JP4274394B2 - ガラス基板積層体搬送体 - Google Patents
ガラス基板積層体搬送体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4274394B2 JP4274394B2 JP16631499A JP16631499A JP4274394B2 JP 4274394 B2 JP4274394 B2 JP 4274394B2 JP 16631499 A JP16631499 A JP 16631499A JP 16631499 A JP16631499 A JP 16631499A JP 4274394 B2 JP4274394 B2 JP 4274394B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- substrate laminate
- pressing
- pressing plate
- transporter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/062—Easels, stands or shelves, e.g. castor-shelves, supporting means on vehicles
Landscapes
- Pallets (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイ、カラーフィルタ等の高精細パターンの製造に用いられるガラス基板積層体を搬送するためのガラス基板積層体搬送体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、カラーフィルタの製造工程は、ガラス基板上に真空成膜法を用いてクロムを成膜する工程、フォトレジストを塗布しフォトマスクを配置して露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離を行いストライプ状パターンあるいは格子状パターン等からなるブラック遮光層を形成する工程、ブラック遮光層の上から着色用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露光した後、現像を行い着色パターンを形成し、この着色パターンをＲ、Ｇ、Ｂ３色について繰り返して複数の着色層を形成する工程、これら着色層の上に酸化インジウム錫を成膜し、透明電極層を形成する工程等からなる。
【０００３】
上記ガラス基板は、厚さ０．５〜２ｍｍ程度の基板であり、ガラス基板製造メーカーで製造され、製造された１０〜３０枚程度のガラス基板は、発泡スチロール製のボックス内に収納される。図４は、従来のガラス基板搬送用ボックスを示し、図４（Ａ）は全体斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で蓋体を取り外した正面図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）の一部拡大平面図である。
【０００４】
ボックス１は、ボックス本体２と蓋体３からなり、ボックス本体２の内壁には、間隔をおいて複数の保持溝２ａが形成され、ガラス基板４、４を保持溝２ａに挿入して収納するようにしている。ガラス基板を収納したボックス１は、トラックに積載されカラーフィルタ製造メーカーに運搬され、ここで、蓋体３を外してボックス本体２を搬送コンベヤ上に載せて搬送し、搬送コンベヤの所定の位置で、把持ロボットによりボックス本体２を把持し、基板搬送ロボットの真空吸着アームがガラス基板４、ボックス本体２の間に入り込み、ガラス基板４を吸着して搬送コンベヤ上に載せて自動化ラインに搬送するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のガラス基板搬送用ボックスにおいては、輸送中の振動等によりガラス基板がたわんで接触するため、ガラス基板４、４の間に間隔Ｌを設ける必要があり、そのため、１つのボックス内に収納できるガラス基板の数に制約が生じ、その結果、運搬コストが増大するという問題を有している。特に、近年、例えば、液晶表示装置等においては画面の大型化が要望されこれに伴いガラス基板の大型化、薄板化が進んでおり、ガラス基板の撓みの問題が生じ、その分だけ間隔Ｌを広くしなければならず、運搬コストがさらに増大するという問題を有している。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題を解決するものであって、ガラス基板の運搬コストを大幅に低減させることができるガラス基板搬送用パレットを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そのために、本発明のガラス基板積層体搬送体は、ベース部材と、前記ベース部材上に立設され、一方の面に傾斜面を有する支持部材と、前記支持部材の両側に着脱自在に固定され複数のロック穴が形成された一対の保持アームと、両端に突出する方向に付勢されシフトレバーを有するロックピンを備え、前記ロックピンを前記一対の保持アームに形成したロック穴に嵌合することにより前記保持アームに装着される押圧部材と、前記押圧部材の中央部に設けられるにハンドルを備えたネジ機構と、前記ネジ機構により移動可能に設けられた押圧プレートと、前記前記押圧プレートの表面に設けられる緩衝材となる保護プレートと、複数のガラス基板の表面および側部が保護紙で覆われ、前記ベースプレート上で前記傾斜面に支持されるガラス基板積層体と、を備え、前記ガラス基板積層体が前記押圧プレートの表面に設けられる緩衝材となる保護プレートを介して保持されることを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させるもので、これにより本発明が何ら限定されるものではない。
以上
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１および図２は、本発明のガラス基板搬送用パレットの１実施形態を示し、図１（Ａ）は側面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ部拡大断面図、図２は図１（Ａ）の正面図である。
【０００９】
図１（Ａ）において、ガラス基板搬送用パレット１０は、ベース部材１１と、ベース部材１１上に立設された支持部材１２を備えている。ベース部材１１の上面および下面の四隅には、柱連結具１１ａ、１１ｂが設けられ、柱連結具１１ａに支柱１３を連結することにより、ガラス基板搬送用パレット１０の複数台を積層可能に構成している。また、ベース部材１１の上面にはゴムシートなどの緩衝材が敷設されている。支持部材１２の一方の面には傾斜面１２ａが形成され、支持部材１２の他方はベース部材１１との間に補強材１４が固定されている。また、支持部材１２の両側には、前方に延びる樋状の保持アーム１５がボルト等により着脱自在に固定され、一対の保持アーム１５には、樋状の押圧部材１６が着脱自在に装着されている。
【００１０】
図２にも示すように、押圧部材１６の両端は、保持アーム１５に嵌合可能になっており、また、押圧部材１６の両側内部には、ロックピン１７がスプリング１８により図示矢印方向に付勢されており、ロックピン１７の他端にシフトレバー１９が形成され、押圧部材１６に形成された長穴１６ａから外部に突出されている。押圧部材１６の装着は、シフトレバー１９を内側に引き寄せながら、押圧部材１６の両端を保持アーム１５に嵌合させ、シフトレバー１９を離してロックピン１７を、保持アーム１５に形成されたロック穴１５ａに挿入させることにより行われる。図１（Ａ）に示すように、ロック穴１５ａは複数形成されており、押圧部材１６の装着位置を調節可能にしている。なお、押圧部材１６の着脱構造はこれに限定されるものではなく、周知の着脱構造を採用することができる。
【００１１】
また、押圧部材１６の中央部には、ネジ機構２０が設けられ、ネジ機構２０の一端には押圧ハンドル２１が設けられ、ネジ機構２０の他端には押圧プレート２２が設けられている。なお、押圧プレート２２の表面には緩衝材となる保護プレート２４が設けられている。そして、ベース部材１１上にガラス基板積層体２３が載置され、支持部材１２の傾斜面１２ａにより支持される。ガラス基板積層体２３は押圧プレート２２と保護プレート２４により保持され、搬送途中で振動などによってガラス基板積層体２３が崩れることがないようにしている。
【００１２】
基板積層体２３は、図１（Ｂ）に示すように、複数のガラス基板２３ａの表面および側部を保護紙２３ｂにて覆うようにして積層されている。ガラス基板２３ａの大きさは、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ〜１,０００ｍｍ×１,３００ｍｍ程度、厚みは０．５〜２ｍｍ程度、積層可能枚数は、２５０〜５００枚程度が好適である。また、上記保護紙２３ｂは、運搬中における振動によりガラス基板に傷をつけず、かつ、ガラス基板から離れやすい性質を有する、硫黄分が少なくヤケ転写が少ないＰＨが５．５〜７の材料からなるもの等を用いる。
【００１３】
図３は、ガラス基板搬送装置の構成図である。ガラス基板製造メーカーで製造され、製造されたガラス基板はガラス基板搬送用パレット１０に保持され、ラックに積載されてカラーフィルタ等加工製造メーカーに運搬され、ここで、ガラス基板搬送装置３０に送られる。
【００１４】
ガラス基板搬送装置３０は、搬送コンベヤ３１上にパレット搬入部３２、ガラス基板取出部３３、パレット搬出部３４を備えている。ガラス基板搬送用パレット１０は、その保持アーム１５および押圧部材１６、保護プレート２４を取り外した後、パレット搬入部３２に載せられ、ガラス基板取出部３３に搬送される。ここで、保護紙除去ロボット３５の真空吸着アーム３５ａにより保護紙が取り除かれ、次に基板搬送ロボット３６の真空吸着アーム３６ａによりガラス基板が加工ライン３７上に搬送される。ガラス基板が取り出された空のガラス基板搬送用パレット１０は、パレット搬出部３４から排出される。
【００１５】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明によれば、従来のガラス基板搬送用ボックスと比較して、１０倍以上の大量のガラス基板を収納してガラス基板を傷つけることなく搬送することができるため、ガラス基板の運搬コストを大幅に低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス基板搬送用パレットの１実施形態を示し、図１（Ａ）は側面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ部拡大断面図である。
【図２】図１（Ａ）の正面図である。
【図３】ガラス基板搬送装置の構成図である。
【図４】従来のガラス基板搬送用ボックスを示し、図４（Ａ）は全体斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で蓋体を取り外した正面図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）の一部拡大平面図である。
【符号の説明】
１１…ベース部材
１２…支持部材
１２ａ…傾斜面
１５…保持アーム
１６…押圧部材
２２…押圧プレート
２３…ガラス基板積層体
２３ａ…ガラス基板
２３ｂ…保護紙
２４…保護プレート
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイ、カラーフィルタ等の高精細パターンの製造に用いられるガラス基板積層体を搬送するためのガラス基板積層体搬送体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、カラーフィルタの製造工程は、ガラス基板上に真空成膜法を用いてクロムを成膜する工程、フォトレジストを塗布しフォトマスクを配置して露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離を行いストライプ状パターンあるいは格子状パターン等からなるブラック遮光層を形成する工程、ブラック遮光層の上から着色用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露光した後、現像を行い着色パターンを形成し、この着色パターンをＲ、Ｇ、Ｂ３色について繰り返して複数の着色層を形成する工程、これら着色層の上に酸化インジウム錫を成膜し、透明電極層を形成する工程等からなる。
【０００３】
上記ガラス基板は、厚さ０．５〜２ｍｍ程度の基板であり、ガラス基板製造メーカーで製造され、製造された１０〜３０枚程度のガラス基板は、発泡スチロール製のボックス内に収納される。図４は、従来のガラス基板搬送用ボックスを示し、図４（Ａ）は全体斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で蓋体を取り外した正面図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）の一部拡大平面図である。
【０００４】
ボックス１は、ボックス本体２と蓋体３からなり、ボックス本体２の内壁には、間隔をおいて複数の保持溝２ａが形成され、ガラス基板４、４を保持溝２ａに挿入して収納するようにしている。ガラス基板を収納したボックス１は、トラックに積載されカラーフィルタ製造メーカーに運搬され、ここで、蓋体３を外してボックス本体２を搬送コンベヤ上に載せて搬送し、搬送コンベヤの所定の位置で、把持ロボットによりボックス本体２を把持し、基板搬送ロボットの真空吸着アームがガラス基板４、ボックス本体２の間に入り込み、ガラス基板４を吸着して搬送コンベヤ上に載せて自動化ラインに搬送するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のガラス基板搬送用ボックスにおいては、輸送中の振動等によりガラス基板がたわんで接触するため、ガラス基板４、４の間に間隔Ｌを設ける必要があり、そのため、１つのボックス内に収納できるガラス基板の数に制約が生じ、その結果、運搬コストが増大するという問題を有している。特に、近年、例えば、液晶表示装置等においては画面の大型化が要望されこれに伴いガラス基板の大型化、薄板化が進んでおり、ガラス基板の撓みの問題が生じ、その分だけ間隔Ｌを広くしなければならず、運搬コストがさらに増大するという問題を有している。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題を解決するものであって、ガラス基板の運搬コストを大幅に低減させることができるガラス基板搬送用パレットを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そのために、本発明のガラス基板積層体搬送体は、ベース部材と、前記ベース部材上に立設され、一方の面に傾斜面を有する支持部材と、前記支持部材の両側に着脱自在に固定され複数のロック穴が形成された一対の保持アームと、両端に突出する方向に付勢されシフトレバーを有するロックピンを備え、前記ロックピンを前記一対の保持アームに形成したロック穴に嵌合することにより前記保持アームに装着される押圧部材と、前記押圧部材の中央部に設けられるにハンドルを備えたネジ機構と、前記ネジ機構により移動可能に設けられた押圧プレートと、前記前記押圧プレートの表面に設けられる緩衝材となる保護プレートと、複数のガラス基板の表面および側部が保護紙で覆われ、前記ベースプレート上で前記傾斜面に支持されるガラス基板積層体と、を備え、前記ガラス基板積層体が前記押圧プレートの表面に設けられる緩衝材となる保護プレートを介して保持されることを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させるもので、これにより本発明が何ら限定されるものではない。
以上
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１および図２は、本発明のガラス基板搬送用パレットの１実施形態を示し、図１（Ａ）は側面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ部拡大断面図、図２は図１（Ａ）の正面図である。
【０００９】
図１（Ａ）において、ガラス基板搬送用パレット１０は、ベース部材１１と、ベース部材１１上に立設された支持部材１２を備えている。ベース部材１１の上面および下面の四隅には、柱連結具１１ａ、１１ｂが設けられ、柱連結具１１ａに支柱１３を連結することにより、ガラス基板搬送用パレット１０の複数台を積層可能に構成している。また、ベース部材１１の上面にはゴムシートなどの緩衝材が敷設されている。支持部材１２の一方の面には傾斜面１２ａが形成され、支持部材１２の他方はベース部材１１との間に補強材１４が固定されている。また、支持部材１２の両側には、前方に延びる樋状の保持アーム１５がボルト等により着脱自在に固定され、一対の保持アーム１５には、樋状の押圧部材１６が着脱自在に装着されている。
【００１０】
図２にも示すように、押圧部材１６の両端は、保持アーム１５に嵌合可能になっており、また、押圧部材１６の両側内部には、ロックピン１７がスプリング１８により図示矢印方向に付勢されており、ロックピン１７の他端にシフトレバー１９が形成され、押圧部材１６に形成された長穴１６ａから外部に突出されている。押圧部材１６の装着は、シフトレバー１９を内側に引き寄せながら、押圧部材１６の両端を保持アーム１５に嵌合させ、シフトレバー１９を離してロックピン１７を、保持アーム１５に形成されたロック穴１５ａに挿入させることにより行われる。図１（Ａ）に示すように、ロック穴１５ａは複数形成されており、押圧部材１６の装着位置を調節可能にしている。なお、押圧部材１６の着脱構造はこれに限定されるものではなく、周知の着脱構造を採用することができる。
【００１１】
また、押圧部材１６の中央部には、ネジ機構２０が設けられ、ネジ機構２０の一端には押圧ハンドル２１が設けられ、ネジ機構２０の他端には押圧プレート２２が設けられている。なお、押圧プレート２２の表面には緩衝材となる保護プレート２４が設けられている。そして、ベース部材１１上にガラス基板積層体２３が載置され、支持部材１２の傾斜面１２ａにより支持される。ガラス基板積層体２３は押圧プレート２２と保護プレート２４により保持され、搬送途中で振動などによってガラス基板積層体２３が崩れることがないようにしている。
【００１２】
基板積層体２３は、図１（Ｂ）に示すように、複数のガラス基板２３ａの表面および側部を保護紙２３ｂにて覆うようにして積層されている。ガラス基板２３ａの大きさは、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ〜１,０００ｍｍ×１,３００ｍｍ程度、厚みは０．５〜２ｍｍ程度、積層可能枚数は、２５０〜５００枚程度が好適である。また、上記保護紙２３ｂは、運搬中における振動によりガラス基板に傷をつけず、かつ、ガラス基板から離れやすい性質を有する、硫黄分が少なくヤケ転写が少ないＰＨが５．５〜７の材料からなるもの等を用いる。
【００１３】
図３は、ガラス基板搬送装置の構成図である。ガラス基板製造メーカーで製造され、製造されたガラス基板はガラス基板搬送用パレット１０に保持され、ラックに積載されてカラーフィルタ等加工製造メーカーに運搬され、ここで、ガラス基板搬送装置３０に送られる。
【００１４】
ガラス基板搬送装置３０は、搬送コンベヤ３１上にパレット搬入部３２、ガラス基板取出部３３、パレット搬出部３４を備えている。ガラス基板搬送用パレット１０は、その保持アーム１５および押圧部材１６、保護プレート２４を取り外した後、パレット搬入部３２に載せられ、ガラス基板取出部３３に搬送される。ここで、保護紙除去ロボット３５の真空吸着アーム３５ａにより保護紙が取り除かれ、次に基板搬送ロボット３６の真空吸着アーム３６ａによりガラス基板が加工ライン３７上に搬送される。ガラス基板が取り出された空のガラス基板搬送用パレット１０は、パレット搬出部３４から排出される。
【００１５】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明によれば、従来のガラス基板搬送用ボックスと比較して、１０倍以上の大量のガラス基板を収納してガラス基板を傷つけることなく搬送することができるため、ガラス基板の運搬コストを大幅に低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス基板搬送用パレットの１実施形態を示し、図１（Ａ）は側面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ部拡大断面図である。
【図２】図１（Ａ）の正面図である。
【図３】ガラス基板搬送装置の構成図である。
【図４】従来のガラス基板搬送用ボックスを示し、図４（Ａ）は全体斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で蓋体を取り外した正面図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）の一部拡大平面図である。
【符号の説明】
１１…ベース部材
１２…支持部材
１２ａ…傾斜面
１５…保持アーム
１６…押圧部材
２２…押圧プレート
２３…ガラス基板積層体
２３ａ…ガラス基板
２３ｂ…保護紙
２４…保護プレート
Claims (1)
- ベース部材と、
前記ベース部材上に立設され、一方の面に傾斜面を有する支持部材と、
前記支持部材の両側に着脱自在に固定され複数のロック穴が形成された一対の保持アームと、
両端に突出する方向に付勢されシフトレバーを有するロックピンを備え、前記ロックピンを前記一対の保持アームに形成したロック穴に嵌合することにより装着される押圧部材と、
前記押圧部材の中央部に設けられるにハンドルを備えたネジ機構と、
前記ネジ機構により移動可能に設けられた押圧プレートと、
前記前記押圧プレートの表面に設けられる緩衝材となる保護プレートと、
複数のガラス基板の表面および側部が保護紙で覆われ、前記ベースプレート上で前記傾斜面に支持されるガラス基板積層体と、
を備え、
前記ガラス基板積層体が前記押圧プレートの表面に設けられる緩衝材となる保護プレートを介して保持されることを特徴とするガラス基板積層体搬送体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16631499A JP4274394B2 (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | ガラス基板積層体搬送体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16631499A JP4274394B2 (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | ガラス基板積層体搬送体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000353739A JP2000353739A (ja) | 2000-12-19 |
| JP4274394B2 true JP4274394B2 (ja) | 2009-06-03 |
Family
ID=15829062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16631499A Expired - Fee Related JP4274394B2 (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | ガラス基板積層体搬送体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4274394B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4003882B2 (ja) * | 2003-09-26 | 2007-11-07 | シャープ株式会社 | 基板移載システム |
| JP4493978B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2010-06-30 | 大日本印刷株式会社 | 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法 |
| JP4493975B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2010-06-30 | 大日本印刷株式会社 | 積層体 |
| JP4493977B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2010-06-30 | 大日本印刷株式会社 | 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法 |
| JP4493976B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2010-06-30 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法 |
| JP4493979B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2010-06-30 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法 |
| GB2412910A (en) * | 2004-04-06 | 2005-10-12 | Carglass Luxembourg Sarl Zug | Transportation and/or storage of sheet items such as vehicle windscreens |
| JP4735085B2 (ja) * | 2005-04-12 | 2011-07-27 | 旭硝子株式会社 | ガラス板搬送パレット |
| JP4756326B2 (ja) * | 2005-06-16 | 2011-08-24 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の梱包装置 |
| JP2007069916A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Tostem Corp | 矩形パネル起立積載用パレット |
| KR100863083B1 (ko) | 2006-07-10 | 2008-10-13 | 한화테크엠주식회사 | 유리판 적재용 파레트 |
| JP4936062B2 (ja) * | 2007-07-27 | 2012-05-23 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板梱包体 |
| JP5083337B2 (ja) * | 2010-02-03 | 2012-11-28 | 大日本印刷株式会社 | 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法 |
| CN105947520A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-09-21 | 成都高普石油工程技术有限公司 | 便于调节固定数量的钢板运输装置 |
| CN112010039B (zh) * | 2020-07-17 | 2022-01-18 | 青岛融合光电科技有限公司 | 一种便于叠放固定的玻璃运输架 |
-
1999
- 1999-06-14 JP JP16631499A patent/JP4274394B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000353739A (ja) | 2000-12-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4274394B2 (ja) | ガラス基板積層体搬送体 | |
| KR100615026B1 (ko) | 디스플레이용 기판 수납용 트레이, 및 그 디스플레이용기판을 제거하는 장치 및 방법 | |
| JP2002154648A (ja) | 基板カセット | |
| CN101152919B (zh) | 掩膜壳体、掩膜盒、图案转录方法及显示装置的制造方法 | |
| JP2000351449A (ja) | ガラス基板搬送装置 | |
| JP4566879B2 (ja) | 開包システム | |
| JP2008285222A (ja) | 搬送トレイ | |
| JP3948012B2 (ja) | 梱包体及びこの梱包体の搬送方法 | |
| JP2002151384A (ja) | 処理装置 | |
| JPH07307319A (ja) | 基板整列装置及び方法 | |
| JP5109822B2 (ja) | カラーフィルター製造ラインシステム | |
| JP2564432Y2 (ja) | 基板移載用調整治具 | |
| JP4195256B2 (ja) | コア装置を備えた製造ラインシステム | |
| KR20080001571A (ko) | 마스크 컨테이너 | |
| JP2008161967A (ja) | 組立支援システムおよび組立方法 | |
| JP2006173363A (ja) | 搬送体 | |
| JPH11255332A (ja) | 基板収納ケース | |
| JP5533489B2 (ja) | 飛行機搬送用のアウターケース | |
| JP2001351846A (ja) | 処理装置および処理方法 | |
| JPH11202477A (ja) | ペリクルの取付構造 | |
| JP2000005943A (ja) | 基板移載装置 | |
| JP2001071453A (ja) | スクリーン印刷機の被印刷物搬送装置 | |
| JPH025597Y2 (ja) | ||
| JP2001093969A (ja) | 基板トレイおよび基板収納方法 | |
| JP2004224365A (ja) | ガラス板の梱包方法及びガラス板梱包用スペーサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060525 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081127 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081203 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090130 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090225 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090226 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120313 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130313 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130313 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140313 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |