JP3300330B2 - 処理室の窓蓋 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、処理室の窓蓋に関
する。すなわち、液体を用いた処理が行われ、内部が外
部より高温となり外部との間に温度差が生じ易い処理室
について、メンテナンスや点検等の作業用に付設され
る、窓や蓋に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】《処理室１について》図６は、この種従
来例の処理室の窓蓋の正断面図であり、（１）図は、外
部との温度差が無く、反り変形していない場合を示し、
（２）図は、外部との温度差が生じ、全体的に反り変形
した場合を示す。例えば、プリント配線基板の製造工程
において、エッチング工程や剥離工程では、それぞれの
処理室１の内部Ａで、処理対象たるプリント配線基板材
をコンベヤにて搬送しつつ、腐食液や剥離液等の液体Ｂ
を多数のスプレーノズルから噴射し、もってプリント配
線基板材の表面処理が行われている（後述の図３，図４
等も参照）。このような表面処理後の液体Ｂは、処理室
１の内部Ａ下部の液槽２に、流下，回収，貯留され、ポ
ンプや配管を介し再び噴射用に循環使用されている。

【０００３】《窓蓋３について》そして、このような処
理室１の上面や側面には、内部Ａのメンテナンス，点
検，緊急処理，その他の作業用に、多くの窓蓋３が付設
されている。図６では、窓蓋３として上面の蓋が示され
ると共に、内部Ａのプリント配線基板材等の処理対象，
コンベヤ，スプレーノズル等の図示は、省略されてい
る。図中４は、液槽２中に配された加温用のヒーターで
ある。この窓蓋３は、平板状をなし、処理室１に形成さ
れた開口部５を、常時は密閉，閉鎖すると共に、作業時
において外部Ｃに開放するが、開口部５の形成周壁６に
内フランジ状に付設された台座７に、密接，保持されて
いる。ところで、この種の処理室１を形成する壁体や窓
蓋３は、従来より熱可塑性樹脂等の樹脂製よりなる。す
なわち、金属製に比し樹脂製のものは、一般的に酸やア
ルカリの影響を受けにくく、しかも各種形状への成形が
容易であり、この種の箱状の処理室１自体や、平板状の
窓蓋３としては、樹脂製の素材が使用されていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】《第１の問題点につい
て》ところで、このような従来例の窓蓋３にあっては、
次の問題が指摘されていた。まず第１に、処理室１の内
部Ａで噴射される液体Ｂや、処理室１の内部Ａ下部の液
槽２に貯留された液体Ｂは、例えば３０℃から６０℃程
度に加温された、酸性やアルカリ性の処理液よりなる。
そこで、処理が行われる処理室１の内部Ａには、このよ
うな液体Ｂから発生した有害のガス，臭気，蒸気等の気
体が充満している。これと共に、処理室１の内部Ａは、
このような液体Ｂにより高温となっており、外部Ｃとの
間で温度差が生じやすい。そして、このような内部Ａと
外部Ｃ間の温度差に起因して、平板状をなす樹脂製の窓
蓋３が、図６の（１）図に示した常時の状態から、図６
の（２）図に示したように、全体的に反り変形し易かっ
た。

【０００５】すなわち周知のごとく、素材としての樹
脂、特にこの種の窓蓋３で一般的に使用されている熱可
塑性樹脂は、金属に比し一般的に温度の影響を受けやす
く、膨張，収縮し易い。そこで、このような樹脂製の窓
蓋３は、処理室１の内部Ａと外部Ｃとの温度差が１０℃
程度に達すると、全体的に徐々に反り変形を開始し、温
度差が２０℃前後に達すると顕著に全体的に大きく反り
変形するに至る。この反り変形は、例えばｍ当たり数１
０ｍｍに達する。すなわち、従来の平板状で樹脂製の窓
蓋３は、内部Ａと外部Ｃとの温度差に起因して、処理室
１の内部Ａの雰囲気に触れて昇温した面が、外部Ｃ側の
より低温の面より膨張率が大となり、もって、図１の
（１）図の状態から（２）図の状態へと、全体的に反り
変形し弓なりに湾曲してしまう、という問題が指摘され
ていた。

【０００６】《第２の問題点について》第２に、そこで
このような窓蓋３の全体的な反り変形により、処理室１
の開口部５が、窓蓋３にて密閉，閉鎖されなくなる。そ
して、開口部５と全体的に反り変形した窓蓋３との間か
ら、つまり、開口部５側の台座７と窓蓋３の外周部との
間に反り変形により生じた隙間から、前述により処理室
１の内部Ａに充満していた有害なガス，臭気，蒸気等の
気体が、外部Ｃに漏れ出してしまう、という問題が指摘
されていた。窓蓋３は、１つの処理室１について複数個
設けられると共に、例えばプリント配線基板の製造工程
では各ラインを合計すると数１００個にも及び、しか
も、作業中長時間にわたり各窓蓋３から、このような有
害なガス，臭気，蒸気等の気体の漏出が、継続される状
況にある。そして、このように漏出した有害なガス，臭
気，蒸気等の気体は、作業者等の人体に極めて有害であ
り、作業環境の悪化を招くと共に、他の機械，設備等の
腐食，損傷させる。

【０００７】《第３の問題点について》第３に、そこで
従来は、窓蓋３について、次のような反り変形対策も行
われたが、いずれも難点があった。 イ．窓蓋３を、処理室１側の開口部５の形成周壁６に対
し、複数のボルトで止着する対策が行われたが、内部Ａ
のメインテナンスや点検作業に際し、窓蓋３を開放する
ためボルトを外す手間を要し、面倒であるという難点が
あった。特に、緊急処理作業に際し素早い対応ができな
い、という難点があった。 ロ．平板状をなす窓蓋３の肉厚を厚くする対策も行われ
たが、依然として反り変形が発生していた。肉厚を厚く
すると、窓蓋３の内部Ａ側の面と外部Ｃ側の面との温度
差が、より拡大し、もって反り変形が一段と大きくな
る、という指摘もあった。 ハ、窓蓋３の素材を、樹脂に代えて温度差による反り変
形が少ないガラスを採用する対策も行われた。しかしな
がら、強化ガラス板等は、反り変形は解消されるもの
の、アルカリ性の液体Ｂの悪影響を受け易く、成形加工
も困難を伴い，重量が重く，割れ易い，コスト的に高く
つく、等々の難点が指摘され、本格的採用は見送られ
た。 ニ．窓蓋３を内外の２重構造とする対策も考えられた
が、例え窓蓋３を２重にそれぞれ開口部５の形成周壁６
に配設しても、依然としてそれぞれについて、反り変形
の発生が指摘されていた。

【０００８】《本発明について》本発明は、このような
実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべく、発明者の
鋭意研究努力の結果なされたものであって、温度差によ
り中央部を中心に反り変形する遮蔽板と、強度面に優れ
た構造よりなり反り変形しない枠体と、を備えた窓蓋を
採用したことを特徴とする。例えば、この枠体は、処理
室の雰囲気には触れず、遮蔽板より５〜１０倍程度厚い
肉厚よりなり、開口部の形成周壁との間に隙間が形成さ
れ、略矩形短筒形状をなして立設され、表面遮蔽板が取
付けられている。又、遮蔽板は、パッキンへの液体拡散
を規制する拡散防止板が付設され、透視可能となってい
る。そして、このような樹脂製の窓蓋は、処理室側の開
口部の形成周壁の台座に密接，保持せしめられており、
このような窓蓋を備えた処理室は、例えばプリント配線
基板の製造工程で用いられ、下部に液槽が形成されてい
る。もって本発明は、第１に、温度差による全体的な反
り変形が回避され、第２に、よってガス，臭気，蒸気等
の漏出が防止され、第３に、しかもこれらが簡単容易に
難点もなく実現される、処理室の窓蓋を提案することを
目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】《技術的手段について》
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次の
とおりである。まず、請求項１については次のとおり。
すなわち、この請求項１の処理室の窓蓋において、該処
理室は、内部で液体を用いた処理が行われ、内部が外部
より高温となり外部との間で温度差が生じ易い。そして
該窓蓋は、該処理室に形成された開口部を閉鎖する遮蔽
板と、該遮蔽板の外周部に一体的に立設された枠体と
を、有してなり、該枠体は、該遮蔽板より強度面に優れ
た構造よりなること、を特徴とする。請求項２について
は次のとおり。すなわち、この請求項２の処理室の窓蓋
は、請求項１に記載した処理室の窓蓋において、該窓蓋
は、窓又は蓋よりなり、メンテナンス，点検，緊急処
理，その他の作業用に使用される。該液体は、高温であ
り、ガス，臭気，蒸気，その他の気体を発生する。そし
て該遮蔽板は、該処理室内の雰囲気に直接触れると共
に、内部と外部との温度差に起因して中央部を中心に反
り変形する。該枠体は、外部に向け立設されており、該
処理室内の雰囲気に触れず、同温度差によっては反り変
形しないこと、を特徴とする。

【００１０】次に、請求項３については次のとおり。す
なわち、この請求項３の処理室の窓蓋は、請求項２に記
載した処理室の窓蓋において、該遮蔽板と該枠体は、同
種の樹脂製よりなると共に、該枠体は、該遮蔽板より３
倍程度以上肉厚が厚く設定されており、かつ該枠体と該
処理室側の開口部の形成周壁との間に、隙間が形成され
ていること、を特徴とする。請求項４については次のと
おり。すなわち、この請求項４の処理室の窓蓋は、請求
項３に記載した処理室の窓蓋において、該枠体は、略矩
形短筒形状をなすと共に、該枠体には、更に外表面遮蔽
板が取付けられている。もって、該枠体と該外表面遮蔽
板と該遮蔽板とにより、中空空間が形成されると共に、
該中空空間と外部間を連通する通気孔が付設されている
こと、を特徴とする。請求項５については次のとおり。
すなわち、この請求項５の処理室の窓蓋は、請求項４に
記載した処理室の窓蓋において、該処理室内部では、該
液体を処理対象に噴射して処理が行われる。又、該開口
部の形成周壁には、内フランジ状に台座が付設されてい
る。そして該窓蓋は、周設介装されたパッキンを介し、
外周部が該台座に密接，保持されていること、を特徴と
する。

【００１１】次に、請求項６については次のとおり。す
なわち、この請求項６の処理室の窓蓋は、請求項５に記
載した処理室の窓蓋において、該遮蔽板の内面には、噴
射された該液体が該パッキン側へと拡散することを規制
する拡散防止板が、周設付設されていること、を特徴と
する。請求項７については次のとおり。すなわち、この
請求項７の処理室の窓蓋は、請求項１に記載した処理室
の窓蓋において、該遮蔽板は、透視可能であること、を
特徴とする。請求項８については次のとおり。すなわ
ち、この請求項８の処理室の窓蓋にあっては、請求項１
に記載した処理室の窓蓋において、該処理室は、プリン
ト配線基板の製造工程で用いられる。そして、該処理室
の内部では、プリント配線基板材に対し、現像液，腐食
液，剥離液，又は水洗液等の該液体が多数のスプレーノ
ズルから噴射されて、該プリント配線基板材が表面処理
される。これと共に、該処理室の下部は、表面処理後に
流下，回収された該液体を貯留する液槽となっているこ
と、を特徴とする。

【００１２】《作用について》本発明は、このようにな
っているので、次のようになる。この処理室では、内部
で処理対象に液体を噴射する等により、液体を用いた処
理が行われる。例えばこの処理室は、プリント配線基板
の製造工程で用いられ、内部でプリント配線基板材に対
し、現像液，腐食液，剥離液，又は水洗液等の液体が、
多数のスプレーノズルから噴射されて、プリント配線基
板材が表面処理される。処理室の下部は、流下，回収さ
れた液体を貯留する液槽となっている。そして、噴射さ
れ貯留される液体が高温であるので、処理室の内部も高
温となっており、外部との間で温度差が生じ易い。

【００１３】窓蓋は、このような処理室内部のメンテナ
ンス，点検，緊急処理，その他の作業用に使用され、処
理室の開口部を閉鎖する遮蔽板と、遮蔽板の外周部に立
設された枠体とを、有してなる。遮蔽板は、処理室内の
雰囲気に直接触れており、処理室内部と外部の温度差に
起因して、その中央部を中心に反り変形するが、枠体
は、遮蔽板より強度面に優れた構造よりなると共に処理
室内の雰囲気に触れておらず、反り変形しない。例え
ば、ａ．遮蔽板と枠体は同種の樹脂製よりなるが、枠体
は、遮蔽板より３倍程度以上、肉厚が厚く設定されてい
る。ｂ．枠体は、略矩形短筒形状をなし立設されてい
る。ｃ．枠体には、外面遮蔽板が取付けられている。
ｄ．枠体と開口部の形成周壁との間には、隙間が形成さ
れている。なお窓蓋には、中空空間と外部を連通する通
気孔が付設されており、熱膨張した空気や湿気等を外部
に逃がす。又、遮蔽板や外面遮蔽板を透視可能としてお
くと、内部を外部から確認できる。処理室側の開口部の
形成周壁には、台座が付設されており、窓蓋は、パッキ
ンを介し外周部が台座に密接，保持される。遮蔽板に
は、噴射された液体のパッキン側への拡散防止板が、周
設付設されている。

【００１４】さてそこで、第１に、処理室の内部が高温
となり、外部との温度差が生じた場合、窓蓋の遮蔽板中
央部が、部分的に反り変形するに留まる。窓蓋の外周部
の枠体は、そのａ．肉厚，ｂ．形状，ｃ．外面遮蔽板、
等に基づき強度面に優れると共に、ｅ．処理室内の雰囲
気に触れず、ｄ．隙間もあり、処理室内部の温度上昇の
影響を受けない。もって、枠体は反り変形しない。この
ように、この窓蓋は、外周部の枠体が反り変形せず、全
体的な反り変形・要部の反り変形は回避される。第２
に、そこで処理室側の台座と窓蓋側の要部たる枠体との
間に、隙間は発生しない。処理室の内部には、高温の液
体から発生したガス、臭気、蒸気、その他の気体が充満
しているが、このように隙間が発生しないので、その外
部への漏出も防止される。なお、拡散防止板の存在も、
このような漏出防止に寄与する。第３に、この窓蓋は、
所定の遮蔽板と枠体等を組み合わせてなり、簡単な構成
により容易にしかも難点を伴なうこともなく、上述した
点が実現される。

【００１５】

【発明の実施の形態】《図面について》以下本発明を、
図面に示す発明の実施の形態に基づいて、詳細に説明す
る。図１，図２は、本発明の実施の形態の説明に供す
る。そして図１は、処理室の正断面図であり、図２の
（１）図は、窓蓋の平面図、（２）図は、窓蓋の正断面
図、（３）図は、窓蓋の斜視図である。図３は、処理室
の正断面図、図４は、処理室の側断面図、図５の（１）
図は、処理室の側面図、（２）図は、プリント配線基板
（材）の平面説明図である。

【００１６】《プリント配線基板Ｄの製造工程等につい
て》本発明の窓蓋８が設けられる処理室１は、例えば、
プリント配線基板Ｄの製造工程で用いられる。そこでま
ず、プリント配線基板Ｄの製造工程等について、図３，
図４，図５等を参照しつつ説明しておく。プリント配線
基板Ｄは、広く各種のＯＡ機器用の基板，その他の電子
機器用の基板として用いられており、片面基板，両面基
板，多層基板（含、最近のビルドアップ工法のもの）
等、各種のものがあり、その一環として、半導体チップ
・パッケージ絡みのＣＳＰ，ＰＢＧＡも出現している。
そしてプリント配線基板Ｄは、近年ますます小型化，軽
量化，ファイン化，極薄化，フレキシブル化，多層化等
が進み、外表面に形成される回路Ｅの高密度化，微細
化，高精度化等が著しい。例えばプリント配線基板Ｄの
肉厚は、絶縁基材の部分が６０μｍ程度で、回路Ｅ部分
が５５μｍから０．１８μｍ程度まで極薄化されてお
り、多層基板の場合でも、全体の肉厚が１．０ｍｍから
０．４ｍｍ程度まで極薄化されつつある。回路Ｅの幅
も、７０μｍから２０μｍ程度と微細化傾向にある。

【００１７】そしてプリント配線基板Ｄは、公知のごと
く、次の工程を順次辿って製造される。まず、樹脂やガ
ラスクロス製の絶縁基材に銅箔が、熱プレス等により張
り付けられた後、銅箔表面を粗化するソフトエッチング
が行われ、ワークサイズに切断される。それから、この
ように準備された銅張り積層板たるプリント配線基板材
Ｆについて、多くの場合、スルホール用の多数の穴あけ
加工が施された後、パネルめっきが施され、スルホール
内壁がめっきされる。しかる後、プリント配線基板材Ｆ
の外表面について、感光保護膜たる感光性レジストが、
膜状に塗布又は張付けられる。（なお、図示例のプリン
ト配線基板材Ｆは、表面と裏面の両外表面に回路Ｅが形
成される両面基板タイプよりなり、両面銅張り積層板が
用いられているが、片面の外表面のみに回路Ｅが形成さ
れる片面基板タイプよりなり、片面銅張り積層板が用い
られるものもある。）

【００１８】それから、このようなプリント配線基板材
Ｆに、回路Ｅのネガフィルムである回路写真をあてて、
露光する。もって、プリント配線基板材Ｆの外表面を被
覆していた感光性レジストは、露光されて硬化した回路
形成部分を残し、他の不要部分が、液体Ｂたる現像液の
噴射により溶解除去される。しかる後、このようなプリ
ント配線基板材Ｆの外表面の銅箔は、感光性レジストが
硬化して被覆，保護された回路形成部分を残し、上述に
より感光性レジストが溶解除去された不要部分が、処理
液Ｂたる腐食液・エッチング液の噴射により、溶解除去
・エッチングされる。それから、残っていた硬化した回
路形成部分の感光性レジストが、液体Ｂたる剥離液の噴
射により溶解除去されるので、残った回路形成部分の銅
箔にて、プリント配線基板材Ｆの外表面に所定の回路Ｅ
が形成され、もってプリント配線基板Ｄが製造される。
なお、このような工程を辿って製造されたプリント配線
基板Ｄについては、後処理工程として上述した工程に準
じ、形成された回路Ｅの保護被膜が、感光性レジストに
て形成される。

【００１９】さて、このようなプリント配線基板材Ｆの
現像，エッチング，剥離等の各工程では、それぞれの処
理室１の内部Ａにおいて、プリント配線基板材Ｆが、コ
ンベヤ９のホイール１１等にて水平姿勢で搬送方向Ｇに
搬送される。図中１２は、コンベヤシャフトである。こ
れと共に、処理室１内部Ａに上下に対向配設された多数
のスプレーノズル１０から、現像液，腐食液，剥離液等
の液体Ｂが、搬送されるプリント配線基板材Ｆに対して
噴射され、もってプリント配線基板材Ｆが、現像，エッ
チング，剥離等の薬液処理・表面処理される。又、この
ような現像，エッチング，剥離の各工程、更にはその前
処理工程を含むその他の製造工程では、それぞれ付随し
て事後、洗浄処理・表面処理が行われる。この洗浄用の
処理室１内においては、プリント配線基板材Ｆを搬送し
つつ、水洗液よりなる液体Ｂがスプレーノズル１０から
噴射され、もって洗浄処理・表面処理が行われる。プリ
ント配線基板Ｄの製造工程等は、このようになってい
る。

【００２０】《処理室１について》次に、処理室１につ
いて、図３，図４を参照しつつ更に詳述する。窓蓋８が
設けられる処理室１は、例えば、このようなプリント配
線基板Ｄの製造工程において、液体Ｂを用いてプリント
配線基板材Ｆを表面処理する、各工程において用いられ
る。そして、処理室１の内部Ａにおいては、各スプレー
ノズル１０から噴射された現像液，腐食液，剥離液，水
洗液等の液体Ｂが、搬送されるプリント配線基板材Ｆの
外表面を左右方向Ｈたる幅方向に流れ、もってプリント
配線基板材Ｆを、薬液処理や洗浄処理等の表面処理した
後、処理室１の下部に形成された液槽２に、流下，回
収，貯留される。液槽２に貯留された液体Ｂは、その多
くが、配管１３やポンプ１４を介し、スプレーパイプ１
５へと圧送されて、循環使用される。

【００２１】この現像液，腐食液，剥離液等の液体Ｂ
は、酸性やアルカリ性の薬剤が水溶液に混入されてな
り、化学処理・表面処理用に３０℃から６０℃程度に、
液槽２のヒーター４等にて加温されている。これに対し
外部Ｃの温度は、通常２０℃程度である。そこで、処理
室１の内部Ａは、外部Ｃに比し高温となり易く、外部Ｃ
との間で温度差が生じやすい。これと共に、常温時とは
異なり、このように加温されて噴射され，貯留される液
体Ｂからは、有害なガス，臭気，水蒸気，その他の気体
が発生し、処理室１内に充満する。なお、洗浄処理用の
処理室１にあっても、水洗液よりなる液体Ｂは、循環使
用に伴うかく拌により、次第に加温されると共に、水蒸
気，その他の気体を発生する。

【００２２】ところで、窓蓋８が設けられる処理室１
は、このようなプリント配線基板Ｄの製造工程以外にお
いても、用いられる。すなわち、この窓蓋８付の処理室
１は、内部Ａで液体Ｂを処理対象に噴射する処理が行わ
れる処理室１や、その他、内部Ａで液体Ｂを用いた処理
が行われる各種の処理室１について、適用される。これ
らの処理室１では、加温された液体Ｂにより、内部Ａが
外部Ｃより高温となり、外部Ｃとの間で温度差が生じや
すいと共に、加温された液体Ｂから、ガス，臭気，蒸
気，その他の気体が発生する。このような処理室１の例
としては、メッキ装置のディプ槽を備えた処理室１、そ
の他の各種化学反応装置の加温槽を備えた処理室１、循
環槽（液体Ｂが循環使用に伴うかく拌により次第に加温
される）を備えた処理室１、等々が考えられる。処理室
１は、このようになっている。

【００２３】《窓蓋８について》以下、窓蓋８につい
て、図１，図２等を参照しつつ、説明する。上述した処
理室１には、窓蓋８が設けられている。すなわち、処理
室１の上面や側面には、多くの窓蓋８が設けられてお
り、この窓蓋８は、内部Ａの処理対象，装置，機構等、
図示例ではプリント配線基板材Ｆ，コンベヤ９，多数の
スプレーノズル１０，液槽２等々について、メンテナン
ス，点検，緊急処理・トラブル処理，その他の作業用に
使用される。図示例では、処理室１の上面に、左右方向
Ｈのほぼ全幅にわたると共に搬送方向Ｇに４個の窓蓋８
が、蓋として設けられている（図３，図４，図５の
（１）図を参照）。又、処理室１の両側面には、搬送方
向Ｇに２個の窓蓋８が、窓として設けられている（図
４，図５の（１）図を参照）。そして、これらの蓋や窓
たる窓蓋８は、常時は密閉，封鎖されており、作業時の
み外部Ｃに開放されて、作業者が内部Ａに手を挿入し
て、必要な作業を行う。

【００２４】処理室１や窓蓋８の素材としては、熱可塑
性樹脂等の樹脂が使用されている。そして、処理室１の
上面や側面には、それぞれ開口部５が形成され、この開
口部５に窓蓋８が、それぞれ開閉可能に取付けられてい
る。開口部５は、処理室１の天井壁や側壁を切り欠いた
貫通開口穴として形成されており、外周が形成周壁６と
なっている。図１に示したように、この開口部５の形成
周壁６には、内フランジ状に台座７が付設されており、
窓蓋８は、周設介装されたパッキン１６を介し、外周部
が台座７に密接，保持されている。

【００２５】すなわち窓蓋８は、開口部５の形成周壁６
の台座７に対し、外部Ｃ側から当接されることにより、
開口部５を密閉，封鎖する。又、台座７から外部Ｃ側へ
と離反されることにより、開口部５を開放する。図示例
の台座７は、形成周壁６の下部分に付設されると共に、
内側に向け内フランジ状に周設・突設されている。窓蓋
８と形成周壁６間には、必要に応じヒンジやストッパ
が、回動用，位置決め用，固定用として対応設される。
なお、開口部５，形成周壁６，窓蓋８等の奥行き寸法
（図１の例では上下寸法）は、ほぼ見合っている。

【００２６】このような窓蓋８の構成について、図１，
図２により更に詳述する。なお図示例の窓蓋８は、処理
室１上面の蓋よりなるが、処理室１側面の窓について
も、これに準じ同様の構成よりなる。そして、この窓蓋
８は、処理室１に形成された開口部５を閉鎖する（勿論
開放も可能な）遮蔽板１７と、遮蔽板１７の外周部に一
体的に立設された枠体１８とを、有してなる。以下、こ
のような遮蔽板１７と枠体１８について詳述する。

【００２７】まず遮蔽板１７は、処理室１内の雰囲気に
直接触れると共に、内部Ａと外部Ｃとの温度差に起因し
て、その中央部を中心に反り変形する。すなわち遮蔽板
１７は、例えば、肉厚が１ｍｍ程度の長方形や正方形の
薄い熱可塑性樹脂製の平板材よりなり、内部Ａと外部Ｃ
との温度差が１０℃程度に達すると、中央部を中心に徐
々に下方・内部Ａ側に向け反り変形を開始し、温度差が
２０℃前後に達すると、図中想像線表示のように、大き
く反り変形する。遮蔽板１７の平面的大きさ・寸法（図
１の例では左右，前後寸法）は、開口部５より小さく、
内フランジ状の台座７の内径よりは大きく、設定されて
いる。又、遮蔽板１７の内面には、噴射された液体Ｂが
パッキン１６側へと拡散することを規制する拡散防止板
１９が、周設付設されている。すなわち、遮蔽板１７の
内部Ａ側の面（図１の例では下面）には、略矩形短筒形
状の拡散防止板１９が、垂下設されており、外側の台座
７との間に、僅かな間隙を存して対向位置している。

【００２８】次に枠体１８は、遮蔽板１７の外周部に、
一体的に立設されている。すなわち枠体１８は、長方形
や正方形の略矩形短筒形状をなし、例えば肉厚が５ｍｍ
から１０ｍｍ程度であり、遮蔽板１７と同種の熱可塑性
樹脂製よりなるものの、遮蔽板１７より３倍程度以上
（代表的には５倍から１０倍程度）、肉厚が厚く設定さ
れている。又、枠体１８は、遮蔽板１７と一体成形した
後に折曲形成してもよりが、別々に成形後に遮蔽板１７
に接着するようにしてもよい。図示例の枠体１８は、遮
蔽板１７の外周部上から、外部Ｃに向けて立設されてい
るが、これによらず、遮蔽板１７の外周部の外側から、
外部Ｃに向けて立設するようにしてもよい。いずれにし
ても枠体１８は、高さ寸法や平面的寸法が、開口部５や
形成周壁６より若干小さいと共に、平面的寸法が、内フ
ランジ状の台座７の内径と外径間の大きさに設定されて
いる。もって枠体１８は、開口部５内に収納されると共
に、台座７に当接，裁置され、密接，保持される。

【００２９】更に、枠体１８と開口部５の形成周壁６と
の間には、隙間２０が形成されている。すなわち、台座
７に当接，裁置された枠体１８外周面と、形成周壁６内
周面との間には、内部Ａの熱が伝達するのを遮断するの
に必要十分な広さの隙間２０が形成される。枠体１８
は、このような隙間２０が形成されるように、形成周壁
６や台座７に対し位置決めされており、もって処理室１
の内部Ａの雰囲気に触れないことも合いまって、内部Ａ
と外部Ｃとの温度差によって反り変形しないようにな
る。

【００３０】又、枠体１８は、遮蔽板１７より曲げ強度
や圧縮強度等の強度面に優れた構造よりなり、この面か
らも温度差にて反り変形しないようになる。例えば、枠
体１８は、前述したように略矩形短筒形状をなして立設
されると共に、肉厚が厚く設定されている。更に枠体１
８には、外面遮蔽板２１が取付けられている。外面遮蔽
板２１は平面的寸法が遮蔽板１７とほぼ同寸法の平板状
をなすと共に、枠体１８等と同種の樹脂製よりなり、枠
体１８について、遮蔽板１７とは反対側に、一体成形又
は接着により取付けられている。この外面遮蔽板２１
は、枠体１８を補強する機能と共に、窓蓋８の洗浄時に
枠体１８と遮蔽板１７で囲まれた中空空間２２内に水洗
液が溜まらないようにする機能、見映え上の機能、等を
発揮する。

【００３１】そして、枠体１８と外表面遮蔽板２１と遮
蔽板１７とにより、中空空間２２が形成されると共に、
中空空間２２と外部Ｃ間を連通する通気孔２３が付設さ
れている。図示例の通気孔２３は、枠体１８の４面の下
部中央に、それぞれ１個ずつ、計４個形成されている。
又、この外面遮蔽板２１および遮蔽板１７は、図示例で
は透明とされ、外部Ｃから内部Ａが透視可能となってい
る。なお、このような図示例によらず、外面遮蔽板２１
を設けないことも可能である。窓蓋８は、このようにな
っている。

【００３２】《作動等について》本発明は、以上説明し
たように構成されている。そこで以下のようになる。こ
の窓蓋８が用いられる処理室１は、内部Ａで処理対象に
液体Ｂを噴射して処理が行われる等、内部Ａで液体Ｂを
用いた処理が行われる。例えば、この処理室１は、プリ
ント配線基板Ｄの製造工程で用いられ、その内部Ａで、
プリント配線基板材Ｆに対し、現像液，腐食液，剥離
液，又は水洗液等の液体Ｂが、多数のスプレーノズル１
０から噴射されて、プリント配線基板材Ｆが表面処理さ
れる。処理室１の下部は、表面処理後に流下，回収され
た液体Ｂを貯留する液槽２となっている（図１，図３，
図４等を参照）。そして、プレーノズル１０から噴射さ
れ，プリント配線基板材Ｆの外表面を流れ，液槽２に貯
留される液体Ｂが高温であるので、処理室１の内部Ａ
も、外部Ｃより高温となっており、外部Ｃとの間で温度
差が生じ易い。更に、処理室１の内部Ａは、このような
高温の液体Ｂから発生したなガス、臭気、蒸気、その他
の気体が充満している。

【００３３】窓蓋８は、このような処理室１の上面や側
面に付設された窓や蓋よりなり、処理室１内部のメンテ
ナンス，点検，緊急処理，その他の作業用に使用され
る。そして、この窓蓋８は、処理室１に形成された開口
部５を閉鎖する遮蔽板１７と、遮蔽板１７の外周部に外
部Ｃに向け一体的に立設された枠体１８とを、有してな
る（図１，図２を参照）。遮蔽板１７は、処理室１内部
Ａの雰囲気に直接触れており、処理室１内部Ａと外部Ｃ
の温度差に起因して、その中央部を中心に反り変形する
が、枠体１８は、遮蔽板１７より強度面に優れた構造よ
りなると共に、処理室１内部Ａの雰囲気に触れておら
ず、処理室１内部Ａと外部Ｃの温度差によっては反り変
形しない。例えば、ａ．遮蔽板１７と枠体１８は同種の
樹脂製よりなるが、枠体１８は、遮蔽板１７より３倍程
度以上（代表的には５〜１０倍程度）、肉厚が厚く設定
されている。ｂ．更に枠体１８は、略矩形短筒形状をな
して、立設されている。ｃ．枠体１８には、遮蔽板１７
との間で中空空間２２を形成するように、外面遮蔽板２
１が取付けられている。ｄ．枠体１８と開口部５の形成
周壁６との間には、隙間２０が形成されている（特に図
１を参照）。

【００３４】なお、窓蓋８の枠体１８には、中空空間２
２と外部Ｃ間を連通する通気孔２３が付設されており、
中空空間２２内の熱膨張した空気や湿気等を外部Ｃに逃
がし、結露や遮蔽板１７等のくもりを解消する。又、遮
蔽板１７や外面遮蔽板２１を透視可能としておくと、処
理室１内部の状況を外部から確認できる。そして、処理
室１側の開口部５の形成周壁６には、内フランジ状に台
座７が付設されており、窓蓋８は、周設介装されたパッ
キン１６を介して、外周部が台座７に密接，保持され
る。なお、遮蔽板１７の内面には、噴射されて飛散した
液体Ｂがパッキン１６側へと拡散することを規制する拡
散防止板１９が、周設付設されている。

【００３５】《第１に全体的な反り変形回避について》
さてそこで、この窓蓋８にあっては、次の第１，第２，
第３のようになる。第１に、処理室１の内部Ａが高温と
なり、外部Ｃとの温度差が生じても、窓蓋８の遮蔽板１
７の中央部が、全体の反りを吸収するかのように、部分
的に反り変形するに留まる。窓蓋８の外周部の枠体１８
は、そのａ．肉厚，ｂ．形状，ｃ．外面遮蔽板２１等に
基づき、強度面に優れると共に、ｅ．処理室１内の雰囲
気に触れず、ｄ．隙間２０も形成されており、処理室１
の内部Ａの温度上昇の影響を受けない。もって、枠体１
８は反り変形しない。このように、この窓蓋１８は、外
周部の枠体１８が反り変形しないことにより、全体的な
反り変形・要部の反り変形の発生が、回避される。

【００３６】このような反り変形回避について更に詳述
する。処理室１の内部Ａが高温となると、→肉厚が例え
ば１ｍｍ程度と薄い樹脂製よりなる窓蓋８の遮蔽板１７
は、その中央部が全体の反りを吸収するかのように、反
り変形し、→弓なりに湾曲する（図１の想像線表示を参
照）。これに対し、窓蓋８の枠体１８は、ａ．肉厚が５
〜１０ｍｍ程度と厚く、ｂ．形状が横の遮蔽板１７に対
し縦に立設されたフレーム構造の略矩形短筒形状をな
し、ｃ．平板状の横の外面遮蔽板２１が取付けられ補強
されている。もって枠体１８は、曲げ強度や圧縮強度等
の強度面に優れた構造よりなる（特に図１を参照）。更
に枠体１８は、ｅ．台座７上に遮蔽板１７の外周端部か
ら立設されており、処理室１内部Ａの高温の雰囲気に触
れないよう、遮断された位置にあると共に、ｄ．処理室
１側の形成周壁６との間に、隙間２０がエリア的に形成
されており、処理室１内部Ａの熱が窓蓋８側に伝達され
ないように遮断されている。もって枠体１８は、処理室
１内部Ａの温度上昇の影響をほとんど受けない。このよ
うなａ．ｂ．ｃ．ｄ．の強度面とｄ．ｅ．の熱遮断とに
より、この窓蓋８は、要部たる枠体１８が反り変形せ
ず、隣接する遮蔽板１７外周部の反り変形もおさえられ
ている。

【００３７】《第２にガス等の漏出防止について》第２
に、このように窓蓋８の全体的な反り変形、要部たる枠
体１８の反り変形が回避されるので、処理室１側の開口
部５の台座７と、窓蓋８側の要部たる枠体１８との間
に、反り変形に起因した隙間が発生することは回避され
る。処理室１の内部Ａには、ガス、臭気、蒸気、その他
の気体が充満しているが、このように隙間が発生しない
ので、その外部Ｃへの漏出も防止される。

【００３８】このような漏出防止について、更に詳述す
る。この窓蓋８にあっては、窓蓋８の外周部の枠体１８
が、その自重も活用しつつ、図示例では遮蔽板１７の外
周部やパッキン１６等を介し、台座７に当接，密接，位
置決めされ、もって開口部５が密封，閉鎖されている。
そして、前述した第１のように処理室１の内部Ａと外部
Ｃ間に温度差が生じた場合でも、枠体１８そして図示例
では遮蔽板１７外周部の反り変形が回避されるので、枠
体１８や遮蔽板１７外周部と、台座７との間の当接，密
接は、パッキン１６を介しつつそのまま維持され、隙間
は発生しない。このように隙間は発生しないので、処理
室１内部Ａの有害なガス，臭気，蒸気，その他の気体
が、外部Ｃに漏出することもない。なお、遮蔽板１７に
付設された拡散防止板１９により、噴射されて飛散した
液体Ｂが、パッキン１６側へと拡散することが規制，遮
断されるので、この面からも、液体Ｂから発生するガ
ス，臭気，蒸気，その他の気体が、外部Ｃに漏出するこ
とは防止される。

【００３９】第３に、この窓蓋８は、所定の遮蔽板１７
と枠体１８等を組み合わせてなり、簡単な構成により、
上述した全体的な反り変形の発生が、容易にしかも特に
難点を伴なうこともなく、実現される。すなわち、この
窓蓋８は、平板状の遮蔽板１７，フレーム構造の枠体１
８，略フレーム構造の拡散防止板１９，平板状の外面遮
蔽板２１、等を組み合わせた構成よりなり、構成が反り
変形回避のため複雑化することもなく、簡単である。し
かも、窓蓋８の開閉操作も、ボルト等が使用されておら
ず容易である。更に、この窓蓋８は、熱可塑性樹脂等の
樹脂製よりなるので、素材の特性により液体Ｂの悪影響
を受けず、成形も容易であり、重量も比較的軽く、割れ
等の不安もない。更に、遮蔽板１７や外面遮蔽板２１等
を透視可能とした場合は、処理室１内部Ａの状況を外部
Ｃから確認できる利点がある。又、拡散防止板１９によ
り、飛散した液体Ｂによるパッキン１６の劣化，硬化が
防止される利点もある。

【００４０】

【発明の効果】本発明に係る処理室の窓蓋は、以上説明
したように、温度差により中央部を中心に反り変形する
遮蔽板と、強度面に優れた構造よりなり反り変形しない
枠体と、を備えた窓蓋を採用してなること、を特徴とす
る。例えば、この枠体は、処理室内の雰囲気には触れ
ず、遮蔽板より５〜１０倍程度厚い肉厚よりなり、開口
部の形成周壁との間に隙間が形成され、略矩形短筒形状
をなして立設され、表面遮蔽板が取付けられている。
又、遮蔽板は、パッキンへの液体拡散を規制する拡散防
止板が付設され、透視可能となっている。そして、この
ような樹脂製の窓蓋は、処理室側の開口部の形成周壁の
台座に密接，保持せしめられており、このような窓蓋を
備えた処理室は、例えばプリント配線基板の製造工程で
用いられ、下部に液槽が形成されている。そこで本発明
は、次の効果を発揮する。

【００４１】《第１の効果》第１に、温度差による全体
的な反り変形が、回避される。すなわち、この処理室
は、内部で液体を用いた処理が行われ、内部が外部より
高温となり温度差が生じやすい。そして、この窓蓋は、
遮蔽板の中央部がこのような温度差にて反り変形するも
のの、このような遮蔽板と一体をなす外周部の枠体は、
その肉厚，形状，外面遮蔽板、等により強度面に優れる
と共に、処理室内の雰囲気には触れず隙間も形成されて
おり、処理室の内部の温度上昇の影響を受けないので、
温度差によっては反り変形しない。このように、この窓
蓋にあっては、部分的に遮蔽板の中央部が反り変形する
に過ぎず、外周部の枠体が反り変形しないことにより、
全体的な反り変形・要部の反り変形は、回避される。つ
まり、前述したこの種従来例のように、窓蓋が全体的に
反り変形して、弓なりに湾曲してしまうことは、回避さ
れる。

【００４２】第２に、もってガス，臭気，蒸気等の漏出
が防止される。上述したように、処理室の内部と外部に
温度差が生じても、窓蓋の全体的な反り変形，窓蓋要部
の反り変形，窓蓋外周部の枠体の反り変形は、回避され
る。そこで、処理室側の開口部の台座と、窓蓋要部たる
外周部との間に、反り変形に起因した隙間の発生も、回
避される。従って、前述したこの種従来例のように、全
体的に弓なりに湾曲する反り変形に起因し、隙間から、
処理室の内部に充満していた有害なガス，臭気，蒸気等
の気体が、外部に漏出することは防止される。なお、拡
散防止板の存在も、このような漏出防止に寄与する。

【００４３】窓蓋は、１つの処理室について複数個設け
られており、例えばプリント配線基板の製造工程では、
各ラインを合計すると計１００個程度にも及ぶほど多数
設けられていることに鑑み、このように、窓蓋からの気
体の漏出が防止される意義は、大なるものがある。さて
このように、多数の処理室からの作業中長時間にわた
り、有害なガス，臭気，蒸気等の漏出が防止されるの
で、作業者等の人体への安全性が向上し、作業環境が好
転すると共に、他の機械，設備等の腐食，損傷等も回避
される。

【００４４】第３に、しかもこれらは、簡単容易に難点
もなく実現される。すなわち、この処理室の窓蓋は、所
定の遮蔽板，枠体，拡散防止板等を組み合わせた簡単な
構成よりなり、上述した第１，第２の点は、容易に実現
される。しかもこの窓蓋は、前述したボルトを使用した
従来例のように、窓蓋の開放に特に手間取ることもな
く、緊急処理作業に際しても素早い対応が可能である。
又、前述したガラスを用いた従来例のように、アルカリ
性の液体にて悪影響を受けることがなく、成形上の困難
もなく、重量も軽く、割れ易いこともなく、コスト面に
も優れている。このように、本発明では特に難点を伴う
ようなこともない。

【００４５】なお、遮蔽板等を透視可能とした場合は、
処理室内部のコンベヤ，スプレーノズル，プリント配線
基板材等の処理対象，その他の機械，装置の状況を、外
部から確認できる利点がある。又、遮蔽板に拡散防止板
が付設されているので、噴射により飛散した液体が、パ
ッキン側へと拡散することが規制，遮断されるので、パ
ッキンの劣化，硬化が防止されるという利点もある。こ
のように、この種従来例に存した課題がすべて解決され
る等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるもの
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る処理室の窓蓋について、発明の実
施の形態の説明に供し、処理室の正断面図である。

【図２】同発明の実施の形態の要部の説明に供し、
（１）図は窓蓋の平面図、（２）図は窓蓋の正断面図、
（３）図は窓蓋の斜視図である。

【図３】処理室の正断面図である。

【図４】処理室の側断面図である。

【図５】（１）図は、処理室の側面図であり、（２）図
は、プリント配線基板（材）の平面説明図である。

【図６】従来例の処理室の窓蓋の正断面図であり、
（１）図は、外部との温度差が無く、反り変形していな
い場合を示し、（２）図は、外部との温度差が生じ、全
体的に反り変形した場合を示す。

【符号の説明】

１ 処理室 ２ 液槽 ３ 窓蓋（従来例のもの） ４ ヒーター ５ 開口部 ６ 形成周壁 ７ 台座 ８ 窓蓋（本発明のもの） ９ コンベヤ １０ スプレーノズル １１ ホイール １２ コンベヤシャフト １３ 配管 １４ ポンプ １５ スプレーパイプ １６ パッキン １７ 遮蔽板 １８ 枠体 １９ 拡散防止板 ２０ 隙間 ２１ 外面遮蔽板 ２２ 中空空間 ２３ 通気孔 Ａ 内部 Ｂ 液体 Ｃ 外部 Ｄ プリント配線基板 Ｅ 回路 Ｆ プリント配線基板材（処理対象） Ｇ 搬送方向 Ｈ 左右方向

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開2001−298254（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−176752（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−33153（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C23F 1/08 E06B 5/00 H05K 3/06 H05K 3/00

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理室の窓蓋であって、該処理室は、内
   部で液体を用いた処理が行われ、内部が外部より高温と
   なり外部と温度差が生じ易く、 該窓蓋は、該処理室に形成された開口部を閉鎖する遮蔽
   板と、該遮蔽板の外周部に一体的に立設された枠体と
   を、有してなり、 該枠体は、該遮蔽板より強度面に優れた構造よりなるこ
   と、を特徴とする処理室の窓蓋。
2. 【請求項２】 請求項１に記載した処理室の窓蓋におい
   て、該窓蓋は、窓又は蓋よりなり、メンテナンス，点
   検，緊急処理，その他の作業用に使用され、該液体は高
   温であり、ガス，臭気，蒸気，その他の気体を発生し、 該遮蔽板は、該処理室内の雰囲気に直接触れると共に、
   内部と外部との温度差に起因して中央部を中心に反り変
   形し、該枠体は、外部に向け立設されており該処理室内
   の雰囲気に触れず、同温度差によっては反り変形しない
   こと、を特徴とする処理室の窓蓋。
3. 【請求項３】 請求項２に記載した処理室の窓蓋におい
   て、該遮蔽板と該枠体は、同種の樹脂製よりなると共
   に、該枠体は、該遮蔽板より３倍程度以上肉厚が厚く設
   定されており、かつ該枠体と該処理室側の開口部の形成
   周壁との間に、隙間が形成されていること、を特徴とす
   る処理室の窓蓋。
4. 【請求項４】 請求項３に記載した処理室の窓蓋におい
   て、該枠体は、略矩形短筒形状をなすと共に、該枠体に
   は、更に外表面遮蔽板が取付けられており、もって該枠
   体と該外表面遮蔽板と該遮蔽板とにより中空空間が形成
   されると共に、該中空空間と外部間を連通する通気孔が
   付設されていること、を特徴とする処理室の窓蓋。
5. 【請求項５】 請求項４に記載した処理室の窓蓋におい
   て、該処理室内部では、該液体を処理対象に噴射して処
   理が行われ、又、該処理室側の開口部の形成周壁には、
   内フランジ状に台座が付設されており、 該窓蓋は、周設介装されたパッキンを介し、外周部が該
   台座に密接，保持されていること、を特徴とする処理室
   の窓蓋。
6. 【請求項６】 請求項５に記載した処理室の窓蓋におい
   て、該遮蔽板の内面には、噴射された該液体が該パッキ
   ン側へと拡散することを規制する拡散防止板が、周設付
   設されていること、を特徴とする処理室の窓蓋。
7. 【請求項７】 請求項１に記載した処理室の窓蓋におい
   て、該遮蔽板は、透視可能であること、を特徴とする処
   理室の窓蓋。
8. 【請求項８】 請求項１に記載した処理室の窓蓋におい
   て、該処理室は、プリント配線基板の製造工程で用いら
   れ、 該処理室の内部では、プリント配線基板材に対し、現像
   液，腐食液，剥離液，又は水洗液等の該液体が多数のス
   プレーノズルから噴射されて、該プリント配線基板材が
   表面処理されると共に、該処理室の下部は、表面処理後
   に流下，回収された該液体を貯留する液槽となっている
   こと、を特徴とする処理室の窓蓋。