KR100673522B1 - 기판 수납 트레이 팰릿 및 기판이송시스템 - Google Patents

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Abstract

기판 수납 트레이 팰릿은 수평 상태로 기판을 갖고, 기판을 들어올리기 위해 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 개구를 포함하고, 수직으로 적층될 수 있는 기판 수납 트레이를 이송하기 위해 사용되며, 상기 기판 수납 트레이는 상면에 장착되고, 상기 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 기판 제거 툴 삽입구는 상기 장착된 기판 수납 트레이의 개구에 대향하도록 위치된다.

Description

기판 수납 트레이 팰릿 및 기판이송시스템{SUBSTRATE ACCOMMODATING TRAY PALLET AND SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM}
도1은 본 발명에 따른 기판전송장치에 사용가능한 기판 수납 트레이의 일예를 도시한 평면도이다.
도2는 상기 기판 수납 트레이의 사시도이다.
도3은 상기 기판 수납 트레이의 단면도이다.
도4는 수직으로 적층된 기판 수납 트레이의 단면도이다.
도5는 본 발명의 1 실시예에 따른 기판 수납 트레이 팰릿의 일예를 도시한 평면도이다.
도6은 기판 수납 트레이 팰릿의 정면도이다.
도7은 기판 수납 트레이 팰릿의 동작을 예시하기 위한 평면도이다.
도8은 본 발명에 다른 기판 이송 시스템의 일예를 보인 평면도이다.
도9는 기판 이송 시스템의 정면도이다.
도10은 기판 이송 시스템의 측면도이다.
도11은 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도12는 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도13은 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도14는 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도15는 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도16은 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도17은 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도18은 상기 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도19는 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도20은 기판 이송 시스템의 동작을 도시한 개략도이다.
도21은 본 발명의 기판 수납 트레이 팰릿의 일예를 보인 단면도이다.
본 발명은 기판을 운반하고 이송하기 위해 사용되는 기판 수납 트레이 팰릿, 및 이 기판 수납 트레이 팰릿을 사용하는 기판 이송 시스템에 관한 것이다. 상기 기판은 예컨대 표시 유리 기판이고, 액정표시장치 등의 표시패널에 사용된다.
액정표시장치는 통상적으로 서로 대향하고 함께 시일된 한쌍의 표시 유리 기판, 및 이 한쌍의 유리기판 사이에 봉입된 액정재료를 포함한다.
최근, 0.7mm 이하의 두께를 갖는 유리기판이 이러한 표시패널용으로 널리 사용되고 있다. 유리기판의 크기가 커짐에 따라, 표시패널 제조 공장을 운반되는 유리기판의 평면적이 증대하고 있고, 1.3m 이상의 측면 길이를 갖는 유리기판도 사용되고 있다.
이와 같이 크고 얇은 유리 기판은 쉽게 휘어지고 파손되는 경향이 있어, 유리 기판은 취급하기가 어렵다. 따라서, 고능률로 다수의 유리 기판을 운반할 수 없는 문제가 있다. 이들 문제를 해소하기 위해, 일본 공개특허공보 10-287382호는 하나의 유리 기판을 수납하는 기판 수납 트레이를 기술하고 있다. 이 기판 트레이 카세트의 기판 수납부는 격자 구조를 갖는다. 상기 기판 수납 트레이는, 복수의 기판 수납 트레이가 수직으로 적층될 수 있도록 구성되어 있다. 이러한 기판 수납 트레이는, 크고 얇은 유리 기판이 휘어지지 않고 수납되도록 하여 운반시 파손되지 않도록 한다. 대량의 기판 트레이 카세트가 운반 및 저장을 위해 수직으로 적층될 수 있기 때문에, 공간 효율이 향상될 수 있어, 다수의 유리 기판이 효율적으로 운송될 수 있다.
수직 적층된 복수의 기판 수납 트레이가 운송될 때, 다수의 수직 적층된 기판 수납 트레이는 통상적으로 트럭내로 운반되고 제조 공장으로 운송되기 위해 팰릿상에 장착된다.
적층된 다수의 기판 수납 트레이가 제조공장으로 운반될 때, 기판 수납 트레이의 각각으로부터 유리 기판을 제거하기 위해 수직 적층된 기판 수납 트레이를 서로 분리시킬 필요가 있다. 각 기판 수납 트레이로부터 유리 기판을 제거하기 위해서는, 예컨대 다음 방법이 사용된다. 각 기판 수납 트레이는 저부에 개구를 포함한다. 개구를 통해, 핀 형상을 갖는 기판 제거 툴이 기판 수납 트레이에 수납된 유리 기판을 들어올리기 위해 삽입된다. 이 기판은 아암 형상을 갖는 기판이송장치에 의해 제거된다.
이러한 경우, 수직 적층된 기판 수납 트레이를 하니씩 분리시키고 이 분리된 기판 수납 트레이를 기판 제거 툴이 제공되어 있는 위치로 이송시킬 필요가 있다. 이에 따라, 동작의 효율이 저하된다.
또한, 기판 제거 툴을 삽입하기 위해 기판 수납 트레이상에 제공된 개구는, 기판 수납 트레이의 운반시 먼지 등이 기판 수납 트레이에 들어갈 수 있도록 한다. 이는, 기판 수납 트레이에 수납된 유리 기판을 오염시킬 수 있다.
본 발명의 한 관점에 의하면, 수평 상태로 기판을 갖고, 기판을 들어올리기 위해 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 개구를 포함하고, 수직으로 적층될 수 있는 기판 수납 트레이를 이송하기 위해 사용되는 기판 수납 트레이 팰릿이 제공되고, 상기 기판 수납 트레이는 상면에 장착되도록 되어 있고, 상기 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 기판 제거 툴 삽입구는 상기 장착된 기판 수납 트레이의 개구에 대향하도록 위치된다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 기판 제거 툴 삽입구는 셔터 부재에 의해 개폐된다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상면에 기판을 수납하기 위한 기판 수납 트레이를 갖고 상기 기판 수납 트레이를 이송하기 위한 기판 수납 트레이 팰릿이 제공되고, 상기 팰릿은, 상기 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하기 위해 기판 제거 툴이 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 제거하도록 하는 수직 관통 기판 제거 툴 삽입구; 및 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개폐시키기 위한 셔터 부재를 포함 한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상면에 기판을 수납하기 위한 기판 수납 트레이를 갖고 상기 기판 수납 트레이를 이송하기 위한 기판 수납 트레이 팰릿으로서, 상기 팰릿은, 수직 관통 팰릿 보디 개구를 포함하는 팰릿 보디; 및 상기 팰릿 보디의 상면에 위치되고, 상기 팰릿 보디 개구에 대향하는 위치에 배치된 셔터 보디 개구를 포함하고, 상기 팰릿 보디 개구와 셔터 보디 개구는, 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판 수납 트레이를 제거하기 위해 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 기판 제거 툴 삽입구를 한정하고,상기 셔터 보디는, 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개폐시키기 위한 셔터 부재를 포함한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 셔터 부재는, 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개폐시키기 위해 수평 방향으로 슬라이딩한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 기판 수납 트레이 팰릿은, 기판 제거 툴 삽입구를 폐쇄시키기 위한 방향으로 상기 셔터 부재에 힘을 가하기 위한 힘 인가부; 및 외부 힘에 따라 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개방시키기 위한 방향으로 상기 힘 인가부에 저항하도록 상기 셔터 부재를 슬라이드 시키는 셔터 개폐 기구를 포함한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 셔터 개폐 기구는, 셔터 부재에 연결된 와이어, 및 외부 힘에 따라 상기 와이어를 당겨 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개방시키도록 상기 셔터 부재를 슬라이딩시키기 위한 동작 툴을 포함한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 셔터 부재는, 셔터 보디 개구 위에 위치 되고 상기 셔터 보디 개구를 개폐시키기 위해 수직 방향으로 회전한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 셔터 부재는, 기판 제거 툴 삽입구내로 삽입되는 기판 제거 툴에 의해 지지되고 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개방시키도록 상방으로 회전된다.
본 발명의 다른 관점에 의하면, 상기 기판 수납 트레이 팰릿, 기판 제거 툴, 및 이 기판 제거 툴이 위치되어 있는 기판 수납 트레이 팰릿 위치를 이동시키기 위한 이동부를 포함하는 기판 이송 시스템이 제공되며, 상기 시스템은, 상기 동작 툴과 접촉하고 있고, 상기 이동부가, 상기 기판 제거 툴이 배치되어 있는 위치로 기판 수납 트레이 팰릿을 이동시킬 때 상기 동작 툴을 푸쉬하고, 또한, 상기 셔터 부재가 슬라이딩하여 상기 기판 제거 툴 개구를 개방시키도록 상기 동작 툴을 푸쉬하는, 가압부를 포함한다.
본 발명에 다른 기판 수납 트레이 팰릿은, 기판 수납 트레이에 수납되어 있는 기판을 제거시키기 위해 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 개구를 포함한다. 이에 따라, 수직 적층된 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거시키기 위해, 기판 수납 트레이 팰릿으로부터 기판 수납 트레이를 떼어낼 필요가 없다. 이는 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하기 위한 동작 효율을 향상시킨다. 상기 기판 수납 트레이는 또한, 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 개구를 개폐시키기 위한 셔터부재를 포함한다. 이에 따라, 기판 수납 트레이의 운반 또는 이송시 기판 수납 트레이에 수납된 기판이 먼지에 의해 더럽혀지지 않게 될 수 있다.
따라서, 상기 본 발명은, (1) 효율적으로 하나의 기판을 각각 포함하는 다수 의 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거시키기 위해 바람직하게 사용되는 기판 수납 트레이 팰릿과; (2) 하나의 기판을 각각 포함하는 다수의 기판 수납 트레이가 수직으로 적층되고, 또한 운반 또는 이송시 기판 수납 트레이에 수납된 기판 수납 트레이의 오염을 방지하기 위한 기판 수납 트레이의 개구에 먼지가 먼지가 유입하는 것을 방지할 수 있는 기판 수납 트레이 팰릿; 및 효율적으로 수직 적층된 하나의 기판을 각각 포함하는 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거할 수 있는 기판 이송 시스템을 제공하는 이점이 있다.
이하. 본 발명의 상기 및 기타 특징은 첨부한 도면을 참조한 다음 설명으로부터 본 발명이 명백히 이해될 것이다.
이하, 본 발명의 실시예를 설명한다.
본 발명에 따른 기판 수납 트레이 팰릿은 기판의 운반 또는 이송을 위해 사용된다. 기판은, 예컨대, 액정표시장치 등의 표시패널용으로 사용되는 표시 유리 기판이다. 우선, 본 발명에 따른 기판 수납 트레이 팰릿에 의해 이송되는 기판 수납 트레이를 설명한다.
도1은 본 발명의 1 실시예에 따른 기판 수납 트레이(10)의 사시도이고; 도2는 기판 수납 트레이(10)의 평면도이며; 도3은 도1의 A-A선을 따라 취한 기판 수납 트레이(10)의 단면도이다. 상기 기판 수납 트레이(10)는 액정표시패널용으로 사용되는 유리 기판; 특히, 운반 또는 이송을 위해, 1.3m 이상의 측면 길이 및 0.7mm 이하의 두께를 갖는 유리 기판을 수납하기 위해 사용된다.
기판 수납 트레이(10)는 얇은 사각형 평행육면체로 되도록 발포 폴리에틸렌 수지 등으로 일체적으로 성형된다. 상기 기판 수납 트레이(10)는, 수평 상태로 그 위에 유리 기판(20)을 장착하기 위한 사각형 저부(11), 및 상방으로 돌출하고 상기 저부(11)의 전체 주변을 따라 제공되는 프레임(12)을 포함한다. 상기 저부(11)와 프레임(12)은 발포 폴리에틸렌 수지 등으로 일체적으로 성형될 수 있고, 상기 수지는 합성 수지 발포재 등이다. 상기 프레임(12)은, 유리 기판의 적어도 일부를 둘러싸도록 저부(11)의 주변을 따라 제공될 수 있다. 이 저부(11)는 금속 등으로 보강될 수도 있다.
상기 저부(11)는 유리 기판(20)보다 약간 큰 사각 형상을 갖고, 예컨대, 약 15mm의 두께를 갖는다. 상기 저부(11)의 상면에는 유리 기판(20)이 장착된다.
상기 저부(11)의 네 변을 따른 코너들 사이의 중간 위치 및 저부(11)의 코너들 근방에는 사각형 개구(11a)가 형성된다. 사각형 개구(11a)는, 저부(11)의 중앙에도 형성된다. 이에 따라, 저부(11)는, 3×3 매트릭스로 배열된 9개의 개구(11a)를 갖는다. 개구(11a)는 기판 제거 툴이 삽입될 수 있도록 저부(11)에 제공된다. 기판 제거 툴은 기판 수납 트레이(10)로부터 저부(11)에 장착된 유리 기판을 제거하기 위해 사용된다.
저부(11)의 전체 주변을 따라 프레임(12)이 제공되며, 이는 약 30mm의 폭을 갖는다. 이 프레임(12)은, 저부(11)의 상면 레벨보다 약 5mm 만큼 높은 레벨로 돌출한다. 프레임(12)은 유리 기판(20)의 에지로부터 수평 방향으로 적절한 거리로 저부(11)에 장착된 유리 기판(20)의 전체 주변을 둘러싸고 있다.
프레임(12)의 전체 주변을 따라 결합부(13)가 제공된다. 이 결합부(13)는 프레임(12)의 상면보다 높은 레벨로 돌출한다. 결합부(13)는, 예컨대, 약 30mm의 폭을 갖고 프레임(12)으로부터 외측으로 수평으로 돌출한다. 결합부(13)는 사각형 단면을 갖고, 척킹(chucking)을 위해 척 네일(chuck nail)과 맞물릴 수 있다. 척 네일은 기판 수납 트레이(10)를 소정 위치로 이송하기 위해 사용된다.
결합부(13)의 상면은 프레임(12)의 상면 위 및 외측에 수평상태로 있다. 프레임(12)은 결합부(13)의 상면과 프레임(12)의 상면 사이에 제공된 스텝부를 갖는다. 상기 스텝부는 프레임(12)의 상면에 대해 수직하며, 프레임(12)의 전체 주변을 따라 위치결정부(14)를 형성한다.
상기 구조를 갖는 기판 수납 트레이(10)에 있어서, 유리 기판(20)(예컨대, 0.7mm 이하의 두께를 갖는 액정패널용의 유리 기판)이, 개구(11a)를 갖는 저부(11)의 상면에 장착된다. 전극 등을 갖지 않는 액정패널용의 유리 기판(20)의 표면은 저부(11)의 상면과 접촉하고 있다. 저부(11)는 수납될 유리 기판(20)보다 약간 크기 때문에, 유리 기판(20)이 프레임(12)의 에지로부터 적절한 거리로 저부(11)에 장착된다.
도4에 도시된 바와 같이, 각각 유리 기판(20)을 수납하는 복수의 기판 수납 트레이(10)는 수직으로 적층될 수 있고, 이 상태로 전송되거나 이송된다. 상위 기판 수납 트레이(10)의 프레임(12)의 저부(11)의 하단은 하위 기판 수납 트레이(10)의 위치설정부(14)와 결합된다. 위치설정부(14)는 하위 기판 수납 트레이(10)의 결합부(13)의 상면과, 프레임(12)의 상면 사이의 스텝이다. 수직으로 적층된 기판 수 납 트레이(10)는 서로에 대해 수평 방향으로 미끄러지지 않는다.
예를 들어, 각각 유리 기판(20)을 수납하는 복수의(예를 들어, 약 60) 기판 수납 트레이(10)는 수직으로 적층되고 전송되거나 이송될 수 있다. 최상위 기판 수납 트레이(10)의 저부(11)의 하단은 아래의 기판 수납 트레이(10)의 상단에 제공된 위치설정부(14)와 결합된다. 따라서, 최상위 기판 수납 트레이(10)의 프레임(12)의 상부에 제공된 결합부(13)와 아래의 기판 수납 트레이(10)의 프레임(12)의 상부에 제공된 결합부(13) 사이에 적절한 공간이 존재한다.
본 발명에 따른 기판 수납 트레이 팰릿은 상술한 구조를 갖는 기판 수납 트레이를 전송하는데 사용될 수 있다.
도5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 수용 트레이 팰릿의 평면도이다. 도6은 그의 정면도이고, 도7은 기판 수납 트레이 팰릿의 동작을 도시하는 평면도이다.
본 발명의 기판 수납 트레이 팰릿(A)은 평면 팰릿 보디(70) 및 상기 팰릿 보디(70)에 제공된 셔터 보디(80)를 포함한다.
셔터 보디(80)는 프레임(82)을 포함한다. 프레임(82)은 상술한 기판 수납 트레이(10)에 제공된 프레임(12)과 유사한 구조를 갖는다. 기판 수납 트레이(10)의 프레임(12)의 하단은 그 사이에 결정된 위치적 관계를 갖는 프레임(82)상에 적층된다.
프레임(82)은 직각 모양을 갖고 한 쌍의 보강 프레임(83)에 의해 3개 영역으로 동등하게 분할된다. 보강 프레임(83)에 의해 분할된 프레임(82)의 영역은 각각 제1, 제2 및 제3 플레이트(81x, 81y, 81z)를 포함한다. 플레이트(81x내지 81z)는 프레임(82)의 전 영역을 커버한다. 플레이트(81x내지 81z)의 주변부는 플레이트(81x내지 81z)를 둘러싸는 프레임(82)과 보강 프레임(83)에 일체로 부착된다.
도7에 도시된 바와 같이, 플레이트(81x내지 81z)는 각각 세로 방향의 중간 위치에 셔터 보디 개구(81b) 및 세로 방향의 단부에 셔터 보디 개구(81c)를 포함한다. 기판 수납 트레이(10)가 셔터 보디(80)에 설치될 때, 셔터 보디 개구(81b, 81c)는 각각 기판 수납 트레이(10)의 저부 상에 개구(11a)에 반대방향으로 정렬된다. 프레임(82)의 양측에 위치된 제1플레이트(81x) 및 제3플레이트(81z)에 제공된 3개의 셔터 보디 개구(81b, 81c)는 프레임(82)의 측면을 따라 제공된다. 프레임(82)의 중심에 위치한 제2플레이트(81y)에 제공된 3개의 셔터 보디 개구(81b, 81c)는 너비 방향으로 제2플레이트(81y)의 중심부를 따라 위치된다.
플레이트(81x내지 81z)의 단부상의 셔터 보디 개구(81c)의 각각은 정사각형을 가지므로, 기판 제거 툴(34)(도7 참조)은 셔터 보디 개구(81c)의 각각에 삽입될 수 있다. 플레이트(81x내지 81z)의 중심부에 제공된 셔터 보디 개구(81b)는 직사각형을 가지므로, 한 쌍의 기판 제거 툴(34)이 셔터 보디 개구(81b)의 각각에 삽입될 수 있다. 셔터 보디 개구(81b)의 더 긴 쪽은 플레이트(81x내지 81z)의 세로 방향을 따라 연장한다. 상기 플레이트(81x내지 81z)의 각각 위의 3개의 셔터 보디 개구(81b, 81c)는 각각 제1, 제2 및 제3셔터 부재(84x내지 84z)에 의해 개폐된다.
셔터 부재(84x내지 84z)의 각각은 직사각형 및 플레이트(81x내지 81z) 보다 약간 짧은 길이를 가지므로, 플레이트(81x내지 81z)의 단부 상의 셔터 보디 개구(81c)는 셔터 부재(84x내지 84z)의 단부에 의해 커버될 수 있다. 가이드 레일(85) 은 셔터 부재(84x내지 84z)의 세로 방향에 대해 직교하는 방향을 따라 플레이트(81x내지 81z)의 양쪽 단의 개구(81c) 바깥에 제공된다. 상기 셔터 부재(84)의 각각의 양측은 슬라이딩될 수 있도록 가이드 레일에 각각 결합된다.
프레임(82)의 양측의 제1 및 제3플레이트에 제공된 가이드 레일(85)은 프레임(82)의 중심부에서 제2플레이트(81y)를 향해 셔터 보디 개구(81c)의 외측으로부터 각각 연장된다. 플레이트(81x, 81z)상의 제1 및 제3셔터 부재(84x, 84z)는 제1 및 제3플레이트(81x, 84z)상의 3개의 셔터 보디 개구(81b, 81c)를 폐쇄하도록 프레임(82)의 양측에 위치된다. 상기 위치로부터, 셔터 부재(84x내지 84z)는 중심 제2플레이트(81y)를 향해 서로에 대해 반대 방향으로 가이드 레일(85)을 따라 슬라이딩한다. 따라서, 제1 및 제3플레이트(81x, 81z)상의 3개의 셔터 보디 개구(81b, 81c)는 각각 개방된다.
프레임(82)의 중심부상의 제2플레이트(81y)의 가이드 레일(85)은 제3플레이트(81z)의 양쪽 단상의 셔터 보디 개구(81c)에 대응하여 제공되어, 플레이트(81y)상의 제2셔터 부재(84y)가 셔터 보디 개구(81b, 81c)를 모두 개폐하기 위해 제3플레이트(81z)상의 제3셔터 부재(84z)와 동일한 방향으로 슬라이딩할 수 있다.
제1내지 제3플레이트(81x내지 81z)는 세로 방향으로 플레이트(81x내지 81z)를 분할하기 위해 2개의 위치에 있는 슬라이드 레일(86)을 포함한다. 슬라이드 레일은 가이드 레일(85)과 평행하다. 슬라이더(도시되지 않음)는 플레이트(81x내지 81z)상의 셔터 부재(84x내지 84z)의 저면에 부착된다. 슬라이더는 슬라이딩을 위해 슬라이드 레일(86)과 결합된다.
한 쌍의 인장 스프링(88)은 셔터 보디 개구(81b, 81c)를 모두 폐쇄하기 위한 방향으로 제1 및 제3플레이트(81x, 81z)상의 제1 및 제3셔터 부재(84x, 84z)를 풀링한다. 인장 스프링(88)은 각각 슬라이드 레일(86) 주변에서, 셔터 부재(84x내지 84z)와 상기 셔터 부재(84x내지 84z)에 근접한 프레임(82) 사이의 갭을 브리지한다. 중심 제2플레이트(81y)상의 제2셔터 부재(84y)와 상기 제2셔터 부재(84)와 동일한 방향으로 슬라이딩하는 제3플레이트(81z)상의 셔터 부재(84z)는 접속 와이어(87a)에 의해 접속된다. 제2셔터 부재(84y) 및 제3셔터 부재(84z)는 일체적 방식으로 슬라이딩한다. 중심 제2셔터 부재(84y)는 접속 와이어(87a)에 의해 접속된 제3셔터 부재(84z)를 한 쌍의 인장 스프링(88)으로 풀링함으로써 풀링된다. 따라서, 중심 제2플레이트(81y)상의 모든 셔터 보디 개구(81b, 81c)는 폐쇄된다.
제1플레이트(81x)상의 제1셔터 부재(84x)는 제1풀링 와이어(87b)에 의해 제1플레이트(81x)상의 모든 셔터 보디 개구(81b, 81c)를 개방한다. 제1풀링 와이어(87b)는 중심 제2플레이트(81y)에 제공된 제1슬리브(87d)를 통과한다. 제1슬리브(87d)는 제2플레이트(81y)의 가이드 레일(85) 중 하나의 외측, 제1플레이트(81x)상의 가이드 레일(85)의 외측 및 상기 제1플레이트(81x)에 근접한 프레임(82)의 세로측을 따라 연장한다. 제1풀링 와이어(87b)의 한쪽 단은 슬라이딩 로드(87f)의 베이스부에 연결된 제1슬리브(87d)를 통과한다. 슬라이딩 로드(87f)는 슬라이딩할 수 있도록 프레임(82)의 세로 방향을 따라 위치된다.
제2풀링 와이어(87c)의 한쪽 단은 중심 제2플레이트(81y)상의 제2셔터 부재(84y)에 연결된다. 제2풀링 와이어(87c)는 중심 제2플레이트(81)상의 모든 셔터 보 디 개구(81b, 81c)를 개방하기 위해 제2셔터 부재(84y)를 풀링한다. 제2풀링 와이어(87c)는 제1플레이트(81x)상에 제공된 제2슬리브(87c)를 통과한다. 제2슬리브(87e)는 제1슬리브(87d)와 함께, 상기 제1슬리브(87d)가 연장하는 것과 동일한 가이드 레일인, 제1플레이트(81x)의 하나의 가이드 레일(85)의 외측 및 제1슬리브(87d)와 함께 제1플레이트(81x)에 근접한 프레임(82)의 세로측을 따라 연장한다. 제2풀링 와이어(87c)의 한쪽 단은 제1풀링 와이어(87b)와 함께 슬라이딩 로드(87f)의 베이스부에 연결되는 제2슬리브(87)를 통과한다. 슬라이딩 로드(87e)는 슬라이딩할 수 있도록 프레임(82)의 세로 방향을 따라 위치된다.
제1풀링 와이어(87b)에 연결된 제1셔터 부재(84x)가 상기 제1셔터 부재(84x)를 풀링하는 인장 스프링(88)으로 제1플레이트(81x)상의 모든 셔터 보디 개구(81b, 81c)를 폐쇄하고, 제2풀링 와이어(87c)에 연결된 중심 제2셔터 부재(84y)는 제3셔터 부재(84z)를 풀링하는 인장 스프링으로 중심 제2플레이트(81y)상의 모든 셔터 보디 개구(81b, 81c)를 폐쇄할 때, 슬라이딩 로드(87f)는 제1 및 제2풀링 와이어(87b, 87c)에 의해 풀링되고 세로 방향을 따라 프레임(82)으로부터 돌출한다.
외부 힘이 슬라이딩 로드(87f)에 인가될 때, 슬라이딩 로드(87f)는 프레임(82)으로부터 돌출되지 않도록 세로 방향을 따라 슬라이딩한다. 따라서, 제1 및 제2풀링 와이어(87b, 87c)는 풀링된다. 제1플레이트(81x)상의 제1셔터 부재(84x)와 중심 제2플레이트(81y)상의 제2셔터 부재(84y)는 제1플레이트(81x)와 제2플레이트(81y)상의 모든 셔터 보디 개구(81b, 81c)를 개방하기 위해 슬라이딩한다.
중심 제2셔터 부재(84y)가 제2풀링 와이어(87b)에 의해 풀링될 때, 연결 와 이어(87c)를 갖는 제2셔터 부재(84y)에 연결된 제3셔터 부재(84z)는 제3플레이트(81z)의 모든 셔터 보디 개구(81b, 81c)를 개방하기 위해 제2셔터 부재(84y)와 일체로 슬라이딩한다. 슬라이딩 로드(87f)는 슬라이딩 부재(84x내지 84z)를 슬라이딩하는 동작 수단이다. 슬라이딩 로드(87f) 등에 의해 풀링된 제1 및 제2풀링 와이어(87b, 87c)는 셔터 개폐 메커니즘의 일부이다.
셔터 보디(80)는 팰릿 보디(70) 위에 제공된다. 팰릿 보디(70)는 셔터 보디(80)의 제1내지 제3플레이트(81x)상의 모든 셔터 보디 개구(81b, 81c)에 대응하는 팰릿 보디 개구(71)(도6을 참조)를 포함한다. 팰릿 보디 개구(71)는 수직 방향으로 팰릿 보디(70)를 관통한다. 상술한 기판 제거 툴(34)은 각각 팰릿 보디 개구(71)에 삽입된다. 팰릿 보디 개구(71) 및 상술한 셔터 보디 개구(81b, 81c)는 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 개구를 형성한다. 기판 제거 툴(34)은 개구에 삽입된다. 팰릿 보디(70)는 측면의 각각에 측면 개구(72)를 포함한다. 포크리프트(forklift)의 포크는 측면 개구(72)에 삽입된다.
상술한 구조를 갖는 기판 수납 트레이 팰릿(A)은 각각 수직으로 적층된 유리 기판(20)을 수납하는 복수의(예를 들어, 60) 기판 수납 트레이(10)를 전송 또는 이송하는데 사용될 수 있다.
각각 유리 기판(20)을 수납하는 60개의 기판 수납 트레이(10)는 수직으로 적층되고 기판 수납 트레이 팰릿(A)의 셔터 보디(80)에 설치된다. 최저 기판 수납 트레이(10)의 위치적 관계는 셔터 보디(80)의 프레임(82)에 의해 결정되고, 서로에 대해 수평 방향으로 미끄러지지 않는다. 그러한 경우에, 기판 수납 트레이 팰릿 (10)의 셔터 보디(80)의 모든 셔터 보디 개구(81b, 81c)는 셔터 부재(84x내지 84z)에 의해 폐쇄된다.
수직으로 적층된 60개의 기판 수납 트레이(10)가 기판 수납 트레이 팰릿(A)상에 설치될 때, 기판 수납 트레이 팰릿(A)은 예를 들어, 포크리프트에 의해 트럭의 캐리어로 이송될 수 있다. 그러한 경우에, 기판 수납 트레이 팰릿(10)의 셔터 보디(80)의 모든 셔터 보디 개구(81b, 81c)가 폐쇄되기 때문에, 최저 기판 수납 트레이(10)의 개구(11a)는 실질적으로 시일된 방식으로 셔터 보디(80)에 의해 커버된다. 따라서, 상기 개구(11a)를 통해 최저 기판 수납 트레이(10)에 먼지가 들어가는 것을 방지할 수 있다.
실질적으로 밀봉된 방식으로 기판 수납 트레이(10)의 상면에 개구부를 커버하는 리드(lid)는 최상위 기판 수납 트레이(10)에 부착된다. 그러한 리드는 상면으로부터 최상위 기판 수납 트레이(10)에 먼지가 들어가는 것을 방지한다. 수직으로 적응된 기판 수납 트레이(10)는 실질적으로 시일된 방식으로 상위 기판 수납 트레이(10)에 의해 커버된 상면을 갖고, 실질적으로 시일된 방식으로 하위 기판 수납 트레이(10)에 의해 커버된 개구를 갖는다. 따라서, 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 유리 기판(20)은 먼지 등에 의해 오염되는 것이 방지될 수 있다.
그러한 방법으로, 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)는 예를 들어, 액정표시장치의 제조 공장에 트럭에 의해 전송하기 위한 기판 수납 트레이 팰릿(A)에 설치된다.
액정표시장치 등의 제조 공장에서, 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)를 포함하는 기판 수납 트레이 팰릿(A)은 제조 공장으로 운반되고, 제조 공장의 기판 이송 시스템으로 이송된다.
도8은 기판 이송 시스템의 구조를 도시하는 개략적인 평면도이고, 도9는 그의 정면도이다. 기판 이송 시스템(30)은 지지 베이스(31)를 포함한다. 지지 베이스(31)에서, 각각 핀 모양을 갖는 12개의 기판 제거 툴(34)은 수직으로 위치된다. 승강 테이블(33)은 상하로 이동될 수 있도록 지지 베이스(31)에서 수평 상태로 제공된다. 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)를 포함하는 기판 수납 트레이 팰릿(A)은 승강 테이블(33)에 설치된다. 기판 제거 툴(34)은 수직 방향으로 승강 테이블(33)을 관통할 수 있다.
지지 베이스(31)상에, 트레이 지지 유닛(32)이 제공된다. 트레이 지지 유닛(32)은 승강 테이블(33)에 설치된 기판 수납 트레이 팰릿(A)의 복수의 수직 적층된 기판 수납 트레이(10)를 지지한다.
지지 베이스(31)의 측면에, 롤러 컨베이어(40)가 제공된다. 롤러 컨베이어(40)는 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)를 포함하는 기판 수납 트레이 팰릿(A)을 지지 베이스(31)의 승강 테이블(33)로 이동시킨다. 롤러 컨베이어(40)의 이송 영역은 기판 제거 툴(34)의 상방으로 이동된 승강 테이블(33)의 상면과 동일한 레벨에 있다.
승강 테이블(33)은 가압 플레이트(38)를 포함한다. 가압 플레이트(38)는 승강 테이블(33)로 운반되고 슬라이딩 로드(87f)를 압축하는 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)를 포함하는 기판 수납 트레이 팰릿(A)의 슬라이딩 로드(87f)에 인 접한다. 가압 플레이트(38)는 롤러 컨베이어(40)에 반대측에 위치된다. 기판 수납 트레이 팰릿(A)이 승강 테이블(33)에 운반될 때, 기판 수납 트레이 팰릿(A)의 슬라이딩 로드(87f)는 가압 플레이트(38)에 의해 압축되고, 기판 수납 트레이 팰릿(A)의 프레임 부재(82)로부터 돌출하지 않는 위치로 슬라이딩한다. 따라서, 기판 수납 트레이 팰릿(A)의 셔터 보디(80)의 셔터 부재(84x내지 84z)는 모든 셔버 보디 개구(81b, 81c)를 개방하도록 슬라이딩한다.
트레이 지지 유닛(32)은 서로 대향하는 한 쌍의 트레이측 지지부(32a)를 포함한다. 상기 트레이측 지지 유닛(32a)은 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)의 반대측을 지지하도록 제공된다.
각각의 트레이측 지지부(32a)는 기판 수납 트레이(10)의 각각의 측면을 따라 수평으로 제공된 긴 플레이트형 지지구(32b) 및 동일한 간격으로 지지구(32b)에 제공된 3개의 트레이측 결합 부재(32c)를 포함한다. 지지구(32b)가 트레이 지지 유닛(32)에 의해 수용된 기판 수납 트레이(10)에 더 근접하거나 더 멀어지게 이동하도록, 지지구(32b)는 지지 베이스(31)의 상면에 제공된 한 쌍의 슬라이드 가이드(32d)를 따라 슬라이딩될 수 있다. 상기와 같은 지지구(32b)의 이동은 트레이측 결합 부재(32c)의 각각에 대해 지지 베이스(31)의 상면에 제공된 유압 실린더(32e)에 의해 구동된다.
일 지지구(32b)상에 제공된 3개의 트레이측 결합부재(32c)와 타 지지구(32b)상에 제공된 3개의 트레이측 결합부재(32c) 각각은 서로 대향하고 있다. 반대측 트레이측 결합부재(32c)와 대향하는 각 트레이측 결합부재(32c)의 표면상에, 복수의 결합 클로우(claw)가 제공된다. 상기 복수의 결합 클로우(32f)는 수직으로 배치되고, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이(10)의 결합부(13)와 각각 결합된다.
일 트레이 지지부(32a)의 유압 실린더(32e)는 타 트레이 지지부(32a)의 유압 실린더(32e)와 동기하여 구동된다. 이에 따라, 상기 쌍의 지지구(32b)는 서로 동기하여 기판 수납 트레이(10)로 더 가까이 또는 더 멀리 이동한다. 상기 쌍의 지지구(32b)상에 제공되는, 상기 트레이측 결합부재(32c)도 서로 동기하여 기판 수납 트레이(10)로 더 가까이 또는 더 멀리 이동한다. 트레이측 결합부재(32c)가 기판 수납 트레이(10)로 접근할 때, 상기 트레이측 결합부재(32c)상에 제공된 결합 클로우(32f)는 기판 수납 트레이(10)의 결합부(13)와 결합된다. 상기 결합에 의해, 기판 수납 트레이(10)는 수평으로 지지된다.
지지 베이스(31)에 제공되는 승강 테이블(33)은 사각 프레임(33b)과, 격자 형태로 배치된 한 쌍의 바아(33c) 및 한 쌍의 바아(33d)를 포함한다. 상기 쌍의 바아(33c)는 지지구(32b)와 실질적으로 평행하게 연장되고, 상기 쌍의 바아(33d)는 상기 쌍의 바아(33c)와 실질적으로 수직으로 교차한다. 상기 바아(33d)는 그 양단에 지지 아암(33e)에 의해 지지된다. 상기 지지 아암(33e)은 승강 유닛(35)에 연결된다.
상기 지지 베이스(31) 내부에, 복수의(본 예에서는 12) 기판 제거 툴(34)은 기판 수납 트레이 팰릿A의 모든 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 개구에 따라 배치된다. 각 기판 제거 툴은, 승강 테이블(33)상에 장착된 기판 수납 트레이 팰릿A상에 있는 기판 수납 트레이(10)의 개구(11a)를 관통하도록 수직으로 제공되어 있다.
승강 테이블(33)을 상승 및 하강 시키기 위한 승강 유닛(35)이 제공된다. 승강 테이블(33)의 복수 지지 아암(33e)을 일체적으로 상승 및 하강 시키기 위해, 상기 승강 유닛(35)은 승강부(33f)를 이용한다. 승강부(33f)는 볼 스크류 기구를 포함한다. 구체적으로, 승강 테이블(33)의 복수 지지 아암(33e)을 일체적으로 상승 및 하강시키기 위해, 승강 유닛(35)은 승강부(33f)를 이용한다. 상기 볼 스크류 기구는 통상적인 타입이다; 즉, 볼 스크류와 결합된 슬라이드 블록 및 볼 스크류를 포함한다. 상기 볼 스크류가 전방으로 회전하면, 상기 승강 테이블(33)은 올라가고; 볼 스크류가 역방향으로 회전할 경우, 승강 테이블(33)은 내려간다. 승강 유닛(35)은 구동 모터(35a) 및 감속기(35b)를 포함한다. 상기 구동 모터(35a)의 회전은 감속기(35b)를 통해 볼 스크류 기구로 이송된다.
상기 구조를 갖는 기판 이송 시스템(30)의 동작은 다음과 같다. 상기 지지 베이스(31)에 있어서 승강 테이블(33)은 최고점까지 올라간다. 모든 기판 제거 툴(34)은 승강 테이블(33) 아래에 위치해 있다. 이는 팰릿을 이송하는 상태이다. 이 위치에서는, 상기 트레이 지지부(32a)의 지지구(32b)는 서로 접촉하지 않도록 위치해 있다. 각 지지구(32b)상의 3개의 트레이 슬라이드 결합부재(32c)도 서로 접촉하지 않도록 위치해 있다. 다음, 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)를 포함하는 기판 수납 트레이 팰릿A은 롤러 컨베이어(40)로 이송된다. 슬라이딩 로드가 롤러 컨베이어(40)에 의해 이송 방향에 있어서 하류에 위치하고, 이송되도록, 상기 롤러 컨베이어(40)상에 위치해 있다. 상기 지지 베이스(31)상의 승강 테이블(33)에, 롤러 컨베이어(40)에 의해 이송될 기판 수납 트레이 팰릿A이 장착되어 있다.
상기 승강 테이블(33)상에 기판 수납 트레이 팰릿A이 장착될 경우, 롤러 컨베이어(40)의 반대측상에 위치한 가압 플레이트(38)에 기판 수납 트레이 팰릿A의 슬라이딩 로드(87f)가 인접한다. 상기 슬라이딩 로드(87f)는 가압 플레이트(38)에 의해 푸쉬되어, 상기 기판 수납 트레이 팰릿A으로부터 돌출되지 않도록 미끄러진다. 슬라이딩 로드(87f)에 부착된 제1 및 제2 풀링 와이어(87b,87c)는 일체적으로 풀링된다. 이에 따라, 기판 수납 트레이 팰릿A의 셔터 보디(80)상에 제1 내지 제3 셔터 플레이트(84x~84z)는 제1 내지 제3 플레이트(81x~81z)의 모든 셔터 보디 개구(81b,81c)를 오픈한다.
도11에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 트레이 팰릿A의 셔터 보디(80)상에 모든 셔터 보디 개구(81b,81c)가 오픈될 경우, 승강 테이블(33)의 높이는, 최저 기판 수납 트레이(10)을 제외하고, 기판 수납 트레이(10)가 트레이측 결합부재(32c)상에 제공된 결합 클로우(32f)와 결합되도록 조절된다. 환언하면, 최저 기판 수납 트레이(10)는 결합 클로우(32f)와 결합되어 있지 않다. 이에 따라 승강 테이블(33)의 높이가 조절될 경우, 지지 베이스(31)의 상면상에 유압 실린더(32e)가 서로 동기하여 구동되어, 각 트레이 지지부(32a)상의 3개의 트레이측 결합부재(32c)들은 서로 근접한다.
이에 따라, 도12에 나타낸 바와 같이, 상기 기판 수납 트레이(10)는, 최저 기판 수납 트레이(10)를 제외하고, 결합부를 통해 결합 클로우(32f)와 결합된다. 최저 기판 수납 트레이(10)를 제외하고, 기판 수납 트레이(10)는 트레이 지지 유닛(32)에 의해 지지된다. 트레이 지지 유닛(32)에 의해 지지되지 않고, 승강 테이블 (33)상의 기판 수납 트레이 팰릿A 상에, 최저 기판 수납 트레이(10)가 잔류한다.
다음, 도13에 나타낸 바와 같이, 상기 승강 테이블(33)은 승강 유닛(35)에 의해 하강한다. 최저 기판 수납 트레이(10) 및 승강 테이블(33)상에 장착된 기판 수납 트레이 팰릿A도 하강한다. 승강 테이블(33)이 하강할 동안, 지지 베이스(31) 내부에 제공된 기판 제거 툴(34)은, 최저 기판 수납 트레이(10)의 하부(11)의 개구로 삽입되고 오픈된, 승강 테이블(33)상에 장착된 기판 수납 트레이 팰릿A의 기판 제거 툴의 삽입을 위한 개구 및 승강 테이블(33)을 관통한다.
승강 테이블(33)이 더 하강하면, 도14에 나타낸 바와 같이, 각 기판 제거 툴(34)의 상단은, 승강 테이블(33)상의 기판 수납 트레이 팰릿A 상에 장착된 최저 기판 수납 트레이(10)에 수납된 상기 유리 기판(20)의 저면과 접촉한다. 다음, 상기 유리 기판(20)은 기판 제거 툴(34)에 의해 지지되는 동안 최저 기판 수납 트레이(10)에 비해 상대적으로 상승된다. 즉, 각 기판 제거 툴(34)의 상단은 최저 기판 수납 트레이(10) 위에 있다.(상기 기판 제거 툴(34)은 기판 수납 트레이(10)에 비해 상대적으로 상승된다). 상기 유리 기판(20)이, 최저 기판 수납 트레이(10) 위로 완전히 올려질 경우, 기판 제거 툴(34)에 의해 지지되는 동시에, 소정의 높이에서 수평으로 지지된다.
상기 유리 기판(20)이 상기 상태가 될 경우, 승강 테이블(33)은 정지된다. 다음, 상기 유리 기판(20)은 기판 제거 툴(34)로부터 풀려져, 이송부재에 의해 소정 위치로 이송된다.
상기 이송부재로서, 예컨대, 일본 공개 공보 No.2001-93969에 기술된 바와 같이, 흡수 핸드가 사용된다. 상기 흡수 핸드는 동일한 높이에서 서로 평행하게 제공되는 한 쌍의 흡수 패드를 포함한다. 각 흡수 패드는 평탄 플레이트 형이고, 약 20mm의 두께를 갖는다. 상기 흡수 패드는 유리 기판(20)의 저면을 진공흡수할 수 있다. 상기 흡수 핸드는 다음과 같이 동작한다. 각 흡수 패드는, 유리 기판(20) 아래의 위치로 삽입되는데, 이는 기판 제거 툴(34)에 의해 수평 상태로 지지 및 상승되고; 위로 미끄러진다. 상기 유리 기판(20)은, 이에 따라 흡수 핸드상에 놓여질 경우, 흡수 핸드에 진공 흡수된다. 다음, 유리 기판(20)은 소정 위치로 이송된다.
기판 제거 툴(34)에 의해 지지되는 유리 기판(20)이 상기와 같이 제거될 경우, 상기 승강 테이블(33)은 승강 유닛(35)에 의해 상승된다. 이에 따라, 유리 기판(20)이 제거되는, 최저 기판 수납 트레이(10)는 기판 수납 트레이 팰릿A 상에 장착되고 승강 테이블(33)과 함께 상승한다. 도15에 나타낸 바와 같이, 최저 기판 수납 트레이(10)는, 제2 최저 기판 수납 트레이(10)(즉, 트레이 지지 유닛(32)에 의해 지지되는 복수의 기판 수납 트레이(10) 중 최저 기판 수납 트레이(10))와 접촉한다. 다음, 승강 테이블(33)의 상방으로 이동한다. 다음, 승강 테이블(33)의 상방 이동은 정지된다.
도16에 나타낸 바와 같이, 상기 지지구(32b)는 유압 실린더(33e)에 의해 구동되어 서로 멀어진다. 이에 따라, 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)의 결합부(13)는 트레이 지지부(32a)의 트레이측 결합부재(32c)와의 결합으로부터 풀려져, 승강 테이블(33)의 기판 수납 트레이 팰릿A 상에 장착된 기판 수납 트레이(10)를 리셋한다. 최저 기판 기판 수납 트레이(10)는 유리 기판(20)을 수납하지 않는다. 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)의 상기한 수는 승강 테이블(33)의 기판 수납 트레이 팰릿A에 의존한다.
도17에 나타낸 바와 같이, 상기 승강 테이블(33)은 일 기판 수납 트레이(10)에 따른 거리만큼 하강한다. 제2 최저 기판 수납 트레이(10)(즉, 각각이 유리 기판(20)을 수납하는 복수의 기판 수납 트레이들(10)중 최저 기판 수납 트레이) 및 유리 기판(20)이 없는 최저 기판 수납 트레이(10)를 제외하고, 기판 수납 트레이(10)가 결합 클로우(32f)와 결합하도록 승강 테이블(33)의 높이는 조절된다. 상기 승강 테이블(33)의 높이가 상기와 같이 조절될 때, 유압 실린더(32e)는 서로 동기하여 구동되어, 트레이 지지부(32a)는 서로 근접한다.
이에 따라, 도18에 나타낸 바와 같이, 제2 최저 기판 수납 트레이(10) 및 유리 기판(20)이 없는 최저 기판 수납 트레이(10)를 제외하고, 상기 기판 수납 트레이(10)는 각 트레이 지지부(32a) 상에 제공되는 3개의 트레이측 결합부재(32c)의 대응되는 결합 클로우(32f)와 결합된다. 최저 및 제2 최저 기판 수납 트레이(10)를 제외하고, 기판 수납 트레이(10)는 트레이 지지 유닛(32)에 의해 지지된다. 트레이 지지 유닛(32)에 의해 지지됨이 없이 승강 테이블(33)상의 기판 수납 트레이 팰릿A상에, 최저 및 제2 최저 기판 수납 트레이(10)가 잔존한다.
다음, 승강 테이블(33)은 승강 유닛(35)에 의해 하강한다. 승강 테이블(33) 상의 기판 수납 트레이 팰릿A 상에 최저 및 제2 최저 기판 수납 트레이(10)도 하강한다. 승강 테이블(33)이 하강하는 동안, 지지 베이스(31)의 내부에 제공되는 기판 제거 툴(34)은 승강 테이블(33) 및 기판 수납 트레이 팰릿A을 관통하고, 최저 및 제2 최저 기판 수납 트레이(10)의 개구들(11a)로 순차적으로 삽입된다.
승강 테이블(33)이, 도19에 나타낸 바와 같이, 더 하강할 경우, 각 기판 제거 툴(34)의 상단은 제2 최저 기판 수납 트레이(10)에 수납된 유리 기판(20)의 저면과 접촉한다. 다음, 기판 제거 툴(34)에 의해 지지되는 동안 상기 유리 기판(20)은 제2 최저 기판 수납 트레이(10)에 비해 상대적으로 상승된다. 상기 유리 기판(20)은, 제2 최저 기판 수납 트레이(10) 위로 완전히 상승될 때, 기판 제거 툴(34)에 의해 지지되는 동안 소정의 높이에서 수평으로 지지된다.
상기 유리 기판(20)이 이 상태로 되면, 승강 테이블(33)은 정지된다. 다음, 유리 기판(20)은 기판 제거 툴(34)로부터 풀려져, 예컨대, 흡수 핸드와 같은 이송부재에 의해 소정의 위치로 이송된다.
유리 기판(20)이 상기대로 제거될 경우, 유기 기판(20)이 제거된, 최저 및 제2 최저 기판 수납 트레이(10)는 승강 테이블(33) 상의 기판 수납 트레이 팰릿A상에 잔존한다.
상기 동작을 반복함으로써, 트레이 지지 유닛(32)에 의해 지지되는 최저 기판 수납 트레이(10)는 승강 테이블(33)상의 기판 수납 트레이 팰릿A 위의 기판 수납 트레이(10)상에 순차적으로 놓여진다. 승강 테이블(33)이 하강함으로써, 테이블부(33a)상에 놓여진 기판 수납 트레이(10)에 수납된 유리 기판(20)은 기판 제거 툴(34)에 의해 수평으로 지지되는 동안 기판 수납 트레이(10)로부터 제거된다. 제거된 유리 기판(10)은 그 후, 이송된다.
그 결과, 도20에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(20)이 없는 복수의 기판 수납 트레이(10)는 승강 테이블(33) 상의 기판 수납 트레이 팰릿A 상에 잔존한다. 수직으로 적층된 이들 기판 수납 트레이들(10)은 승강 테이블(33) 상의 기판 수납 트레이 팰릿A으로부터 이송된다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송 시스템(30)은, 높은 효율로써, 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)로부터 유리 기판(20)을 제거할 수 있다. 기판 수납 트레이(10)는 유리 기판(20)을 제거하기 위해 상하로 이동하기 때문에, 기판 이송 장치(30)의 평면 사이즈는 상대적으로 작고, 기판 이송 장치(30)의 구조는 상대적으로 간단하다.
상기 기판 이송 시스템(30)은, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이(10)의 각각에 있어서, 유리 기판(20)을 위치시키는 데에도 사용된다. 이러한 목적에 있어서, 기판 이송 시스템(30)은 상기 프로세스와 반대로 동작한다.
상기 실시예에 있어서, 기판 수납 트레이 팰릿A의 셔터 보디(80)에 제공되는 셔터 부재(84x~84z)는 각 플레이트(81x~81z)에 따라 미끄러진다. 그러나, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도21에 나타낸 바와 같이, 셔터 부재(84x~84z)는, 수직 방향으로 회전될 수 있도록, 플레이트(81x~81z)의 각 상면에 부착될 수 있다. 이러한 경우, 셔터 보디 개구(81b,81c)를 차폐하도록 코일 스프링(84a)에 의해 셔터 부재(84x~84z)로 힘이 가해진다. 상기 구조에 있어서, 기판 제거 툴(34)은 셔터 보디 개구(81b,81c)로 상방으로 삽입된다. 상기 셔터 부재(84x~84z)는 기판 제거 툴(34)에 의해 지지되는 동안 상방으로 회전한다. 이에 따라, 셔터 보디 개구(81b,81c)는 오픈된다.
기판 수납 트레이(10)에 수납되는 기판은 디스플레를 위한 유리 기판에 한정되지 않고, 반도체 기판 등의 기판일 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판 수납 트레이로부터 다양한 타입의 기판을 제거하는데 있어서의 동작 효율은 향상될 수 있다. 또한, 기판 수납 트레이를 이송하는 동안 기판의 오염을 방지할 수 있다.
본 발명의 정신과 영역에서 벗어나지 않는 범위 내에서 당업자라면 다양한 변경 및 제조가 가능하다. 따라서, 첨부되는 청구항의 범위는 기술한 문언에만 한정되지 않고 넓게 해석되어야 한다.

Claims (10)

  1. 수평 상태로 기판을 갖고, 기판을 들어올리기 위해 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 개구를 포함하고, 수직으로 적층될 수 있는 기판 수납 트레이를 이송하기 위해 사용되는 기판 수납 트레이 팰릿으로서,
    상기 기판 수납 트레이는 상면에 장착되도록 되어 있고,
    상기 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 기판 제거 툴 삽입구는 상기 장착된 기판 수납 트레이의 개구에 대향하도록 위치되고,
    상기 기판 제거 툴 삽입구는 셔터 부재에 의해 개폐되는, 기판 수납 트레이 팰릿.
  2. 삭제
  3. 상면에 기판을 수납하기 위한 기판 수납 트레이를 갖고 상기 기판 수납 트레이를 이송하기 위한 기판 수납 트레이 팰릿으로서, 상기 팰릿은,
    상기 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하기 위해 기판 제거 툴이 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 제거하도록 하는 수직 관통 기판 제거 툴 삽입구; 및
    상기 기판 제거 툴 삽입구를 개폐시키기 위한 셔터 부재를 포함하는 기판 수납 트레이 팰릿.
  4. 상면에 기판을 수납하기 위한 기판 수납 트레이를 갖고 상기 기판 수납 트레이를 이송하기 위한 기판 수납 트레이 팰릿으로서, 상기 팰릿은,
    수직 관통 팰릿 보디 개구를 포함하는 팰릿 보디; 및
    상기 팰릿 보디의 상면에 위치되고, 상기 팰릿 보디 개구에 대향하는 위치에 배치된 셔터 보디 개구를 포함하고,
    상기 팰릿 보디 개구와 셔터 보디 개구는, 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판 수납 트레이를 제거하기 위해 기판 제거 툴을 삽입하기 위한 기판 제거 툴 삽입구를 한정하고,
    상기 셔터 보디는, 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개폐시키기 위한 셔터 부재를 포함하는, 기판 수납 트레이 팰릿.
  5. 제1항에 있어서, 상기 셔터 부재는, 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개폐시키기 위해 수평 방향으로 슬라이드하는, 기판 수납 트레이 팰릿.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기판 제거 툴 삽입구를 폐쇄시키기 위한 방향으로 상기 셔터 부재에 힘을 가하기 위한 힘 인가부; 및
    외부 힘에 따라 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개방시키기 위한 방향으로 상기 힘 인가부에 저항하도록 상기 셔터 부재를 슬라이드 시키는 셔터 개폐 기구를 포함하는, 기판 수납 트레이 팰릿.
  7. 제6항에 있어서, 상기 셔터 개폐 기구는, 셔터 부재에 연결된 와이어, 및 외부 힘에 따라 상기 와이어를 당겨 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개방시키도록 상기 셔터 부재를 슬라이딩시키기 위한 동작 툴을 포함하는, 기판 수납 트레이 팰릿.
  8. 제1항에 있어서, 상기 셔터 부재는, 셔터 보디 개구 위에 위치되고 상기 셔터 보디 개구를 개폐시키기 위해 수직 방향으로 회전하는, 기판 수납 트레이 팰릿.
  9. 제8항에 있어서, 상기 셔터 부재는, 기판 제거 툴 삽입구내로 삽입되는 기판 제거 툴에 의해 지지되고 상기 기판 제거 툴 삽입구를 개방시키도록 상방으로 회전되는, 기판 수납 트레이 팰릿.
  10. 상기 기판 제거 툴, 및 이 기판 제거 툴이 위치되어 있는 기판 수납 트레이 팰릿 위치를 이동시키기 위한 이동부가 배치되어 있는, 제7항에 따른 기판 수납 트레이 팰릿을 포함하는 기판 이송 시스템으로, 상기 시스템은,
    상기 동작 툴과 접촉하고 있고, 상기 이동부가, 상기 기판 제거 툴이 배치되어 있는 위치로 기판 수납 트레이 팰릿을 이동시킬 때 상기 동작 툴을 푸쉬하고, 또한, 상기 셔터 부재가 슬라이딩하여 상기 기판 제거 툴 개구를 개방시키도록 상기 동작 툴을 푸쉬하는, 가압부를 포함하는, 기판 이송 시스템.
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