JP2007047546A - ペリクル用収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ペリクル膜6と当該ペリクル膜6を支持する支持枠7とからなるペリクル5を輸送するためのペリクル用収納容器1であって、トレイ3とその蓋となるカバー2と、トレイ3およびカバー2のいずれか一方の内側に、支持枠7を載置する載置部4であって支持枠7を載置する部位が支持枠7の底面に対して傾斜している1つまたは2以上の載置部4とを備えるペリクル用収納容器1としている。
【選択図】 図5
Description
図1は、第1の実施の形態に係るペリクル用収納容器1の分解斜視図である。また、図2は、図1に示すペリクル用収納容器1の斜視図である。図1に示すように、ペリクル用収納容器1は、トレイ3と、その蓋であるカバー2とを備えている。
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第2の実施の形態について説明する。
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第3の実施の形態について説明する。
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第4の実施の形態について説明する。
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第5の実施の形態について説明する。
2 カバー
3 トレイ
4 載置部
5 ペリクル
6 ペリクル膜
7 支持枠
8 粘着材
9 載置部
10 載置部
10a 斜面
10b 斜面
11 載置部
12 載置部
13 載置部
Claims (4)
- ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
トレイと
その蓋となるカバーと、
上記トレイおよび上記カバーのいずれか一方の内側に、上記支持枠を載置する載置部であって上記支持枠を載置する部位が上記支持枠の底面に対して傾斜している1つまたは2以上の載置部と、
を備えることを特徴とするペリクル用収納容器。 - 前記載置部において、前記支持枠を載置する部位が2以上の斜面からなる請求項1に記載のペリクル用収納容器。
- 前記載置部は、前記支持枠の底面の角を支持するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載のペリクル用収納容器。
- 前記載置部は、前記載置部が設けられている前記トレイ若しくは前記カバーと同じ材料で一体構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のペリクル用収納容器。
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