JPH11202477A - ペリクルの取付構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、ペリクルフレームをケースに対し
て位置決めして収容して自動機によるハンドリングのエ
ラーの発生を防止すると共に、ペリクルフレームをケー
スから取り出すときに自動的にライナーを剥離させて取
付操作を実施できるペリクルの取付構造を提供する。 【解決手段】 本発明は、上ケースと下ケースとからな
るケース内に収容されて、ペリクルを厚さ方向の一方の
面に取り付けたペリクルフレームの他方の面に粘着剤を
固着し、粘着剤の粘着面に添着したライナーを下ケース
上に載置したペリクルを備えて、ライナーを粘着剤から
剥離して粘着剤によりペリクルフレームをマスクに取り
付けるペリクルの取付構造において、ライナーとケース
間にペリクルの位置決め手段を設けたペリクルの取付構
造を構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はペリクル（pellicl
e）の取付構造に係り、さらに詳しくは半導体集積回路
の製造工程において、マスク上のパターンを光学的に基
板に形成するホトリソ（photolithography）工程で使用
されて、上記のマスクに取り付けられてマスク面を覆う
ペリクルの取付構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は従来のペリクルの取付構造の要部
の構成を示す説明図で、（ａ）は側断面図、（ｂ）は平
面図である。図５において、１はペリクル膜〔図（ｂ）
では斜線で表示〕、２はペリクルフレーム、４は粘着
剤、５はライナー、６は上ケース６ａと下ケース６ｂよ
りなるケースである。ペリクル膜１やペリクルフレーム
２等により、ペリクル膜１をマスク（不図示）に取り付
けるペリクルＵが構成されている。

【０００３】ペリクルＵはクリーン度を保つために、ケ
ース６に収納された状態で輸送されたり保管される。ラ
イナー５は粘着剤４の粘着面がケース６に接触しない程
度の適当な大きさに作られて、ライナー５を下ケース６
ｂ上に無定位に載置してペリクルＵが収容されている。
ペリクルＵのマスクへの取付け前に上ケース６ａを取り
外して、粘着剤４の粘着面に貼付けたライナー５が引き
剥がされる。そして、ペリクルフレーム２をマスクの取
付面に押し付けて、ペリクルフレーム２の底面が粘着剤
４を介してマスクに粘着させて取り付けられるようにな
っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の取付構造は上述
のように、適当な大きさのライナー５を下ケース６ｂの
上に単純に載置してペリクルユニットＵが収容されてい
た。したがって、ライナー５の大きさにバラツキがある
と、ケース６内のペリクルフレーム２の位置が変動して
そのままバラつくことになる。一方、従来は作業者がペ
リクルフレーム２をケース６から取り出してペリクルＵ
の取付作業をしていたが、省力化やクリーン度をより以
上確保するためにロボットを用いる自動機が出現した。
しかしながら、ロボットでペリクルＵをハンドリングす
るときに、ペリクルフレーム２の位置が変動しているの
でハンドリング動作にエラーが発生する等の問題点があ
った。

【０００５】本発明は、このような従来の取付構造の問
題点を解消するために成されたもので、ペリクルフレー
ムをケースに対して位置決めして収容して自動機による
ハンドリングのエラーの発生を防止すると共に、ペリク
ルフレームをケースから取り出すときに自動的にライナ
ーを剥離させて取付操作を実施できるペリクルフレーム
の取付構造を実現するようにしたものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上ケースと下
ケースとからなるケース内に収容されて、ペリクル膜を
厚さ方向の一方の面に取り付けたペリクルフレームの他
方の面に粘着剤を固着し、粘着剤の粘着面に添着したラ
イナーを下ケース上に載置したペリクルを備えて、ライ
ナーを粘着剤から剥離して粘着剤によりペリクルフレー
ムをマスクに取り付けるペリクルの取付構造において、
ライナーとケース間にペリクルの位置決め手段を設けた
ペリクルの取付構造を構成したものである。また、位置
決め手段を、ライナーに設けた複数のホールとケースに
形成されてホールに嵌合するピンで構成したペリクルの
取付構造を構成したものである。さらに、ピンにライナ
ーを係止する係止片を設けたペリクルの取付構造を構成
したものである。

【０００７】自動機のハンドリング作業が開始される
と、ペリクルフレームのディマゥンティングホールにロ
ボットのピンが差し込まれて、ペリクルから下ケースが
取り除かれる。このとき、ライナーのホールと下ケース
上のピンとの嵌合により、ペリクルフレームがケースに
対して位置決めされている。したがって、ロボットのハ
ンドリングの教示位置が、ペリクルフレームに設けられ
たディマゥンティングホールの位置と正確に一致する。
この結果、従来のようなハンドリング動作のエラーの発
生が防止されて、ロボットのハンドリングの成功率を向
上させることができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を、図面
により説明する。 実施形態１ 図１は本発明の実施形態１の要部の構成を示す説明図
で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側断面図、図２はペリク
ルの取付状態を示す斜視図である。本発明の実施形態で
従来装置と同じ部分には、同一の符号を付して一部重複
するがやや詳しく説明する。

【０００９】図１，２において、１はペリクル膜、２は
ペリクル膜１を上面に張設したほぼ方形のペリクルフレ
ームである。ペリクル膜１はニトロセルローズのよう
に、光学的に安定した透明な高分子からなる薄膜で構成
されている。２１はハンドリング用のディマゥンティン
グホールで、ペリクルフレーム２の外側側面に設けられ
ている。３はマスク、４は粘着剤、５はライナー、５１
はライナー５に設けられたホールである。マスク３には
石英板等が用いられ、表面にパターンが形成されてい
る。また、粘着剤４は発泡性樹脂等のベース材の両面に
粘着剤を付け、被粘着面に貼り付けるまでは粘着面にラ
イナー５が添着される。添着したライナー５により、粘
着面に付着したゴミ等による粘着力の劣化が防止され
る。

【００１０】ペリクルＵの取付用の粘着剤４にも前記の
従来と同様に、ペリクルフレーム２の底面から周辺部の
横にはみ出してライナー５が添着されている。そして、
ライナー５の四隅のはみ出し部分に、４個のホール５１
が設けられている。６は台形状のケース、６ａと６ｂは
ケース６の上ケースと下ケース、６１は下ケース６ｂに
植設されたピンである。ピン６１はホール５１の位置に
対応して設けられ、ピン６１にホールが嵌め合わされて
ペリクルＵが位置決めされてケース６内に収容される。

【００１１】上述のような構成の実施形態１の自動取付
動作を、次に説明する。図１に示されたようなペリクル
Ｕを収容した下ケース６ｂがハンドリングされて、取り
外し部においてアームの上下動と吸盤を利用して上ケー
ス６ａが取り払われる。次に、下ケース６ｂを把持した
アームがマウンタ部に移動し、両側面のディマゥンティ
ングホール２１にピンが差し込まれてペリクルＵがハン
ドリングされる。下ケース６ｂを把持したアームが降下
して、上面（ガラス面）側のペリクルＵがマウンタ部に
固定状態で保持される。そして、マウンタ部に保持され
た上面側のペリクルＵのライナー５が、ハンドリングさ
れて剥離される。

【００１２】同様にして、マウンタ部に保持された下側
（パターン面側）のペリクルＵのライナー５が剥離され
てから、ハンドが１８０°回転して粘着剤４の粘着面が
上向きに転換される。その後、アームによりマスク３が
マウンタ部に保持された２つのペリクルＵの間に搬送さ
れてから、上下のペリクルＵがマスク３に接近してそれ
ぞれの粘着剤４を押し付けられる。この結果、マスク３
を挟んでサンドイッチ状になって、上，下のペリクルＵ
がマスク３の両面に取り付けられる。取付状態が、図２
に示めされている。

【００１３】この場合、マウンタ部でディマゥンティン
グホール２１にピンが差し込込まれてハンドリングされ
るときに、ペリクルフレーム２が４箇所のピン６１とホ
ール５１の嵌合によりケース６に対して位置決めされて
いる。したがって、ロボットのハンドリングの教示位置
が、ペリクルフレーム２の両側面に設けられたディマゥ
ンティングホール２１の位置と正確に一致する。この結
果、従来のようなハンドリング動作のエラーの発生が防
止され、ロボットのハンドリングの成功率を向上させる
ことができる。

【００１４】そして、ペリクル膜１はペリクルフレーム
２を介して平板状のマスク３の表面に平行方向に配置さ
れて、マスク３に形成されたパターン領域の両側を覆っ
て塵やパーティクル（particle）等の進入を防止するこ
とができる。こうして、ペリクルＵで覆われたマスク３
は前述したホトリソ工程の露光設備にセットされて、マ
スク３上のパターンが光学的に半導体ウエハー上に転写
されて高密度な電子回路が製造されるようになってい
る。

【００１５】実施形態２ 図３は本発明の実施形態２の構成を示す要部の断面図
で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側断面図である。図３に
おいて、６２はキャップである。キャップ６２の外径は
ホール５１より大きく作られ、ピン６１の頭部に固着さ
れている。実施形態２においては、実施形態１とこのほ
かの構成上の相違点はない。実施形態２の場合はペリク
ルフレーム２の底面に添着されたライナー５の４つのホ
ール５１をそれぞれ下ケース６ｂのピン６１に嵌めてか
ら、ライナー５の表面上に露出したピン６１の頭部にキ
ャップ６２が被されて固定される。

【００１６】被せられたキャップ６２の固定構造には、
例えば図４（ａ）に示すようにキャップ６２の頭部を押
圧して内面に張り出した係止突起をピン６１側に形成し
たミゾに係合させたり、接着剤による接着構造等が採ら
れる。そして、前述の実施形態１のときと同様に、自動
機が駆動されて上ケース６ａが取り払われてからロボッ
トによりディマゥンティングホール２１にツメが差し込
まれてペリクルＵが吊り上げられる。このとき、４本の
ピン６１にはホール５１より大きいキャップ６２が固定
されているので、粘着剤４に添着されたライナー５が自
動的に剥離されて各ホール５１にピン６１が差し込まれ
たまま下ケース５ｂ上に残留される。その後、４本のピ
ン６１で残留されたライナー５は、下ケース６ｂと共に
そのまま廃棄される。

【００１７】また、図４の（ｂ）は、実施形態２の変形
例の構成図である。図４の（ｂ）の変形例のピン６１の
外周の途中には、スカート状に下向きに拡がる複数の舌
片６３が形成されている。舌片６３を設けたピン６１
は、やや軟質の樹脂材で下ケース６ｂの表面に一体また
は埋め込み成形されている。ライナー５のホール５１を
上から図４（ｂ）のピン６１に嵌めると、広げられた舌
片６３が縮みながらライナー５がピン６１に沿って降下
して下ケース６ｂの表面に接触して固定される。逆に、
吊り上げられたペリクルＵと一体にライナー５が持ち上
げられると、スカート状の舌片６３が拡がってライナー
５が抜け止めされるようになっている。

【００１８】ペリクルＵをマスクに取り付ける前には、
ライナー５をペリクルフレーム２から取り外す動作が必
要である。従来ライナー５の剥離作業を自動機で実施す
る場合は、ライナー５の剥離専用のロボットでライナー
５の一部を掴んで行われていた。ライナー５の材質と厚
さおよび形状等は、ペリクルＵの製造メーカによって多
種多様であった。このため、ロボットによるライナー５
の剥離動作のプログラムは、極めて煩雑で工数の掛かる
作業になるという欠点があった。

【００１９】図４の（ａ）と（ｂ）に示された実施形態
２によれば、自動機の搬送動作で自動的にライナー５の
剥離作業が実施できる。このため、ロボットのライナー
５の剥離用のプログラムが不要で、作業効率を向上させ
ることができる。そのほか、ケース６の収納状態のペリ
クルＵがピン６１又はピン６１とキャップ６２によって
下ケース６ｂに固定されているので、輸送時の振動によ
るパーティクルの発生やペリクル膜１の破損が防止でき
る等の利点もある。

【００２０】なお、上述の実施形態１，２ではペリクル
フレームとマスクがほぼ方形の場合を例示して説明した
が、円形や多角形等の場合にも本発明を適用することが
できる。また、実施形態２ではライナーのはみ出し部分
に設けられたホールをピンに嵌合させた場合で説明した
が、ピンに嵌合するホールをペリクルフレームの枠内に
設けるように構成してもよい。さらに、ピンおよびホー
ルの形や設置位置或いはピンに係止するキャップの係止
構造等についても、同機能で原理的に可能な限りは必ず
しも実施形態に限定するものではない。

【００２１】

【発明の効果】本発明は、上ケースと下ケースとからな
るケース内に収容されて、ペリクルを厚さ方向の一方の
面に取り付けたペリクルフレームの他方の面に粘着剤を
固着し、粘着剤の粘着面に添着したライナーを下ケース
上に載置したペリクルを備えて、ライナーを粘着剤から
剥離して粘着剤によりペリクルフレームをマスクに取り
付けるペリクルの取付構造において、ライナーとケース
間にペリクルの位置決め手段を設けたペリクルの取付構
造を構成した。また、位置決め手段を、ライナーに設け
た複数のホールとケースに形成されてホールに嵌合する
ピンで構成したペリクルの取付構造を構成した。さら
に、ピンにライナーを係止する係止片を設けたペリクル
の取付構造を構成した。

【００２２】この結果、ペリクルフレームをケースに対
して位置決めして収容して自動機によるハンドリングの
エラーの発生を防止すると共に、ペリクルフレームをケ
ースから取り出すときに自動的にライナーを剥離させて
取付操作を実施できるペリクルフレームの取付構造を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１の要部の構成を示す説明図
である。

【図２】実施形態１のペリクルの取付状態を示す断面図
である。

【図３】本発明の実施形態２の要部の構成を示す説明図
である。

【図４】本発明の実施形態２の一部の構成を示す断面図
である。

【図５】従来のペリクルの取付構造の要部の構成を示す
説明図である。

【符号の説明】

１ ペリクル膜 ２ ペリクルフレーム ３ マスク ４ 粘着剤 ５ ライナー ６ ケース ６ａ 上ケース ６ｂ 下ケース ２１ ディマゥンティングホール ５１ ホール ６１ ピン ６２ キャップ（係止片） ６３ 舌片 Ｕ ペリクル

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上ケースと下ケースとからなるケース内
   に収容されて、ペリクル膜を厚さ方向の一方の面に取り
   付けたペリクルフレームの他方の面に粘着剤を固着し、
   該粘着剤の粘着面に添着したライナーを前記下ケース上
   に載置したペリクルを備えて、前記ライナーを粘着剤か
   ら剥離して該粘着剤により前記ペリクルフレームをマス
   クに取り付けるペリクルの取付構造において、 前記ライナーとケース間に前記ペリクルの位置決め手段
   を設けたことを特徴とするペリクルの取付構造。
2. 【請求項２】 前記位置決め手段を、前記ライナーに設
   けた複数のホールと前記ケースに形成されてホールに嵌
   合するピンで構成したことを特徴とする請求項１記載の
   ペリクルの取付構造。
3. 【請求項３】 前記ピンにライナーを係止する係止片を
   設けたことを特徴とする請求項２記載のペリクルの取付
   構造。