CN100583391C

CN100583391C - 搬运装置

Info

Publication number: CN100583391C
Application number: CN200810082815A
Authority: CN
Inventors: 池田泰人; 森昌人
Original assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2007-03-02
Filing date: 2008-02-28
Publication date: 2010-01-20
Anticipated expiration: 2028-02-28
Also published as: TWI412479B; CN101256943A; JP2008214000A; TW200836990A; JP5128148B2

Abstract

本发明提供一种搬运装置，在搬运基板的搬运工序中，可容易地在高度不同的基板处理装置及搬运装置之间移载基板，并且将移载后的基板整合为适于下一工序的姿势。本发明的搬运装置(1)包括多个辊子；具备上述辊子且具有以既定间隔并列设置的多根轨道部并且水平地搬运矩形基板(N)的辊式输送部(10)；使辊式输送部(10)在铅直方向上移动的铅直移动机构部(3)；以及一对整合部(30)，它们配置于基板(N)对置的端部侧，在辊式运输部(10)上通过推动基板(N)的端部来整合基板(N)的姿势，其中，铅直移动机构部(3)配置于辊式输送部(10)的一端侧，而辊式输送部(10)的另一端侧为自由端。

Description

搬运装置

技术领域

本发明涉及用于一种将例如电子电路基板或液晶基板等基板从一方搬运至另一方的搬运装置。

背景技术

一般而言，在液晶基板的制造工序中，具有为了在基板上形成电路或识别记号，而进行曝晒紫外线的紫外线照射工序等。此时，进行曝光工序的曝光装置或进行紫外线照射工序的照射装置等各基板处理装置之间，由输送带等搬运装置连结，基板在保持水平的状态下被搬运。即，液晶基板的制造工序反复进行如下工序：将基板从基板处理装置朝搬运装置移载或从搬运装置朝基板处理装置移载的移载工序以及由搬运装置搬运基板的搬运工序。

作为这种制造工序所使用的搬运装置，例如公知有专利文献1所述的发明(现有发明1)。现有发明1是并列设置多根辊子轴的辊子输送器，其特征在于，该辊子输送器具有：使连接于辊子轴的驱动轴旋转的伺服电动机、内置于伺服电动机的旋转检测器以及检测辊子轴的旋转的外部检测器。通过这种结构，利用旋转检测器的反馈信号和外部检测器的检测信号来修正发给伺服控制器的指令值，从而可控制辊子轴的正确旋转以及被辊式输送器搬运的基板的正确停止位置。

此外，例如各基板处理装置的插入口及排出口的高度不同时，例如使用专利文献2所述的输送机器人(transfer robot)(现有发明2)来进行基板的移载。该输送机器人具有可旋转地设于基座的第一臂、可旋转地设于第一臂的第二臂和安装于第二臂的前端侧以载置基板的手掌部。第一臂及第二臂在上下方向上旋转可使手掌部在铅直方向上移动，因此可使基板在铅直方向上进行移动。

专利文献1：日本特开2004-131233号公报(图1)

专利文献2：日本特开2003-275980号公报(图1)

然而，在通过现有发明2所述的输送机器人移载基板后，当以现有发明1所述的辊子输送器搬运该基板时，存在当移载及搬运时基板的姿势倾斜而以此倾斜的姿势进行搬运的问题。即，由于基板无法以适当的姿势插入到下一工序的基板处理装置，所以存在给对位作业带来不良影响或作业效率变差的问题。

发明内容

从这种观点出发，本发明的课题在于提供一种搬运装置，该搬运装置在搬运基板的搬运工序中，可容易地在高度不同的基板处理装置和搬运装置之间移载基板，并且可将基板以适于下一工序的姿势进行搬运。

为了解决该课题，本发明的搬运装置的特征在于，该搬运装置包括：多个辊子；辊式输送部，该辊式输送部具备上述辊子并具有以既定间隔并列设置的多根轨道部，该辊式输送部用于水平地搬运矩形基板；铅直移动机构部，该铅直移动机构部用于使上述辊式输送部在铅直方向上移动；以及一对整合部，该整合部配置于上述基板的对置的端部侧，在上述辊式运输部上通过推动上述基板的端部来整合上述基板的姿势，其中，上述铅直移动机构部配置于上述辊式输送部的一端侧，而上述辊式输送部的另一端侧为自由端。

根据上述结构，通过铅直移动机构部使辊式输送部在铅直方向上移动，即使下一工序中的各基板处理装置的插入口及排出口的高度位置不同，也可以移载基板。并且，通过整合部调整基板在辊式输送部上的姿势，将基板以适当的姿势搬运至基板处理装置。并且，由于辊式输送部的另一端侧为自由端，所以利用辊式输送部的另一端侧的下部及上部的空间和邻接的轨道部的间隙，将基板插入下一工序的基板处理装置的接收台等，来进行移载工序。

并且，本发明所述的整合部的特征在于，该整合部包括：抵接于上述基板的多个整合辊子；在直线上具备该整合辊子的保持部；使该保持部在水平面内旋转的旋转轴部；驱动该旋转轴部的驱动装置；检测上述旋转轴部的旋转角度的角度检测装置；根据该角度检测装置所检侧到的角度来控制上述驱动装置的驱动控制装置；支承上述旋转轴部的支承台；以及使上述支承台在上述辊式输送部的宽度方向上移动的滑动机构部。

根据上述结构，通过在对置的一对整合部形成的整合辊子来夹持基板，并且通过角度检测装置及驱动装置来根据检测到的角度将基板整合成所希望的姿势(角度)。从而，可以将基板以适当的姿势搬运到各基板处理装置。

发明的效果

根据本发明的搬运装置，在搬运基板的搬运工序中，可容易地在高度不同的基板处理装置及搬运装置之间进行移载工序，并且可将基板以适于下一工序的姿势进行搬运。

附图说明

图1为本实施方式所述的搬运装置的立体图。

图2为本实施方式所述的搬运装置的侧视图。

图3为本实施方式所述的搬运装置的俯视图。

图4为本实施方式所述的搬运装置的辊式输送部的放大立体图。

图5为本实施方式所述的搬运装置的主视图。

图6为本实施方式所述的搬运装置的整合部的立体图。

图7为本实施方式所述的搬运装置的控制装置的方框图。

图8为表示本实施方式所述的搬运装置的动作状况的俯视示意图，(a)为移载工序，(b)为第一停止工序，(c)为抵接工序，(d)为角度检测工序，(e)为整合、位置调整工序，(f)为分离工序，(g)为第二停止工序。

标号说明

1：搬运装置；

2：脚部；

3：铅直移动机构部；

10：辊式输送部；

12：轨道部；

17：驱动部；

30：整合部；

30a：第一整合部；

30b：第二整合部；

32：整合辊子；

33：保持部；

34：旋转轴部；

35：驱动装置；

36：角度检测装置；

37：驱动控制装置；

39：滑动机构部；

50：控制装置；

K：导入部；

N：基板；

U：间隙部。

具体实施方式

针对本发明所述的搬运装置的最佳方式，参照附图进行详细的说明。图1为本实施方式所述的搬运装置的立体图。图2为本实施方式所述的搬运装置的侧视图。图3为本实施方式所述的搬运装置的俯视图。图4为本实施方式所述的辊式输送部的放大立体图。图5为本实施方式所述的搬运装置的主视图。图6为本实施方式所述的整合部的放大立体图。图7为本实施方式所述的控制装置的方框图。

而且，说明中的上下左右前后按照图1的箭头所示。

如图1所示，本实施方式所述的搬运装置1具有：配置于搬运装置1下部的脚部2、配置于脚部2上方的辊式输送部10、夹装在脚部2与辊式输送部10之间的铅直移动机构部3、整合基板N的倾斜的一对整合部30以及控制辊式输送部10及整合部30动作的控制装置50(参照图2)。

本实施方式所述的搬运装置1为从图1的前侧向后侧搬运基板N的装置。以下以图2的外部输送器G侧为上游，以紫外线处理装置E侧为下游进行说明。在搬运装置1的搬运方向上游侧，并列设置有例如曝光装置(图示省略)，在搬运方向下游侧并列设置有例如紫外线照射装置E。即，图1的搬运方向上游侧所示的外部输送器G为公知的输送器，是将从曝光装置排出的基板N在保持水平的状态下朝向搬运装置1搬运的装置。另一方面，图1的搬运方向下游侧所示的导入部K为将基板N朝紫外线照射装置E移载的装置。此外，插入基板N的紫外线照射装置E的插入口(图示省略)的高度位置设置成，比外部输送器G的上表面的高度位置高。

即，搬运装置1是这样的装置：将从曝光装置经由外部输送器G搬运的基板N从低位置接收，进行高度调整，并且进行基板N的位置及倾斜的整合，从而向紫外线照射装置E搬运基板N。而且，基板N例如在平面视图中呈长方形。

<脚部2>

如图1及图2所示，脚部2载置于搬运装置1的设置面并构成搬运装置1基座的部分。在本实施方式中，脚部2形成为在上部板及下部板之间夹装有角材而在外部视图中呈大致长方体。在上部板的上表面设置有铅直移动机构部3，在脚部2的内部设置有控制装置50。

如图2所示，脚部2单边支承在比辊式输送部10的中央部位于搬运方向上游侧。即，辊式输送部10的搬运方向下游侧形成为自由端。

<铅直移动机构部3>

铅直移动机构部3是，在保持辊式输送部10的上表面处于水平的状态下，使辊式输送部10在铅直方向上移动的驱动装置。如图1和图2所示，铅直移动机构部3在脚部2的上部板的四个角处夹装在脚部2与辊式输送部10之间。铅直移动机构部3与控制装置50电连接，根据从控制装置50传送来的信号而上下移动。

铅直移动机构部3在本实施方式中采用公知的油压缸。铅直移动机构部3在下降至最下方时，外部输送器G的上表面与辊式输送部10的上表面处于大约相同高度的位置。此外，铅直移动机构部3在上升至最上方时，辊式输送部10的上表面与紫外线照射装置E的插入口处于大致相等或者是铅直移动机构部3的上表面高的位置。铅直移动机构部3并不限于油压缸，气压缸等其它移动机构也可以。

<辊式输送部10>

辊式输送部10是在上表面载置基板N并把基板N保持在水平状态下进行搬运的部分。如图1所示，辊式输送部10具有平板部11、在搬运方向上延伸设置的轨道部12、设置于辊式输送部10的侧部的第一传感器14、第二传感器15及第三传感器16。

平板部11的下表面抵接于铅直移动机构部3，接收铅直移动机构部3的动作，在将辊式输送部10保持水平的状态下可上下移动。如图2所示，平板部11仅配置于搬运装置1的搬运方向上游侧。在平板部11的上表面载置着轨道部12。

如图3所示，轨道部12在搬运装置1的搬运方向的范围内延伸，相对于搬运方向平行，例如并列设置有六根。在相邻的轨道部12、12之间形成有供后述的导入部K插入的间隙部U、U…。

在六根轨道部12中，宽度方向的两端为与驱动部17(参照图4)连接的主动轨道部12a、12a，中央侧四根轨道部12为不具备驱动部17的导引轨道部12b、12b…。主动轨道部12a、12a之间的宽度W₁比基板N的宽度W₂小。轨道部12的搬运方向的长度优选可确保后述的同时进行整合、位置整修工序与朝紫外线照射装置E侧的移载工序的空间。

如图4所示，导引轨道部12b具有垂直设直于平板部11上表面的板材19、贯穿板材19的辊子轴20和安装于辊子轴20的一端侧的辊子21。

辊子轴20贯穿板材19上穿设的孔，在一端侧安装着辊子21。辊子21为例如树脂制的圆板，其能以辊子轴20为中心旋转。

此外，如图4所示，主动轨道部12a，除了导引轨道部12b的构造之外还具有驱动部17及皮带22、23，伴随驱动部17的驱动，辊子21被旋转驱动。即，在驱动部17的驱动轴17a上形成的滑轮17b与在辊子轴20上形成的滑轮20a经由皮带22而连结起来。此外，驱动轴17a与在主动轨道12a上配置于搬运方向最下游侧的辊子轴(图示省略)由皮带23架设成环状。而且，皮带23的内侧分别与多个辊子轴20接触。以此，将驱动部17的旋转驱动传递至辊子21。

而且，主动轨道部12a及导引轨道部12b的结构并不限于上述方式。主动轨道12a只要适当地形成为可使辊子21旋转驱动即可，例如可用磁性驱动来代替皮带22、23，还能在辊子21上串接驱动部17来构成。此外，虽然在本实施方式中主动轨道部12a是设置于辊式输送部10的宽度方向的两端，但也可以设置于中央部侧。而且，虽然在本实施方式中使用了六根轨道部12，但并不限定其根数。

如图7所示，驱动部17与控制装置50连接，并根据从第一传感器14、第二传感器15以及第三传感器16传送至控制装置50的信号而停止或动作。此外，在铅直移动机构部3上升而位于最上方位置时，从控制装置50传送来信号而驱动部17动作。此外，在后述的分离工序结束而整合部30达到最大分离位置后，从控制装置50传送来信号而驱动部17动作。

第一传感器14是用于检测从外部输送器G移载至辊式输送部10的基板N而使铅直移动机构部3动作的传感器。如图2所示，第一传感器14设置于平板部11的搬运方向上游侧。第一传感器14当检测到基板N载置于搬运装置1的搬运方向上游侧时，将信号传送至控制装置50。在本实施方式中第一传感器14使用公知的红外线传感器。

第二传感器15是用于检测搬运至辊式输送部10的基板N而使辊式输送部10的驱动部17停止的传感器。如图2所示，第二传感器15在辊式输送部1C的侧部，设于第二整合部30b的搬运方向下游侧。第二传感器15当检测到基板N的前端时，将信号输送至控制装置50。在本实施方式中第二传感器15使用例如公知的红外线传感器。

如图3所示，第二传感器15的设置位置优选为根据基板N在搬运方向上的长度L而适当变更。此处，若从第二整合部30b(旋转轴部34)的中心至第二传感器15(检测位置)的长度为R，则优选在

的位置上设置第二传感器15。

第三传感器16是用于在搬运装置1的搬运方向下游侧检测搬运至辊式输送部10的基板N而使辊式输送部10的驱动部17停止的传感器。如图3所示，第三传感器16设置于轨道部12的搬运方向下游侧。当第三传感器16检测到基板N的前端时，将信号传送至控制装置50。在本实施方式中第三传感器16使用公知的红外线传感器。

而且，第一传感器14、第二传感器15以及第三传感器16并不限定于红外线传感器，也可使用其它公知的传感器。

<整合部30>

整合部30是将搬运来的基板N整合为适当姿势(角度)并配置于适当位置的装置。如图1及图2所示，整合部30在辊式输送部10的宽度方向上具有对置设置的一对的第一整合部30a以及第二整合部30b。整合部30分别与控制装置50连接。第一整合部30a及第二整合部30b的结构大略相同，因此仅以第一整合部30a为例进行详细的说明。

如图6所示，第一整合部30a具有：由多个整合辊子32a～32h所构成的整合辊子部32、设置有整合辊子部32的保持部33、将保持部33可旋转地支承于水平面内的旋转轴部34、使旋转轴部34旋转的驱动装置35、检测旋转轴部34的旋转角度的角度检测装置36、使旋转轴部34与驱动装置35的连接相卡合或解除该连接的断续部D、根据角度检测装置36所检测到的角度来控制驱动装置35的驱动控制装置37(参照图7)、支承旋转轴部34的支承台38以及使支承台38滑动的滑动机构部39。

如图6所示，整合辊子部32是在进行基板N的整合时，抵接于基板N的端部的部分。在本实施方式中整合辊子部32由呈直线状并以既定间隔配置的例如八个整合辊子32a～32h构成。

整合辊子32a～32h呈圆柱状，设置成圆筒面与基板N垂直，可绕配置在圆心的基轴(图示省略)而旋转。整合辊子32a～32h的形状大致相同，各圆筒面的表面设置在一条直线上。即，整合辊子32形成为：整合辊子32以平行于呈直线的基板N的端面的状态下接触于基板N时，所有整合辊子32a～32h的圆筒面都接触基板N。

在整合辊子32中，在两端的第一整合辊子32a及第二整合辊子32h的内部，分别设有第一压力传感器41及第二压力传感器42。

如图7所示，第一压力传感器41及第二压力传感器42与控制装置50相连接，在检测基板N的倾斜角度时使用。即，在第一压力传感器41或第二压力传感器42中，当其中之一抵接于基板N时，开始进行角度测定的信号经由控制装置50输送至角度检测装置36。并且，在第一压力传感器41或第二压力传感器42中，当第一整合部30a旋转而尚未接触的另一压力传感器抵接于基板N时，结束角度测定的信号经由控制装置50传送至角度检测装置36。

而且，在本实施方式中虽然使用了八个整合辊子32a～32h，但可对应于基板N的尺寸设定适当的个数及间隔。此外，虽然在本实施方式中整合辊子32a～32h是树脂制的，但也可以使用其它公知的材料。此外，本实施方式中的第一压力传感器41及第二压力传感器42使用对微小压力也产生反应的公知的压力开关或测定整合辊子的位置或安装位置的微细位置变化的变位计。并且，虽然第一压力传感器41及第二压力传感器42可形成于第一整合部30a及第二整合部30b两者上，但在本实施方式中仅形成于第一整合部30a上。

如图6所示，保持部33是这样的构件：在中央部具备旋转轴部34且在端部具备整合辊子部32，以旋转轴部34为中心在水平面内旋转。保持部33具有包括旋转轴部34的主体部33a以及从主体部33a的端部延伸形成的延伸部33b。主体部33a形成为在中央部贯穿有旋转轴部34，以旋转轴部34为轴水平旋转。延伸部33b与搬运方向平行地延伸设置，并设置有整合辊子32a～32h。

旋转轴部34为贯穿保持部33的主体部33a而形成的轴，下端直接连接于驱动装置35。如图6所示，驱动装置35是根据从驱动控制装置37输送来的信号使旋转轴部34旋转的构件。在本实施方式中驱动装置35使用公知的电动机。

如图7所示，驱动装置35与驱动控制装置37连接，并根据驱动控制装置37传送来的信号，使旋转轴部34旋转至既定的角度。

如图6、7所示，角度检测装置36为检测旋转轴部34的旋转角度的装置。角度检测装置36贯穿于旋转轴部34上而形成，根据从第一压力传感器41及第二压力传感器42经由控制装置50传送来的信号，来检测旋转轴部34的旋转角度。在本实施方式中角度检测装置36使用公知的编码器。

即，当第一整合辊子32a或第二整合辊子32h中的一方抵接于基板N时，信号从内装于该整合辊子中的压力传感器传送至角度检测装置36，角度检测装置36开始进行角度测定。

然后，当旋转轴部34朝接触基板N的方向旋转，使第一压力传感器41与第二压力传感器42中最初不接触基板N的压力传感器抵接于基板N时，信号从该压力传感器经由控制装置50传送至角度检测装置36，角度测定及基板N的整合动作准备完成。

然后，由角度检测装置36所测定到的角度(以下称为检测旋转角度)被传送至驱动控制装置37。

针对角度检测装置36进行更具体的说明，如图3所示，基板N的端部的延长线设为延长线J，与搬运方向平行的基准线设为H。此外，基准线H＝0°，基准线H与延长线J之间的夹角为θ，从基准线H起顺时针旋转的方向设为正，逆时针旋转设为负。即，在图3所示的基板N的情况下，由角度检测装置36所测定到的检测旋转角度为-θ。

驱动控制装置37根据角度检测装置36所测定的检测旋转角度进行运算，而将信号输送至驱动装置35。

此处，在本实施方式中，使基板N的所希望的搬运角度(姿势)成为基板N的端部的延长线J与基准线H平行而搬运。即，在本实施方式中，基板N的所希望的搬运角度设定为0°。

因此，例如，如图3所示，由角度检测装置36检测出检测旋转角度为-θ时，若使驱动装置35旋转+θ，则基准线H与延长线J重合。因此，在该情况下驱动控制装置37使旋转轴部34旋转+θ而将信号传送至驱动装置35。

如图6所示，断续部D根据控制装置50(图示省略)的信号使旋转轴部34与驱动装置35相卡合或解除卡合的机构。断续部D通常呈非卡合状态，旋转轴部34可自由旋转。在角度测定结束时，使旋转轴部34与驱动装置35卡合，根据驱动装置35的驱动，使旋转轴部34旋转。即，与基板N抵接的第一压力传感器41或第二压力传感器42中，基板与在后的压力传感器抵接时，旋转轴部34与驱动装置35卡合。此外，通过驱动装置35在后述的整合、位置调整工序结束时，旋转轴部34与驱动装置35的卡合被解除。

支承台38为支承旋转轴部34的构件。如图5所示，支承台38形成为，在旋转轴部34的下端与旋转轴部34垂直。

滑动机构部39是使支承台38在辊式输送部10的宽度方向上移动的装置。滑动机构部39具有滑轨部39a、在滑轨部39a上滑动的直动式致动器39b。支承台38通过内装于支承台38中的直动式致动器39b而在滑轨部39a上滑动。

如图7所示，控制装置50接收从各传感器传送的信号，并传送使驱动装置35等动作的信号。此外，控制装置50具备存储部51，参照存储部51所具有的表格来传送信号。

而且，如图2至图3所示，导入部K是从下侧接收基板N的接收台，该导入部K具有：构架成大致梯子状的框架部Ka；和在框架部Ka上在铅直方向以既定间隔而立设的突起部Kb。导入部K与紫外线照射装置E(基板处理装置)的控制装置及驱动部(图示省略)相连接，使框架部Ka在上下方向及前后方向上移动。即，导入部K被形成为可将搬运至搬运装置1的搬运方向下游侧的基板N移载至紫外线照射装置E侧。此外，导入部K根据传送自未图示的传感器的信号而动作。

接着，针对搬运装置1的动作进行说明。

图8为表示本实施方式所述的搬运装置1的动作的示意俯视图，(a)为移载工序，(b)为第一停止工序，(c)为抵接工序，(d)为角度检测工序，(e)为整合、位置调整工序，(f)为分离工序，(g)为第二停止工序。而且，在说明中，对于搬运装置1的各装置，参照适当的各附图。

首先，作为准备阶段，搬运装置1的铅直移动机构部3位于最下端，第一整合部30a及第二整合部30b配置于最大分离位置。

(移载工序)

如图8a所示，移载工序为将由外部搬运器G搬运来的基板N从外部搬运器G移载至搬运装置1搬运方向上游侧的工序。接着，当基板N载置于搬运装置1时，第一传感器14检测到这一情况，并经由控制装置50从第一传感器14传送信号，铅直移动机构部3上升。然后，当铅直移动机构部3位于相当于最上端或移载的前方的高度时，辊式输送部10的驱动部17动作，辊子21动作。以此，将基板N朝搬运方向搬运。

(第一停止工序)

接着，如图8b所示，基板N在辊子21上被搬运，当基板N的前端被第二传感器15检测到时，信号经由控制装置50传送，辊式输送部10的驱动部17停止。以此，基板N停止在第一整合部30a及第二整合部30b之间。

(抵接工序)

接着，如图8c所示，当基板N停止时，信号从控制装置50传送至滑动机构部39，第一整合部30a及第二整合部30b朝向搬运装置1的中央方向，在各整合辊子部32保持与搬运方向平行的状态下前进移动。然后，由于基板N相对于基准线H倾斜，第一整合部30a的第一整合辊子32a及第二整合部30b的第二整合辊子32h’分别抵接于基板N的端部。于是，信号从内装于第一整合辊子32a中的第一压力传感器41经由控制装置50传送，角度检测装置36开始进行角度测定。

(角度检测工序)

接着，如图8d所示，当第一整合部30a及第二整合部30b进一步前进移动而使第一整合部30a与第二整合部30b之间的距离缩小时，保持部33以旋转轴部34为中心旋转，第一整合部30a的第二整合辊子32h及第二整合部30b的第一整合辊子32a’抵接于基板N的端部。于是，信号从内装于第二整合辊子32h中的第二压力传感器42传送至控制装置50，从而角度检测装置36的角度测定完成。例如，在本实施方式中，检测旋转角度设为θ＝-15°。并且，此时信号从控制装置50传送至断续部D，驱动装置35与旋转轴部34卡合。以此，基板N的整合动作准备完成。

(整合、位置调整工序)

接着，如图8e所示，由于检测旋转角度为θ＝-15°，所以传送信号以便通过驱动控制装置37使旋转轴部34旋转+15°。以此，由于基板N的端部的延长线J与搬运方向平行，所以能以适当的姿势搬运基板N。

此外，在角度整合的同时，通过滑动机构部39，进行宽度方向的位置调整，以便使辊式输送部10的宽度方向的中心线CW₁与基板N的宽度方向的中心线CW₂重合，从而可在适当的位置搬运基板N。

(分离工序)

接着，如图8f所示，当整合、位置调整工序结束后，信号从控制装置50传送至滑动机构部39，第一整合部30a及第二整合部30b后退移动至从基板N分离的位置。然后，信号从控制装置50传送至辊式输送部10的驱动部17，辊子21再度旋转，基板N向搬运装置1的搬运方向下游侧被搬运。

(第二停止工序)

接着，如图8g所示，基板N向搬运装置1的搬运方向下游侧被搬运，当基板N的前端被第三传感器16检测到时，信号传送到控制装置50，辊式输送部10的驱动部17停止。由此，基板N停止在搬运装置1的搬运方向下游侧。然后，通过紫外线照射装置E的未图示的传感器使导入部K动作而被插入辊式输送部10的下方。然后，使导入部K上升，可保持基板N并将其移载至紫外线照射装置E侧。

如以上的说明，根据本实施方式所述的搬运装置1，由于能够通过铅直移动机构部3使辊式输送部10移动至铅直方向的既定高度，即使各基板处理装置的高度位置不同，也可容易地移载基板N。

此外，根据搬运装置1，以对置的第一整合部30a与第二整合部30b来夹持基板N，并可根据角度检测装置36所检测到的角度而整合基板N的姿势。以此，能以适当的姿势搬运基板N。

此外，由于能使基板从轨道部12的下方通过间隙部U而插入基板处理装置的导入部K，可容易地进行从搬运装置1移载至基板处理装置的移载工序。并且，由于辊式输送部10的搬运方向下游侧为自由端，利用辊式输送部10的搬运方向下游侧的下部及上部的空间及间隙部U，可插入下一工序的基板处理装置的导入部K。以此，可容易地进行移载工序。

此外，可通过滑动机构部39使辊式输送部10的中心线CW₁与基板N的中心线CW₂重合来进行搬运，从而基板N可在适当位置被搬运。

以上，针对本发明的最佳实施方式做了说明，但本发明并不限于该实施方式，在不违反本发明的主旨的范围内，可做适当的变更。

在本实施方式中，第一整合部30a及第二整合部30b从最大分离位置与搬运方向平行地前进、后退移动，但并不限定于此。例如，可使第一整合部3Ca及第二整合部30b中的一方为主动侧，另一方为跟随主动侧的旋转而动作的从动侧。

此外，在本实施方式中，基板N的搬运角度为0°来进行搬运，但并不限于此。例如，将任意的搬运角度存储在存储部51，根据检测旋转角度θ，利用控制装置50进行运算，将信号传送至驱动控制装置37，从而例如可在搬运角度为10°的状态下搬运基板N。

此外，在本实施方式中形成为，基板N从搬运方向上游侧朝搬运方向下游侧被搬运，但还可以使驱动部17反转而使基板N在相反的方向上搬运。

此外，在滑动机构部39做前进移动时，利用第一压力传感器41或第二压力传感器42中的任一方进行抵接，从而可使滑动机构部39减速。以此，在检测角度时，能够利用第一整合部30a或第二整合部30b的压动使基板N不产生折曲而被稳定地夹持。

此外，也可形成使保持部33或支承台38上升下降的升降装置。即也可形成为：保持部33或支承台38相应地跟随辊式输送部10(铅直移动机构部3)的上下动作进行动作。

Claims

1.一种搬运装置，其特征在于，

该搬运装置包括：

多个辊子；

辊式输送部，该辊式输送部具备上述辊子并具有以既定间隔并列设置的多根轨道部，该辊式输送部用于水平地搬运矩形基板；

铅直移动机构部，该铅直移动机构部用于使上述辊式输送部在铅直方向上移动；以及

一对整合部，该整合部配置于上述基板的对置的端部侧，在上述辊式输送部上通过推动上述基板的端部来整合上述基板的姿势，

其中，上述铅直移动机构部配置于上述辊式输送部的一端侧，而上述辊式输送部的另一端侧为自由端，

上述整合部包括：

抵接于上述基板的多个整合辊子；

在直线上具备该多个整合辊子的保持部；

使该保持部在水平面内旋转的旋转轴部；

驱动该旋转轴部的驱动装置；

检测上述旋转轴部的旋转角度的角度检测装置；

根据该角度检测装置所检测到的角度来控制上述驱动装置的驱动控制装置；

支承上述旋转轴部的支承台；以及

使上述支承台在上述辊式输送部的宽度方向上移动的滑动机构部。