JP2000005943A - 基板移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 斜めまたは垂直に載置したカセットから斜め
または垂直に基板を取り出して搬送し、水平な検査台等
の台上に水平に載置する。 【解決手段】 基板１０を把持して移載する基板移載装
置１であって、該基板移載装置１は、先端に基板１０を
把持するハンド２を有する６軸多関節ロボットであっ
て、斜めまたは垂直に載置されたカセット６から基板１
０を把持して取り出し、水平旋回して検査台７等の水平
な台上に移載可能になっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板等を移
載する基板移載装置に係り、特にクリーンルーム内にお
いて液晶用ガラス基板を移載する基板移載装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は複数のガラス基板等を収納したカ
セットの斜視図である。このカセットａは、基板ｂの両
端部を水平に支持するようになっていて、上下方向に所
定間隔をもって複数枚（１５〜２０枚）収納するように
なっている。

【０００３】図６は基板移載用ロボットの平面図であ
る。上記カセットａから基板ｂを取り出すのに、基板移
載用ロボットｃ（多関節アームロボット）が使用されて
いる。基板移載用ロボットｃは、２本の関節アームｄを
有し、関節アームｄの先端には薄いハンドｅを有してお
り、このハンドｅをカセットａの基板ｂの間に水平に挿
入し、基板ｂの下面から支持したのち、わずかに上方に
持ち上げてカセットａから取り出すようになっている。

【０００４】これまで比較的小さな基板、たとえば、６
００ｍｍ×７２０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍの基板を搬送す
る場合、このように水平に載置されたカセットから基板
を取り出し、水平に把持して水平な検査台等に移載して
いた。

【０００５】基板サイズは今後ますます大型化し、たと
えば、１，０００ｍ×１，４００ｍ、厚さ２．８ｍｍの
ものや１，０００ｍ×１，５００ｍ、厚さ１．１ｍｍと
いうように大型化する傾向にある。１，０００ｍ×１，
５００ｍ、厚さ１．１ｍｍの大型のものでは厚さが薄い
ため、基板の両端を水平に支持すると基板は４０ｍｍ〜
４６ｍｍのたわみが生じる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、クリー
ンルームのレイアウト上または基板サイズの大型化にと
もなうたわみの増大等により、基板を水平に載置したカ
セットから基板を取り出して移載するのがむずかしく、
基板を収納したカセットを斜めまたは垂直に載置しなけ
ればならないなどの問題がある。

【０００７】本発明は、上述した問題点に鑑み創案され
たものである。すなわち、本発明は、カセットを斜めま
たは垂直に載置するようにするとともに、斜めまたは垂
直に載置されたカセットから基板を容易に取り出すこと
ができ、かつ、取り出した基板を搬送して検査台等の水
平な台上に水平に移載することができる基板移載装置を
提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、基板を把持して移載する基板移載装置であっ
て、該基板移載装置は、先端に基板を把持するハンドを
有する６軸多関節ロボットであって、斜めまたは垂直に
載置されたカセットから基板を把持して取り出し、水平
旋回して検査台等の水平な台上に移載可能になっている
基板移載装置を提供する。

【０００９】次に本発明の作用について説明する。カセ
ットが斜めまたは垂直に載置されているので、カセット
内で基板のたわみはカセットを水平に載置した場合に比
べて小さい。したがって、基板の間に基板移載装置のハ
ンドを容易に挿入できるので、カセット内の基板の間隔
を狭くすることができる。基板移載装置に使用するロボ
ットは６軸多関節ロボットなので６自由度を有してお
り、アーム先端位置を空間の任意の位置に持って行くこ
とができるとともに、先端に把持された基板を任意の姿
勢におくことができる。したがって、斜めまたは垂直な
カセット内にハンドを挿入して基板を把持し、斜めまた
は垂直に引き出したのち基板を水平な姿勢にし、水平旋
回したのち下降して水平な台上に載置することができ
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい一実施形
態について図面を参照して説明する。図１は本発明の基
板移載装置の側面図、図２は基板移載装置の平面図、図
３は図１のＡ−Ａ矢視図、図４は図１のＢ−Ｂ矢視図で
ある。

【００１１】図１ないし図４において、１は基板１０を
把持して移載する基板移載装置である。基板移載装置１
は、先端に基板１０を把持するハンド２を有する６軸多
関節ロボットであって、斜めまたは垂直に載置されたカ
セット６から基板１０を把持して取り出し、水平旋回し
て検査台７等の水平な台上に移載可能になっている。基
板移載装置１は、クリーンルーム内のフロア１１に設置
されたベース１ａと、ベース１ａ上端に設けた旋回部１
ｂと、旋回部１ｂ上端に設けられた下部アーム１ｃと、
下部アーム１ｃ先端に設けられた上部アーム１ｄと、上
部アーム１ｄ先端に設けられた手首１ｅとから構成され
ている。

【００１２】ハンド２は手首１ｅの先端に接続されてお
り、図２，図４に示すように、先端にＶ字状の切欠き部
２ａを有して４角形状をしている。なお、Ｖ字状の切欠
き部２ａの先端には基板１０の先端を把持する図示しな
い起伏可能な基板押え装置が設けられている。

【００１３】３は移動可能なカセット受入架台で、下面
に４個の自在車輪３ａと上下に伸縮する４個の固定ジャ
ッキ３ｂを有し、自在車輪３ａによりフロア１１の基板
端部移動軌跡１２の範囲内の所定個所まで移動し、固定
ジャッキ３ｂにより固定して設置している。カセット受
入架台３は、上下方向に所定間隔をもって複数枚（１５
〜２０枚）の基板を収納したカセット６を載置するカセ
ット受４を有し、かつ、カセット受４を傾動シリンダ５
により斜め（実線）、水平および垂直（図１の２点鎖
線）に傾動可能に設けている。

【００１４】７は基板１０を検査する移動可能な検査架
台で、下面に４個の自在車輪７ａと上下に伸縮する４個
の固定ジャッキ７ｂを有し、自在車輪７ａによりフロア
１１の所定個所まで移動し、固定ジャッキ７ｂにより固
定して設置する。斜めまたは垂直に載置されたカセット
６から基板移載装置１のハンド２によって取り出され、
把持されて搬送された基板１０を水平に載置するように
なっている（図１）。

【００１５】８は検査で合格した基板１０を次工程へ搬
出する移動可能な搬出架台で、下面に図示しない４個の
自在車輪と上下に伸縮する４個の固定ジャッキを有し、
自在車輪によりフロア１１の所定個所まで移動し、固定
ジャッキにより固定して設置している。

【００１６】９は検査で不合格になった基板１０を不合
格品回収ライン側へ搬出する不合格品架台で、下面に図
示しない４個の自在車輪と上下に伸縮する４個の固定ジ
ャッキを有し、自在車輪によりフロア１１の所定個所ま
で移動し、固定ジャッキにより固定して設置している。

【００１７】基板移載装置１は、クリーンルーム内の所
定個所に設置される。カセット受入架台３，検査台７，
次工程への搬出架台８および不合格品搬出架台９は、基
板移載装置１の周囲に反時計廻りにカセット受入架台
３，検査台７，次工程への搬出架台８および不合格品搬
出架台９が適宜の間隔をおいて、かつ、基板移載装置１
による基板１０搬送時の基板端部移動軌跡１２の範囲内
に設置される。

【００１８】次に本発明の実施形態の作用について説明
する。斜めまたは垂直のカセット６に収納された基板１
０は、検査のために搬入されてカセット受入架台３に載
置される。

【００１９】基板移載装置１は、カセット６から基板１
０を取り出すため、基板移載装置１のベース１ａを水平
方向に旋回して基板移載装置１の上部アーム１ｄ先端の
手首１ｅに設けられたハンド２をカセット受入架台３の
方に移動させる。

【００２０】基板１０をカセット６から取り出すとき
は、基板移載装置１の下部アーム１ｃおよび上部アーム
１ｄを上下に動作させるとともに、手首１ｅの曲げ動作
とねじり動作によりハンド２をカセット６の上方からカ
セット６内に収納されている基板１０の下側に挿入し、
ハンド２をわずかに上方に持ち上げてハンド２先端に設
けられている図示しない基板押え装置により基板１０の
後端を押え、カセット６から斜めまたは垂直の状態で基
板１０を取り出す。基板１０は斜めまたは垂直になって
いるので、基板１０の自重が基板押え装置にかかり、横
ずれを起こすことがない。

【００２１】基板移載装置１は、カセット６から基板１
０を取り出すと、基板移載装置１をベース１ａにより検
査台７の上方まで水平旋回し、ハンド２を水平にしてか
ら基板１０を検査台７へ下ろし、基板押え装置による基
板１０の固定を開放して検査台７へ移載したあとハンド
２をわずかに下げて検査台７からハンド２を引き出す。

【００２２】基板１０は検査が終了して合格すると、下
流側のプロセス装置で印刷や焼き付け等を行うため、ハ
ンド２を検査台７上に載置されている基板１０の下側に
水平に挿入してハンド２をわずかに持ち上げて検査台７
から基板１０を受け取り、基板移載装置１を旋回して基
板１０を次工程へ搬出するための搬出架台８上へ水平に
して移載する。

【００２３】基板１０の検査が終了して不合格になる
と、基板１０を基板検査台７から受け取り、不合格品架
台９上に水平にして移載する。そして、不合格品回収ラ
イン側へ搬出する。

【００２４】このように、カセット６が斜めまたは垂直
に載置されているので、カセット６内で基板１０のたわ
みはカセット６を水平に載置した場合に比べて小さく、
基板１０の間に基板移載装置１のハンド２を容易に挿入
できるので、カセット６内の基板１０の間隔を狭くする
ことができる。基板移載装置１に使用するロボットは６
軸多関節ロボットなので６自由度を有しており、アーム
１ｄ先端位置を空間の任意の位置に持って行くことがで
きるとともに、先端に把持された基板１０を任意の姿勢
におくことができる。したがって、斜めまたは垂直なカ
セット６内にハンド２を挿入して基板１０を把持し、斜
めまたは垂直に引き出したのち基板１０を水平な姿勢に
し、水平旋回したのち下降して水平な台上に載置するこ
とができる。

【００２５】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変
更し得ることは勿論である。

【００２６】

【発明の効果】上述した本発明の基板移載装置によれ
ば、カセット内の基板のたわみを少なくするため、斜め
または垂直に載置されたカセットから基板を容易に取り
出すことができ、かつ、取り出した基板を搬送して水平
な検査台等の台上に水平に移載することができるなどの
優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板移載装置の側面図である。

【図２】本発明の基板移載装置の平面図である。

【図３】図１のＡ−Ａ矢視図である。

【図４】図１のＢ−Ｂ矢視図である。

【図５】カセットの斜視図である。

【図６】基板搬送用ロボットの平面図である。

【符号の説明】

１ 基板移載装置 １ａ ベース １ｂ 旋回部 １ｃ 下部アーム １ｄ 上部アーム １ｅ 手首 ２ ハンド ３ カセット受入架台 ４ カセット受 ５ 傾動シリンダ ６ カセット ７ 検査台 ８ 次工程への搬出架台 ９ 不合格品搬出架台 １０ 基板 １１ フロア １２ 基板端部移動軌跡

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 星野 修二 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 (72)発明者 冨波 佳均 東京都江東区毛利一丁目19番10号 石川島 播磨重工業株式会社江東事務所内 (72)発明者 清水 信朗 東京都江東区毛利一丁目19番10号 石川島 播磨重工業株式会社江東事務所内 Ｆターム(参考） 3C030 DA25 DA27 DA37

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を把持して移載する基板移載装置で
   あって、該基板移載装置は、先端に基板を把持するハン
   ドを有する６軸多関節ロボットであって、斜めまたは垂
   直に載置されたカセットから基板を把持して取り出し、
   水平旋回して検査台等の水平な台上に移載可能になって
   いることを特徴とする基板移載装置。