KR960039106A - 기판정렬장치 및 기판정렬방법 - Google Patents

기판정렬장치 및 기판정렬방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 카세트의 각 슬롯의 기판의 접촉부의 마찰계수가 큰 경우에 있어서도 카세트내에 있어서 복수 기판의 일괄정렬을 용이하게 실행할 수 있는 기판정렬장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 기판 정렬장치는 LCD용 기판을 소정 피치간격으로 실질적으로 지지하는 제1기판지지부재를 구비한 카세트가 올려 놓여지는 카세트설치대와, 이 카세트설치대상에 올려놓여진 카세트의 측부를 따라 배치되고, 제1기판지지부재에 대응하도록 소정 피치간격으로 설치되고, 카세트의 열림부에서 카세트내로 넣어져 각 기판을 제1기판지지부재에서 받아들여 지지하는 복수의 제2기판지지부재를 구비하는 기판승강기구와, 카세트설치대상에 올려놓여진 카세트의 측부를 따라 배치되고, 카세트에 수납되어 있는 기판의 외주단면에 접촉하여 복수의 기판을 카세트내에서 일괄로 정렬시키는 정렬부재를 구비하는 기판정렬기구와, 이 기판정렬수단 및 상기 기판승강수단을 각각 수평방향으로 이동시키는 제1이동기구와, 기판승강기구를 수직방향으로 이동시키는 제2이동기구를 구비하고, 제1이동기구에 의해 기판승강기구를 카세트의 측부를 향해 수평이동시키고, 제2기판지지부재를 카세트내에 넣고, 또 제2이동기구에 의해 기판승강기구를 상승시켜 제2기판지지부재에 의해 기판을 제1기판지지부재에서 받아들여 지지하고, 또 제1이동수단에 의해 정렬부재를 카세트의 측부를 향해 수평이동시키고, 정렬부재를 제2이동수단에 의해 지지되어 있는 기판의 외주단면에 접촉시켜 기판을 일괄로 정렬시킨다.

Description

기판정렬장치 및 기판정렬방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시형태에 관한 기판의 정렬장치를 구비하는 진공처리장치의 전체개요를 도시하는 사시도.

Claims (9)

  1. 기판을 소정 피치간격으로 실질적으로 수평하게 지지하는 복수의 제1기판지지부재를 구비한 카세트가 올려놓여지는 카세트설치대와, 이 카세트설치대상에 올려놓여진 카세트의 측부를 따라 배치되고, 상기 제1기판지지부재에 대응하도록 소정 피치간격으로 설치되고, 카세트의 열림부에서 카세트내로 넣어져 각 기판을 상기 제1기판지지부재에서 받아들여 지지하는 복수의 제2기판지지부재를 구비하는 기판승강수단과, 상기 카세트설치대상에 올려놓여진 카세트의 측부를 따라 배치되고, 카세트에 수납되어 있는 기판의 외주단면에 접촉하여 복수의 기판을 카세트내에서 일괄로 정렬시키는 정렬부재를 구비하는 기판정렬수단과, 이 기판정렬수단 및 상기 기판승강수단을 각각 수평방향으로 이동시키는 제1이동수단과, 상기 기판승강수단을 수직방향으로 이동시키는 제2이동수단을 구비하고, 상기 제1이동수단에 의해 상기 기판승강수단을 카세트의 측부를 향해 수평이동시키고, 상기 제2기판지지부재를 카세트내에 넣고, 그 위에 제2이동수단에 의해 상기 기판승강수단을 상승시키고, 상기 제2기판지지부재에 의해 기판을 상기 제1기판지지부재에서 받아들여 지지하고, 또 상기 제1이동수단에 의해 상기 정렬부재를 카세트의 측부를 향해 수평이동시키고, 상기 정렬부재를 상기 제2이동수단에 의해 지지되어 있는 기판의 외주단면에 접촉시켜 기판을 일괄로 정렬시키는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2기판지지부재가 기판과 접촉하는 부분의 마찰계수는 상기 제1기판지지부재가 기판과 접촉하는 부분의 마찰계수보다 작은 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1기판지지부재 및 제2기판지지부재중 적어도 한쪽은 기판과 접촉하는 부분이 상방을 향해 돌출하고, 기판을 지지했을 때 기판과의 접촉면적이 작은 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
  4. 제1항에 있어서, 또한 상기 기판승강수단은 상기 제2기판지지부재마다 기판이 지지되어 있는지의 여부를 각각 검출하는 복수의 센서를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기판승강수단 및 상기 정렬수단의 양자는 모두 횡단면 U자형상의 부재를 갖고 있고, 기판승강수단의 횡단면 U자형사 부재 안에 정렬수단의 횡단면 U자형상 부재가 들어 있는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
  6. 카세트내에 있어서 복수장의 기판을 일괄로 정렬시키는 방법으로, 제1기판지지부재에 의해 각각 지지된 복수의 기판이 수납된 카세트를 설치대상에 올려놓는 공정과, 제2기판지지부재를 카세트의 측부를 향해 수평이동시키고, 제2기판지지부재를 카세트내에 넣어 각 기판의 하방에 위치시키는 공정과, 상기 제2기판지지부재를 상승시켜, 상기 제2기판지지부재에 의해 기판을 상기 제1기판지지에서 일괄하여 받아들여 지지하는 공정과, 기판정렬부재를 카세트의 측부를 향해 수평이동시키고, 상기 제2기판지지부재에 의해 지지되어 있는 기판의 외주단면에 접촉시켜 기판을 일괄로 정렬시키는 공정과, 상기 제2기판지지부재를 하강시켜, 정렬된 기판을 상기 제2기판지지부재에서 상기 제1기판지지부재로 일괄하여 교환하는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판정렬방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2기판지지부재가 기판과 접촉하는 부분의 마찰계수는 상기 제1기판지지부재가 기판과 접촉하는 마찰계수보다 작은 것을 특징으로 하는 기판정렬방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 제2기판지지부재에 의해 카세트내의 기판을 일괄하여 지지할 때에 각 적층배열위치마다 기판이 지지되어 있는지의 여부를 검출하는 기판정렬방법.
  9. 기판을 소정 피치간격으로 실질적으로 수평하게 지지하는 복수의 제1기판지지부재를 구비한 카세트가 올려놓여지는 카세트설치대와, 이 카세트설치대상에 올려놓여진 카세트의 측부를 따라 배치되고, 상기 제1기판지지부재에 대응하도록 소정 피치간격으로 설치되고, 카세트의 열림부에서 카세트내로 넣어져 각 기판을 상기 제1기판지지부재에서 받아들여 지지하는 복수의 제2기판지지부재를 구비하는 기판승강수단과, 상기 카세트설치대상에 올려놓여진 카세트의 측부를 따라 배치되고, 카세트에 수납되어 있는 기판의 외주단면에 접촉하여 복수의 기판을 카세트내에서 일괄로 정렬시키는 정렬부재를 구비하는 기판정렬수단과, 이 기판정렬수단 및 상기 기판승강수단을 함께 수평방향으로 이동시키는 제1이동수단과, 상기 기판승강수단을 수직방향으로 이동시키는 제2이동수단을 구비하고, 상기 제2이동수단은, 기판승강수단을 테이퍼면에서 카세트에 대해 수평방향에 있어서 격리접근하도록 상대이동 가능하게 지지하는 제1이동대와, 이 제1이동대를 상기 격리접근방향에 있어서 상대이동가능하게 지지하는 제2이동대와, 상기 제1이동대 및 제2이동대중 적어도 한쪽을 상기 격리접근방향에 있어서 안내하는 수평방향안내수단과, 상기 제2이동대의 카세트에 대한 접근운동을 제한하는 이동제한수단을 구비하고, 상기 기판승강수단은 상기 제2이동대에 대해서 수직방향으로 상대 이동 가능하지만 격리접근방향으로는 상대 이동불가능하도록 배치되어 있고, 상기 제1이동대는 상기 제2이동대와 함께 격리접근방향으로 이동 자유롭지만, 상기 제2이동대의 접근운동이 상기 이동제한수단에 의해 제한된 후는, 상기 제1이동대만의 접근운동이 가능한 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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