JP7219106B2 - 基板搬送システムおよび基板搬送システムの制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、複数枚のガラス基板が収容可能なワイヤーカセットと、ガラス基板に対して所定の処理を行う処理装置との間で、ガラス基板を搬送するための基板搬送システムに関する。また、本発明は、かかる基板搬送システムの制御方法に関する。

従来、液晶表示装置用のガラス基板に対して所定の処理を行う処理装置にガラス基板を供給するための基板供給装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の基板供給装置は、第１ユニットと第２ユニットと搬送ユニットとから構成されている。第１ユニットおよび第２ユニットは、ワイヤーカセットが載置される載置部と、載置部を昇降させる昇降機構と、ガラス基板を搬送するローラコンベヤとを備えている。搬送ユニットは、ローラコンベヤである。基板供給装置は、処理装置の上流側に配置されている。また、第１ユニットと第２ユニットと搬送ユニットとが上流側から下流側に向かってこの順番で配置されている。基板供給装置では、処理装置に搬入されるガラス基板は、最終的に搬送ユニットによって搬送される。

特開２０１８－８３７００号公報

特許文献１に記載の基板供給装置の場合、ワイヤーカセットから搬出されて処理装置に搬入されるガラス基板が、ローラコンベヤである搬送ユニットによって最終的に搬送されているため、ワイヤーカセットから搬出されるガラス基板を一定の位置にしか供給することができない。

そこで、本発明の課題は、ワイヤーカセットから搬出されるガラス基板を様々な位置に供給したり、ワイヤーカセットに搬入されるガラス基板を様々な位置から回収したりすることが可能な基板搬送システムを提供することにある。また、本発明の課題は、かかる基板搬送システムの制御方法を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の基板搬送システムは、複数枚のガラス基板が収容可能なワイヤーカセットからのガラス基板の搬出またはワイヤーカセットへのガラス基板の搬入を行うための第１基板搬送装置と、ガラス基板が搭載されるハンドを有する基板搬送ロボットと、第１基板搬送装置と基板搬送ロボットとの間でガラス基板を搬送する第２基板搬送装置とを備え、第１基板搬送装置は、ワイヤーカセットが載置される載置部と、載置部を昇降させる載置部昇降機構と、ガラス基板の下面に接触してガラス基板を水平方向へ直線的に搬送する複数の第１の搬送ローラを有する第１の搬送コンベヤとを備え、基板搬送ロボットは、ハンドが連結されるアームと、基板搬送ロボットの下端部を構成する基台と、基台に対してハンドを水平方向へ直線的に移動させるハンド移動機構と、基台に対してアームを昇降させるアーム昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として基台に対してアームを回動させる回動機構とを備え、第１の搬送コンベヤによるガラス基板の搬送方向を第１方向とし、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とすると、第２基板搬送装置は、ガラス基板を第１方向に搬送する第２の搬送コンベヤと、第２の搬送コンベヤを第２方向へ直線的に移動させるスライド機構とを備え、第１基板搬送装置と第２基板搬送装置と基板搬送ロボットとが第１方向においてこの順番で配置されていることを特徴とする。

本発明の基板搬送システムでは、第１基板搬送装置と第２基板搬送装置と基板搬送ロボットとが第１方向においてこの順番で配置されている。また、本発明では、基板搬送ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、ハンドを水平方向へ直線的に移動させるハンド移動機構と、アームを昇降させるアーム昇降機構と、上下方向を回動の軸方向としてアームを回動させる回動機構とを備えている。

そのため、本発明では、第１基板搬送装置の載置部に載置されたワイヤーカセットから搬出されて第２基板搬送装置によって搬送されたガラス基板を基板搬送ロボットによって様々な位置に供給したり、基板搬送ロボットによって様々な位置から回収されて第２基板搬送装置に搬送されたガラス基板を、第１基板搬送装置の載置部に載置されたワイヤーカセットに搬入したりすることが可能になる。すなわち、本発明では、ワイヤーカセットから搬出されるガラス基板を様々な位置に供給したり、ワイヤーカセットに搬入されるガラス基板を様々な位置から回収したりすることが可能になる。

本発明において、基板搬送システムは、たとえば、第２方向に配列される複数の第１基板搬送装置を備えている。

本発明において、第２の搬送コンベヤは、ガラス基板の下面に接触してガラス基板を第１方向に搬送する複数の第２の搬送ローラを有するローラコンベヤであり、第２基板搬送装置は、複数の第２の搬送ローラに接触するガラス基板を持ち上げて第２の搬送ローラから浮かせる基板持上げ機構を備えることが好ましい。このように構成すると、基板搬送ロボットのハンドと第２の搬送コンベヤとの間でガラス基板を受け渡すときの基板搬送ロボットのハンドと第２の搬送ローラとの干渉を比較的容易に防止することが可能になる。

本発明において、たとえば、アームは、互いに回動可能に連結される複数のアーム部によって構成され、ハンド移動機構は、ハンドが一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアームを伸縮させるアーム駆動機構である。

本発明において、第２基板搬送装置は、ワイヤーカセットから搬出されて第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板の第１方向の位置、第２方向の位置および第１方向に対する傾きを検知するための検知機構を備えることが好ましい。このように構成すると、たとえば、基板搬送ロボットのハンドに検知機構が取り付けられていて、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板の第１方向の位置、第２方向の位置および第１方向に対する傾きを、基板搬送ロボットを動作させながら検知する場合と比較して、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板の第１方向の位置、第２方向の位置および第１方向に対する傾きを短時間で検知することが可能になる。

本発明において、基板搬送システムは、基板搬送システムを制御する制御部を備え、制御部は、検知機構の検知結果に基づいて、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際の第２の搬送コンベヤの第２方向の位置をスライド機構によって補正し、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際のハンドの第１方向の位置をハンド移動機構によって補正するとともに、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際のハンドの第１方向に対する傾きを回動機構によって補正することが好ましい。

このように構成すると、第２の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を補正するために、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板に接触してガラス基板の位置を補正する接触式のアライメント機構を第２基板搬送装置が備えていなくても、第２の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を非接触で補正することが可能になる。したがって、第２基板搬送装置の構成を簡素化することが可能になるとともに、第２の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を補正する際の、ガラス基板の損傷を防止することが可能になる。また、接触式のアライメント機構によってガラス基板の位置を補正する場合と比較して、ハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を短時間で補正することが可能になる。また、このように構成すると、アームを第２方向へ直線的に移動させるスライド機構を基板搬送ロボットが備えていなくても、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際の、ハンドに対するガラス基板の第２方向の相対的な位置を補正することが可能になる。

本発明の基板搬送システムは、たとえば、以下の制御方法で制御される。すなわち、本発明では、たとえば、検知機構の検知結果に基づいて、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際の第２の搬送コンベヤの第２方向の位置をスライド機構で補正し、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際のハンドの第１方向の位置をハンド移動機構で補正するとともに、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際のハンドの第１方向に対する傾きを回動機構によって補正する。

この場合には、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板に接触してガラス基板の位置を補正する接触式のアライメント機構を第２基板搬送装置が備えていなくても、第２の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を非接触で補正することが可能になるため、第２基板搬送装置の構成を簡素化することが可能になるとともに、第２の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を補正する際の、ガラス基板の損傷を防止することが可能になる。また、接触式のアライメント機構によってガラス基板の位置を補正する場合と比較して、ハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を短時間で補正することが可能になる。また、この場合には、アームを第２方向へ直線的に移動させるスライド機構を基板搬送ロボットが備えていなくても、第２の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際の、ハンドに対するガラス基板の第２方向の相対的な位置を補正することが可能になる。

以上のように、本発明では、ワイヤーカセットから搬出されるガラス基板を様々な位置に供給したり、ワイヤーカセットに搬入されるガラス基板を様々な位置から回収したりすることが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる基板搬送システムの平面図である。 図１に示す第１基板搬送装置の正面図である。 図１に示す第１基板搬送装置の概略側面図である。 図１に示す第２基板搬送装置の第２の搬送コンベヤの平面図である。 図１に示す第２基板搬送装置の側面図である。 図１に示す基板搬送ロボットの側面図である。 図１に示す基板搬送ロボットおよび図４に示す第２の搬送コンベヤの平面図である。 図１に示す基板搬送ロボットおよび第２基板搬送装置の構成を説明するためのブロック図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（基板搬送システムの全体構成および基板搬出装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる基板搬送システム１の平面図である。図２は、図１に示す基板搬出装置４の正面図である。図３は、図１に示す基板搬出装置４の概略側面図である。

本形態の基板搬送システム１は、液晶表示装置用のガラス基板２に対して所定の処理を行う処理装置（図示省略）にガラス基板２を供給するためのシステムである。基板搬送システム１は、複数枚のガラス基板２が収容可能なワイヤーカセット３からガラス基板２を搬出するための複数の基板搬出装置４と、処理装置にガラス基板２を供給する基板搬送ロボット５（以下、「ロボット５」とする。）と、基板搬出装置４とロボット５との間でガラス基板２を搬送する基板搬送装置６とを備えている。本形態では、基板搬送システム１は、４個の基板搬出装置４を備えている。本形態の基板搬出装置４は、第１基板搬送装置であり、基板搬送装置６は、第２基板搬送装置である。

基板搬出装置４は、ワイヤーカセット３が載置される載置部８と、載置部８を昇降させる載置部昇降機構としての昇降機構９と、ガラス基板２を水平方向へ直線的に搬送する第１の搬送コンベヤとしての搬送コンベヤ１０とを備えている。以下の説明では、搬送コンベヤ１０によるガラス基板２の搬送方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。本形態の前後方向は、第１方向であり、左右方向は、第２方向である。

４個の基板搬出装置４は、左右方向で隣り合うように配置されている。すなわち、４個の基板搬出装置４は、左右方向に配列されている。また、基板搬出装置４と基板搬送装置６とロボット５とは、後ろ側から前側に向かってこの順番で配置されている。すなわち、基板搬出装置４と基板搬送装置６とロボット５とは、前後方向においてこの順番で配置されている。ガラス基板２は、長方形の平板状に形成されている。基板搬出装置４および基板搬送装置６では、長方形状に形成されるガラス基板２の長辺方向と前後方向とが略一致している。

ワイヤーカセット３は、カセットフレーム１１と、カセットフレーム１１の内部に配置される複数本のワイヤー１２とから構成されている。ワイヤーカセット３の外形（すなわち、カセットフレーム１１の外形）は、直方体状となっている。ワイヤー１２は、左右方向に張った状態でカセットフレーム１１に固定されている。また、複数本のワイヤー１２は、上下方向および前後方向において一定の間隔をあけた状態でカセットフレーム１１に固定されている。ワイヤーカセット３に収容されるガラス基板２は、ワイヤー１２に載置されており、ワイヤーカセット３には、複数枚のガラス基板２が上下方向に一定の間隔をあけた状態で収容可能となっている。

載置部８は、ワイヤーカセット３の下面の、左右方向の両端側を支持している。また、載置部８は、左右方向の両端側のそれぞれにおいて、たとえば、ワイヤーカセット３の下面の前後方向の両端側、および、ワイヤーカセット３の下面の前後方向の中心位置の３箇所を支持している。昇降機構９は、モータと、モータの動力を載置部８に伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、モータの動力で回転するネジ軸と、ネジ軸に係合するナット部材とを有するボールねじである。ネジ軸は、ネジ軸の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。ナット部材は、載置部８に取り付けられている。

搬送コンベヤ１０は、ローラコンベヤである。搬送コンベヤ１０は、ガラス基板２の下面に接触してガラス基板２を前後方向に搬送する複数の搬送ローラ１３と、複数の搬送ローラ１３を駆動するローラ駆動機構とを備えている。複数の搬送ローラ１３は、フレーム１４に回転可能に支持されている。また、複数の搬送ローラ１３は、ワイヤーカセット３に収容されるガラス基板２を搬送可能な位置に配置されている。本形態の搬送ローラ１３は、第１の搬送ローラである。

載置部８は、ワイヤーカセット３の下端が搬送ローラ１３の上端よりも上側に配置される位置と、ワイヤーカセット３の最も上側に配置されるワイヤー１２が搬送ローラ１３の上端よりも下側に配置される位置との間で昇降可能となっている。ワイヤーカセット３に収容されるガラス基板２が搬出されるときには、ワイヤーカセット３の中で最も下側に配置されるガラス基板２の下面に搬送ローラ１３が接触する位置まで載置部８が下降して、ワイヤーカセット３の中で最も下側に配置されるガラス基板２が搬送コンベヤ１０によって搬出される。すなわち、ワイヤーカセット３の最下段に収容されているガラス基板２からワイヤーカセット３の最上段に収容されているガラス基板２に向かって順番にガラス基板２がワイヤーカセット３から１枚ずつ搬出される。

また、ワイヤーカセット３に収容されるガラス基板２が搬出されるときには、一部の搬送ローラ１３を除いた複数の搬送ローラ１３がワイヤーカセット３の内部に入り込んでいる。複数の搬送ローラ１３は、ワイヤーカセット３に収容されるガラス基板２を前側に向かって搬送する。フレーム１４は、ワイヤーカセット３の内部に入り込んだ搬送ローラ１３とワイヤー１２とが干渉しないように、櫛歯状に配置されており、複数の搬送ローラ１３は、前後方向においてワイヤー１２を避けた位置に配置されている。

（基板搬送装置および基板搬送ロボットの構成および制御方法）
図４は、図１に示す基板搬送装置６の搬送コンベヤ１７の平面図である。図５は、図１に示す基板搬送装置６の側面図である。図６は、図１に示すロボット５の側面図である。図７は、図１に示すロボット５および図４に示す搬送コンベヤ１７の平面図である。図８は、図１に示すロボット５および基板搬送装置６の構成を説明するためのブロック図である。

基板搬送装置６は、ガラス基板２を前後方向に搬送する第２の搬送コンベヤとしての搬送コンベヤ１７と、搬送コンベヤ１７を左右方向に移動可能に支持するベース部材１８と、ベース部材１８に対して搬送コンベヤ１７を左右方向に直線的に移動させるスライド機構１９とを備えている。

搬送コンベヤ１７は、ローラコンベヤである。搬送コンベヤ１７は、ガラス基板２の下面に接触してガラス基板２を前後方向に搬送する複数の搬送ローラ２０と、複数の搬送ローラ２０を駆動するローラ駆動機構とを備えている。搬送コンベヤ１０の搬送ローラ１３と搬送コンベヤ１７の搬送ローラ２０とは、同じ高さに配置されている。また、搬送コンベヤ１０と搬送コンベヤ１７とは、前後方向において、搬送コンベヤ１０から搬送コンベヤ１７へのガラス基板２の引渡しが可能となる位置に配置されている。本形態の搬送ローラ２０は、第２の搬送ローラである。なお、図１、図７では、搬送ローラ２０の図示を省略している。

また、基板搬送装置６は、複数の搬送ローラ２０に接触するガラス基板２を持ち上げて複数の搬送ローラ２０から浮かせる基板持上げ機構２１と、ワイヤーカセット３から搬出されて搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の前後方向の位置、左右方向の位置（具体的には、搬送コンベヤ１７に対する左右方向の位置）および前後方向に対する傾きを検知するための検知機構２２とを備えている。なお、図４では、検知機構２２の図示を省略している。また、基板搬送装置６は、搬送コンベヤ１７の上方に配置されるイオナイザーを備えていても良い。

スライド機構１９は、モータ２４と、モータ２４の動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、ベース部材１８の左右の両端側にそれぞれに回転可能に取り付けられる駆動プーリおよび従動プーリと、駆動プーリと従動プーリとに架け渡されるベルトとを備えている。駆動プーリは、モータ２４の動力で回転する。搬送コンベヤ１７のフレームには、ベルトの一部分が固定されている。あるいは、動力伝達機構は、ベース部材１８に固定されるラックと、ラックに噛み合うとともにモータ２４の動力で回転するピニオンとを備えている。ピニオンは、搬送コンベヤ１７のフレームに回転可能に取り付けられている。

スライド機構１９は、４個の基板搬出装置４のうちの最も右側に配置される基板搬出装置４の搬送コンベヤ１０と搬送コンベヤ１７とが左右方向で一致する位置と、４個の基板搬出装置４のうちの最も左側に配置される基板搬出装置４の搬送コンベヤ１０と搬送コンベヤ１７とが左右方向で一致する位置との間で搬送コンベヤ１７を移動させる。また、スライド機構１９は、搬送コンベヤ１７の左右方向の位置を検知するための検知機構２５を備えている。スライド機構１９は、基板搬送システム１を制御する制御部２６に電気的に接続されている。具体的には、モータ２４および検知機構２５が制御部２６に電気的に接続されている。制御部２６は、検知機構２５の検知結果に基づいてモータ２４を制御する。

基板持上げ機構２１は、ガラス基板２の下面に接触する複数の支持ピンと、複数の支持ピンの下端部が固定されるピン保持部材と、ピン保持部材を昇降させる昇降機構とを備えている。複数の支持ピンは、搬送ローラ２０と干渉しない位置に配置されている。ピン保持部材は、支持ピンの上端が搬送ローラ２０の上端よりも上側に配置される位置と、支持ピンの上端が搬送ローラ２０の上端よりも下側に配置される位置の間で昇降可能となっている。

検知機構２２は、ガラス基板２の左右方向の位置および前後方向に対する傾きを検知するための２個のセンサ２８と、ガラス基板２の前後方向の位置を検知するためのセンサ２９とを備えている。センサ２８、２９は、発光素子と受光素子とを有する光学式センサである。また、センサ２８、２９は、直線状に配列される複数の受光素子を備えるラインセンサである。センサ２８、２９は、制御部２６に電気的に接続されている。

図７に示すように、２個のセンサ２８は、搬送コンベヤ１７の左右方向の一端部に取り付けられている。また、２個のセンサ２８は、搬送コンベヤ１７の前後方向の両端部に配置されている。ラインセンサであるセンサ２８は、センサ２８の長手方向（受光素子の配列方向）と左右方向とが一致するように配置されている。センサ２９は、搬送コンベヤ１７の前端部に取り付けられている。ラインセンサであるセンサ２９は、センサ２９の長手方向と前後方向とが一致するように配置されている。

本形態では、２個のセンサ２８によるガラス基板２の左右方向の一端面の検知結果に基づいて、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の左右方向の位置と、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の前後方向に対する傾きが検知される、また、センサ２９によるガラス基板２の前端面の検知結果に基づいて、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の前後方向の位置が検知される。

ロボット５は、前後方向において、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の受取りが可能となる位置に配置されている。ロボット５は、水平多関節型のロボットである。ロボット５は、ガラス基板２が搭載されるハンド３３を備えている。本形態のロボット５は、２個のハンド３３を備えている。また、ロボット５は、２個のハンド３３のそれぞれが連結される２本のアーム３４と、２本のアーム３４を支持する本体部３５と、ロボット５の下端部を構成するとともに本体部３５を支持する基台３６とを備えている。ハンド３３は、アーム３４の先端側に回動可能に連結されている。アーム３４の基端側は、本体部３５に回動可能に連結されている。本体部３５は、基台３６に回動可能に連結されている。

アーム３４は、互いに回動可能に連結されるアーム部３８およびアーム部３９の２個のアーム部によって構成されており、本体部３５に対して伸縮する。アーム部３８の基端側は、本体部３５に回動可能に連結されている。アーム部３９の基端側は、アーム部３８の先端側に回動可能に連結されている。アーム部３９の先端側には、ハンド３３が回動可能に連結されている。

本体部３５は、２本のアーム３４のそれぞれの基端側を支持する２個の支持部材４０と、２個の支持部材４０が固定されるとともに昇降可能な昇降部材４１と、昇降部材４１を昇降可能に保持する柱状部材４２と、柱状部材４２の下端側を支持するとともに基台３６に回動可能に連結される旋回部材４３とを備えている。アーム３４の基端側は、支持部材４０の先端側に回動可能に連結されている。支持部材４０の基端側は、昇降部材４１に固定されている。柱状部材４２は、旋回部材４３に固定される第１柱部４４と、昇降部材４１を昇降可能に保持する第２柱部４５との２個の柱部によって構成されている。第２柱部４５は、第１柱部４４に昇降可能に保持されている。なお、柱状部材４２は、１個の柱部によって構成されていても良い。

ロボット５では、基台３６に対して旋回部材４３が上下方向を回動の軸方向として回動する。すなわち、ハンド３３、アーム３４および本体部３５は、上下方向を回動の軸方向として基台３６に対して回動する。また、第１柱部４４に対して第２柱部４５が昇降し、第２柱部４５に対して昇降部材４１がハンド３３およびアーム３４等と一緒に昇降する。すなわち、ハンド３３およびアーム３４は、基台３６、旋回部材４３および第１柱部４４に対して昇降する。さらに、アーム３４は、本体部３５および基台３６に対して伸縮する。具体的には、ハンド３３が一定方向を向いた状態で水平方向へ直線的に動くようにアーム３４が本体部３５および基台３６に対して伸縮する。これらの動作の組合せによって、ロボット５は、ガラス基板２を搬送する。

ロボット５は、ハンド３３が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム３４を伸縮させるアーム駆動機構４７を備えている。また、ロボット５は、第１柱部４４に対して第２柱部４５を昇降させるとともに第２柱部４５に対して昇降部材４１を昇降させるアーム昇降機構４８と、上下方向を回動の軸方向として基台３６に対して旋回部材４３を回動させる回動機構４９とを備えている。すなわち、ロボット５は、基台３６に対してアーム３４を昇降させるアーム昇降機構４８と、上下方向を回動の軸方向として基台３６に対してアーム３４を回動させる回動機構４９とを備えている。本形態のアーム駆動機構４７は、基台３６に対してハンド３３を直線的に移動させるハンド移動機構である。

アーム駆動機構４７は、モータ５０と、モータ５０の動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、プーリ、ベルトおよび減速機等を備えている。また、アーム駆動機構４７は、アーム３４の伸縮量を検知するための検知機構５１を備えている。アーム駆動機構４７は、制御部２６に電気的に接続されている。具体的には、モータ５０および検知機構５１が制御部２６に電気的に接続されている。制御部２６は、検知機構５１の検知結果に基づいてモータ５０を制御する。

アーム昇降機構４８は、モータ５２と、モータ５２の動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、プーリ、ベルト、減速機およびボールねじ等を備えている。また、アーム昇降機構４８は、アーム３４の高さを検知するための検知機構５３を備えている。アーム昇降機構４８は、制御部２６に電気的に接続されている。具体的には、モータ５２および検知機構５３が制御部２６に電気的に接続されている。制御部２６は、検知機構５３の検知結果に基づいてモータ５２を制御する。

回動機構４９は、モータ５４と、モータ５４の動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、プーリ、ベルトおよび減速機等を備えている。また、回動機構４９は、基台３６に対するアーム３４の回転位置を検知するための検知機構５５を備えている。回動機構４９は、制御部２６に電気的に接続されている。具体的には、モータ５４および検知機構５５が制御部２６に電気的に接続されている。制御部２６は、検知機構５５の検知結果に基づいてモータ５４を制御する。

基板搬出装置４から搬出されるガラス基板２が搬送コンベヤ１７に載置されるときには、ガラス基板２を搬出する基板搬出装置４の搬送コンベヤ１０と搬送コンベヤ１７とが左右方向において同じ位置に配置された状態で、搬送コンベヤ１０によって搬送されてワイヤーカセット３から搬出されたガラス基板２が搬送コンベヤ１７に載置される。

搬送コンベヤ１７にガラス基板２が載置されると、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きが検知機構２２によって検知される。ガラス基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きが検知機構２２によって検知されると、制御部２６は、ロボット５と搬送コンベヤ１７とが左右方向において一致する位置まで、スライド機構１９によって搬送コンベヤ１７を移動させる。

なお、搬送コンベヤ１７にガラス基板２が載置された後、ロボット５と搬送コンベヤ１７とが左右方向において一致する位置まで搬送コンベヤ１７を移動させてから、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを検知機構２２によって検知しても良い。また、搬送コンベヤ１７にガラス基板２が載置された後、ロボット５と搬送コンベヤ１７とが左右方向において一致する位置まで搬送コンベヤ１７を移動させながら、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを検知機構２２によって検知しても良い。

その後、基板持上げ機構２１が複数の搬送ローラ２０からガラス基板２を浮かせてから、ロボット５が、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２をハンド３３に搭載して処理装置まで搬送する。搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２をハンド３３に搭載するときには、制御部２６は、検知機構２２の検知結果に基づいて、ガラス基板２をハンド３３に搭載する際の搬送コンベヤ１７の左右方向の位置をスライド機構１９によって補正し、ガラス基板２をハンド３３に搭載する際のハンド３３の前後方向の位置をアーム駆動機構４７によって補正するとともに、ガラス基板２をハンド３３に搭載する際のハンド３３の前後方向に対する傾きを回動機構４９によって補正する。

たとえば、図７に示すように、ガラス基板２が前後方向に対して傾いた状態で搬送コンベヤ１７に載置されている場合には、制御部２６は、ガラス基板２をハンド３３に搭載する際のハンド３３の前後方向に対する傾きを回動機構４９によって補正した後、ガラス基板２をハンド３３に搭載する際の搬送コンベヤ１７の左右方向の位置をスライド機構１９によって補正するとともに、ガラス基板２をハンド３３に搭載する際のハンド３３の前後方向の位置をアーム駆動機構４７によって補正する。

なお、制御部２６には、ガラス基板２を搬送コンベヤ１７の所定の基準位置に正しい向きで載置したときの検知機構２２の検知結果が予め記憶されている。制御部２６は、処理装置にガラス基板２を実際に供給するときの検知機構２２の検知結果と、制御部２６に予め記憶された検知機構２２の検知結果とに基づいて、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２をハンド３３に搭載するときに、搬送コンベヤ１７の左右方向の位置と、ハンド３３の前後方向の位置と、ハンド３３の前後方向に対する傾きとを補正する。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、基板搬出装置４と基板搬送装置６とロボット５とが前後方向においてこの順番で配置されている。また、本形態では、ロボット５は、ガラス基板２が搭載されるハンド３３と、ハンド３３が連結されるアーム３４と、ハンド３３を水平方向へ直線的に移動させるアーム駆動機構４７と、アーム３４を昇降させるアーム昇降機構４８と、上下方向を回動の軸方向としてアーム３４を回動させる回動機構４９とを備えている。そのため、本形態では、ワイヤーカセット３から搬出されて基板搬送装置６によって搬送されたガラス基板２をロボット５によって様々な位置に供給することが可能になる。すなわち、本形態では、ワイヤーカセット３から搬出されるガラス基板２を様々な位置に供給することが可能になる。

本形態では、搬送コンベヤ１７は、ガラス基板２を持ち上げて搬送ローラ２０から浮かせる基板持上げ機構２１を備えており、ロボット５は、基板持上げ機構２１が搬送ローラ２０からガラス基板２を浮かせた後に、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２をハンド３３に搭載している。そのため、本形態では、搬送コンベヤ１７からロボット５にガラス基板２を引き渡すときのハンド３３と搬送ローラ２０との干渉を比較的容易に防止することが可能になる。

本形態では、基板搬送装置６は、ワイヤーカセット３から搬出されて搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを検知するための検知機構２２を備えている。そのため、本形態では、たとえば、検知機構２２と同様の機能を果たす検知機構がロボット５のハンド３３に取り付けられていて、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを、ロボット５を動作させながら検知する場合と比較して、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを短時間で検知することが可能になる。

本形態では、制御部２６は、検知機構２２の検知結果に基づいて、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２をハンド３３に搭載する際の搬送コンベヤ１７の左右方向の位置をスライド機構１９によって補正し、ガラス基板２をハンド３３に搭載する際のハンド３３の前後方向の位置をアーム駆動機構４７によって補正するとともに、ガラス基板２をハンド３３に搭載する際のハンド３３の前後方向に対する傾きを回動機構４９によって補正している。

そのため、本形態では、搬送コンベヤ１７からハンド３３に搭載されるガラス基板２の搭載位置を補正するために、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２に接触してガラス基板２の位置を補正する接触式のアライメント機構を基板搬送装置６が備えていなくても、搬送コンベヤ１７からハンド３３に搭載されるガラス基板２の搭載位置を非接触で補正することが可能になる。したがって、本形態では、基板搬送装置６の構成を簡素化することが可能になるとともに、搬送コンベヤ１７からハンド３３に搭載されるガラス基板２の搭載位置を補正する際の、ガラス基板２の損傷を防止することが可能になる。

また、本形態では、接触式のアライメント機構によってガラス基板２の位置を補正する場合と比較して、ハンド３３に搭載されるガラス基板２の搭載位置を短時間で補正することが可能になる。さらに、本形態では、アーム３４を左右方向へ直線的に移動させるスライド機構をロボット５が備えていなくても、スライド機構１９によって、搬送コンベヤ１７に載置されたガラス基板２をハンド３３に搭載する際の、ハンド３３に対するガラス基板２の左右方向の相対的な位置を補正することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態において、基板搬送システム１は、処理装置からガラス基板２を回収するためのシステムであっても良い。この場合には、基板搬出装置４は、ワイヤーカセット３へガラス基板２を搬入するための基板搬入装置となる。また、この場合には、処理装置からロボット５によって回収されたガラス基板２は、基板搬送装置６によって基板搬入装置まで搬送された後、基板搬入装置のワイヤーカセット３に搬入される。この場合の基板搬入装置は、第１基板搬送装置である。

この場合には、ロボット５によって様々な位置から回収されて基板搬送装置６に搬送されたガラス基板２を、基板搬入装置の載置部８に載置されたワイヤーカセット３に搬入することが可能になる。すなわち、ワイヤーカセット３に搬入されるガラス基板２を様々な位置から回収することが可能になる。

上述した形態において、左右方向に配列される基板搬出装置４の数は、２個または３個あるいは５個以上であっても良い。また、基板搬送システム１が備える基板搬出装置４の数は１個であっても良い。また、上述の特許文献１に記載されているように、基板搬出装置４の後ろ側に基板搬出装置４がもう１台設置されていても良い。また、上述した形態において、搬送コンベヤ１７は、ベルトコンベヤ等のローラコンベヤ以外のコンベヤであっても良い。

上述した形態において、ロボット５は、ハンド３３を水平方向にスライド可能に保持するアームを備えていても良い。この場合には、ロボット５は、アームに対してハンド３３を水平方向に直線的に移動させるハンド移動機構を備えている。また、上述した形態において、ロボット５は、基台３６を左右方向に移動させるスライド機構を備えていても良い。さらに、上述した形態において、基板搬送装置６は、搬送コンベヤ１７を昇降させる昇降機構を備えていても良い。また、上述した形態において、ガラス基板２は、液晶表示装置以外の用途で使用されるガラス基板であっても良い。

１ 基板搬送システム
２ ガラス基板
３ ワイヤーカセット
４ 基板搬出装置（第１基板搬送装置）
５ ロボット（基板搬送ロボット）
６ 基板搬送装置（第２基板搬送装置）
８ 載置部
９ 昇降機構（載置部昇降機構）
１０ 搬送コンベヤ（第１の搬送コンベヤ）
１３ 搬送ローラ（第１の搬送ローラ）
１７ 搬送コンベヤ（第２の搬送コンベヤ）
１９ スライド機構
２０ 搬送ローラ（第２の搬送ローラ）
２１ 基板持上げ機構
２２ 検知機構
２６ 制御部
３３ ハンド
３４ アーム
３６ 基台
３８、３９ アーム部
４７ アーム駆動機構（ハンド移動機構）
４８ アーム昇降機構
４９ 回動機構
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向

Claims (7)

1. 複数枚のガラス基板が収容可能なワイヤーカセットからの前記ガラス基板の搬出または前記ワイヤーカセットへの前記ガラス基板の搬入を行うための第１基板搬送装置と、前記ガラス基板が搭載されるハンドを有する基板搬送ロボットと、前記第１基板搬送装置と前記基板搬送ロボットとの間で前記ガラス基板を搬送する第２基板搬送装置とを備え、
   前記第１基板搬送装置は、前記ワイヤーカセットが載置される載置部と、前記載置部を昇降させる載置部昇降機構と、前記ガラス基板の下面に接触して前記ガラス基板を水平方向へ直線的に搬送する複数の第１の搬送ローラを有する第１の搬送コンベヤとを備え、
   前記基板搬送ロボットは、前記ハンドが連結されるアームと、前記基板搬送ロボットの下端部を構成する基台と、前記基台に対して前記ハンドを水平方向へ直線的に移動させるハンド移動機構と、前記基台に対して前記アームを昇降させるアーム昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として前記基台に対して前記アームを回動させる回動機構とを備え、
   前記第１の搬送コンベヤによる前記ガラス基板の搬送方向を第１方向とし、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とすると、
   前記第２基板搬送装置は、前記ガラス基板を第１方向に搬送する第２の搬送コンベヤと、前記第２の搬送コンベヤを第２方向へ直線的に移動させるスライド機構とを備え、
   前記第１基板搬送装置と前記第２基板搬送装置と前記基板搬送ロボットとが第１方向においてこの順番で配置されていることを特徴とする基板搬送システム。
2. 第２方向に配列される複数の前記第１基板搬送装置を備えることを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
3. 前記第２の搬送コンベヤは、前記ガラス基板の下面に接触して前記ガラス基板を第１方向に搬送する複数の第２の搬送ローラを有するローラコンベヤであり、
   前記第２基板搬送装置は、複数の前記第２の搬送ローラに接触する前記ガラス基板を持ち上げて複数の前記第２の搬送ローラから浮かせる基板持上げ機構を備えることを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送システム。
4. 前記アームは、互いに回動可能に連結される複数のアーム部によって構成され、
   前記ハンド移動機構は、前記ハンドが一定方向を向いた状態で直線的に移動するように前記アームを伸縮させるアーム駆動機構であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の基板搬送システム。
5. 前記第２基板搬送装置は、前記ワイヤーカセットから搬出されて前記第２の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板の第１方向の位置、第２方向の位置および第１方向に対する傾きを検知するための検知機構を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の基板搬送システム。
6. 前記基板搬送システムを制御する制御部を備え、
   前記制御部は、前記検知機構の検知結果に基づいて、前記第２の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記第２の搬送コンベヤの第２方向の位置を前記スライド機構によって補正し、前記第２の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記ハンドの第１方向の位置を前記ハンド移動機構によって補正するとともに、前記第２の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記ハンドの第１方向に対する傾きを前記回動機構によって補正することを特徴とする請求項５記載の基板搬送システム。
7. 請求項５記載の基板搬送システムの制御方法であって、
   前記検知機構の検知結果に基づいて、前記第２の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記第２の搬送コンベヤの第２方向の位置を前記スライド機構で補正し、前記第２の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記ハンドの第１方向の位置を前記ハンド移動機構で補正するとともに、前記第２の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記ハンドの第１方向に対する傾きを前記回動機構によって補正することを特徴とする基板搬送システムの制御方法。

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