JP6921412B2 - ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法 - Google Patents

ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法 Download PDF

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Description

本発明は、ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法に関する。
特許文献1には、ペリクル把持部材をペリクルフレーム周縁に形成された溝に挿入することでペリクルを把持し、把持したペリクルと略鉛直方向に把持されたフォトマスクとの位置あわせを行い、ペリクルをフォトマスクに押圧することでペリクルをフォトマスクに貼付するペリクルフレーム把持装置が開示されている。
国際公開第2016/133054号
特許文献1に記載の発明では、ペリクルをフォトマスクに貼付した後にペリクル把持部材を溝から抜くことでペリクルをアンクランプするが、ペリクルがフォトマスクに確実に貼付されていない状態でペリクルがアンクランプされると、ペリクルが落下してしまうおそれがある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ペリクルがマスクに確実に貼付されていることを確認することができるペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明に係るペリクルフレーム把持装置は、例えば、略中空筒状のペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの外周面と略直交する第1面に前記ペリクルフレームの中空部を覆うように設けられたペリクル膜と、前記第1面と略平行な第2面に設けられた粘着部材と、を有するペリクルを把持し、前記ペリクルを略鉛直方向に保持された略板状のマスクに貼付するペリクル把持装置であって、複数の棒材を略矩形形状に組み合わせた枠状の部材である枠体と、前記枠体に設けられ、前記ペリクルフレームの前記外周面を把持するペリクル把持部と、前記枠体に設けられた計測部と、前記枠体、前記ペリクル把持部及び前記計測部を制御する制御部と、を備え、前記計測部は、先端近傍が前記マスクと重なる第1位置と、前記先端近傍が前記ペリクルフレームと重なる第2位置との間で移動可能に設けられ、前記棒材の延設方向と略直交する方向からみて、前記ペリクル把持部と前記計測部とは異なる位置に設けられ、前記制御部は、前記ペリクル把持部が前記ペリクルフレームを把持し、かつ前記枠体を略垂直方向に延設して前記粘着部材と前記マスクとを当接させた状態で、前記計測部を前記第1位置に配置して前記マスクの表面までの距離である第1距離を測定し、前記計測部を前記第2位置に移動させて前記ペリクル膜までの距離である第2距離を測定することを特徴とする。
本発明に係るペリクルフレーム把持装置によれば、粘着部材とマスクとを当接させ、計測部を先端近傍がマスクと重なる第1位置に配置してマスクの表面までの距離である第1距離を測定し、計測部を先端近傍が前記ペリクルフレームと重なる第2位置に移動させてペリクル膜までの距離である第2距離を測定する。これにより、ペリクルがマスクに確実に貼付されていることを確認することができる。
前記ペリクル把持部は、前記外周面と当接する当接位置と、前記外周面と当接しない退避位置との間で水平方向又は垂直方向に移動可能に設けられたペリクル把持部材を有し、前記枠体は、水平方向に移動可能であり、前記制御部は、前記ペリクル把持部材を前記当接位置へ配置して前記ペリクルフレームを把持し、前記枠体を略垂直方向に延設した状態で前記枠体を水平方向に移動させて前記粘着部材と前記マスクとを当接させ、前記計測部を前記第1位置に配置して前記第1距離を測定し、前記計測部を前記第2位置に移動させて前記第2距離を測定し、前記第1距離と前記第2距離との差が閾値以下である場合に前記ペリクル把持部材を前記当接位置から前記退避位置へと移動可能としてもよい。これにより、ペリクルがマスクに確実に貼付されていない状態(第1距離と第2距離との差が閾値以下でない場合)に、ペリクルがアンクランプされて落下してしまうことを防止することができる。
前記計測部は、前記粘着部材と前記マスクとを当接させるときの姿勢において、前記枠体の上側近傍かつ左端近傍に設けられた第1計測部と、前記枠体の上側近傍かつ右端近傍に設けられた第2計測部と、を有してもよい。これにより、計測部は、マスクやペリクルの上端部、かつ左右両端近傍の点を測定することができる。また、ペリクルをマスクに貼付するとき、ペリクルの一端が貼付されており、ペリクルの他端が貼付されていないという不具合を見つけることができる。
前記枠体は、前記粘着部材と前記マスクとを当接させるときの姿勢において、略鉛直に延設された略棒状の第1縦枠部及び第2縦枠部と、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部の上端近傍に略水平に延設された上枠部を有し、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部は、前記上枠部の延設方向に沿って移動可能であり、前記上枠部は、前記前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部の延設方向に沿って移動可能であり、前記ペリクル把持部は、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部に設けられ、前記計測部は、前記上枠部に設けられてもよい。これにより、第1縦枠部、第2縦枠部、上枠部により構成される枠の大きさを変化させて、様々な大きさのペリクルに対応することができる。また、ペリクルの大きさに関わらず、ペリクルの上端近傍の位置でペリクル膜の高さを測定することができる。
前記枠体は、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部の下端近傍に略水平に延設された下枠部を有し、前記計測部は、前記下枠部に設けられた第3計測部を有してもよい。これにより、ペリクルが貼付されているかどうかをより確実に確認することができる。
前記枠体は、前記粘着部材と前記マスクとを当接させるときに、上端側における前記第2面と前記マスクとの距離が、下端側における前記第2面と前記マスクとの距離よりも近くなるように傾いていてもよい。これにより、粘着部材とマスクとが部分的に当接し、ペリクルをマスクに貼付できないという問題の発生を防止することができる。また、ペリクルの上端部をマスクに貼り付け、マスク及びペリクルの上端近傍においてマスクの表面の高さ及びペリクル膜の高さを測定した結果に基づいてペリクルがマスクに貼付されたかどうか判定することで、ペリクルの貼り付け状態を正確に判定することができる。
上記課題を解決するために、本発明に係るペリクルフレーム把持方法は、例えば、略中空筒状のペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの外周面と略直交する第1面に前記ペリクルフレームの中空部を覆うように設けられたペリクル膜と、前記第1面と略平行な第2面に設けられた粘着部材と、を有するペリクルを把持し、略鉛直方向に保持された略板状のマスクに貼付するペリクル把持方法であって、枠体に水平方向に移動可能に設けられたペリクル把持部材を、前記外周面と当接する当接位置に配置して前記ペリクルフレームを把持し、前記ペリクルフレームを把持した状態で前記枠体を平行移動させて前記粘着部材と前記マスクと当接させ、前記枠体に設けられた計測部を、先端近傍が前記マスクと重なる第1位置に配置して、前記マスクの表面までの距離である第1距離を測定し、前記計測部を、前記先端近傍が前記ペリクルフレームと重なる第2位置に移動させて、前記ペリクル膜までの距離である第2距離を測定し、前記第1距離と前記第2距離との差が閾値以下である場合に、前記ペリクル把持部材を前記当接位置から前記外周面と当接しない退避位置へと移動可能とすることを特徴とする。
本発明によれば、ペリクルがフォトマスクに確実に貼付されていることを確認することができる。
第1の実施の形態に係るペリクル把持装置1の概略を示す正面図である。 ペリクル100の概略を示す斜視図である。 図2のA−A断面図である。 ペリクル把持部20の概略を示す図である。 計測部30が第1位置に位置する状態を模式的に示す図である。 計測部30が第2位置に位置する状態を模式的に示す図である。 ペリクル把持装置1の電気的な構成を示すブロック図である。 ペリクル把持装置1が行う処理の流れを示すフローチャートである。 ステップS107の処理の流れを示すフローチャートである。 ステップS107に示す検査時の様子を示す模式図である。 ステップS107に示す検査時の様子を示す模式図である。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、重複する部分については説明を省略する。
<第1の実施の形態>
図1は、第1の実施の形態に係るペリクル把持装置1の概略を示す正面図である。ペリクル把持装置1は、略鉛直方向に保持された略板状のマスクMに、ペリクル100を貼付するものである。マスクMは、図示しないマスク把持装置により略鉛直方向に保持されている。
まず、ペリクル100について説明する。図2は、ペリクル100の概略を示す斜視図である。図3は、図2のA−A断面図である。ペリクル100は、主として、ペリクルフレーム101と、ペリクルフレーム101の上に張設されたペリクル膜102と、ペリクルフレーム101に下面に形成された粘着部材103(図3参照)と、を有する。
ペリクルフレーム101は、略矩形の外周を有する枠状(略中空筒状)であり、金属、例えば、鉄、アルミ等で形成される。ペリクルフレーム101は、平面視(図2の紙面上方から見て)略矩形形状であり、中央部に中空部101eを有する。ペリクルフレーム101には、中空部101eを覆うようにペリクル膜102が設けられる。ペリクルフレーム101は、中空部101eの大きさがフォトマスクの大きさ(例えば520mm×800mm〜1620mm×1780mm程度)と同程度である。ペリクルフレーム101の枠状の部分の幅は数十mm程度であり、厚さは2mm〜10mm程度である。
ペリクルフレーム101は、略平行な上面101a及び下面101bを有する。また、ペリクルフレーム101の上面101a及び下面101bに直交する外周面101cは、溝101dを含む。溝101dは、外周面101cに沿って形成されており、高さ及び深さが2mm程度である。溝101dには、枠体10に設けられるペリクル把持部材21(後に詳述)が挿入される。
ペリクル膜102は、サブミクロンの厚さの薄膜である。ペリクル膜102は、ペリクルフレーム101の上面101aに、ペリクルフレーム101の中空部101eを覆うように張設される。ペリクルフレーム101がフォトマスク基板上に貼付されると、ペリクル膜102は、マスクMのパターン形成面(表面)と所定の間隔で設けられる。
粘着部材103は、ペリクルフレーム101の下面101bに設けられる。粘着部材103は、ペリクルフレーム101の全周に、額縁状に形成されている。また、粘着部材103は、ペリクルフレーム101からはみ出さないように設けられる。
図1の説明に戻る。ペリクル把持装置1は、主として、枠体10と、ペリクル把持部20と、計測部30と、を有する。ペリクル把持部20及び計測部30は、枠体10に設けられる。
枠体10は、複数の棒材を略矩形形状に組み合わせた枠状の部材である。枠体10は、主として、縦枠部11、12と、上枠部13、14と、縦枠部11、12及び上枠部13、14の外側に設けられた枠15と、を有する。縦枠部11、12、上枠部13、14及び枠15は、金属、例えば、鉄、アルミニウム等で形成される。
縦枠部11、12は、図1に示すペリクル100をマスクMに貼付する(粘着部材103とマスクMとを当接させる)ときの姿勢において略鉛直に延設された略棒状の部材であり、長手方向がz方向に沿って設けられる。縦枠部11、12は、枠15の下端部15a及び上端部15bに沿って、すなわちx方向に沿って移動可能に設けられる。縦枠部11、12をx方向に移動させる機構は、既に公知の様々な技術を用いることができる。
上枠部13、14は、それぞれ、図1に示すペリクル100をマスクMに貼付するときの姿勢において、縦枠部11、12の上端近傍に略水平に延設された略棒状の部材であり、長手方向がx方向に沿って設けられる。上枠部13、14は、それぞれ、縦枠部11、12に沿って、すなわちz方向に沿って移動可能に設けられる。上枠部13、14をz方向に移動させる機構は、既に公知の様々な技術を用いることができる。
なお、上枠部13、14の形態はこれに限られない。例えば、上枠部が略水平に延設された1本の棒材からなり、この1本の棒材の両端近傍が縦枠部11、12に設けられていてもよい。
このように縦枠部11、12及び上枠部13、14を移動可能とすることで、縦枠部11、12、上枠部13、14及び下端部15aにより構成される枠の大きさを変化させて、様々な大きさのペリクル100に対応することができる。なお、ペリクル100は、例えば、420mm×720mmの大きさのもの、700mm×800mmの大きさのもの、520mm×680mmの大きさのもの、750mm×1300mmの大きさのもの、1520mm×1680mmの大きさのものが挙げられる。
枠体10は、図示しない移動機構により水平方向に移動可能に設けられている。ペリクル100をマスクMに貼付するときには、枠体10は+y方向に平行移動する。枠体10は、駆動部16(図7参照)と、枠体10を水平方向に移動させる機構と、を有する。枠体10を水平方向に移動させる機構は公知であるため、説明を省略する。
また、枠体10は、下端部近傍に図示しない回動軸が設けられる。枠体10は、回動軸を中心に、枠15により形成される面が略水平(xy平面と略平行)となる位置と、枠15により形成される面が略鉛直(xz平面と略平行)となる位置との間で回動可能である。図1では、枠体10がペリクル100を把持した状態において、上端側(+z側)における下面101b(図1における紙面奥側)とマスクMとの距離が、下端側(−z側)における下面101bと前記マスクとの距離よりも近くなるように鉛直方向に対して枠体10が傾いている。
ペリクル把持部20は、ペリクルフレーム101の外周面101cを把持するペリクル把持部材21を複数有する。ペリクル把持部材21は、縦枠部11、12、上枠部13、14、下端部15a及び上端部15bに設けられる。
図1に示す例では、縦枠部11、12には、それぞれ5個のペリクル把持部材21が設けられ、上枠部13、14には、それぞれ1個のペリクル把持部材21が設けられ、下端部15aには、5個のペリクル把持部材21が設けられ、上端部15bには、1個のペリクル把持部材21が設けられるが、ペリクル把持部材21の位置及び数はこれに限られない。
ペリクル100の大きさによって、使用するペリクル把持部材21が異なる。図1においては、枠体10に設けられたペリクル把持部材21のうち、ペリクル100(ここでは、外周面101c)に当接しているペリクル把持部材21のみが使用されている。
ペリクル把持部材21は、外周面101cに当接する当接位置と、外周面101cに当接しない退避位置との間で水平方向又は垂直方向に移動可能に設けられる。図4は、ペリクル把持部20の概略を示す図である。
ペリクル把持部材21は、金属製の板材により形成される。なお、ペリクル把持部材21は、板状の部材に限らず、例えば棒状の部材を用いて形成してもよい。
ペリクル把持部材21には、駆動部材22が設けられる。駆動部材22は、ロッド22aと、ロッド22aを移動させるアクチュエータ22bと、を有する。ペリクル把持部材21は、ロッド22aに連結されている。アクチュエータ22bは、枠体10(図4では図示省略)に設けられる。
ペリクル把持部材21は、駆動部材22により、ペリクル把持部材21が溝101dに挿入される挿入位置(図4実線参照)と、ペリクル把持部材21が溝101dに挿入されず、ペリクル把持部材21がペリクルフレーム101と干渉しない退避位置(図4一点鎖線参照)と、の間で水平方向に移動される。
ペリクル把持部材21の先端は、樹脂(例えば、超高分子量ポリエチレン)で形成されたシート等により覆われる。これにより、ペリクル把持部材21が溝101dに挿入されたときに、ペリクル把持部材21やペリクルフレーム101が削れて塵埃が発生することを防止できる。
図1の説明に戻る。計測部30は、マスクMやペリクルフレーム101の高さ(y方向の位置)を測定する。計測部30は、枠体10、ここでは上枠部13、14に設けられる。計測部30は、ペリクル把持部材21と干渉しない位置に設けられる。言い換えれば、枠体10を構成する棒材(例えば、上枠部13、14)の延設方向と略直交する方向(ここでは、y方向)からみて、計測部30とペリクル把持部材21とは異なる位置に設けられる。
計測部30は、先端近傍がマスクMと重なる第1位置(図1実線参照)と、先端近傍がペリクルフレーム101と重なる第2位置(図1二点鎖線参照)との間で垂直方向に移動可能に設けられる。
上枠部13に設けられた計測部30は、縦枠部11の近傍に設けられ、上枠部14に設けられた計測部30は、縦枠部12の近傍に設けられる。言い換えれば、2つの計測部30は、それぞれ、枠体10の上側近傍かつ左端近傍に設けられ、かつ、枠体10の上側近傍かつ右端近傍に設けられている。これにより、計測部30は、マスクMやペリクルフレーム101の上端部、かつ左右両端近傍の点を測定することができる。ただし、計測部30が設けられる位置及び数は、図1に示す形態に限られない。
図5は、計測部30が第1位置に位置する状態を模式的に示す図である。図6は、計測部30が第2位置に位置する状態を模式的に示す図である。
計測部30は、主として、超音波センサ31と、反射板32と、を有する。超音波センサ31は、超音波を対象物に向けて発信してその反射波を受信し、信号発信と反射波受信との時間間隔に基づいて、目標物までの距離を測定する測距センサである。超音波センサ31は、すでに公知であるため、詳細な説明を省略する。
反射板32は、超音波センサ31から発信された超音波を反射する。反射板32の反射部32aをyz平面上で斜め45度に設けることで、反射部32aにおいて、超音波センサ31から下向き(−z向き)に発信された超音波が+y方向に向かうように反射される(図5、6における2点鎖線参照)。
なお、本実施の形態では、計測部30が超音波センサ31を有したが、距離を求めるためのセンサは超音波センサ31に限られない。測距センサとして、光を用いて距離を求める光学式センサや、渦電流式のセンサを用いてもよい。光学式センサとしては、例えば、レーザを用いるレーザ変位センサや、三角測距式光学センサを用いることができる。ただし、計測部30として非接触式のセンサを用いることが望ましい。また、本実施の形態では、反射板32を設けたが、反射板32を用いなくてもよい。この場合には、超音波センサ31を、超音波が+y方向に発信されるように設ければよい。
計測部30は、アクチュエータ33を有する。アクチュエータ33は、超音波センサ31及び反射板32を、第1位置と第2位置との間でz方向(垂直方向)に沿って移動させる。
図5では、計測部30の計測位置(ここでは、計測部30の先端(−z端))近傍がマスクMと重なっている。したがって、超音波センサ31から発信された超音波はマスクMの表面Maに当たり、計測部30は反射部32aと表面Maとの距離、すなわち表面Maの高さ(y方向の位置)を測定する。
図6では、計測部30の計測位置(ここでは、計測部30の先端(−z端))近傍がペリクルフレーム101と重なっている。したがって、超音波センサ31から発信された超音波はペリクル膜102に当たり、計測部30は反射部32aとペリクル膜102との距離、すなわちペリクル膜102の高さを測定する。ペリクル100がマスクMに貼付されている場合には、ペリクル膜102の高さとペリクル膜102の高さとの差が閾値以下となる。
図7は、ペリクル把持装置1の電気的な構成を示すブロック図である。ペリクル把持装置1は、CPU(Central Processing Unit)151と、RAM(Random Access Memory)152と、ROM(Read Only Memory)153と、入出力インターフェース(I/F)154と、通信インターフェース(I/F)155と、メディアインターフェース(I/F)156と、を有し、これらは駆動部16、アクチュエータ22b、計測部30等と互いに接続されている。
CPU151は、RAM152、ROM153に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。CPU151には、駆動部16、アクチュエータ22b、計測部30から信号が入力される。CPU151から出力された信号は、駆動部16、アクチュエータ22b、計測部30に出力される。
RAM152は、揮発性メモリである。ROM153は、各種制御プログラム等が記憶されている不揮発性メモリである。CPU151は、RAM152、ROM153に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。また、ROM153は、ペリクル把持装置1の起動時にCPU151が行うブートプログラムや、ペリクル把持装置1のハードウェアに依存するプログラムなどを格納する。また、RAM152は、CPU151が実行するプログラム及びCPU151が使用するデータなどを格納する。
CPU151は、入出力インターフェース154を介して、キーボードやマウス等の入出力装置161を制御する。通信インターフェース155は、ネットワーク162を介して他の機器からデータを受信してCPU151に送信すると共に、CPU151が生成したデータを、ネットワーク162を介して他の機器に送信する。
メディアインターフェース156は、記憶媒体163に格納されたプログラム又はデータを読み取り、RAM152に格納する。なお、記憶媒体163は、例えば、ICカード、SDカード、DVD等である。
なお、各機能を実現するプログラムは、例えば、記憶媒体163から読み出されて、RAM152を介してペリクル把持装置1にインストールされ、CPU151によって実行される。
CPU151は、入力信号に基づいてペリクル把持装置1の各部を制御する制御部151aの機能を有する。制御部151aは、CPU151が読み込んだ所定のプログラムを実行することにより構築される。制御部151aが行う処理については、後に詳述する。
図7に示すペリクル把持装置1の構成は、本実施形態の特徴を説明するにあたって主要構成を説明したのであって、例えば一般的な情報処理装置が備える構成を排除するものではない。図7に示す機能構成は、ペリクル把持装置1の構成を理解しやすくするために分類したものであり、構成要素の分類の仕方や名称は図7に記載の形態に限定されない。ペリクル把持装置1の構成は、処理内容に応じてさらに多くの構成要素に分類してもよいし、1つの構成要素が複数の構成要素の処理を実行してもよい。
このように構成されたペリクル把持装置1の作用について説明する。図8は、ペリクル把持装置1が行う処理の流れを示すフローチャートである。以下の処理は、主として制御部151aによって行われる。
まず、制御部151aは、アクチュエータ22bを制御してペリクル把持部材21を退避位置から挿入位置へ移動させて、ペリクル把持部材21を溝101dに挿入する(ステップS101)。制御部151aは、ステップS101の処理を、ペリクル把持部材21毎に行う。これにより、ペリクル把持装置1がペリクル100を把持する。退避位置と挿入位置との間でペリクル把持部材21を移動させる量は、予め設定されており、ROM153に格納されている。
制御部151aは、駆動部16を駆動して枠体10を略垂直向きに回動させる(ステップS102)。枠体10はペリクル100を把持しているため、枠体10と一緒にペリクル100も回動している。次に、制御部151aは、図示しない検査部を用いて、枠体10に把持されたペリクル100を検査する(ステップS103)。検査部は、レーザービーム等を発信する発信部を有し、すでに公知の様々な方法を用いてペリクル100を検査する。ステップS103は既に公知であるため、説明を省略する。
検査処理(ステップS103)によりペリクル100に異常がないことが確認できたら、制御部151aは、駆動部16を用いて、枠体10をマスクMが載置されている装置内へ平行移動させる(ステップS104)。そして、マスクMとペリクル100との位置あわせ(アライメント)を行う(ステップS105)。ステップS104、S105では、制御部151aは、駆動部16を介して枠体10を回動させ、上端側における下面101b(すなわち、粘着部材103)とマスクMとの距離が、下端側における下面101b(すなわち、粘着部材103)とマスクMとの距離よりも近くなるように枠体10を傾ける。この傾きは、鉛直方向に対して微小角度である。
アライメント(ステップS105)の次に、制御部151aは、ペリクル100をフォトマスクに貼付する(ステップS106)。ステップS106は、いわゆる仮貼り工程である。
制御部151aは、駆動部16を介して、枠体10を鉛直方向に対して微小角度だけ傾けた状態で枠体10を平行移動(ここでは、+y方向に移動)させて、ペリクル100をマスクMに近づける。すると、ペリクル100とマスクMとが当接する。制御部151aは、そのままペリクル100をマスクMに近づける方向(+y方向)へ移動させる。しかしながら、ペリクル100とマスクMとが当接しているため、ペリクル100がマスクMに押圧され、粘着部材103によりペリクル100がマスクMに貼り付けられる。
貼付工程(ステップS106)では、ペリクル100は、マスクMに対して微小角度だけ傾いている。それに対し、ペリクル100がマスクMに対して傾いておらず略平行な場合には、ペリクル100の歪み等が原因で粘着部材103とマスクMとが部分的にのみ当接するため、ペリクル100をマスクMに貼付できない可能性がある。したがって、ペリクル100をマスクMに対して微小角度だけ傾けることが望ましい。
次に、制御部151aは、計測部30を用いてペリクル100がマスクMに貼付されているか否か検査を行なう(ステップS107)。図9は、ステップS107の処理の流れを示すフローチャートである。
まず、制御部151aは、図5に示すように計測部30を第1位置に配置する。そして、超音波センサ31から超音波を発信して、マスクMの表面Maの高さ(y方向の位置)を測定する(ステップS201)。
次に、制御部151aは、アクチュエータ33を介して超音波センサ31及び反射板32を移動させ、図6に示すように計測部30を第2位置に配置する。そして、超音波センサ31から超音波を発信して、ペリクル膜102の高さ(y方向の位置)を測定する(ステップS202)。なお、第1位置から第2位置へと超音波センサ31及び反射板32を移動させる距離は、あらかじめ設定されており、ROM153に格納されている。
その後、制御部151aは、マスクMの高さと、ペリクル膜102の高さとの差と、閾値Tとを比較する(ステップS203)。閾値Tは、あらかじめ任意の値に設定しておく。例えば、ペリクルフレーム101の厚さが略7mm、粘着部材103の厚さが略1mmである場合には、閾値Tは略8mmである。閾値Tに関する情報(ここでは、値)は、ROM153に格納されている。
制御部151aは、ステップS203における比較結果に基づいて、ペリクル100の貼り付け状態を判定する(ステップS204)。制御部151aは、マスクMの高さと、ペリクル膜102の高さとの差が閾値以下でない場合(ステップS204で「いいえ」)には、ペリクル100がマスクMに貼付されていないと判定する。ペリクル100がマスクMに貼付されていない場合には、制御部151aは、枠体10を平行移動させてペリクル100をマスクMに近づける処理(ステップS106)に戻り、再度ステップS107の貼付検査処理を行う。ステップS106、S107を数回繰り返しても、マスクMの高さとペリクル膜102の高さとの差が閾値以下でない場合には、制御部151aは処理を停止する。
制御部151aは、マスクMの高さとペリクル膜102の高さとの差が閾値以下である場合(ステップS204で「はい」)には、ペリクル100がマスクMに貼付されていると判定し、ペリクル100の把持を解除する(ステップS108、図8参照)。ステップS108では、制御部151aは、アクチュエータ22bを制御してペリクル把持部材21を挿入位置から退避位置へ移動させて、ペリクル把持部材21の先端が溝101dと当接しないようにする。
そして制御部151aは、図8に示す一連の処理を終了する。当該一連の処理が終了したら、制御部151aは、図示しない押圧部を用いてペリクル100の四隅をマスクMに向けて押圧し、ペリクル100をマスクMに貼付する(いわゆる本貼り)。
図10、11は、ステップS107に示す検査時の様子を示す模式図である。図10の破線は、ペリクル膜102が設けられていないときのペリクルフレーム101の様子を示し、図10の実線は、ペリクル膜102が設けられているときのペリクルフレーム101の様子を示す。ペリクルフレーム101にペリクル膜102が設けられると、ペリクル膜102の張力により、ペリクルフレーム101の中心軸に沿ってみたときに、ペリクルフレーム101の各辺の中央部分が内側に入り込んでいる。本実施の形態では、計測部30が枠体10(図10では図示省略)の上側近傍かつ左右両端近傍に設けられており、計測部30がペリクル100の上端近傍かつ左右両端近傍の高さを測定するため、ペリクルフレーム101が変形したとしても、第2位置において計測部30がペリクル膜102の高さを測定することができる。
また、図11に示すように、ペリクル100をマスクMに貼付するとき、ペリクル100の一端(例えば、+x側の端)が貼付されており、ペリクル100の他端(例えば、−x側の端)が貼付されていないという不具合が発生した場合を想定する。本実施の形態では、計測部30がペリクル100の上端近傍かつ左右両端近傍の高さを測定するため、このような不具合が発生すると、一方の計測部30(ここでは、+x側の計測部30)では、マスクMの高さとペリクル膜102の高さとの差が閾値以下になるが、他方の計測部30(ここでは、−x側の計測部30)では、マスクMの高さとペリクル膜102の高さとの差が閾値以下にならない。したがって、上枠部13に設けられた計測部30を縦枠部11の近傍に設け、上枠部14に設けられた計測部30を縦枠部12の近傍に設けることで、このような不具合を検知することができる。
本実施の形態によれば、ペリクル100がマスクMに確実に貼付されていることを確認することができる。したがって、ペリクル100がマスクMに確実に貼付されていない状態でペリクル100がアンクランプされ、ペリクル100が落下してしまうことを防止することができる。
例えば枠体10を移動させるモータ等の座標でペリクル100の貼付状態を確認する場合には、ペリクル把持部材21の損傷等によりペリクル100とマスクMとの位置関係が想定と異なり、ペリクル100がマスクMに貼付されていない状態でペリクル100をアンクランプしてしまうおそれがある。特にサイズの大きいペリクル100の場合には、ペリクル100を1枚落下させることで1000万円程度の多額の損失が発生してしまう。したがって、本実施の形態のように、ペリクル100がマスクMに確実に貼付されていることを確認することで、無駄なコストを削減することができる。
また、本実施の形態によれば、マスクMの表面Maとペリクル100との距離を実際に測定して貼り付け状態を確認するため、ペリクル把持装置1が様々な厚さのペリクルフレーム101を取り扱う場合にも容易に対応することができる。
また、本実施の形態によれば、枠体10、すなわちペリクル100を鉛直方向に対して微小角度だけ傾けた状態で平行移動させて粘着部材103をマスクMに押圧することで、ペリクル100の上端部をマスクMに貼り付け、マスクM及びペリクル100の上端近傍において表面Maの高さ及びペリクル膜102の高さを測定した結果に基づいてペリクル100がマスクMに貼付されたかどうかを判定するため、ペリクル100の貼り付け状態を正確に判定することができる。
なお、本実施の形態では、ペリクル把持装置1が計測部30を2個有し、2個の計測部30が枠体10の上側近傍かつ左右両端近傍に設けられたが、計測部30が設けられる位置及び数はこれに限られない。2個の計測部30は、上枠部13、14ではなく、縦枠部11、12の上端近傍に設けられていてもよい。この場合には、アクチュエータ33は、超音波センサ31及び反射板32を、第1位置と第2位置との間でx方向(水平方向)に沿って移動させればよい。
また例えば、ペリクル把持装置1が、計測部30を3個有し、3個の計測部30が上枠部13、14及び下端部15aに設けられていてもよい。ペリクル100の上下端近傍においてペリクル膜102の高さを測定することで、ペリクル100が貼付されているかどうかをより確実に確認することができる。この場合、ペリクル100をマスクMに当接させるときは、上端側における下面101bとマスクMとの距離が、下端側における下面101bとマスクMとの距離よりも近いため、ステップS203、204において、下端側の閾値を上端側の閾値より大きくする。なお、下端部15aに設けられる計測部30は、下端部15aのx方向略中央部に配置することが望ましい。
また例えば、計測部30は、上枠部13、14ではなく、上端部15bに設けられていてもよい。上端部15bに計測部30を設けるため、ペリクル100の上端近傍の位置でペリクル膜102の高さを測定することができる。上端部15bに設けられる計測部30が1個である場合には、計測部30は、枠体10の中央近傍に設けることが望ましい。ただし、ペリクル100の一部(例えば+x端)がマスクMに貼付されており、他の部分(例えば−x端)がマスクMに貼付されていない状態を検知するためには、計測部30を、枠体10の上側かつ左右両端近傍に設けることが望ましい。
また、本実施の形態では、枠体10が様々な大きさのペリクル100を把持できるように、主として、縦枠部11、12や上枠部13、14が枠15に対して移動可能に設けられていたが、縦枠部11、12や上枠部13、14は必須ではない。例えば、枠体10が1種類のペリクル100を把持できればよい場合には枠15のみでよい。この場合には、計測部30は、ペリクル100の上側近傍かつ左右両端近傍の点を測定するため、枠15の上側にある2つの角の近傍に設けられていることが望ましい。
以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。当業者であれば、実施形態の各要素を、適宜、変更、追加、変換等することが可能である。
また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略平行とは、厳密に平行の場合には限られず、例えば数度程度の誤差を含む概念である。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、基準となる位置の近くのある範囲(任意に定めることができる)の領域を含むことを意味する。例えば、Aの近傍という場合に、Aの近くのある範囲の領域であって、Aを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。
1 :ペリクルフレーム把持装置
10 :枠体
11、12:縦枠部
13、14:上枠部
15 :枠
15a :下端部
15b :上端部
16 :駆動部
20 :ペリクル把持部
21 :ペリクル把持部材
22 :駆動部材
22a :ロッド
22b :アクチュエータ
30 :計測部
31 :超音波センサ
32 :反射板
32a :反射部
33 :アクチュエータ
100 :ペリクル
101 :ペリクルフレーム
101a :上面
101b :下面
101c :外周面
101d :溝
101e :中空部
102 :ペリクル膜
103 :粘着部材
151 :CPU
151a :制御部
152 :RAM
153 :ROM
154 :入出力インターフェース
155 :通信インターフェース
156 :メディアインターフェース
161 :入出力装置
162 :ネットワーク
163 :記憶媒体

Claims (7)

  1. 略中空筒状のペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの外周面と略直交する第1面に前記ペリクルフレームの中空部を覆うように設けられたペリクル膜と、前記第1面と略平行な第2面に設けられた粘着部材と、を有するペリクルを把持し、前記ペリクルを略鉛直方向に保持された略板状のマスクに貼付するペリクルフレーム把持装置であって、
    複数の棒材を略矩形形状に組み合わせた枠状の部材である枠体と、
    前記枠体に設けられ、前記ペリクルフレームの前記外周面を把持するペリクル把持部と、
    前記枠体に設けられた計測部と、
    前記枠体、前記ペリクル把持部及び前記計測部を制御する制御部と、を備え、
    前記計測部は、先端近傍が前記マスクと重なる第1位置と、前記先端近傍が前記ペリクルフレームと重なる第2位置との間で移動可能に設けられ、
    前記棒材の延設方向と略直交する方向からみて、前記ペリクル把持部と前記計測部とは異なる位置に設けられ、
    前記制御部は、前記ペリクル把持部が前記ペリクルフレームを把持し、かつ前記枠体を略垂直方向に延設して前記粘着部材と前記マスクとを当接させた状態で、前記計測部を前記第1位置に配置して前記マスクの表面までの距離である第1距離を測定し、前記計測部を前記第2位置に移動させて前記ペリクル膜までの距離である第2距離を測定する
    ことを特徴とするペリクルフレーム把持装置。
  2. 前記ペリクル把持部は、前記外周面と当接する当接位置と、前記外周面と当接しない退避位置との間で水平方向又は垂直方向に移動可能に設けられたペリクル把持部材を有し、
    前記枠体は、水平方向に移動可能であり、
    前記制御部は、前記ペリクル把持部材を前記当接位置へ配置して前記ペリクルフレームを把持し、前記枠体を略垂直方向に延設した状態で前記枠体を水平方向に移動させて前記粘着部材と前記マスクとを当接させ、前記計測部を前記第1位置に配置して前記第1距離を測定し、前記計測部を前記第2位置に移動させて前記第2距離を測定し、前記第1距離と前記第2距離との差が閾値以下である場合に前記ペリクル把持部材を前記当接位置から前記退避位置へと移動可能とする
    ことを特徴とする請求項1に記載のペリクルフレーム把持装置。
  3. 前記計測部は、前記粘着部材と前記マスクとを当接させるときの姿勢において、前記枠体の上側近傍かつ左端近傍に設けられた第1計測部と、前記枠体の上側近傍かつ右端近傍に設けられた第2計測部と、を有する
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクルフレーム把持装置。
  4. 前記枠体は、前記粘着部材と前記マスクとを当接させるときの姿勢において、略鉛直に延設された略棒状の第1縦枠部及び第2縦枠部と、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部の上端近傍に略水平に延設された上枠部を有し、
    前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部は、前記上枠部の延設方向に沿って移動可能であり、
    前記上枠部は、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部の延設方向に沿って移動可能であり、
    前記ペリクル把持部は、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部に設けられ、
    前記計測部は、前記上枠部に設けられる
    ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のペリクルフレーム把持装置。
  5. 前記枠体は、前記第1縦枠部及び前記第2縦枠部の下端近傍に略水平に延設された下枠部を有し、
    前記計測部は、前記下枠部に設けられた第3計測部を有する
    ことを特徴とする請求項4に記載のペリクルフレーム把持装置。
  6. 前記枠体は、前記粘着部材と前記マスクとを当接させるときに、上端側における前記第2面と前記マスクとの距離が、下端側における前記第2面と前記マスクとの距離よりも近くなるように傾いている
    ことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のペリクルフレーム把持装置。
  7. 略中空筒状のペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの外周面と略直交する第1面に前記ペリクルフレームの中空部を覆うように設けられたペリクル膜と、前記第1面と略平行な第2面に設けられた粘着部材と、を有するペリクルを把持し、略鉛直方向に保持された略板状のマスクに貼付するペリクルフレーム把持方法であって、
    枠体に水平方向に移動可能に設けられたペリクル把持部材を、前記外周面と当接する当接位置に配置して前記ペリクルフレームを把持し、
    前記ペリクルフレームを把持した状態で前記枠体を平行移動させて前記粘着部材と前記マスクと当接させ、
    前記枠体に設けられた計測部を、先端近傍が前記マスクと重なる第1位置に配置して、前記マスクの表面までの距離である第1距離を測定し、
    前記計測部を、前記先端近傍が前記ペリクルフレームと重なる第2位置に移動させて、前記ペリクル膜までの距離である第2距離を測定し、
    前記第1距離と前記第2距離との差が閾値以下である場合に、前記ペリクル把持部材を前記当接位置から前記外周面と当接しない退避位置へと移動可能とする
    ことを特徴とするペリクルフレーム把持方法。
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