JP2003107679A - マスク保護装置の収納ケース - Google Patents

マスク保護装置の収納ケース

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JP2003107679A JP2002273138A JP2002273138A JP2003107679A JP 2003107679 A JP2003107679 A JP 2003107679A JP 2002273138 A JP2002273138 A JP 2002273138A JP 2002273138 A JP2002273138 A JP 2002273138A JP 2003107679 A JP2003107679 A JP 2003107679A
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正浩 近藤
Takamasa Tsumoto
高政 津本
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稔 藤田
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(57)【要約】 【課 題】枠と、枠の一側面に張設される薄膜と、枠の
他側端面に接着される粘着テープとよりなり、マスクに
異物等が付着するのを防止する目的でマスクに接着され
るマスク保護装置において、マスクに接着したとき、接
着材層とマスクとの間に空気が流通するエアパスが形成
されないようにする。 【解決手段】マスク保護装置３が装着される台１２を備
えた樹脂製のケース本体１１と、該本体１１に被せられ
る樹脂製の上蓋よりなる収納ケースにおいて、マスク保
護装置３が装着される台１２の周縁をリブ１３構造と
し、台１２の変形を防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マスク保護装置が装着
されるケース本体と、該本体に被せられる上蓋とよりな
り、マスクやレチクル（以下、「マスク」という）に塵
埃等が付着するのを防止する目的で用いられるマスク保
護装置の収納ケースに関する。
【０００２】
【従来技術】集積回路の製造工程におけるフォトリソグ
ラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着すると、これ
が半導体ウェハに投影され、不良製品となりがちであ
る。この問題を解消し、マスク上に異物等が付着するの
を防止するため、マスクパターンを囲う大きさの枠の一
側面に透明な薄膜を張設すると共に、他側端面に離型紙
付きの両面粘着テープを接着し、離型紙を剥がしてマス
ク上に接着することにより、マスクを薄膜により一定の
間隔を存して覆うようにしたマスク保護装置が供される
ようになった。
【０００３】こうしたマスク保護装置は、出荷して使用
に供されるまで通常、塵埃等が付着することのないよう
に、収納ケースに入れられて保管される。図１及び図２
は、従来用いられてきたこの種収納ケースについて示す
もので、枠１と、枠１の一側面に張設される薄膜２と、
枠１の他側端面に貼着される離型紙付きの両面粘着テー
プ（図示しない）とよりなるマスク保護装置３が位置決
めされて装着される台４を中央部に突状に形成した樹脂
製のケース本体５と、ケース本体上に被せて装着され、
マスク保護装置の枠周縁を押える押え部４を形成した樹
脂製の上蓋６と、上蓋６をケース本体５に止めるクリッ
プ７とよりなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】収納ケースから取出し
たマスク保護装置をマスク上に接着する際、マスク保護
装置をマスク上に押付けても粘着材層の変形によりマス
クとの間に浮きを生じ、空気の流通するエアパスが生じ
ることがある。本発明は、粘着材層の変形によるエアパ
スの解消を目的としてなされたものである。
【０００５】
【課題の解決手段】上記の目的を達成する第１の発明
は、枠と、枠一側面に張設される薄膜と、枠の他側端面
に接着される粘着材とよりなるマスク保護装置が装着さ
れる台を備えた樹脂製のケース本体と、該本体に被せら
れる樹脂製の上蓋と、上蓋をケース本体に止めるクリッ
プとよりなるマスク保護装置の収納ケースにおいて、上
記台周縁をリブ構造としたことを特徴とする。
【０００６】第２の発明は、枠と、枠一側面に張設され
る薄膜と、枠の他側端面に接着される粘着材とよりなる
マスク保護装置が装着される台を備えた樹脂製のケース
本体と、該本体に被せられる樹脂製の上蓋と、上蓋をケ
ース本体に止めるクリップとよりなるマスク保護装置の
収納ケースにおいて、上記台をガラス板で構成するか或
いは上記台上にガラス板を敷いたことを特徴とする。
【０００７】第３の発明は、第２の発明において、ガラ
ス板に代え、粘着材より軟らかい軟質ゴムマットを用い
たことを特徴とする。第４の発明は、枠と、枠一側面に
張設される薄膜と、枠の他側端面に接着される粘着テー
プとよりなるマスク保護装置が装着される台を備えた樹
脂製のケース本体と、該本体に被せられる樹脂製の上蓋
と、上蓋をケース本体に止めるクリップとよりなるマス
ク保護装置の収納ケースにおいて、マスク保護装置の枠
に接着された粘着材が当たる台周縁に粘着材に接触して
マスク保護装置を支持するピンを設けたことを特徴とす
る。
【０００８】第５の発明は、枠と、枠一側面に張設され
る薄膜と、枠の他側端面に接着される粘着テープとより
なるマスク保護装置が装着される台を備えた樹脂製のケ
ース本体と、該本体に被せられる樹脂製の上蓋と、上蓋
をケース本体に止めるクリップとよりなるマスク保護装
置の収納ケースにおいて、台の周りに支持具を突設し、
支持具にはマスク保護装置の枠に形成される治具孔に側
方より嵌合係止し、マスク保護装置を台上に支持するピ
ンを側方に突設したことを特徴とする。
【０００９】第２の発明においては、平面度の高いガラ
スに当てられることにより、粘着材の変形が防がれる。
第３の発明においては、粘着材より軟らかい軟質ゴムマ
ットを敷くと、その上に当てられる粘着材の変形が防が
れる。第４の発明においては、ピンで数カ所において支
持することにより、粘着材はピンの当たる箇所でのみ変
形するようになり、粘着材全体の変形が防止される。
【００１０】第５の発明においては、マスク保護装置の
枠が側方より支持され、粘着材は台に直接接触しないた
め、変形を生じない。
【００１１】
【実施例】図３に示すケース本体１１は、マスク保護装
置３が装着される台１２の周縁をリブ１３構造とし、台
１２の変形を防ぐようにしたものである。図４に示すケ
ース本体１５は、台をガラス板１６を敷くことによって
形成したものである。
【００１２】図５に示すケース本体２０は、マスク保護
装置をマスク上に接着するのに用いる粘着材より柔らか
い軟質ゴムマット２１を敷いて台を形成したものであ
る。図６に示すケース本体２５は、台２６周縁のマスク
保護装置３の枠１が当たる箇所に適当間隔を置いて先の
尖ったピン２７を突設し、枠下端面をピン２７に突き刺
してマスク保護装置３を支持させるようにしたものであ
る。
【００１３】図７に示すケース本体３０は、台３１の両
側に支持板３２を突設し、両支持板上部より内側に突設
されるピン３３をマスク保護装置３の枠１の側面に形成
される治具孔に差込むことにより、マスク保護装置３を
台３１上に台３１と接触することなく支持させるように
したものである。
【００１４】
【発明の効果】本発明は以上のように構成され、次のよ
うな効果を奏する。請求項１記載の収納ケースのよう
に、台の周縁をリブ構造とすれば、成形時における台の
変形を少なくすることができる。
【００１５】請求項２記載の収納ケースのように、台を
ガラス板で構成するか、或いは台にガラス板を敷けば、
取付面が平坦であるため、粘着材層の歪をなくすことが
でき、請求項３記載のように、粘着材より軟らかい軟質
ゴムマットを敷けば、ゴムマットによる変形を生じにく
い。
【００１６】請求項４記載の収納ケースのように、ピン
でマスク保護装置を数カ所で支持するようにすれば、粘
着層はピンの差込位置のみに歪みが多少生じる程度とな
る。請求項５記載の収納ケースのように、ピンで枠を側
面より支持すれば、粘着材層を台より浮かすことがで
き、粘着材層の変形を全くなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】マスク保護装置の収納ケースの断面図。
【図２】同装置の平面図。
【図３】本発明に係わる収納ケースのケース本体の断面
図。
【図４】別の実施例の断面図。
【図５】更に別の実施例の断面図。
【図６】更に別の実施例の断面図。
【図７】他の実施例の断面図。
【符号の説明】
１・・枠 ２・・薄膜 ３・・マスク保護装置 ４、１２、２６、３１・・台 ５・・ケース本体 ６・・上蓋 ７・・クリップ １１、１５、２０、２５、３０・・ケース本体 １３・・リブ １６・・ガラス板 ２１・・軟質ゴムマット ２７、３３・・ピン ３２・・支持板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 稔 山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号 三井化学株式会社内 Ｆターム(参考） 2H095 BE12 5F046 AA21

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】枠と、枠一側面に張設される薄膜と、枠の
    他側端面に接着される粘着材とよりなるマスク保護装置
    が装着される台を備えた樹脂製のケース本体と、該本体
    に被せられる樹脂製の上蓋と、上蓋をケース本体に止め
    るクリップとよりなるマスク保護装置の収納ケースにお
    いて、上記台の周縁をリブ構造としたことを特徴とする
    マスク保護装置。
  2. 【請求項２】枠と、枠一側面に張設される薄膜と、枠の
    他側端面に接着される粘着材とよりなるマスク保護装置
    が装着される台を備えた樹脂製のケース本体と、該本体
    に被せられる樹脂製の上蓋と、上蓋をケース本体に止め
    るクリップとよりなるマスク保護装置の収納ケースにお
    いて、上記台をガラス板で構成するか或いは上記台上に
    ガラス板を敷いたことを特徴とするマスク保護装置の収
    納ケース。
  3. 【請求項３】ガラス板に代え、粘着材より軟らかい軟質
    ゴムマットを用いたことを特徴とする請求項２記載のマ
    スク保護装置の収納ケース。
  4. 【請求項４】枠と、枠一側面に張設される薄膜と、枠の
    他側端面に接着される粘着材とよりなるマスク保護装置
    が装着される台を備えた樹脂製のケース本体と、該本体
    に被せられる樹脂製の上蓋と、上蓋をケース本体に止め
    るクリップとよりなるマスク保護装置の収納ケースにお
    いて、マスク保護装置の枠に接着された粘着材が当たる
    台周縁に粘着材に接触してマスク保護装置を支持するピ
    ンを設けたことを特徴とするマスク保護装置の収納ケー
    ス。
  5. 【請求項５】枠と、枠一側面に張設される薄膜と、枠の
    他側端面に接着される粘着材とよりなるマスク保護装置
    が装着される台を備えた樹脂製のケース本体と、該本体
    に被せられる樹脂製の上蓋と、上蓋をケース本体に止め
    るクリップとよりなるマスク保護装置の収納ケースにお
    いて、台の周りに支持具を突設し、支持具にはマスク保
    護装置の枠に形成される治具孔に側方より嵌合係止し、
    マスク保護装置を台上に支持するピンを側方に突設した
    ことを特徴とするマスク保護装置の収納ケース。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007047546A (ja) * 2005-08-11 2007-02-22 Shin Etsu Polymer Co Ltd ペリクル用収納容器
CN102819184A (zh) * 2004-12-02 2012-12-12 旭化成电子材料株式会社 大型护罩的收纳方法
JP2021060555A (ja) * 2019-10-09 2021-04-15 信越化学工業株式会社 ペリクルとその専用ペリクルケースからなるアセンブリ

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