CN111547508A - 基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法，该基板搬运系统能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。该基板搬运系统(1)具备：用于从线盒(3)搬出玻璃基板(2)的第一基板搬运装置(4)；具有装载玻璃基板的手(33)的基板搬运机器人(5)；在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板的第二基板搬运装置(6)，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在X方向上按该顺序配置。基板搬运机器人具备：连接手(33)的臂(34)；使臂(34)伸缩的臂驱动机构；使臂(34)升降的臂升降机构；以上下方向为转动的轴方向使臂(34)转动的转动机构。

Description

基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法

技术领域

本发明涉及一种基板搬运系统，用于在能收容多块玻璃基板的线盒和对玻璃基板进行规定处理的处理装置之间搬运玻璃基板。另外，本发明涉及这种基板搬运系统的控制方法。

背景技术

目前，知道用于将玻璃基板供给到对液晶显示装置用的玻璃基板进行规定处理的处理装置上的基板供给装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的基板供给装置由第一单元、第二单元以及搬运单元构成。第一单元及第二单元具备：放置线盒的放置部；使放置部升降的升降机构；以及搬运玻璃基板的辊式输送机。搬运单元是辊式输送机。基板供给装置配置于处理装置的上游侧。另外，第一单元、第二单元以及搬运单元从上游侧朝向下游侧按该顺序配置。在基板供给装置中，被搬入处理装置的玻璃基板最后通过搬运单元来搬运。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018－83700号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的基板供给装置的情况下，因为玻璃基板从线盒搬出并搬入到处理装置，最后由作为辊式输送机的搬运单元搬运，所以只能将从线盒搬出的玻璃基板供给到固定位置。

因此，本发明的技术问题在于提供一种基板搬运系统，能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。另外，本发明的技术问题在于提供这种基板搬运系统的控制方法。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板搬运系统，其特征在于，具备：第一基板搬运装置，其用于从能收容多块玻璃基板的线盒搬出玻璃基板或将玻璃基板搬入线盒；基板搬运机器人，其具有装载玻璃基板的手；以及第二基板搬运装置，其在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板，第一基板搬运装置具备：放置部，其放置线盒；放置部升降机构，其使放置部升降；以及第一搬运机，其具有与玻璃基板的下表面接触并沿水平方向直线搬运玻璃基板的多个第一搬运辊，基板搬运机器人具备：臂，其连接手；基台，其构成基板搬运机器人的下端部；手移动机构，其使手相对于基台沿水平方向直线移动；臂升降机构，其使臂相对于基台升降；以及转动机构，其以上下方向为转动的轴方向使臂相对于基台转动，将第一搬运机对玻璃基板的搬运方向设为第一方向，将与上下方向和第一方向正交的方向设为第二方向时，第二基板搬运装置具备沿第一方向搬运玻璃基板的第二搬运机和使第二搬运机沿第二方向直线移动的滑动机构，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在第一方向上按该顺序配置。

在本发明的基板搬运系统中，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在第一方向上按该顺序配置。另外，在本发明中，基板搬运机器人具备：装载玻璃基板的手；连接手的臂；使手在水平方向上直线移动的手移动机构；使臂升降的臂升降机构；以及以上下方向为转动的轴方向使臂转动的转动机构。

因此，在本发明中，能够由基板搬运机器人将从放置在第一基板搬运装置的放置部的线盒搬出并通过第二基板搬运装置搬运的玻璃基板供给到各个位置，或者将由基板搬运机器人从各个位置收集并通过第二基板搬运装置搬运的玻璃基板搬入放置于第一基板搬运装置的放置部上的线盒。即，在本发明中，能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。

在本发明中，基板搬运系统具备例如沿第二方向排列的多个第一基板搬运装置。

在本发明中，理想的是，第二搬运机是辊式输送机，所述辊式输送机具有与玻璃基板的下表面接触并沿第一方向搬运玻璃基板的多个第二搬运辊，第二基板搬运装置具备基板提升机构，所述基板提升机构提升与多个第二搬运辊接触的玻璃基板，使其从第二搬运辊浮起。如果像这样构成，则在基板搬运机器人的手和第二搬运机之间移交玻璃基板时能够比较容易地避免基板搬运机器人的手和第二搬运辊的干扰。

在本发明中，例如，臂由以互相能转动的方式连接的多个臂部构成，手移动机构是使臂伸缩以使手以朝向固定方向的状态直线移动的臂驱动机构。

在本发明中，理想的是，第二基板搬运装置具备检测机构，该检测机构用于检测从线盒搬出并放置在第二搬运机上的玻璃基板的第一方向上的位置、第二方向上的位置及相对于第一方向的倾斜度。如果像这样构成，则例如与将检测机构安装在基板搬运机器人的手上，并且在使基板搬运机器人动作的同时检测放置在第二搬运机上的玻璃基板的第一方向上的位置、第二方向上的位置及相对于第一方向的倾斜度的情况相比，能够在短时间内检测放置在第二搬运机上的玻璃基板的第一方向上的位置、第二方向上的位置及相对于第一方向的倾斜度。

在本发明中，理想的是，基板搬运系统具备控制基板搬运系统的控制部，控制部基于检测机构的检测结果，通过滑动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的第二搬运机的第二方向上的位置，通过手移动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的手的第一方向上的位置，并且通过转动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的手相对于第一方向的倾斜度。

如果像这样构成，则为了修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置，即使第二基板搬运装置不具备与放置在第二搬运机上的玻璃基板接触以修正玻璃基板的位置的接触式对准机构，也能够通过非接触的方式修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置。因此，能够简化第二基板搬运装置的构成，并且能够防止修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置时的、玻璃基板的损坏。另外，与通过接触式对准机构修正玻璃基板的位置的情况相比，能够在短时间内修正装载到手上的玻璃基板的装载位置。另外，如果像这样构成，则即使基板搬运机器人不具备使臂沿第二方向直线移动的滑动机构，也能够修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的玻璃基板相对于手的第二方向上的相对位置。

本发明的基板搬运系统例如通过后文将描述的控制方法来控制。即，在本发明中，例如，基于检测机构的检测结果，通过滑动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的第二搬运机的第二方向上的位置，通过手移动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的手的第一方向上的位置，并且通过转动机构修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的手相对于第一方向的倾斜度。

在这种情况下，即使第二基板搬运装置不具备与放置在第二搬运机上的玻璃基板接触以修正玻璃基板的位置的接触式对准机构，也能够通过非接触的方式修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置，因此能够简化第二基板搬运装置的构成，并且能够防止修正从第二搬运机装载到手上的玻璃基板的装载位置时的、玻璃基板的损坏。另外，与通过接触式对准机构修正玻璃基板的位置的情况相比，能够在短时间内修正装载到手上的玻璃基板的装载位置。另外，在这种情况下，即使基板搬运机器人不具备使臂沿第二方向直线移动的滑动机构，也能够修正将放置在第二搬运机上的玻璃基板装载到手上时的玻璃基板相对于手的第二方向上的相对位置。

发明效果

如上所述，在本发明中，能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的基板搬运系统的俯视图。

图2是图1所示的第一基板搬运装置的主视图。

图3是图1所示的第一基板搬运装置的概略侧视图。

图4是图1所示的第二基板搬运装置的第二搬运机的俯视图。

图5是图1所示的第二基板搬运装置的侧视图。

图6是图1所示的基板搬运机器人的侧视图。

图7是图1所示的基板搬运机器人及图4所示的第二搬运机的俯视图。

图8是用于说明图1所示的基板搬运机器人及第二基板搬运装置的结构的框图。

附图标记说明

1…基板搬运系统；2…玻璃基板；3…线盒；4…基板搬出装置(第一基板搬运装置)；5…机器人(基板搬运机器人)；6…基板搬运装置(第二基板搬运装置)；8…放置部；9…升降机构(放置部升降机构)；10…搬运机(第一搬运机)；13…搬运辊(第一搬运辊)；17…搬运机(第二搬运机)；19…滑动机构；20…搬运辊(第二搬运辊)；21…基板提升机构；22…检测机构；26…控制部；33…手；34…臂；36…基台；38、39…臂部；47…臂驱动机构(手移动机构)；48…臂升降机构；49…转动机构；X…第一方向；Y…第二方向。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(基板搬运系统的整体结构及基板搬出装置的结构)

图1是本发明的实施方式所涉及的基板搬运系统1的俯视图。图2是图1所示的基板搬出装置4的主视图。图3是图1所示的基板搬出装置4的概略侧视图。

本实施方式的基板搬运系统1是用于将玻璃基板2供给到对液晶显示装置用的玻璃基板2进行规定处理的处理装置(省略图示)的系统。基板搬运系统1具备：用于从能收容多块玻璃基板2的线盒3搬出玻璃基板2的多个基板搬出装置4；将玻璃基板2供给到处理装置的基板搬运机器人5(以下，称为“机器人5”)；以及在基板搬出装置4和机器人5之间搬运玻璃基板2的基板搬运装置6。在本实施方式中，基板搬运系统1具备四个基板搬出装置4。本实施方式的基板搬出装置4是第一基板搬运装置，基板搬运装置6是第二基板搬运装置。

基板搬出装置4具备：放置线盒3的放置部8；作为使放置部8升降的放置部升降机构的升降机构9；以及作为沿水平方向直线搬运玻璃基板2的第一搬运机的搬运机10。在下面的说明中，将搬运机10对玻璃基板2的搬运方向(图1等中的X方向)设为“前后方向”，将与上下方向和前后方向正交的图1等中的Y方向设为“左右方向”。另外，将前后方向的一侧即图1等中的X1方向侧设为“前”侧，将其相反侧即图1等中的X2方向侧设为“后”侧。本实施方式的前后方向是第一方向，左右方向是第二方向。

四个基板搬出装置4在左右方向上相邻配置。即，四个基板搬出装置4沿左右方向排列。另外，基板搬出装置4、基板搬运装置6以及机器人5从后侧朝向前侧按该顺序配置。即，基板搬出装置4、基板搬运装置6以及机器人5在前后方向上按该顺序配置。玻璃基板2形成长方形的平板状。在基板搬出装置4及基板搬运装置6中，形成为长方形状的玻璃基板2的长边方向和前后方向大致一致。

线盒3由盒框架11和配置于盒框架11的内部的多条线12构成。线盒3的外形(即，盒框架11的外形)为长方体状。线12以沿左右方向拉伸的状态固定于盒框架11上。另外，多条线12以沿上下方向及前后方向隔开规定间隔的状态固定于盒框架11上。收容于线盒3中的玻璃基板2放置在线12上，在线盒3中，能够以沿上下方向隔开规定间隔的状态收容多块玻璃基板2。

放置部8支承线盒3的下表面的左右方向上的两端侧。另外，放置部8在左右方向上的两端侧各侧，例如，支承线盒3的下表面的前后方向上的两端侧及线盒3的下表面的前后方向上的中心位置这三个部位。升降机构9具备电动机和将电动机的动力传递到放置部8的动力传递机构。动力传递机构例如是滚珠丝杠，所述滚珠丝杠具有通过电动机的动力旋转的丝杠轴和与丝杠轴卡合的螺母部件。丝杠轴配置为丝杠轴的轴向和上下方向一致。螺母部件安装于放置部8。

搬运机10是辊式输送机。搬运机10具备：与玻璃基板2的下表面接触并沿前后方向搬运玻璃基板2的多个搬运辊13；以及驱动多个搬运辊13的辊驱动机构。多个搬运辊13能旋转地支承于框架14。另外，多个搬运辊13配置于能搬运收容在线盒3中的玻璃基板2的位置。本实施方式的搬运辊13是第一搬运辊。

放置部8能够在线盒3的下端被配置得比搬运辊13的上端靠上侧的位置和配置于线盒3的最上侧的线12被配置得比搬运辊13的上端靠下侧的位置之间升降。收容在线盒3中的玻璃基板2被搬出时，放置部8下降到搬运辊13与线盒3中配置于最下侧的玻璃基板2的下表面接触的位置，线盒3中配置于最下侧的玻璃基板2被搬运机10搬出。即，玻璃基板2从收容于线盒3的最下层的玻璃基板2朝向收容于线盒3的最上层的玻璃基板2依次从线盒3逐块搬出。

另外，收容在线盒3中的玻璃基板2被搬出时，除一部分搬运辊13以外的多个搬运辊13进入线盒3的内部。多个搬运辊13朝向前侧搬运收容在线盒3中的玻璃基板2。框架14配置成梳齿状，以不使进入线盒3的内部的搬运辊13和线12发生干扰，多个搬运辊13配置于在前后方向上避开线12的位置。

(基板搬运装置及基板搬运机器人的结构及控制方法)

图4是图1所示的基板搬运装置6的搬运机17的俯视图。图5是图1所示的基板搬运装置6的侧视图。图6是图1所示的机器人5的侧视图。图7是图1所示的机器人5及图4所示的搬运机17的俯视图。图8是用于说明图1所示的机器人5及基板搬运装置6的结构的框图。

基板搬运装置6具备：作为沿前后方向搬运玻璃基板2的第二搬运机的搬运机17；以在左右方向上能移动的方式支承搬运机17的基底部件18；以及使搬运机17相对于基底部件18在左右方向上直线移动的滑动机构19。

搬运机17是辊式输送机。搬运机17具备：与玻璃基板2的下表面接触并沿前后方向搬运玻璃基板2的多个搬运辊20；以及驱动多个搬运辊20的辊驱动机构。搬运机10的搬运辊13和搬运机17的搬运辊20配置于相同的高度。另外，搬运机10和搬运机17在前后方向上配置于能够实现玻璃基板2从搬运机10转移到搬运机17的位置。本实施方式的搬运辊20是第二搬运辊。需要说明的是，在图1和图7中省略了搬运辊20的图示。

另外，基板搬运装置6具备：提升与多个搬运辊20接触的玻璃基板2使其从多个搬运辊20浮起的基板提升机构21；以及用于检测从线盒3搬出并放置在搬运机17上的玻璃基板2的前后方向上的位置、左右方向上的位置(具体地说，是相对于搬运机17的左右方向上的位置)及相对于前后方向的倾斜度的检测机构22。需要说明的是，在图4中，省略了检测机构22的图示。另外，基板搬运装置6也可以具备配置于搬运机17的上方的负离子发生器。

滑动机构19具备电动机24和传递电动机24的动力的动力传递机构。动力传递机构例如具备：以能旋转的方式分别安装于基底部件18的左右两端侧的驱动带轮及从动带轮；以及架设在驱动带轮和从动带轮上的带。驱动带轮通过电动机24的动力而旋转。带的一部分固定在搬运机17的框架上。或者，动力传递机构具备：固定于基底部件18上的齿条；以及与齿条啮合并且通过电动机24的动力而旋转的小齿轮。小齿轮以能旋转的方式安装于搬运机17的框架上。

滑动机构19使搬运机17在四个基板搬出装置4中配置于最右侧的基板搬出装置4的搬运机10和搬运机17在左右方向上一致的位置与四个基板搬出装置4中配置于最左侧的基板搬出装置4的搬运机10和搬运机17在左右方向上一致的位置之间移动。另外，滑动机构19具备用于检测搬运机17的左右方向上的位置的检测机构25。滑动机构19电连接于控制基板搬运系统1的控制部26。具体地说，电动机24及检测机构25电连接于控制部26。控制部26基于检测机构25的检测结果控制电动机24。

基板提升机构21具备：与玻璃基板2的下表面接触的多个支承销；固定多个支承销的下端部的销保持部件；以及使销保持部件升降的升降机构。多个支承销配置于不与搬运辊20干扰的位置。销保持部件能够在支承销的上端配置得比搬运辊20的上端靠上侧的位置和支承销的上端配置得比搬运辊20的上端靠下侧的位置之间升降。

检测机构22具备：用于检测玻璃基板2的左右方向上的位置及相对于前后方向的倾斜度的两个传感器28；以及用于检测玻璃基板2的前后方向上的位置的传感器29。传感器28、29是具有发光元件和受光元件的光学式传感器。另外，传感器28、29是具备以直线状排列的多个受光元件的线传感器。传感器28、29电连接到控制部26。

如图7所示，两个传感器28安装于搬运机17的左右方向上的一端部。另外，两个传感器28配置于搬运机17的前后方向上的两端部。线传感器即传感器28配置为传感器28的长边方向(受光元件的排列方向)和左右方向一致。传感器29安装于搬运机17的前端部。线传感器即传感器29配置为传感器29的长边方向和前后方向一致。

在本实施方式中，基于两个传感器28对玻璃基板2的左右方向上的一端面的检测结果，检测放置在搬运机17上的玻璃基板2的左右方向上的位置和放置在搬运机17上的玻璃基板2相对于前后方向的倾斜度，另外，基于传感器29对玻璃基板2的前端面的检测结果，检测放置在搬运机17上的玻璃基板2的前后方向上的位置。

机器人5在前后方向上配置于能够承接放置在搬运机17上的玻璃基板2的位置。机器人5是水平多关节型机器人。机器人5具备装载玻璃基板2的手33。本实施方式的机器人5具备两个手33。另外，机器人5具备：分别连接两个手33的两条臂34；支承两条臂34的主体部35；以及构成机器人5的下端部并且支承主体部35的基台36。手33以能转动的方式连接于臂34的前端侧。臂34的基端侧以能转动的方式连接于主体部35。主体部35以能转动的方式连接于基台36。

臂34由以互相能转动的方式连接的臂部38及臂部39这两个臂部构成，相对于主体部35伸缩。臂部38的基端侧以能转动的方式连接于主体部35。臂部39的基端侧以能转动的方式连接于臂部38的前端侧。在臂部39的前端侧以能转动的方式连接有手33。

主体部35具备：支承两条臂34的各基端侧的两个支承部件40；固定两个支承部件40并且能升降的升降部件41；以能升降的方式保持升降部件41的柱状部件42；以及支承柱状部件42的下端侧并且以能转动的方式连接于基台36的转动部件43。臂34的基端侧以能转动的方式连接于支承部件40的前端侧。支承部件40的基端侧固定于升降部件41。柱状部件42由固定于转动部件43的第一柱部44和以能升降的方式保持升降部件41的第二柱部45这两个柱部构成。第二柱部45被第一柱部44以能升降的方式保持。需要说明的是，柱状部件42也可以由一个柱部构成。

在机器人5中，转动部件43以上下方向为转动的轴方向相对于基台36转动。即，手33、臂34及主体部35以上下方向为转动的轴方向相对于基台36转动。另外，第二柱部45相对于第一柱部44升降，升降部件41与手33及臂34等一起相对于第二柱部45升降。即，手33及臂34相对于基台36、转动部件43及第一柱部44升降。另外，臂34相对于主体部35及基台36伸缩。具体地说，臂34相对于主体部35及基台36伸缩，以使手33以朝向固定方向的状态沿水平方向直线移动。通过组合这些动作，机器人5搬运玻璃基板2。

机器人5具备臂驱动机构47，该臂驱动机构47使臂34伸缩，以使手33以朝向固定方向的状态直线移动。另外，机器人5具备臂升降机构48和转动机构49，臂升降机构48使第二柱部45相对于第一柱部44升降并且使升降部件41相对于第二柱部45升降，转动机构49使转动部件43以上下方向为转动的轴方向相对于基台36转动。即，机器人5具备：使臂34相对于基台36升降的臂升降机构48；以及以上下方向为转动的轴方向使臂34相对于基台36转动的转动机构49。本实施方式的臂驱动机构47是使手33相对于基台36直线移动的手移动机构。

臂驱动机构47具备电动机50和传递电动机50的动力的动力传递机构。动力传递机构例如具备带轮、带及减速器等。另外，臂驱动机构47具备用于检测臂34的伸缩量的检测机构51。臂驱动机构47电连接于控制部26。具体地说，电动机50及检测机构51电连接于控制部26。控制部26基于检测机构51的检测结果控制电动机50。

臂升降机构48具备电动机52和传递电动机52的动力的动力传递机构。动力传递机构例如具备带轮、带、减速器及滚珠丝杠等。另外，臂升降机构48具备用于检测臂34的高度的检测机构53。臂升降机构48电连接于控制部26。具体地说，电动机52及检测机构53电连接于控制部26。控制部26基于检测机构53的检测结果控制电动机52。

转动机构49具备电动机54和传递电动机54的动力的动力传递机构。动力传递机构例如具备带轮、带及减速器等。另外，转动机构49具备用于检测臂34相对于基台36的旋转位置的检测机构55。转动机构49电连接于控制部26。具体地说，电动机54及检测机构55电连接于控制部26。控制部26基于检测机构55的检测结果控制电动机54。

从基板搬出装置4搬出的玻璃基板2被放置在搬运机17上时，在搬出玻璃基板2的基板搬出装置4的搬运机10和搬运机17在左右方向上配置于相同的位置的状态下，由搬运机10搬运并从线盒3搬出的玻璃基板2被放置在搬运机17上。

玻璃基板2被放置在搬运机17上时，通过检测机构22检测放置在搬运机17上的玻璃基板2的前后方向上的位置、左右方向上的位置及相对于前后方向的倾斜度。通过检测机构22检测玻璃基板2的前后方向上的位置、左右方向上的位置及相对于前后方向的倾斜度时，控制部26通过滑动机构19使搬运机17移动到机器人5和搬运机17在左右方向上一致的位置。

需要说明的是，玻璃基板2被放置在搬运机17上之后，可以先使搬运机17移动到机器人5和搬运机17在左右方向上一致的位置，然后通过检测机构22检测放置在搬运机17上的玻璃基板2的前后方向上的位置、左右方向上的位置及相对于前后方向的倾斜度。另外，玻璃基板2被放置在搬运机17上之后，也可以在使搬运机17移动到机器人5和搬运机17在左右方向上一致的位置的同时，通过检测机构22检测放置在搬运机17上的玻璃基板2的前后方向上的位置、左右方向上的位置及相对于前后方向的倾斜度。

之后，基板提升机构21使玻璃基板2从多个搬运辊20浮起之后，机器人5将放置在搬运机17上的玻璃基板2装载到手33上并且搬运到处理装置。将放置在搬运机17上的玻璃基板2装载到手33上时，控制部26基于检测机构22的检测结果，通过滑动机构19修正将玻璃基板2装载到手33上时的搬运机17的左右方向上的位置，通过臂驱动机构47修正将玻璃基板2装载到手33上时的手33的前后方向上的位置，并且通过转动机构49修正将玻璃基板2装载到手33上时的手33相对于前后方向的倾斜度。

例如，如图7所示，在玻璃基板2以相对于前后方向倾斜的状态放置在搬运机17上的情况下，控制部26在通过转动机构49修正将玻璃基板2装载到手33上时的手33相对于前后方向的倾斜度之后，通过滑动机构19修正将玻璃基板2装载到手33上时的搬运机17的左右方向上的位置，并且通过臂驱动机构47修正将玻璃基板2装载到手33上时的手33的前后方向上的位置。

需要说明的是，在控制部26中，预先存储有将玻璃基板2以正确的朝向放置在搬运机17的规定基准位置时的检测机构22的检测结果。控制部26基于将玻璃基板2实际供给到处理装置时的检测机构22的检测结果和预先存储在控制部26中的检测机构22的检测结果，在将放置在搬运机17上的玻璃基板2装载到手33上时，修正搬运机17的左右方向上的位置、手33的前后方向上的位置以及手33相对于前后方向的倾斜度。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，基板搬出装置4、基板搬运装置6以及机器人5在前后方向上按该顺序配置。另外，在本实施方式中，机器人5具备：装载玻璃基板2的手33；连接手33的臂34；使手33沿水平方向直线移动的臂驱动机构47；使臂34升降的臂升降机构48；以及以上下方向为转动的轴方向使臂34转动的转动机构49。因此，在本实施方式中，能够将从线盒3搬出并由基板搬运装置6搬运的玻璃基板2通过机器人5供给到各个位置。即，在本实施方式中，能够将从线盒3搬出的玻璃基板2供给到各个位置。

在本实施方式中，搬运机17具备提升玻璃基板2使其从搬运辊20浮起的基板提升机构21，在基板提升机构21使玻璃基板2从搬运辊20浮起之后，机器人5将放置在搬运机17上的玻璃基板2装载到手33上。因此，在本实施方式中，能够比较容易地防止从搬运机17向机器人5移交玻璃基板2时的手33和搬运辊20的干扰。

在本实施方式中，基板搬运装置6具备检测机构22，该检测机构22用于检测从线盒3搬出且被放置在搬运机17上的玻璃基板2的前后方向上的位置、左右方向上的位置及相对于前后方向的倾斜度。因此，在本实施方式中，例如，与起到和检测机构22同样的效果的检测机构被安装于机器人5的手33上，并且在使机器人5动作的同时检测放置在搬运机17上的玻璃基板2的前后方向上的位置、左右方向上的位置及相对于前后方向的倾斜度的情况相比，能够在短时间内检测放置在搬运机17上的玻璃基板2的前后方向上的位置、左右方向上的位置及相对于前后方向的斜度。

在本实施方式中，控制部26基于检测机构22的检测结果，通过滑动机构19修正将放置在搬运机17上的玻璃基板2装载到手33上时的搬运机17的左右方向上的位置，通过臂驱动机构47修正将玻璃基板2装载到手33上时的手33的前后方向上的位置，并且通过转动机构49修正将玻璃基板2装载到手33上时的手33相对于前后方向的倾斜度。

因此，在本实施方式中，为了修正从搬运机17装载到手33上的玻璃基板2的装载位置，即使基板搬运装置6不具备与放置在搬运机17上的玻璃基板2接触且修正玻璃基板2的位置的接触式对准机构，也能够通过非接触的方式修正从搬运机17装载到手33上的玻璃基板2的装载位置。因此，在本实施方式中，能够简化基板搬运装置6的结构，并且能够防止修正从搬运机17装载到手33上的玻璃基板2的装载位置时损坏玻璃基板2。

另外，在本实施方式中，与通过接触式对准机构修正玻璃基板2的位置的情况相比，能够在短时间内修正装载到手33上的玻璃基板2的装载位置。而且，在本实施方式中，即使机器人5不具备使臂34沿左右方向直线移动的滑动机构，也能够通过滑动机构19修正将放置在搬运机17上的玻璃基板2装载到手33上时的玻璃基板2相对于手33的左右方向上的相对位置。

(其他实施方式)

上述实施方式是本发明的最佳实施方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以实施各种变形。

在上述实施方式中，基板搬运系统1也可以是用于从处理装置收集玻璃基板2的系统。在这种情况下，基板搬出装置4是用于将玻璃基板2搬入线盒3的基板搬入装置。另外，在这种情况下，由机器人5从处理装置收集的玻璃基板2在通过基板搬运装置6搬运到基板搬入装置之后，被搬入基板搬入装置的线盒3。这种情况下的基板搬入装置是第一基板搬运装置。

在这种情况下，能够将由机器人5从各个位置收集并搬运到基板搬运装置6的玻璃基板2搬入放置在基板搬入装置的放置部8上的线盒3中。即，能够从各个位置收集搬入线盒3的玻璃基板2。

在上述实施方式中，沿左右方向排列的基板搬出装置4的数量也可以是两个、三个或者五个以上。另外，基板搬运系统1所具备的基板搬出装置4的数量也可以是一个。另外，如上述专利文献1所述，也可以在基板搬出装置4的后侧再设置一个基板搬出装置4。另外，在上述实施方式中，搬运机17也可以是带式输送机等辊式输送机以外的输送机。

在上述实施方式中，机器人5也可以具备以沿水平方向能滑动的方式保持手33的臂。在这种情况下，机器人5具备使手33相对于臂沿水平方向直线移动的手移动机构。另外，在上述实施方式中，机器人5还可以具备使基台36沿左右方向移动的滑动机构。而且，在上述实施方式中，基板搬运装置6也可以具备使搬运机17升降的升降机构。另外，在上述实施方式中，玻璃基板2也可以是在除了液晶显示装置以外的用途中使用的玻璃基板。

Claims (7)

1.一种基板搬运系统，其特征在于，

具备：第一基板搬运装置，其用于从能收容多块玻璃基板的线盒搬出所述玻璃基板或将所述玻璃基板搬入所述线盒；基板搬运机器人，其具有装载所述玻璃基板的手；以及第二基板搬运装置，其在所述第一基板搬运装置和所述基板搬运机器人之间搬运所述玻璃基板，

所述第一基板搬运装置具备：放置部，其放置所述线盒；放置部升降机构，其使所述放置部升降；以及第一搬运机，其具有与所述玻璃基板的下表面接触并沿水平方向直线搬运所述玻璃基板的多个第一搬运辊，

所述基板搬运机器人具备：臂，其连接所述手；基台，其构成所述基板搬运机器人的下端部；手移动机构，其使所述手相对于所述基台沿水平方向直线移动；臂升降机构，其使所述臂相对于所述基台升降；以及转动机构，其以上下方向为转动的轴方向使所述臂相对于所述基台转动，

将所述第一搬运机对所述玻璃基板的搬运方向设为第一方向，将与上下方向和第一方向正交的方向设为第二方向时，

所述第二基板搬运装置具备：第二搬运机，其沿第一方向搬运所述玻璃基板；以及滑动机构，其使所述第二搬运机沿第二方向直线移动，

所述第一基板搬运装置、所述第二基板搬运装置以及所述基板搬运机器人在第一方向上按该顺序配置。

2.根据权利要求1所述的基板搬运系统，其特征在于，

具备沿第二方向排列的多个所述第一基板搬运装置。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬运系统，其特征在于，

所述第二搬运机是辊式输送机，所述辊式输送机具有与所述玻璃基板的下表面接触并沿第一方向搬运所述玻璃基板的多个第二搬运辊，

所述第二基板搬运装置具备基板提升机构，所述基板提升机构提升与多个所述第二搬运辊接触的所述玻璃基板，使所述玻璃基板从多个所述第二搬运辊浮起。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板搬运系统，其特征在于，

所述臂由以互相能转动的方式连接的多个臂部构成，

所述手移动机构是使所述臂伸缩以使所述手以朝向固定方向的状态直线移动的臂驱动机构。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板搬运系统，其特征在于，

所述第二基板搬运装置具备检测机构，所述检测机构用于检测从所述线盒搬出并放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板的第一方向上的位置、第二方向上的位置及相对于第一方向的倾斜度。

6.根据权利要求5所述的基板搬运系统，其特征在于，

具备控制所述基板搬运系统的控制部，

所述控制部基于所述检测机构的检测结果，通过所述滑动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述第二搬运机的第二方向上的位置，通过所述手移动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述手的第一方向上的位置，并且通过所述转动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述手相对于第一方向的倾斜度。

7.一种基板搬运系统的控制方法，其是权利要求5所述的基板搬运系统的控制方法，其特征在于，

基于所述检测机构的检测结果，通过所述滑动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述第二搬运机的第二方向上的位置，通过所述手移动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述手的第一方向上的位置，并且通过所述转动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述手相对于第一方向的倾斜度。

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