JP2000044054A - 基板の自動取り出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 梱包された複数の基板を安定した状態で自動
的に１枚ごと取り出して支持する自動取り出し装置を提
供すること。 【解決手段】 自動取り出し装置Ｍは、開梱ステージ１
１と基板投入ステージ１２を有する基板投入部１と、基
板装着ステージ２１、分離ステージ２４を含むとともに
垂直状態に配置された基板組ＷＳを搬送パレット４０に
装着して搬送する搬送部２と、分離ステージ２４から１
枚ごと基板Ｗを取り出し水平状態に支持する展開ステー
ジ７０を有する枚葉搬送部６と、を有して構成される。
展開ステージ７０に配置された反転ロボット６０は、分
離ステージ２４に搬送された搬送パレット４０から垂直
状態の基板Ｗを１枚ごと取り出し反転し、水平状態に変
換して位置決めガイド７１上に載置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、基板、特に薄型
に形成された複数のガラス基板を開梱して分離して取り
出すための自動取り出し装置に関し、さらに取り出した
基板をカセットに収納することに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ガラス基板は各種の加工が施さ
れて液晶ディスプレイ用基板として製造されている。液
晶ディスプレイはワードプロセッサ、ポータブルパソコ
ンまたは車載用の各種の計測機類やナビゲータ等の普及
により広い分野に進出するとともに高精度・大型化が要
求されてきている。ガラス基板の加工工程やそのための
搬送工程はほとんどが自動化されるとともに、高精度・
大型化の要求に合わせて改良がなされている。通常、ガ
ラス基板を搬送して加工するためにガラス基板は多段に
形成されたカセットに収納され、ロボットでカセットか
ら取り出されて次工程に搬送される。

【０００３】各種の工程で自動化がなされているにもか
かわらず、ガラス基板をカセットに収納する作業は従来
においては手作業で行なわれている。ガラス基板は所定
の大きさで矩形に加工されて１個のカセットに収納され
る分をまとめて梱包され、開梱した後１枚ごと手作業に
よりカセット内に収納される。そのため、人手を要する
とともにガラス基板へのゴミの付着があったり傷をつけ
やすく、また、カセットに収納される基板の位置精度が
ばらつきやすい。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の手作業
に代わって自動化を行なう場合、次の課題が挙げられて
いた。第１には、大型化されたガラス基板は水平面に対
して撓みが大きく、ガラス基板を保持しにくい。そのた
めカセットに搬送する際に、カセットの壁に干渉して傷
をつけたりあるいは落下させてしまう。第２に、１個の
カセット分まとめて収納されるため、１枚のガラス基板
を分離して把持するためには他のガラス基板を傷つけず
に行なわなければならない。さらに、設備投資をするた
めに生産性を向上させなければならない。

【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、ガラス基板の安定した保持を可能とし、他のガラ
ス基板を傷つけることなくカセットあるいは加工ライン
に搬送でき、しかも生産性の向上を可能とする基板の自
動取り出し装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる基板
の自動取り出し装置では、上記の課題を解決するために
以下のように構成するものである。即ち、垂直方向に配
置された複数の基板を並設する基板組が、開梱された
後、１枚ごとの基板に分離されて前記基板を水平方向に
支持する基板の自動取り出し装置であって、開梱された
基板組を搬送する搬送手段と、前記基板組内の基板を１
枚づつ把持して分離する分離手段と、分離された１枚の
基板を垂直方向から水平方向に変換する基板反転手段
と、前記基板を水平方向に支持する基板支持手段と、を
有して構成されることを特徴とするものである。

【０００７】また、この発明による基板の自動取り出し
装置は、垂直方向に配置された複数の基板を並設する基
板組が、開梱された後１枚ごとの基板に分離されて、前
記基板をカセットに収納する基板の自動取り出し装置で
あって、開梱された基板組を搬送する搬送手段と、前記
基板組内の基板を１枚づつ把持して分離する分離手段
と、分離された１枚の基板を垂直方向から水平方向に変
換する基板反転手段と、前記基板を水平方向に支持する
基板支持手段と、前記基板を前記カセットに収納する基
板収納手段と、を有して構成されることを特徴とするも
のである。

【０００８】また好ましくは、前記搬送手段が、前記基
板組を支持する支持ベースと前記支持ベース上に配設さ
れ前記基板組を固定するロック手段とを有する搬送パレ
ットと、前記搬送パレットを搬送するコンベアロール
と、を備えて構成されることを特徴とするものであれば
よい。

【０００９】さらに好ましくは、前記ロック手段が、前
記基板の側部を把持する回転ローラを有していることを
特徴とするものであればなおよい。

【００１０】また、前記分離手段が、前記基板の上端と
下端とを把持するクランプ手段を有して構成されること
を特徴とするものであってもよい。

【００１１】また、この基板の自動取り出し装置は、垂
直方向に配置された複数の基板を１枚ごと分離するとと
もに反転して水平方向に支持するように構成されること
を特徴とするものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【００１３】本形態の基板の自動取り出し装置（以下自
動取り出し装置という）Ｍは、図１〜９に示すように複
数のガラス基板（以下、基板という）Ｗが並設されサポ
ータＳにより支持された基板組ＷＳを開梱した後、基板
組ＷＳごと搬送し基板Ｗを１枚づつ取り出して生産カセ
ット（以下、カセットという）Ｃあるいは加工コンベア
ラインに自動的に収納するものである。以下の説明にあ
たっては、特に取り出した基板をカセットＣ内に収納す
る形態で説明する。なお、図２に示すように、基板組Ｗ
Ｓ内に並設される基板Ｗは垂直方向に配置され４隅をＬ
字形に形成されたサポータＳにより梱包状態において分
離するのを防止している。そして開梱状態においては、
４個のサポータＳの回りをロープＲで結束しビニールシ
ートＢで覆うようにカバーされている。

【００１４】自動取り出し装置Ｍは、図１に示すよう
に、開梱された基板組ＷＳを搬送準備する基板投入部１
と、基板組ＷＳを搬送パレット４０に装着して搬送する
搬送パレット搬送部（以下、搬送部という）２と、垂直
方向に配置された基板組ＷＳから１枚ごとの基板Ｗを分
離して水平方向に配置する枚葉搬送部６とを有して構成
される。

【００１５】基板投入部１は、開梱されていない基板組
ＷＳを載置して開梱する開梱ステージ１１と開梱された
基板組ＷＳを搬送部２に投入する押し込みステージ１２
とを有し、開梱ステージに１１は基板組ＷＳを押込ステ
ージ１２に搬送案内するガイド壁１３が搬送方向に沿っ
て装着され、押し込みステージ１２には開梱された基板
組ＷＳを搬送部２に投入案内するガイド壁１４が投入方
向に沿って装着されるとともに、基板組ＷＳを押し出す
ためのプッシャー１５が図示しないエアシリンダまたは
手動によって搬送部２に向かってスライド可能に装着さ
れている。

【００１６】搬送部２は、搬送プレート４０を枚葉搬送
部６側に向かって基板組ＷＳを搬送する往路側と基板組
ＷＳが空になった搬送パレットを戻す復路側に分れて構
成され、往路側においては、プッシャー１５で押し込ま
れた基板組ＷＳを搬送プレート４０に装着する基板装着
ステージ２１と、基板組ＷＳが装着された搬送プレート
ごと搬送する搬送コンベアステージ２２と、基板組ＷＳ
が装着された予備の搬送パレットを貯溜するストックス
テージ２３と、ストックステージ２３から搬送され基板
組ＷＳから１枚の基板Ｗを分離する分離ステージ２４と
を有し、復路側においては、分離ステージ２４の隣に位
置される回収ステージ２４Ａと、基板組ＷＳが装着され
ない予備の搬送パレット４０を貯溜する空パレットスト
ックステージ２５と、基板Ｗが分離された後の下側サポ
ータＳを除去するサポータ除去ステージ２６と、基板装
着ステージ２１の隣に位置する回収ステージ２１Ａと、
を有して構成されている。また、基板装着ステージ２１
と分離ステージ２４は、いずれも図示しないエアシリン
ダまたはモータ等の作動により基板装着ステージ２１と
回収ステージ２１Ａ間及び分離ステージ２４と回収ステ
ージ２４Ａ間を往復移動するシャトルベース２７とシャ
トルベース２７上に配置されモータの駆動によって回転
する複数個のコンベアロール２８とを有して構成されて
いる。

【００１７】また、搬送コンベアステージ２２、ストッ
クステージ２３及び空パレットストックステージ２６に
はモータの駆動によって回転する複数個のコンベアロー
ル２８が固着され、サポータ除去ステージ２５には搬送
方向に沿って両側にモータ駆動の短ロール２９と下部に
サポータＳを排出するために外部に向かって下傾斜する
排出コンベア３０が配設されている。

【００１８】さらに、分離ステージ２４には、図３に示
すように、基板Ｗを下側のサポータから一括して持ち上
げるリフタ３２が配置されている。リフタ３２は基板Ｗ
の下面に当接するリフトハンド３３とリフトハンド３３
に接続するエアシリンダ３４とを有している。

【００１９】搬送プレート４０は、図４〜５に示すよう
に、各ステージ上を走行するコ字形の支持ベース４１と
支持ベース上に基板組ＷＳの両側に平行に配置される位
置決めガイド壁４２と基板組ＷＳを両側から固定する基
板ロック部４３とを有して構成され、基板装着ステージ
２１において基板ロック部４３に基板組ＷＳを装着した
後コンベアロール２８を駆動することによって各ステー
ジ間を搬送する。

【００２０】基板ロック部４３は装着された基板組ＷＳ
を両側から挟むように２組のロック部４４を有してそれ
ぞれ基板組ＷＳに向かってスライド可能に配置されてい
る。それぞれのロック部４４は、支持ブロック４５と支
持ブロック４５の内方に向かって取り付けられる２段の
把持ローラ４６と下部のサポータＳの上面を押圧するサ
ポータ押え４７とを有し、把持ローラ４６とサポータ押
え４７は連結杆４８に接続され連結杆４８が支持ブロッ
ク４５に回動可能に支持されたロックアーム４９と従動
アーム５０に支承されている。ロックアーム４９を作動
することによってロックアーム４９と従動アーム５０が
回動しこれによって２段の把持ローラ４６が垂直状態を
維持しながら基板Ｗのロック位置と非ロック位置間を移
動することになる。

【００２１】把持ローラ４６は樹脂で形成されそれぞれ
の基板Ｗの側面を把持する部分にテーパ状の溝４６ａが
形成されるとともに上下の把持ローラ４６をブラケット
５１で連結させ、さらに基板Ｗが上方に移動する際に摩
擦を小さくするように把持ローラ４６自体が中心軸に対
して回転する。

【００２２】従動アーム５０と支持ブロック４５間には
戻りばね５２が係止され把持ローラ４６が非ロック位置
にある時にロック位置に向かって付勢するように取り付
けられ、支持ブロック４５の下部には下側のサポータＳ
を除去するためのサポータプッシャー５３が図示しない
エアシリンダにより移動可能に配置されている。サポー
タプッシャー５３の先端は位置決めガイド壁４２に取り
付けられ、サポータプッシャー５３を作動させて位置決
めガイド壁４２を同時に移動させる。

【００２３】なお、基板装着ステージ２１で基板組ＷＳ
が搬送パレット４０に装着されて位置決め固定されると
上側のサポータＳは取り除かれる。

【００２４】枚葉搬送部６は、図１及び図６〜７に示す
ように、分離ステージ２４で一括して持ち上げられた基
板Ｗを１枚ごと水平状態にして配置させる反転ロボット
６０と、基板Ｗを水平状態に維持する位置決めガイド７
１を有する展開ステージ７０とから構成され、展開ステ
ージ７０の近傍に装着されたロボット８０が水平状態の
基板Ｗを吸着してカセットＣに収納したり、加工する基
板Ｗと区別されるダミーの基板をダミーカセットＤＣに
収納したりすることになる。

【００２５】反転ロボット６０は、垂直状態の基板Ｗを
把持するクランプ部６１と、クランプ部６１を水平状態
に反転する反転部６６と、クランプ部６１と反転部６６
を接続する連結部材６９とを有し、分離ステージ２４と
展開ステージ７０間を水平方向に移動するとともに上下
方向に移動可能に配置される。水平方向の移動は本形態
においてはボールねじとモータによって駆動され上下移
動はシリンダによって駆動されるがこれに限定するもの
ではない。

【００２６】クランプ部６１は、図７のように、正面略
Ｈ字形に形成される支持板６２と、支持板６２の上下端
部に基板Ｗ側に向かって配設されそれぞれ中央部に向か
って移動可能に形成される上爪部６３・下爪部６４と、
を有し、支持板６２は把持する基板Ｗの横方向の長さよ
り短尺に形成され、上爪部６３・下爪部６４は図示しな
いエアシリンダで駆動される。そして、反転ロボット６
０が分離ステージ２４側に向かって移動し最先端の基板
Ｗを、上爪部６３と下爪部６４が基板Ｗ側に移動するこ
とにより、上爪部６３と下爪部６４間で把持する。な
お、上爪部６３と下爪部６４には基板Ｗを把持するため
のテーパ状の溝部６３ａ・６４ａが形成されている。

【００２７】反転部６６は、Ｌ字形に形成された連結部
材６９の下部で連結部材６９を回転可能に軸支する反転
支持部６７（図１参照）と連結部材６９を反転駆動する
図示しない駆動部とを有している。反転支持部６７は本
形態では連結部材６９を挟むように連結部材６９の両側
に支持部６７ａを配置させ、支持部６７ａと連結部材６
９とを軸６８で接続する。軸６８は連結部材６９に固着
してもよくまた、回動可能に枢着してもよい。駆動部が
例えば、軸６８をプーリとベルトを介してモータで駆動
させるかあるいは直接モータで駆動するように構成され
ていれば、軸６８は連結部材６９に固着し、連結部材６
９にシリンダを取り付けて回転するように構成すれば軸
６８は連結部材６９に枢着させることになる。そして連
結部材６９を軸６８の回りで回転することによりクラン
プ部６１で把持した垂直状態に配置された基板Ｗを展開
ステージ側に水平状態に変換して支持させる。

【００２８】展開ステージ７０は、位置決めガイド７１
と位置決めガイド７１を支持するとともに反転ロボット
６０を囲うように形成される架台７２とを有し、図８に
示すように、位置決めガイド７１は、反転ロボット６０
の支持板６２が反転された際に、支持板６２が下方に挿
通できるように中央部が解放され、挿通される支持板６
２の回りに略コ字形に形成されるベース板７３と、ベー
ス板７３の上面に基板Ｗの四面を受けるように配置され
る複数のガイド７４とを有している。

【００２９】ガイド７４は、図９に示すように、基板Ｗ
を落とし込むことによって位置決めされるように形成さ
れる。つまり、それぞれのガイド７４は支持面７４ａを
有する断面Ｌ字形に形成され、上面から下方に向かって
傾斜面７４ｂが形成されている。そのため、基板Ｗは紙
面に配置されたガイドの傾斜面に沿って落下し支持面に
支持する際には位置決めされた状態になる。また、架台
７２の内部には、反転ロボット６０が水平及び垂直方向
に移動し支持板６２が反転するための空間部が形成され
ている。なお、ガイド７４は基板Ｗを傾斜面７４ｂで案
内するものでなく、ガイド７４にローラを軸支させ、該
ローラで基板Ｗを支持面７４ａに案内するように形成し
てもよい。

【００３０】図１に示すように、展開ステージ７０の右
隣近傍には搬送ロボット８０が装着されている。搬送ロ
ボット８０は一般的によく知られた構成のものが採用さ
れ、基板Ｗを吸着保持するハンド８１を有している。ハ
ンド８１は直線的に移動されるとともに本体に対して回
動可能に構成される。搬送ロボット８０の本体部は架台
８３内に埋設されハンド８１が架台８３上面に配置され
る。ハンド８１はフォーク状に形成され、位置決めガイ
ド７１とカセットＣ及びダミーカセットＤＣに対向する
ように回動されさらに、位置決めガイド７１、カセット
Ｃ、ダミーカセットＤＣに向かって進退可能に作動す
る。

【００３１】次に上記の自動取り出し装置Ｍの作用につ
いて説明する。ビニールシートＢで梱包された基板組Ｗ
Ｓが開梱ステージ１１に搬入されると、オペレータによ
り開梱される。開梱された基板組ＷＳはガイド壁１３に
沿って搬送され押し込みステージ１２に搬入される。こ
の作業はオペレータにより行なわれる。

【００３２】押し込みステージ１２にセットされた基板
組ＷＳはプッシャー１５によりガイド壁１４に案内され
ながら基板装着ステージ２１に搬入される。この際にお
いては、搬送パレット４０を載置したシャトルベース２
７はシリンダの駆動により基板装着ステージ２１側に移
動されている。そして、プッシャー１５で押し出された
基板組ＷＳは、搬送パレット４０のガイド壁４２間に搬
入され、基板組ＷＳの両側からロック部４４が基板組Ｗ
Ｓ側に向かって移動し把持ローラ４６が基板Ｗに当接す
るとロックアーム４９を回転させて基板組ＷＳを位置決
め固定する。基板組ＷＳが固定されると上側のサポータ
Ｓは基板組ＷＳから取り除かれ、基板Ｗの上方は解放さ
れる。このロック操作は基板の締め付け状態を判断する
ためオペレータの作業で行なわれる。もちろんシリンダ
操作で自動で行なうことも可能である。

【００３３】上側のサポータＳのない基板組ＷＳが装着
された搬送パレット４０は、コンベアロール２８の回転
駆動により、搬送コンベアステージ２２に搬送され、さ
らにストックステージ２３に送られる。なお、ストック
ステージ２３は基板組ＷＳが装着される予備の搬送パレ
ットが予めストックされていれば、すでに分離ステージ
２４に搬送されて基板Ｗが取り出されてカセットＣに収
納されていることになり、空の搬送パレット４０はシャ
トルベース２７により回収ステージ２４Ａに移動されて
空パレットストッカステージ２５に送られる。

【００３４】シャトルベース２７が分離ステージ２４側
に移動され、新規の基板組ＷＳが装着された搬送パレッ
ト４０がストックステージ２３のコンベアロール２８の
駆動により分離ステージ２３に搬送されると、基板組Ｗ
Ｓはリフタ３２の上昇で一括して上方に持ち上げられ
る。基板ロック部４３でロックされている複数の基板Ｗ
はリフタ３２の押圧力により把持ローラ４６を回転させ
ることによって無理なく上方に移動することができる。
なお、リフタ３２で基板Ｗを一括で持ち上げる際、リフ
タ３２は、サポータＳの装着状態によって横方向に移動
可能に配置されているため、つまりリフタ３２が基板Ｗ
の下面を押圧する位置は基板Ｗ中心位置にあるとは限ら
ず偏心した位置にあることが多い。しかし基板Ｗの側面
を押圧する２段の把持ローラの中心線を結ぶ線は、常に
垂直方向を維持するように構成されているため、基板Ｗ
は横ずれを発生することなく垂直方向に移動する。

【００３５】反転ロボット６０が基板Ｗを取り出して水
平状態に変換する作用は図１０〜１４によって示され
る。垂直状態の基板Ｗが一括して持ち上げられると、図
１０に示すように、反転ロボット６０のクランプ部６１
がモータまたはモータの作動によって基板Ｗに向かって
前進する。クランプ部６１の上爪部６３と下爪部６４が
最先端位置にある基板Ｗの上下面に達すると（図１
１）、上爪部６３及び下爪部６４が共に基板Ｗに向かっ
て移動し基板Ｗを把持する（図１２）。基板Ｗを上爪部
６３・下爪部６４で把持するのを確認するとクランプ部
６１は一端上昇し、その後、図１３に示すように、基板
Ｗを把持したまま基板組ＷＳから離れるように後退す
る。

【００３６】反転ロボット６０が僅かに後退すると、図
１４に示すように、反転ロボット６０の連結部材６９
が、軸６８を中心に展開ステージ７０の位置決めガイド
７１側に向かってクランプ部６１の支持板６２（基板
Ｗ）が水平方向に位置するまで回転し、反転ロボット６
０はさらに後退する。反転ロボット６０の最後退位置
は、クランク部６１（基板Ｗ）が位置決めガイド７１の
上方に達する位置になる（図１５）。クランク部６１が
最後退位置に達すると、クランプ部６１は位置決めガイ
ド７１に向かって下降し基板Ｗが位置決めガイド７１の
ガイド７４の支持面上に達すると基板Ｗを把持していた
上爪部６３及び下爪部６４が基板Ｗを解放する方向に移
動し（図１６）、基板Ｗを把持していないクランプ部６
１は反転ロボット６０の下方への移動により位置決めガ
イド７１の下方にさらに移動する。（図１７）。

【００３７】基板Ｗを解放したクランプ部６１は、再び
前進し（図１８）、位置決めガイド７１から離れた位置
で水平方向から垂直方向に反転される。同時に位置決め
ガイド７１に支持された基板Ｗは搬送ロボット８０のハ
ンド８１に吸着支持されて上昇し搬送される（図１
９）。ハンド８０に吸着支持された基板Ｗはロボット８
０の作動によりカセットＣまたはダミーカセットＤＣに
収納される。なお、搬送ロボット８０の作動は一般的に
行なわれるものと同様なためここでは説明を省略する。

【００３８】分離ステージ２４ですべての基板Ｗが取り
出された搬送パレット４０は、シャトルベース２７と共
に回収ステージ２４Ａに移動され、回収ステージ２４Ａ
において空パレットストックステージ２５に搬送されて
復路を移動することになる。搬送パレット４０を排出し
たシャトルベース２７は再び分離ステージ２４に移動さ
れ次の搬送パレット４０が搬送されるまで待機してい
る。

【００３９】搬送パレット４０は、次に空パレットスト
ックステージ２５でコンベアロール２８に駆動されてサ
ポータ除去ステージ２６に搬送されると、搬送パレット
４０に装着されたサポータプッシャ５３が作動され、基
板Ｗが取り出されて残された下側のサポータＳを内方に
押し出すと、コ字形に形成された搬送プレート４０の支
持ベース４１の開口部から下方に落下される。サポータ
除去ステージ２６では排出コンベア３０が外側に向かっ
て下傾斜状態で配置されているので、排出コンベア３０
上に落下したサポータＳは外部に排出される（図１参
照）。

【００４０】サポータ除去ステージ２６でサポータＳを
除去した搬送パレット４０は、基板装着ステージ２１か
ら移動されたシャトルベース２７に搬送されて、シャト
ルベース２７と共に再び基板装着ステージ２１で次の基
板組ＷＳが搬送されるまで待機している。

【００４１】なお、ストッカステージ２３及び空パレッ
トストッカステージ２５に予備の搬送パレットが待機し
ていれば本装置の稼働を効率よくすることができる。こ
のストッカステージ２３及び空パレットストッカステー
ジ２５は必要に応じて増設することが可能である。

【００４２】なお、搬送パレット４０の各動作あるいは
反転ロボット６０・搬送ロボット８０の動作の指令等は
図示しない制御装置によって行なわれる。

【００４３】また、上記装置の構成あるいは作用の説明
は上記形態に限らず、要旨を変更しない範囲で必要に応
じて変更できるものである。

【００４４】さらに、位置決めガイド７１に水平状態に
支持された基板Ｗをカセットではなく搬送ロボットによ
って直接加工ラインに搬送することもできる。

【００４５】

【発明の効果】本発明によれば、基板の自動取り出し装
置は、垂直方向に配置された複数の基板を並設する基板
組が、開梱された後、１枚ごとの基板に分離されて前記
基板を水平方向に支持するものであって、開梱された基
板組を搬送する搬送手段と、前記基板組内の基板を１枚
づつ把持して分離する分離手段と、分離された１枚の基
板を垂直方向から水平方向に変換する基板反転手段と、
前記基板を水平方向に支持する基板支持手段と、を有し
て構成されている。従って、垂直状態で配置された複数
の基板を垂直状態で搬送し、１枚ごと分離して水平状態
に自動的に支持できるため、撓みやすい基板を安定して
搬送し取り出すことができる。また、前記分離手段と前
記基板反転手段を制御装置の指令によって自動化するこ
とが可能であるため人手を要することなく、安定した精
度で基板を水平状態に支持することができる。

【００４６】また、この基板の自動取り出し装置は、垂
直方向に配置された複数の基板を並設する基板組が、開
梱された後１枚ごとの基板に分離されて、前記基板をカ
セットに収納するものであって、開梱された基板組を搬
送する搬送手段と、前記基板組内の基板を１枚づつ把持
して分離する分離手段と、分離された１枚の基板を垂直
方向から水平方向に変換する基板反転手段と、前記基板
を水平方向に支持する基板支持手段と、前記基板を前記
カセットに収納する基板収納手段と、を有して構成され
ている。従って、垂直状態で配置された複数の基板を垂
直状態で搬送し、１枚ごと分離して水平状態に支持して
カセットに収納することができるため、撓みやすい基板
を安定して取り出しカセットに収納することができる。
また、前記分離手段と前記基板反転手段及び前記基板収
納手段を制御装置の指令によって自動化することが可能
であるため人手を要することなく、安定した精度で基板
をカセットに収納することができる。

【００４７】さらにこの基板の自動取り出し装置は、垂
直方向に配置された複数の基板を１枚ごと分離するとと
もに反転して水平方向に支持するように構成されている
ため、撓みやすい基板を落下させることなく安定して１
枚づつ取り出すことが可能となる。しかも、分離・反転
作用は自動的に行なうことが可能であるため、人手を要
することなく安定した精度で基板を取り出すことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一形態の自動取り出し装置を示す全体
斜視図

【図２】梱包された基板組を示す斜視図

【図３】図１における分離ステージの簡略正面図

【図４】基板組を装着した搬送パレットを示す斜視図

【図５】図４における搬送パレットの正面図

【図６】図１における分離ステージと展開ステージを示
す簡略斜視図

【図７】反転ロボットのクランプ部を示す図

【図８】図６における位置決めガイドの詳細を示す平面
図

【図９】図８におけるガイドを示す図

【図１０】基板を基板組から分離する作用を示す図

【図１１】基板を基板組から分離する作用を示す図

【図１２】基板を基板組から分離する作用を示す図

【図１３】基板を基板組から分離する作用を示す図

【図１４】基板を水平状態に反転する作用を示す図

【図１５】基板を位置決めガイドに挿入する作用を示す
図

【図１６】基板を位置決めガイドに挿入する作用を示す
図

【図１７】基板を位置決めガイドに挿入する作用を示す
図

【図１８】クランプ部が再び前進する作用を示す図

【図１９】基板をハンドで吸着して搬送する作用を示す
図

【符号の説明】

Ｍ…自動取り出し装置 Ｗ…基板 ＷＳ…基板組 Ｓ…サポータ １…基板投入部 ２…搬送パレット搬送部 ６…枚葉搬送部 １１…開梱ステージ １２…押し込みステージ ２１…基板装着ステージ ２２…搬送コンベアステージ ２３…ストックステージ ２４…分離ステージ ２７…シャトルベース ２８…コンベアロール ３２…リフタ ４０…搬送プレート ４１…支持ベース ４３…基板ロック部 ４６…把持ローラ ６０…反転ロボット ６１…クランプ部 ６３…上爪部 ６４…下爪部 ６６…反転部 ６９…連結部材 ７０…展開ステージ ７１…位置決めガイド ７４…ガイド ８０…搬送ロボット ８１…ハンド

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 垂直方向に配置された複数の基板を並設
   する基板組が、開梱された後、１枚ごとの基板に分離さ
   れて前記基板を水平方向に支持する基板の自動取り出し
   装置であって、 開梱された基板組を搬送する搬送手段と、 前記基板組内の基板を１枚づつ把持して分離する分離手
   段と、 分離された１枚の基板を垂直方向から水平方向に変換す
   る基板反転手段と、 前記基板を水平方向に支持する基板支持手段と、を有し
   て構成されることを特徴とする基板の自動取り出し装
   置。
2. 【請求項２】 垂直方向に配置された複数の基板を並設
   する基板組が、開梱された後１枚ごとの基板に分離され
   て、前記基板をカセットに収納する基板の自動取り出し
   装置であって、 開梱された基板組を搬送する搬送手段と、 前記基板組内の基板を１枚づつ把持して分離する分離手
   段と、 分離された１枚の基板を垂直方向から水平方向に変換す
   る基板反転手段と、 前記基板を水平方向に支持する基板支持手段と、 前記基板を前記カセットに収納する基板収納手段と、を
   有して構成されることを特徴とする基板の自動取り出し
   装置。
3. 【請求項３】 前記搬送手段が、前記基板組を支持する
   支持ベースと前記支持ベース上に配設され前記基板組を
   固定するロック手段とを有する搬送パレットと、前記搬
   送パレットを搬送するコンベアロールと、を備えて構成
   されることを特徴とする請求項１または２記載の基板の
   自動取り出し装置。
4. 【請求項４】 前記ロック手段が、前記基板の側部を把
   持する回転ローラを有していることを特徴とする請求項
   ３記載の基板の自動取り出し装置。
5. 【請求項５】 前記分離手段が、前記基板の上端と下端
   とを把持するクランプ手段を有して構成されることを特
   徴とする請求項１または２記載の基板の自動取り出し装
   置。
6. 【請求項６】 垂直方向に配置された複数の基板を１枚
   ごと分離するとともに反転して水平方向に支持するよう
   に構成されることを特徴とする基板の自動取り出し装
   置。