JP2006283096A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するため、本発明の第１の観点によれば、被処理体を収容し、内部で所定の処理を行なう平面視略矩形をした処理チャンバであって、
前記処理チャンバを構成する側壁のうち、対向する二つの側壁の厚みを他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された前記対向する二つの側壁を補強する補強部材を備えたことを特徴とする、処理チャンバが提供される。

また、本発明の第２の観点によれば、基部と蓋部とからなる組み合わせ構造の平面視略矩形をした処理チャンバであって、
前記基部と前記蓋部とを組み合わせた状態で、前記処理チャンバを構成する側壁のうち、対向する二つの側壁の厚みを、他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された前記対向する二つの側壁を補強する補強部材を備えたことを特徴とする、処理チャンバが提供される。

第１および第２の観点によれば、前記処理チャンバを構成する側壁のうち、対向する二つの側壁の厚みを、他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された前記対向する二つの側壁を補強する補強部材を備えた構成とした。処理チャンバの設置・使用時には、前記補強部材により、処理に必要な強度を確保できるとともに、側壁を薄くした分だけ内寸を広げつつ外寸の拡大を抑制できることにより、大型の被処理体にも対応可能であり、かつフットプリントの拡大も抑制できる。
また、補強部材を着脱自在として、処理チャンバの運搬、輸送などの移送時には、前記補強部材を取外すことにより、側壁を薄くした分だけ荷物の外寸の拡大を抑え、重量も少なくできることから、移送にかかる費用負担を軽減でき、法令による規制の遵守も容易になる。

本発明の第３の観点によれば、被処理体を収容し、内部で所定の処理を行なう処理チャンバであって、
平面視略矩形で上面が開口し、その中に被処理体を載置する載置部を備えた基部と、
前記基部と組み合わされて処理チャンバを形成する蓋部と、
を備え、
前記基部は、底板と四つの側壁から構成され、該四つの側壁のうち、対向する二つの側壁の厚みを他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された前記対向する二つの側壁を補強する補強部材を備えたことを特徴とする、処理チャンバが提供される。

上記第３の観点において、前記蓋部は天板と四つの側壁により構成され、該四つの側壁のうち、前記基部を構成する前記薄く形成された二つの側壁と当接する二つの側壁の厚みを、前記蓋部の他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された前記蓋部の二つの側壁を補強する補強部材を備えていてもよい。また、前記補強部材は、前記基部と前記蓋部のそれぞれに外付けされていてもよい。
上記第１〜第３の観点において、前記補強部材は、補強する前記側壁に対し着脱自在であることが好ましい。

本発明によれば、処理チャンバを構成する側壁のうち、対向する二つの側壁の厚みを、他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された対向する二つの側壁を補強する補強部材を備えたので、被処理体の大型化に対応し、かつフットプリントの拡大も抑制できる。また、補強部材を着脱自在として、処理チャンバの運搬、輸送などの移送時には前記補強部材を取外すことにより、移送にかかる費用負担を軽減でき、法令による規制の遵守も容易になるとの効果を奏する。

Claims (15)

1. 被処理体を収容し、内部で所定の処理を行なう平面視略矩形をした処理チャンバであって、
   前記処理チャンバを構成する側壁のうち、対向する二つの側壁の厚みを他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された前記対向する二つの側壁を補強する補強部材を備えたことを特徴とする、処理チャンバ。
2. 基部と蓋部とからなる組み合わせ構造の平面視略矩形をした処理チャンバであって、
   前記基部と前記蓋部とを組み合わせた状態で、前記処理チャンバを構成する側壁のうち、対向する二つの側壁の厚みを、他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された前記対向する二つの側壁を補強する補強部材を備えたことを特徴とする、処理チャンバ。
3. 薄く形成された前記対向する二つの側壁は、長手方向の側壁であることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の処理チャンバ。
4. 薄く形成された前記対向する二つの側壁は、内部を真空にした状態で大気圧に耐え得る強度を有しない厚さであることを特徴とする、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の処理チャンバ。
5. 真空状態で被処理体を処理する真空チャンバである、請求項４に記載の処理チャンバ。
6. 前記補強部材は、前記処理チャンバに外付けされることを特徴とする、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の処理チャンバ。
7. 前記補強部材は、薄く形成された前記対向する二つの側壁に、それぞれの外側から固定される板状部材であることを特徴とする、請求項６に記載の処理チャンバ。
8. 前記補強部材は、前記対向する二つの側壁から外側へ向けて突出して延在し、ステップとして機能することを特徴とする、請求項７に記載の処理チャンバ。
9. 被処理体がガラス基板である請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の処理チャンバ。
10. 被処理体を収容し、内部で所定の処理を行なう処理チャンバであって、
    平面視略矩形で上面が開口し、その中に被処理体を載置する載置部を備えた基部と、
    前記基部と組み合わされて処理チャンバを形成する蓋部と、
    を備え、
    前記基部は、底板と四つの側壁から構成され、該四つの側壁のうち、対向する二つの側壁の厚みを他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された前記対向する二つの側壁を補強する補強部材を備えたことを特徴とする、処理チャンバ。
11. 前記蓋部は天板と四つの側壁により構成され、該四つの側壁のうち、前記基部を構成する前記薄く形成された二つの側壁と当接する二つの側壁の厚みを、前記蓋部の他の二つの側壁の厚みに比べ薄く形成するとともに、薄く形成された前記蓋部の二つの側壁を補強する補強部材を備えたことを特徴とする、請求項１０に記載の処理チャンバ。
12. 前記補強部材は、前記基部と前記蓋部のそれぞれに外付けされることを特徴とする、請求項１１に記載の処理チャンバ。
13. 前記補強部材は、補強する前記側壁に対し着脱自在であることを特徴とする、請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の処理チャンバ。
14. 請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の処理チャンバを備えた処理装置。
15. フラットパネルディスプレイの製造に用いられることを特徴とする、請求項１４に記載の処理装置。