JP2003229470A

JP2003229470A - 予備位置決め機構およびその方法

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Publication number: JP2003229470A
Application number: JP2002028977A
Authority: JP
Inventors: Masaru Ise; 伊勢　　勝; Masaaki Matsuda; 政昭松田
Original assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2002-02-06
Filing date: 2002-02-06
Publication date: 2003-08-15

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】基板の厚さに関係なく、超薄板から厚板の基板
まで適正な予備位置決め作業を行うことができる予備位
置決め機構およびその方法を提供する。【解決手段】矩形の基板Ｗを導き入れる送りローラ２ａ
と、この送りローラ２ａで支持された前記基板Ｗの３辺
を押動する押動部６ａ、７ａ、８ａを有する第１ないし
第３移動機構部６、７、８と、この移動機構部の対向す
る一方に設けた前記基板Ｗの端部を検知するための検知
手段６ｈ、８ｈと、この検知手段６ｈ、８ｈからの前記
基板Ｗの検知信号と、あらかじめ入力される前記基板Ｗ
の大きさに対するサイズ情報信号とに基づいて前記各移
動機構部６、７、８を制御する制御手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板や液
晶基板などの露光作業により所定のパターンを形成する
基板の位置を予備的に位置決めするための予備位置決め
機構に係り、特に基板の厚さに関係なく適正な予備位置
決め作業を行うことができる予備位置決め機構およびそ
の方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の基板の予備位置決め機構は、基板
を所定位置に導き入れると共に、基板を載置するための
送りローラと、基板の端面を押動し、基準位置にその基
板を予備位置決めする押動部を有する移動機構部とから
構成されていた。そして、その予備位置決め方式として
以下の方式が知られていた。

【０００３】（１）センター位置合せ方式図１０（ａ）に示すように、予備位置決め機構１０で
は、送りローラ（図示せず）上に載置された基板Ｗの四
辺に対面するように、４つの移動機構部１１、１２、１
３、１４が設置板３０上に離隔配置されていた。

【０００４】移動機構部１１は、基板Ｗの端部を押動す
る押動部１１ａと、この押動部１１ａを支持する支持躯
体１１ｂと、この支持躯体１１ｂを支持する基台１１ｃ
とを備え、図示しない駆動モータによって基板Ｗ中心方
向に移動する構成である。移動機構部１２ないし１４も
移動機構部１１と同一の構造のものが使用されていた。
また、対面する移動機構部１１と１２、１３と１４は駆
動モータを共有し、同時に基板Ｗ中心方向に移動する構
成である。さらに、押動部１１ａ、１２ａ、１３ａ、１
４ａが基板Ｗの端面と当接した際の衝撃を吸収するため
に、押動部１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａの後方に弾
性部材（スプリング）１１ｉ、１２ｉ、１３ｉ、１４ｉ
が配置されていた。

【０００５】基板Ｗの予備位置決めは、基板Ｗの投入方
向を移動機構部１１、１２の押動部１１ａ、１２ａで、
基板の投入方向と直交する方向を移動機構部１３、１４
の押動部１３ａ、１４ａで基板Ｗの中心に向って同時に
押動し、基板Ｗの両端を挟み込むようにして位置決めを
行っていた。

【０００６】（２）端面位置合せ方式図１０（ｂ）に示すように、予備位置決め機構２０で
は、送りローラ（図示せず）上に載置された基板Ｗの四
辺に対面するように、４つの移動機構部２１、２２、２
３、２４が設置板３０上に離隔配置されていた。移動機
構部２１ないし２４の構造は移動機構部１１ないし１４
と同一のものが使用されていた。

【０００７】前記予備位置決め機構１０（センター位置
合せ方式）との相違点は、基板Ｗを設置板３０の下面に
位置合せするために、移動機構部２４（前記センター位
置合せ方式では移動機構部１４）が設置板３０の下面に
固定されていて、基板Ｗの中心に向って移動しない点で
ある。

【０００８】この予備位置決め機構２０でも、その予備
位置決め方法は、前記の予備位置決め機構１０（センタ
ー位置合せ方式）と同様に、基板Ｗの両端を押動部２１
ａと２２ａ、２３ａと２４ａで挟み込む機構であった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、基板の
両端を挟み込んで予備位置決めする従来の予備位置決め
機構１０、２０には、以下のような問題点が存在した。

【００１０】基板Ｗの厚みは、超薄板のものから厚板の
ものまで基板Ｗの用途により幅広く存在し、この基板Ｗ
の厚みにより、基板Ｗの重量も幅広く変化する。例え
ば、５００ｍｍ×６００ｍｍの大きさの基板Ｗでは、厚
み０．０６ｍｍの場合には５０ｇ、厚み１．６ｍｍの場
合には１ｋｇと、超薄板と厚板では２０倍の重量の相違
がある。

【００１１】したがって、予備位置決めのために基板Ｗ
を移動機構部１１ないし１４、２１ないし２４の押動部
１１ａないし１４ａ、２１ａないし２４ａで押動した
際、厚板の基板Ｗでは基板重量が重く、小さな押動力で
は基板Ｗが移動しないので、押動力を大きく設定してい
た。この押動力を大きく設定した厚板基板用の押動部１
１ａないし１４ａ、２１ａないし２４ａで超薄板の基板
Ｗを押動すると、従来の予備位置決め機構１０、２０で
は、押動部１１ａないし１４ａ、２１ａないし２４ａ間
に基板Ｗの両端を挟み込むために、基板自体の腰の無さ
から、押動部１１ａないし１４ａ、２１ａないし２４ａ
の押動力に基板Ｗが負けて、基板Ｗの端面が押し曲げら
れ（カール変形し）、その結果、基板Ｗが適切に予備位
置決めされなかった。したがって、従来の予備位置決め
機構１０、２０では、押動力の設定を基板Ｗの厚みによ
って変更しなければならないという問題があった。

【００１２】そこで、本発明は、このような問題点を解
決すべく創案されたもので、その目的は、基板の厚さに
関係なく、超薄板から厚板の基板まで適正な予備位置決
め作業を行うことができる予備位置決め機構およびその
方法を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載の発明は、矩形の基板を導き入れる
送りローラと、この送りローラで支持された前記基板の
３辺を押動する押動部を有する第１ないし第３移動機構
部と、この移動機構部の対向する一方に設けた前記基板
の端部を検知するための検知手段と、この検知手段から
の前記基板の検知信号と、あらかじめ入力される前記基
板の大きさに対するサイズ情報信号とに基づいて前記各
移動機構部を制御する制御手段とを備える予備位置決め
機構として構成したものである。

【００１４】前記の構成により、予備位置決め機構は、
制御手段にあらかじめ基板の大きさに対するサイズ情報
信号が入力される。そして、予備位置決め機構は、送り
ローラにより所定位置まで基板を導き入れて停止させ、
第１移動機構部の押動部が基板の一辺を押動してその基
板の一辺に当接した状態で停止し、第２移動機構部の押
動部が基板の他辺を前記第１移動機構部の押動部をガイ
ドとして押動して、第３移動機構部に設けた検知手段が
前記基板を検知する信号を制御手段に送ることで第２移
動機構部の押動部の押動を停止させる。そして、この第
２移動機構部を待機位置に戻させると共に、第３移動機
構部の押動部により、かつ、第１移動機構部の押動部を
ガイドとして予備位置決め位置に押動する。

【００１５】請求項２に記載の発明は、前記送りローラ
の上部には、その送りローラの上端を突出させるための
貫通孔と、前記移動機構部の押動部を基板側に移動させ
るための貫通長孔と、前記基板を保持あるいは移動自在
とするためのエアの吸引排出部とを備える載置板と、こ
の載置板または送りローラの一方を昇降させる昇降機構
部とを備える予備位置決め機構として構成したものであ
る。

【００１６】前記構成により、基板が例えば０．０６ｍ
ｍの厚み寸法等のシート状であっても、送りローラによ
り基板が所定位置まで導き入れられて停止すると、昇降
機構部により基板が載置板上に載置される。そして、基
板が載置板により載置された状態で各移動機構部の押動
部が時間差を持って、基板の３辺を順番に押動して、予
備位置決め作業を行うことができる。

【００１７】請求項３に記載の発明は、矩形の基板の端
面を、前記基板の３辺の近傍に配置された第１ないし第
３移動機構部の各押動部で押動することにより、前記基
板を予備位置決めする方法において、前記第１ないし第
３移動機構部を制御する制御手段に、あらかじめ基板の
大きさに対するサイズ情報信号を入力し、前記第１移動
機構部の押動部が、送りローラで所定位置に導き入れら
れた前記基板の１辺を押動してその基板の１辺に当接し
て停止する第１工程と、前記第２移動機構部の押動部
が、前記基板の他辺を前記第１移動機構部の押動部をガ
イドとして押動して停止する第２工程と、前記２移動機
構部の押動部が前記基板から離間するように待機位置に
戻ると共に、前記第３移動機構部の押動部が前記第１移
動機構部の押動部をガイドとして前記基板の端面を押動
して停止する第３工程と、前記第１移動機構部の押動部
および前記第３移動機構部の押動部が、前記基板から離
間するように待機位置に戻る第４工程とからなる予備位
置決め方法として構成したものである。

【００１８】前記の構成により、第１ないし第３移動機
構部の押動部が、各押動部毎に基板の３辺を時間差をも
って順番に押動するため、基板の両端を第１ないし第３
移動機構部の押動部間に挟み込まずに予備位置決め作業
を行うことができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき説明する。図１は移動機構部の平面図、図２は
予備位置決め機構の要部を示す側面図（図１のＸ方向矢
視図）、図３は移動機構部の斜視図（図１のＡ方向から
の見た斜視図）、図４は移動機構部の斜視図（図１のＢ
方向からの見た斜視図）、図５は送りローラおよび載置
板の平面図、図６は予備位置決め機構の要部を示す正面
図（図５のＹ方向矢視図）、図７は載置板昇降機構部の
断面図、図８は予備位置決め作業の第１、第２工程を示
す模式図、図９は予備位置決め作業の第３、第４工程を
示す模式図である。

【００２０】本発明の予備位置決め機構１は、図１、図
２で示すように、送りローラ２ａと、第１ないし第３移
動機構部６、７、８と、検知手段６ｈ、８ｈと、制御手
段４から構成されている。

【００２１】送りローラ２ａは、図５、図６で示すよう
に、支持フレーム２ｆに複数列に配置された回転軸２ｂ
に支持されており、その回転軸２ｂの両端に取り付けた
プーリ２ｄに掛け渡した無端ベルト２ｃを介して、駆動
モータ２ｅにより所定速度で回転するように構成されて
いる。

【００２２】また、送りローラ２ａは、駆動モータ２ｅ
の回転により基板Ｗを所定位置に導き入れる。所定位置
は、あらかじめ決められた位置であれば、特に限定され
ない。好ましくは、後記で説明するように、第１移動機
構部６に検知手段６ｈを設け、この検知手段６ｈが基板
Ｗを検知すると停止するように構成されるのが好まし
い。

【００２３】また、送りローラ２ａは、列ごとに、ある
いは、所定の位置ごとに、それぞれが、独立した駆動源
（駆動モータ）を介して回転するように構成しても構わ
ない。そして、送りローラ２ａの駆動源を異ならせる場
合は、所定位置の送りローラ２ａに駆動源を設けないで
従動回転する従動送りローラ（図示せず）を設ける構成
としても良い。

【００２４】第１ないし第３移動機構部６、７、８は、
図１ないし図４で示すように、送りローラ２ａで所定位
置に支持された基板Ｗの３辺の近傍に配置され、基板Ｗ
の投入方向に第１移動機構部６が、基板Ｗの投入方向に
直交する方向に第２、第３移動機構部７、８が対面する
ように配置されている。

【００２５】また、第１ないし第３移動機構部６、７、
８は、基板Ｗの端部を押動する押動部６ａ、７ａ、８ａ
と、この押動部６ａ、７ａ、８ａを支持する支持躯体６
ｂ、７ｂ、８ｂと、この支持躯体６ｂ、７ｂ、８ｂを支
持する基台６ｃ、７ｃ、８ｃ、この基台６ｃ、７ｃ、８
ｃを支持する架台６ｄ、７ｄ、８ｄとを備えている。そ
して、この架台６ｄ、７ｄ、８ｄは、支持躯体６ｂ、７
ｂ、８ｂの移動方向に沿って設けたガイド６ｅ、７ｅ、
８ｅを摺動自在に保持し、駆動モータ６ｆ、７ｆ、８ｆ
によって駆動する駆動ベルト６ｇ、７ｇ、８ｇに接続さ
れている。

【００２６】したがって、駆動モータ６ｆ、７ｆ、８ｆ
の回転によって駆動ベルト６ｇ、７ｇ、８ｇが駆動する
と、架台６ｄ、７ｄ、８ｄがガイド６ｅ、７ｅ、８ｅに
沿って移動し、架台６ｄ、７ｄ、８ｄに支持されている
基台６ｃ、７ｃ、８ｃ、支持躯体６ｂ、７ｂ、８ｂ、押
動部６ａ、７ａ、８ａが基板Ｗの中心方向に移動する。
また、駆動モータ６ｆ、７ｆ、８ｆの反転駆動により、
押動部６ａ、７ａ、８ａは基板Ｗから離間する方向に移
動する。

【００２７】また、基台６ｃ、７ｃ、８ｃは、押動部６
ａ、７ａ、８ａを、基板Ｗの大きさ、予備位置決めする
基準位置に対応して１つ以上支持できるように構成され
ている。図１ないし図４では２本の押動部６ａ、７ａ、
８ａが支持躯体６ｂ、７ｂ、８ｂを介して基台６ｃ、７
ｃ、８ｃに支持されている。

【００２８】また、前記の駆動モータ６ｆ、７ｆ、８ｆ
としては、交流（または直流）モータやパルスモータ等
が使用される。特に、パルスモータは動力制御をパルス
量で制御するので、前記支持躯体６ｂ、７ｂ、８ｂの移
動精度が高まり、押動部６ａ、７ａ、８ａを数ｍｍ単位
で制御できる。したがって、移動距離精度が要求される
第１移動機構部６、第３移動機構部８の駆動モータ６
ｆ、８ｆにパルスモータを使用し、比較的移動距離精度
が要求されない第２移動機構部７の駆動モータには交流
モータが使用される。

【００２９】さらに、検知手段６ｈ、８ｈは、第１、第
３移動機構部の押動部６ａ、８ａの基端近傍の基板Ｗ側
（基台６ｃ、８ｃ上）に配置される。基板Ｗの端面を検
出できる位置であれば、第１ないし第３移動機構部６、
８上に限定されず、例えば、設置板３０上に配置しても
良い。しかしながら、作業性と検出精度の点から第１、
第３移動機構部６、８に設けるのが好ましい。また、こ
の検知手段６ｈ、８ｈには、光電センサや静電容量セン
サ等が使用される。また、検知手段６ｈについては、あ
らかじめ基板Ｗが送りローラ２ａ上の所定位置（検知手
段６ｈの位置に限らない）で支持されるように設定され
ている場合には、特に設ける必要はない。

【００３０】制御手段４は、送りローラ２ａの駆動モー
タ２ｅ、第１ないし第３移動機構部６、７、８の駆動モ
ータ６ｆ、７ｆ、８ｆとに接続され、これらの駆動モー
タを、駆動モータ２ｅ、６ｆ、７ｆ、８ｆの順序で、検
知手段６ｈ、８ｈの基板Ｗの検知信号およびあらかじめ
入力された基板Ｗの大きさに対するサイズ情報信号に基
づいて駆動および停止するように制御している。

【００３１】また、送りローラ２ａと第２移動機構部７
は、検知手段６ｈ、８ｈからの基板Ｗの検知信号によっ
て位置決めが制御され、第１移動機構部６と第３移動機
構部８は、あらかじめ入力された基板Ｗの大きさに対す
るサイズ情報信号に基づいて第１、第２所定距離だけ移
動するように制御される。さらに前記で述べたように、
あらかじめ基板Ｗが送りローラ２ａ上の所定位置（検知
手段６ｈの位置に限らない）で支持されるように設定さ
れている場合には、検知手段６ｈの検知信号で送りロー
ラ２ａを制御する必要はない。

【００３２】第１、第２所定距離は、図８（ｂ）、図９
（ｂ）に示すように、予備位置決め終了時の基板Ｗの中
心Ｓからの検知手段６ｈまでの距離Ｌ１（前記で述べた
ように検知手段６ｈを設けない場合には、押動部６ａま
での距離となる）、検知手段８ｈまでの距離Ｌ２、基板
Ｗの投入方向の長さＷ１、投入方向と直交する方向の長
さＷ２とすると、（第１所定距離）＝Ｌ１−Ｗ１／２（第２所定距離）＝Ｌ２−Ｗ２／２と設定される。

【００３３】この制御により、第１ないし第３移動機構
部６、７、８、の押動部６ａ、７ａ、８ａは、基板Ｗの
片端のみを押動し、基板Ｗを押動部間で挟み込むことが
ないので、押動部６ａ、７ａ、８ａの押動力が大きく設
定された厚板基板用の設定で、超薄板の基板Ｗを押動し
ても、基板Ｗの端面が押し曲げられる（カール変形す
る）ことがなく、適切な予備位置決めができる。よっ
て、超薄板から厚板の基板Ｗまで適正な予備位置決め作
業を行うことができる。

【００３４】上記の予備位置決め機構１では、送りロー
ラ２ａ上で基板Ｗを移動させて予備位置決めを行ってい
る。送りローラ２ａ上では、例えば０．０６ｍｍの超薄
板の基板Ｗは移動がスムーズでないので、基板Ｗの移動
をスムーズにして予備位置決め精度をより向上させるた
めに、載置板５を使用して、載置板５上で基板Ｗの予備
位置決めを行っても良い。

【００３５】載置板５は、図５、図６に示すように、そ
の貫通穴５ａが、送りローラ２ａの回転の障害になら
ず、かつ、その送りローラ２ａの上端が少なくとも載置
板５より上方に突出できるように構成されている。そし
て、予備位置決め用の貫通長穴５ｂを、移動機構部６、
７、８の押動部６ａ、７ａ、８ａの基板Ｗ中心方向への
移動の障害にならないように、送りローラ２ａの送り方
向と送りローラ２ａの送り方向に直交する方向に沿って
２本づつ形成している。

【００３６】また、貫通穴５ａおよび貫通長穴５ｂは、
それぞれの開口周縁を面取りするように形成されてお
り、載置板５上の基板Ｗの移動がスムーズにできるよう
に構成されている。この貫通穴５ａおよび貫通長穴５ｂ
の面取りは基板Ｗが薄板である場合に重要であり、基板
Ｗの端部が貫通穴５ａおよび貫通長穴５ｂに引っ掛かる
ことを防止し、移動をスムーズにしている。

【００３７】また、載置板５に吸引排出部５ｃ（図５で
は４箇所）が形成されている。吸引排出部５ｃは、基板
Ｗの予備位置決め時には空気を吹いて基板Ｗの移動をス
ムーズにし、また、予備位置決め終了時には真空吸引し
て載置板５上での基板Ｗの位置を保持する。

【００３８】さらに、図５、図６に示す受渡機構部３
は、予備位置決めが終了した基板Ｗを、吸引排出部５ｃ
で真空吸引して載置板５上に保持し、次ステージ（整合
ステージ等）へ受け渡すための機構である。受渡機構部
３は、載置板５の端面に接続された受渡腕３ｃと、この
受渡腕３ｃで載置板５を送りローラ２ａ上から垂直方向
に立ち上げるための回転軸３ｂと、この回転軸３ｂを回
転させる駆動モータ３ａから構成されている。

【００３９】載置板５上で基板Ｗの予備位置決めを行う
ために、送りローラ２ａを載置板５より降下させて、基
板Ｗを載置板５上で支持させる機構部として、図１には
送りローラ昇降機構部２ｇが記載されている。送りロー
ラ昇降機構部２ｇは、送りローラ２ａを昇降させる機能
を有するものであれば特に限定されず、例えば、シリン
ダ機構により送りローラ２ａの支持フレーム２ｆに固定
された駆動モータ２ｅを降下させて、送りローラ２ａの
上端が基板Ｗと接触しない状態にして、基板Ｗを載置板
５上で支持させるように構成されている。シリンダ機構
の代わりに、送りネジ機構、ラックアンドピニオン等に
より駆動モータ２ｅを上下動させ、送りローラ２ａを昇
降移動させる構成であっても良い。

【００４０】また、送りローラ２ａを昇降させる代わり
に、載置板５を昇降させても良い。載置板５を昇降させ
る機構部としては、載置板５を昇降させる機能を有する
ものであれば特に限定されず、例えば、図７に示すよう
な載置板昇降機構部９が使用される。載置板昇降機構部
９は、載置板５を着脱自在に支持する支持脚１０と、こ
の支持脚１０の上部に設けた緩衝部１１と、支持脚１０
を上下動自在に保持する駆動部９Ａとから構成されてい
る。また、図７では緩衝部１１として、コイルスプリン
グを記載しているが、ゴム筒、板バネ、エアークッショ
ン等の弾性部材を使用しても良い。また、設置板３０の
下方に設けられた駆動部９Ａとして、送りねじ機構を記
載しているが、シリンダ機構、ラックアンドピニオン等
を使用しても良い。さらに、予備位置決めが終了した基
板Ｗは、図７に示すように、載置板５を予備位置決め時
の位置（送りローラ２ａ）よりさらに上昇させて、受取
機構１２（例えばハンドラ等）に受け渡す。受取機構１
２により基板Ｗが次ステージ（整合ステージ等）に搬送
される。

【００４１】つぎに、予備位置決め機構１の予備位置決
め方法は、下記の通りである。制御手段４に、あらかじ
め基板Ｗの大きさに対するサイズ情報信号を入力する。（１）第１工程図８（ａ）で示すように、制御手段４が送りローラ２ａ
を制御して、基板Ｗを所定位置（第１移動機構部６に設
けられた検知手段６ｈが基板Ｗを検知する位置）に導き
入れる。次に、基板Ｗの大きさに対するサイズ情報信号
に基づいて、制御手段４が第１移動機構部６を制御し
て、第１移動機構部６の押動部６ａが基板Ｗの１辺を第
１所定距離だけ押動して、その基板Ｗに当接して停止す
る。また、検知手段６ｈを設けないで、あらかじめ基板
Ｗが送りローラ２ａ上の所定位置（検知手段６ｈの位置
に限られない）に導き入れられるように設定しておいて
も良い。

【００４２】第１所定距離は、図９（ｂ）に示すよう
に、予備位置決め終了時の基板Ｗの中心Ｓからの検知手
段６ｈまでの距離Ｌ１（前記で述べたように検知手段６
ｈを設けない場合には、押動部６ａまでの距離とな
る）、基板Ｗの投入方向の長さＷ１とすると、（第１所定距離）＝Ｌ１−Ｗ１／２と設定される。

【００４３】（２）第２工程図８（ｂ）で示すように、制御手段４が第２移動機構部
７を制御して、第２移動機構部７の押動部７ａが、基板
Ｗの他辺を第１移動機構部６の押動部６ａをガイドとし
て、第３移動機構部８に設けられた検知手段８ｈが基板
Ｗを検知するまで、押動して停止する。

【００４４】（３）第３工程図９（ａ）で示すように、制御手段４が第２移動機構部
７を制御して、第２移動機構部７の押動部７ａが基板Ｗ
から離間するように待機位置に戻ると共に、基板Ｗの大
きさに対するサイズ情報信号に基づいて、制御手段４が
第３移動機構部８を制御して、第３移動機構部８の押動
部８ａが第１移動機構部６の押動部６ａをガイドとして
基板の端面を第２所定距離だけ押動して停止する。

【００４５】第２所定距離は、図９（ｂ）に示すよう
に、予備位置決め終了時の基板Ｗの中心Ｓからの検知手
段８ｈまでの距離Ｌ２、基板Ｗの投入方向と直交する方
向の長さＷ２とすると、（第２所定距離）＝Ｌ２−Ｗ２／２と設定される。

【００４６】（４）第４工程図９（ｂ）で示すように、制御手段４が第１および第３
移動機構部６、８を制御して、第１移動機構部６の押動
部６ａおよび第３移動機構部８の押動部８ａが、基板Ｗ
から離間するように待機位置に戻り、基板Ｗが予備位置
決めされる。

【００４７】前記の方法においては、基板Ｗの片端のみ
を押動して、基板Ｗの予備位置決めを行う。この方法で
は、基板Ｗを押動部間で挟み込むことがないので、厚板
の基板Ｗの設定で、超薄板の基板Ｗの予備位置決めを行
っても、基板Ｗの端面が押し曲げられる（カール変形す
る）ことがなくなり、超薄板から厚板の基板Ｗまで適正
な予備位置決め作業を行うことができる。

【００４８】

【発明の効果】前記したように、本発明の予備位置決め
機構においては、第１ないし第３移動機構部の押動部
が、各押動部毎に基板の３辺を、時間差を持って順番に
押動するため、基板の厚さに関係なく、超薄板から厚板
の基板まで適正な予備位置決め作業を行うことができ
る。

【００４９】また、本発明の予備位置決め方法において
は、第１ないし第３移動機構部の押動部が、各押動部毎
に基板の３辺を、時間差を持って順番に押動するため、
基板の厚さに関係なく、超薄板から厚板の基板まで適正
な予備位置決め作業を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の移動機構部の平面図である。

【図２】本発明の予備位置決め機構の要部を示す側面図
（図１のＸ方向矢視図）である。

【図３】本発明の移動機構部の斜視図（図１のＡ方向か
ら見た斜視図）である。

【図４】本発明の移動機構部の斜視図（図１のＢ方向か
ら見た斜視図）である。

【図５】本発明の送りローラおよび載置板の平面図であ
る。

【図６】本発明の予備位置決め機構の要部を示す正面図
（図５のＹ方向矢視図）。

【図７】本発明の載置板昇降機構部を示す平面図であ
る。

【図８】本発明の予備位置決め作業の第１、第２工程を
示す模式図である。

【図９】本発明の予備位置決め作業の第３、第４工程を
示す模式図である。

【図１０】従来の予備位置決め作業を示す模式図であ
る。

【符号の説明】

１予備位置決め機構２ａ送りローラ２ｂ回転軸２ｃ無端ベルト２ｄプーリ２ｅ駆動モータ２ｆ支持フレーム２ｇ送りローラ昇降機構部３受渡機構部３ａ駆動モータ３ｂ回転軸３ｃ受渡腕４制御手段５載置板５ａ貫通穴５ｂ貫通長穴５ｃ吸引排出部６、７、８移動機構部６ａ、７ａ、８ａ押動部６ｂ、７ｂ、８ｂ支持躯体６ｃ、７ｃ、８ｃ基台６ｄ、７ｄ、８ｄ架台６ｅ、７ｅ、８ｅガイド６ｆ、７ｆ、８ｆ駆動モータ６ｇ、７ｇ、８ｇ駆動ベルト６ｈ、８ｈ検知手段９載置板昇降機構部９Ａ駆動部１０支持脚１１緩衝部１２受取機構３０設置板

フロントページの続きＦターム(参考） 2F078 CA02 CB02 CB05 CB09 CB10 CB12 CC16 2H097 BA10 KA01 KA28 KA38 LA09 LA12 5F031 CA05 FA02 FA07 FA12 FA18 GA25 GA30 GA53 JA09 JA29 JA32 JA36 KA02 KA11 LA07 LA09 LA12 LA13 LA14 LA15 MA27 PA13 PA16

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】矩形の基板を導き入れる送りローラと、
この送りローラで支持された前記基板の３辺を押動する
押動部を有する第１ないし第３移動機構部と、この移動
機構部の対向する一方に設けた前記基板の端部を検知す
るための検知手段と、この検知手段からの前記基板の検
知信号と、あらかじめ入力される前記基板の大きさに対
するサイズ情報信号とに基づいて前記各移動機構部を制
御する制御手段とを備えることを特徴とする予備位置決
め機構。
【請求項２】前記送りローラの上部には、その送りロ
ーラの上端を突出させるための貫通孔と、前記移動機構
部の押動部を基板側に移動させるための貫通長孔と、前
記基板を保持あるいは移動自在とするためのエアの吸引
排出部とを備える載置板と、この載置板または送りロー
ラの一方を昇降させる昇降機構部とを備えることを特徴
とする請求項１に記載の予備位置決め機構。
【請求項３】矩形の基板の端面を、前記基板の３辺の
近傍に配置された第１ないし第３移動機構部の各押動部
で押動することにより、前記基板を予備位置決めする方
法において、前記第１ないし第３移動機構部を制御する
制御手段に、あらかじめ基板の大きさに対するサイズ情
報信号を入力し、前記第１移動機構部の押動部が、送りローラで所定位置
に導き入れられた前記基板の１辺を押動してその基板の
１辺に当接して停止する第１工程と、前記第２移動機構部の押動部が、前記基板の他辺を前記
第１移動機構部の押動部をガイドとして押動して停止す
る第２工程と、前記２移動機構部の押動部が前記基板から離間するよう
に待機位置に戻ると共に、前記第３移動機構部の押動部
が前記第１移動機構部の押動部をガイドとして前記基板
の端面を押動して停止する第３工程と、前記第１移動機構部の押動部および前記第３移動機構部
の押動部が、前記基板から離間するように待機位置に戻
る第４工程とからなることを特徴とする予備位置決め方
法。