JP6921412B2 - ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係るペリクル把持装置1の概略を示す正面図である。ペリクル把持装置1は、略鉛直方向に保持された略板状のマスクMに、ペリクル100を貼付するものである。マスクMは、図示しないマスク把持装置により略鉛直方向に保持されている。
10 :枠体
11、12:縦枠部
13、14:上枠部
15 :枠
15a :下端部
15b :上端部
16 :駆動部
20 :ペリクル把持部
21 :ペリクル把持部材
22 :駆動部材
22a :ロッド
22b :アクチュエータ
30 :計測部
31 :超音波センサ
32 :反射板
32a :反射部
33 :アクチュエータ
100 :ペリクル
101 :ペリクルフレーム
101a :上面
101b :下面
101c :外周面
101d :溝
101e :中空部
102 :ペリクル膜
103 :粘着部材
151 :CPU
151a :制御部
152 :RAM
153 :ROM
154 :入出力インターフェース
155 :通信インターフェース
156 :メディアインターフェース
161 :入出力装置
162 :ネットワーク
163 :記憶媒体
Claims (7)
- 略中空筒状のペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの外周面と略直交する第1面に前記ペリクルフレームの中空部を覆うように設けられたペリクル膜と、前記第1面と略平行な第2面に設けられた粘着部材と、を有するペリクルを把持し、前記ペリクルを略鉛直方向に保持された略板状のマスクに貼付するペリクルフレーム把持装置であって、
複数の棒材を略矩形形状に組み合わせた枠状の部材である枠体と、
前記枠体に設けられ、前記ペリクルフレームの前記外周面を把持するペリクル把持部と、
前記枠体に設けられた計測部と、
前記枠体、前記ペリクル把持部及び前記計測部を制御する制御部と、を備え、
前記計測部は、先端近傍が前記マスクと重なる第1位置と、前記先端近傍が前記ペリクルフレームと重なる第2位置との間で移動可能に設けられ、
前記棒材の延設方向と略直交する方向からみて、前記ペリクル把持部と前記計測部とは異なる位置に設けられ、
前記制御部は、前記ペリクル把持部が前記ペリクルフレームを把持し、かつ前記枠体を略垂直方向に延設して前記粘着部材と前記マスクとを当接させた状態で、前記計測部を前記第1位置に配置して前記マスクの表面までの距離である第1距離を測定し、前記計測部を前記第2位置に移動させて前記ペリクル膜までの距離である第2距離を測定する
ことを特徴とするペリクルフレーム把持装置。 - 前記ペリクル把持部は、前記外周面と当接する当接位置と、前記外周面と当接しない退避位置との間で水平方向又は垂直方向に移動可能に設けられたペリクル把持部材を有し、
前記枠体は、水平方向に移動可能であり、
前記制御部は、前記ペリクル把持部材を前記当接位置へ配置して前記ペリクルフレームを把持し、前記枠体を略垂直方向に延設した状態で前記枠体を水平方向に移動させて前記粘着部材と前記マスクとを当接させ、前記計測部を前記第1位置に配置して前記第1距離を測定し、前記計測部を前記第2位置に移動させて前記第2距離を測定し、前記第1距離と前記第2距離との差が閾値以下である場合に前記ペリクル把持部材を前記当接位置から前記退避位置へと移動可能とする
ことを特徴とする請求項1に記載のペリクルフレーム把持装置。 - 前記計測部は、前記粘着部材と前記マスクとを当接させるときの姿勢において、前記枠体の上側近傍かつ左端近傍に設けられた第1計測部と、前記枠体の上側近傍かつ右端近傍に設けられた第2計測部と、を有する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクルフレーム把持装置。 - 前記枠体は、前記粘着部材と前記マスクとを当接させるときの姿勢において、略鉛直に延設された略棒状の第1縦枠部及び第2縦枠部と、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部の上端近傍に略水平に延設された上枠部を有し、
前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部は、前記上枠部の延設方向に沿って移動可能であり、
前記上枠部は、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部の延設方向に沿って移動可能であり、
前記ペリクル把持部は、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部に設けられ、
前記計測部は、前記上枠部に設けられる
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のペリクルフレーム把持装置。 - 前記枠体は、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部の下端近傍に略水平に延設された下枠部を有し、
前記計測部は、前記下枠部に設けられた第3計測部を有する
ことを特徴とする請求項4に記載のペリクルフレーム把持装置。 - 前記枠体は、前記粘着部材と前記マスクとを当接させるときに、上端側における前記第2面と前記マスクとの距離が、下端側における前記第2面と前記マスクとの距離よりも近くなるように傾いている
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のペリクルフレーム把持装置。 - 略中空筒状のペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの外周面と略直交する第1面に前記ペリクルフレームの中空部を覆うように設けられたペリクル膜と、前記第1面と略平行な第2面に設けられた粘着部材と、を有するペリクルを把持し、略鉛直方向に保持された略板状のマスクに貼付するペリクルフレーム把持方法であって、
枠体に水平方向に移動可能に設けられたペリクル把持部材を、前記外周面と当接する当接位置に配置して前記ペリクルフレームを把持し、
前記ペリクルフレームを把持した状態で前記枠体を平行移動させて前記粘着部材と前記マスクと当接させ、
前記枠体に設けられた計測部を、先端近傍が前記マスクと重なる第1位置に配置して、前記マスクの表面までの距離である第1距離を測定し、
前記計測部を、前記先端近傍が前記ペリクルフレームと重なる第2位置に移動させて、前記ペリクル膜までの距離である第2距離を測定し、
前記第1距離と前記第2距離との差が閾値以下である場合に、前記ペリクル把持部材を前記当接位置から前記外周面と当接しない退避位置へと移動可能とする
ことを特徴とするペリクルフレーム把持方法。
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