TWI398389B - 防護薄膜組件收納容器 - Google Patents

Description

防護薄膜組件收納容器

本發明係關於一種防護薄膜組件收納容器，其可收納、保管、輸送在吾人製造半導體裝置、印刷基板或是液晶顯示器等產品時作為防塵器使用的微影用防護薄膜組件。

在LSI、超LSI等半導體或是液晶顯示板等產品的製造中，係用光照射半導體晶圓或液晶用原板以製作形成圖案，惟若此時所使用的光罩或初縮遮罩(以下僅稱光罩)有灰塵附著的話，由於該灰塵會吸收光，使光彎曲，故除了會使轉印的圖案變形、使邊緣變粗糙以外，還會使基底污黑，並損壞尺寸、品質、外觀等。

因此，該等作業通常係在無塵室內進行，惟即使如此欲經常保持光罩清潔仍相當困難。於是，吾人遂在光罩表面貼附作為防塵器之用的防護薄膜組件後再進行曝光。此時，異物並非直接附著於光罩表面上，而係附著於防護薄膜組件上，故只要在微影步驟中將焦點對準光罩圖案上，防護薄膜組件上的異物就不會對轉印造成影響。

一般而言，該防護薄膜組件，係用透光性良好的硝化纖維素、醋酸纖維素或氟系樹脂等物質構成透明防護薄膜，並以鋁、不銹鋼、聚乙烯等物質構成防護薄膜組件框架，將該防護薄膜貼附黏著於該防護薄膜組件框架的上端面。接著，在防護薄膜組件框架的下端設置為裝著於光罩上而由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯酯樹脂、丙烯酸樹脂等物質所構成的黏著層，以及保護黏著層的脫模層(隔離部)。

然而，在將防護薄膜組件貼附於光罩上後其所形成的封閉空間雖然具有防止異物從外部侵入內部的效果，惟若異物係附著於防護薄膜組件本身且在封閉空間內部時，便難以防止光罩表面附著異物。因此，除了要求防護薄膜組件本身的高度清潔性以外，更強烈要求保管、輸送時使用的防護薄膜組件收納容器也具有維持該清潔性的性能。具體而言，要求其防止靜電性能優異，並由受摩擦時發塵量少的材質所構成，且形成能儘量防止防護薄膜組件與構成零件間之接觸的構造，以及施加外力時能夠防止變形的高剛性構造。

防護薄膜組件收納容器通常係將丙烯腈－丁二烯－苯二烯共聚物(Acrylonitrile Butadiene Styrene,ABS)樹脂、丙烯酸等樹脂以射出成形或是真空成形等方式製造而成。利用該等成形方法，具備表面平滑故異物附著或發塵的疑慮較少、一體成形無接縫故發塵或異物侵入的疑慮較少、即使物品形狀複雜也能輕易製造、量產性優異、成本低廉等優點。

半導體用或印刷基板用的防護薄膜組件收納容器，其外形邊長大約200~300mm左右，該等容器通常係利用射出成形方式製造而成。如前所述，為了保持防護薄膜組件收納容器的乾淨，而要求其具有即使外力施加時也難以變形的高剛性，惟對該等邊長200~300mm的防護薄膜組件收納容器而言少有剛性的問題存在。原本，小型容器就比較容易確保其剛性，且用射出成形的方式改變局部部位的厚度，便可輕易補強重要部位的壁厚。

另一方面，主要用於液晶用防護薄膜組件而邊長超過500mm的大型防護薄膜組件收納容器，一般係對ABS、丙烯酸等合成樹脂片材以真空成形方式所製造而成。這是因為，若使用從一個地方或是數個地方的閘門將樹脂以高速注入模具內的射出成形方式，其樹脂流動距離太長而會造成製作上的困難。真空成形方式，係在模具上覆蓋加熱過的樹脂片材，再以真空吸引成形，故即使大型物品也能輕易製得。

然而，真空成形方式無法形成厚壁，雖可用肋部作某些程度的補強，惟基本上只是彎曲相同板厚的片材所製成的而已，故使用該方式仍很難製得高剛性的物品。

該等肋部之例，就容器本體而言，如專利文獻1等所例示的。

習知所用的補強用肋部，如圖5所示的，基本上係設置於連結外形之對角線54a、54b的方向上的X字型構件。然而，該相互交叉之X字型的肋部，與預期相反，因為其交叉部(連續部)59的存在，造成扭轉方向的剛性很低，托盤如圖6所示的沿任何一方對角線扭轉彎曲，使相對頂點靠近。

在以真空成形法所製作之該等肋部中，肋部因折曲之縱方向面而確保剛性，惟交叉(接續)之其他肋部切斷了該縱方向面。然後，該肋部不僅切斷對象肋部而扼殺了效果，其自身還變成彎曲點(線)，使變形度增大。

因此，僅靠肋部無法確保足夠剛性，如專利文獻2所示的，必須與其他補強體連結以確保剛性。

[專利文獻1]特開2000－173887號公報[專利文獻2]特願2005－081533號

如上所述，利用其他補強體時，雖能獲得足夠強度，但在運用上會產生各種不良的情況。其中最嚴重的是重量的增加，為了確保足夠的剛性，在幾乎所有的情況下補強體會比容器本體還重。然後，由於重量增加，對捆包、運搬等處理造成極大的不方便。

又，不僅補強體本身而已，還需要用來將補強體連結到容器本體上的零件，以及將其安裝於容器本體上的工作流程，故比起僅有容器本體的情況而言成本大幅增加。又，其他尚有補強體與容器本體之間的間隙洗淨困難等關於乾淨度的問題存在。

然而，目前並未存在一種未使用補強體而僅靠容器本體便具有足夠剛性的防護薄膜組件收納容器。

依以上所述，本發明之目的在於提供一種輕量化且低成本的防護薄膜組件收納容器，其未使用其他補強體，便具有能承受保管、輸送中的外力衝擊，防止異物附著於內部收納之防護薄膜組件的足夠剛性。

本發明之防護薄膜組件收納容器，係由下列構件所構成：容器本體，其載置防護薄膜組件；蓋體，其被覆防護薄膜組件，並與容器本體以周緣部互相嵌合卡止，其特徵為：容器本體係以樹脂片材成形而成，且在容器本體上設置了複數的肋部，該肋部橫切容器本體外形的對角線，且未與其他肋部交叉(請求項1)。

在此，該肋部與所橫切之對角線所成角度宜在30度以上(請求項2)。又，該肋部不可與其他肋部交叉，但端部可與其他肋部或載置防護薄膜組件的台座連接(請求項3)。

然後，若在該肋部的各個之中，肋部高度不一樣，具有不同高度區域(請求項4)的話，便能形成可發揮該肋部效果最大限度剛性的優異形狀。

若依本發明，藉由適當的肋部配置，無須使用補強體也能顯著提高容器本體的剛性，特別是扭轉方向的剛性，故能以低成本製得輕量且具備高剛性的防護薄膜組件收納容器。

本發明適用於一邊長超過500mm的大型防護薄膜組件收納容器時特別具有效果。然而，其大小並非限定要件，只要是以樹脂片材成形而成的防護薄膜組件收納容器，即使是一邊長200mm的小型容器也能適用。雖然小型容器較無剛性的問題，但只要能藉由構造更進一步提高剛性的話，便能使片材厚度更薄，跟大型容器一樣輕量化，降低成本。

以下，根據附圖説明本發明之防護薄膜組件收納容器一實施形態。

圖1係表示本發明之防護薄膜組件收納容器(本體)一實施例的概略圖，圖2係防護薄膜組件收納容器全體的立體圖。又，圖5係具備習知所用肋部構造的容器本體，圖6係表示抬起圖5之容器本體的角部時的變形態樣。

在習知防護薄膜組件收納容器本體51(圖5)中，朝扭轉方向施加外力時，例如，施加將角部57朝上方抬起的力量時，該容器本體51會沿對角線54b曲折。

此時，本來肋部53b應對抗該扭轉變形，惟因交叉肋部53a在交叉部59之處將該肋部切斷，故無法發揮充分的抵抗力。

而且，因為交叉肋部53a與對角線54b幾乎一致，故該肋部本身變得最容易彎曲，如圖6所示的成為變形基準點。

本發明即係有鑑於此而經過各種形狀試作並比較檢討之後所完成的。

在圖2中，防護薄膜組件收納容器本體21上載置防護薄膜組件(未經圖示)，並由蓋體22所覆蓋。然後，蓋體22與容器本體21，以黏貼膠帶等(未經圖示)密封固定，或是以夾具23等連結工具固定。

容器本體21以及蓋體22可用樹脂板材黏接製作而成，惟若考量清淨度、量產性等面向，則宜用真空成形法製作為佳。

又，蓋體、容器本體的材質可從丙烯酸、ABS、PVC等樹脂中選擇適當材質，惟為了減少靜電所造成的異物附著，宜使用可防止靜電的材料。然後，蓋體宜為透明或半透明以便於確認內部情況，容器本體宜為黑色以便確認是否有異物附著。

蓋體22嵌合於容器本體21的周緣部上，該間隙宜儘量縮小，以防止異物從外部侵入。然後，容器本體21宜設置複數個如圖1所示横切容器本體外形之對角線14，且未與其他肋部交叉的肋部13。在圖1之例中，該等肋部13設置了4根，惟設置4根以上也沒有關係，只要因應容器本體大小或外形形狀適當設置即可。

又，此時肋部13與對角線14所成角度a宜在30度以上，更宜儘量接近90度為佳。在扭轉方向的外力作用於容器本體的情況下，肋部橫切對角線的角度為90度時能發揮最大的抵抗力，若在30度以下則不僅效果變得極小，肋部本身也容易變成扭轉變形的彎曲線。

圖3表示該肋部配置的其他實施形態。其與圖1相同，也設置了橫切對角線35的肋部33a、33b、33c、33d，該等肋部雖未與其他肋部交叉，但端部與防護薄膜組件載置台座32以及其他肋部連接。在肋部的端部連接，幾乎不會造成剛性降低的問題。

一般使用的防護薄膜組件其外形長邊與短邊的比率，在幾乎所有的情況下，以該等方式設計穩定性較好，也比圖1之例實用。

再者，在圖3(a)之肋部33c中，如A－A剖面端視圖(圖3(b))或是圖4那樣，肋部的高度並非一定，宜具有不同高度的區域為佳。

肋部扭轉變形時，如圖4以及圖6所示那樣其自身容易變成變形的彎曲線，惟若在肋部41中另設置其他表面(因段差部所產生之平面42)，便能減少肋部本體的變形量。換言之，該表面42亦可說係構成用來補強肋部41的其他補強肋部。

然後，該等肋部的寬、高度、配置、根數、剖面形狀等，因應所需要的容器本體剛性以及成形性適當設置即可，在該等圖示的形態中並未作任何限定。

實施例

以下，説明本發明的實施例，惟本發明並非僅限於此。用防止靜電ABS(黑色)片材，以真空成形法製作出如圖8所示形狀的防護薄膜組件收納容器本體81。

該收納容器本體81的大小為外形690×540mm、高度30mm、片材厚度3mm。各肋部的寬為20mm。除了橫切對角線的肋部83以外，更為了補強而在中央部設置與肋部83幾乎平行配置的肋部84。

肋部83設置與圖4立體圖相同的段差，肋部全體高度為30mm，段差部高度為20mm。

肋部83朝天面與段差面的連接角度宜為直角，惟考慮成形性則設置成60度。又，配置於中央部的肋部84，為了防止輸送中防護薄膜搖晃接觸，高度降低到20mm。

然後，為了將防護薄膜組件固定於該容器本體內，配合收納之防護薄膜組件的位置將聚苯硫(polyphenylene sulfide，PPS)製的固定插銷85以及ABS製的插銷支撐部86用螺栓(未經圖示)安裝好。固定插銷85插入插銷支撐部86中，以便受到支撐，並形成可利用鎖定機構脫開的構造。

固定插銷85的前端形成可插入設置在防護薄膜框架87側面上之夾具穴(未經圖示)的構造，且在與防護薄膜框架87接觸的面上安裝了用來防止發塵的環狀之viton(杜邦公司製氟化橡膠之商標)製的緩衝構件(未經圖示)。

之後，在無塵室內用清淨的純水洗淨，實際將防護薄膜組件87載置於準備完成之防護薄膜組件收納容器本體81的防護薄膜組件載置台82上，並用固定插銷85固定。

然後，將容器本體81置於水平固定盤上，試著朝上方稍微抬起本體的1個角落部。結果，容器本體81幾乎沒有扭轉變形，又，所載置的防護薄膜組件仍牢牢的固定在容器本體81的表面上，並未發現任何變化。

又，卸開固定插銷85，觀察防護薄膜框架87上固定插銷85插入的夾具孔，並未發現任何污染。然後，該容器本體重量為1.38kg。

比較例1

與上述實施例相同，以真空成形法製作如圖9所示形狀的防護薄膜組件收納容器本體91，並在該容器本體91上安裝固定插銷94以及插銷支撐部95。之後，在無塵室內用清淨的純水洗淨，並實際將防護薄膜組件96載置於準備完成之容器本體91的防護薄膜組件載置台92上，用固定插銷94固定。

評價方式與上述實施例相同，將該容器本體91水平靜置後，試著稍微朝上方抬起容器本體的1個角落部。結果，該容器本體91沿肋部93產生如圖6所示的曲折。

此時，觀察載置於防護薄膜組件載置台92上的防護薄膜組件96，發現其沿該方向(對角線方向)產生與容器本體變形相同的彎曲，且在防護薄膜的一部份上產生皺折。又，從防護薄膜組件96的夾具孔將固定插銷94拔出後，發現夾具孔內因為插銷強力摩擦而產生很多即使在螢光燈下也能立即辨認出來的異物附著，其就保持乾淨度的要求而言是完全無法容許的事情。

比較例2

上述實施例，與比較例1相同，以真空成形法製作如圖7所示形狀的防護薄膜組件收納容器本體71，並安裝固定插銷72以及插銷支撐部73。

又，補強用的6000系鋁合金棒狀補強體75、76(寬40mm×厚度5mm)以日字型組合於該容器本體71外側，ABS樹脂製的插銷支撐部73、補強體固定具74以及容器本體71以螺栓(未經圖示)牢固的連結在一起，容器本體便準備完成。

之後，在無塵室內用清淨的純水洗淨，實際將防護薄膜組件77載置於準備完成的容器本體上，並用固定插銷72固定。

然後與上述實施例、比較例1相同，將防護薄膜組件收納容器本體71水平置於固定盤上，試著將本體的1個角落部朝上方稍微抬起。

結果，容器本體幾乎沒有扭轉變形，又，所載置的防護薄膜組件仍牢牢的固定在容器本體表面上，並未發現任何不良變化。

然後，從防護薄膜組件77的夾具孔將固定插銷72拔出，在暗室內用鹵素燈觀察，發現夾具孔周邊仍然很清淨。

然而，該容器本體的重量為2.96kg，與上述實施例比較是2倍以上的重量。

11．．．防護薄膜組件收納容器本體

12．．．防護薄膜組件載置台

13．．．肋部

14．．．容器本體外形的對角線

a．．．肋部與所橫切之對角線所成角度

21．．．防護薄膜組件收納容器本體

22．．．蓋體

23．．．夾具

31．．．防護薄膜組件收納容器本體

32．．．防護薄膜組件載置台座

33a、33b、33c、33d．．．肋部

34．．．肋部

35．．．容器本體外形的對角線

41．．．肋部

42．．．段差部所產生之平面

51．．．防護薄膜組件收納容器本體

52．．．防護薄膜組件載置台

53a、53b．．．肋部

54a、54b．．．容器本體外形的對角線

55、56、57、58．．．容器本體角落部

59．．．肋部的交叉部

71．．．防護薄膜組件收納容器本體

72．．．防護薄膜組件固定插銷

73．．．插銷支撐部

74．．．補強體固定具

75．．．鋁合金製補強體(短)

76．．．鋁合金製補強體(長)

77．．．防護薄膜組件

81．．．防護薄膜組件收納容器本體

82．．．防護薄膜組件載置台

83．．．肋部

84．．．肋部

85．．．(防護薄膜組件用)固定插銷

86．．．插銷支撐部

87．．．防護薄膜組件

91．．．防護薄膜組件收納容器本體

92．．．防護薄膜組件載置台

93．．．肋部

94．．．防護薄膜組件固定插銷

95．．．插銷支撐部

96．．．防護薄膜組件

圖1係表示本發明之防護薄膜組件收納容器本體其肋部構造一實施例的概略圖。

圖2係表示本發明之防護薄膜組件收納容器其全體構造的立體圖。

圖3係表示本發明之防護薄膜組件收納容器本體其肋部構造的其他實施形態的平面圖(a)，以及(a)的A－A線剖面圖(b)。

圖4係表示本發明之防護薄膜組件收納容器本體其肋部構造的立體圖。

圖5係表示習知防護薄膜組件收納容器本體其肋部構造一實施例的平面圖。

圖6係表示説明習知防護薄膜組件收納容器本體之變形態樣的立體説明圖。

圖7係表示使用習知鋁製補強體的防護薄膜組件收納容器本體其一實施例的平面圖。

圖8係表示本發明之防護薄膜組件收納容器本體其一實施例的平面圖。

圖9係表示使用習知肋部構造的防護薄膜組件收納容器本體其一實施例的平面圖。

21．．．防護薄膜組件收納容器本體

22．．．蓋體

23．．．夾具

Claims (2)

1. 一種防護薄膜組件收納容器，其由容器本體與蓋體所構成，該容器本體以樹脂片材成形製得且可載置防護薄膜組件，該蓋體覆蓋防護薄膜組件同時與容器本體以周緣部互相嵌合卡止，該防護薄膜組件收納容器的特徵為：在容器本體上至少4支肋部配置成約略菱形，各肋部以30度以上的角度横切容器本體外形的對角線，同時均未與其他肋部交叉，且端部與其他肋部或是載置防護薄膜組件的台座連接。
2. 如申請專利範圍第1項之防護薄膜組件收納容器，其中，在各個該肋部中，肋部的高度並非一定，而具有不同高度的區域。