JPH0688254A - 機械装置 - Google Patents
機械装置Info
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- JPH0688254A JPH0688254A JP4265391A JP26539192A JPH0688254A JP H0688254 A JPH0688254 A JP H0688254A JP 4265391 A JP4265391 A JP 4265391A JP 26539192 A JP26539192 A JP 26539192A JP H0688254 A JPH0688254 A JP H0688254A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- machines
- machine
- etching
- expansion
- printed wiring
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0085—Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 第１に、機械間の接続箇所からの薬液やガス
の漏れを防止しつつ、第２に、熱膨張係数の異なる各機
械の温度変化による伸縮が吸収され、もって、機械の亀
裂や亀裂箇所からの薬液やガスの流出が防止され、機械
内のコンベヤが曲げられ自動ラインが停止することも防
止される、機械装置を提案する。 【構成】 この機械装置では、乾燥機５やエッチングマ
シン１，２，３，４や剥離機６等のハウジング状をなす
複数の機械が、組み合わせて配置され、プリント配線基
板Ｐが、各機械内を順次自動的に搬送されつつ所定の処
理が行われる。この各機械１，２，３，４，５，６は、
材質が異なると共に、相互間の接続箇所にそれぞれのク
ッション部Ａ，Ｂ，Ｃが介裝されている。クッション部
Ａ，Ｂ，Ｃは、外部との密封性を備えると共に、その機
械１，２，３，４，５，６の熱膨張係数に応じた温度変
化による伸縮を吸収可能なクッション性を備えている。
の漏れを防止しつつ、第２に、熱膨張係数の異なる各機
械の温度変化による伸縮が吸収され、もって、機械の亀
裂や亀裂箇所からの薬液やガスの流出が防止され、機械
内のコンベヤが曲げられ自動ラインが停止することも防
止される、機械装置を提案する。 【構成】 この機械装置では、乾燥機５やエッチングマ
シン１，２，３，４や剥離機６等のハウジング状をなす
複数の機械が、組み合わせて配置され、プリント配線基
板Ｐが、各機械内を順次自動的に搬送されつつ所定の処
理が行われる。この各機械１，２，３，４，５，６は、
材質が異なると共に、相互間の接続箇所にそれぞれのク
ッション部Ａ，Ｂ，Ｃが介裝されている。クッション部
Ａ，Ｂ，Ｃは、外部との密封性を備えると共に、その機
械１，２，３，４，５，６の熱膨張係数に応じた温度変
化による伸縮を吸収可能なクッション性を備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は機械装置に関する。すな
わち、複数の機械を組み合わせて配置してラインを形成
し、プリント配線基板等の対象物が、ハウジング状をな
すこの各機械内を順次自動的に搬送されつつ各々にて所
定の処理が行われる、機械装置に関するものである。
わち、複数の機械を組み合わせて配置してラインを形成
し、プリント配線基板等の対象物が、ハウジング状をな
すこの各機械内を順次自動的に搬送されつつ各々にて所
定の処理が行われる、機械装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】このような機械装置は、一連の自動化さ
れた製造ライン等として、各種の分野にて広く用いられ
ており、ラインの長さが数１０m から１００m 以上にも
及ぶ長大なものもある等、大型化・巨大化も目立ってい
る。そして、このような機械装置において、これを構成
する各機械には、その処理内容や役割に応じ異なった材
質のものが用いられており、例えば、酸性の薬液や水等
を使用する処理には合成樹脂製の機械が用いられ、熱乾
燥処理には鋼製の機械が用いられ、又、アルカリ性の薬
液を使用する処理にはステンレス製の機械が用いられて
いる。例えば、プリント配線基板の製造工程の一環をな
すエッチングライン工程において、その機械装置は、硬
質塩化ビニール製の機械であるエッチングマシン群と、
その前後に配置された鋼製の機械である乾燥機と、ステ
ンレス製の機械である剥離機と、から構成されている。
れた製造ライン等として、各種の分野にて広く用いられ
ており、ラインの長さが数１０m から１００m 以上にも
及ぶ長大なものもある等、大型化・巨大化も目立ってい
る。そして、このような機械装置において、これを構成
する各機械には、その処理内容や役割に応じ異なった材
質のものが用いられており、例えば、酸性の薬液や水等
を使用する処理には合成樹脂製の機械が用いられ、熱乾
燥処理には鋼製の機械が用いられ、又、アルカリ性の薬
液を使用する処理にはステンレス製の機械が用いられて
いる。例えば、プリント配線基板の製造工程の一環をな
すエッチングライン工程において、その機械装置は、硬
質塩化ビニール製の機械であるエッチングマシン群と、
その前後に配置された鋼製の機械である乾燥機と、ステ
ンレス製の機械である剥離機と、から構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の機械装置にあっては、次の問題が指摘されてい
た。すなわち、機械装置を構成する各機械は、材質の相
違に基づき熱膨張係数が異なっており、これにより温度
変化による伸縮量が相違し、諸トラブルが発生してい
た。例えば、プリント配線基板の製造工程中のエッチン
グライン工程にあっては、エッチングマシン群は、硬質
塩化ビニール製よりなるので極めて熱膨張係数が高く、
その使用温度も比較的高いので、冬期の使用時には１０
m につき２８mm程度も伸長してしまう。そして従来、こ
のようなエッチングマシン群間、および前後の乾燥機や
剥離機間は、余裕間隔がなく接続部を介し不動に連結さ
れていた。そこで、このようなエッチングマシンの温度
変化による伸縮（特に温度上昇による伸長）を吸収でき
ず、その逃場がないので、各機械相互間の位置関係が変
化してしまい、次のようなトラブルが指摘されていた。
従来の機械装置にあっては、次の問題が指摘されてい
た。すなわち、機械装置を構成する各機械は、材質の相
違に基づき熱膨張係数が異なっており、これにより温度
変化による伸縮量が相違し、諸トラブルが発生してい
た。例えば、プリント配線基板の製造工程中のエッチン
グライン工程にあっては、エッチングマシン群は、硬質
塩化ビニール製よりなるので極めて熱膨張係数が高く、
その使用温度も比較的高いので、冬期の使用時には１０
m につき２８mm程度も伸長してしまう。そして従来、こ
のようなエッチングマシン群間、および前後の乾燥機や
剥離機間は、余裕間隔がなく接続部を介し不動に連結さ
れていた。そこで、このようなエッチングマシンの温度
変化による伸縮（特に温度上昇による伸長）を吸収でき
ず、その逃場がないので、各機械相互間の位置関係が変
化してしまい、次のようなトラブルが指摘されていた。
【０００４】すなわち、エッチングマシン，乾燥機，剥
離機等の機械に亀裂が生じたり、その亀裂箇所から、機
械室内で処理に使用される強い酸性やアルカリ性等の薬
液やそのガスが、外部に流出したりする事故が発生し、
又、機械に亀裂が生じない場合でも、機械内でプリント
配線基板等の対象物を搬送するコンベヤが曲げられ、自
動ラインが停止する事故が発生していた。もって、これ
らにより機械装置の安全性，稼働率，生産性等々に問題
が指摘されていた。
離機等の機械に亀裂が生じたり、その亀裂箇所から、機
械室内で処理に使用される強い酸性やアルカリ性等の薬
液やそのガスが、外部に流出したりする事故が発生し、
又、機械に亀裂が生じない場合でも、機械内でプリント
配線基板等の対象物を搬送するコンベヤが曲げられ、自
動ラインが停止する事故が発生していた。もって、これ
らにより機械装置の安全性，稼働率，生産性等々に問題
が指摘されていた。
【０００５】なお、このような問題に対処すべく、エッ
チングマシン等の各機械の熱膨張係数に応じ、各機械間
に間隔空間を予め設定し、このような間隔空間を介して
各機械を連結することも、従来のこの種機械装置におい
て行われていた。しかしながら、このような従来例で
は、各機械の温度変化による伸縮（特に温度上昇による
伸長）に基づく、上述した亀裂や曲がり等の問題は解消
されるものの、各機械間の接続箇所に設定された間隔空
間の隙間から、薬液やガスが外部に漏れやすいという難
点が指摘されていた。つまり、機械内で処理に使用され
る強い酸性やアルカリ性等の薬液やそのガス等が、上述
した間隔空間の隙間から外部の工場内等に漏れ出す、薬
液漏れやガス漏れ事故が発生し、この面から、安全性，
稼働率，生産性等々に問題が指摘されていた。
チングマシン等の各機械の熱膨張係数に応じ、各機械間
に間隔空間を予め設定し、このような間隔空間を介して
各機械を連結することも、従来のこの種機械装置におい
て行われていた。しかしながら、このような従来例で
は、各機械の温度変化による伸縮（特に温度上昇による
伸長）に基づく、上述した亀裂や曲がり等の問題は解消
されるものの、各機械間の接続箇所に設定された間隔空
間の隙間から、薬液やガスが外部に漏れやすいという難
点が指摘されていた。つまり、機械内で処理に使用され
る強い酸性やアルカリ性等の薬液やそのガス等が、上述
した間隔空間の隙間から外部の工場内等に漏れ出す、薬
液漏れやガス漏れ事故が発生し、この面から、安全性，
稼働率，生産性等々に問題が指摘されていた。
【０００６】本発明は、このような実情に鑑み、上記従
来例の問題点を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結
果なされたものであって、各機械の接続箇所に、密封性
と共に所定のクッション性を備えたクッション部を介裝
したことにより、第１に、薬液漏れやガス漏れを防止し
つつ、第２に、温度変化による各機械の伸縮を吸収でき
る、機械装置を提案することを目的とする。
来例の問題点を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結
果なされたものであって、各機械の接続箇所に、密封性
と共に所定のクッション性を備えたクッション部を介裝
したことにより、第１に、薬液漏れやガス漏れを防止し
つつ、第２に、温度変化による各機械の伸縮を吸収でき
る、機械装置を提案することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明の技術的手段は、次のとおりである。すなわち、この
機械装置は、複数の機械を組み合わせて配置してライン
を形成し、プリント配線基板等の対象物が、ハウジング
状をなす該各機械内を順次自動的に搬送されつつ各々所
定の処理が行われる。そして該各機械は、材質の異なっ
た合成樹脂製や各種金属製等よりなると共に、相互間の
接続箇所にそれぞれのクッション部が介裝されている。
該クッション部は、内部を上記プリント配線基板等の対
象物が通過可能であると共に、外部との密封性を備え、
かつ、該機械の熱膨張係数に応じた温度変化による伸縮
を吸収可能なクッション性を備えている。
明の技術的手段は、次のとおりである。すなわち、この
機械装置は、複数の機械を組み合わせて配置してライン
を形成し、プリント配線基板等の対象物が、ハウジング
状をなす該各機械内を順次自動的に搬送されつつ各々所
定の処理が行われる。そして該各機械は、材質の異なっ
た合成樹脂製や各種金属製等よりなると共に、相互間の
接続箇所にそれぞれのクッション部が介裝されている。
該クッション部は、内部を上記プリント配線基板等の対
象物が通過可能であると共に、外部との密封性を備え、
かつ、該機械の熱膨張係数に応じた温度変化による伸縮
を吸収可能なクッション性を備えている。
【０００８】
【作用】本発明は、このような手段よりなるので、次の
ように作用する。この機械装置では、プリント配線基板
等の対象物が、各機械内を順次自動的に搬送されつつ所
定の処理が行われ、各機械間の接続箇所には、それぞれ
クッション部が介裝されている。そこで第１に、これら
のクッション部は外部との密封性を備えており、処理に
使用される薬液やそのガス等が、各機械間の接続箇所か
ら外部に漏れ出すことはない。そして第２に、各機械
は、材質の異なった合成樹脂製や各種金属製等よりな
り、熱膨張係数が異なっているので、温度変化による伸
縮量が相違している。しかしながら、各機械の接続箇所
には、このような熱膨張係数そして伸縮に見合ったクッ
ション性を備えたクッション部が、それぞれ介裝されて
おり、温度変化による伸縮は確実に吸収される。従っ
て、機械の亀裂や搬送用のコンベヤの曲がりも、防止さ
れる。
ように作用する。この機械装置では、プリント配線基板
等の対象物が、各機械内を順次自動的に搬送されつつ所
定の処理が行われ、各機械間の接続箇所には、それぞれ
クッション部が介裝されている。そこで第１に、これら
のクッション部は外部との密封性を備えており、処理に
使用される薬液やそのガス等が、各機械間の接続箇所か
ら外部に漏れ出すことはない。そして第２に、各機械
は、材質の異なった合成樹脂製や各種金属製等よりな
り、熱膨張係数が異なっているので、温度変化による伸
縮量が相違している。しかしながら、各機械の接続箇所
には、このような熱膨張係数そして伸縮に見合ったクッ
ション性を備えたクッション部が、それぞれ介裝されて
おり、温度変化による伸縮は確実に吸収される。従っ
て、機械の亀裂や搬送用のコンベヤの曲がりも、防止さ
れる。
【０００９】
【実施例】以下本発明を、図面に示すその実施例に基づ
いて、詳細に説明する。図１は、本発明に係る機械装置
の実施例を示し、（１）図は正面概略図、（２）図はク
ッション部の平断面図である。図２は、同実施例の機械
の要部を示し、（１）図は平面図、（２）図は正面図、
（３）図は側面図である。
いて、詳細に説明する。図１は、本発明に係る機械装置
の実施例を示し、（１）図は正面概略図、（２）図はク
ッション部の平断面図である。図２は、同実施例の機械
の要部を示し、（１）図は平面図、（２）図は正面図、
（３）図は側面図である。
【００１０】この機械装置は、複数の機械を組み合わせ
て配置してラインを形成し、プリント配線基板Ｐ等の対
象物が、ハウジング状をなすこの各機械内を順次自動的
に搬送されつつ、各々にて所定の処理が行われる。そし
て、このような機械装置を構成する各機械は、その処理
内容や役割に応じ異なった材質のもの、例えば合成樹
脂，各種金属，非金属等が用いられている。
て配置してラインを形成し、プリント配線基板Ｐ等の対
象物が、ハウジング状をなすこの各機械内を順次自動的
に搬送されつつ、各々にて所定の処理が行われる。そし
て、このような機械装置を構成する各機械は、その処理
内容や役割に応じ異なった材質のもの、例えば合成樹
脂，各種金属，非金属等が用いられている。
【００１１】まず、プリント配線基板Ｐについて述べ
る。プリント配線基板Ｐは、ＯＡ用の両面基板，コンピ
ュータ用の多層基板，計算機用のフレキシブル基板等
々、用途により多種多様であり、その製造工程も多種多
様である。そしてプリント配線基板Ｐは、近年ますます
回路の高密度化，微細化が顕著であり、その極小化，小
型軽量化，極薄化，多層化，高品質化等々が進みつつあ
る。さて、このようなプリント配線基板Ｐは、例えば次
のように製造される。すなわちプリント配線基板Ｐは、
材料切断，穴あけ加工，研磨，スルホールメッキ，研
磨，レジスト貼付，露光，現像，エッチング，レジスト
剥膜，等々の各工程を辿って製造される。まず、材料つ
まり絶縁材の両面に銅箔が張り合わされた両面銅箔張り
積層板が、ワークサイズの短尺に切断され、次に、スル
ホール用の穴あけ加工が施された後、洗浄および両面研
磨処理が行われてから、スルホールメッキが実施され
る。つまり、表面の電気回路と裏面の電気回路を導通す
べく、スルホールの内壁にメッキが施される。しかる
後、再び洗浄，両面研磨処理，洗浄，乾燥等が行われて
から、ドライフィルムである感光性レジストを膜状に張
り付ける処理が行われ、それから、回路のネガフィルム
である回路写真をあてて露光し、事後、レジストは露光
され硬化した回路部分を残し、他の部分が現像液の噴射
により溶解除去される。しかる後、洗浄そして乾燥が行
われてから、エッチングマシンにて、このようにレジス
トが硬化した回路部分の銅箔を残し、上述によりレジス
トが溶解除去された部分の銅箔が腐蝕液の噴射により溶
解除去される。それから、残っていた上述の硬化した回
路部分のレジストが、剥離液の噴射により溶解除去され
た後、洗浄そして乾燥され、もって、所定の回路が形成
されたプリント配線基板Ｐが得られる。
る。プリント配線基板Ｐは、ＯＡ用の両面基板，コンピ
ュータ用の多層基板，計算機用のフレキシブル基板等
々、用途により多種多様であり、その製造工程も多種多
様である。そしてプリント配線基板Ｐは、近年ますます
回路の高密度化，微細化が顕著であり、その極小化，小
型軽量化，極薄化，多層化，高品質化等々が進みつつあ
る。さて、このようなプリント配線基板Ｐは、例えば次
のように製造される。すなわちプリント配線基板Ｐは、
材料切断，穴あけ加工，研磨，スルホールメッキ，研
磨，レジスト貼付，露光，現像，エッチング，レジスト
剥膜，等々の各工程を辿って製造される。まず、材料つ
まり絶縁材の両面に銅箔が張り合わされた両面銅箔張り
積層板が、ワークサイズの短尺に切断され、次に、スル
ホール用の穴あけ加工が施された後、洗浄および両面研
磨処理が行われてから、スルホールメッキが実施され
る。つまり、表面の電気回路と裏面の電気回路を導通す
べく、スルホールの内壁にメッキが施される。しかる
後、再び洗浄，両面研磨処理，洗浄，乾燥等が行われて
から、ドライフィルムである感光性レジストを膜状に張
り付ける処理が行われ、それから、回路のネガフィルム
である回路写真をあてて露光し、事後、レジストは露光
され硬化した回路部分を残し、他の部分が現像液の噴射
により溶解除去される。しかる後、洗浄そして乾燥が行
われてから、エッチングマシンにて、このようにレジス
トが硬化した回路部分の銅箔を残し、上述によりレジス
トが溶解除去された部分の銅箔が腐蝕液の噴射により溶
解除去される。それから、残っていた上述の硬化した回
路部分のレジストが、剥離液の噴射により溶解除去され
た後、洗浄そして乾燥され、もって、所定の回路が形成
されたプリント配線基板Ｐが得られる。
【００１２】さてこの機械装置は、例えば、このような
プリント配線基板Ｐの製造工程中のエッチングライン工
程において用いられる。そしてこの場合、機械装置は、
図１の（１）図に示したように、エッチングマシン１，
２，３，４と、その前後に配された乾燥機５および剥離
機６とからなり、これらが組み合わせて配置されること
により、１つのラインを形成している。まずエッチング
マシン１，２，３，４は、処理に酸性の薬液が使用され
るので硬質塩化ビニール製の機械よりなり、単数よりも
２連結，３連結，図示のように４連結と複数連結して配
置されることが多く、酸性の薬液は、５０度から５５度
程度にて加熱使用される。乾燥機５は、熱乾燥処理が行
われるので鋼製の機械よりなり、又、剥離機６は、処理
にアルカリ性の薬液が使用されるのでステンレス製の機
械よりなる。そして、エッチングマシン１，２，３，４
と乾燥機５と剥離機６は、共にハウジング状に密閉され
た処理室を備え、内部に、プリント配線基板Ｐを搬送す
るコンベヤ７（図２の（３）図参照）が配され、プリン
ト配線基板Ｐは、各エッチングマシン１，２，３，４と
乾燥機５と剥離機６内を、それぞれ搬送されつつ、各々
の処理が行われる。
プリント配線基板Ｐの製造工程中のエッチングライン工
程において用いられる。そしてこの場合、機械装置は、
図１の（１）図に示したように、エッチングマシン１，
２，３，４と、その前後に配された乾燥機５および剥離
機６とからなり、これらが組み合わせて配置されること
により、１つのラインを形成している。まずエッチング
マシン１，２，３，４は、処理に酸性の薬液が使用され
るので硬質塩化ビニール製の機械よりなり、単数よりも
２連結，３連結，図示のように４連結と複数連結して配
置されることが多く、酸性の薬液は、５０度から５５度
程度にて加熱使用される。乾燥機５は、熱乾燥処理が行
われるので鋼製の機械よりなり、又、剥離機６は、処理
にアルカリ性の薬液が使用されるのでステンレス製の機
械よりなる。そして、エッチングマシン１，２，３，４
と乾燥機５と剥離機６は、共にハウジング状に密閉され
た処理室を備え、内部に、プリント配線基板Ｐを搬送す
るコンベヤ７（図２の（３）図参照）が配され、プリン
ト配線基板Ｐは、各エッチングマシン１，２，３，４と
乾燥機５と剥離機６内を、それぞれ搬送されつつ、各々
の処理が行われる。
【００１３】さて、このようなエッチングライン工程の
機械装置を構成する各機械である、エッチングマシン
１，２，３，４と乾燥機５と剥離機６は各々、相互間の
接続箇所に、それぞれのクッション部Ａ，Ｂ，Ｃが介裝
されている。そして、このクッション部Ａ，Ｂ，Ｃは、
内部をプリント配線基板Ｐが通過可能であると共に、外
部との密封性を備え、かつ、各機械つまりエッチングマ
シン１，２，３，４や乾燥機５や剥離機６の熱膨張係数
に応じた温度変化による伸縮を、各々吸収可能なクッシ
ョン性を備えている。
機械装置を構成する各機械である、エッチングマシン
１，２，３，４と乾燥機５と剥離機６は各々、相互間の
接続箇所に、それぞれのクッション部Ａ，Ｂ，Ｃが介裝
されている。そして、このクッション部Ａ，Ｂ，Ｃは、
内部をプリント配線基板Ｐが通過可能であると共に、外
部との密封性を備え、かつ、各機械つまりエッチングマ
シン１，２，３，４や乾燥機５や剥離機６の熱膨張係数
に応じた温度変化による伸縮を、各々吸収可能なクッシ
ョン性を備えている。
【００１４】すなわち、このようなクッション部Ａ，
Ｂ，Ｃは、各機械であるエッチングマシン１，２，３，
４や乾燥機５や剥離機６の片側又は両側に、それぞれ介
裝され、図１の（１）図の例では、エッチングマシン
１，２，３，４には両側にクッション部Ａが介裝され、
乾燥機５や剥離機６では片側のみにクッション部Ｂ，Ｃ
が介裝されている。なお図中８は接続部であり、この接
続部８は、フレームにて形成され密閉された角筒状をな
し、エッチングマシン１，２，３，４や乾燥機５や剥離
機６の接続箇所に介在して、これらを連結している。そ
してクッション部Ａは、このような接続部８に連接され
てエッチングマシン１，２，３，４との間に、又、クッ
ション部Ｂ，Ｃは接続部８間に、それぞれ介裝されてい
る。なお図２の（３）図中、９は接続ボルト穴であり、
この接続ボルト穴９は、接続部８間の連結用に使用され
る。
Ｂ，Ｃは、各機械であるエッチングマシン１，２，３，
４や乾燥機５や剥離機６の片側又は両側に、それぞれ介
裝され、図１の（１）図の例では、エッチングマシン
１，２，３，４には両側にクッション部Ａが介裝され、
乾燥機５や剥離機６では片側のみにクッション部Ｂ，Ｃ
が介裝されている。なお図中８は接続部であり、この接
続部８は、フレームにて形成され密閉された角筒状をな
し、エッチングマシン１，２，３，４や乾燥機５や剥離
機６の接続箇所に介在して、これらを連結している。そ
してクッション部Ａは、このような接続部８に連接され
てエッチングマシン１，２，３，４との間に、又、クッ
ション部Ｂ，Ｃは接続部８間に、それぞれ介裝されてい
る。なお図２の（３）図中、９は接続ボルト穴であり、
この接続ボルト穴９は、接続部８間の連結用に使用され
る。
【００１５】そしてクッション部Ａ，Ｂ，Ｃは、ビニー
ル等の合成樹脂製やゴム材製よりなり、例えば図１の
（２）図に示したように、略じゃばら状の各種断面形状
をなし、図中想像線にて示したごとく、正逆方向に伸縮
自在で所定のクッション性を備えている。すなわち、エ
ッチングマシン１，２，３，４は硬質塩化ビニール製よ
りなり、乾燥機５は鋼製よりなり、剥離機６はステンレ
ス製よりなる等、各機械毎に材質が異なり熱膨張係数が
異なっているが、これらのクッション部Ａ，Ｂ，Ｃは、
このように各機械毎に異なる温度変化による伸縮を吸収
可能なクッション性を備えている。つまり、熱膨張係数
が極めて高い硬質塩化ビニール製の機械であるエッチン
グマシン１，２，３，４用のクッション部Ａは、エッチ
ングマシン１，２，３，４が使用温度も比較的高く温度
変化による伸縮が極めて大きいので、これを吸収できる
ように見合った大きなクッション性を備えており、機械
が大きく伸長するとクッション部Ａが大きく圧縮するよ
うに設定されている。これに対し、熱膨張係数が比較的
低い鋼製の乾燥機５やステンレス製の剥離機６用のクッ
ション部Ｂ，Ｃは、使用温度も勘案しその伸縮に見合っ
たクッション性に設定されている。
ル等の合成樹脂製やゴム材製よりなり、例えば図１の
（２）図に示したように、略じゃばら状の各種断面形状
をなし、図中想像線にて示したごとく、正逆方向に伸縮
自在で所定のクッション性を備えている。すなわち、エ
ッチングマシン１，２，３，４は硬質塩化ビニール製よ
りなり、乾燥機５は鋼製よりなり、剥離機６はステンレ
ス製よりなる等、各機械毎に材質が異なり熱膨張係数が
異なっているが、これらのクッション部Ａ，Ｂ，Ｃは、
このように各機械毎に異なる温度変化による伸縮を吸収
可能なクッション性を備えている。つまり、熱膨張係数
が極めて高い硬質塩化ビニール製の機械であるエッチン
グマシン１，２，３，４用のクッション部Ａは、エッチ
ングマシン１，２，３，４が使用温度も比較的高く温度
変化による伸縮が極めて大きいので、これを吸収できる
ように見合った大きなクッション性を備えており、機械
が大きく伸長するとクッション部Ａが大きく圧縮するよ
うに設定されている。これに対し、熱膨張係数が比較的
低い鋼製の乾燥機５やステンレス製の剥離機６用のクッ
ション部Ｂ，Ｃは、使用温度も勘案しその伸縮に見合っ
たクッション性に設定されている。
【００１６】ここで、エッチングマシン１，２，３，４
の伸縮について、より詳細に述べておく。例えば、冬期
の工場内の室温を１５度、エッチングマシン１，２，
３，４の使用温度を５５度とした場合、その温度差Ｔは
４０度となる。又、エッチングマシン１，２，３，４の
１台の長さを２ｍとすると、その接続部８も含めた図示
例の４連結した長さＬは１０ｍとなる。更に係数αを、
６から８に、１０のマイナス５乗を乗じたものとする。
そして次の公知の数式１に、これらのα，Ｔ，Ｌ等の値
を代入すると、伸縮量Ｌ´は０．０２８ｍとなる。つま
り、このエッチングマシン１，２，３，４群は、冬期の
使用時において、全体的に２８mmも伸長する。
の伸縮について、より詳細に述べておく。例えば、冬期
の工場内の室温を１５度、エッチングマシン１，２，
３，４の使用温度を５５度とした場合、その温度差Ｔは
４０度となる。又、エッチングマシン１，２，３，４の
１台の長さを２ｍとすると、その接続部８も含めた図示
例の４連結した長さＬは１０ｍとなる。更に係数αを、
６から８に、１０のマイナス５乗を乗じたものとする。
そして次の公知の数式１に、これらのα，Ｔ，Ｌ等の値
を代入すると、伸縮量Ｌ´は０．０２８ｍとなる。つま
り、このエッチングマシン１，２，３，４群は、冬期の
使用時において、全体的に２８mmも伸長する。
【００１７】
【数１】Ｌ´＝αＴＬ
【００１８】本発明は、以上説明したようになってい
る。そこで以下のようになる。プリント配線基板Ｐの製
造工程中のエッチングライン工程を構成する機械装置と
して、乾燥機５とエッチングマシン１，２，３，４と剥
離機６とが、組み合わせてライン状に配置されており、
プリント配線基板Ｐは、このようなハウジング状の各機
械内を順次自動的に搬送されつつ、各々にて所定の処理
が行われる。そして各機械間の接続箇所、つまり乾燥機
５やエッチングマシン１，２，３，４や剥離機６間の接
続箇所には、それぞれ、密封性と共に所定のクッション
性を備えたクッション部Ａ，Ｂ，Ｃが介裝されており、
プリント配線基板Ｐは、このようなクッション部Ａ，
Ｂ，Ｃ内を通過して機械間を搬送される。そこで、この
機械装置では、次の第１，第２のようになる。
る。そこで以下のようになる。プリント配線基板Ｐの製
造工程中のエッチングライン工程を構成する機械装置と
して、乾燥機５とエッチングマシン１，２，３，４と剥
離機６とが、組み合わせてライン状に配置されており、
プリント配線基板Ｐは、このようなハウジング状の各機
械内を順次自動的に搬送されつつ、各々にて所定の処理
が行われる。そして各機械間の接続箇所、つまり乾燥機
５やエッチングマシン１，２，３，４や剥離機６間の接
続箇所には、それぞれ、密封性と共に所定のクッション
性を備えたクッション部Ａ，Ｂ，Ｃが介裝されており、
プリント配線基板Ｐは、このようなクッション部Ａ，
Ｂ，Ｃ内を通過して機械間を搬送される。そこで、この
機械装置では、次の第１，第２のようになる。
【００１９】第１に、これらのクッション部Ａ，Ｂ，Ｃ
は、外部との密封性を備えており、乾燥機５やエッチン
グマシン１，２，３，４や剥離機６等の各機械間の接続
箇所において、外部との隙間等は一切存しない。そこ
で、ハウジング状のエッチングマシン１，２，３，４や
剥離機６等の機械内においてプリント配線基板Ｐの処理
に使用される薬液やそのガス等が、各機械間の接続箇所
から外部に漏れ出すようなことは、確実に防止される。
は、外部との密封性を備えており、乾燥機５やエッチン
グマシン１，２，３，４や剥離機６等の各機械間の接続
箇所において、外部との隙間等は一切存しない。そこ
で、ハウジング状のエッチングマシン１，２，３，４や
剥離機６等の機械内においてプリント配線基板Ｐの処理
に使用される薬液やそのガス等が、各機械間の接続箇所
から外部に漏れ出すようなことは、確実に防止される。
【００２０】そして第２に、この機械装置を構成する乾
燥機５やエッチングマシン１，２，３，４や剥離機６等
の各機械は、硬質塩化ビニール製等の合成樹脂製や、鋼
やステンレス等の各種金属製よりなり、材質の相違に基
づき熱膨張係数も異なっているので、温度変化による伸
縮（特に温度上昇による伸長）量が、相違している。し
かしながら、このような各機械の接続箇所は、各機械毎
の熱膨張係数そして伸縮に見合ったクッション性を備え
たクッション部Ａ，Ｂ，Ｃが、それぞれ介裝されてお
り、このクッション部Ａ，Ｂ，Ｃにより、これらの各機
械毎に異なった温度変化による伸縮は、確実に吸収さ
れ、各機械相互間の位置関係が変化するようなことはな
い。従って、伸縮が吸収されない場合に指摘されてい
た、乾燥機５やエッチングマシン１，２，３，４や剥離
機６等の機械の亀裂が、防止されると共に、これらの各
機械内でプリント配線基板Ｐを搬送するコンベヤ７の曲
がりも、防止される。
燥機５やエッチングマシン１，２，３，４や剥離機６等
の各機械は、硬質塩化ビニール製等の合成樹脂製や、鋼
やステンレス等の各種金属製よりなり、材質の相違に基
づき熱膨張係数も異なっているので、温度変化による伸
縮（特に温度上昇による伸長）量が、相違している。し
かしながら、このような各機械の接続箇所は、各機械毎
の熱膨張係数そして伸縮に見合ったクッション性を備え
たクッション部Ａ，Ｂ，Ｃが、それぞれ介裝されてお
り、このクッション部Ａ，Ｂ，Ｃにより、これらの各機
械毎に異なった温度変化による伸縮は、確実に吸収さ
れ、各機械相互間の位置関係が変化するようなことはな
い。従って、伸縮が吸収されない場合に指摘されてい
た、乾燥機５やエッチングマシン１，２，３，４や剥離
機６等の機械の亀裂が、防止されると共に、これらの各
機械内でプリント配線基板Ｐを搬送するコンベヤ７の曲
がりも、防止される。
【００２１】なお第１に、図示実施例ではこのような機
械装置を、プリント配線基板Ｐの製造工程中のエッチン
グライン工程に適用した例について説明したが、本発明
は、このような図示実施例に限定されるものではない。
例えば、エッチングライン工程以外のプリント配線基板
Ｐの各製造工程の機械装置に適用することも可能であ
り、更に、プリント配線基板Ｐ以外の各種対象物の製造
工程、その他の工程における機械装置としても、適用可
能である。
械装置を、プリント配線基板Ｐの製造工程中のエッチン
グライン工程に適用した例について説明したが、本発明
は、このような図示実施例に限定されるものではない。
例えば、エッチングライン工程以外のプリント配線基板
Ｐの各製造工程の機械装置に適用することも可能であ
り、更に、プリント配線基板Ｐ以外の各種対象物の製造
工程、その他の工程における機械装置としても、適用可
能である。
【００２２】なお第２に、図示実施例においては、乾燥
機５やエッチングマシン１，２，３，４や剥離機６等の
各機械は、全体的に直線的に配置されているが、本発明
の機械装置は勿論これに限定されるものではなく、全体
的に略Ｌ字状，略Ｕ字状等にカーブして配置されること
も考えられる。
機５やエッチングマシン１，２，３，４や剥離機６等の
各機械は、全体的に直線的に配置されているが、本発明
の機械装置は勿論これに限定されるものではなく、全体
的に略Ｌ字状，略Ｕ字状等にカーブして配置されること
も考えられる。
【００２３】なお第３に、クッション部Ａ，Ｂ，Ｃは、
各機械の熱膨張係数や使用温度を勘案し、その伸縮に見
合ったクッション性に設定されているが、その機械の使
用態様や熱膨張係数や使用温度によっては、クッション
性を０又は極めて０に近く設定するケースも考えられ
る。なお第４に、図示実施例において、クッション部
Ａ，Ｂ，Ｃは、あるライン工程の機械装置の各機械につ
いて介裝されていたが、更に、あるライン工程の機械装
置の機械と、他のライン工程の機械装置の機械間に介裝
することも考えられる。
各機械の熱膨張係数や使用温度を勘案し、その伸縮に見
合ったクッション性に設定されているが、その機械の使
用態様や熱膨張係数や使用温度によっては、クッション
性を０又は極めて０に近く設定するケースも考えられ
る。なお第４に、図示実施例において、クッション部
Ａ，Ｂ，Ｃは、あるライン工程の機械装置の各機械につ
いて介裝されていたが、更に、あるライン工程の機械装
置の機械と、他のライン工程の機械装置の機械間に介裝
することも考えられる。
【００２４】
【発明の効果】本発明に係る機械装置は、以上説明した
ごとく、各機械の接続箇所に、密封性と共に所定のクッ
ション性を備えたクッション部を介裝したことにより、
次の効果を発揮する。
ごとく、各機械の接続箇所に、密封性と共に所定のクッ
ション性を備えたクッション部を介裝したことにより、
次の効果を発揮する。
【００２５】第１に、処理に使用される強い酸性やアル
カリ性等の薬液やそのガス等が、各機械間の接続箇所か
ら外部の工場内等に漏れ出す、薬液漏れやガス漏れ事故
は、確実に防止される。そして第２に、各機械の温度変
化による伸縮（特に温度上昇による伸長）が、確実に吸
収される。従って、機械の亀裂や、亀裂箇所から処理に
使用される薬液やガスが外部に流出したりする事故が防
止され、又、亀裂に至らない場合においても、機械内で
コンベヤが曲げられるようなこともなく、自動ラインが
停止する事故も防止される。もって、これら第１，第２
により、機械装置の安全性，稼働率，生産性等々が向上
し、この種従来例に存した問題点が一掃される等、本発
明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
カリ性等の薬液やそのガス等が、各機械間の接続箇所か
ら外部の工場内等に漏れ出す、薬液漏れやガス漏れ事故
は、確実に防止される。そして第２に、各機械の温度変
化による伸縮（特に温度上昇による伸長）が、確実に吸
収される。従って、機械の亀裂や、亀裂箇所から処理に
使用される薬液やガスが外部に流出したりする事故が防
止され、又、亀裂に至らない場合においても、機械内で
コンベヤが曲げられるようなこともなく、自動ラインが
停止する事故も防止される。もって、これら第１，第２
により、機械装置の安全性，稼働率，生産性等々が向上
し、この種従来例に存した問題点が一掃される等、本発
明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
【図１】本発明に係る機械装置の実施例を示し、（１）
図は正面概略図、（２）図はクッション部の平断面図で
ある。
図は正面概略図、（２）図はクッション部の平断面図で
ある。
【図２】同実施例の機械装置の要部を示し、（１）図は
平面図、（２）図は正面図、（３）図は側面図である。
平面図、（２）図は正面図、（３）図は側面図である。
１ エッチングマシン（機械） ２ エッチングマシン（機械） ３ エッチングマシン（機械） ４ エッチングマシン（機械） ５ 乾燥機（機械） ６ 剥離機（機械） ７ コンベヤ ８ 接続部 ９ 接続ボルト穴 Ａ クッション部 Ｂ クッション部 Ｃ クッション部 Ｐ プリント配線基板（対象物）
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の機械を組み合わせて配置してライ
ンを形成し、プリント配線基板等の対象物が、ハウジン
グ状をなす該各機械内を順次自動的に搬送されつつ各々
所定の処理が行われる、機械装置であって、 該各機械は、材質の異なった合成樹脂製や各種金属製等
よりなると共に、相互間の接続箇所にそれぞれのクッシ
ョン部が介裝されており、該クッション部は、内部を上
記プリント配線基板等の対象物が通過可能であると共
に、外部との密封性を備え、かつ、該機械の熱膨張係数
に応じた温度変化による伸縮を吸収可能なクッション性
を備えていること、を特徴とする機械装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265391A JPH0688254A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 機械装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265391A JPH0688254A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 機械装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0688254A true JPH0688254A (ja) | 1994-03-29 |
Family
ID=17416528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4265391A Pending JPH0688254A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 機械装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0688254A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000044029A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-15 | Mitsui Miike Mach Co Ltd | 空気浮上式ベルトコンベヤ |
| JP2013500401A (ja) * | 2009-07-29 | 2013-01-07 | シーメンス インダストリー インコーポレイテッド | 傾斜膨張シールを備えた酸洗ラインアセンブリ |
| KR101453776B1 (ko) * | 2013-03-21 | 2014-10-22 | 주식회사 에스에프이 | 칩 본딩 장치 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57208387A (en) * | 1981-03-13 | 1982-12-21 | Sundohorumu Gooran | Method of removing expansion and contraction of pipeline |
| JPS61175010A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-06 | Hino Motors Ltd | 成形方法 |
| JPS62171588A (ja) * | 1986-01-22 | 1987-07-28 | 川崎重工業株式会社 | 配管用ベロ−ズ継手 |
-
1992
- 1992-09-08 JP JP4265391A patent/JPH0688254A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57208387A (en) * | 1981-03-13 | 1982-12-21 | Sundohorumu Gooran | Method of removing expansion and contraction of pipeline |
| JPS61175010A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-06 | Hino Motors Ltd | 成形方法 |
| JPS62171588A (ja) * | 1986-01-22 | 1987-07-28 | 川崎重工業株式会社 | 配管用ベロ−ズ継手 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000044029A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-15 | Mitsui Miike Mach Co Ltd | 空気浮上式ベルトコンベヤ |
| JP2013500401A (ja) * | 2009-07-29 | 2013-01-07 | シーメンス インダストリー インコーポレイテッド | 傾斜膨張シールを備えた酸洗ラインアセンブリ |
| KR101385640B1 (ko) * | 2009-07-29 | 2014-04-16 | 지멘스 인더스트리 인코포레이티드 | 경사진 팽창 시일을 갖춘 산세 설비 조립체 |
| US9267210B2 (en) | 2009-07-29 | 2016-02-23 | Siemens Industry, Inc. | Pickle line assembly with inclined expansion seal |
| KR101453776B1 (ko) * | 2013-03-21 | 2014-10-22 | 주식회사 에스에프이 | 칩 본딩 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |