JP2000353739A - ガラス基板搬送用パレット - Google Patents
ガラス基板搬送用パレットInfo
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- JP2000353739A JP2000353739A JP16631499A JP16631499A JP2000353739A JP 2000353739 A JP2000353739 A JP 2000353739A JP 16631499 A JP16631499 A JP 16631499A JP 16631499 A JP16631499 A JP 16631499A JP 2000353739 A JP2000353739 A JP 2000353739A
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- JP
- Japan
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- glass substrate
- pallet
- glass substrates
- glass
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/062—Easels, stands or shelves, e.g. castor-shelves, supporting means on vehicles
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- Pallets (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス基板の運搬コストを大幅に低減させる。
【解決手段】ベース部材１１と、該ベース部材上に立設
され、一方の面に傾斜面１２ａを有する支持部材１２
と、該支持部材の両側に設けられた保持アーム１５と、
一対の保持アーム間に着脱自在に装着される押圧部材１
６と、該押圧部材に移動可能に設けられた押圧プレート
２２と、前記ベース部材上で前記傾斜面に支持されるガ
ラス基板積層体２３と、前記押圧プレートに支持されて
該ガラス基板積層体を保持する保護プレート２４とを備
え、前記ガラス基板積層体は、複数のガラス基板２３ａ
の表面および側部を保護紙２３ｂにて覆うように積層さ
れる。
され、一方の面に傾斜面１２ａを有する支持部材１２
と、該支持部材の両側に設けられた保持アーム１５と、
一対の保持アーム間に着脱自在に装着される押圧部材１
６と、該押圧部材に移動可能に設けられた押圧プレート
２２と、前記ベース部材上で前記傾斜面に支持されるガ
ラス基板積層体２３と、前記押圧プレートに支持されて
該ガラス基板積層体を保持する保護プレート２４とを備
え、前記ガラス基板積層体は、複数のガラス基板２３ａ
の表面および側部を保護紙２３ｂにて覆うように積層さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ、カラーフィルタ等の高精細パターンの製造に用い
られるガラス基板を搬送するためのパレットに関する。
レイ、カラーフィルタ等の高精細パターンの製造に用い
られるガラス基板を搬送するためのパレットに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、カラーフィルタの製造工程は、
ガラス基板上に真空成膜法を用いてクロムを成膜する工
程、フォトレジストを塗布しフォトマスクを配置して露
光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離を行
いストライプ状パターンあるいは格子状パターン等から
なるブラック遮光層を形成する工程、ブラック遮光層の
上から着色用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し
露光した後、現像を行い着色パターンを形成し、この着
色パターンをＲ、Ｇ、Ｂ３色について繰り返して複数の
着色層を形成する工程、これら着色層の上に酸化インジ
ウム錫を成膜し、透明電極層を形成する工程等からな
る。
ガラス基板上に真空成膜法を用いてクロムを成膜する工
程、フォトレジストを塗布しフォトマスクを配置して露
光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離を行
いストライプ状パターンあるいは格子状パターン等から
なるブラック遮光層を形成する工程、ブラック遮光層の
上から着色用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し
露光した後、現像を行い着色パターンを形成し、この着
色パターンをＲ、Ｇ、Ｂ３色について繰り返して複数の
着色層を形成する工程、これら着色層の上に酸化インジ
ウム錫を成膜し、透明電極層を形成する工程等からな
る。
【０００３】上記ガラス基板は、厚さ０．５〜２ｍｍ程
度の基板であり、ガラス基板製造メーカーで製造され、
製造された１０〜３０枚程度のガラス基板は、発泡スチ
ロール製のボックス内に収納される。図４は、従来のガ
ラス基板搬送用ボックスを示し、図４（Ａ）は全体斜視
図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で蓋体を取り外した正面
図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）の一部拡大平面図である。
度の基板であり、ガラス基板製造メーカーで製造され、
製造された１０〜３０枚程度のガラス基板は、発泡スチ
ロール製のボックス内に収納される。図４は、従来のガ
ラス基板搬送用ボックスを示し、図４（Ａ）は全体斜視
図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で蓋体を取り外した正面
図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）の一部拡大平面図である。
【０００４】ボックス１は、ボックス本体２と蓋体３か
らなり、ボックス本体２の内壁には、間隔をおいて複数
の保持溝２ａが形成され、ガラス基板４、４を保持溝２
ａに挿入して収納するようにしている。ガラス基板を収
納したボックス１は、トラックに積載されカラーフィル
タ製造メーカーに運搬され、ここで、蓋体３を外してボ
ックス本体２を搬送コンベヤ上に載せて搬送し、搬送コ
ンベヤの所定の位置で、把持ロボットによりボックス本
体２を把持し、基板搬送ロボットの真空吸着アームがガ
ラス基板４、ボックス本体２の間に入り込み、ガラス基
板４を吸着して搬送コンベヤ上に載せて自動化ラインに
搬送するようにしている。
らなり、ボックス本体２の内壁には、間隔をおいて複数
の保持溝２ａが形成され、ガラス基板４、４を保持溝２
ａに挿入して収納するようにしている。ガラス基板を収
納したボックス１は、トラックに積載されカラーフィル
タ製造メーカーに運搬され、ここで、蓋体３を外してボ
ックス本体２を搬送コンベヤ上に載せて搬送し、搬送コ
ンベヤの所定の位置で、把持ロボットによりボックス本
体２を把持し、基板搬送ロボットの真空吸着アームがガ
ラス基板４、ボックス本体２の間に入り込み、ガラス基
板４を吸着して搬送コンベヤ上に載せて自動化ラインに
搬送するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のガラス基板搬送用ボックスにおいては、輸送中の振
動等によりガラス基板がたわんで接触するため、ガラス
基板４、４の間に間隔Ｌを設ける必要があり、そのた
め、１つのボックス内に収納できるガラス基板の数に制
約が生じ、その結果、運搬コストが増大するという問題
を有している。特に、近年、例えば、液晶表示装置等に
おいては画面の大型化が要望されこれに伴いガラス基板
の大型化、薄板化が進んでおり、ガラス基板の撓みの問
題が生じ、その分だけ間隔Ｌを広くしなければならず、
運搬コストがさらに増大するという問題を有している。
来のガラス基板搬送用ボックスにおいては、輸送中の振
動等によりガラス基板がたわんで接触するため、ガラス
基板４、４の間に間隔Ｌを設ける必要があり、そのた
め、１つのボックス内に収納できるガラス基板の数に制
約が生じ、その結果、運搬コストが増大するという問題
を有している。特に、近年、例えば、液晶表示装置等に
おいては画面の大型化が要望されこれに伴いガラス基板
の大型化、薄板化が進んでおり、ガラス基板の撓みの問
題が生じ、その分だけ間隔Ｌを広くしなければならず、
運搬コストがさらに増大するという問題を有している。
【０００６】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
であって、ガラス基板の運搬コストを大幅に低減させる
ことができるガラス基板搬送用パレットを提供すること
を目的とする。
であって、ガラス基板の運搬コストを大幅に低減させる
ことができるガラス基板搬送用パレットを提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明のガ
ラス基板搬送用パレットは、ベース部材１１と、該ベー
ス部材上に立設され、一方の面に傾斜面１２ａを有する
支持部材１２と、該支持部材の両側に設けられた保持ア
ーム１５と、一対の保持アーム間に着脱自在に装着され
る押圧部材１６と、該押圧部材に移動可能に設けられた
押圧プレート２２と、前記ベース部材上で前記傾斜面に
支持されるガラス基板積層体２３と、前記押圧プレート
２２に支持されて該ガラス基板積層体を保持する保護プ
レート２４とを備え、前記ガラス基板積層体は、複数の
ガラス基板２３ａの表面および側部を保護紙２３ｂにて
覆うように積層されていることを特徴とする。なお、上
記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするた
めに図面と対比させるもので、これにより本発明が何ら
限定されるものではない。
ラス基板搬送用パレットは、ベース部材１１と、該ベー
ス部材上に立設され、一方の面に傾斜面１２ａを有する
支持部材１２と、該支持部材の両側に設けられた保持ア
ーム１５と、一対の保持アーム間に着脱自在に装着され
る押圧部材１６と、該押圧部材に移動可能に設けられた
押圧プレート２２と、前記ベース部材上で前記傾斜面に
支持されるガラス基板積層体２３と、前記押圧プレート
２２に支持されて該ガラス基板積層体を保持する保護プ
レート２４とを備え、前記ガラス基板積層体は、複数の
ガラス基板２３ａの表面および側部を保護紙２３ｂにて
覆うように積層されていることを特徴とする。なお、上
記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするた
めに図面と対比させるもので、これにより本発明が何ら
限定されるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１および図２は、本発明のガ
ラス基板搬送用パレットの１実施形態を示し、図１
（Ａ）は側面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ部拡大断
面図、図２は図１（Ａ）の正面図である。
を参照しつつ説明する。図１および図２は、本発明のガ
ラス基板搬送用パレットの１実施形態を示し、図１
（Ａ）は側面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ部拡大断
面図、図２は図１（Ａ）の正面図である。
【０００９】図１（Ａ）において、ガラス基板搬送用パ
レット１０は、ベース部材１１と、ベース部材１１上に
立設された支持部材１２を備えている。ベース部材１１
の上面および下面の四隅には、柱連結具１１ａ、１１ｂ
が設けられ、柱連結具１１ａに支柱１３を連結すること
により、ガラス基板搬送用パレット１０の複数台を積層
可能に構成している。また、ベース部材１１の上面には
ゴムシートなどの緩衝材が敷設されている。支持部材１
２の一方の面には傾斜面１２ａが形成され、支持部材１
２の他方はベース部材１１との間に補強材１４が固定さ
れている。また、支持部材１２の両側には、前方に延び
る樋状の保持アーム１５がボルト等により着脱自在に固
定され、一対の保持アーム１５には、樋状の押圧部材１
６が着脱自在に装着されている。
レット１０は、ベース部材１１と、ベース部材１１上に
立設された支持部材１２を備えている。ベース部材１１
の上面および下面の四隅には、柱連結具１１ａ、１１ｂ
が設けられ、柱連結具１１ａに支柱１３を連結すること
により、ガラス基板搬送用パレット１０の複数台を積層
可能に構成している。また、ベース部材１１の上面には
ゴムシートなどの緩衝材が敷設されている。支持部材１
２の一方の面には傾斜面１２ａが形成され、支持部材１
２の他方はベース部材１１との間に補強材１４が固定さ
れている。また、支持部材１２の両側には、前方に延び
る樋状の保持アーム１５がボルト等により着脱自在に固
定され、一対の保持アーム１５には、樋状の押圧部材１
６が着脱自在に装着されている。
【００１０】図２にも示すように、押圧部材１６の両端
は、保持アーム１５に嵌合可能になっており、また、押
圧部材１６の両側内部には、ロックピン１７がスプリン
グ１８により図示矢印方向に付勢されており、ロックピ
ン１７の他端にシフトレバー１９が形成され、押圧部材
１６に形成された長穴１６ａから外部に突出されてい
る。押圧部材１６の装着は、シフトレバー１９を内側に
引き寄せながら、押圧部材１６の両端を保持アーム１５
に嵌合させ、シフトレバー１９を離してロックピン１７
を、保持アーム１５に形成されたロック穴１５ａに挿入
させることにより行われる。図１（Ａ）に示すように、
ロック穴１５ａは複数形成されており、押圧部材１６の
装着位置を調節可能にしている。なお、押圧部材１６の
着脱構造はこれに限定されるものではなく、周知の着脱
構造を採用することができる。
は、保持アーム１５に嵌合可能になっており、また、押
圧部材１６の両側内部には、ロックピン１７がスプリン
グ１８により図示矢印方向に付勢されており、ロックピ
ン１７の他端にシフトレバー１９が形成され、押圧部材
１６に形成された長穴１６ａから外部に突出されてい
る。押圧部材１６の装着は、シフトレバー１９を内側に
引き寄せながら、押圧部材１６の両端を保持アーム１５
に嵌合させ、シフトレバー１９を離してロックピン１７
を、保持アーム１５に形成されたロック穴１５ａに挿入
させることにより行われる。図１（Ａ）に示すように、
ロック穴１５ａは複数形成されており、押圧部材１６の
装着位置を調節可能にしている。なお、押圧部材１６の
着脱構造はこれに限定されるものではなく、周知の着脱
構造を採用することができる。
【００１１】また、押圧部材１６の中央部には、ネジ機
構２０が設けられ、ネジ機構２０の一端には押圧ハンド
ル２１が設けられ、ネジ機構２０の他端には押圧プレー
ト２２が設けられている。なお、押圧プレート２２の表
面には緩衝材となる保護プレート２４が設けられてい
る。そして、ベース部材１１上にガラス基板積層体２３
が載置され、支持部材１２の傾斜面１２ａにより支持さ
れる。ガラス基板積層体２３は押圧プレート２２と保護
プレート２４により保持され、搬送途中で振動などによ
ってガラス基板積層体２３が崩れることがないようにし
ている。
構２０が設けられ、ネジ機構２０の一端には押圧ハンド
ル２１が設けられ、ネジ機構２０の他端には押圧プレー
ト２２が設けられている。なお、押圧プレート２２の表
面には緩衝材となる保護プレート２４が設けられてい
る。そして、ベース部材１１上にガラス基板積層体２３
が載置され、支持部材１２の傾斜面１２ａにより支持さ
れる。ガラス基板積層体２３は押圧プレート２２と保護
プレート２４により保持され、搬送途中で振動などによ
ってガラス基板積層体２３が崩れることがないようにし
ている。
【００１２】基板積層体２３は、図１（Ｂ）に示すよう
に、複数のガラス基板２３ａの表面および側部を保護紙
２３ｂにて覆うようにして積層されている。ガラス基板
２３ａの大きさは、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ〜１,００
０ｍｍ×１,３００ｍｍ程度、厚みは０．５〜２ｍｍ程
度、積層可能枚数は、２５０〜５００枚程度が好適であ
る。また、上記保護紙２３ｂは、運搬中における振動に
よりガラス基板に傷をつけず、かつ、ガラス基板から離
れやすい性質を有する、硫黄分が少なくヤケ転写が少な
いＰＨが５．５〜７の材料からなるもの等を用いる。
に、複数のガラス基板２３ａの表面および側部を保護紙
２３ｂにて覆うようにして積層されている。ガラス基板
２３ａの大きさは、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ〜１,００
０ｍｍ×１,３００ｍｍ程度、厚みは０．５〜２ｍｍ程
度、積層可能枚数は、２５０〜５００枚程度が好適であ
る。また、上記保護紙２３ｂは、運搬中における振動に
よりガラス基板に傷をつけず、かつ、ガラス基板から離
れやすい性質を有する、硫黄分が少なくヤケ転写が少な
いＰＨが５．５〜７の材料からなるもの等を用いる。
【００１３】図３は、ガラス基板搬送装置の構成図であ
る。ガラス基板製造メーカーで製造され、製造されたガ
ラス基板はガラス基板搬送用パレット１０に保持され、
ラックに積載されてカラーフィルタ等加工製造メーカー
に運搬され、ここで、ガラス基板搬送装置３０に送られ
る。
る。ガラス基板製造メーカーで製造され、製造されたガ
ラス基板はガラス基板搬送用パレット１０に保持され、
ラックに積載されてカラーフィルタ等加工製造メーカー
に運搬され、ここで、ガラス基板搬送装置３０に送られ
る。
【００１４】ガラス基板搬送装置３０は、搬送コンベヤ
３１上にパレット搬入部３２、ガラス基板取出部３３、
パレット搬出部３４を備えている。ガラス基板搬送用パ
レット１０は、その保持アーム１５および押圧部材１
６、保護プレート２４を取り外した後、パレット搬入部
３２に載せられ、ガラス基板取出部３３に搬送される。
ここで、保護紙除去ロボット３５の真空吸着アーム３５
ａにより保護紙が取り除かれ、次に基板搬送ロボット３
６の真空吸着アーム３６ａによりガラス基板が加工ライ
ン３７上に搬送される。ガラス基板が取り出された空の
ガラス基板搬送用パレット１０は、パレット搬出部３４
から排出される。
３１上にパレット搬入部３２、ガラス基板取出部３３、
パレット搬出部３４を備えている。ガラス基板搬送用パ
レット１０は、その保持アーム１５および押圧部材１
６、保護プレート２４を取り外した後、パレット搬入部
３２に載せられ、ガラス基板取出部３３に搬送される。
ここで、保護紙除去ロボット３５の真空吸着アーム３５
ａにより保護紙が取り除かれ、次に基板搬送ロボット３
６の真空吸着アーム３６ａによりガラス基板が加工ライ
ン３７上に搬送される。ガラス基板が取り出された空の
ガラス基板搬送用パレット１０は、パレット搬出部３４
から排出される。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、従来のガラス基板搬送用ボックスと比較して、
１０倍以上の大量のガラス基板を収納してガラス基板を
傷つけることなく搬送することができるため、ガラス基
板の運搬コストを大幅に低減させることができる。
よれば、従来のガラス基板搬送用ボックスと比較して、
１０倍以上の大量のガラス基板を収納してガラス基板を
傷つけることなく搬送することができるため、ガラス基
板の運搬コストを大幅に低減させることができる。
【図１】本発明のガラス基板搬送用パレットの１実施形
態を示し、図１（Ａ）は側面図、図１（Ｂ）は図１
（Ａ）のＢ部拡大断面図である。
態を示し、図１（Ａ）は側面図、図１（Ｂ）は図１
（Ａ）のＢ部拡大断面図である。
【図２】図１（Ａ）の正面図である。
【図３】ガラス基板搬送装置の構成図である。
【図４】従来のガラス基板搬送用ボックスを示し、図４
（Ａ）は全体斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で蓋体を
取り外した正面図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）の一部拡大
平面図である。
（Ａ）は全体斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で蓋体を
取り外した正面図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）の一部拡大
平面図である。
１１…ベース部材 １２…支持部材 １２ａ…傾斜面 １５…保持アーム １６…押圧部材 ２２…押圧プレート ２３…ガラス基板積層体 ２３ａ…ガラス基板 ２３ｂ…保護紙 ２４…保護プレート
Claims (1)
- 【請求項１】ベース部材と、該ベース部材上に立設さ
れ、一方の面に傾斜面を有する支持部材と、該支持部材
の両側に設けられた保持アームと、一対の保持アーム間
に着脱自在に装着される押圧部材と、該押圧部材に移動
可能に設けられた押圧プレートと、前記ベース部材上で
前記傾斜面に支持されるガラス基板積層体と、前記押圧
プレートに支持されて該ガラス基板積層体を保持する保
護プレートとを備え、前記ガラス基板積層体は、複数の
ガラス基板の表面および側部を保護紙にて覆うように積
層されていることを特徴とするガラス基板搬送用パレッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16631499A JP4274394B2 (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | ガラス基板積層体搬送体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16631499A JP4274394B2 (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | ガラス基板積層体搬送体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000353739A true JP2000353739A (ja) | 2000-12-19 |
| JP4274394B2 JP4274394B2 (ja) | 2009-06-03 |
Family
ID=15829062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16631499A Expired - Fee Related JP4274394B2 (ja) | 1999-06-14 | 1999-06-14 | ガラス基板積層体搬送体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4274394B2 (ja) |
Cited By (15)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2005134418A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法 |
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| KR100863083B1 (ko) | 2006-07-10 | 2008-10-13 | 한화테크엠주식회사 | 유리판 적재용 파레트 |
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1999
- 1999-06-14 JP JP16631499A patent/JP4274394B2/ja not_active Expired - Fee Related
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