A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印袈 五、發明説明（1 ) 〔發明之背景〕 本發明係關於一種基板排列裝置及基板排列方法，尤 其是，關於一種排列收容於卡匣內之L C D用基板之大型 基板所用的基板排列裝置及基板排列方法。 在L CD (液晶顯示裝置）之製造工程，使用在減壓 氣氛下施行蝕刻或灰化等處理於L C D用玻璃基板所用的 各種處理裝置》 在這些處理裝置，將複數枚L C D用基板分別收容於 卡匣之各槽之狀態下，將該卡匣收容於裝載部，而載置在 卡匣載置台上。之後，藉由負載鎖定室內之運送機構從卡 匣取出C D用基板，並將此運進真空處理室內。 處理裝置係爲了藉由運送機構之機臂而從卡匣確實且 安全地移載基板，具備基板排列裝置。這種基板排列裝置 係具有在卡匣內排列基板之功能。 然而，在以往之基板排列裝置，由於增大爲了在槽內 支撐基板之支撐構件與基板之間的摩擦係數，在卡匣運送 中基板不會在各槽內偏位，因此爲了在卡匣內一併排列 2 5〜3 0枚基板須將排列裝置之驅動部成爲大輸出者》 特別是，近年來之L CD用基板係形成大尺寸，因此在基 板之一併排列動作上須費大力量。 又，因卡匣係製成輕量，因此容易彈性變形，而在基 板之一併排列動作中，卡匣框會變形。當卡匣產生變形時 ，因基板之位置在卡匣內變位，因此會被誤認爲正確地施 行各基板之排列。這些問題點，隨著L C D用基板形成大 本紙張尺度it用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐)~ 一 4 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 、νβ 線 A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（2 ) 型化而會更顯著地顯示’故強烈地要求其解決對策。 又，因在處理室內不僅有未處理基板而且也存在處理 中之基板，因此，並不一定卡匣內之所有槽並不一定收容 有基板。因此，在運送裝置取出、放進基板時’預對每一 各槽確認有無基板，須實行所謂映像（mapping )動作。 故在以往之裝置中，在卡匣周圍安裝基板檢測裝置’因須 實行與排列動作不相同地再實行映像動作，因此成爲提高 生產量之阻礙要因》 〔發明之概要〕 本發明之目的，係在於提供一種即使卡匣之各槽與基 板的接觸部之摩擦係數大時，在卡匣內也可容易實行複數 基板之一併排列的基板排列裝置及方法。 又，本發明之目的，係在於提供一種在卡匣內可同步 地實行基板一併排列動作與映像動作之高生產量的基板排 列裝置及方法。又，提 供一種適用於驅動基板之排列裝 置的引導機構。 本發明之基板排列裝置，其特徵爲：具備載置具備以 所定節距間隔實質上水平地支撐L C D用基板的複數第1 基板支撐構件之卡匣的卡匣載置台，及具備配成沿著載置 於該卡匣載置台上之卡匣側部，隔著所定節距間隔設成對 應於上述第1基板支撐構件，並從卡匣之開口部進入卡匣 內而從上述第1基板支撐構件接受支撐各基板之複數第2 基板支撐構件的基板昇降機構，及具備配成沿著載置於上 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 、·ιτ :線 -5 - 297911 經濟部中央標率局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（3 ) 述卡匣載置台上之卡匣側部，擋接於收容在卡匣之基板外 周端面而在卡匣內一併地排列複數基板之排列構件的基板 排列機構，及將該基板排列手段及上述基板昇降手段分別 向水平方向移動的第1移動手段，及將上述基板昇降手段 向垂直方向移動的第2移動手段，藉上述第1移動手段將 基板昇降手段向卡匣側部水平移動，將上述第2基板支撐 構件放進卡匣內，再藉上述第2移動手段將上述基板昇降 手段予以上昇，藉上述第2基板支撐構件從上述第1基板 支撐構件接受支撐基板，又藉上述第1移動手段將上述排 列構件向卡匣側部水平移動，將上述排列構件擋接於藉上 述第2移動手段支撐之基板外周端面而將基板一併地排列 者。 又，本發明之基板排列方法，其特徵爲：具備將藉由 第1基板支撐構件收容有分別支撐之複數基板的卡匣載置 於載置台上的工程，及將第2基板支撐構件向卡匣側部水 平移動，並將第2基板支撐構件放進卡匣內而位於各基板 下方的工程，及將上述第2基板支撐構件施以上昇，藉上 述第2基板支撐構件從上述第1基板支撐構件一併地接受 支撐基板的工程，及將基板排列構件向卡匣側部水平移動 ，在上述第2基板支撐構件所支撐的基板之外周端面擋接 基板排列構件而一併地排列基板的工程，及將上述第2基 板支撐構件施以下降，並將排列之基板從上述第3基板支 撐構件一併地交接在上述第1基板支撐構件的工程等》 又，本發明之基板排列裝置，其特徵爲：具備載置具 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-* -6 - 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 ____ _B7_ 五、發明説明（4 ) 備以所定節距間隔實質上水平地支撐基板的複數第1基板 支撐構件之卡匣的卡匣載置，及具備配成沿著載置於該卡 匣載置台上之卡匣側部，隔著所定節距間隔設成對應於上 述第1基板支撐構件，並從卡匣之開口部進入卡匣內而從 上述第1基板支撐構件接受支撐各基板之複數第2基板支 撐構件的基板昇降手段，及具備配成沿著載置於上述卡匣 載置台上之卡匣側部，擋接於收容在卡匣之基板外周端面 而在卡匣內一併地排列複數基板之排列構件的基板排列手 段’及將該基板排列手段及上述基板昇降手段分別向水平 方向移動的第1移動手段，及將上述基板昇降手段向垂直 方向移動的第2移動手段， 上述第2移動手段係具備可將基板昇降手段在推拔面 對於卡匣在水平方向相對移動地支撐成離開接近狀態的第 1移動台，及將上述第1移動台與上述第2移動台中之至 少一方引導在上述離開接近方向的水平方向引導手段，及 限制對於上述第2移動台之接近運動的移動限制手段， 上述基板昇降手段係配成對應於上述第2移動台可向 垂直方向相對移動而無法向離開接近方向相對移動； 上述第1移動台係與上述第2移動台一起可向離開接 近方向自由移動，惟上述第2移動台之接近運動藉上述移 動限制手段被限制之後，僅上述第1移動台可實行接近運 動者。 依照本發明之裝置及方法，由於藉基板昇降手段之第 2基板支撐構件，一併向上抬高在卡匣內藉第1基板支撐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚) 11 n 11 111 0— I 111 訂 11 線 - · { (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 構件所支撐的複數枚基板之後，可藉排列手段來排列基板 ，因此，即使卡匣的第1支撐構件之摩擦係數大時，也可 容易且正確地實行基板之排列。特別是，在第2基板支撐 構件與基板接觸之部分使用摩擦係數小之材料，可圓滑地 滑動基板，又可容易地實行基板之排列。 又，由於在上述基板昇降手段，於第2基板支撐構件 之每一各積層配列位置設置檢測是否基板被支撐的感測器 ，故可用一次動作實行排列動作與映像動作，而可提高生 產量。 又，依照本發明之裝置，可將基板昇降手段如下地動 作。首先，基板昇降手段係在後卡匣離開之位置，藉基板 昇降手段本體之自重由第1移動台支撐在推拔面之下方位 置。藉基板昇降手段向上抬高基板時，首先驅動水平方向 引導手段，將第1、第2移動台及基板昇降手段同時移動 向卡匣接近。不久，第2移動台之接近運動係被移動限制 手段阻止，之後，僅第1移動台向卡匣接近。此時，由於 基板昇降手段係被固定成對於第2移動台成無法向離開接 近方向相對移動，因此，與第2移動台一起停止接近運動 。但是，由於第1移動台係繼續實行接近運動，因此，基 板昇降手段係一面上昇推拔面上，一面對第1移動台相對 地移動。此時，由於基板昇降手段係對於第2移動台連接 成可向垂直方向相對移動，因此，基板昇降手段之上昇運 動不會被第2移動台阻止，基板昇降手段係一面從推拔面 之下方位置向上方除除地移動，一面上昇。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 -8 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 依照本發明之第3觀點之構成，在基板昇降手段及第 2移動台之接近運動停止之位置，由於第2基板支撐構件 調整水平方向移動量或位於第1基板支撐構件支撐之基板 下方，並將第1移動台之推拔面之高度調整成基板之抬高 高度，即使不必另外設置將基板昇降手段向約垂直方向昇 降之驅動手段，也可僅藉水平方向引導手段將基板昇降手 段實行昇降運動。 〔發明之實施形態〕 以下，參照所附圖式說明本發明之各種較佳實施之形 態。在本實施形態，說明將本發明之裝置及方法使用於電 漿處理（蝕刻處理及/或灰化處理）L CD用基板的真空 處理裝置之例子。 如第1圖及第2圖所示，真空處理裝置1 0 0係具備 三個處理室104a、104b、104c ，在第1及第 2處理室104a、104b內以減壓氣氛下分別蝕 L CD用基板，而在第3處理室1 0 4 c內以減壓氣氛下 灰化處理基板10。各處理室104a、104b、10 4c係經由閘閥l〇6a、106b、106c設成可連 通於第1負載鎖定室1 0 2。第1負載鎖定室1 0 2內係 連通於真空排氣裝置（未予圖示）之吸進側。 在第1負載鎖定室1 0 2經由閘閥1 0 8設成判接於 第2負載鎖室1 1 0。在該第2負載鎖定室1 1 0之前面 側閘閥1 1 2之前方設有大氣系統運送機臂1 1 4。大氣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公嫠） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Γ -9 - 五、發明説明（7 ) 系統運送機臂1 1 4係藉由支撐台1 1 6支撐，具有兩支 叉狀機臂114a、114b。 在支撐台116之左右兩側配設有一對卡匣索引裝置 122a 、122b。在各卡匣索引裝置122a 、 1 2 2 b藉由AGV (未予圖示）分別運送有卡匣 12〇a 、120b ，形成卡[E120a 、120b 分別 載置在卡匣索引裝置1 2 2 a、1 2 2b上。在各卡匣 120a 、120b內分別收容有25〜30枚之玻璃基 板10。又，在第1卡匣索引裝置122a接受收容有未 處理之基板1 0 a的卡匣1 2 0 a ，而在第2卡匣索引裝 置1 2 2 b接受收容經處理之基板1 〇 b所用的卡匣 1 2 0 b。如此，將未處理基板1 〇 a與經處理基板 10b各自收容於不相同之卡匣120a、120b時， 則可減低卡匣之更換次數。 以下，說明卡匣120 (120a、120b)之整 體構造。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第3圖所示，卡匣1 20係由聚醚亞胺（PE I ) 所製，形成對應於約矩形基板1 0之形狀的框構造。在卡 匣1 2 0之內面，形成有保持基板1 0所用的複數槽 1 20 a〜1 20η。在本實施形態之卡匣1 2 0形成例 如可收容最大30枚的0. 7mmx550mmx650 mm的LCD用玻璃基板1 〇。又，卡匣1 20之至少一 個側面係具備進入取出基板10所用的大開口部。 在卡匣1 2 0之左右兩側約垂直方向地豎設有分別三 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10 - A7 A7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 ___B7 五、發明説明（8 ) 支合計六支的支撐桿124a〜124d，126a、 1 26b。其中之四支桿1 24a〜1 24d係設於卡匣 120之四隅角的隅角桿，而兩支桿126a 、126b 係設於卡匣1 2 0之側面中央的中心桿。 在各支持桿124a〜124d，126a、 1 2 6 b之內側分別安裝有隔著所定間隔所配列的第1基 板支撐構件128 (128a〜128n，130a〜 130n，132a 〜132n，134a 〜134η， 136a〜136η及138a〜138η)，成爲支撐 有基板10之周緣部》又，可藉由對應複數基板10 ( 1 0 a〜1 ο η)之左右的第1基板支撐構件加以支撐（ 例如，基板1 0 a係支撐在左邊之第1基板支撐構件 128a、130a、132a與右邊之第1基板支撐構 件134a、126a、138a之間）。又，在本實施 形態，係在卡匣1 2 0之互相相對向之側面分別設有三支 支撐桿，惟對應於基板1 0之尺寸增減支撐桿之支數也可 以。 與基板直接接觸的第1基板支撐構件1 2 8之接觸面 ，係使用不會損傷基板1 0的如以氟化乙烯系樹脂（ P T F E )或如硬質橡膠之絕緣性之彈性構件所製成較理 想。作爲氟化乙烯系樹脂（PTFE)使用全氟烷氧基氟 樹脂（PFA)，四氟化乙烯六氟化丙烯共聚合體（ FEP)，乙烯四氟化乙烯共聚合體（ETFE)，聚氯 三氟化乙烯（PCTFE)，氟化乙烯叉（PVDF)， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 訂 :線 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（9 ) 氟化乙烯基（PVF )較理想。作爲硬質橡膠使用氯丁橡 膠較理想。又’在卡匣1 2 0之運送中’與支撐構件 1 2 8之基板之接觸面係具備適當大小之摩擦係數，使基 板1 0不會在各槽1 2 0 a〜1 2 Ο η內偏位較理想。 又，卡匣1 2 0之前面（與運送機臂1 1 4相對面之 卡匣側面）側係成爲開放空間’未設置成爲妨礙基板1 〇 之進入取出的中心桿等。對此，在卡匣1 2 0之背面側設 有板狀止動件1 4 0 a、1 4 0 b，該止動件可防止基板 1 0從卡匣內跳出，又基板排列機構3 Ο Ο B可實行基板 1 0之排列。 在第3圖，作爲形成各槽1 20 a〜1 20η的第1 基板支撐構件1 2 8在卡匣1 2 0之內側向水平方向平行 地延伸之構造，惟如第1 6圖所示，也可將基板支撐構件 128向卡匣120內側形成上方傾斜。依照這種基板構 件1 28，由於形成以其頂部1 28 a支撐基板1 〇，因 此可大幅度減少與基板1 0之接觸面積。由此，從卡匣 1 2 0對於基板昇降機構2 0 0之第2基板支撐構件 2 0 4可容易交接基板1 0。 在載置有如上所構成之卡匣1 2 0的卡匣索引裝置 122 (122a、122b)之左右兩側分別配置有基 板昇降機構2 0 0。又，如第3爵及第7圖所示，在卡匣 索引裝置1 2 2之左右兩側分別配設有第1基板引導機構 3 0 0A，又在卡匣索引裝置1 2 2之前面側配設有第2 基板引導機構300。又如第3圓所示，第1基板引導機 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格 1 210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· A 7 B7 五、發明説明（10 ) 構3 Ο OA係包括在基板昇降機構2 0 0之內。 以下，一面參照第4圖至第7圖，及第1 1圖至第 1 3圖，一面說明基板昇降機構2 0 0及第1 、第2基板 排列機構3 Ο Ο A、3 Ο Ο B。 如第4圖所示，基板昇降機構2 0 0及第1基板排列 機構3 Ο Ο A係經由引導機構4 0 0連結於球螺旋驅動裝 置4 3 0。球螺旋驅動裝置4 3 0係內設嚙合在安裝於引 耆 導機構4 0 0之水平軸4 2 3A、4 2 3 B的齒輪及驅動 馬達。該驅動馬達之電源電路係連接於控制器5 0 0之輸 出側。引導機構4 0 0之U形剖面構件4 0 4係被固定在 機座402。基板昇降機構200之構件202a ( 2 0 2 b )可昇降滑動在該U形剖面構件4 0 4內。 左右之引導機構4 0 0係藉由球螺旋驅動裝置4 3 0 成爲同步驅動也可以，或分別獨立地驅動也可以。又，在 球螺旋驅動裝置4 3 0之驅動力傳動部使用齒條與小齒輪 之組合機構也可以，或使用一對缸筒機構也可以。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 各基板排列機構300A、300B係分別具備藉控 制器所驅動控制的缸筒3 0 2。當從控制器5 0 0發出指 令時，則從各缸筒3 0 2分別突出有桿，在第1基板排列 機構300A，排列構件306a向卡匣1 20 Y軸方 向地前進，而在第2基板排列機構3 0 0 B，排列機構 306b向卡匣120 X軸方向地前進》 如第5圖所示，基板昇降機構2 0 0係具備兩支機臂 部2 0 2 a及背面部2 0 2 b所成的剖面U形之基板支撐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 -13 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（11 ) 部2 0 2。在各機臂2 0 2 a之前端，梳齒狀地隔著所定 節距間隔垂直排列有第2基板支撐構件2 0 4 ( 2 〇 4 a 〜204η)。該第2基板支撐構件204之節距間隔係 與第1基板支撐構件1 2 8之節距間隔大約相同。藉由這 些構件2 0 4可從構件1 2 8 —併交接複數枚基板1 〇 ( 10a 〜10b)。 道些第2基板支撐構件2 0 4與基板1 0之接觸面， 係使用不會損傷基板1 0的如以氟化乙烯系樹脂（ P T F E )或如硬質橡膠之絕緣性之彈性構件所製成較理 想。作爲氟化乙烯系樹脂（P TF E )使用全氟烷氧基氟 樹脂（P F A)，四氟化乙烯六氟化丙烯共聚合體（ FEP) ’乙烯四氟化乙烯共聚合體（ETFE)，聚氛 三氟化乙烯（PCTFE)，氟化乙烯叉（PVDF)， 氟化乙烯基（P V F )較理想。作爲硬質橡膠使用氯丁橡 膠較理想。又’第2基板支撐構件2 0 4之基板接觸部， 係摩擦係數（動摩擦係數）至少比第1基板支撐構件 1 2 8之基板接觸部小的材質所製作較理想。附帶地說明 ’第1基板支撐構件1 2 8之基板接觸部係由聚醚亞胺（ PET)所製成。該聚酸亞胺（pet)之動摩擦係數係 氟化乙嫌系樹脂（P 丁 F E )之動摩擦係數之約三倍。 如上所述，由於作爲第2基板支撐構件2 〇 4使用摩 擦係數比第1基板支撐構件1 2 8小的材料，因此即使作 爲基板卡匣1 2 0之第1基板支撐構件1 2 8使用摩擦係 數較大之材料時’也成爲可容易且正確地實行基板1 〇之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（12 ) 排列。 又，如第1 5圖所示，在與基板1 0接觸部分被覆以 摩擦係數小之材料所構成的覆蓋部2 0 6也可以。又，如 第1 6圖所示，若將第2基板支撐構件2 0 4向內方之上 方傾斜，則基板1 0之滑動變良好，而排列動作成爲更圓 滑。 如第7圖所示，在上述基板支撐部2 0 2之至少一個 機臂2 0 2 a，設有檢測基板1 0是否藉由第2基板支擦 構件2 0 4所支撐的基板檢測器2 1 0。如第1 4圖所示 ’該基板檢測器2 1 0係具備對應於各第2基板支撐構件 204a〜204η，且以與第2基板支撐構件204a 〜2 0 4 η之配列節距間隔大約相同之節距間隔所配列的 複數光學感測器210 (210a〜210b)。這些光 學感測器210係具備發光部212與受光部214者， 在存在有基板1 0時，由發光部2 1 2所發射之光係在基 板1 0被反射，而藉受光部2 1 2受光其反射光俾判定有 無基板1 0者。又，在未存在基板1 0時，從發光部 212所發射之光係在相對面之光學感測器212之表面 ，被吸收及/或被亂反射，未到達受光部2 1 4。因此， 光學感測器212之表面係由光吸收構件及/或亂反射構 件所構成較理想。又，構件216係LED等之發光元件 ，在基板10被檢測時而形成發光者。 以下，說明基板排列機構300A、300B。 第1基板排列機構3 0 0A係具備；安裝於基板支撐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -15 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Γ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 297911 at Β7 五、發明説明（13 ) 部2 0 2之背面2 0 2 b中央的氣缸3 0 2，及貫穿該背 面202b的伸縮桿304，及安裝於該伸縮桿304前 端的排列構件3 0 6。排列構件3 0 6係與基板支撐部 2 0 2同樣地，具備一對凸緣部3 0 6 a與肋部3 0 6 b 的橫剖面呈IJ形之構件。但是，由於排列構件3 0 6係設 於基板支撐部2 0 2內側，因此，排列構件3 0 6之橫剖 面尺寸者比基板支撐部2 0 2者較小。 如第7圖所示，在排列構件3 0 6之凸緣部3 0 6 a 前端安裝有扣合部3 0 8。該扣合部3 0 8係擋接於卡匣 內之基板1 0外周端面，用於實行基板1 0之排列者。扣 合部3 0 8係由如均具備絕緣性及彈性之MC尼龍樹脂（ 曰本玻璃偏克公司之登錄商標）的工程塑膠所製成。因此 ，當扣合部3 0 8擋接於基板1 0之外周端面時，基板 10係成爲實質上不受損傷。 第2基板排列機構3 0 0 B之構成係與第1基板排列 機構3 0 0 A之構成實質上相同。第2基板排列機構
3 0 0 B之排列機構3 0 6M係具有一對凸緣部3 0 6 N 與肋部3 0 6 L的橫剖面呈U形之構件。在凸緣部 3 0 6 N之前端安裝有扣合部3 0 8M。該扣合部3 0 8 Μ係擋接於卡匣內之基板1 0之外周端面，俾實行基板 1 0之排列者。 表示於第4圖至第6圖的第1基板排列機構3 0 0 Α ，係從卡匣1 2 0之兩側推壓基板1 〇 ’俾將基板1 〇對 準於卡匣1 2 0之中心線CL (第4圖）者’與基板昇降 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐)_ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝_ 訂_ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（14 ) 機構2 0 0 —體地構成。然而，如第7圖所示，由於在基 板卡匣1 2 0之前面側未設有基板昇降機構2 0 0，因此 ，在卡匣1 2 0之前面側，係基板排列機構3 Ο Ο B單獨 地設置。基板排列機構3 Ο Ο B係與基板排列機構 3 Ο 0A實質上相同。但是，基板排列機構3 Ο Ο B之氣 缸3 0 2 B係安裝於機架（未予圖示），或安裝於與如下 述之基板昇降機構2 0 0之引導機構4 0 0同樣的機構。 以下說明基板昇降機構2 0 0之引導機構4 0 0。 以第5圖及第6圖所示，引導機構4 0 0係具備基台 4 0 2，及大約垂直方向地支撐於該基台4 0 2上的昇降 機座4 0 4 »昇降機座4 0 4係具備左右之側機座 404a、404b與中央機座404c »基板昇降機構 2 0 0之基板支撐部2 0 2係其下面2 0 2 c固定在中央 機座4 0 4 c之上端，而且其背面2 0 2 b經由安裝具 406 a、406b安裝於左右之側機座上端部。側機座 404a、404b與安裝具406a、406b係經由 移動構件408a、408b互相連接》該移動構件 4 0 8 a、4 0 8 b係形成滑動在約垂直方向地配設之平 行軌410a、410b內。在這種基板昇降機構200 之引導機構400，藉上下移動中央機座404c ，可將 基板支撐部2 0 2本體沿著左右之側機座4 0 4 a、 404的平行軌410a、410b自由地上下移動。 以下，一面參照第1 1圖至第1 3圖* 一面說明昇降 機座4 0 4對基台4 0 2之安裝構造（水平/垂直方向引 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ祕⑺0X歷幻 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、vs
T 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（l5 ) 導構造）。 向y軸方向延伸之軌道4 1 2設於基台4 0 2上β第 2移動台414設成可沿著軌道412向y軸方向行走。 在軌道4 1 2之端部安裝有止動件4 1 6 »設定第2移動 台414之y軸移動行程。 在第2移動台4 1 4上面之機座安裝台4 1 8，直接 固定有左右之側機座4 0 4 a、4 0 4 b，而且設有向y 軸方向延伸的軌道4 2 0。第1移動台4 2 2係安裝成沿 著該軌道4 2 0可自由滑動之狀態。 該第1移動台422係具備滑動台422a ，及具有 可螺合球螺旋4 2 3之螺孔的塊體4 2 2 b，及在上面具 有推拔面424a的推拔構件422c。 在推拔構件4 2 2 c上面的下方平坦面4 2 4 b與上 下平坦面424c之間形成有推拔面424a。該推拔面 4 2 4 a係沿著y軸傾斜，從下方平坦面4 2 4 b向上方 平坦面4 2 4 c愈向外方（從卡匣1 2 0離開之方向）貝(I 愈向上方變位。沿著該推拔構件4 2 2 c之上面4 2 4 a 、424b、424c擋接成輥子426會轉動。 如第6圖所示，輥子4 2 6係安裝於支撐基板昇降機 構2 0 0之構件2 0 2 a的垂直構件4 0 4 c之下端部。 藉由具有這種推拔面424a的滑動構件422A，水平 軸423A，輥子426，及垂直構件404C之組合形 成有凸輪機構，在該凸輪機構，當將水平軸4 2 3遷入在 球螺旋驅動裝置4 3 0內時，則滑動構件4 2 2A沿著第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) -裝. 訂 泉_ A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 (16 ) ί 1 軌 道 4 2 0 向 y 軸 方 向 滑 動 而 輥 子 4 2 6 轉 動 移 動 在 i * · Ι 推 拔 面 4 2 4 a 上 0 結 果 基 板 昇 降 機 構 2 0 0 之 溝 件 1 2 0 2 a 向 Z 軸 方 向 變 位 藉 由 齒 2 0 4 a 使 基 板 1 0 在 1 1 卡 匣 1 2 0 內 ___. 併 向 上 方 抬 髙 〇 請 先 閲 1 1 以 下 一 面 參 照 第 7 圖 及 第 1 1 圖 至 第 1 3 圖 說 明 引 讀 背 面- 1 I 導 構 件 0 之 注 1 I 意 重 1 第 1 1 圖 係 表 示 引 導 構 件 4 0 0 位 在 最 遠 離 機 台 Ψ 項 再> 1 1 1 2 0 之 位 置 的 狀 態 〇 在 該 時 刻 藉 由 基 板 昇 降 機 構 填 寫 本 裝 2 0 0 及 基 板 引 導 機 構 3 0 0 之 白 重 中 央 機 座 4 0 4 C 頁 1 1 係 在 推 拔 構 件 4 2 2 C 之 下 方 平 坦 面 4 2 4 b 形 成 安 定 之 1 1 狀 態 0 基 板 昇 降 機 構 2 0 0 之 最 下 方 位 置 係 在 該 下 方 平 坦 1 l 面 4 2 4 b 之 位 置 被 指 定 0 訂 I 擬 排 列 卡 匣 1 2 0 內 之 基 板 1 0 時 從 控 制 器 5 0 0 1 1 ι 向 球 螺 旋 驅 動 裝 置 4 3 0 發 出 指 令 由 此 旋 轉 球 螺 旋 1 1 I 4 1 3 〇 隨 著 球 螺 旋 4 1 3 之 旋 轉 第 2 移 動 台 4 1 4 及 1 第 1 移 動 台 4 2 2 沿 著 軌 道 4 1 2 向 接 近 方 向 移 動 0 在 此 •泉 1 期 間 因 中 央 機 座 4 0 4 C 係 被 維 持 在 推 拔 構 件 4 2 2 C 1 I 之 下 方 平 坦 面 4 2 4 b 因 此 基 板 昇 降 機 稱 2 0 0 及 基 1 I 板 引 導 機 構 3 0 0 係 僅 向 y 軸 方 向 ( 接 近 方 向 ) 移 動 0 1 1 I 如 第 1 2 圖 所 示 當 第 2 移 動 台 4 1 4 上 面 之 安 裝 台 1 1 之 接 近 方 向 端 部 4 1 8 a 擋 接 於 止 動 件 4 1 6 時 則 限 制 1 1 第 2 移 動 台 4 1 4 之 接 近 運 動 〇 1 1 又 當 旋 轉 球 螺 旋 4 1 3 時 則 僅 第 1 移 動 台 4 4 沿 1 1 著 安 裝 台 4 1 8 上 之 軌 道 4 2 0 向 接 近 方 向 移 動 〇 然 而 > 1 1 準 標 家 國 國 中 用 適 度 尺 張 紙 本
A4 S N 釐 公 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ____B7 ___ 五、發明説明（17 ) 由於基板昇降機構2 0 0及基板引導機構3 Ο Ο A係經由 側機座4 0 4 a、4 0 4 b在水平方向（離開接近方向） 不動地固定於安裝台4 1 8上，因此’基板昇降機構 2 0 0及基板引導機構3 0 0A之接近運動’係與第2移 動台4 1 4之接近運動一起停止運動。又’如在第7圖以 假想線表示，因該停止位置，規定基板昇降機構2 0 0及 基板引導機構3 0 0 A最接近基板機台2 0 0之位置。 如第1 3圖所示，在該狀態，僅將第1移動台4 2 2 移向接近方向時，則抗拒基板昇降機構2 0 0及基板引導 機構3 0 0A之自重，轉動構件4 2 6係上昇推拔面 424a ，隨著此，中央機座404c也上昇。隨該中央 機座4 0 4 c之上昇運動，沿著左右之側機座4 0 4 a、 404b之軌道410a、410b，使基板昇降機構 2 0 0及基板引導機構3 0 0 A本體上昇。如此，轉動構 件4 2 6到達上述推拔構件4 2 2 c之上方平坦面 4 2 4 c的時刻，停止第1移動台4 2 2之移動。因此， 基板昇降機構2 0 0之最上方位置係在該上方平坦面4 2 4c之位置上被規定。亦即，由圖示之引導機構400 ， 僅可將基板昇降機構2 0 0上昇下方平坦面4 2 4 b與上 方平坦面4 2 4 c之間的距離分量。 以下，一面參照第8圖至第1 〇圖，一面說明依上述 引導機構4 0 0所驅動的基板昇降機構2 0 0及依基板支 撐構件3 0 0 A的基板之排列動作。又圖中，在基板支撐 部2 0 2附示斜線，而在基板排列構件3 0 6係以一點鏈 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -20 - ----------Γ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，1Τ A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 (18 ) I 線 表 示 » 以 利 說 明 上 方 便 〇 1 1 首 先 表 示 於 第 8 rsi 圖 之 狀 態 係 引 導 機 構 4 0 0 在 表 1 示 於 第 1 1 圖 之 位 置 的 情 形 基 板 支 撐 部 2 0 2 及 基 板 排 1 I 請 1 I 列 構 件 3 0 6 位 在 從 卡 匣 1 2 0 最 離 開 之 位 置 的 情 形 0 基 先 聞 1 I 讀 1 板 支 撐 部 2 0 2 之 第 2 基 板 支 撐 部 2 0 4 之 位 置 係 位 於 背 1 I 比 支 撐 在 卡 匣 1 2 0 的 第 1 基 板 支 撐 部 1 2 8 之 基 板 1 0 之 注 意 1 1 I 下 面 更 下 方 之 位 置 ( 例 如 第 2 基 板 支 撐 部 2 0 4 a 之 上 事 項 再 1 1 面 > 係 位 於 比 第 1 基 板 支 撐 部 1 2 8 a 之 基 板 1 0 a 下 面 填-% 本 裝 更 下 方 之 位 置 ) 〇 由 於 在 這 種 位 置 配 置 第 1 基 板 支 撐 部 頁 s_- 1 1 1 2 8 及 第 2 基 板 支 撐 部 2 0 4 可 將 第 2 基 板 支 撐 部 1 I 2 0 4 接 近 於 卡 匣 1 2 0 成 爲 可 將 第 2 基 板 支 撐 部 1 I 2 0 4 ^rrt. m 妨 礙 地 插 入 在 基 板 1 0 之 下 面 〇 1 訂 I 然 後 由 於 將 引 導 機 TM, 俩 4 0 0 移 動 至 表 示 於 第 1 2 圖 1 1 1 之 位 置 可 將 基 板 支 撐 部 2 0 2 及 基 板 排 列 構 件 3 0 6 最 1 1 接 近 於 卡 匣 1 2 0 又 由 於 將 引 導 機 fate 稱 4 0 0 移 動 至 表 示 1 V * 於 第 1 3 固 圖 之 位 置 藉 第 2 基 板 支 撐 部 2 0 4 可 — 併地 :泉 1 抬 高 被 收 容 於 卡 匣 1 2 0 之 複 數 枚 基 板 1 0 ( 1 0 a 1 I 1 0 η ) 〇 將 此 狀 況 表 示 於 第 9 圖 〇 如 圖 所 示 在 該 狀 態 1 I » 基 板 1 0 係 僅 藉 由 摩 擦 係 數 較低 之 第 2 基 板 支 撐 部 1 1 I 2 0 4 所 支 撐 〇 因 此 如 下 述 可 藉 基 板 排 列 構 件 3 0 6 1 1 9 以 小 動 力 可 容 易 且 正 確 地 實 行 基 板 之 排 列 動 作 〇 1 1 如 第 1 0 圖 所 示 基 板 之 排 列 動 作 係 驅 動 氣 缸 1 1 3 0 2 前 進 基 板 排 列 構 件 3 0 6 ( 接 近 於 卡 匣 1 2 0 ) 1 1 9 藉 由 扣 合 部 3 0 8 推 壓 基 板 1 0 之 外 周 端 面 所 實 行 〇 又 1 1 本紙張尺度適用中國國家標瘅（CNS ) A4娟.棬（210X297公螫） " Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（l9 ) ，在第8圖至第1 0圖表示由於從卡匣1 2 0之兩側推壓 基板1 0，配列成在卡匣1 2 0之中心線C L大致對準基 板1 0之中心的動作》 又，如第7圖所示，在卡匣1 2 0之前面側也設有基 板排列構件3 0 6 B，前進該基板排列構件3 0 6 B，因 以其扣合部3 0 8 B向卡匣1 2 0之背面方向推壓基板 1 0之外周部，可將基板1 0對於卡匣1 2 0背面之止動 件1 2 8 a、1 2 8 b施以排列。 在此結束有關於本發明之配列裝置之概略構成及其動 作之說明，再度一面參照第1圖及第2圖，一面說明真空 處理裝置1 0 0之剩餘的構成構件。 藉由基板排列裝置3 Ο 0A在卡匣1 2 0 a內實行排 列之基板1 0，係藉由大氣系統運送機臂1 1 4，形成在 卡匣1 2 0 a與第2負載鎖定室1 1 0之間實行運入運出 。在運送機臂1 14之機臂部1 14a、1 14b之上面 ，設有微粒發生較少的聚醚醚酮（PEEK)材所成的複 數吸附墊1 1 4 c，藉由這些吸附墊1 1 4 c真空吸附運 送對象之基板1 0，並牢固地保持，可實行高速運送。該 大氣系統114係在構成在支撐台116上成爲可自由旋 轉且可自由伸縮之狀態，又，形成可在基板1 0之拾取或 停上之範圍的可自由上下移動之狀態。 如第2圓所示，在第2負載鎖定室1 1 0內設有用於 預對準基板1 0所用的預對準機構1 3 0。該對準機構 1 3 0係設有實行載置於緩衝器1 3 2的基板1 0之定位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ：297公釐） -22 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝_ 訂 m A7 _____B7_ 五、發明説明（2〇 ) 所用的定位器1 3 4，成爲在基板1 0之對角線之延長線 上互相地相對向之狀態。 在第2負載鎖定室11〇內預對準於所定位置的基板 1 0，係構成藉設於表示在第2圖的第1負載鎖定室 1 0 2內之真空系統的運送機臂1 4 0被取出，並由該運 送機臂1 4 0分別篩分運送至所定之處理室1 〇 4 a 、 104b、104c內。又，在第1負載鎖定室設有緩衝 機構（未予圖示），形成可緩衝複數板之未處理基板 1 0 a或經處理之基板1 〇b。 以下說明依上述真空處理裝置1 0 0的處理動作之概 要。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 首先，收容未處理之基板10a的卡匣120a ，將 其開口向支撐台1 1 6側被設定在卡匣索引裝置1 2 2 a 的機台上之所定位置。然後，驅動基板排列裝置，藉基板 昇降機構2 0 0 —併向上方抬高分別收容於卡匣1 2 0 a 之各槽120a〜120η的基板10(l〇a〜l〇b )，並藉基板引導機構300A實行基板10之排列。在 此時，由於作爲基板昇降機構2 0 0之第2基板支撐構件 2 0 4使用摩擦係數低者，因此，即使在卡匣1 2 0之第 1基板支撐部1 2 8採用磨擦係數高者，也可容易且圓滑 地實行基板1 0之排列。又，在基板1 0之排列時，藉由 設於基板昇降機構2 0 0之光學感測器2 1 0檢測在第2 基板支撐構件是否支撐基板，亦即，檢測在各槽1 2 0 a 〜1 2 0 η內是否分別收容有基板。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） Α7 Β7 五、發明説明（21 ) 如此，排列收容於基板卡匣1 2 0 a之基板1 0之同 時對於全槽可實行基板之位置檢測（映像），故與以往裝 置比較，可大幅度地節省時間，因而可提髙生產量。 然後，依照映射之結果所得到之檢測信號，大氣系統 運送機臂1 1 4被驅動，而從收容有未處理基板1 0之槽 取出最初被處理之基板1 0 a。然後，大氣系統運送機臂 1 1 4係後退而旋轉9 0°之後滑動地前進，從被開放之 閘閥1 12，將基板10a載置在第2負載鎖定室1 10 內之緩衝器1 3 2。然後，大氣系統運送機臂1 1 4後退 而迴避，開關閘閥1 1 2，上述第2負載鎖定室1 1 0內 係被真空吸引至例如約1 0 ―1 Torr的所定之減壓氣氛。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在上述第2負載鎖定室1 1 0內，當藉預對準機構 1 3 0實行基板1 0 a之對位的確認時，則在閘閥1 0 8 被開放之後，基板1 0 a係藉由運送機臂1 4 0被運進第 1負載鎖定室1 0 2內。然後，閘閥1 08被關閉，第1 負載鎖定室1 0 2內係被減壓成例如約1 0_3 Torr ，而 基板1 0係被運送至處理室1 0 4 a內，在該處被實行所 定之蝕刻處理。 如此，最初之基板1 0 a係在處理室1 0 4 a內被處 理之期間，依同樣之方法，下一枚基板1 0 b經由第2負 載鎖定室1 1 0被運進第1負載鎖定室1 0 2內，然後被 運送至處理室1 0 4 b內，在該處被實行所定之蝕刻處理 〇 又，最初之基板1 0 a及下一枚之基板1 0 b在處理 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐）Λ -24 - 2979ίί Α7 __ Β7 五、發明説明（22 ) 室l〇4a、10b被處理之期間，從載置於卡匣索引裝 置1 2 2 a之基板卡匣1 2 0 a，藉大氣系統運送機臂1 1 4取出後續之基板1 0 c，運進第2負載鎖定室1 1 〇 內，藉對準機構1 3 0實行對位及其檢測而在第2負載鎖 定室1 1 0內之緩衝器1 3 2等候。 一方面，最初被運進處理室1 0 4 a內而完成蝕刻處 理的最初之基板1 0 a，係藉由運送機臂1 4 0 —旦被取 出之後，爲了施以下一處理工程的灰化處理，被運進處理 室1 0 4內。 然後，在第2負載鎖定室1 1 0等候之後續的未處理 基板10c，被運進處理室104a，施行所定之電漿處 理。在該期間，在處理室1 0 4 b內結束蝕刻處理之基板 1 Ob係在第1負載鎖定室1 〇 2內之緩衝機構等候。 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如此，從處理室1 0 4 c取出結束灰化處理的最初之 基板1 0 a，被運出第2負載鎖定室1 1 0之後，將代理 之下一基板1 0 b被運進處理室1 〇 4 c，施以灰化處理 。如此，結束一連之處理的最初之基板1 0 a，係藉運送 機臂1 1 4被運出，收容在將經處理之基板予以收容的卡 匣1 2 0 b內。如上所述，依次處理基板，經處理之基板 收容於所有槽之後，卡匣1 2 0 b係被運出，而另一空的 卡匣1 2 0載置在卡匣索引裝置1 2 2 b上，等候下一枚 基板之收容。 在上述實施形態，係說明將基板排列裝置適用於 L C D用基板用的真空處理裝置之例子，惟也可適用於將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 25 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明 (23 ) 複 數 枚 之 基 板 收 容 於 卡 匣 內 實 行 處 理 的 電 漿 蝕 刻 裝 置 電 漿 C V D 裝 置 熱 C V D 裝 置 灰 化 裝 置 洗 淨 裝 置 等 之 各 種 處 理 裝 置 之 各 種 檢 查 裝 置 0 又 並 不 被 僅 限 定 於 L C D 用 基 板 也 可 使 用 於 用 於 將 收 容 於 複 數 枚 卡 匣 之 玻 璃 基 板 半 導 體 F1SL 晶 圓 等 各 種 板 狀 構 件 施 以 對 準 / 映 射 所 用 者 〇 又 9 本 發 明 係 並 被 限 定 於 運 進 運 出 用 之 卡 匣 也 可 使 用 於 隔 者 所 定 間 隔 積 層 配 列 複 數 枚 之 被 處 理 體 fuz. 的 各 種 容 器 例 如 縱 型 爐 之 晶 圓 盤 的 對 準 / 映 射 所 用 者 〇 又 藉 在 基 板 昇 降 手 段 設 置 檢 測 第 2 基 板 支 撐 構 件 之 各 積 層 配 列 每 一 位 置 是 否 支 撐 有 基 板 的 基 板 檢 測 裝 置 成 爲 可 用 '~* 次 動 作 同 時 地 實 行 排 列 動 作 與 映 射 動 作 可 提 高 生 產 量 〇 C 圖 式 之 簡 單 說 明 ) 第 1 圖 係 表 示 具 備 本 發 明 之 實 施 形 態 之 基 板 的 排 列 裝 置 的 真 空 處 理 裝 置 之 整 體 概 要 的 斜 視 圖 〇 第 2 1〇,| 圖 係 表 示 具 備 基 板 之 排 列 裝 置 的 真 空 處 理 裝 置 的 平 面 圖 0 第 3 面 圖 係 表 示 本 發 明 之 實 施 形 態 的 基 板 之 排 列 裝 置 及 卡 匣 的 斜 視 圖 〇 第 4 圖 係 表 示 本 發 明 之 實 施 例 的 基 板 之 排 列 裝 置 及 卡 匣 的 構 成 方 塊 ΓΒ1 圖 〇 第 5 圖 係 表 示 從 上 方 觀 看 本 發 明 之 實 施 例 之 基 板 排 列 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -Zb - 請 先 閱 背 ίέ 注 意 事 項 再 填 寫 經濟部中失標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（24) 裝置的圖式。 第6圖係表示從側方觀看本發明之實施例之基板排列 裝置的圖式。 第7圓係表示用於說明設於卡匣之周圍的基板排列裝 置之動作所用的圖式* 第8圖係表示用於說明卡匣及基板排列裝置之動作所 用的圖式。 第9圖係表示用於說明卡匣及基板排列裝置之動作所 用的圖式。 第10圖係表示用於說明卡匣及基板排列裝置之動作 所用的圖式。 第11圖係表示用於說明基板之昇降動作所用的基板 昇降機構之主要部分的局部放大圖。 第12圖係表示用於說明基板之昇降動作所用的基板 昇降機構之主要部分的局部放大圖。 第13圖係表示用於說明基板之昇降動作所用的基板 昇降機構之主要部分的局部放大圖。 第14圖係表示安裝於基板排列裝置之基板檢測器的 概要斜視圖。 第1 5圖係表示卡匣之基板支撐部之變形例的圖式。 第1 6圖係表示卡匣之基板支撐部之變形例的圖式。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） n^- ^^^^1 enn nn n ml 一OJ . \ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -27