TW201705210A - 防塵薄膜組件以及其安裝方法 - Google Patents

Abstract

本發明的目的為提供一種，即使離焦距離間隙距離小，防塵薄膜組件框架的剛性低的防塵薄膜組件，也可容易地處理，從防塵薄膜組件收納容器安全取出，從而可以無缺陷地向光掩模等貼附的防塵薄膜組件以及其安裝方法。本發明的防塵薄膜組件，在防塵薄膜組件框架11的防塵薄膜接著層側設置可裝可卸的防塵薄膜組件支持裝置20的同時，離焦距離間隙距離／外尺寸對角長的值為0.0001~0.003。再者，防塵薄膜組件支持裝置20，由平板狀或者框狀的支持體16構成，通過在支持體16被設置的微黏著性物質，在防塵薄膜組件框架11的防塵薄膜接著層側可裝可卸地設置。

Description

防塵薄膜組件以及其安裝方法

本發明涉及在半導體裝置，IC封裝體，印刷基板，液晶面板或者有機EL面板等製造時，作為灰塵防止器使用的防塵薄膜組件以及其安裝方法。

在LSI，超LSI等的半導體或液晶面板等的製造中，要將紫外線等的波長短的光向光掩模照射，使用在半導體晶片或者液晶用玻璃上製作圖案的曝光機。此時，如在使用的光掩模上附著灰塵，該灰塵對紫外光進行折射、反射，使轉印的圖案変形，短路等，會有品質受損的問題。

因此，這些的操作通常在無塵室中進行，但是即使如此，保持光掩模的清浄也是困難的，所以要在光掩模表面將作為灰塵防止器的防塵薄膜組件貼附後進行曝光。於該情況，異物不會再光掩模的表面上直接附著，而是在防塵薄膜組件上附著，所以光刻時只要將焦點對準在光掩模的圖案，防塵薄膜組件上的異物就與轉印無關了。

再者，作為一部分的特殊用途，在光掩模以外的曝光機內的光學部件安裝的防塵薄膜組件也存在。曝光機內內反光鏡，透鏡，窗等，紫外光反射，透過的光學部件很多，這些光學部件，從光源將紫外光導向光掩模以及工件（半導體晶片或者液晶基板）。這些光學部件上如果有異物以及汙物附著，極易對曝光品的品質發生影響，他們的清潔度雖不及光掩模的清浄度，但是，對於這些光學部件也要在可能的限度內有保持清浄的必要。

進而，這些光學部件，是進行了精密的位置調整被安裝的，因此，在製造現場將個別的部件卸下進行清洗是極為困難的。因此，如果發生了髒汙，其清洗以及再調整就需要很多的時間，或造成嚴重的工作效率的低下。因此，為了防止這種情況，在一部分的曝光裝置中，不僅光掩模，這些光學部件上也要安裝上防塵薄膜組件，在發生髒汙時，將防塵薄膜更換即可。

這樣的防塵薄膜組件，一般說來，是將由良好透光的硝酸纖維素，醋酸纖維素或者氟樹脂等組成的透明的防塵薄膜貼附在有鋁、不銹鋼、工程塑料等製成的防塵薄膜組件框架的一個端面上而構成。再者，在防塵薄膜組件框架的另一端面上，設置為了安裝在光掩模的有環氧樹脂，聚醋酸乙烯基酯樹脂，丙烯酸樹脂，矽樹脂等組成的黏著層以及為了保護黏著層的離型層（剝離片）。

在防塵薄膜組件中，有安裝在光掩模上的防塵薄膜組件和安裝在其以外的光學部件的防塵薄膜組件，這兩者之間在構造上沒有大的不同。重要的是，在光學部件上安裝的防塵薄膜組件，與頻繁更換的光掩模用相比，要長期間使用，所以要求有更高的耐光性。再者，在光掩模用的防塵薄膜組件中，一般用黏著劑安裝，光學部件用的防塵薄膜組件中為設置沒有黏著性的襯墊層，用螺釘等機械固定裝置安裝。

例如，在專利文獻１中記載了如下內容：在防塵薄膜組件框架的光掩模側的端面上設置具有襯墊的功能的彈性體層，對其用螺釘等的締結裝置加壓而能保持高的密封性的防塵薄膜組件。該防塵薄膜組件不需要光掩模黏著層，而且給光掩模造成的變形極小。進而，在這樣的防塵薄膜組件中，由於從被保護面（光掩模的圖案面等）到防塵薄膜面的距離（以下稱離焦距離間隙距離）越大異物的離焦性越高，所以離焦距離間隙距離大的優選。 [先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻１]特開2014-211591

但是，近年，為了減少在防塵薄膜組件貼附時的光掩模的變形，使用可以使防塵薄膜組件框架的高度方向的剛性變低的離焦距離間隙距離的低的防塵薄膜組件。再者，由於裝置的空間的問題，與以往相比具有低的離焦距離間隙距離的防塵薄膜組件的使用也變得多了起來，特別是，在光學部件用的防塵薄膜組件之中，有離焦距離間隙距離為1mm以下之物。

這樣的離焦距離間隙距離低的防塵薄膜組件的情況下，由於防塵薄膜組件框架的高度方向的剛性極低，處理時框架的撓曲以及扭曲變大，所以具有處理困難的問題。特別是，從防塵薄膜組件收納容器取出時，除了防塵薄膜組件的處理困難之外，在防塵薄膜組件的安裝時問題也大，在處理時由於防塵薄膜組件框架設計上的形狀不能被保持，防塵薄膜發生褶皺以及扭曲，如原封不動地將其進行安裝，就會發生問題。

因此，本發明就是為瞭解決上述的問題而成的，本發明的目的是提供一種即使離焦距離間隙距離小，防塵薄膜組件框架的剛性低的防塵薄膜組件，也可容易地對其進行處理，從防塵薄膜組件收納容器中安全取出，可以沒有缺陷地安裝於光掩模等的防塵薄膜組件以及其安裝方法。

本發明的防塵薄膜組件特徵還在於，在防塵薄膜組件框架的防塵薄膜接著層側設置可裝可卸的防塵薄膜組件支持裝置的同時，離焦距離間隙距離／外尺寸對角長的值為0.0001~0.003。

再者，本發明的防塵薄膜組件特徵還在於，該防塵薄膜組件支持裝置由平板狀或者框狀的支持體構成，通過在該支持體設置的微黏著性物質，而在防塵薄膜組件框架的防塵薄膜接著層側被可裝可卸設置。進而，該微黏著性物質優選在支持體的多處被分割而配置，所述微黏著性物質的黏著力，在垂直方向以0.5mm/s的速度剝離的情況下，為0.01~0.5N的範圍。

進而，發明的防塵薄膜組件優選，所述微黏著性物質為從矽樹脂或者聚氨酯選擇的凝膠狀物質，在防塵薄膜組件支持裝置中，優選設置有為了處理時使用的把持部。

本發明的安裝方法特徵還在於，在防塵薄膜組件被貼附於被安裝面光掩模之後，防塵薄膜組件框架上設置的防塵薄膜組件支持裝置被卸下。 [發明的效果]

根據本發明，提供一種即使是離焦距離間隙距離小，防塵薄膜組件框架的剛性低的防塵薄膜組件，其處理也容易，可以沒有防塵薄膜組件框架的変形以及防塵薄膜的褶皺等的缺陷地安裝於光掩模等的防塵薄膜組件以及其安裝方法。

以下，對本發明的一實施方式基於附圖進行詳細說明，但是本發明並不限於此。

本發明的防塵薄膜組件中，如圖4表示的那樣，在防塵薄膜組件10的防塵薄膜接著層12側配置防塵薄膜組件支持裝置20，兩者是通過締結裝置17締結的。圖5為，矩形的防塵薄膜組件10和防塵薄膜組件支持裝置20分離的狀態。

本發明的防塵薄膜組件10的離焦距離間隙距離（包括光掩模黏著層的高度）和外尺寸對角長的比（離焦距離間隙距離／外尺寸對角長）為0.0001~0.003，在框的一個端面上，設置防塵薄膜接著層12，防塵薄膜14在其上繃緊設置。再者，在其相對的面，光掩模黏著層13被設置，其表面根據需要設置保護光掩模黏著層13的剝離片15。 在此，所謂外尺寸對角長，如圖10表示的那樣，為矩形的防塵薄膜組件的長邊外圈和短邊外圈延長線交差點間的長度。一般地，矩形的防塵薄膜組件框架中，角部的外側有若干R切角，此處的外尺寸對角長將該R部忽略。

在離焦距離間隙距離／外尺寸對角長的值為0.0001未滿的防塵薄膜組件，由於作為防塵薄膜組件10，其形狀維持困難，所以其採用困難。再者，超過0.003，由於具有一定的剛性，處理時的問題少，所以適用本發明的好處不多。 因此，本發明被施用的「剛性低的防塵薄膜組件」，雖然與受材質有關，但是材質為鋁合金的情況下，離焦距離間隙距離／外尺寸對角長低於0.003的尺寸的防塵薄膜組件為優選。

另一方面，防塵薄膜組件10的離焦距離間隙距離，由使用的曝光裝置側的要求事項來進行決定，例如，長邊為150mm左右的邊長的短的半導體用防塵薄膜組件中，於離焦距離間隙距離為0.5mm以下的情況下，處理時問題易於發生。再者，長邊為900~1700mm的液晶中使用的大型的防塵薄膜組件中，即使於離焦距離間隙距離為7mm的情況下，處理時也難說具有充分的剛性，低於6mm，處理困難的問題發生。稍微小型的長邊為400~800mm程度的液晶用的防塵薄膜組件，如果離焦距離間隙距離為2.5mm以下，處理時問題易於發生。因此，本發明施用的「離焦距離間隙距離小的防塵薄膜組件」為，雖然根據防塵薄膜組件10的邊長不同而不同，但是優選離焦距離間隙距離的具體的的數值為0.2~6mm程度的防塵薄膜組件。

防塵薄膜組件框架11的形狀，在圖1～圖4的實施方式中為矩形，但是，角部有斜邊的八角形以及圓形等他的形狀也可，沒有特別的限定。在圓形的防塵薄膜組件10的情況下，上述的外尺寸對角長相當於外尺寸直徑。

防塵薄膜組件框架11的材質為，鋁合金，鎂合金等的輕合金，不銹鋼，碳素鋼等鐵系合金，還具有GFRP，CFRP等的纖維強化塑料。特別是，以使用不銹鋼等的剛性高，耐食性也好金屬為優選，優選用雷射切斷，切削加工等的加工方法製作為好。纖維強化塑料的情況，在膜張力方向的剛性確保的點來看，為優選，但是，本發明的那樣的離焦距離間隙距離小的防塵薄膜組件中，由於剛性具有各向異性，易於產生扭曲，其處理有些困難。

防塵薄膜組件框架11任何一個材質，優選在其表面實施防銹，發塵防止以及耐光性的材料進行塗裝，電鍍，陽極氧化處理等的表面處理。再者，使用時，為了對曝光光的反射進行防止，使附著異物的觀察容易，黒色為特別優選。

防塵薄膜接著層12為，使用矽樹脂，氟系樹脂，丙烯酸系樹脂等的公知的接著劑，用空氣加壓式分佈器等的塗布裝置在防塵薄膜組件框架11上平滑塗布而形成。

防塵薄膜14，依據使用的曝光機的光源波長，選擇氟系樹脂，纖維素系樹脂等組成的膜材料，用旋塗法，模塗布法等，在平滑基板上成膜，乾燥後從基板上剝離而得到。再者，根據需要設置反射防止層也可。於曝光機內的光學部件用的防塵薄膜組件的情況，為了使更換頻度變低，使用耐光性優良的氟系樹脂為特別優選。

防塵薄膜14的膜厚，對透過率，膜強度進行考慮，綜合判斷來設定為好，但是厚度以0.2~10μm的範圍為好。進而，防塵薄膜14，為了不產生褶皺以及鬆弛，另外為了不使防塵薄膜組件框架11過度的撓曲，加以適當的張力，與防塵薄膜組件框架11上的防塵薄膜接著層12接著為優選。

光掩模黏著層13可以使用橡膠系黏著劑、矽系黏著劑、丙烯酸系黏著劑、熱溶性黏著劑等的公知的材料。再者，根據需要，其表面進行平坦化處理為好。進而，其表面根據需要安裝保護光掩模黏著層13剝離片15，但是，該剝離片15為，在厚度0.05~0.3程度的PET等組成的薄膜的一個面上進行離型劑塗布，使其與光掩模黏著層13的外形相合而切斷，使用。

於光掩模用的防塵薄膜組件10的情況，一般說來，用光掩模黏著層13，將防塵薄膜組件10黏著在光掩模91而安裝，但是，近年，代替光掩模黏著層13，設置實質上沒有黏著性的彈性體組成的襯墊層，用夾子以及螺栓等的機械的裝置來進行安裝的方法也出現了，本發明使用這種方法也可。

再者，於曝光機內的光學部件用的防塵薄膜組件10的情況，可以在裝置側設置夾持機構、螺釘、扣環、夾子、靜電力、磁力等各種各樣的種類的固定裝置。因此，不一定非使用具有黏著力的光掩模黏著層13不可。在裝置側設置襯墊層的情況，可以在防塵薄膜組件框架11的表面不設置任何與光掩模黏著層以及襯墊層類似之物。本發明在這樣的情況下也可採用。

以上那樣的部件構成的防塵薄膜組件10可以和在防塵薄膜接著層12側配置的平板狀或者框狀防塵薄膜組件支持裝置20通過締結裝置17締結成一體為好。進而，該防塵薄膜組件10，在安裝之前，與防塵薄膜組件支持裝置20一體運用・搬運，在防塵薄膜組件10向被保護面安裝之後，將締結裝置17的締結解除，防塵薄膜組件支持裝置20卸下。

這樣的防塵薄膜組件支持裝置20為，如圖5表示的那樣，框狀形的支持體16和防塵薄膜組件10締結的締結裝置17，由處理時使用的把持部18構成。支持體16為，雖然在該實施方式中為框狀，但是只要注意其不與防塵薄膜14接觸，平板狀也可，進行了補強了的框形狀也可。再者，防塵薄膜組件支持裝置的外形為與塵薄膜組件10的外形大略一致為佳，例如，圖6表示了圓形的防塵薄膜組件10中用的防塵薄膜組件支持裝置60，圓形的支持體61上，設置了締結裝置62和把持部63。

作為支持體16的材質，以鋁合金等的輕量，高剛性的金屬為優選，使用管材等的中空構造也優選。但是，在使用管材的情況下，為了防止發塵，有必要進行開口部堵塞處理。 在此，支持體16的防塵薄膜組件締結側的平面度為，雖然與其大小有關，但是為了防止締結的防塵薄膜組件發生扭曲等而造成安裝不良，優選至少為0.5mm，最佳為0.2mm以下。

把持部18，是用於防塵薄膜組件的處理，所以優選用具有適當的強度的金屬以及工程塑料製作，由此可以直接用手，或者夾具等對其進行把持處理。

將防塵薄膜組件10和防塵薄膜組件支持裝置20締結的締結裝置17，由微黏著性物質構成，如圖5以及圖6表示的那樣，在防塵薄膜組件支持裝置20上多處分割配置。關於配置以及個數，只要在防塵薄膜組件10的框架的是否變形以及膜的褶皺等是否發生，以及安定固定與否來決定，但是在矩形的防塵薄膜組件10的情況，至少包括四個角部是必要的。

再者，在多處配置的締結裝置17的黏著力為，在垂直方向以0.5mm/s的速度剝離的情況下以0.01~0.5N的範圍為優選。0.01N未滿，固定力過小不能安定的保持，超過0.5N黏著力太強，從防塵薄膜組件10上將防塵薄膜組件支持裝置20卸下會變得困難。

作為締結裝置17的這樣的微黏著性物質，可以從矽樹脂或者聚氨酯選擇的凝膠狀物質為好，可以從板狀成形物切出加工，或向所希望的形狀模型注射成形。使用的凝膠狀物質，以對表面的黏著力加以考慮選擇為好，並且硬度也有加以考慮的必要。最合適的硬度，雖然與使用的厚度有關，但是作為選擇的素材本身的目標，以ASKER-C硬度計50以下好。超過50，防塵薄膜組件10安裝後，防塵薄膜組件支持裝置20會變得難以傾斜，締結裝置17的剝離困難。但是，如果在過於柔軟的情況下，形狀不安定，操作困難，針入度以超過90為好。

該締結裝置17，可以在支持體16的一個面上安裝，僅由微黏著性物質構成也可，選擇的硬度，會由於尺寸變得過於柔軟，有形狀不能保持一定的危險。因此，締結裝置17的構成用樹脂以及金屬等的間隔物而僅在其上部用微黏著性物質構成為特別優選。於該情況，微黏著性物質的厚度為，以在先端為1~5mm為優選。

再者，締結裝置17，在圖1~6的實施方式中為圓柱狀，圓形截面，但是橢圓以及矩形等其他的截面形狀也可以。締結裝置17和防塵薄膜組件10的接觸形狀，可以為平面，但是，如為稍微有一點凸的曲面形狀，支持裝置20的卸下容易，優選。締結裝置17的大小以及形狀，和防塵薄膜組件的接觸面積，可以考慮締結防塵薄膜組件10的黏著力來決定，但是，從防止與防塵薄膜14的接觸的觀點來看，其接觸寬，以為薄膜接著層寬的70%以下為好。

進而，締結裝置17，在防塵薄膜組件框架11為碳鋼以及鐵系不銹鋼等的磁性材料的情況，可以考慮用磁石構成。防塵薄膜組件框架11，在除了全體都為磁性材料製作之外，將磁性體埋入，表面接著以及塗布等具有同等的功能的方法也可，在此情況下，締結裝置的磁力，可以選擇對防塵薄膜組件的支持，固定沒有問題的範圍即可。重要的是，對於磁力而言即使如何調整，締結時，要使其慢慢地固定也是很難的，並且相反地，在卸下的瞬間需要大的力，因此很難順利操作，從而有必要不使用永久磁石而使用電磁力，或是有必要追加利用機械的操作來磁力衰減的裝置。

如本發明的離焦距離間隙距離的小的防塵薄膜組件10，剛性極低，沒有安定性，將防塵薄膜組件支持裝置20根據需要進行頻繁裝卸是困難的。因此，優選在防塵薄膜組件10的製作的階段，要將防塵薄膜組件10和防塵薄膜組件支持裝置20締結，直至在客戶使用防塵薄膜組件10的眼前，要進行一體運用、搬運。因此，從該觀點來看，防塵薄膜組件10和防塵薄膜組件支持裝置20優選通過締結裝置17以締結的狀態在防塵薄膜組件收納容器70中收納，保管以及搬運。

圖7以及圖8為，收納本發明的防塵薄膜組件10的防塵薄膜組件收納容器70的圖。圖7為，全體的斜視圖，圖8為，圖7中的D-D線的截面圖。防塵薄膜組件收納容器70由防塵薄膜組件收納容器本體71和蓋體72構成，在防塵薄膜組件收納容器本體71中，將與防塵薄膜組件支持裝置20締結的防塵薄膜組件10載置，在周緣部嵌合密閉。優選該周緣部用黏著帶（未圖示）等密閉，或用夾子以及扣環（未圖示）等來固定，以不使蓋體７２從防塵薄膜組件收納容器本體７１滑落。

防塵薄膜組件收納容器本體71以及蓋體72的材質為，使用厚度2~8mm的PMMA、PAN、ABS、PC、PVC等的樹脂，用注塑成型或者真空成形等的加工方法進行製作為好。防塵薄膜組件的邊長為超過1500mm那樣的特別大型的防塵薄膜組件，為了確保剛性，收納防塵薄膜組件收納容器本體71可以用鋁合金，鎂合金，不銹鋼等的金屬。再者，作為其他的提高剛性的裝置，可以將板狀或者棒狀的補強裝置安裝在外面。

再者，防塵薄膜組件收納容器70，從易於觀察附著異物的觀點，黒色為優選，蓋體72，為了對其內部進行確認，優選透明。進而，可以通過材料的選擇或者表面的塗布，來確保導電性以及難燃性為優選。

防塵薄膜組件支持裝置20的把持部18，可以搭載在防塵薄膜組件收納容器本體71上設置的固定部73上。再者，優選在該固定部73上設置和把持部18嵌合的溝以及凹陷等，使防塵薄膜組件支持裝置20不進行水平方向移動，進而把持部18的上端在蓋體72的內側被規制。支持防塵薄膜組件10以及防塵薄膜組件支持裝置20的高度，為了不對防塵薄膜組件10施加過大的負荷，下面以與防塵薄膜組件收納容器本體71的表面相接觸程度為優選。

再者，固定部７３，為了防止劃擦發塵，以用PA、POM、PE、PEEK等的工程樹脂以及聚氨酯系，矽系，氟系，烯烴系等的彈性體構成，另外，如使其具有帶電防止性，也良好。進而，該固定部73為，可以用切削加工以及射出成型，注塑成形等的公知的方法製作，用螺栓等（未圖示）將其固定在防塵薄膜組件收納容器本體71上。

防塵薄膜組件10，如此，通過防塵薄膜組件支持裝置20，間接地在防塵薄膜組件收納容器70內被固定，防塵薄膜組件收納容器70的運輸中不發生移動，変形等的破損以及異物的附著就被防止。

然後，圖9(a)、圖9(b)、圖9(c)、圖9(d)為，將本發明的防塵薄膜組件10安裝在被安裝面的光掩模91的方法（順序）的截面示意圖。

首先，將防塵薄膜組件收納容器70的蓋體72打開之後，把持把持部18，使防塵薄膜組件支持裝置20和締結裝置17通過締結的防塵薄膜組件10取出（未圖示）的同時，經過檢査等的所定的工程之後，將防塵薄膜組件10的剝離片15剝離，準備。進而，圖9(a)中，將準備的防塵薄膜組件10和防塵薄膜組件支持裝置20搬送，對光掩模91進行位置調整，與所定的安裝位置相合。

然後，圖9(b)中，原封不動地使防塵薄膜組件10和光掩模91接近，使光掩模黏著層13接觸。該操作，可以用簡單的夾具手工進行，但是優選使用把持防塵薄膜組件支持裝置20使其移動的搬送裝置（未圖示）。另外，該階段中，光掩模黏著層13為輕輕接觸的狀態，雖然接著，但是沒有得到完全的接著力。

再者，圖9(c)中，進行將防塵薄膜組件支持裝置20從防塵薄膜組件10卸下（剝離）操作。隨著將防塵薄膜組件支持裝置20從防塵薄膜組件10斜向剝離的操作，從在支持體16上多個配置的微黏著性的締結裝置17的表面，依次將防塵薄膜組件10的剝離，在所有的地方的剝離終了後，防塵薄膜組件支持裝置20被從防塵薄膜組件10卸下。

進而，最後，圖9(d)中，在快速將防塵薄膜組件支持裝置20卸下的同時，用另外設置的加壓裝置（未圖示），對卸下防塵薄膜組件支持裝置20的防塵薄膜組件10施加所定的負荷，通過光掩模黏著層13將防塵薄膜組件10完全安裝在光掩模91上。

另外，該操作，採用與夾子等與光掩模黏著層不同的固定裝置的防塵薄膜組件的場合以及，即使防塵薄膜組件的安裝對象不是光掩模而是曝光機的光學部件也可同樣實施。在使所定的防塵薄膜組件固定裝置動作使防塵薄膜組件固定，將防塵薄膜組件支持裝置20斜向剝離卸下的點上沒有任何的不同。再者，圖9(a)~圖9(d)的實施方式中，從操作性和異物附著減低的觀點，將光掩模91傾斜配置，可在在該傾斜狀態下實施各操作，但是，用水平以及垂直等的另外的配置狀態實施也可。 [實施例]

以下，對本發明的實施例進行詳細說明。該實施例中，首先，製作如圖1～圖5那樣的防塵薄膜組件10以及防塵薄膜組件支持裝置20，對其製作順序進行說明，所有的操作為都在10級無塵室內中進行。

防塵薄膜組件框架11為，將SUS304不銹鋼用雷射切斷和機械切削加工而成的，外尺寸756 x 913mm，內寸740 x 901mm，角部內側R2mm，角部外側R6mm，高度1.8mm。再者，防塵薄膜組件框架11的各長邊中，直徑0.4mm的通氣孔（未圖示）分別設置8個。進而，稜部為C0.2mm程度的切角（未圖示），全面進行Ra 0.5程度噴砂之後，進行黒色鎳電鍍。

然後，將該防塵薄膜組件框架11用界面活性劑和純水良好洗浄乾燥之後，在框的一個端面上設置光掩模黏著層13，即將矽黏著劑（商品名；KR3700，信越化學工業（株）制）用在3軸直交機器人上搭載的空氣加壓式分佈器塗布。此時的光掩模黏著層的厚度為1.2mm，烘箱中130℃加熱完全硬化。再者，光掩模黏著層13的表面上，貼附剝離片15，該剝離片是在厚度125μm的PET薄膜的一個面上進行離型劑塗布，以與防塵薄膜組件框架11的外形大略一致的形狀切斷製作的。 另外，該防塵薄膜組件框架11，其垂直方向的剛性極低，不能處理，由此這些的操作，是在防塵薄膜組件框架１１被載置在鋁制的平板（未圖示）上的狀態下進行的。

光掩模黏著層13形成之後，將所述防塵薄膜組件框架11上下反轉，與上述同樣，光掩模黏著層13的相反的面上設置防塵薄膜接著層12，即將矽黏著劑（商品名；KR3700，信越化學工業（株）制）塗布至厚度50μm，烘箱130℃加熱，使其完全硬化。再者，PTFE多孔質膜組成的過濾器用丙烯酸黏著片接著（未圖示），長邊的通氣孔被覆蓋。

防塵薄膜14，其材料為氟系樹脂（商品名；CYTOP，旭硝子（株）制）。進而，首先，在850x1200x厚度10mm的合成石英組成的成膜基板上用型塗法成膜，溶媒乾燥之後，在與基板外形同尺寸的暫用框上接著，從成膜基板剝離，得到厚度4.5μm的剝離膜。其後，該剝離膜在防塵薄膜組件框架11上的防塵薄膜接著層12上接著，成為防塵薄膜14，將防塵薄膜組件框架11外側的剩餘膜用刀切斷除去，防塵薄膜組件10的製作完成。

以以上的製作順序完成的防塵薄膜組件10，其光掩模黏著層13的厚度為1.2mm，與防塵薄膜組件框架11的高度1.8mm加在一起的高度，即離焦距離間隙距離為3.0mm。進而，所述防塵薄膜組件框架11的外尺寸對角長為1185.37mm，離焦距離間隙距離和外尺寸對角長的比（離焦距離間隙距離／外尺寸對角長）為0.0025。

然後，對防塵薄膜組件支持裝置20的製作順序進行說明，首先，防塵薄膜組件支持裝置20的構成支持體16為，將A6063鋁合金的20x20mm的方形管用焊接製成外尺寸780x940mm的框狀物，其一面用機械切削得到平面度0.2mm。在該面安裝18個締結裝置17，四個角部附近，用帶電防止POM製作的把持部18用螺栓（未圖示）安裝。

再者，締結裝置17為，作為其材料使用2液混合的矽凝膠（商品名；KE1051，信越化學工業（株）制）注射成形之物，圓筒形的SUS304制的基底（未圖示）上注射成形，硬化。此時的締結裝置17和防塵薄膜組件10的接觸面的直徑，約4mm。然後，將該締結裝置17通過在SUS304制的基底部分設置的內螺紋，用螺栓（未圖示）安裝在支持體16上。

進而，將以以上的順序製作的防塵薄膜組件支持裝置20對載置在平板上防塵薄膜組件10的位置進行調整，向防塵薄膜組件10的防塵薄膜接著層12以及接著的防塵薄膜14押附，用締結裝置17的黏著力將防塵薄膜組件支持裝置20接著於防塵薄膜組件10。此時的締結裝置17的黏著力為，事前用速度0.5mm/s剝離時確認的值的0.15N/處。

最後，將與防塵薄膜組件10一體化的防塵薄膜組件支持裝置20以各種各樣的姿態搬運，對外觀，異物，膜的透過率等進行檢査，得知，防塵薄膜組件框架11的変形以及防塵薄膜14的褶皺等的缺陷沒有發生，再者，從締結裝置17脫落的部分也沒有發現，可以安定地進行防塵薄膜組件10的處理。

然後，為了收納本發明的防塵薄膜組件10，圖7以及圖8所示的那樣，準備防塵薄膜組件收納容器70。其為用厚度5mm的帶電防止ABS樹脂板，真空成形制作之物。該防塵薄膜組件收納容器本體71上，防塵薄膜組件支持裝置20的把持部18嵌合的帶電防止PE制的固定部73用螺栓（未圖示）安裝，將該防塵薄膜組件收納容器70用界面活性劑和純水良好洗浄，完全乾燥。

在防塵薄膜組件收納容器70中，將塵薄膜組件10和防塵薄膜組件支持裝置20收納。防塵薄膜組件支持裝置20的把持部18被收納在固定部73的溝中之後，處理時接觸的地方，用純水浸潤的PVA制擦布進行清洗。進而，將蓋體72蓋上，周緣部用PVC制黏著帶密封，最後，在蓋體72的內面收納的把持部18的上面接觸按壓，確認防塵薄膜組件支持裝置20以及防塵薄膜組件10被固定。

進而，為了對其梱包形態進行評價，將防塵薄膜組件10、防塵薄膜組件收納容器支持裝置20收納的防塵薄膜組件收納容器70裝在緩衝材料瓦楞紙箱中，進行約1000km的卡車運輸，再一次搬運至無塵室內，對內部進行確認，得知防塵薄膜組件收納容器70內的防塵薄膜組件10與防塵薄膜組件支持裝置20處於結實地締結的狀態，防塵薄膜組件框架10的変形以及防塵薄膜14的褶皺等的缺陷沒有被發現。再者，固定部73和支持裝置18的劃擦產生的發塵也沒有發現。

然後，按照圖9(a)~圖9(d)所示的順序，對本發明的防塵薄膜組件10的貼附狀態（安裝狀態）進行評價。首先，如圖9(a)表示的那樣，準備800x950x厚度10mm的石英玻璃組成的清浄的光掩模91，將其在檯子（未圖示）上以從垂直算起10°的傾斜狀態載置。進而，防塵薄膜組件支持裝置20，在使締結的防塵薄膜組件10向光掩模91接近的同時，邊進行位置調整邊以同樣的狀態接近，使其處於所定的貼附位置，如圖9(b)表示的那樣，使防塵薄膜組件10的光掩模黏著層13與光掩模91接觸。另外，光掩模黏著層13保護的剝離片15已經事前剝離。

然後，如圖9(c)表示的那樣，防塵薄膜組件支持裝置20被慢慢地傾斜移動，使締結裝置17從防塵薄膜組件10依次剝離，將防塵薄膜組件支持裝置20卸下。圖9(d)為，防塵薄膜組件支持裝置20卸下之後的防塵薄膜組件10的狀態。

進而，最後，將在光掩模91上暫時接著的防塵薄膜組件10用加壓裝置（未圖示）以加壓力120kgf加壓，使光掩模黏著層13以與光掩模91呈完全接著的狀態，對防塵薄膜組件10進行良好觀察，得知防塵薄膜組件框架11，在無変形地貼附的同時，防塵薄膜14也沒有發現褶皺以及鬆弛，被正常地安裝。

比較例中，將離焦距離間隙距離小，防塵薄膜組件框架的剛性低的與實施例相同的防塵薄膜組件用相同的工序製作，比較例的防塵薄膜組件，與實施例的防塵薄膜組件10相比，在防塵薄膜組件框架上防塵薄膜組件支持裝置沒有設置的點上不同。

再者，比較例中，該防塵薄膜組件框架也在其垂直方向的剛性低，由於不能處理，將防塵薄膜組件框架在鋁制的平板上載置的方式原封不動地進行防塵薄膜組件的製作。進而，該作制的防塵薄膜組件，以該狀態用集光燈向膜面照射，進行外觀以及異物的檢査，沒有看到特別的異常。

然後，為了將該防塵薄膜組件收納於與實施例相同的防塵薄膜組件收納容器70，操作者2名將防塵薄膜組件費力的抬起了，但是馬上就出現了防塵薄膜組件框架為扭曲，防塵薄膜發生了褶皺。因此，雖然想對光掩模的直接貼附進行評價，但是，由於該防塵薄膜組件在處理的階段發生了防塵薄膜組件框架的扭曲，以及防塵薄膜出現了褶皺，沒有能進行貼附操作。

10‧‧‧防塵薄膜組件
11‧‧‧防塵薄膜組件框架
12‧‧‧防塵薄膜接著層
13‧‧‧光掩模黏著層
14‧‧‧防塵薄膜
15‧‧‧剝離片
16‧‧‧支持體
17‧‧‧締結裝置
18‧‧‧把持部
20‧‧‧防塵薄膜組件支持裝置
60‧‧‧防塵薄膜組件支持裝置（圓形）
61‧‧‧支持體（圓形）
62‧‧‧締結裝置
70‧‧‧防塵薄膜組件收納容器
71‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體
72‧‧‧蓋體
73‧‧‧固定部
91‧‧‧光掩模

圖1是本發明的防塵薄膜組件的平面圖。 圖2是圖1的A-A截面圖。 圖3是圖1的B-B截面圖。 圖4是圖2的C部拡大圖。 圖5是本發明的矩形的防塵薄膜組件和用於該防塵薄膜組件的防塵薄膜組件支持裝置分離的狀態的斜視圖。 圖6是在圓形的防塵薄膜組件施用的防塵薄膜組件支持裝置的斜視圖。 圖7是防塵薄膜組件收納容器的斜視圖。 圖8是圖7的D-D截面圖。 圖9(a)~圖9(d)是本發明的防塵薄膜組件在光掩模上安裝的順序截面概大略圖。 圖10是「外尺寸對角長」的概大略圖。

10‧‧‧防塵薄膜組件

11‧‧‧防塵薄膜組件框架

12‧‧‧防塵薄膜接著層

13‧‧‧光掩模黏著層

14‧‧‧防塵薄膜

15‧‧‧剝離片

16‧‧‧支持體

17‧‧‧締結裝置

18‧‧‧把持部

20‧‧‧防塵薄膜組件支持裝置

Claims (7)

1. 一種防塵薄膜組件，其特徵在於，防塵薄膜組件框架的防塵薄膜接著層側設置有可裝可卸的防塵薄膜組件支持裝置，離焦距離間隙距離／外尺寸對角長的值為0.0001~0.003。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件，其中，所述防塵薄膜組件支持裝置由平板狀或者框狀的支持體構成，並通過在該支持體上設置的微黏著性物質，而在所述防塵薄膜組件框架的防塵薄膜接著層側被可裝可卸地設置。
3. 如申請專利範圍第2項所述的防塵薄膜組件，其中，所述微黏著性物質在所述支持體上被多處分割而配置。
4. 如申請專利範圍第2項或第3項所述的防塵薄膜組件，其中，所述微黏著性物質的黏著力，在垂直方向以0.5mm/s的速度剝離的情況下，為0.01~0.5N的範圍。
5. 如申請專利範圍第2項至第4項中任一項所述的防塵薄膜組件，其中，所述微黏著性物質為從矽樹脂或者聚氨酯樹脂選擇的凝膠狀物質。
6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的防塵薄膜組件，在所述防塵薄膜組件支持裝置中，設置有為了處理時使用的把持部。
7. 一種防塵薄膜組件的安裝方法，在如申請專利範圍第1項至第6項中的任一項所述的防塵薄膜組件被貼附於被安裝面之後，在所述防塵薄膜組件框架上被設置的上述防塵薄膜組件支持裝置被卸下。