KR102241637B1 - 반전장치가 구비된 스토커 - Google Patents

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KR102241637B1
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이정만
홍성현
김한섭
김광환
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주식회사 에스엠코어
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Abstract

본 발명은 반전장치가 구비된 스토커에 관한 것으로서, 특히 반도체 디바이스가 수납된 트레이가 적재되는 다수의 선반이 내부에 구비된 본체와; 상기 본체 내에 입고되는 트레이가 적재되는 입고 적재부와, 상기 본체 내에서 출고되는 트레이가 적재되는 출고 적재부가 구비된 매뉴얼 포트와; 상기 본체의 일측면에 연결되어, 상기 매뉴얼 포트로부터 제공되는 다수의 트레이를 반전장치로 180도 회전시킨 후 상기 본체에 공급하는 트레이 반전부;를 포함하여 구성되어, 트레이 반전 후 신속하게 본체 내부로 반도체 디바이스가 적재된 트레이를 이송 적재할 수 있는 효과가 있다.

Description

반전장치가 구비된 스토커{Stocker with inverting device}
본 발명은 반전장치가 구비된 스토커에 관한 것으로서, 특히 반도체 디바이스가 수납된 트레이를 180도 회전시키는 반전장치가 인접 설치되어 있는 반전장치가 구비된 스토커에 관한 것이다.
많은 공정이 수행되는 반도체 생산라인에서는, 공정과 공정 또는 장치와 장치 사이에서 웨이퍼, 반도체칩, 반도체 스트립 등과 같은 반도체 디바이스의 운반이 이루어지는데, 생산 공정의 효율성을 높이고 높은 청정도를 유지하기 위하여 반도체 디바이스는 수납용기인 트레이에 수납된 상태로 운반되는 것이 일반적이다.
또한, 반도체 디바이스가 수납된 트레이를 적재 및 보관하기 위하여 스토커가 마련된다. 스토커는 각각의 공정을 위한 반도체 설비들의 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위하여, 특정 공정에서 작업이 끝난 반도체 디바이스를 일시적으로 보관하였다가 다음 공정으로 공급하는 역할을 수행한다.
한편, 특정 공정을 마친 반도체 디바이스는 스토커에 적재되기 전에 제대로 공정처리가 되었는지 여부를 확인하기 위하여 반도체 디바이스의 상면과 하면을 검사하는 과정을 거치게 되는데, 이러한 검사과정을 거치면서 반도체 디바이스를 수납한 트레이가 거꾸로 뒤집히게 된다.
따라서 트레이를 스토커에 적재하기 전에 트레이를 180도 회전시켜 트레이를 반전시키는 과정이 필요한데, 종래에는 트레이를 180도 회전시키는 반전장치가 스토커와 분리된 별개의 외부 장소에 따로 마련되어, 반전장치 설치를 위한 공간 확보에 어려움이 있었을 뿐만 아니라 트레이 반전 후에 스토커 내부에 트레이를 적재하는데 상당한 시간이 소요되는 문제가 있었다.
등록특허 10-1264681 (발명의 명칭: 카세트 저장용 스토커)
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다음 공정을 위하여 반도체 디바이스가 수납된 트레이를 내부에 적재하는 본체에 트레이를 180도 회전시키는 반전장치를 인접 설치함으로써 트레이의 반전과 본체 내 적재를 신속하게 할 수 있는 반전장치가 구비된 스토커를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커는 반도체 디바이스가 수납된 트레이가 적재되는 다수의 선반이 내부에 구비된 본체와; 상기 본체의 일측면에 연결되어, OHT장비를 통해 공급되는 트레이를 반전장치로 180도 회전시킨 후 상기 본체에 공급하는 트레이 반전부;를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 트레이 반전부는 상기 본체(100)의 일측면에 연결되고, 상면에 OHT장비에 의한 트레이 투입구가 형성된 캐비닛과; 상기 캐비닛 내부에 설치되고, 상기 트레이 투입구를 통해 OHT장비가 공급한 트레이가 안착되는 컨베이어와; 상기 컨베이어를 통해 공급된 트레이를 운반하는 셔틀과; 상기 셔틀로부터 운반된 트레이를 제공받아 180도 회전시키는 반전장치;를 포함하여 구성된다.
그리고, 상기 반전장치는 상기 캐비닛 내부에 설치되는 프레임과; 상기 프레임에 회전가능하게 설치되는 바디와; 상기 바디에 회전력을 제공하는 제1모터와; 상기 바디에서 상하로 움직이는 제1그립퍼와; 상기 바디에서 상하로 움직여 상기 제1그립퍼와 함께 상기 트레이를 위아래에서 파지하는 제2그립퍼와; 상기 제1그립퍼와 제2그립퍼가 상하로 움직이는 동력을 제공하는 제2모터;를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 바디에는 제1레일과 제2레일이 바디의 길이방향을 따라 설치되고; 상기 제1레일과 제2레일 사이에는 상기 제2모터로부터 회전력을 제공받는 제1풀리와, 상기 제1풀리와 이격 설치되는 제2풀리와, 상기 제1풀리와 제2풀리를 둘러싸는 벨트가 설치되며; 상기 제1레일과 제2레일에는 상기 벨트에 고정됨과 아울러 상기 제1그립퍼와 제2그립퍼가 각각 연결되는 제1슬라이더와 제2슬라이더가 설치되어, 벨트가 회전할 때 제1슬라이더와 제2슬라이더가 제1레일과 제2레일을 따라 이동함으로써 제1그립퍼와 제2그립퍼가 상하방향으로 움직인다.
또한, 상기 반전장치의 하측에는 상기 셔틀에 의해 운반되는 다수의 트레이를 가압하여 정렬하는 트레이 정렬기가 설치된다.
또한, 상기 트레이 정렬기는 상기 캐비닛 내부에 설치되는 실린더와; 상기 실린더의 로드에 연결되어 전후진함으로써 상기 트레이의 가장자리 부분을 가압 또는 가압해제하는 정렬바;로 구성된다.
또한, 본 발명은 상기 본체 내에 입고되는 트레이를 작업자가 직접 적재하는 입고 적재부와, 상기 본체 내에서 출고하기 위하여 적재된 트레이를 작업자가 직접 출고하는 출고 적재부가 구비된 매뉴얼 포트;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
더불어, 본 발명은 상기 본체 내에서 출고되는 트레이를 OHT장비를 이용하여 본체 외부로 출고하는 오토 아웃포트;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 반전장치가 구비된 스토커는 트레이를 180도 회전시키는 반전장치가 구비된 트레이 반전부가 내부에 트레이를 적재하는 본체에 인접되게 연계 설치됨으로써, 트레이 반전이 본체에서 분리되어 멀리 떨어진 공간에서 수행되는 것이 아니고 본체와 접하는 직결된 공간에서 수행하기 때문에, 트레이 반전 후 신속하게 본체 내부로 반도체 디바이스가 적재된 트레이를 이송 적재할 수 있는 이점이 있다. 따라서 반도체 디바이스의 오염을 최소화시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커를 보인 사시도.
도 2는 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커의 트레이 반전부를 보인 도.
도 3은 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커의 반전장치를 보인 도.
도 4는 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커의 반전장치에서 바디의 모습을 보인 도.
도 5 내지 도 17은 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커의 작동과정을 보인 도.
이하, 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커를 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커의 트레이 반전부를 보인 도이다.
그리고, 도 3은 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커의 반전장치를 보인 도이며, 도 4는 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커의 반전장치에서 바디의 모습을 보인 도이다.
또한, 도 5 내지 도 17은 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커의 작동과정을 보인 도이다.
본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커는 본체(100)와, 상기 본체(100)에 연결되는 매뉴얼 포트(200)와, 상기 본체(100)에 연결되는 트레이 반전부(300)와, 다수의 트레이(T)를 가압하여 정렬하는 트레이 정렬기(400)와, 본체(100) 내부에 저장된 트레이(T)를 외부로 출고하는 오토 아웃포트(500)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 본체(100)는 내부에 통로가 형성되어 있고, 이 통로의 양측에 반도체 디바이스가 수납된 트레이(T)가 적재되는 다수개의 선반이 구비되어 있으며, 내부의 공기를 정화하여 다시 공급하기 위한 다수의 팬 필터 유닛(110)이 상부에 설치되어 있다.
부연하면, 본체(100) 내에 형성된 통로를 랙 마스터(미도시)가 운행을 하면서 트레이(T)를 선반에 인입하거나 트레이(T)를 선반에서 인출한다.
상기 매뉴얼 포트(200)는 본체(100)의 일측면에 연결 설치된다. 이러한 매뉴얼 포트(200)는 입고 적재부(210)와 출고 적재부(220)를 구비한다.
상기 입고 적재부(210)는 본체(100) 내에 입고되어야 할 다수의 트레이(T)를 작업자가 직접 수작업으로 적재하는 부분이다.
상기 출고 적재부(220)는 본체(100) 내에서 출고하기 위하여 적재된 다수의 트레이(T)를 작업자가 직접 수작업으로 출고하는 부분이다.
상기 트레이 반전부(300)는 본체(100)의 일측면에 연결 설치되어, OHT장비를 통해 공급되는 트레이(T)를 반전장치(340)로 180도 회전시킨 후 본체(100)에 공급한다.
반도체 제품을 제조하는 다수의 공정 중에서 어느 하나의 특정 공정이 완료된 반도체 디바이스는 공정작업이 제대로 수행되었는지 검사하기 위하여 상면과 하면을 검사하는 경우가 있고 이 과정에서 트레이(T)가 뒤집히는 경우가 있다. 따라서 뒤집힌 상태의 트레이(T)를 반전시켜 본체(100)의 선반에 적재하기 위해 트레이 반전부(300)가 필요하다.
이러한 트레이 반전부(300)는 캐비닛(310)과, 상기 트레이(T)를 이송하는 컨베이어(320)와, 상기 컨베이어(320)로부터 트레이(T)를 전달받아 운반하는 셔틀(330)과, 상기 셔틀(330)로부터 운반된 트레이(T)를 제공받아 180도 회전시키는 반전장치(340)를 포함하여 구성된다.
상기 캐비닛(310)은 트레이 반전부(300))의 외형을 이루는 것으로서, 본체(100)의 일측면에 연결되어 캐비닛(310)의 내부공간과 본체(100)의 내부공간이 서로 연결된다. 이러한 캐비닛(310)은 상면에 트레이 투입구(310a)가 형성되고, 이 트레이 투입구(310a)를 통하여 OHT장비에 의해 트레이(T)가 공급된다.
상기 컨베이어(320)는 캐비닛(310) 내부에 설치되는 것으로서, 트레이 투입구(310a)를 통해 OHT장비가 공급한 트레이(T)가 안착된다. 이러한 컨베이어(320)는 반전장치(340)의 양측에 각각 구비될 수 있다.
부연하면, 컨베이어(320)는 OHT장비를 통하여 트레이(T)를 공급받기도 하지만, 반전장치(340)에 의해 반전된 트레이(T)를 셔틀(330)로부터 제공받기도 한다. 즉, OHT장비가 컨베이어(320) 위에 트레이(T)를 올려놓으면 셔틀(330)이 반전장치(340)로 이송하여 180도 회전시킨 후, 이렇게 반전된 트레이(T)을 다시 셔틀(330)이 받아서 컨베이어(320) 위에 올려놓는 것이다.
한편, 상기 캐비닛(310)에는 RFID 리더기(310a)가 설치되어 RFID 태그가 부착되어 있는 트레이(T)에서 정보를 읽음으로써, 컨베이어(320)에 안착된 트레이(T)가 반전시켜야하는 트레이인지 아닌지를 판별한다. 그래서 반전이 필요한 트레이인 경우에는 셔틀(330)로 운반하여 반전장치(340) 쪽으로 이송하고, 반전이 필요하지 않은 트레이인 경우에는 컨베이어(320)를 작동시켜 본체(100) 쪽으로 이송한다. 따라서 본 발명은 반전이 필요한 트레이와 반전이 필요하지 않은 트레이 중에서 반전이 필요한 트레이만 선택적으로 반전을 시킬 수 있다.
상기 셔틀(330)은 컨베이어(320)를 통해 공급된 트레이(T)를 운반한다. 부연하면, 셔틀(330)은 캐비닛(310) 내부를 가로질러 설치되는 주행라인을 따라 반전장치(340) 양쪽에 구비된 컨베이어(320) 사이를 운동하는 몸체(331)와, 상기 몸체(331)에서 상하로 운동하며 다수의 트레이(T)를 밑에서 받쳐주는 받침대(332)로 구성된다.
상기 반전장치(340)는 프레임(341)과, 상기 프레임(341)에 설치되는 바디(342)와, 상기 프레임(341)에 설치되는 제1모터(343)와, 상기 바디(342)에 설치되는 제1그립퍼(344)와, 상기 바디(342)에 설치되는 제2그립퍼(345)와, 상기 프레임(341)에 설치되는 제2모터(346)를 포함하여 구성된다.
상기 프레임(341)은 캐비닛(310) 내부에 설치되고, 반전장치(340)를 전체적으로 지지한다.
상기 바디(342)는 프레임(341)에 회전가능하게 설치된다.
부연하면, 바디(342)는 전체적인 형상이 일방향으로 긴 육면체 형상을 취하는 것으로서, 이 바디(342)에는 제1레일(342a)과 제2레일(342b)이 설치되고, 제1풀리(342c)와 제2풀리(342d) 및 벨트(342e)가 설치되며, 제1슬라이더(342f)와 제2슬라이더(342g)가 설치된다.
상기 제1레일(342a)과 제2레일(342b)은 바디(342)의 길이방향을 따라 길게 설치되고, 이러한 제1레일(342a)과 제2레일(342b)은 바디(342)의 폭 방향으로 일정거리 이격된다.
상기 제1풀리(342c)와 제2풀리(342d)는 제1레일(342a)과 제2레일(342b) 사이에 설치되고, 제1풀리(342c)는 제2모터(346)로부터 회전력을 제공받아 바디(342)에서 회전되며, 제2풀리(342d)는 제1풀리(342c)와 이격되게 설치되되 바디(342)에 회전가능하게 설치된다. 이렇게 바디(342)에 설치되는 제1풀리(342c)와 제2풀리(342d)를 벨트(342e)가 둘러싸기 때문에, 제2모터(346)의 회전력에 의해 제1풀리(342c)가 회전을 하면 그 회전력이 벨트(342e)를 거쳐 제2풀리(342d)에 전달된다.
상기 제1슬라이더(342f)는 일측이 벨트(342e)에 고정됨과 아울러 타측이 제1레일(342a)에 설치되고, 제1그립퍼(344)와 연결 고정된다. 따라서, 제2모터(346)의 회전력에 의해 벨트(342e)가 회전할 때 제1슬라이더(342f)는 제1레일(342a)을 따라 슬라이딩 이동을 하게 되고, 제1그립퍼(344)는 제1슬라이더(342f)를 따라 상하방향으로 움직인다.
상기 제2슬라이더(342g)는 일측이 벨트(342e)에 고정됨과 아울러 타측이 제2레일(342b)에 설치되고, 제2그립퍼(345)와 연결 고정된다. 따라서, 제2모터(346)의 회전력에 의해 벨트(342e)가 회전할 때 제2슬라이더(342g)는 제2레일(342b)을 따라 슬라이딩 이동을 하게 되고, 제2그립퍼(345)는 제2슬라이더(342g)를 따라 상하방향으로 움직인다.
상기 제1모터(343)는 바디(342)에 회전력을 제공한다. 즉 제1모터(343)의 작동에 의해 모터축이 회전하면 바디(342)도 회전을 하게 된다.
상기 제1그립퍼(344)는 상기한 바와 같이 제1슬라이더(342f)에 고정되어 제1슬라이더(342f)와 함께 움직임으로써 바디(342)에서 상하로 움직이고, 그 대략적인 형태는 한글의 'ㄷ'자와 유사하다.
상기 제2그립퍼(345)는 상기한 바와 같이 제2슬라이더(342g)에 고정되어 제2슬라이더(342g)와 함께 움직임으로써, 바디(342)에서 상하로 움직인다. 이렇게 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)가 바디(342) 상에서 상하로 움직이면서 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)의 간격이 멀어지거나 가까워지고, 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)의 간격이 가까워졌을 때 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)는 함께 트레이(T)를 위아래에서 파지한다. 이러한 제2그립퍼(345)는 그 대략적인 형태가 한글의 'ㄷ'자와 유사하다.
상기 제2모터(346)는 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)가 상하로 움직이는 동력을 제공한다. 즉 제2모터(346)의 모터축은 제1풀리(342c)와 동력적으로 연결되어 모터축이 회전을 하면 제1풀리(342c)가 회전하게 된다.
상기 트레이 정렬기(400)는 셔틀(330)에 의해 운반되는 다수의 트레이(T)를 가압하여 정렬하기 위해 반전장치(340)의 하측에 설치된다. 부연하면, 컨베이어(320)로부터 트레이(T)를 제공받은 셔틀(330)이 반전장치(340)에 트레이(T)를 제공하기 전에, 트레이 정렬기(400)가 셔틀(330)의 받침대(332) 상면에 적재된 다수의 트레이(T)를 정렬시킨 후 정렬된 트레이(T)를 반전장치(340)에 공급한다.
이러한 트레이 정렬기(400)는 실린더(410)와, 상기 실린더(410)의 로드에 연결되는 정렬바(420)로 구성된다.
상기 실린더(410)는 캐비닛(310) 내부에 4개가 4각 형태로 배치된다.
상기 정렬바(420)는 실린더(410)의 로드가 전후진할 때 함께 전후진함으로써 트레이(T)의 가장자리 부분을 가압 또는 가압 해제한다. 부연하면, 정렬바(420)는 한글의 'ㄱ'자와 비슷한 형태의 단면을 갖도록 제작되어 전진했을 때 4각 형태의 트레이(T)의 꼭지점 부분을 가압한다. 따라서 옆으로 튀어나와 있는 트레이(T)가 있을 경우에는 똑바로 정렬이 된다.
상기 오토 아웃포트(500)는 본체(100) 내에서 출고되는 트레이(T)를 OHT장비를 이용하여 본체(100) 외부로 출고하는 부분이다. 즉, 본체(100) 내의 선반에 적재되어 있던 트레이(T)를 OHT장비를 이용하여 본체(100) 밖으로 자동 출고하고자 할 때 이 오토 아웃포트(500)를 이용한다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 의한 반전장치가 구비된 스토커에서 트레이가 반전되는 과정을 간단히 살펴보면 다음과 같다.
셔틀(330)이 컨베이어(320) 쪽으로 이동을 한 후 셔틀(330)의 받침대(332)가 상승하여 컨베이어(320)에 적재된 다수의 트레이(T)를 받침대(332)로 들어 올린다.
그 상태로 셔틀(330)이 반전장치(340) 쪽으로 이동을 한다. 반전장치(340)의 아래쪽까지 셔틀(330)이 이동을 하면 셔틀(330)의 받침대(332)가 하강한다.
트레이 정렬기(400)의 정렬바(420)가 전진을 하여 받침대(332) 위에 있는 트레이(T)의 꼭지점 부분을 가압하여 정렬한 후 정렬바(420)가 후진을 한다.
이후 셔틀(330)의 받침대(332)를 상승시켜 트레이(T)가 반전장치(340)의 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345) 사이에 위치되도록 한다.
그리고, 옆으로 누워있던 반전장치(340)의 바디(342)를 회전시킨 후 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)를 움직여서, 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)가 트레이(T)의 상면 가장자리와 하면 가장자리를 파지하도록 한다.
이러한 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)에 의한 트레이(T)의 파지 과정이 진행되면서 셔틀(330)의 받침대(332)는 하강한다.
이후 바디(342)가 180도 회전함으로써 트레이(T)를 180도 반전시킨다.
트레이(T)가 180도 반전된 후 셔틀(330)의 받침대(332)가 상승하고 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345) 사이의 간격이 멀어지며, 이 과정 중에 받침대(332)의 상면에 반전된 트레이(T)가 안착된다.
이후 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345) 사이의 간격은 계속 멀어지다가 멈춘 후 바디(342)가 90도 회전되고, 셔틀(330)의 받침대(332)가 상면에 트레이(T)를 적재한 상태로 하강을 한다.
그런 다음 셔틀(330)이 컨베이어(320) 쪽으로 이동을 하고, 받침대(332)가 하강을 하여 트레이(T)를 컨베이어(320)의 상측에 안착시킨다.
이렇게 컨베이어(320)에 트레이(T)가 안착되고 나면, 컨베이어(320)가 트레이(T)를 본체(100) 쪽으로 이송하고, 본체(100) 내부에서 움직이는 랙 마스터(미도시)가 트레이(T)를 운반하여 본체(100) 내부의 선반에 적재한다.
100: 본체 110: 팬 필터 유닛
200: 매뉴얼 포트 210: 입고 적재부
220: 출고 적재부 300: 트레이 반전부
310a: 트레이 투입구 310b: RFID 리더기
310: 캐비닛 320: 컨베이어
330: 셔틀 331: 몸체
332: 받침대 340: 반전장치
341: 프레임 342: 바디
342a: 제1레일 342b: 제2레일
342c: 제1풀리 342d: 제2풀리
342e: 벨트 342f: 제1슬라이더
342g: 제2슬라이더 343: 제1모터
344: 제1그립퍼 345: 제2그립퍼
346: 제2모터 400: 트레이 정렬기
410: 실린더 420: 정렬바
500: 오토 아웃포트 T: 트레이

Claims (8)

  1. 반도체 디바이스가 수납된 트레이가 적재되는 다수의 선반이 내부에 구비된 본체(100)와; 상기 본체(100)의 일측면에 연결되어, OHT장비를 통해 공급되는 트레이(T)를 반전장치(340)로 180도 회전시킨 후 상기 본체(100)에 공급하는 트레이 반전부(300);를 포함하여 구성되되,
    상기 트레이 반전부(300)는 상기 본체(100)의 일측면에 연결되고, 상면에 OHT장비에 의한 트레이 투입구(310a)가 형성된 캐비닛(310)과; 상기 캐비닛(310) 내부에 설치되고, 상기 트레이 투입구(310a)를 통해 OHT장비가 공급한 트레이(T)가 안착되는 컨베이어(320)와; 상기 컨베이어(320)를 통해 공급된 트레이(T)를 운반하는 셔틀(330)과; 상기 셔틀(330)로부터 운반된 트레이(T)를 제공받아 180도 회전시키는 반전장치(340);를 포함하여 구성되며,
    상기 반전장치(340)는 상기 캐비닛(310) 내부에 설치되는 프레임(341)과; 상기 프레임(341)에 회전가능하게 설치되는 바디(342)와; 상기 바디(342)에 회전력을 제공하는 제1모터(343)와; 상기 바디(342)에서 상하로 움직이는 제1그립퍼(344)와; 상기 바디(342)에서 상하로 움직여 상기 제1그립퍼(344)와 함께 상기 트레이(T)를 위아래에서 파지하는 제2그립퍼(345)와; 상기 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)가 상하로 움직이는 동력을 제공하는 제2모터(346);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반전장치가 구비된 스토커.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 바디(342)에는 제1레일(342a)과 제2레일(342b)이 바디(342)의 길이방향을 따라 설치되고,
    상기 제1레일(342a)과 제2레일(342b) 사이에는 상기 제2모터(346)로부터 회전력을 제공받는 제1풀리(342c)와, 상기 제1풀리(342c)와 이격 설치되는 제2풀리(342d)와, 상기 제1풀리(342c)와 제2풀리(342d)를 둘러싸는 벨트(342e)가 설치되며,
    상기 제1레일(342a)과 제2레일(342b)에는 상기 벨트(342e)에 고정됨과 아울러 상기 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)가 각각 연결되는 제1슬라이더(342f)와 제2슬라이더(342g)가 설치되어, 벨트(342e)가 회전할 때 제1슬라이더(342f)와 제2슬라이더(342g)가 제1레일(342a)과 제2레일(342b)을 따라 이동함으로써 제1그립퍼(344)와 제2그립퍼(345)가 상하방향으로 움직이는 것을 특징으로 하는 반전장치가 구비된 스토커.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 반전장치(340)의 하측에는 상기 셔틀(330)에 의해 운반되는 다수의 트레이(T)를 가압하여 정렬하는 트레이 정렬기(400)가 설치되는 것을 특징으로 하는 반전장치가 구비된 스토커.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 트레이 정렬기(400)는 상기 캐비닛(310) 내부에 설치되는 실린더(410)와;
    상기 실린더(410)의 로드에 연결되어 전후진함으로써 상기 트레이(T)의 가장자리 부분을 가압 또는 가압해제하는 정렬바(420);로 구성된 것을 특징으로 하는 반전장치가 구비된 스토커.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 본체(100) 내에 입고되는 트레이(T)를 작업자가 직접 적재하는 입고 적재부(210)와, 상기 본체(100) 내에서 출고하기 위하여 적재된 트레이(T)를 작업자가 직접 출고하는 출고 적재부(220)가 구비된 매뉴얼 포트(200);를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반전장치가 구비된 스토커.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 본체(100) 내에서 출고되는 트레이(T)를 OHT장비를 이용하여 본체(100) 외부로 출고하는 오토 아웃포트(500);를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반전장치가 구비된 스토커.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101849352B1 (ko) * 2016-10-06 2018-04-16 신비앤텍 주식회사 트레이 공급 배출장치

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