JPH04332129A - 被洗浄体の移載方法及びその装置並びに被移載体の位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被洗浄体の移載方法及
びその装置並びに被移載体の位置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハを処理して多層構造の回路
パターンなどを得る場合、例えばある膜を形成した後そ
の処理時の残渣が残った状態で次の膜を積層すると所要
の特性が得られないことがあるため、一般にウエハを洗
浄することが行われている。ここでウエハを収納し洗浄
するための容器としては洗浄液に対する耐蝕性が要求さ
れるので、コストの面から搬送用容器と洗浄用容器とを
区別して用いている。またこのように区別することによ
り搬送用容器に付着したダストなどを洗浄工程に持ち込
んだり、洗浄時の不純物が搬送用容器を介して次工程に
持ち込まれることもなくなる。

【０００３】このようなことから従来では、例えば２５
枚のウエハを収納した搬送用容器（以下『搬送用キャリ
ア』という）を搬送アーム等によりステージにセットし
て、その下方から突き上げ手段によりキャリア内のウエ
ハを突き上げ、これを把持装置により一括把持して洗浄
用容器（以下『洗浄用キャリア』という）に移し替える
と共に、洗浄用キャリアから搬送用キャリアに移し替え
る場合にも前記把持部を用いて同様にして移し替えるよ
うにしていた。

【０００４】

【発明が解決しようする課題】ところで上述のように半
導体ウエハを移載するにあたっては、製品不良の一原因
となるパーティクルの発生や不純物の付着等に対して非
常に気をつかわなければならないし、また複数のキャリ
アを同時に移載する場合には、その位置決めに関しても
工夫する必要があり、更にスループットの向上が要請さ
れていることから、システム全体を考慮した上での最適
な移載システムを設計する必要がある。

【０００５】こうした点に着目して従来のウエハの移し
替え方法を見てみると、例えば洗浄前後のウエハを共通
の把持装置により把持しかつ洗浄用キャリア及び搬送用
キャリアを共通のステージに載置しているため、これを
介してクロスコンタミネーションが生じて清浄なキャリ
アが汚染され、これに伴う付着不純物によって次工程の
歩留まりが低下するおそれがあった。また搬送アームに
よって把持位置の下方にキャリアをセットしていたので
、搬送アームとして作業範囲の広いものが必要であり、
搬送アームは上下動の機構を有することから装置全体の
大型化が避けられず、従って多くの改良すべき点がある
。

【０００６】本発明はこのような事情のもとになされた
ものであり、その目的は、ウエハを洗浄するために容器
の移し替えを行う場合にクロスコンタミネーションを防
止し、かつ効率的な移し替え及び装置の小型化を図るこ
とのできる被洗浄体の移載方法及びその装置を提供する
ことにある。

【０００７】更に本発明の他の目的は、例えば、被洗浄
体について容器の移し替えを行う場合に、複数の容器を
同時に位置決めすることのできる位置決め装置を提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１、２の発明は、
搬送用容器または洗浄用容器のうちの一方の容器を所定
位置に設定し、次いでこの容器の中の被洗浄体を突き上
げ手段により突き上げて把持部に把持させ、しかる後他
方の容器を所定位置に設定して前記被洗浄体を前記把持
部から突き上げ手段を介して当該他方の容器内に移し替
えるための移載方法、あるいはその装置を対象としてお
り、請求項１の発明は、容器を所定の領域に位置決めす
る位置決め手段を備え、各々互に独立して移動する搬送
用容器専用の第１の移動ステージ及び洗浄用容器専用の
第２の移動ステージを用い、前記把持部の下方に、第１
の移動ステージ及び第２の移動ステージのうちの一方及
び他方を順次に位置させることにより洗浄用容器と搬送
用容器との間での被洗浄体の移し替えを行ない、洗浄用
容器から搬送用容器へ洗浄済みの被洗浄体を移し替える
前に、前記把持部及び突き上げ手段における被洗浄体へ
の接触部を清浄化することを特徴とする。

【０００９】請求項２の発明は、容器を所定の領域に位
置決めする位置決め手段を備え、各々互に独立して移動
する搬送用容器専用の第１の移動ステージ及び洗浄用容
器専用の第２の移動ステージと、これら第１の移動ステ
ージ及び第２の移動ステージ上に位置決めされた容器の
中の被洗浄体を夫々上方に突き上げる第１の突き上げ手
段及び第２の突き上げ手段と、これら第１の突き上げ手
段及び第２の突き上げ手段により突き上げられた被洗浄
体を夫々把持する第１の把持部及び第２の把持部とを備
え、前記第１の把持部の下方に第１の移動ステージ、第
２の移動ステージを順次に位置させることにより搬送用
容器から洗浄用容器への未洗浄の被洗浄体の移し替えを
行うと共に、前記第２の把持部の下方に第２の移動ステ
ージ、第１の移動ステージを順次に位置させることによ
り洗浄用容器から搬送用容器への洗浄済みの被洗浄体の
移し替えを行うことを特徴とする。

【００１０】請求項３の発明は、前後方向に複数の被移
載体を並べて載置するためのステージと、このステージ
上の各被移載体を前後方向にガイドするガイド部と、互
に連動して前後方向に移動し、前記複数の被移載体を夫
々ガイド部に沿って押し出す複数の押圧部と、前記複数
の被移載体の前方側への移動を阻止して位置決めするス
トッパとを備え、　　前記各押圧部は、所定以上の押圧
力によって後退するように弾性体が組み合わされたこと
を特徴とする。

【００１１】

【作用】例えば請求項２の位置決め装置を請求項１の移
動ステージに組み込んだ移載装置の作用について述べる
と、第１の移動ステージに例えば２個の搬送用キャリア
が載置されると、押圧部とストッパとの協働作用により
２個同時に位置決めされる。また例えば各搬送用キャリ
アのサイズが互に異なる場合にも弾性体の緩衡作用によ
りサイズの差異分が吸収されるので、同様に位置決めで
きる。

【００１２】次いで第１の突き上げ手段により例えば搬
送用キャリア内の未洗浄の例えばウエハを突き上げて、
これを第１の把持部により把持すると共に第１の移動ス
テージが停止していた位置に、既に洗浄用キャリアが載
置された第２の移動ステージを停止させ、第１の把持部
の把持を解除し、第１の突き上げ手段にウエハを移し、
これを下降させることによって前記ウエハを洗浄用キャ
リアに移し替えることができる。洗浄済みのウエハを洗
浄用キャリアに移し替える場合には第２の突き上げ手段
を用いて同様の操作を行えばよい。

【００１３】

【実施例】本発明の実施例は例えば搬送用キャリアとウ
エハとを分離して洗浄するための洗浄システムの中に組
み込まれ、当該実施例を説明する前に洗浄システムの全
体について図７を参照しながら簡単に説明する。

【００１４】１００は搬入ステージであり、例えば、Ｃ
ＶＤ処理されたウエハＷを収納した搬送用キャリアＣが
外部からここに運ばれる。搬入ステージ１００に置かれ
たキャリアＣは、受け渡し部１０１に移載され、ここか
ら洗浄システムの中に搬送されていく。また１０２は搬
出ステージであり、洗浄システムから送り出されたキャ
リアＣが受け渡し部１０１を介してここに置かれる。こ
れらの間のキャリアＣの移載はインターフェイスロボッ
トＩＦによって行われる。

【００１５】１０３はアームを備えた搬送用キャリアエ
レベータであり、受け渡し部１０１を介して受け取った
キャリアＣを図示しないストッカに保管すると共に、当
該ストッカに保管されているキャリアＣを、移載ロボッ
ト１０４に間接的に受け渡す。この移載ロボット１０４
はそのキャリアＣを、移載装置１０５の移動ステージ１
ａ，１ｂに渡したり、あるいはその逆の移載を行ったり
、また前記移動ステージと２列の空キャリア搬送ライン
Ｌ１，Ｌ２との間でのキャリアＣの移載を行ったりする
。

【００１６】前記移載装置１０５では、移動ステージ１
ａ，１ｂの下方の図示しないウエハ突き上げ手段と、上
方のウエハ把持部３ａ，３ｂとの協働作用により、未洗
浄のウエハを搬送用キャリアＣから洗浄用キャリアＤに
移し替え、また洗浄済みのウエハを洗浄用キャリアＤか
ら搬送用キャリアＣに移し替える。

【００１７】ここでウエハと分離された搬送用キャリア
Ｃは、前記搬送ラインＬ１によって図示しない外部のキ
ャリア洗浄部に送られると共に洗浄後前記搬送ラインＬ
２によって戻され、洗浄済みウエハが収納される。

【００１８】１０６はアームを備えた洗浄用キャリアエ
レベータであり、前記移動ステージ１ａ、１ｂ上の洗浄
用キャリアＤを図示しないストッカに保管すると共に、
当該ストッカに保管されている洗浄用キャリアＤを、図
示しない外部の洗浄処理部への出力ポート１０７に受け
渡す。　　このようにして、図７のシステムでは搬送用
キャリアとウエハが分離されて夫々洗浄され、洗浄後再
び合体して、移載ロボット１０４や搬送用キャリアエレ
ベータ１０３を介して搬出ステージ１０２に送り出され
る。

【００１９】次に本発明の移載装置の一実施例を説明す
ると、この移載装置は、図７のシステムにおいて、移動
ステージ１ａ，１ｂ及び把持部３ａ，３ｂ等を含む１０
５で示す装置に相当する。

【００２０】この実施例では、図１に示すように互に独
立して左右方向に移動する、搬送用キャリア専用の第１
の移動ステージ１ａ及び洗浄用キャリア専用の第２の移
動ステージ１ｂとこれら移動ステージ１ａ，１ｂの移動
路の下方側にて夫々左右に並設された第１の突き上げ手
段２ａ及び第２の突き上げ手段２ｂと、これら第１の突
き上げ手段２ａ及び第２の突き上げ手段２ｂにより突き
上げられた被洗浄体を夫々把持する第１の把持部３ａ及
び第２の把持部３ｂとを備えている。

【００２１】前記移動ステージ１ａ，１ｂの基端部の下
方には、図２に示すように一対の脚部１２ａ，１３ａ，
１２ｂ，１３ｂが垂設されており、これら脚部は、垂立
する保持枠１０に、左右方向に伸びるガイドレール１４
，１５を介して保持されている。前記脚部には、左右方
向に伸びる２本のボールネジ１６，１７が上下に並行し
て貫通しており、上側のボールネジ１６は移動ステージ
１ｂの脚部１２ｂに螺合されていて、他の脚部に対して
は遊挿されると共に、下側のボールネジ１７は移動ステ
ージ１ａの脚部１３ａに螺合されている。従ってボール
ネジ１６，１７を駆動することにより移動ステージ１ａ
，１ｂは互に独立して前記ガイドレール１４，１５にガ
イドされながら左右方向に移動する。

【００２２】前記移動ステージ１ａ，１ｂは同一の構造
なのでその一方について述べると、移動ステージ１ａに
は図３に示すように、突き上げ手段２ａ，２ｂが昇降で
きるよう窓１１が形成されており、左右両側には、キャ
リアを前後に２個並べて載置できるように、前後方向に
伸びる、断面Ｌ字形のガイド部Ｇ１，Ｇ２が配置されて
いる。これらガイド部Ｇ１，Ｇ２は夫々キャリアの左右
の脚部を保持しかつガイドすると共に、垂直面部３１の
相互対向距離がキャリアの左右脚部の離間距離に適合さ
せているので、キャリアの左右の位置決めを行う役割を
もっている。

【００２３】このガイド部Ｇ１，Ｇ２には、夫々２個所
づつキャリア位置決め用ストッパをなす突起部４１，４
２が形成されており、これら突起部４１，４２により、
夫々前方側及び後方側に載置されるキャリアの前後の位
置が決められる。

【００２４】前記ガイド部Ｇ１，Ｇ２は、キャリアとの
摺動による発塵を抑えるために、例えばフッ素樹脂によ
り作られ、また洗浄できるように移動ステージ１ａに対
して例えばネジ等により着脱自在に取り付けられている
。

【００２５】更にガイド部Ｇ１の水平面部３２には、前
方側のキャリア及び後方側のキャリアが載置される位置
に、これらキャリアの有無を検出するために、夫々セン
サーピンＰ１，Ｐ２が上下動自在に取り付けられている
。図４はこのピンＰ１，Ｐ２の取り付け状態を示す図で
あり、このピンＰ１（Ｐ２）は水平面部３２に遊挿され
ると共に、ここから抜けないように上下両端が通孔の径
よりも大きくなっていて、押し下げられたときには上端
が水平面部３２の凹部３３内に収まるようになっている
。

【００２６】前記ピンＰ１（Ｐ２）の下端には、弾性体
が組み合わされた検出片３４が当接しており、この検出
片３４は常時は弾性体の復元力によってピンＰ１（Ｐ２
）を水平面部３２から突出するように押し上げているが
、ピンＰ１（Ｐ２）にキャリアの自重が加わると、弾性
体が例えば縮退して押し下げられ、これによって検出部
３５からキャリア有りの信号を例えば突き上げ手段１ａ
に動作タイミング信号として出力する。

【００２７】そして、この構造からわかるようにガイド
部Ｇ１を移動ステージ１ａから取り外すとこれと一緒に
ピンＰ１，Ｐ２も洗浄できるので便利である。なお、ピ
ンＰ１，Ｐ２とガイド部Ｇ１とを別々に取り外す構造と
してもよいことは勿論である。

【００２８】前記移動ステージ１ａの左右両側には、ガ
イド部Ｇ１，Ｇ２上に置かれたキャリアを前方側に押し
出すためのプッシュアーム５１，５２が配設されており
、これらプッシュアーム５１，５２は、移動ステージ１
ａの基端部にて連結杆５で互に連結されている。そして
これらプッシュアーム５１，５２を前後方向に駆動する
ための駆動部（図示せず）が例えば一方のプッシュアー
ム５１に連結されている。

【００２９】前記プッシュアーム５１，５２には、各々
前後に保持部６を介して押圧部としての押圧板６１が設
けられており、各押圧板６１は、キャリアと当接する面
に、フッ素樹脂よりなる押圧子６２が取り付けられてい
る。そして押圧板６１と保持部６との関係について述べ
ると、保持部６には、上下２本のロッドＲ１，Ｒ２が前
方側に伸び出し可能に設けられると共に、その先端に押
圧板６１が取り付けられており、押圧板６１が所定以上
の押圧力を受けたときに後退し、所定以上の押圧力を吸
収するように、保持部６内にてロッドＲ１，Ｒ２に対し
て弾性体が組み合わされている。

【００３０】ここでガイド部Ｇ１，Ｇ２及びプッシュア
ーム５１の役割について述べると、図５に示すように２
個のキャリアＣＡ，ＣＢがガイド部Ｇ１，Ｇ２上に載置
されると、先述したようにガイド部Ｇ１，Ｇ２の垂直面
部３１により左右の位置決めが自動的に行われる。次い
でプッシュアーム５１，５２を図示しない駆動部により
前方側へ駆動すると、各キャリアＣＡ，ＣＢの背面両端
に押圧板６１が当接し（詳しくいえば押圧子６２が当接
し）、各キャリアＣＡ，ＣＢは前方側に押し出されて、
ストッパ４２に当接した位置にて停止する。従ってプッ
シュアーム５１，５２の駆動により２個のキャリアＣＡ
，ＣＢが同時に位置決めされたことになる。

【００３１】またこの実施例によれば、一方のキャリア
ＣＡがストッパ４２に達する前に他方のキャリアＣＢが
ストッパ４１に達しても、これに当接している押圧板６
１は、先述のように弾性体の作用によりプッシュアーム
５１，５２に対して相対的に後退できるようになってい
るから、以然プッシュアーム５１，５２はキャリアＣＡ
を押圧することができ、この場合にも同様に位置決めが
できる。この結果キャリアＣＡ，ＣＢの前後方向の載置
位置がラフでも位置決め可能で、またキャリアＣＡ，Ｃ
Ｂの前後方向のサイズが異なる場合にも適用できる。な
お第２の移動ステージ１ｂについても全く同様の構成で
ある。

【００３２】次に突き上げ手段２ａ，２ｂ及び把持部３
ａ，３ｂに関して述べる。前記突き上げ手段２ａ，２ｂ
は、図１に示すように夫々搬送用キャリア及び洗浄用キ
ャリア内の例えば２５枚の被洗浄体としてのウエハを垂
直状態に保持するための櫛歯状の溝を有する突き上げ部
材２１と、この突き上げ部材２１を昇降させるための昇
降機構２２を備えおり、昇降機構２２の動作により突き
上げ部材２１をキャリア内に挿入し、この中のウエハを
一括して突き上げる役割をもっている。

【００３３】また前記把持部３ａ，３ｂは図６に示すよ
うに例えば、いずれも一対の開閉自在なアーム（７１，
７２）（７３，７４）により構成されており、各アーム
は一端側、他端側にて夫々左右に伸びるガイドレール８
１，８２にガイドされている。そしてこれらアームを開
閉するためには例えば図示のように一対のプーリ９１，
９２の間にエンドレスベルト９を張架すると共に、各一
対のアームのうちの一方のアーム７１，７３をエンドレ
スベルト９の往路側のベルトに、また他方のアーム７２
，７４を復路側のベルトに夫々固定し、プーリ９１，９
２の一方を駆動するといった構成を採用することができ
、この場合プーリ９１，９２を矢印の方向に回動すれば
２組のアーム（７１，７２）、（７３，７４）は同時に
閉じ、逆方向に回動すれば同時に開く。なお、アームの
開閉機構としては、こうした構成に限定されることなく
例えばラック、ピニオン機構などを用いることができる
。

【００３４】次に上述実施例の作用について述べる。先
ず図７に示すように例えばＣＶＤ処理を終えたウエハを
収納した搬送用キャリアＣが２個まとめて移載ロボット
１０４により第１の移動ステージ１ａ上に載置され、こ
の搬送用キャリアＣは既に詳述したようにしてガイド部
Ｇ１，Ｇ２により左右の位置が決められると共に、プッ
シュアーム５１，５２により前後の位置が決められる。 この載置は、移動ステージ１ａが図７に示す位置から移
載ロボット１０４の作業エリア内に移動した位置にて行
われ、その後第１の把持部３ａの下方側に移動する。

【００３５】続いて図１に示す第１の突き上げ手段２ａ
により搬送用キャリアＣ内のウエハＷが突き上げられ、
第１の把持部３ａによって把持される。しかる後第１の
突き上げ手段２ａが下降し、移動ステージ１ａは搬送用
キャリアＣを受け取った位置まで移動し、この上の空の
搬送用キャリアＣは、移載ロボット１０４により空キャ
リア移送ラインＬ１に移され、図示しない外部のキャリ
ア洗浄部にて洗浄されることになる。

【００３６】一方第２の移動ステージ１ｂ上には既に洗
浄用キャリアＤが載置されており、当該移動ステージ１
ｂは第１の把持部３ａの下方まで移動する。次いで第１
の突き上げ手段２ａが洗浄用キャリアＤ内を通って上昇
し、第１の把持部３ａに把持されている未洗浄のウエハ
Ｗを受け取った後下降して当該ウエハＷを洗浄用キャリ
アＤ内に収納する。こうして未洗浄のウエハが搬送用キ
ャリアＣから洗浄用キャリアＤへ移し替えられる。この
未洗浄のウエハは洗浄用キャリアＤと共に洗浄用キャリ
アエレベータ１０６により一旦ストッカに保管されるか
、あるいはそのまま洗浄処理部の出力ポート１０７に送
られる。

【００３７】また洗浄が終ったウエハＷを収納した洗浄
用キャリアＤは、洗浄用キャリアエレベータ１０６によ
り、第２の把持部３ｂの下方に位置する第２の移動ステ
ージ１ｂ上に載置される。ここでも同様にキャリアの位
置決めが行われる。そして第２の突き上げ手段２ｂによ
り洗浄用キャリアＤ内のウエハＷが突き上げられ、第２
の把持部３ｂによって把持される。しかる後既に洗浄さ
れた空の搬送用キャリアＣが第１の移動ステージ１ａに
載せられて当該第２の把持部３ｂの下方まで移動すると
共に、第２の移動ステージ１ｂは右方側に退避する。

【００３８】続いて第２の突き上げ手段２ｂにより同様
にして第２の把持部３ｂに把持されているウエハＷを第
１の移動ステージ１ａ上の搬送用キャリアＣに収納する
。こうして洗浄済みのウエハが洗浄用キャリアＤから搬
送用キャリアＣに移し替えられる。

【００３９】このような実施例によれば搬送用キャリア
専用の第１の移動ステージ１ａと洗浄用キャリア専用の
第２の移動ステージとを順次移動させてウエハの移し替
えを行っているので、上記作用の説明からもわかるよう
に、第１の突き上げ手段２ａ、第１の把持部３ａが未洗
浄のウエハ専用のものになると共に、第２の突き上げ手
段２ｂ、第２の把持部３ｂが洗浄済みのウエハ専用のも
のになり、従って未洗浄及び洗浄済みのウエハ間、及び
搬送用、洗浄用のキャリア間でクロスコンタミネーショ
ンを避けることができる。

【００４０】以上においてウエハの移し替えを行う移載
装置としては、２個のキャリアを同時に移載するものに
限定されることなく、１個あるいは３個以上同時に移載
するものであってもよい。

【００４１】更に上述実施例では、突き上げ手段及び把
持部の組を、洗浄前、洗浄後のウエハに対応して専用に
設けているが、本発明では、これらを共用すると共に、
洗浄後のウエハを突き上げる前に突き上げ手段及び把持
部におけるウエハの接触部を清浄化するようにしてもよ
い。このような清浄化を行なうにあたっては、接触部を
交換してもよいし、あるいは洗浄してもよい。

【００４２】なお、上述実施例では、ウエハの移し替え
を例にとって説明したが、本発明はガラスマスク、プリ
ント基板、ＬＣＤ基板その他の板状体等を扱う場合にも
適用できる。

【００４３】また図７に示したウエハをストックするシ
ステムは、ウエハを洗浄する場合に限らず、ウエハを処
理専用のキャリアに移し替えて所定の処理をするにあた
って搬送用のキャリア及び処理用のキャリアを夫々スト
ックする場合にも適用することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上のように請求項１または２の発明に
よれば、搬送用キャリア専用の移動ステージと洗浄用キ
ャリア専用の移動ステージとを設けてこれらを独立に移
動できるようにすると共に、洗浄後の被洗浄体を突き上
げる前に、突き上げ手段及び把持部におけるウエハの接
触部を清浄化するか、あるいは突き上げ手段及び把持部
を洗浄前後の被洗浄体に対応して専用化している。従っ
て洗浄前後の被洗浄体の間で突き上げ手段、把持部を通
じたクロスコンタミネーションの発生が防止でき、また
搬送用容器、洗浄用容器の間でステージを通じたクロス
コンタミネーションの発生が防止できる。

【００４５】しかも容器が載置されるステージを独立し
て移動ができるようにしているため、当該ステージへの
容器の受け渡しを行う搬送手段、例えば、ロボットアー
ムの搬送範囲を狭くできると共に、容器の受け渡しの場
所を任意に決めることができるので、システム全体を小
型に抑えることができるし、またシステムを組むにあた
って柔軟に対応できる。

【００４６】更に移動ステージには、載置された容器を
ガイドに沿って押し出すことにより位置決めできる機構
が備わっているので、このステージへの容器の移載はラ
フなものでよく、従って例えばロボットアームの複雑な
制御が不要になる。

【００４７】請求項３の発明によれば、載置部に置かれ
た複数の被移載体を、押圧部とストッパの協働作用によ
り位置決めするようにし、各押圧部には弾性体が組み合
わされていて緩衡作用があるため、各被移載体の載置位
置がラフであっても、また互に前後方向のサイズが異な
っていても、同時に位置決めすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す説明図である。

【図２】本発明の実施例における移動ステージの下部側
を示す斜視図である。

【図３】上記の移動ステージの上部側を示す斜視図であ
る。

【図４】上記の移動ステージに設けられたガイド部の一
部を示す断面図である。

【図５】上記の移動ステージを示す平面図である。

【図６】本発明の実施例における把持部の概略を示す概
略平面図である。

【図７】本発明の適用例である洗浄システムを示す説明
図である。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ　　移動ステージ ２ａ，２ｂ　　突き上げ手段 ３ａ，３ｂ　　把持部 Ｇ１，Ｇ２　　ガイド部 ４１，４２　　ストッパ ５１，５２　　プッシュアーム ６１　　押圧部 ７１，７２，７３，７４　　アーム ９　　エンドレスベルト

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　搬送用容器または洗浄用容器のうちの
   一方の容器を所定位置に設定し、次いでこの容器の中の
   被洗浄体を突き上げ手段により突き上げて把持部に把持
   させ、しかる後他方の容器を所定位置に設定して前記被
   洗浄体を前記把持部から突き上げ手段を介して当該他方
   の容器内に移し替えるための移載方法において、容器を
   所定の領域に位置決めする位置決め手段を備え、各々互
   に独立して移動する搬送用容器専用の第１の移動ステー
   ジ及び洗浄用容器専用の第２の移動ステージを用い、前
   記把持部の下方に、第１の移動ステージ及び第２の移動
   ステージのうちの一方及び他方を順次に位置させること
   により洗浄用容器と搬送用容器との間での被洗浄体の移
   し替えを行ない、洗浄用容器から搬送用容器へ洗浄済み
   の被洗浄体を移し替える前に、前記把持部及び突き上げ
   手段における被洗浄体の接触部を清浄化することを特徴
   とする被洗浄体の移載方法。
2. 【請求項２】　　搬送用容器または洗浄用容器のうちの
   一方の容器を所定位置に設定し、次いでこの容器の中の
   被洗浄体を突き上げ手段により突き上げて把持部に把持
   させ、しかる後他方の容器を所定位置に設定して前記被
   洗浄体を前記把持部から突き上げ手段を介して当該他方
   の容器内に移し替えるための移載装置において、容器を
   所定の領域に位置決めする位置決め手段を備え、各々互
   に独立して移動する搬送用容器専用の第１の移動ステー
   ジ及び洗浄用容器専用の第２の移動ステージと、これら
   第１の移動ステージ及び第２の移動ステージ上に位置決
   めされた容器の中の被洗浄体を夫々上方に突き上げる第
   １の突き上げ手段及び第２の突き上げ手段と、これら第
   １の突き上げ手段及び第２の突き上げ手段により突き上
   げられた被洗浄体を夫々把持する第１の把持部及び第２
   の把持部とを備え、前記第１の把持部の下方に第１の移
   動ステージ、第２の移動ステージを順次に位置させるこ
   とにより搬送用容器から洗浄用容器への未洗浄の被洗浄
   体の移し替えを行うと共に、前記第２の把持部の下方に
   第２の移動ステージ、第１の移動ステージを順次に位置
   させることにより洗浄用容器から搬送用容器への洗浄済
   みの被洗浄体の移し替えを行うことを特徴とする被洗浄
   体の移載装置。
3. 【請求項３】　　前後方向に複数の被移載体を並べて載
   置するための載置部と、この載置部上の各被移載体を前
   後方向にガイドするガイド部と、互に連動して前後方向
   に移動し、前記複数の被移載体を夫々ガイド部に沿って
   押し出す複数の押圧部と、前記複数の被移載体の前方側
   への移動を夫々阻止して位置決めするストッパとを備え
   、前記各押圧部は、所定以上の押圧力によって後退する
   ように弾性体が組み合わされたことを特徴とする被移載
   体の位置決め装置。