ６３の駆動によりカム板６４が９０度回動され、ベース部材５１が押し上げられている。これにより移動ユニット５０が上昇する。載置部材５６の突出部５６ａは搬送高さＬよりも高い位置にある。ガラス基板Ｗはローラ１０１から離れて突出部５６ａ上に載置されている。なお、ベルト５５は、搬送高さＬよりも低い位置にある。

個別搬送コンベア３１上のガラス基板Ｗを、移動ユニット５０によりＹ方向に移動する際、ガラス基板Ｗは載置部材５６と載置部材５７の双方に載置される。そして、載置部材５６と載置部材５７とを互いに逆方向（互いに近づく方向）に移動させることで位置決め部材５６ｂ及び５７ｂにより、ガラス基板Ｗを狭持する。例えば、図１０の右側の状態において、位置決め部材５６ｂを−Ｙ方向に移動し、位置決め部材５６ｂをガラス基板Ｗの端縁に当接させる。その際、ガラス基板Ｗは突起５６ａ上を滑動することになる。

位置決め部材５６ｂ及び５７ｂにより、ガラス基板Ｗを狭持することで、ガラス基板Ｗの向きが調整（規定）される。これにより、搬送の過程でガラス基板Ｗの向きが傾いた場合に、向きの補正を行うことができる。続いて、載置部材５６と載置部材５７とを互いに同方向に移動させることで、ガラス基板Ｗは位置決め部材５６ｂ及び５７ｂにより狭持されたまま、Ｙ方向に移動することになる。

＜制御装置＞
図１１は基板搬送システムＡの制御装置２００の構成を示すブロック図である。制御装置２００は基板搬送システムＡの全体の制御を司るＣＰＵ２０１と、ＣＰＵ２０１のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるＲＡＭ２０２と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるＲＯＭ２０３と、を備える。ＲＡＭ２０２、ＲＯＭ２０３は他の記憶手段を採用可能である。

入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）２０４は、ＣＰＵ２０１と各種のセンサ（例えば、センサ８１ａ、１１３等）とのインターフェースであり、入力Ｉ／Ｆ２０４を介してＣＰＵ２０１は各種のセンサの検出結果を取得する。出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）２０５は、ＣＰＵ２０１と各種のモータ（例えば、モータ５２、６３、８７ａ、駆動ボックス１０２、１１２内のモータ等）とのインターフェースであり、出力Ｉ／Ｆ２０４を介してＣＰＵ２０１は各種のモータを制御する。

通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）２０６は、基板搬送システムＡを含む基板処理設備全体を制御するホストコンピュータ３００とＣＰＵ２０１とのインターフェースであり、ＣＰＵ２０１はホストコンピュータ３００からの指令に応じて基板搬送システムＡを制御することになる。

＜基板搬送システムＡによる基板の搬送例＞
＜同時搬送コンベアの搬送例＞
図１２及び図１３は移載コンベア３２から同時搬送コンベア３０へガラス基板Ｗ１を搬送する場合の態様の例を示した図である。各「ローラコンベアユニットの組」を同期的に駆動することで、Ｘ方向に複数枚のガラス基板Ｗ１を並べて同時に搬送することができる。

図１２の例は、移載コンベア３２上のガラス基板Ｗ１を２枚ずつ同時搬送する例を示す。図１２の例では、−Ｘ側に位置する２枚のガラス基板Ｗ１を、まず、移載コンベア３２から同時搬送コンベア３０へ搬送している。続いて、同時搬送コンベア３０は、２枚のガラス基板Ｗ１を＋Ｘ方向に同時に搬送する一方、移載コンベア３２は−Ｘ側に位置する２枚のガラス基板Ｗ１を同時搬送コンベア３０へ搬送している。最終的に４枚のガラス基板Ｗ１が同時搬送コンベア３０上に位置している。

図１３の例は、移載コンベア３２上のガラス基板Ｗ１を４枚同時に搬送する例を示す。図１３の例では、移載コンベア３２が４枚同時にガラス基板Ｗ１を＋Ｘ方向に搬送し、同時搬送コンベア３０も４枚同時にガラス基板Ｗ１を＋Ｘ方向に搬送している。最終的に４枚のガラス基板Ｗ１が同時搬送コンベア３０上に位置している。

図１２及び図１３では、ガラス基板Ｗ１の搬送例について説明したが、ガラス基板Ｗ１よりもサイズが小さいガラス基板Ｗ２についても同様の搬送が可能である。また、図１２及び図１３では、移載コンベア３２から同時搬送コンベア３０へガラス基板Ｗ１を搬出する場合について説明したが、同時搬送コンベア３０から移載コンベア３２へガラス基板Ｗ１を搬送する場合も、Ｙ方向に複数枚のガラス基板Ｗ１を並べて同時に搬送することができる。

本実施形態では、このように、同時搬送コンベア３０と移載コンベア３２との間で、Ｙ方向に複数枚のガラス基板を並べて同時に搬送することができ、収納カセット１０に対するガラス基板の搬出、搬入の効率を向上できる。

本実施形態では、同時搬送コンベア３０と移載コンベア３２とを、独立して駆動される複数のローラコンベアユニット１００及び１１０から構成したが、Ｙ方向に複数枚のガラス基板を並べて同時に搬送するだけであれば、移載コンベア７０のように単一のローラコンベアユニットによって同時搬送コンベア３０、移載コンベア３２をそれぞれ構成することもできる。

但し、本実施形態のように、同時搬送コンベア３０と移載コンベア３２とを、独立して駆動される複数のローラコンベアユニット１００及び１１０から構成することで、搬送態様のバリエーションが増えるという利点がある。例えば、ガラス基板を一枚ずつ搬送する搬送態様も選択的に採用できる。また、例えば、＋Ｙ側においてはガラス基板を＋Ｘ方向に、−Ｙ側においてはガラス基板を−Ｘ方向に、というように、複数のガラス基板を逆向きに搬送する搬送態様も選択的に採用できる。

＜個別搬送コンベアの搬送例＞
本実施形態では、収納カセット１０から搬出された複数枚のガラス基板を、同時搬送コンベア３０によって、並列搬送することが可能である。つまり、Ｙ方向に複数枚のガラス基板を並べて、これらのガラス基板を同時搬送することが可能である。これにより、ガラス基板の搬送途中において搬送能力を向上することができる。

一方、処理装置２０はガラス基板を１枚ずつ搬入、搬出する。したがって、搬送枚数を複数枚から一枚に変換する必要がある。個別搬送コンベア３１、移動ユニット５０及び昇降ユニット６０は、この搬送枚数の変換を行う。これにより、処理装置２０に対しては、１枚ずつガラス基板の受け渡しができる。

＜処理装置へのガラス基板の搬入＞
図１４乃至図１６は、個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送する例を示した図である。図１４の上側は、ガラス基板Ｗ１が２枚同時に個別搬送コンベア３１上に搬送された態様を示す。２枚のガラス基板Ｗ１は、−Ｘ側の３つの「ローラコンベアユニットの組」上に載置されている。

この状態から、２枚のガラス基板Ｗ１のうちの一方のガラス基板Ｗ１を、図１４の下側に示すように＋Ｘ方向に搬送する。その際、各ローラコンベアユニット１００及び１１０はガラス基板Ｗ１のサイズに応じて選択的に駆動される。例えば、図１４の上側の態様から下側の態様へガラス基板Ｗ１を搬送する場合、＋Ｙ側に位置する６つのローラコンベアユニット１００及び６つのローラコンベアユニット１１０が駆動される。

続いて、ガラス基板Ｗ１を処理装置２０の搬入出位置に対応した位置に、Ｙ方向に移動する。このため、まず、図１５の上側に示すように、下降位置にある載置部材５６及び５７を、ガラス基板Ｗ１の端縁近傍に位置させる。載置部材５６は、ガラス基板Ｗ１の＋Ｙ方向側の端縁近傍に、載置部材５７はガラス基板Ｗ１の−Ｙ方向側の端縁近傍に位置させる。このとき、複数の突起５６ａ及び５７ａの一部は、ガラス基板Ｗ１の下方に位置させ、位置決め部材５６ｂ及び５７ｂはガラス基板Ｗ１の下方に位置させないようにする。

続いて、昇降ユニット６０（図示せず）の駆動により、載置部材５６及び５７を上昇位置へ上昇させる。これにより、ガラス基板Ｗ１はローラ１０１及び１１１から離れて載置部材５６及び５７上に位置した状態となる（図１０の右側の態様）。載置部材５６及び５７を上昇位置へ上昇させた後、載置部材５６を−Ｙ方向に、載置部材５７を＋Ｙ方向に移動することで、位置決め部材５６ｂと位置決め部材５７ｂとでガラス基板Ｗ１を狭持する（図１５の下側の態様）。これにより、ガラス基板Ｗ１の向きが調整される。なお、このとき、位置決め部材５６ｂ及び位置決め部材５７ｂの側面（ガラス基板Ｗ１の端縁に当接する面）の間隔は、ガラス基板Ｗ１の幅と略同じか若干広めとすることが望ましい。

続いて、載置部材５６及び５７をＹ方向に互いに同方向に移動して、処理装置２０の搬入出位置に対応した位置までガラス基板Ｗ１を搬送する（図１６の上側の図）。これにより、処理装置２０に対するガラス基板Ｗ１の位置決めがなされる。本実施形態の場合、処理装置２０の搬入出位置に対応した位置を、個別搬送コンベア３１のＹ方向の略中央としているが、これに限られず、例えば、Ｙ方向の端部を搬入出位置としてもよい。

続いて、昇降ユニット６０（図示せず）の駆動により、載置部材５６及び５７を下降位置に下降させる。そして、図１６の下側に示すように、ガラス基板Ｗ１の下方に位置する６つのローラコンベアユニット１１０と、移載コンベア７０とを駆動して、ガラス基板Ｗ１を処理装置２０へ搬送する。

個別搬送コンベア３１上に残っている他方のガラス基板Ｗ１も同様にして処理装置２０へ搬送する。このようにして、ガラス基板Ｗ１は一枚ずつ、処理装置２０へ搬送することができる。

図５の下図に示したガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬入する場合も、同様の手順を採用することができるが、図１７乃至図２０に示す手順も採用できる。図１７乃至図２０は個別搬送コンベア３１から処理装置２０へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送する例を示した図である。

図１７の上側は、ガラス基板Ｗ２が３枚同時に個別搬送コンベア３１上に搬送された態様を示す。３枚のガラス基板Ｗ２は、−Ｘ側の３つの「ローラコンベアユニットの組」上に載置されている。この状態から、３枚のガラス基板Ｗ２を、図１７の下側に示すように＋Ｘ方向に同時に搬送する。

続いて、中央のガラス基板Ｗ２を処理装置２０の搬入出位置に対応した位置に位置決めする。このため、下降位置にある載置部材５６及び５７を、中央のガラス基板Ｗ２の端縁近傍に位置させた後、上昇位置に上昇させて中央のガラス基板Ｗ２を載置部材５６及び５７により載置する。そして、図１８の上側に示すように、載置部材５６を−Ｙ方向に、載置部材５７を＋Ｙ方向に移動することで、位置決め部材５６ｂと位置決め部材５７ｂとでガラス基板Ｗ２を狭持し、ガラス基板Ｗ２の位置決めを行う。

次に、昇降ユニット６０（図示せず）の駆動により、載置部材５６及び５７を下降位置に下降させる。そして、図１８の下側に示すように、ガラス基板Ｗ２の下方に位置する６つのローラコンベアユニット１１０と、移載コンベア７０とを駆動して、ガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬送する。

次に、個別搬送コンベア３１上に残っている２枚のガラス基板Ｗ２を順次処理装置２０へ搬送する。まず、一方のガラス基板Ｗ２を、載置部材５６及び５７上に載置し、位置決め部材５６ｂ及び５７ｂで狭持して図１９の上側に示すように、処理装置２０の搬入出位置に対応した位置に移動する。その後、図１９の下側に示すように、ガラス基板Ｗ２の下方に位置する６つのローラコンベアユニット１１０と、移載コンベア７０とを駆動して、ガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬送する。

続いてに、個別搬送コンベア３１上に残っている１枚のガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬送する。まず、ガラス基板Ｗ２を、載置部材５６及び５７上に載置し、位置決め部材５６ｂ及び５７ｂで狭持して図２０の上側に示すように、処理装置２０の搬入出位置に対応した位置に移動する。その後、図２０の下側にガラス基板Ｗ２の下方に位置する６つのローラコンベアユニット１１０と、移載コンベア７０とを駆動して、ガラス基板Ｗ２を処理装置２０へ搬送する。

＜処理装置からのガラス基板の搬出＞
図２１乃至図２４は、処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ１を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ１を並べる例を示した図である。

図２１の上側は、１枚目のガラス基板Ｗ１が処理装置２０から搬出された態様を示す。この場合、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、ガラス基板Ｗ１を個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、ガラス基板Ｗ１をＹ方向に移動する。このため、まず、図２１の下側に示すように、下降位置にある載置部材５６及び５７を、ガラス基板Ｗ１の端縁近傍に位置させる。そして、昇降ユニット６０（図示せず）の駆動により、載置部材５６及び５７を上昇位置へ上昇させる。これにより、ガラス基板Ｗ１はローラ１０１及び１１１から離れて載置部材５６及び５７上に位置した状態となる。載置部材５６及び５７を上昇位置へ上昇させた後、載置部材５６を−Ｙ方向に、載置部材５７を＋Ｙ方向に移動することで、位置決め部材５６ｂと位置決め部材５７ｂとでガラス基板Ｗ１を狭持する（図２２の上側の態様）。これにより、ガラス基板Ｗ１の向きが調整される。

続いて、載置部材５６及び５７をＹ方向に互いに同方向に移動して、ガラス基板Ｗ１をＹ方向に移動する。ガラス基板Ｗ１は、そのサイズに応じて、複数のガラス基板Ｗ１を並列搬送可能な位置に移動する。図２２の下側に示す例では、ガラス基板Ｗ１を＋Ｙ方向に移動し、個別搬送コンベア３１の＋Ｙ方向の端部に移動している。

続いて、昇降ユニット６０（図示せず）の駆動により、載置部材５６及び５７を下降位置に下降させる。そして、図２３の上側に示すようにガラス基板Ｗ１を−Ｘ方向に移動し、ガラス基板Ｗ１を個別搬送コンベア３１の−Ｘ側でかつ＋Ｙ側に位置する３つのローラコンベアユニット１００及び３つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。この移動の際には、＋Ｙ側に位置する６つのローラコンベアユニット１００及び６つのローラコンベアユニット１１０を駆動する。

次に、図２３の下側に示すように、２枚目のガラス基板Ｗ１が処理装置２０から搬出される。１枚目のガラス基板Ｗ１の搬送と同様に、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、２枚目のガラス基板Ｗ１を個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、昇降ユニット６０（図示せず）及び移動ユニット５０の駆動により、２枚目のガラス基板Ｗ１をＹ方向に移動する。２枚目のガラス基板Ｗ１は、図２４の上側に示すように、１枚目のガラス基板Ｗ１と反対方向（−Ｙ方向）に移動する。続いて、２枚目のガラス基板Ｗ１を−Ｘ方向に移動し、ガラス基板Ｗ１を個別搬送コンベア３１の−Ｘ側でかつ−Ｙ側に位置する３つのローラコンベアユニット１００及び３つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。これにより、２枚のガラス基板Ｗ１が、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に並べて載置された状態となる。その後、同時搬送コンベア３０に２枚のガラス基板Ｗ１が同時に搬送されることになる。

図５の下図に示したガラス基板Ｗ２を処理装置２０から搬出する場合も、同様の手順を採用することができるが、図２５乃至図２８に示す手順も採用できる。図２５乃至図２８は、処理装置２０から個別搬送コンベア３１へガラス基板Ｗ２を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に複数のガラス基板Ｗ２を並べる例を示した図である。

まず、図２５の上側に示すように、１枚目のガラス基板Ｗ２が処理装置２０から搬出される。この場合、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、１枚目のガラス基板Ｗ２を個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、昇降ユニット６０（図示せず）及び移動ユニット５０の駆動により、図２５の下側に示すように、１枚目のガラス基板Ｗ２の向きを調整する。そして、図２６の上側に示すように、移動ユニット５０の駆動により、ガラス基板Ｗ２をＹ方向に移動する。図２６の上側の例では＋Ｙ方向に移動して、３つのローラコンベアユニット１００上に１枚目のガラス基板Ｗ２を位置させている。

次に、図２６の下側に示すように、２枚目のガラス基板Ｗ２が処理装置２０から搬出される。１枚目のガラス基板Ｗ２の搬送と同様に、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、２枚目のガラス基板Ｗ２を個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、昇降ユニット６０（図示せず）及び移動ユニット５０の駆動により、図２７の上側に示すように、２枚目のガラス基板Ｗ２の向きを調整する。そして、図２７の下側に示すように、移動ユニット５０の駆動により、２枚目のガラス基板Ｗ２をＹ方向に移動する。図２７の下側の例では＋Ｙ方向に移動して、３つのローラコンベアユニット１００上に２枚目のガラス基板Ｗ２を位置させている。

次に、図２８の上側に示すように、３枚目のガラス基板Ｗ２が処理装置２０から搬出される。１枚目及び２枚目のガラス基板Ｗ２の搬送と同様に、移載コンベア７０と、個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０と、を駆動して、３枚目のガラス基板Ｗ２を個別搬送コンベア３１の＋Ｘ側の６つのローラコンベアユニット１１０上に位置させる。

続いて、昇降ユニット６０及び移動ユニット５０の駆動により、図２８の下側に示すように、３枚目のガラス基板Ｗ２の向きを調整する。これにより、３枚のガラス基板Ｗ２が、個別搬送コンベア３１上で、Ｙ方向に並べて載置された状態となる。３枚のガラス基板Ｗ２は、＋Ｘ側の３つの「ローラコンベアユニットの組」上に載置されている。その後、３枚のガラス基板Ｗ２は、−Ｘ側の３つの「ローラコンベアユニットの組」を経由して、同時搬送コンベア３０に同時に搬送されることになる。

なお、本実施形態の場合、処理装置２０の搬入出位置に対応した位置を、個別搬送コンベア３１のＹ方向の略中央としているが、これに限られず、例えば、Ｙ方向の端部を搬入出位置としてもよい。

＜ガラス基板のサイズの特定＞
本実施形態では、上記の通り、サイズが異なるガラス基板Ｗ１及びＷ２の搬送を行うことができる。これは、ガラス基板のサイズ、及び、搬送する位置に応じて、個別搬送コンベア３１を構成するローラコンベアユニット１００及び１１０を選択的に駆動すること、及び、移動ユニット５０を駆動すること、により実現している。サイズが異なるガラス基板の搬送を行う場合、そのガラス基板のサイズを特定し、制御装置２００の制御上、サイズを設定する必要がある。

ガラス基板のサイズを設定する第１の方法は、一つの収納カセット１０には、同じサイズのガラス基板のみ収納するようにし、収納カセット１０単位で、制御装置２００の制御上、ガラス基板のサイズを設定する。この場合、基板搬送システムＡ上を搬送されるガラス基板は全て同じサイズのガラス基板であることが前提となる。

ガラス基板のサイズを設定する第２の方法は、個別搬送コンベア３１において、ガラス基板のサイズを逐一検出し、制御装置２００の制御上、ガラス基板のサイズを個別に設定する。この場合、基板搬送システムＡ上を搬送されるガラス基板が全て同じサイズのガラス基板としなくてもよく、例えば、収納カセット１０の各スロット毎に異なるサイズのガラス基板を収納しておくことも可能となる。また、異なるサイズのガラス基板を一つのスロット内に収納しておくことも可能となる。

ガラス基板のサイズを検出するセンサは、個別搬送コンベア３１のＸ方向の両端部に設けることができる。例えば、図１に示すようにセンサ９０、９１を設けることができる。センサ９０は、処理装置２０から搬出されるガラス基板のサイズを検出する。図１において、センサ９０はＹ方向に離間して一対設けられており、ガラス基板Ｗ１が搬出された場合は、双方がＯＮとなり、ガラス基板Ｗ２が搬出された場合は、一方のみがＯＮ又は双方がＯＦＦとなる。センサ９１は、同時搬送コンベア３０から個別搬送コンベア３１へ搬送されるガラス基板のサイズを検出する。センサ９１もＹ方向に離間して一対設けられており、ガラス基板Ｗ１が搬送された場合は、双方がＯＮとなり、ガラス基板Ｗ２が搬送された場合は、一方のみがＯＮ又は双方がＯＦＦとなる。

＜第２実施形態＞
上記第１実施形態では、一つの収納カセット１０と、一つの処理装置２０との間で、ガラス基板を搬送する例を説明したが、複数の収納カセット１０と、一つの処理装置２０との間で、ガラス基板を搬送するようにすることもできる。図２９は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢのレイアウトを示す平面図である。同図において、基板搬送システムＡと同じ構成については、同じ参照番号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。

基板搬送システムＢでは、収納カセット１０が２つ並設されている。２つの収納カセット１０はＹ方向に並べて配置されている。昇降装置８０、移載コンベア３２、同時搬送コンベア３０、及び、個別搬送コンベア３１は、各収納カセット１０毎に、Ｘ方向に並べて配置されている。移載コンベア７０及び処理装置２０は、各収納カセット１０からＸ方向に離間して配置されており、一方の個別搬送コンベア３１の＋Ｘ方向の端部側に配置されている。

移動ユニット５０は、２つの個別搬送コンベア３１に跨って配置されている。すなわち、一対のベース部材５１の間に２つの個別搬送コンベア３１が配置され、各ベルト５５は、２つの個別搬送コンベア３１を横断している。これにより、各ベルト５５上に固定された合計４つの載置部材５６及び５７は、２つの個別搬送コンベア３１上を移動できる。なお、各ベース部材５１の下方には、不図示の昇降ユニット６０が配設される。

基板搬送システムＢにおいて、移動ユニット５０は、個別搬送コンベア３１上でＹ方向にガラス基板を移動するだけでなく、２つの個別搬送コンベア３１間でガラス基板をＹ方向に移動する。図３０は、２つの個別搬送コンベア３１上でのガラス基板Ｗの搬送態様の説明図である。

同図に示すように、個別搬送コンベア３１は、ガラス基板ＷをＸ方向に搬送し、移動ユニット５０は、ガラス基板ＷをＹ方向に移動する。移動ユニット５０は、個別搬送コンベア３１間でもガラス基板Ｗを移動する。個別搬送コンベア３１上での搬送枚数の変換は、上記第１実施形態と同様である。

本実施形態では、移動ユニット５０が２つの個別搬送コンベア３１に跨ってガラス基板Ｗを移動することで、処理装置２０と、２つの収納カセット１０との間でそれぞれガラス基板Ｗを搬送することができ、ガラス基板Ｗの搬送能力を更に向上できる。

なお、本実施形態では、収納カセット１０を２つとしたが、収納カセット１０を３つ以上としてもよい。この場合、同時搬送コンベア３０、個別搬送コンベア３１等を各収納カセット１０毎に設けることができる。そして、移動ユニットは、各個別搬送コンベア３１に跨ってガラス基板Ｗを移動するようにすることができる。

＜第３実施形態＞
上記第２実施形態では、移動ユニット５０は、ガラス基板Ｗを一枚ずつＹ方向に移動するように構成したが、複数枚のガラス基板Ｗを同時にＹ方向に移動するように構成することもできる。

図３１は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢ’のレイアウトを示す平面図である。同図において、基板搬送システムＢと同じ構成については、同じ参照番号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。

上記の通り、個別搬送コンベア３１はＸ方向に複数枚のガラス基板Ｗ（２枚）を載置可能である。本実施形態の移動ユニット５０’は、Ｘ方向に並べられた複数枚のガラス基板Ｗを同時にＹ方向に移動する。

移動ユニット５０’は、合計８本のベルト５５が設けられており、＋Ｘ側の４本のベルト５５が、＋Ｘ側の６つのローラコンベア１００及び６つのローラコンベア１１０上に載置されるガラス基板Ｗを搬送するために用いられ、−Ｘ側の４本のベルト５５が、−Ｘ側の６つのローラコンベア１００及び６つのローラコンベア１１０上に載置されるガラス基板Ｗを移動するために用いられる。

各ベルト５５上には、載置部材５６又は５７がそれぞれ１つずつ設けられ、一つのガラス基板Ｗに対して、２つの載置部材５６及び２つの載置部材５７が、用いられる。本実施形態の場合、各載置部材５６は同時に移動し、また、各載置部材５７も同時に移動する。しかし、個別に移動する構成も採用可能である。

移動ユニット５０’のベース部材５１’は、上述したベース部材５１よりもＸ方向の長さが拡大されており、それぞれ、モータ５２と、４つの駆動プーリ５３及び４つの従動プーリ５４とを搭載している。なお、各ベース部材５１’の下方には、不図示の昇降ユニット６０が配設される。

図３２及び図３３は、２つの個別搬送コンベア３１上でのガラス基板Ｗの搬送態様の説明図である。図３２に示すように、本実施形態では、個別搬送コンベア３１と処理装置２０との間で、Ｘ方向に連続して複数のガラス基板Ｗの搬入出を行うことが可能である。そして、図３３に示すように、移動ユニット５０’は、個別搬送コンベア３１間で、Ｘ方向に並べられた複数枚のガラス基板Ｗを同時にＹ方向に移動することができる。

本実施形態では、Ｘ方向に並べられた複数枚のガラス基板Ｗを同時にＹ方向に移動することがで、ガラス基板Ｗの搬送能力を更に向上できる。

＜第４実施形態＞
上記第２実施形態では、移動ユニット５０及び昇降ユニット６０により、個別搬送コンベア３１間でガラス基板ＷをＹ方向に移動するように構成したが、これに加えて、同時搬送コンベア３０間でもガラス基板ＷをＹ方向に移動するように構成してもよい。

図３４は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢ”のレイアウトを示す平面図である。同図において、基板搬送システムＢと同じ構成については、同じ参照番号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。

本実施形態では、同時搬送コンベア３０にも上記第３実施形態で説明した移動ユニット５０’が設けられている。なお、同時搬送コンベア３０に設けた移動ユニット５０’の各ベース部材５１’の下方には不図示の昇降ユニット６０が配設される。また、移動ユニット５０’に代えて、上記第１及び第２実施形態の移動ユニット５０を同時搬送コンベア３０に設けるようにしてもよい。

本実施形態では、同時搬送コンベア３０間でもガラス基板ＷをＹ方向に移動することができるので、例えば、収納カセット１０間でガラス基板Ｗの移し変える場合に、個別搬送コンベア３１を経由することなくガラス基板Ｗを搬送できる。また、本実施形態では移動ユニット５０’を用いたことにより、同時搬送コンベア３０間で、Ｘ方向に並べられた複数枚のガラス基板Ｗを同時にＹ方向に移動することができ、ガラス基板Ｗの搬送能力を更に向上できる。

なお、以上説明した第２実施形態乃至第４実施形態に記載の基板搬送システムＢ、Ｂ’、Ｂ’’については、２つの個別搬送コンベア３１のうち、処理装置２０に隣接しない、＋Ｙ側の個別搬送コンベア３１は必ずしもガラス基板を個別搬送することは要求されない。したがって、＋Ｙ側の個別搬送コンベア３１に代えて、複数枚のガラス基板Ｗを並列搬送可能な幅を有するが、ガラス基板Ｗを個別搬送する機能を有しないコンベア（同時搬送コンベアとしてのみ機能するコンベア）とすることができる。この場合、そのコンベアは、単一のローラコンベアユニットから構成しても、Ｘ方向に並べた複数のローラコンベアユニットから構成してもよい。

＜第５実施形態＞
上記第１実施形態では、収納カセット１０がＹ方向に複数のガラス基板を収納し、移載コンベア３２がＹ方向に複数のガラス基板を載置して同時に搬送するように構成したが、１枚ずつ搬送する構成とすることもできる。但し、この場合、ガラス基板の搬送枚数を変換することが必要となる。図３５は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＣのレイアウトを示す平面図である。同図において、基板搬送システムＡと同じ構成については、同じ参照番号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。また、同図においては、処理装置２０、移載コンベア７０、個別搬送コンベア３１及び個別搬送コンベア３１上のガラス基板を移動する移動ユニット５０及び昇降ユニット６０は省略されている。

本実施形態の収納カセット１０'は、各スロットに１枚のガラス基板Ｗを収納する。収納カセット１０'からガラス基板Ｗの搬出、搬入を行う移載コンベア３２'は３つのローラコンベアユニット１００から構成され、ガラス基板Ｗを１枚ずつ搬送する。

移載コンベア３２'と同時搬送コンベア３０との間には、個別搬送コンベア３１'が設けられている。個別搬送コンベア３１'は、上述した個別搬送コンベア３１と同じ構成である。個別搬送コンベア３１'には、移動ユニット５０'が設けられている。移動ユニット５０'は、上述した移動ユニット５０と同じ構成である。各移動ユニット５０'のベース部材５１の下方には、上述した昇降ユニット６０と同じ構成の昇降ユニット（不図示）が設けられる。

すなわち、本実施形態は、基板搬送システムＡに、上述した個別搬送コンベア３１、移動ユニット５０及び昇降ユニット６０を、収納カセット側にも設けたものである。しかして、収納カセット１０'からガラス基板Ｗを搬出する場合は、移載コンベア３２'によって一枚ずつガラス基板Ｗが搬出され、個別搬送コンベア３１'上でＹ方向に複数枚のガラス基板Ｗが並べて載置され、同時搬送コンベア３０へ並列搬送される。収納カセット１０'へガラス基板Ｗを搬入する場合は、個別搬送コンベア３１'から一枚ずつ移載コンベア３２'にガラス基板Ｗが搬送され、収納カセット１０'へ搬入されることになる。

＜第６実施形態＞
上記第１乃至第５実施形態では、移動ユニット５０、５０’の載置部材５６及び５７をベルト伝導機構により移動する構成としたが、他の機構も採用できる。図３６は、載置部材５６及び５７の移動機構の他の例を示す図である。図３６の移動機構は、ボールねじ機構を用いたものである。Ｙ方向には、レール部材５０１、ボールねじ５０２が配設され、これらが載置部材５６及び５７の移動軌道を規定する。ボールねじ５０２には、ボールナット５０３が螺合すると共に、ボールナット５０３はレール部材５０１上を摺動可能になっている。載置部材５６及び５７はボールナット５０３上に固定されている。

しかして、ボールねじ５０２を不図示のモータにより回転することにより、載置部材５６及び５７がＹ方向に移動する。この他にも、リニアモータを用いた移動機構も採用可能である。

また、上記第１実施形態では、昇降ユニット６０が移動ユニット５０、５０’全体を昇降する構成としたが、載置部材５６及び５７が昇降できればよい。例えば、図３６に示す移動機構の例において、載置部材５６及び５７とボールナット５０３との間にＺ方向に伸縮するアクチュエータを設けて、載置部材５６及び５７を昇降するように構成してもよい。

Claims (13)

1. 基板を収納する収納カセットと、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、
   前記収納カセット側に配置され、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第１のコンベアと、
   前記処理装置側において前記第１のコンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第２のコンベアと、
   前記第２のコンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記第２のコンベア上で前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、
   前記載置部と前記第２コンベアとを相対的に昇降する昇降ユニットと、
   を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
2. 前記第１のコンベアと連続し、かつ、前記収納カセットの下部に配置され、前記収納カセットに収納された前記基板を載置して前記搬送方向に搬送する第３のコンベアと、
   前記収納カセットと前記第３のコンベアとを相対的に昇降する昇降装置と、
   を更に備え、
   前記収納カセットは、前記基板を収納するスロットを上下方向に複数備え、
   各スロットは前記搬送方向と直交する方向に前記複数枚の前記基板を収納可能であり、
   前記第３のコンベアは、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
3. 前記第２のコンベアは、前記基板のサイズに応じて選択的に駆動される複数のコンベアユニットを備え、
   前記移動ユニットは、前記基板のサイズに応じた位置に前記基板を移動することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
4. 前記移動ユニットは、前記基板を移動すると共に前記基板の向きを調整することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
5. 前記第１のコンベアが、前記搬送方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な長さを有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
6. 前記第１及び第２のコンベアが複数のローラコンベアユニットにより構成されることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
7. 前記第３のコンベアが複数のローラコンベアユニットにより構成されることを特徴とする請求項２に記載の基板搬送システム。
8. 前記収納カセットと前記処理装置とが前記搬送方向に離間して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
9. 基板を収納する第１及び第２の収納カセットと、前記第１及び第２の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、
   前記第１の収納カセット側に配置され、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第１の同時搬送コンベアと、
   前記第２の収納カセット側に配置され、前記搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第２の同時搬送コンベアと、
   前記処理装置側において前記第１の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第１の個別搬送コンベアと、
   前記処理装置側において前記第２の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第２の個別搬送コンベアと、
   前記第１及び第２の個別搬送コンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記第１及び第２の個別搬送コンベアに跨って、前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、
   前記載置部と前記第１及び２の個別搬送コンベアとを相対的に昇降する昇降ユニットと、
   を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
10. 前記第１及び第２の同時搬送コンベア上の前記基板を載置する第２の載置部を有し、前記第１及び第２の同時搬送コンベアに跨って、前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する第２の移動ユニットと、
    前記第２の載置部と前記第１及び２の同時搬送コンベアとを相対的に昇降する第２の昇降ユニットと、
    を更に備えたことを特徴とする請求項９に記載の基板搬送システム。
11. 前記第１及び第２の個別搬送コンベアは、前記搬送方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な長さを有し、
    前記載置部が、前記第１及び第２の個別搬送コンベア上で前記搬送方向に並べて載置された複数枚の前記基板毎に設けられ、
    前記移動ユニットは、前記搬送方向に並べて載置された複数枚の前記基板を、前記搬送方向に直交する方向に同時搬送することを特徴とする請求項９に記載の基板搬送システム。
12. 前記第１及び第２の収納カセットは、前記搬送方向に直交する方向に並べて配置され、
    前記処理装置は、前記第１及び第２の収納カセットから前記搬送方向に離間して配置されていることを特徴とする請求項９に記載の基板搬送システム。
13. 基板を収納する第１及び第２の収納カセットと、前記第１及び第２の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、
    前記第１の収納カセット側に配置され、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第１の同時搬送コンベアと、
    前記第２の収納カセット側に配置され、前記搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第２の同時搬送コンベアと、
    前記処理装置側において前記第１の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な個別搬送コンベアと、
    前記処理装置側において前記第２の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有する第３の同時搬送コンベアと、
    前記個別搬送コンベア及び前記第３の同時搬送コンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記個別搬送コンベア及び前記第３の同時搬送コンベアに跨って、前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、
    前記載置部と、前記個別搬送コンベア及び前記第３の同時搬送コンベアと、を相対的に昇降する昇降ユニットと、
    を備えたことを特徴とする基板搬送システム。

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