JP2000183126A - 基板の自動取り出し装置 - Google Patents
基板の自動取り出し装置Info
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- JP2000183126A JP2000183126A JP35164298A JP35164298A JP2000183126A JP 2000183126 A JP2000183126 A JP 2000183126A JP 35164298 A JP35164298 A JP 35164298A JP 35164298 A JP35164298 A JP 35164298A JP 2000183126 A JP2000183126 A JP 2000183126A
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- substrates
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】納入された基板組を自動搬送して撓みのある基
板を１枚ごと取り出すことのできる装置を提供するこ
と。 【解決手段】自動取り出し装置Ｍは、架台１と、架台１
上に配設され垂直状態の基板組ＷＳを載置して送り出す
基板投入部１０と、基板投入部１０から搬送された基板
組ＷＳを搬送する搬送部２０と、基板組ＷＳを位置決め
・保持して垂直状態から水平状態に反転する基板反転部
３０と、垂直状態の基板組ＷＳから１枚ごと基板Ｗを取
り出す基板取り出し部５０と、を有して構成される。基
板取り出し部５０では、取り出す基板Ｗの直上の基板Ｗ
を持ち上げるためのリフタ５２が配置され、リフタ５２
で基板Ｗの端面を持ち上げてロボット５３のハンド５３
１が挿入及び復帰移動ができるように構成されている。
板を１枚ごと取り出すことのできる装置を提供するこ
と。 【解決手段】自動取り出し装置Ｍは、架台１と、架台１
上に配設され垂直状態の基板組ＷＳを載置して送り出す
基板投入部１０と、基板投入部１０から搬送された基板
組ＷＳを搬送する搬送部２０と、基板組ＷＳを位置決め
・保持して垂直状態から水平状態に反転する基板反転部
３０と、垂直状態の基板組ＷＳから１枚ごと基板Ｗを取
り出す基板取り出し部５０と、を有して構成される。基
板取り出し部５０では、取り出す基板Ｗの直上の基板Ｗ
を持ち上げるためのリフタ５２が配置され、リフタ５２
で基板Ｗの端面を持ち上げてロボット５３のハンド５３
１が挿入及び復帰移動ができるように構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、基板、特に薄型
に形成された複数のガラス基板を開梱して分離して取り
出すための自動取り出し装置に関し、さらに取り出した
基板をカセットや下流装置に収納することに関する。
に形成された複数のガラス基板を開梱して分離して取り
出すための自動取り出し装置に関し、さらに取り出した
基板をカセットや下流装置に収納することに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガラス基板は各種の加工が施さ
れて液晶ディスプレイ用基板として製造されている。液
晶ディスプレイはワードプロセッサ、ポータブルパソコ
ンまたは車載用の各種の計測機類やナビゲータ等の普及
により広い分野に進出するとともに高精度・大型化が要
求されてきている。ガラス基板の加工工程やそのための
搬送工程はほとんどが自動化されるとともに、高精度・
大型化の要求に合わせて改良がなされている。通常、ガ
ラス基板を搬送して加工するためにガラス基板は多段に
形成されたカセットに収納され、ロボットでカセットか
ら取り出されて次工程に搬送される。
れて液晶ディスプレイ用基板として製造されている。液
晶ディスプレイはワードプロセッサ、ポータブルパソコ
ンまたは車載用の各種の計測機類やナビゲータ等の普及
により広い分野に進出するとともに高精度・大型化が要
求されてきている。ガラス基板の加工工程やそのための
搬送工程はほとんどが自動化されるとともに、高精度・
大型化の要求に合わせて改良がなされている。通常、ガ
ラス基板を搬送して加工するためにガラス基板は多段に
形成されたカセットに収納され、ロボットでカセットか
ら取り出されて次工程に搬送される。
【０００３】各種の工程で自動化がなされているにもか
かわらず、ガラス基板をカセットに収納する作業は従来
においては手作業で行なわれている。ガラス基板は所定
の大きさで矩形に加工されて１個のカセットに収納され
る分をまとめて梱包され、開梱した後１枚ごと手作業に
よりカセット内に収納される。そのため、人手を要する
とともにガラス基板へのゴミの付着があったり傷をつけ
やすく、また、カセットに収納される基板の位置精度が
ばらつきやすい。
かわらず、ガラス基板をカセットに収納する作業は従来
においては手作業で行なわれている。ガラス基板は所定
の大きさで矩形に加工されて１個のカセットに収納され
る分をまとめて梱包され、開梱した後１枚ごと手作業に
よりカセット内に収納される。そのため、人手を要する
とともにガラス基板へのゴミの付着があったり傷をつけ
やすく、また、カセットに収納される基板の位置精度が
ばらつきやすい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の手作業
に代わって自動化を行なう場合、次の課題が挙げられて
いた。第１には、納入されたガラス基板が複数枚の基板
をまとめた基板組として納入されるため、１枚ごと分離
して搬送することは生産性が悪く、また分離する際に他
のガラス基板を傷つけやすい。第２に、大型化されたガ
ラス基板は水平面に対して撓みが大きく保持しにくい。
第３に、上下方向に複数に並設された基板を１枚づつ取
り出す際に、取り出す直上のガラス基板が中央部で大き
く下方に撓んでいると、取り出す基板を上方に移動する
際に直上のガラス基板に干渉してしまう。
に代わって自動化を行なう場合、次の課題が挙げられて
いた。第１には、納入されたガラス基板が複数枚の基板
をまとめた基板組として納入されるため、１枚ごと分離
して搬送することは生産性が悪く、また分離する際に他
のガラス基板を傷つけやすい。第２に、大型化されたガ
ラス基板は水平面に対して撓みが大きく保持しにくい。
第３に、上下方向に複数に並設された基板を１枚づつ取
り出す際に、取り出す直上のガラス基板が中央部で大き
く下方に撓んでいると、取り出す基板を上方に移動する
際に直上のガラス基板に干渉してしまう。
【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、生産性を向上するために複数枚のガラス基板をま
とめて搬送するとともに、安定した保持手段で搬送し、
他のガラス基板を傷つけることなく１枚のガラス基板を
取り出すことのできる基板の自動取り出し装置を提供す
ることを目的とする。
あり、生産性を向上するために複数枚のガラス基板をま
とめて搬送するとともに、安定した保持手段で搬送し、
他のガラス基板を傷つけることなく１枚のガラス基板を
取り出すことのできる基板の自動取り出し装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる基板
の自動取り出し装置では、上記の課題を解決するために
以下のように構成するものである。即ち、複数の基板が
並設された基板組が搬送され、前記基板組を水平方向に
配設した状態で、取り出す基板の少なくとも直上の基板
を、少なくともその撓み分を上方に持ち上げるリフト手
段を有して、１枚の基板を取り出すように構成されるこ
とを特徴とするものである。
の自動取り出し装置では、上記の課題を解決するために
以下のように構成するものである。即ち、複数の基板が
並設された基板組が搬送され、前記基板組を水平方向に
配設した状態で、取り出す基板の少なくとも直上の基板
を、少なくともその撓み分を上方に持ち上げるリフト手
段を有して、１枚の基板を取り出すように構成されるこ
とを特徴とするものである。
【０００７】また、この発明による基板の自動取り出し
装置は、開梱された基板組を次工程に投入する基板投入
手段と、前記基板組を搬送する搬送手段と、前記基板組
を垂直方向から水平方向に変換する基板反転手段と、前
記基板組を水平方向に配設した状態で、取り出す基板の
少なくとも直上の基板を、少なくともその撓み分を上方
に持ち上げるリフト手段と、持ち上げられた前記基板の
直下の基板を取り出す基板取り出し手段と、を有して構
成されることを特徴とするものである。
装置は、開梱された基板組を次工程に投入する基板投入
手段と、前記基板組を搬送する搬送手段と、前記基板組
を垂直方向から水平方向に変換する基板反転手段と、前
記基板組を水平方向に配設した状態で、取り出す基板の
少なくとも直上の基板を、少なくともその撓み分を上方
に持ち上げるリフト手段と、持ち上げられた前記基板の
直下の基板を取り出す基板取り出し手段と、を有して構
成されることを特徴とするものである。
【０００８】また好ましくは、前記リフト手段が、前記
基板組から基板を取り出す側において、複数の基板の端
部を同時に持ち上げ可能に形成されるリフタを有して構
成されることを特徴とするものであればよい。
基板組から基板を取り出す側において、複数の基板の端
部を同時に持ち上げ可能に形成されるリフタを有して構
成されることを特徴とするものであればよい。
【０００９】さらに好ましくは、前記基板取り出し手段
が、前記基板を支持するロボットのハンドを有すること
を特徴とするものであればなおよい。
が、前記基板を支持するロボットのハンドを有すること
を特徴とするものであればなおよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【００１１】本形態の基板の自動取り出し装置（以下自
動取り出し装置という）Ｍは、図１に示すように複数の
ガラス基板（以下、基板という）Ｗが並設されサポータ
Ｓにより支持された基板組ＷＳを開梱した後、基板組Ｗ
Ｓごと搬送し基板Ｗを１枚づつ取り出して生産カセット
（以下、カセットという）Ｃあるいは図示しない下流装
置に自動的に収納するものである。なお、図２に示すよ
うに、基板組ＷＳ内に並設される基板Ｗは垂直状態でセ
ットされて納入され、梱包状態において各基板が分離す
るのを防止するために４隅をＬ字形に形成されたサポー
タＳで保持されている。そして梱包状態においては、４
個のサポータＳの回りをテープで結束しビニールシート
で覆われている。ビニールシートはオペレータによって
自動取り出し装置でセットされた後取り除かれる。
動取り出し装置という）Ｍは、図１に示すように複数の
ガラス基板（以下、基板という）Ｗが並設されサポータ
Ｓにより支持された基板組ＷＳを開梱した後、基板組Ｗ
Ｓごと搬送し基板Ｗを１枚づつ取り出して生産カセット
（以下、カセットという）Ｃあるいは図示しない下流装
置に自動的に収納するものである。なお、図２に示すよ
うに、基板組ＷＳ内に並設される基板Ｗは垂直状態でセ
ットされて納入され、梱包状態において各基板が分離す
るのを防止するために４隅をＬ字形に形成されたサポー
タＳで保持されている。そして梱包状態においては、４
個のサポータＳの回りをテープで結束しビニールシート
で覆われている。ビニールシートはオペレータによって
自動取り出し装置でセットされた後取り除かれる。
【００１２】自動取り出し装置Ｍは、図１に示すよう
に、長尺状に形成された架台１上に、開梱された基板組
ＷＳを搬送準備する基板投入部１０と、基板組ＷＳを搬
送及び待機させる搬送部２０と、垂直方向に配置された
基板組ＷＳを水平方向に反転する基板反転部３０と、水
平状態の基板を１枚毎取り出してカセットＣまたは下流
装置に搬送する基板取り出し部５０とを有して構成され
る。
に、長尺状に形成された架台１上に、開梱された基板組
ＷＳを搬送準備する基板投入部１０と、基板組ＷＳを搬
送及び待機させる搬送部２０と、垂直方向に配置された
基板組ＷＳを水平方向に反転する基板反転部３０と、水
平状態の基板を１枚毎取り出してカセットＣまたは下流
装置に搬送する基板取り出し部５０とを有して構成され
る。
【００１３】基板投入部１０は、図１〜２に示すよう
に、架台１の元部側に設けられ、基板組ＷＳを搬送部２
０に押し出すプッシャー１１と、基板組ＷＳを位置決め
する２個の案内レール１２（１２Ａ、１２Ｂ）と、案内
レール１２Ａ、１２Ｂをそれぞれ上下動させる操作レバ
ー１３（１３Ａ、１３Ｂ）とを有している。プッシャー
１１は、案内レール１２によって位置決めされた基板組
ＷＳを架台１の側部に装着されたハンドル１４の操作に
よって搬送方向に向かって移動可能に配置され、案内レ
ール１２Ａ、１２Ｂは基板組ＷＳの両サイドを位置決め
案内するために搬送方向にそれぞれ対向して配置され、
外側に向かって開閉可能に構成される。また、それぞれ
の操作レバー１３Ａ、１３Ｂは架台１の側部にそれぞれ
の案内レール１２Ａ、１２Ｂ付近に装着されている。
に、架台１の元部側に設けられ、基板組ＷＳを搬送部２
０に押し出すプッシャー１１と、基板組ＷＳを位置決め
する２個の案内レール１２（１２Ａ、１２Ｂ）と、案内
レール１２Ａ、１２Ｂをそれぞれ上下動させる操作レバ
ー１３（１３Ａ、１３Ｂ）とを有している。プッシャー
１１は、案内レール１２によって位置決めされた基板組
ＷＳを架台１の側部に装着されたハンドル１４の操作に
よって搬送方向に向かって移動可能に配置され、案内レ
ール１２Ａ、１２Ｂは基板組ＷＳの両サイドを位置決め
案内するために搬送方向にそれぞれ対向して配置され、
外側に向かって開閉可能に構成される。また、それぞれ
の操作レバー１３Ａ、１３Ｂは架台１の側部にそれぞれ
の案内レール１２Ａ、１２Ｂ付近に装着されている。
【００１４】搬送部２０は、図１及び図３に示すよう
に、基板投入部１０から基板組ＷＳの進行先に向かって
２列に設けられ基板組ＷＳを載置して搬送する複数のバ
ッファコンベア２１と、基板組ＷＳの各端面側をガイド
する各２組の案内ローラ体２２と、基板組ＷＳの上面側
をガイドする２本の上部案内レール２３とを有してい
る。バッファコンベア２１は一般的に使用されるもので
あれば、いずれであってもよく、本形態においては無限
軌道式のコンベアが使用される。もちろんローラコンベ
アでもよく、またベルトコンベアでもよい。さらには、
コンベアでなくシリンダ手段やボールねじ手段であって
もよい。
に、基板投入部１０から基板組ＷＳの進行先に向かって
２列に設けられ基板組ＷＳを載置して搬送する複数のバ
ッファコンベア２１と、基板組ＷＳの各端面側をガイド
する各２組の案内ローラ体２２と、基板組ＷＳの上面側
をガイドする２本の上部案内レール２３とを有してい
る。バッファコンベア２１は一般的に使用されるもので
あれば、いずれであってもよく、本形態においては無限
軌道式のコンベアが使用される。もちろんローラコンベ
アでもよく、またベルトコンベアでもよい。さらには、
コンベアでなくシリンダ手段やボールねじ手段であって
もよい。
【００１５】バッファコンベア２１は、基板組ＷＳを支
持搬送するために架台１内の両側に２列配置され、基板
投入部１０から搬送された基板組ＷＳを基板反転部３０
に搬送する。２列に配置されたバッファコンベア２１
は、同時に駆動するように１個のモータによって連動さ
れる。なお、バッファコンベア２１に支持された基板組
ＷＳは、直前の基板組の各基板の取り出しが全て終了す
るまでバッファコンベア２１上で待機することができ
る。
持搬送するために架台１内の両側に２列配置され、基板
投入部１０から搬送された基板組ＷＳを基板反転部３０
に搬送する。２列に配置されたバッファコンベア２１
は、同時に駆動するように１個のモータによって連動さ
れる。なお、バッファコンベア２１に支持された基板組
ＷＳは、直前の基板組の各基板の取り出しが全て終了す
るまでバッファコンベア２１上で待機することができ
る。
【００１６】案内ローラ体２２は、基板組ＷＳの端面側
で各基板Ｗを保持するサポータＳの外端面を移動案内す
るために、基板組ＷＳを挟んで両側に上下２か所づつ進
行方向に対して搬送部２０の全領域に延設するように配
設され、サポータＳとの当接面にそれぞれ複数のローラ
２２１が配設されている。そして、各案内ローラ体２２
は、架台１から立設された図示しない支柱に支持され
る。上部案内レール２３は、基板組ＷＳのサポータＳの
上面を移動案内及びサポータＳの浮き上がり防止のため
に、基板組ＷＳの上方で２か所搬送部２０の全領域に延
設するように配置され、サポータＳの上端面に僅かな隙
間を有して配設されている。
で各基板Ｗを保持するサポータＳの外端面を移動案内す
るために、基板組ＷＳを挟んで両側に上下２か所づつ進
行方向に対して搬送部２０の全領域に延設するように配
設され、サポータＳとの当接面にそれぞれ複数のローラ
２２１が配設されている。そして、各案内ローラ体２２
は、架台１から立設された図示しない支柱に支持され
る。上部案内レール２３は、基板組ＷＳのサポータＳの
上面を移動案内及びサポータＳの浮き上がり防止のため
に、基板組ＷＳの上方で２か所搬送部２０の全領域に延
設するように配置され、サポータＳの上端面に僅かな隙
間を有して配設されている。
【００１７】基板反転部３０は、搬送部２０から搬入さ
れる基板組ＷＳを移動案内した後、前後左右のセンター
を出すために位置決めを行ない、位置決めされた基板組
ＷＳを下方及び左右方向から保持した後、サポータＳを
取り除いてから基板組ＷＳを垂直方向から水平方向に反
転するように構成される。
れる基板組ＷＳを移動案内した後、前後左右のセンター
を出すために位置決めを行ない、位置決めされた基板組
ＷＳを下方及び左右方向から保持した後、サポータＳを
取り除いてから基板組ＷＳを垂直方向から水平方向に反
転するように構成される。
【００１８】基板反転部３０の具体的構成は、図１及び
図４〜８に示すように、下部に搬送方向に沿って２列に
配置される搬入コンベア３１と、上部に搬送方向に沿っ
て２列に配置される案内レール３２１を有する上部案内
体３２（図１参照）と、両サイドに搬送方向に沿って案
内レール３３１、３４１を有する下サイド移動体３３
（図４参照）及び上サイド移動体３４（図４参照）と、
を有して基板組ＷＳを基板反転部３０のステージ内に搬
入及び搬入案内するとともに、搬入コンベア３１の搬出
側に配置される下位置基準板３５（図５参照）及び回動
可能な上位置基準板３６（図５参照）と、搬入コンベア
３１の搬入側に配置される入出可能な下押圧板３７（図
６参照）及び入出可能な上押圧板３８（図６参照）と、
前述の下サイド移動体３３に装着される下サイド位置決
め板３９及び上サイド移動体３４に装着される上サイド
位置決め板４０と、を有して基板組ＷＳの位置決めを行
ない、基板組ＷＳの両サイド側に出入して各基板Ｗを支
持する基板サイド保持部材４１と、基板組ＷＳの下面に
出入して各基板Ｗの下面を支持する基板下面保持部材４
２と、を有して基板組ＷＳを保持する。そして、基板組
ＷＳが保持された後、前述の下サイド移動体３３にさら
に装着されるサポータ吸着部材４３及び上サイド移動体
３４に装着されるサポータ吸着部材４４でサポータＳを
基板組ＷＳから取り外した後、基板組ＷＳが水平方向に
反転される。
図４〜８に示すように、下部に搬送方向に沿って２列に
配置される搬入コンベア３１と、上部に搬送方向に沿っ
て２列に配置される案内レール３２１を有する上部案内
体３２（図１参照）と、両サイドに搬送方向に沿って案
内レール３３１、３４１を有する下サイド移動体３３
（図４参照）及び上サイド移動体３４（図４参照）と、
を有して基板組ＷＳを基板反転部３０のステージ内に搬
入及び搬入案内するとともに、搬入コンベア３１の搬出
側に配置される下位置基準板３５（図５参照）及び回動
可能な上位置基準板３６（図５参照）と、搬入コンベア
３１の搬入側に配置される入出可能な下押圧板３７（図
６参照）及び入出可能な上押圧板３８（図６参照）と、
前述の下サイド移動体３３に装着される下サイド位置決
め板３９及び上サイド移動体３４に装着される上サイド
位置決め板４０と、を有して基板組ＷＳの位置決めを行
ない、基板組ＷＳの両サイド側に出入して各基板Ｗを支
持する基板サイド保持部材４１と、基板組ＷＳの下面に
出入して各基板Ｗの下面を支持する基板下面保持部材４
２と、を有して基板組ＷＳを保持する。そして、基板組
ＷＳが保持された後、前述の下サイド移動体３３にさら
に装着されるサポータ吸着部材４３及び上サイド移動体
３４に装着されるサポータ吸着部材４４でサポータＳを
基板組ＷＳから取り外した後、基板組ＷＳが水平方向に
反転される。
【００１９】搬入コンベア３１は、本形態においては搬
送部２０のコンベア２１と同様のものが使用され、２列
のコンベア２１が同時に駆動するようにその下部におい
て１個の駆動装置に連動される。
送部２０のコンベア２１と同様のものが使用され、２列
のコンベア２１が同時に駆動するようにその下部におい
て１個の駆動装置に連動される。
【００２０】上部案内体３２は、基板組ＷＳの上面に僅
かに隙間を有して配置される２本の案内レール３２１
と、各案内レール３２１がそれぞればねを介して取り付
けられる支持部材３２２とを有し、基板組ＷＳの上面に
対して上下移動可能に架台１に装着される図示しないブ
ラケットに装着される。そして、基板組ＷＳの搬入に対
してその上面を移動案内する。
かに隙間を有して配置される２本の案内レール３２１
と、各案内レール３２１がそれぞればねを介して取り付
けられる支持部材３２２とを有し、基板組ＷＳの上面に
対して上下移動可能に架台１に装着される図示しないブ
ラケットに装着される。そして、基板組ＷＳの搬入に対
してその上面を移動案内する。
【００２１】下サイド移動体３３は、基板反転部３０の
両側部に形成された架台突起部３にシリンダ３３２によ
って移動可能に支持され、図４に示すように、平板状に
形成された本体部３３０の移動側前面に下方に突出して
搬送方向に案内レール３３１が配置され、本体部３３０
の上面と下面に下サイド位置決め板３９とサポータ吸着
部材４３とがそれぞれ別々のシリンダによって基板組Ｗ
Ｓに向かって移動可能に装着されている。下サイド移動
体３３の基板反転部３０への移動は、基板組ＷＳが搬送
部２０から搬入する前に上部案内体３２の下方移動とと
もに行なわれ、その際には案内レール３３１、下サイド
位置決め板３９及びサポータ吸着部材４３が同時に移動
されるが、下サイド位置決め板３９及びサポータ吸着部
材４３をそれぞれ移動させるシリンダは駆動されないた
め、その進出作用は後で行なわれる。
両側部に形成された架台突起部３にシリンダ３３２によ
って移動可能に支持され、図４に示すように、平板状に
形成された本体部３３０の移動側前面に下方に突出して
搬送方向に案内レール３３１が配置され、本体部３３０
の上面と下面に下サイド位置決め板３９とサポータ吸着
部材４３とがそれぞれ別々のシリンダによって基板組Ｗ
Ｓに向かって移動可能に装着されている。下サイド移動
体３３の基板反転部３０への移動は、基板組ＷＳが搬送
部２０から搬入する前に上部案内体３２の下方移動とと
もに行なわれ、その際には案内レール３３１、下サイド
位置決め板３９及びサポータ吸着部材４３が同時に移動
されるが、下サイド位置決め板３９及びサポータ吸着部
材４３をそれぞれ移動させるシリンダは駆動されないた
め、その進出作用は後で行なわれる。
【００２２】上サイド移動体３４は、下サイド移動体３
３の上方で架台突起部３にシリンダ３４２によって移動
可能に支持され、下サイド移動体３３と同様に平板状の
本体部３４０の前端面下方に突出する案内レール３４１
と本体部３４０の上面と下面に装着される上サイド位置
決め板４０及びサポータ吸着部材４４とを有している。
上サイド移動体３４の作用も下移動駆動対３３の作用と
同様に行なわれる。
３の上方で架台突起部３にシリンダ３４２によって移動
可能に支持され、下サイド移動体３３と同様に平板状の
本体部３４０の前端面下方に突出する案内レール３４１
と本体部３４０の上面と下面に装着される上サイド位置
決め板４０及びサポータ吸着部材４４とを有している。
上サイド移動体３４の作用も下移動駆動対３３の作用と
同様に行なわれる。
【００２３】搬入コンベア３１の搬出側に配置されてい
る下位置基準板３５は、図５に示すように、基板組ＷＳ
の下部の両側に配置されたサポータＳの前端面を押える
ために平板状に形成され、下方に配置される図示しない
シリンダによって上下移動可能に配置され、基板組ＷＳ
が搬入コンベア３１に搬送される前に、基板組ＷＳの前
端面に当接する位置に上方に移動される。
る下位置基準板３５は、図５に示すように、基板組ＷＳ
の下部の両側に配置されたサポータＳの前端面を押える
ために平板状に形成され、下方に配置される図示しない
シリンダによって上下移動可能に配置され、基板組ＷＳ
が搬入コンベア３１に搬送される前に、基板組ＷＳの前
端面に当接する位置に上方に移動される。
【００２４】上位置基準板３６は、基板組ＷＳの上部の
両側に配置されたそれぞれのサポータＳの前端面を押え
るために矩形状に形成されるとともに図示しないレバー
を介してそれぞれ垂直方向に開閉可能に構成され、基板
組ＷＳが搬入コンベア３１に搬送される前に、基板組Ｗ
Ｓの前端面に当接する位置に移動される。
両側に配置されたそれぞれのサポータＳの前端面を押え
るために矩形状に形成されるとともに図示しないレバー
を介してそれぞれ垂直方向に開閉可能に構成され、基板
組ＷＳが搬入コンベア３１に搬送される前に、基板組Ｗ
Ｓの前端面に当接する位置に移動される。
【００２５】搬入コンベア３１の搬入側に配置される下
押圧板３７は、図６に示すように、基板組ＷＳの下部の
両側に配置されたサポータＳの後端面を押えるために平
板状に形成され、下方に配置される図示しないシリンダ
によって上下方向及び前後方向に移動可能に配置されて
いる。この下押圧板３７は、基板組ＷＳが搬送部２０の
バッファコンベア２１から基板反転部３０の搬入コンベ
ア３１に搬送された後で上方及び前方への移動が行なわ
れる。上押圧板３８は、基板組ＷＳの上部の両側に配置
されたそれぞれのサポータＳの後端面を押えるために、
矩形状に形成されるとともに図示しないレバーを介して
垂直方向に開閉可能に揺動される。この上押圧板３８
は、基板組ＷＳが搬送部２０のバッファコンベア２１か
ら基板反転部３０の搬入コンベア３１に搬送された後で
閉口及び前方への移動が行なわれる。
押圧板３７は、図６に示すように、基板組ＷＳの下部の
両側に配置されたサポータＳの後端面を押えるために平
板状に形成され、下方に配置される図示しないシリンダ
によって上下方向及び前後方向に移動可能に配置されて
いる。この下押圧板３７は、基板組ＷＳが搬送部２０の
バッファコンベア２１から基板反転部３０の搬入コンベ
ア３１に搬送された後で上方及び前方への移動が行なわ
れる。上押圧板３８は、基板組ＷＳの上部の両側に配置
されたそれぞれのサポータＳの後端面を押えるために、
矩形状に形成されるとともに図示しないレバーを介して
垂直方向に開閉可能に揺動される。この上押圧板３８
は、基板組ＷＳが搬送部２０のバッファコンベア２１か
ら基板反転部３０の搬入コンベア３１に搬送された後で
閉口及び前方への移動が行なわれる。
【００２６】下サイド移動体３３に移動可能に装着され
る下サイド位置決め板３９は、図４に示すように、逆Ｔ
字形に形成され上部に下側のサポータＳの上面に当接可
能な爪部３９１が形成され、下サイド移動体３３の移動
とともに基板組ＷＳに移動した後、前後（搬送方向）の
位置決めが行なわれた後に、シリンダ３９２によって基
板組ＷＳサポータＳに略当接するように進出して両サイ
ドの位置決めを行なう。この際、爪部３９１はサポータ
Ｓの上方に位置され基板下面保持部材４０が基板組ＷＳ
を保持移動する際に下側サポータＳの浮き上がり防止の
役目をする。
る下サイド位置決め板３９は、図４に示すように、逆Ｔ
字形に形成され上部に下側のサポータＳの上面に当接可
能な爪部３９１が形成され、下サイド移動体３３の移動
とともに基板組ＷＳに移動した後、前後（搬送方向）の
位置決めが行なわれた後に、シリンダ３９２によって基
板組ＷＳサポータＳに略当接するように進出して両サイ
ドの位置決めを行なう。この際、爪部３９１はサポータ
Ｓの上方に位置され基板下面保持部材４０が基板組ＷＳ
を保持移動する際に下側サポータＳの浮き上がり防止の
役目をする。
【００２７】上サイド移動体３４に移動可能に装着され
る上サイド位置決め板４０は、図１に示すように、矩形
状に形成され、上サイド移動体３４の移動とともに基板
組ＷＳに移動した後、前後左右の位置決めが行なわれた
後に、シリンダ４０１によって基板ＷＳサポータＳに略
当接するように進出する。
る上サイド位置決め板４０は、図１に示すように、矩形
状に形成され、上サイド移動体３４の移動とともに基板
組ＷＳに移動した後、前後左右の位置決めが行なわれた
後に、シリンダ４０１によって基板ＷＳサポータＳに略
当接するように進出する。
【００２８】基板サイド保持部材４１は、図７に示すよ
うに、図示しない回転機枠に支持され、先端部に各基板
Ｗを押圧保持するように櫛状に形成された保持部４１１
を有して基板組ＷＳのサイドに向かってシリンダ４１２
によって移動可能に装着され、ている。そして、前後左
右の位置決めが行なわれた後に、各基板Ｗを押圧保持す
るために移動される。
うに、図示しない回転機枠に支持され、先端部に各基板
Ｗを押圧保持するように櫛状に形成された保持部４１１
を有して基板組ＷＳのサイドに向かってシリンダ４１２
によって移動可能に装着され、ている。そして、前後左
右の位置決めが行なわれた後に、各基板Ｗを押圧保持す
るために移動される。
【００２９】基板下面保持部材４２は、図７に示すよう
に、基板組ＷＳの下方で２個の搬入コンベア３１の間に
図示しない回転機枠に支持され、上端部に各基板Ｗを押
圧保持するように櫛状の保持部４２１を有してシリンダ
４２２によって移動可能に装着されている。そして、基
板サイド保持部材４１と同様、基板組ＷＳの前後左右の
位置決めが行なわれた後に、上方に向かって移動され
る。
に、基板組ＷＳの下方で２個の搬入コンベア３１の間に
図示しない回転機枠に支持され、上端部に各基板Ｗを押
圧保持するように櫛状の保持部４２１を有してシリンダ
４２２によって移動可能に装着されている。そして、基
板サイド保持部材４１と同様、基板組ＷＳの前後左右の
位置決めが行なわれた後に、上方に向かって移動され
る。
【００３０】下サイド移動体３３に移動可能に装着され
るサポータ吸着部材４３、及び上サイド移動体３４に装
着されるサポータ吸着部材４４は、図１及び図４に示す
ように、それぞれ下サイド移動体３３に固着されるシリ
ンダ４３２及び上サイド移動体３４に固着されるシリン
ダ４４２によって基板組ＷＳのサポータＳに向かって進
出可能に移動される。それぞれのサポータ吸着部材４
３、４４には２個の吸着盤４３１、４４１が取り付けら
れ、基板組ＷＳが基板サイド保持部材４１及び基板下面
保持部材４２によって保持されると、各サポータＳは吸
着盤４３１、４４１で吸着され、下サイド移動体３３、
上サイド移動体３４の復帰移動により基板組ＷＳから取
り外され、図９に示すように、架台突起部３に設けられ
た排出溝４に収納される。さらに、サポータＳは架台突
起部３に装着されたシリンダ５によって外部に排出され
る。
るサポータ吸着部材４３、及び上サイド移動体３４に装
着されるサポータ吸着部材４４は、図１及び図４に示す
ように、それぞれ下サイド移動体３３に固着されるシリ
ンダ４３２及び上サイド移動体３４に固着されるシリン
ダ４４２によって基板組ＷＳのサポータＳに向かって進
出可能に移動される。それぞれのサポータ吸着部材４
３、４４には２個の吸着盤４３１、４４１が取り付けら
れ、基板組ＷＳが基板サイド保持部材４１及び基板下面
保持部材４２によって保持されると、各サポータＳは吸
着盤４３１、４４１で吸着され、下サイド移動体３３、
上サイド移動体３４の復帰移動により基板組ＷＳから取
り外され、図９に示すように、架台突起部３に設けられ
た排出溝４に収納される。さらに、サポータＳは架台突
起部３に装着されたシリンダ５によって外部に排出され
る。
【００３１】なお、サポータＳが取り除かれた基板組Ｗ
Ｓは、基板サイド保持部材４１と基板下面保持部材４２
とで保持されたまま、図示しない回転機枠がモータによ
って９０°反転されて水平状態に配置され、回転基板は
図示しないシリンダによって基板取り出しステージ５１
まで搬送される。
Ｓは、基板サイド保持部材４１と基板下面保持部材４２
とで保持されたまま、図示しない回転機枠がモータによ
って９０°反転されて水平状態に配置され、回転基板は
図示しないシリンダによって基板取り出しステージ５１
まで搬送される。
【００３２】基板取り出し部５０は、基板反転部３０で
垂直方向から水平方向に反転されサポータＳが取り除か
れた基板組ＷＳが配置される基板取り出しステージ５１
と、取り出される基板Ｗの上方の基板Ｗを上方に持ち上
げるリフタ５２と、基板Ｗを取り出すロボット５３とを
有して構成されている。さらに、基板取り出しステージ
５１の先端部（搬送方向の前方部）には、図１１に示す
ように、水平状態の各基板Ｗ間に挿入可能な複数のリフ
ト爪５２１を有するリフタ５２が架台１に固着されたブ
ラケット６（図１参照）を介して装着されている。複数
のリフト爪５２１は、一定ピッチ間で配設された基板Ｗ
に合わせてリフタ本体５２２から基板Ｗ側に向かって水
平状に突起するように形成され、リフタ５２は、基板組
ＷＳに対して接近離隔する方向に移動するシリンダ５２
３と、基板Ｗを一定ストローク持ち上げるためのシリン
ダ５２４（図１参照）と、一定にピッチで配設された各
基板Ｗを１ピッチごと上昇移動させるためのステッピン
グモータまたはサーボモータ５２５によって上下移動及
び前後移動可能に配置されている。そして、基板Ｗをロ
ボット５３で取り出す際は、取り出す基板Ｗの上方に位
置する基板Ｗをリフタ５２で持ち上げることになる。
垂直方向から水平方向に反転されサポータＳが取り除か
れた基板組ＷＳが配置される基板取り出しステージ５１
と、取り出される基板Ｗの上方の基板Ｗを上方に持ち上
げるリフタ５２と、基板Ｗを取り出すロボット５３とを
有して構成されている。さらに、基板取り出しステージ
５１の先端部（搬送方向の前方部）には、図１１に示す
ように、水平状態の各基板Ｗ間に挿入可能な複数のリフ
ト爪５２１を有するリフタ５２が架台１に固着されたブ
ラケット６（図１参照）を介して装着されている。複数
のリフト爪５２１は、一定ピッチ間で配設された基板Ｗ
に合わせてリフタ本体５２２から基板Ｗ側に向かって水
平状に突起するように形成され、リフタ５２は、基板組
ＷＳに対して接近離隔する方向に移動するシリンダ５２
３と、基板Ｗを一定ストローク持ち上げるためのシリン
ダ５２４（図１参照）と、一定にピッチで配設された各
基板Ｗを１ピッチごと上昇移動させるためのステッピン
グモータまたはサーボモータ５２５によって上下移動及
び前後移動可能に配置されている。そして、基板Ｗをロ
ボット５３で取り出す際は、取り出す基板Ｗの上方に位
置する基板Ｗをリフタ５２で持ち上げることになる。
【００３３】ロボット５３は基板取り出しステージ５１
の先端側に配置され、基板Ｗに対して接近離隔する方向
に移動するとともに上下移動及び水平方向に旋回可能な
ハンド５３１を有している。ロボット５３の基板Ｗ側と
直交する方向には、カセットＣステージが配置され、ロ
ボット５３のハンド５３１で取り出された基板Ｗをカセ
ットＣまたは下流装置に収納する。
の先端側に配置され、基板Ｗに対して接近離隔する方向
に移動するとともに上下移動及び水平方向に旋回可能な
ハンド５３１を有している。ロボット５３の基板Ｗ側と
直交する方向には、カセットＣステージが配置され、ロ
ボット５３のハンド５３１で取り出された基板Ｗをカセ
ットＣまたは下流装置に収納する。
【００３４】次に上記の自動取り出し装置Ｍの作用につ
いて説明する。図１〜２に示すようにビニールシートで
梱包された基板組ＷＳが基板投入部１０に搬入されると
オペレータにより開梱され、操作レバー１３Ａ、１３Ｂ
の操作により案内レール１２Ａ、１２Ｂで位置決めされ
る。位置決めされた基板組ＷＳは、図２に示すように、
ハンドル１４によりプッシャー１１によって案内レール
１２に案内されながら搬送部２０に搬入される。
いて説明する。図１〜２に示すようにビニールシートで
梱包された基板組ＷＳが基板投入部１０に搬入されると
オペレータにより開梱され、操作レバー１３Ａ、１３Ｂ
の操作により案内レール１２Ａ、１２Ｂで位置決めされ
る。位置決めされた基板組ＷＳは、図２に示すように、
ハンドル１４によりプッシャー１１によって案内レール
１２に案内されながら搬送部２０に搬入される。
【００３５】搬送部２０のバッファコンベア２１上に載
置された基板組ＷＳは、図３に示すように、基板投入部
１０の先端部に配置された操作釦２４を操作することに
よって、案内ローラ体２２及び上部案内レール２３に案
内されながら進行方向に沿って搬送される。基板組ＷＳ
が搬送部２０の進行方向先端部に到達すると、直前に搬
送された基板組ＷＳの基板Ｗの取り出しが全て終了する
まで一端待機される。直前の基板組ＷＳが基板Ｗの取り
出し作業を終了すると、バッファコンベア２１の先端部
でバッファコンベア２１上に載置された板基板組ＷＳ
は、搬送部２０の搬入コンベア３１上に搬送される。
置された基板組ＷＳは、図３に示すように、基板投入部
１０の先端部に配置された操作釦２４を操作することに
よって、案内ローラ体２２及び上部案内レール２３に案
内されながら進行方向に沿って搬送される。基板組ＷＳ
が搬送部２０の進行方向先端部に到達すると、直前に搬
送された基板組ＷＳの基板Ｗの取り出しが全て終了する
まで一端待機される。直前の基板組ＷＳが基板Ｗの取り
出し作業を終了すると、バッファコンベア２１の先端部
でバッファコンベア２１上に載置された板基板組ＷＳ
は、搬送部２０の搬入コンベア３１上に搬送される。
【００３６】基板反転部３０においては、基板組ＷＳが
搬入される前に、案内レール３２１を有する上部案内体
３２と、案内レール３３１を有する両サイドの下サイド
移動体３３及び案内レール３４１を有する上サイド移動
体３４が基板組ＷＳの外寸法に合わせた位置まで移動さ
れる。上部案内体３２は、案内レール３２１の下面が基
板組ＷＳのサポータＳ上面より僅かに離れた位置に、そ
して、下サイド移動体３３及び上サイド移動体３４は、
それぞれの案内レール３３１及び３４１が基板組ＷＳの
サポータＳの外側端面にほぼ隙間のない位置に移動され
ている。また、下サイド移動体３３及び上サイド移動体
３４に装着された下サイド位置決め板３９、上サイド位
置決め板４０及びサポータ吸着部材４３、４４は、それ
ぞれのシリンダが作動されない状態で下サイド移動体３
３、上サイド移動体３４と共に移動されている。さら
に、搬入コンベア２０の先端位置に配置されている下位
置基準板３５及び上位置基準板３６はそれぞれの駆動源
により作動されて、基板組ＷＳの正面位置に移動されて
いる。
搬入される前に、案内レール３２１を有する上部案内体
３２と、案内レール３３１を有する両サイドの下サイド
移動体３３及び案内レール３４１を有する上サイド移動
体３４が基板組ＷＳの外寸法に合わせた位置まで移動さ
れる。上部案内体３２は、案内レール３２１の下面が基
板組ＷＳのサポータＳ上面より僅かに離れた位置に、そ
して、下サイド移動体３３及び上サイド移動体３４は、
それぞれの案内レール３３１及び３４１が基板組ＷＳの
サポータＳの外側端面にほぼ隙間のない位置に移動され
ている。また、下サイド移動体３３及び上サイド移動体
３４に装着された下サイド位置決め板３９、上サイド位
置決め板４０及びサポータ吸着部材４３、４４は、それ
ぞれのシリンダが作動されない状態で下サイド移動体３
３、上サイド移動体３４と共に移動されている。さら
に、搬入コンベア２０の先端位置に配置されている下位
置基準板３５及び上位置基準板３６はそれぞれの駆動源
により作動されて、基板組ＷＳの正面位置に移動されて
いる。
【００３７】基板組ＷＳが搬入コンベア３１上をそれぞ
れの案内レールに案内されて移動され、下位置基準板３
５及び上位置基準板３６に当接すると、図６に示すよう
に、搬入された基板組ＷＳの後方に配置される下押圧板
３７がシリンダにより上昇されるとともに基板組ＷＳの
サポータＳの後面を押圧するように前進移動し、上押圧
板３８が、閉口するとともに基板組ＷＳのサポータＳの
後面を押圧するように前進移動する。引き続いて、下サ
イド移動体３３に装着された下サイド位置決め板３９が
シリンダ３９２により、また上サイド位置決め板４０が
シリンダ４０１の作動により、サポータＳの外端面に当
接する位置まで進出する。これによって、基板組ＷＳが
位置決めされる。
れの案内レールに案内されて移動され、下位置基準板３
５及び上位置基準板３６に当接すると、図６に示すよう
に、搬入された基板組ＷＳの後方に配置される下押圧板
３７がシリンダにより上昇されるとともに基板組ＷＳの
サポータＳの後面を押圧するように前進移動し、上押圧
板３８が、閉口するとともに基板組ＷＳのサポータＳの
後面を押圧するように前進移動する。引き続いて、下サ
イド移動体３３に装着された下サイド位置決め板３９が
シリンダ３９２により、また上サイド位置決め板４０が
シリンダ４０１の作動により、サポータＳの外端面に当
接する位置まで進出する。これによって、基板組ＷＳが
位置決めされる。
【００３８】基板組ＷＳが位置決めされてセンター出し
が行なわれると、図８に示すように、基板サイド保持部
材４１が基板Ｗの側端面側に進出して保持部４１１で各
基板Ｗの側端面を押圧保持し、基板下面保持部材４２が
上方に進出して保持部４２１で基板Ｗの下面を押圧保持
する。この際、基板下面保持部４２が基板組ＷＳを上方
に押圧するために、基板組ＷＳを持ち上げることになる
が、下サイド位置決め板３９に形成された爪部３９１に
より、基板組ＷＳの上方移動は規制され、上案内体３２
の案内レール３２１は支持部材３２２との間に設けられ
たばねにより吸収される。
が行なわれると、図８に示すように、基板サイド保持部
材４１が基板Ｗの側端面側に進出して保持部４１１で各
基板Ｗの側端面を押圧保持し、基板下面保持部材４２が
上方に進出して保持部４２１で基板Ｗの下面を押圧保持
する。この際、基板下面保持部４２が基板組ＷＳを上方
に押圧するために、基板組ＷＳを持ち上げることになる
が、下サイド位置決め板３９に形成された爪部３９１に
より、基板組ＷＳの上方移動は規制され、上案内体３２
の案内レール３２１は支持部材３２２との間に設けられ
たばねにより吸収される。
【００３９】基板組ＷＳがそれぞれの保持部材で保持さ
れると、図１０に示すように、下サイド移動体３３及び
上サイド移動体３４に装着されたサポータ吸着部材４
３、４４（図１０では図省略）がそれぞれのシリンダの
作用により、サポータＳをそれぞれの吸着盤４３１、４
４１で吸着する。サポータ吸着部材がサポータＳを吸着
すると、上部案内体３２、下サイド移動体３３、上サイ
ド移動体３４、下位置基準板３５、上位置基準板３６、
下押圧板３７、上押圧板３８は、元の位置に戻るように
作動される。
れると、図１０に示すように、下サイド移動体３３及び
上サイド移動体３４に装着されたサポータ吸着部材４
３、４４（図１０では図省略）がそれぞれのシリンダの
作用により、サポータＳをそれぞれの吸着盤４３１、４
４１で吸着する。サポータ吸着部材がサポータＳを吸着
すると、上部案内体３２、下サイド移動体３３、上サイ
ド移動体３４、下位置基準板３５、上位置基準板３６、
下押圧板３７、上押圧板３８は、元の位置に戻るように
作動される。
【００４０】下サイド移動体３３及び上サイド移動体３
４の復帰移動の際、基板組ＷＳを保持していたそれぞれ
のサポータＳは、前述のように、下サイド移動体３３、
上サイド移動体３４の復帰移動とともに移動され基板組
ＷＳから取り外される。サポータＳは、さらに、架台突
起部３の排出溝４に落下され、シリンダ５によって外部
に排出される。
４の復帰移動の際、基板組ＷＳを保持していたそれぞれ
のサポータＳは、前述のように、下サイド移動体３３、
上サイド移動体３４の復帰移動とともに移動され基板組
ＷＳから取り外される。サポータＳは、さらに、架台突
起部３の排出溝４に落下され、シリンダ５によって外部
に排出される。
【００４１】サポータＳが除かれ各保持部材４１、４２
で保持された基板組ＷＳは、基板反転部３０において、
各保持部材４１、４２を支持する回転機枠の回転によっ
て、図１１に示すように、垂直方向から水平方向に反転
される。基板組ＷＳが水平状態に配置された後、回転機
枠ごと図示しない駆動装置によって基板反転部３０から
基板取り出し部５０の取り出しステージ５１移動され
る。
で保持された基板組ＷＳは、基板反転部３０において、
各保持部材４１、４２を支持する回転機枠の回転によっ
て、図１１に示すように、垂直方向から水平方向に反転
される。基板組ＷＳが水平状態に配置された後、回転機
枠ごと図示しない駆動装置によって基板反転部３０から
基板取り出し部５０の取り出しステージ５１移動され
る。
【００４２】基板組ＷＳが取り出しステージ５１に搬送
されると、図１２に示すように、リフタ５２が、シリン
ダによって基板組ＷＳの先端部に向かって移動され、リ
フト爪５２１を基板組ＷＳの先端部に挿入する。水平状
態に配置された各基板Ｗは、図１３に示すように、基板
サイド保持部材４１で両端が保持され中央部が下方に撓
んでいる。この撓み量は、基板が大きければ大きい程大
きく、本形態の場合でも基板Ｗの中央部は下段の位置す
る基板Ｗの、撓みのない状態での位置に到達する程であ
る。基板Ｗ間に挿入するリフタ５２のリフト爪５２１
は、取り出す基板Ｗの直上から上方の複数の基板Ｗを支
持するように移動する。そして、リフト爪５２１がその
突起分挿入すると、リフタ５２は、図１４に示すよう
に、シリンダ５２４によって持ち上げストローク分上昇
する。持ち上げられる基板Ｗは、基板下面保持部材４２
で保持されている端面を中心に先端部が持ち上げられ
る。これによって、持ち上げられた基板Ｗは、中央部に
おける下方の撓み量が修正されてほぼ平面状態に形成さ
れる。この状態でロボット５３のハンド５３１が最下段
の基板Ｗの下方に挿入して基板Ｗを吸着し、基板組ＷＳ
内で上方に移動する。ハンドの基板組ＷＳ内での上昇
は、直上の基板Ｗに干渉しない範囲で行なわれ、そのま
まもとの位置まで復帰する。そして水平旋回を行なって
カセットＣ内または下流装置に収納される。
されると、図１２に示すように、リフタ５２が、シリン
ダによって基板組ＷＳの先端部に向かって移動され、リ
フト爪５２１を基板組ＷＳの先端部に挿入する。水平状
態に配置された各基板Ｗは、図１３に示すように、基板
サイド保持部材４１で両端が保持され中央部が下方に撓
んでいる。この撓み量は、基板が大きければ大きい程大
きく、本形態の場合でも基板Ｗの中央部は下段の位置す
る基板Ｗの、撓みのない状態での位置に到達する程であ
る。基板Ｗ間に挿入するリフタ５２のリフト爪５２１
は、取り出す基板Ｗの直上から上方の複数の基板Ｗを支
持するように移動する。そして、リフト爪５２１がその
突起分挿入すると、リフタ５２は、図１４に示すよう
に、シリンダ５２４によって持ち上げストローク分上昇
する。持ち上げられる基板Ｗは、基板下面保持部材４２
で保持されている端面を中心に先端部が持ち上げられ
る。これによって、持ち上げられた基板Ｗは、中央部に
おける下方の撓み量が修正されてほぼ平面状態に形成さ
れる。この状態でロボット５３のハンド５３１が最下段
の基板Ｗの下方に挿入して基板Ｗを吸着し、基板組ＷＳ
内で上方に移動する。ハンドの基板組ＷＳ内での上昇
は、直上の基板Ｗに干渉しない範囲で行なわれ、そのま
まもとの位置まで復帰する。そして水平旋回を行なって
カセットＣ内または下流装置に収納される。
【００４３】最下段の基板Ｗが取り出されると直上の基
板Ｗを取り出すために、持ち上げられていた基板Ｗは一
端リフタ５２の下方への移動により元の位置に戻され
る。リフタ５２は、一旦、基板Ｗから離れる方向に移動
すると、１ピッチ送りを行なうステッピングモータまた
はサーボモータ５２５により１ピッチ分上昇する。そし
て前述と同様、取り出す直上以上の基板Ｗの下方に移動
して再び基板Ｗを持ち上げる。そして、ハンド５３１が
基板Ｗを取り出し、カセットＣ内または下流装置に収納
する。そしてこの作用が繰り返されると所定の枚数で構
成されていた基板組ＷＳの基板Ｗが全て取り出されるこ
とになる。
板Ｗを取り出すために、持ち上げられていた基板Ｗは一
端リフタ５２の下方への移動により元の位置に戻され
る。リフタ５２は、一旦、基板Ｗから離れる方向に移動
すると、１ピッチ送りを行なうステッピングモータまた
はサーボモータ５２５により１ピッチ分上昇する。そし
て前述と同様、取り出す直上以上の基板Ｗの下方に移動
して再び基板Ｗを持ち上げる。そして、ハンド５３１が
基板Ｗを取り出し、カセットＣ内または下流装置に収納
する。そしてこの作用が繰り返されると所定の枚数で構
成されていた基板組ＷＳの基板Ｗが全て取り出されるこ
とになる。
【００４４】なお、上記の取り出し装置Ｍは、あくまで
一形態であり、各部を構成する形態は上記に限るもので
はない。
一形態であり、各部を構成する形態は上記に限るもので
はない。
【００４５】各移動体を移動する手段はシリンダに限ら
ずモータとベルトあるいはチェーン等を使用してもよ
く、また、ロボットで搬送することもできる。
ずモータとベルトあるいはチェーン等を使用してもよ
く、また、ロボットで搬送することもできる。
【００４６】
【発明の効果】本発明によれば、基板の自動取り出し装
置は、複数の基板が並設された基板組が搬送され、前記
基板組を水平方向に配設した状態で、取り出す基板の少
なくとも直上の基板を、少なくともその撓み分を上方に
持ち上げるリフト手段を有して、１枚の基板を取り出す
ように構成されている。従って、水平状態で配置された
複数の基板が撓んでいても、取り出す基板の直上以上の
基板の撓みを平面状態に修正するので、例えば、ロボッ
トのハンドを挿入して基板を取り出すために、ハンドを
上昇させても、直上の基板に干渉しない位置でハンドを
元に戻すことができ、基板組から１枚ごと分離して取り
出すことができる。
置は、複数の基板が並設された基板組が搬送され、前記
基板組を水平方向に配設した状態で、取り出す基板の少
なくとも直上の基板を、少なくともその撓み分を上方に
持ち上げるリフト手段を有して、１枚の基板を取り出す
ように構成されている。従って、水平状態で配置された
複数の基板が撓んでいても、取り出す基板の直上以上の
基板の撓みを平面状態に修正するので、例えば、ロボッ
トのハンドを挿入して基板を取り出すために、ハンドを
上昇させても、直上の基板に干渉しない位置でハンドを
元に戻すことができ、基板組から１枚ごと分離して取り
出すことができる。
【００４７】また、この基板の自動取り出し装置は、開
梱された基板組を次工程に投入する基板投入手段と、前
記基板組を搬送する搬送手段と、前記基板組を垂直方向
から水平方向に変換する基板反転手段と、前記基板組を
水平方向に配設した状態で、取り出す基板の少なくとも
直上の基板を、少なくともその撓み分を上方に持ち上げ
るリフト手段と、持ち上げられた前記基板の直下の基板
を取り出す基板取り出し手段と、を有して構成される。
従って、垂直状態で納入された基板組を自動的に搬送・
水平変換して、撓んだ基板を基板組から１枚ごと分離し
て取り出すことが可能となる。そのため、人手を要する
ことなく、安定した精度で基板をカセットに収納するこ
とができる。
梱された基板組を次工程に投入する基板投入手段と、前
記基板組を搬送する搬送手段と、前記基板組を垂直方向
から水平方向に変換する基板反転手段と、前記基板組を
水平方向に配設した状態で、取り出す基板の少なくとも
直上の基板を、少なくともその撓み分を上方に持ち上げ
るリフト手段と、持ち上げられた前記基板の直下の基板
を取り出す基板取り出し手段と、を有して構成される。
従って、垂直状態で納入された基板組を自動的に搬送・
水平変換して、撓んだ基板を基板組から１枚ごと分離し
て取り出すことが可能となる。そのため、人手を要する
ことなく、安定した精度で基板をカセットに収納するこ
とができる。
【００４８】さらにこの基板の自動取り出し装置は、前
記リフト手段が、前記基板組から基板を取り出す側にお
いて、複数の基板の端部を同時に持ち上げ可能に形成さ
れるリフタを有して構成されているため、撓みやすい基
板を干渉させることなく安定して１枚づつ取り出すこと
が可能となる。しかも、搬送・反転作用は自動的に行な
うことが可能であるため、人手を要することなく安定し
た精度で基板を取り出すことができる。
記リフト手段が、前記基板組から基板を取り出す側にお
いて、複数の基板の端部を同時に持ち上げ可能に形成さ
れるリフタを有して構成されているため、撓みやすい基
板を干渉させることなく安定して１枚づつ取り出すこと
が可能となる。しかも、搬送・反転作用は自動的に行な
うことが可能であるため、人手を要することなく安定し
た精度で基板を取り出すことができる。
【図１】本発明の一形態の自動取り出し装置を示す全体
斜視図
斜視図
【図２】図１における基板投入部を示す斜視図
【図３】図１における搬送部を示す簡略図
【図４】図１における下サイド移動体を示す斜視図
【図５】図１の基板反転部における基準板の進出作用を
示す簡略斜視図
示す簡略斜視図
【図６】図１の基板反転部における押圧板の進出作用を
示す簡略斜視図
示す簡略斜視図
【図７】図１の基板反転部における保持部材の進出作用
を示す簡略斜視図
を示す簡略斜視図
【図８】図１の基板反転部における基板組の保持作用を
示す平面図
示す平面図
【図９】図１におけるサポータ排出状態を示す簡略斜視
図
図
【図１０】図１の基板反転部における各部位の退出作用
を示す簡略斜視図
を示す簡略斜視図
【図１１】図１の基板組の水平反転作用を示す簡略斜視
図
図
【図１２】図１の基板取り出し部におけるリフタの進出
作用を示す簡略斜視図
作用を示す簡略斜視図
【図１３】基板の持ち上げ作用を示す簡略正面図
【図１４】基板の持ち上げ作用及びハンドの進出作用を
示す簡略側面図
示す簡略側面図
Ｍ…自動取り出し装置 Ｗ…基板 ＷＳ…基板組 Ｓ…サポータ １…架台 １０…基板投入部 ２０…搬送部 ２１…バッファコンベア ３０…基板反転部 ３１…搬入コンベア ３２…上部案内体 ３３…下サイド移動体 ３４…上サイド移動体 ３５…下位置基準板 ３６…上位置基準板 ３７…下押圧板 ３８…上押圧板 ３９…下サイド位置決め板 ４０…上サイド位置決め板 ４１…基板サイド保持部材 ４２…基板下面保持部材 ５０…基板取り出し部 ５１…取り出しステージ ５２…リフタ ５３…ハンド
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の基板が並設された基板組が搬送さ
れ、前記基板組を水平方向に配設した状態で、取り出す
基板の少なくとも直上の基板を、少なくともその撓み分
を上方に持ち上げるリフト手段を有して、１枚の基板を
取り出すように構成されることを特徴とする基板の自動
取り出し装置。 - 【請求項２】 開梱された基板組を次工程に投入する基
板投入手段と、 前記基板組を搬送する搬送手段と、 前記基板組を垂直方向から水平方向に変換する基板反転
手段と、 前記基板組を水平方向に配設した状態で、取り出す基板
の少なくとも直上の基板を、少なくともその撓み分を上
方に持ち上げるリフト手段と、 持ち上げられた前記基板の直下の基板を取り出す基板取
り出し手段と、を有して構成されることを特徴とする基
板の自動取り出し装置。 - 【請求項３】 前記リフト手段が、前記基板組から基板
を取り出す側において、複数の基板の端部を同時に持ち
上げ可能に形成されるリフタを有して構成されることを
特徴とする請求項１または２記載の基板の自動取り出し
装置。 - 【請求項４】 前記基板取り出し手段が、前記基板を支
持するロボットのハンドを有することを特徴とする請求
項１，２または３記載の基板の自動取り出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35164298A JP2000183126A (ja) | 1998-12-10 | 1998-12-10 | 基板の自動取り出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35164298A JP2000183126A (ja) | 1998-12-10 | 1998-12-10 | 基板の自動取り出し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000183126A true JP2000183126A (ja) | 2000-06-30 |
Family
ID=18418641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35164298A Pending JP2000183126A (ja) | 1998-12-10 | 1998-12-10 | 基板の自動取り出し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000183126A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100622409B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2006-09-19 | 주식회사 휘닉스 디지탈테크 | 티에프티-엘시디 판넬 로딩장치 |
| CN106081623A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-11-09 | 意力(广州)电子科技有限公司 | 用于产品自动转移料架的装置 |
| CN107364719A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-11-21 | 东莞市李群自动化技术有限公司 | 一种玻璃片上料输送装置 |
| CN108946087A (zh) * | 2018-07-27 | 2018-12-07 | 江苏云天高胜机器人科技有限公司 | 盖片供给装置 |
| CN109229508A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-01-18 | 蓝思智能机器人(长沙)有限公司 | 自动插架机及插架系统 |
| CN109573566A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-04-05 | 蓝思智能机器人(长沙)有限公司 | 分盘设备 |
| US20210082736A1 (en) * | 2016-10-31 | 2021-03-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for unpacking semiconductor wafer container |
| CN117262731A (zh) * | 2023-10-09 | 2023-12-22 | 旭显未来(北京)科技有限公司 | 一种led显示模组自动老化设备 |
-
1998
- 1998-12-10 JP JP35164298A patent/JP2000183126A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100622409B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2006-09-19 | 주식회사 휘닉스 디지탈테크 | 티에프티-엘시디 판넬 로딩장치 |
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| CN117262731A (zh) * | 2023-10-09 | 2023-12-22 | 旭显未来(北京)科技有限公司 | 一种led显示模组自动老化设备 |
| CN117262731B (zh) * | 2023-10-09 | 2024-05-31 | 旭显未来(北京)科技有限公司 | 一种led显示模组自动老化设备 |
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|
| A521 | Written amendment |
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