JP2022101135A - ペリクルフレーム把持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ペリクルフレームが歪んでいてもペリクルフレームの把持を正確に行うことができる。【解決手段】複数の棒状部材を略矩形形状に組み合わせた枠状の部材である枠体と、枠体に設けられる複数のペリクル把持部材と、ペリクル把持部材毎に設けられた駆動部であって、ペリクル把持部材が溝に挿入される第１位置と、ペリクル把持部材が溝に挿入されない第２位置との間でペリクル把持部材を移動させる駆動部と、を備える。ペリクル把持部材は、ペリクル把持部材が第１位置にあるときに一部が溝に挿入される板状又は棒状の先端部を有する。先端部は、ペリクル把持部材が第１位置にあるときに溝に挿入される先端面であって、ペリクル把持部材の移動方向である第１方向と略直交する第２方向に延設された先端面を有する。先端部には、先端面からの距離を示すマーカが設けられている。【選択図】 図１

Description

本発明は、ペリクルフレーム把持装置に関する。

特許文献１には、枠体に設けられたペリクル把持部を用いてペリクルフレームを把持し、ペリクルの粘着部材とマスクとを当接させ、計測部を先端近傍がマスクと重なる第１位置に配置して、マスクの表面までの距離である第１距離を測定し、計測部を先端近傍がペリクルフレームと重なる第２位置に移動させて、ペリクル膜までの距離である第２距離を測定するペリクルフレーム把持装置が開示されている。

特開２０１９－１２８５０１号公報

特許文献１に記載の発明では、ペリクル膜までの距離等の高さ方向（ペリクル膜と略直交する方向）の距離については正確に測定可能であるが、深さ方向（ペリクル膜と略平行な方向）の距離については測定できず、ペリクルフレームが歪んでいる場合にはペリクルフレームの把持が正確に行えないおそれがある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ペリクルフレームを正確に把持できているかを把握することができるペリクルフレーム把持装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係るペリクルフレーム把持装置は、例えば、側面に溝が形成された略中空筒状のペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの前記側面と略直交する第１面に前記ペリクルフレームの中空部を覆うように設けられたペリクル膜と、を有するペリクルを把持するペリクル把持装置であって、複数の棒状部材を略矩形形状に組み合わせた枠状の部材である枠体と、前記枠体に設けられる複数のペリクル把持部材と、前記ペリクル把持部材毎に設けられた駆動部であって、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１位置と、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２位置との間で前記ペリクル把持部材を第１方向に移動させる駆動部と、を備え、前記ペリクル把持部材は、前記ペリクル把持部材が前記第１位置にあるときに一部が前記溝に挿入される板状又は棒状の先端部を有し、前記先端部には、前記先端部の前記第１方向における位置を示すマーカが設けられていることを特徴とする。

本発明に係るペリクルフレーム把持装置によれば、ペリクル把持部材は、ペリクルフレームの溝に一部が挿入される板状又は棒状の先端部を有する。先端部には、ペリクル把持部材の移動方向である第１方向におけるペリクル把持部材の位置を示すマーカが設けられている。これにより、先端部が溝に正確に挿入されているか、すなわち、ペリクルフレームを正確に把持できているか把握することができる。

前記先端部は、金属により形成され、前記先端部の表面にコーティング層が設けられることで、前記マーカが前記先端部に設けられてもよい。これにより、ペリクル把持部材にマーカを容易に設けることができる。

前記ペリクルフレームは、黒色アルマイト処理が施されたアルミニウム合金であり、前記コーティング層は黒色であってもよい。これにより、ペリクルフレームとマーカの色を一致させ、マーカの視認性を高めることができる。

前記先端部は、金属により形成され、前記先端部の表面の一部を削って凹部を形成することで、前記マーカが前記先端部に設けられていてもよい。これにより、先端部からマーカが消えないようにすることができる。

前記ペリクルフレームは、黒色アルマイト処理が施されたアルミニウム合金であり、前記マーカは、前記凹部の内部を黒く着色して形成されていてもよい。これにより、ペリクルフレームとマーカの色を一致させ、マーカの視認性を高めることができる。

前記先端部は、前記ペリクル把持部材が前記第１位置にあるときに前記溝に挿入される先端面であって、前記第１方向と略直交する第２方向に延設された先端面を有し、前記マーカは、前記先端面からの距離を示してもよい。これにより、先端面が溝の底面に当接しているか、すなわち、ペリクルフレームを正確に把持できているか把握することができる。

前記マーカは、前記先端面と、前記第２方向に略沿った仮想線である境界線であって、前記先端面から前記第１方向に所定距離離れた位置に配置された境界線とに挟まれた先端領域には設けなくてもよい。これにより、マーカが削れて塵埃が発生することを防ぐことができる。

前記先端部は、板状であり、前記マーカは、前記先端部の最も広い面に設けられており、前記マーカは、前記境界線に沿って並んだ第１マーカ、第２マーカ及び第３マーカを有し、前記第１マーカ、前記第２マーカ及び前記第３マーカは、それぞれ前記第１方向の長さが異なっていてもよい。これにより、更にどの程度先端部を移動させれば溝に先端部が正しく挿入されるかを容易に知ることができる。

前記マーカは、前記第１マーカ、前記第２マーカ及び前記第３マーカをそれぞれ２つずつ有し、前記第１マーカ、前記第２マーカ及び前記第３マーカは、前記ペリクル把持部材の長手方向に沿った中心線の両側にそれぞれ設けられていてもよい。これにより、反射板等が先端部の鉛直方向上側に設けられたとしても、マーカを確実に視認することができる。

前記マーカは、前記枠体を水平方向に延設したときに、上方又は斜め上方から視認できる位置に設けられていてもよい。これにより、マーカを容易に視認することができる。

前記マーカを撮像する撮像部を備え、前記撮像部は、前記枠体を水平方向に延設したときに、前記枠体よりも高い位置に設けられていてもよい。これにより、内部空間で作業者がマーカを目視する必要がなく、塵埃の発生を防ぐことができる。

前記枠体は、間隔をあけて略平行に保持される棒状の第１縦枠及び第２縦枠を有し、前記ペリクル把持部材は、前記第１縦枠及び前記第２縦枠のそれぞれに設けられ、前記撮像部は、前記第１縦枠及び前記第２縦枠に隣接してそれぞれ設けられており、前記撮像部は、鉛直方向上側から見たときに、前記第１縦枠と前記第２縦枠とに挟まれた領域の外側に設けられていてもよい。これにより、ペリクルフレームで遮られてマーカが撮像できない事態を避けることができる。

本発明によれば、ペリクルフレームを正確に把持できているか把握することができる。

第１の実施の形態に係るペリクル把持装置１の概略を示す正面図である。 ペリクル１００の概略を示す斜視図である。 図２のＡ－Ａ断面図である。 ペリクル把持部２０の概略を示す図である。 マーカ２３の一例を示す図である。 Ｇ１０サイズのガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されている様子を模式的に示す図である。 Ｇ１０サイズのガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていない様子を模式的に示す図である。 Ｇ１０サイズより小さいガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されている様子を模式的に示す図である。 Ｇ１０サイズより小さいガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていない様子を模式的に示す図である。 変形例に係るマーカ２３Ａの概略を示す図である。 変形例に係るマーカ２３Ｂの概略を示す図である。 斜め上方からマーカ２３Ｂを視認する様子を模式的に示す図である。 変形例に係るマーカ２３Ｃの概略を示す図である。 変形例に係るマーカ２３Ｄの概略を示す図である。 変形例に係るマーカ２３Ｅの概略を示す図である。 ペリクル把持装置２及びペリクル貼付装置３の概略を示す斜視図である。 ペリクル把持装置２及びペリクル貼付装置３の概略を示す平面図である。 撮像部３２が縦枠部１１に設けられたペリクル把持部材２１を撮像する様子を示す図であり、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は側面図である。 ペリクル１００が歪んでいる様子を模式的に示す図である。 ペリクル１００が歪んでいる様子を模式的に示す図である。

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、重複する部分については説明を省略する。

＜第１の実施の形態＞
図１は、第１の実施の形態に係るペリクル把持装置１の概略を示す正面図である。ペリクル把持装置１は、図示しないペリクル貼付装置内に設けられている。ペリクル貼付装置は、鉛直方向に略沿って保持された略板状のマスク（図示せず）にペリクル把持装置１が把持したペリクル１００を貼付するものである。

以下、水平方向をｘｙ平面に沿った方向とし、ｘｙ平面と直交する鉛直方向をｚ方向とする。また、ｘ方向とｙ方向とは直交する。

まず、ペリクル１００について説明する。図２は、ペリクル１００の概略を示す斜視図である。図３は、図２のＡ－Ａ断面図である。ペリクル１００は、主として、ペリクルフレーム１０１と、ペリクルフレーム１０１の上に張設されたペリクル膜１０２と、ペリクルフレーム１０１の下面に形成された粘着部材１０３（図３参照）と、を有する。

ペリクルフレーム１０１は、略矩形の外周を有する枠状（略中空筒状）の部材である。ペリクルフレーム１０１は、平面視（図２の紙面上方から見て）略矩形形状であり、中央部に中空部１０１ｅを有する。ペリクルフレーム１０１は、中空部１０１ｅの大きさがフォトマスクの大きさ（例えば５２０ｍｍ×８００ｍｍ～１６２０ｍｍ×１７８０ｍｍ程度）と同程度である。ペリクルフレーム１０１の枠状の部分の幅は数十ｍｍ程度であり、厚さは２ｍｍ～１０ｍｍ程度である。

ペリクルフレーム１０１は、略平行な上面１０１ａ及び下面１０１ｂを有する。また、ペリクルフレーム１０１の上面１０１ａ及び下面１０１ｂに直交する側面１０１ｃには、溝１０１ｄが形成されている。溝１０１ｄには、枠体１０に設けられるペリクル把持部材２１（後に詳述）が挿入される。

溝１０１ｄは、ペリクルフレーム１０１の大きさによって異なる。例えば、Ｇ１０ガラス（１６２０ｍｍ×１７８０ｍｍ）用のペリクルフレーム１０１の場合には、深さｄが略３ｍｍであり、幅ｗが略１．５ｍｍ～２ｍｍである。また、Ｇ１０よりも小型のガラス用のペリクルフレーム１０１の場合には、深さｄが略２ｍｍであり、幅ｗが略１．５ｍｍ～２ｍｍである。

本実施の形態では、ペリクルフレーム１０１は黒色アルマイト処理が施されたアルミニウム合金であるが、ペリクルフレーム１０１の材質はこれに限られない。例えば、鉄、インバー、チタン、チタン合金等の金属でペリクルフレーム１０１が形成されていてもよい。

ペリクル膜１０２は、サブミクロンの厚さの薄膜である。ペリクル膜１０２は、ペリクルフレーム１０１の上面１０１ａにペリクルフレーム１０１の中空部１０１ｅを覆うように張設される。ペリクルフレーム１０１がフォトマスク基板上に貼付されると、ペリクル膜１０２は、マスクのパターン形成面（表面）から所定の間隔だけ離れて設けられる。

粘着部材１０３は、ペリクルフレーム１０１の下面１０１ｂに設けられる。粘着部材１０３は、ペリクルフレーム１０１の全周に、額縁状に形成されている。粘着部材１０３は、公知のものを使用することができ、例えばホットメルト接着剤である。

粘着部材１０３の下端面には、粘着剤を保護するための離型層（ライナーシート）が貼付されている。離型層は、ペリクルフレーム１０１から突出する凸部が複数設けられており、貼着、接着等によりペリクル収納容器（図示せず）に設けられている。

ペリクル１００は、ペリクル収納容器に載置された状態で、ペリクル貼付装置の内部に搬入される。このとき、ペリクルフレーム１０１の上面１０１ａ及び下面１０１ｂは、水平方向に略沿っている。

図１の説明に戻る。ペリクル把持装置１は、主として、枠体１０と、ペリクル把持部２０と、計測部３１と、を有する。ペリクル把持部２０及び計測部３１は、枠体１０に設けられる。

まず、ペリクル把持装置１が内部に設けられたペリクル貼付装置（図示せず）の動作について簡単に説明する。ペリクル貼付装置の内部には、ペリクル把持装置１以外に、保持部（図示せず）により鉛直方向に略沿って保持されたマスク（図示せず）が設けられている。ペリクル収納容器（図示せず）に載置された状態でペリクル１００が水平方向に略沿ってペリクル貼付装置の内部に搬入されるときには、枠体１０は鉛直方向に略沿っている。その後、枠体１０を回動させて水平方向に略沿った状態にし、ペリクル把持部２０でペリクル１００を把持し、枠体１０を鉛直方向上側に移動させてペリクル１００から離型層（図示せず）をはがす。粘着部材１０３（図１では図示せず）が露出したペリクル１００を把持したまま枠体１０を回動させ、枠体１０が鉛直方向に略沿った状態にし、枠体１０を平行移動させて粘着部材１０３をマスクに貼付する。

次に、ペリクル把持装置１の構成について説明する。枠体１０は、複数の棒状部材を略矩形形状に組み合わせた枠状の部材である。枠体１０は、主として、縦枠部１１、１２と、上枠部１３、１４と、縦枠部１１、１２及び上枠部１３、１４の外側に設けられた枠１５と、を有する。縦枠部１１、１２、上枠部１３、１４及び枠１５は、金属、例えば、鉄、アルミニウム等で形成される。

枠体１０は、ペリクル把持部２０がペリクル１００を把持するときには、図１に示すように、水平方向に（ｘｙ平面に略沿って）延設される。

縦枠部１１、１２は、長手方向がｙ方向に沿って設けられている棒状の部材であり、枠１５の下端部１５ａ及び上端部１５ｂに沿って（すなわちｘ方向に沿って）移動可能に設けられる。縦枠部１１、１２をｘ方向に移動させる機構は、既に公知の様々な技術を用いることができる。なお、縦枠部１１、１２は、枠体１０が鉛直方向に延設されると、鉛直方向に略沿って延設される。

上枠部１３、１４は、長手方向がｘ方向に沿って設けられた棒状の部材であり、それぞれ縦枠部１１、１２に沿って（すなわちｙ方向に沿って）移動可能に設けられる。上枠部１３、１４をｙ方向に移動させる機構は、既に公知の様々な技術を用いることができる。上枠部１３、１４は、枠体１０が鉛直方向に延設されると、縦枠部１１、１２の上端近傍に略水平に延設される。

なお、上枠部１３、１４の形態はこれに限られない。例えば、上枠部が略水平に延設された１本の棒状部材からなり、この１本の棒状部材の両端近傍が縦枠部１１、１２に設けられていてもよい。

このように縦枠部１１、１２及び上枠部１３、１４を移動可能にすることで、縦枠部１１、１２、上枠部１３、１４及び下端部１５ａにより構成される枠の大きさを変化させて、様々な大きさのペリクル１００に対応することができる。なお、ペリクル１００は、例えば、４２０ｍｍ×７２０ｍｍの大きさのもの、７００ｍｍ×８００ｍｍの大きさのもの、５２０ｍｍ×６８０ｍｍの大きさのもの、７５０ｍｍ×１３００ｍｍの大きさのもの、１５２０ｍｍ×１６８０ｍｍの大きさのものが挙げられる。

枠体１０は、図示しない移動機構（アクチュエータを含む）により鉛直方向及び水平方向に移動可能に設けられている。また、枠体１０は、－ｙ側の端近傍に設けられた図示しない回動軸を有し、図示しない移動機構（アクチュエータを含む）により回動可能に設けられている。枠体１０を移動及び回動させる機構は公知であるため、説明を省略する。

待機時（ペリクル１００の搬入時等）には、枠体１０は、枠１５により形成される面が鉛直方向に延設される（枠体１０が鉛直方向に延設されている）状態にある。ペリクル１００がペリクル貼付装置内に搬入され、位置合わせが終了したら、枠体１０が回動軸を中心に回動され、枠１５により形成される面が水平方向に延設される（枠体１０が水平方向に延設されている）状態になる。これにより、ペリクル把持部２０がペリクル１００を把持できるようになる。

ペリクル把持部２０がペリクル１００を把持したら、枠体１０が鉛直方向上側に移動し、粘着部材１０３が離型層から離される。粘着部材１０３は、急な強い力には粘着力が強いが弱く持続する力には粘着力が弱い性質があるため、粘着部材１０３を離型層から離す処理は３０分～１時間程度かけてゆっくり行われる。

粘着部材１０３が離型層から離れたら、枠体１０が回動軸を中心に回動され、枠体１０が鉛直方向に延設されている状態になる。これにより、ペリクル１００をマスクに貼付できるようになる。ペリクル１００をマスクに貼付するときには、上端側における下面１０１ｂとマスクとの距離が、下端側における下面１０１ｂとマスクとの距離よりも近くなるように鉛直方向に対して枠体１０を傾ける。また、ペリクル１００をマスクに貼付するときには、枠体１０を鉛直方向に延設した状態で水平方向に平行させる。

ペリクル把持部２０は、ペリクルフレーム１０１の側面１０１ｃを把持するペリクル把持部材２１を複数有する。ペリクル把持部材２１は、縦枠部１１、１２、上枠部１３、１４、下端部１５ａ及び上端部１５ｂに設けられる。

図１に示す例では、縦枠部１１、１２には、それぞれ５個のペリクル把持部材２１が設けられ、上枠部１３、１４には、それぞれ１個のペリクル把持部材２１が設けられ、下端部１５ａには、５個のペリクル把持部材２１が設けられ、上端部１５ｂには、１個のペリクル把持部材２１が設けられるが、ペリクル把持部材２１の位置及び数はこれに限られない。

ペリクル１００の大きさによって、使用するペリクル把持部材２１が異なる。図１においては、枠体１０に設けられたペリクル把持部材２１のうち、ペリクル１００（ここでは、側面１０１ｃ）に当接しているペリクル把持部材２１のみが使用されている。

ペリクル把持部材２１は、一部が溝１０１ｄに挿入される挿入位置と、側面１０１ｃに当接しない退避位置との間で水平方向又は垂直方向に移動可能に設けられる。図４は、ペリクル把持部２０の概略を示す図である。

ペリクル把持部材２１は、金属製の板状又は棒状の部材である。本実施の形態では、ペリクル把持部材２１はステンレス（例えば、ＳＵＳ３０４）製である。

ペリクル把持部材２１は、板状部材を折り曲げて形成されており、主として、先端部２１ａと、折り曲げ部２１ｂと、駆動部材２２が設けられる保持部２１ｃとを有する。先端部２１ａは、ペリクル把持部材２１が挿入位置にあるときに、一部が溝１０１ｄに挿入される。

本実施の形態では、ペリクル把持部材２１は、折り曲げ部２１ｂの両端で略直角に折り曲げられている。ただし、ペリクル把持部材２１の折り曲げ角度は略直角に限られない。

先端部２１ａは、ペリクル把持部材２１が挿入位置にあるときに溝１０１ｄに挿入される先端面２１ｄを有する。先端面２１ｄは、板状部材の端面であり、ペリクル把持部材２１の移動方向と略直交する方向に延設されている。例えば、縦枠部１１、１２に設けられたペリクル把持部材２１については、移動方向がｘ方向であり、先端面２１ｄはｙ方向に略沿っている（ｙｚ平面と略平行に設けられている）。ペリクル把持部材２１が溝１０１ｄに正しく挿入されると、先端面２１ｄが溝１０１ｄの底面と当接する。

先端部２１ａには、先端部２１ａのペリクル把持部材２１の移動方向（図４では、ｘ方向）における位置を示すマーカ（図４では図示省略）が設けられている。本実施の形態では、先端面２１ｄからの距離を示すマーカを先端部２１ａに設ける。マーカは、枠体１０を水平方向に延設したときに、上方から視認できる位置に設けられている。本実施の形態では、先端部２１ａは板状であり、先端部２１ａの最も広い面であり、かつ、鉛直方向上側（＋ｚ側）の面である面２１ｆにマーカが設けられている。作業者がマーカを視認することで、先端部２１ａのｘ方向の位置、ひいてはペリクル把持部材２１が正しく溝１０１ｄに挿入されているか確認可能である。マーカについては後に詳述する。

ペリクル把持部材２１（保持部２１ｃ）には、駆動部材２２が設けられる。駆動部材２２は、ロッド２２ａと、ロッド２２ａを移動させるアクチュエータ２２ｂと、を有する。ペリクル把持部材２１は、ロッド２２ａに連結されている。アクチュエータ２２ｂは、枠体１０（図４では図示省略）に設けられる。

ペリクル把持部材２１は、駆動部材２２により、ペリクル把持部材２１が溝１０１ｄに挿入される挿入位置（図４実線参照）と、ペリクル把持部材２１が溝１０１ｄに挿入されず、ペリクル把持部材２１がペリクルフレーム１０１と干渉しない退避位置（図４一点鎖線参照）と、の間で水平方向に移動される。

ペリクル把持部材２１には、それぞれ、ペリクルフレーム１０１の高さ（ｚ方向の位置）を測定する計測部２４が設けられる。計測部２４は、主として、超音波センサ２４ａと、反射板２４ｂとを有する。なお、計測部２４は必須ではないし、計測部２４の形態もこれに限られない。

超音波センサ２４ａは、超音波を対象物に向けて発信してその反射波を受信し、信号発信と反射波受信との時間間隔に基づいて、目標物までの距離を測定する測距センサである。超音波センサ２４ａは、すでに公知であるため、詳細な説明を省略する。

反射板２４ｂは、ペリクル把持部材２１の上側（＋ｚ側）に設けられている。反射板２４ｂは、超音波センサ２４ａから発信された超音波を反射する。反射板２４ｂの先端部２４ｃは、ｘｙ平面に対して略４５度傾いている。したがって、超音波センサ２４ａから発信された超音波は、下（－ｚ方向）に向けて反射される（図４の２点鎖線参照）。

図１の説明に戻る。計測部３１は、測距センサ（例えば、超音波センサ）及び反射板を有し、マスクやペリクルフレーム１０１の高さ（ｚ方向の位置）を測定する。計測部３１は、枠体１０、ここでは上枠部１３、１４に設けられる。計測部３１は、枠体１０を構成する棒状部材（例えば、上枠部１３、１４）の延設方向と略直交する方向（ここでは、ｚ方向）からみて、ペリクル把持部材２１と異なる位置に設けられる。

２つの計測部３１は、それぞれ、枠体１０の上側近傍かつ左端近傍に設けられ、かつ、枠体１０の上側近傍かつ右端近傍に設けられている。ただし、計測部３１が設けられる位置及び数は、図１に示す形態に限られない。

計測部３１は、先端近傍がマスクと重なる第１位置（図１実線参照）と、先端近傍がペリクルフレーム１０１と重なる第２位置（図１二点鎖線参照）との間で垂直方向に移動可能に設けられる。

次に、ペリクル把持部材２１に設けられたマーカについて説明する。以下、縦枠部１２に設けられたペリクル把持部材２１を例にマーカについて説明する。図５は、マーカ２３の一例を示す図である。

まず、マーカ２３の材質について説明する。ペリクル把持部材２１の表面にコーティング層が設けられることで、マーカ２３がペリクル把持部材２１に設けられる。これにより、ペリクル把持部材２１にマーカ２３を容易に設けることができる。本実施の形態では、コーティング層には、イソプロピルアルコール等の溶剤に耐性を有するフッ素樹脂が用いられる。

また、マーカ２３に用いるコーティング層は黒色であることが望ましい。ペリクル把持部材２１のマーカ２３が設けられていない部分は、金属色（例えば、銀色）である。マーカ２３を黒色とすることで、黒色のペリクルフレーム１０１とマーカ２３の色をそろえ、マーカ２３が設けられていない金属色の部分を目立たせることができる。

なお、図５では、ペリクル把持部材２１の先端部２１ａ、折り曲げ部２１ｂ及び保持部２１ｃの表面にコーティング層が設けられているが、少なくともコーティング層（すなわち、マーカ２３）は先端部２１ａに設けられていればよく、折り曲げ部２１ｂ及び保持部２１ｃの表面にはコーティング層が設けられなくてもよい。

次に、マーカ２３の形状について説明する。マーカ２３は、先端面２１ｄと境界線２１ｇとに挟まれた先端領域Ｒには設けられない。境界線２１ｇは、先端面２１ｄの延設方向（ここでは、ｙ方向）に略沿った仮想線であり、先端面２１ｄから先端面２１ｄに略直交する方向（ここでは、ｘ方向）に所定距離（図５における距離ｌ）離れた位置に配置されている。境界線２１ｇ及び先端領域Ｒは仮想の線及び領域であるため、図４において点線で示している。

先端面２１ｄと境界線２１ｇとの距離ｌは、大型のガラス（Ｇ１０ガラス）用のペリクルフレーム１０１に設けられた溝１０１ｄの深さｄである３ｍｍ以上とすることが望ましい。本実施の形態では、距離ｌは略３ｍｍとする。これにより、先端部２１ａを溝１０１ｄに挿入したときに、マーカ２３がペリクルフレーム１０１（溝１０１ｄのエッジ部分）に触れないようにすることができる。

マーカ２３が溝１０１ｄのエッジ部分に触れてしまうと、エッジによりマーカ２３が削れ、塵埃が発生するおそれがある。ペリクル１００はマスクに貼付するものであり、塵埃の発生を極力防ぐ必要がある（塵埃が発生しないことが望ましい）ため、溝１０１ｄに触れるおそれがある先端領域Ｒにマーカ２３を設けないようにすることが望ましい。

マーカ２３は、境界線２１ｇに沿って並んだ第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃを有する。第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃは、少なくともｘ方向の長さが異なる。

本実施の形態では、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃは正方形状であり、第１マーカ２３ａの各辺の長さは略１ｍｍであり、第２マーカ２３ｂの各辺の長さは略１．５ｍｍであり、第３マーカ２３ｃの各辺の長さは略２ｍｍである。したがって、第１マーカ２３ａは先端面２１ｄからの距離が略４ｍｍであることを示し、第２マーカ２３ｂは先端面２１ｄからの距離が略４．５ｍｍであることを示し、第３マーカ２３ｃは先端面２１ｄからの距離が略５ｍｍであることを示す。このように、マーカ２３により、先端面２１ｄからの距離が示される。

なお、本実施の形態では、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃは、正方形状であったが、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃの形状は正方形状に限られず、長方形状を含む矩形形状であってもよいし、半円形状や半楕円形状であってもよい。

図６は、Ｇ１０サイズのガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄにペリクル把持部材２１の先端部２１ａが正しく挿入されている様子を模式的に示す図である。

溝１０１ｄの深さｄと先端面２１ｄと境界線２１ｇとの距離ｌが略同一であるため、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていれば、上から見たときに溝１０１ｄの開口部（側面１０１ｃ）と境界線２１ｇとが重なる。したがって、上から見たときに、境界線２１ｇは視認できず、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃのみが視認できる。

図７は、Ｇ１０サイズのガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていない様子を模式的に示す図である。

溝１０１ｄの深さｄと先端面２１ｄと境界線２１ｇとの距離ｌが略同一であるため、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていない場合には、上から見たときに境界線２１ｇが視認できる。そして、側面１０１ｃと境界線２１ｇとの距離ｌ’と、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃのｘ方向の長さとを比較することで、溝１０１ｄの底面と先端面２１ｄとの隙間、すなわち、更にどの程度先端部２１ａを移動させれば溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されるかを知ることができる。図７に示す例では、距離ｌ’と第１マーカ２３ａのｘ方向の長さとが略一致するため、溝１０１ｄの底面と先端面２１ｄとの隙間が略１ｍｍあることが分かる。

図８は、Ｇ１０サイズより小さいガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されている様子を模式的に示す図である。

溝１０１ｄの深さｄが先端面２１ｄと境界線２１ｇとの距離ｌより小さく、その差は１ｍｍであるため、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていれば、側面１０１ｃと境界線２１ｇとの距離ｌ’が第１マーカ２３ａのｘ方向の長さと略一致する。

図９は、Ｇ１０サイズより小さいガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていない様子を模式的に示す図である。

溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていない場合には、側面１０１ｃと境界線２１ｇとの距離ｌ’が第１マーカ２３ａのｘ方向の長さより多くなる。そして、側面１０１ｃと境界線２１ｇとの距離ｌ’と、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃのｘ方向の長さとを比較することで、溝１０１ｄの底面と先端面２１ｄとの隙間、すなわち、更にどの程度先端部２１ａを移動させれば溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されるかを知ることができる。図９に示す例では、距離ｌ’と第２マーカ２３ｂのｘ方向の長さとが略一致するため、溝１０１ｄの底面と先端面２１ｄとの隙間が略０．５ｍｍあることが分かる。

本実施の形態によれば、マーカ２３を視認することで、先端部２１ａの位置、ひいては溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されているか把握することができる。マーカ２３が設けられていない先端部を溝に挿入する場合には、溝に先端部が奥まで挿入されているか知る手段はないが、先端部２１ａにマーカ２３を設けることで、マーカ２３を視認するだけでペリクルフレーム１０１が正確に把持できているか確認することができる。

また、本実施の形態によれば、マーカ２３を視認するだけで溝１０１ｄの底面と先端面２１ｄとの距離を知ることができる。したがって、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていない場合には、縦枠部１１、１２や上枠部１３、１４を移動させることでペリクル把持部材２１を移動させたり、駆動部材２２を移動させることでペリクル把持部材２１を移動させたりすることで、ペリクル把持部材２１でペリクルフレーム１０１を正確に把持することができる。

図１９、２０は、ペリクル１００が歪んでいる様子を模式的に示す図である。図１９に示す場合は、ペリクル１００の各辺の中央部が凹となるようにペリクル１００が歪んでいる。ペリクルフレーム１０１にペリクル膜１０２を貼付してペリクル１００とする構造上、図１９に示すような歪みが発生しやすく、凹みの大きさは略１～２ｍｍである。溝１０１ｄの深さが略２ｍｍ～３ｍｍであるため、ペリクル１００の＋ｘ側の辺の中央近傍に挿入されるペリクル把持部材２１でペリクル１００を正確に把持できないおそれがある。

また、図２０に示す場合は、ペリクル１００の＋ｘ側の辺と－ｘ側の位置がずれる（略２ｍｍ程度）ようにペリクル１００が歪んでいる。この場合には、ペリクル１００の＋ｙ側の辺の－ｘ側端近傍に挿入されるペリクル把持部材２１でペリクル１００を正確に把持できないおそれがある。

ペリクル把持部材２１でペリクルフレーム１０１が正確に把持できていない状態で枠体１０を延長方向上側に移動させたり、枠体１０を回動させたりすると、枠体１０からペリクル１００が落下するおそれがある。それに対し、枠体１０を平行移動、回動移動させる前にペリクルフレーム１０１が正確に把持できているかを把握できるため、ペリクル１００が落下する事故を防ぐことができる。

また、本実施の形態によれば、溝１０１ｄに挿入される可能性がある先端領域Ｒにマーカ２３を設けないようにすることで、ペリクル把持部材２１が溝１０１ｄに挿入されたときに、ペリクル把持部材２１やペリクルフレーム１０１が削れて塵埃が発生することを防止できる。

溝１０１ｄは切削加工により形成されることが多いが、切削加工により仕上げ面に凹凸が発生するおそれがある。粘着部材１０３を離型層から離すときには、先端部２１ａが溝１０１ｄに挿入された状態で枠体１０を鉛直方向上側に移動させるため、面２１ｆが切削加工の仕上げ面に当接し、面２１ｆには約１ｋｇｆの力がかかり続ける。マーカ２３は面２１ｆに設けられるため、先端領域Ｒにマーカ２３が設けられているとすると、仕上げ面の凸部によってマーカ２３が削られて塵埃が発生しかねない。それに対し、先端領域Ｒにマーカ２３を設けないようにすることで、塵埃の発生を防ぐことができる。

なお、本実施の形態では、表面にコーティング層を設けることでマーカ２３を先端部２１ａに設けたが、マーカの形態はこれに限られない。例えば、ペリクル把持部材２１の先端部２１ａの表面の一部を削って凹部を形成することで、マーカが先端部２１ａに設けられてもよい。この場合には、先端部２１ａからマーカが消えることはない。そして、視認性を高めるために凹部の内部をインク等により着色することが望ましい。特に、凹部の内部を黒色で着色し、黒色のペリクルフレーム１０１とマーカの色を揃えることが望ましい。

また、本実施の形態では、Ｇ１０サイズのガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄの深さｄと先端面２１ｄと境界線２１ｇとの距離ｌとが略同一（３ｍｍ）であったが、距離ｌはＧ１０サイズのガラス用のペリクルフレーム１０１の溝１０１ｄの深さｄ以上（３ｍｍ以上）であればよい。例えば、先端面２１ｄと境界線２１ｇとの距離が４ｍｍである場合、側面１０１ｃと境界線２１ｇとの距離と第１マーカ２３ａのｘ方向の長さとが略一致すれば、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていることが分かり、側面１０１ｃと境界線２１ｇとの距離が第１マーカ２３ａのｘ方向の長さより大きければ、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていないことが分かる。

また、本実施の形態では、先端部２１ａは、板状部材を折り曲げて形成された板状の部材であったが、先端部２１ａの形態はこれに限られない。例えば、先端部２１ａは棒状であってもよい。また、ペリクル把持部材２１は、折り曲げられていてもよいし、折り曲げられていなくてもよい。ただし、マーカは、視認性を高めるため、枠体１０を水平方向に延設したときに上方又は斜め上方から視認できる位置に設けられることが望ましい。

また、本実施の形態では、先端部２１ａの最も広い面であり、かつ、鉛直方向上側（＋ｚ側）の面である面２１ｆにマーカ２３が設けられているが、マーカ２３が設けられる面は面２１ｆに限られない。例えば、マーカ２３は、面２１ｆ以外の先端部２１ａの最も広い面である面２１ｅにも設けられていてもよい。面２１ｅにマーカ２３が設けられている場合には、枠体１０を鉛直方向に延設したときも、マーカ２３を視認することができる。

また、本実施の形態では、３つの第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃを有するマーカ２３を用いたが、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃのうちの１つ又は２つを有するマーカを用いてもよいし、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃ以外のマーカ（例えば、各辺の長さは略２．５ｍｍであるマーカ）を有するマーカを用いてもよい。

また、本実施の形態では、先端面２１ｄからの距離を示すマーカ２３を先端部２１ａに設けたが、マーカはペリクル把持部材２１の移動方向における先端部２１ａの位置を示せばよい。例えば、ペリクル把持部材２１がｘ方向に沿って移動する場合には、先端部２１ａをｘ方向に隣接する複数の領域（各領域はｙ方向に沿って帯状に延設されている）に分割し、領域毎に色が異なるマークを付すことで、ペリクル把持部材２１の移動方向における位置を示すマーカとしてもよい。この場合には、視認できるマークの色に応じて、先端部２１ａのｘ方向の位置、ひいては溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されているか否か把握することができる。

＜マーカの変形例１＞
第１の実施の形態では、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃの部分を抜いてコーティング層を形成することでマーカ２３を形成したが、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃを有するマークの形態はこれに限られない。

図１０は、変形例に係るマーカ２３Ａの概略を示す図である。マーカ２３Ａは、第１マーカ２３ｄ、第２マーカ２３ｅ及び第３マーカ２３ｆの部分のみにコーティング層を設けることで形成される。第１マーカ２３ｄ、第２マーカ２３ｅ及び第３マーカ２３ｆの位置及び形状は第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃと同様である。マーカ２３Ａを視認することで、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されているか把握することができる。

なお、マーカ２３Ａは、先端部２１ａの表面の一部を削って凹部を形成し、その内部を着色することで形成してもよい。

＜マーカの変形例２＞
マーカの変形例２は、マーカが第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃを複数有する形態である。図１１は、変形例に係るマーカ２３Ｂの概略を示す図である。

マーカ２３Ｂは、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃをそれぞれ２つずつ有する。第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃは、ペリクル把持部材２１の長手方向に沿った中心線２１ｈの両側にそれぞれ設けられている。

図１２は、斜め上方からマーカ２３Ｂを視認する様子を模式的に示す図である。斜め上方からマーカ２３Ｂを見ると、反射板２４ｂによりマーカ２３Ｂの一部が遮られて視認できないおそれがある。例えば、図１２に示すように、斜め４５度程度の角度で手前側からマーカ２３Ｂを見下ろす場合には、マーカ２３Ｂの中心線２１ｈの奥側が視認できない。

このような場合であっても、中心線２１ｈの両側にそれぞれ第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃを設けることで、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃが確実に視認できる。

また、一番小さい第１マーカ２３ａを、視認しやすいペリクル把持部材２１の両端近傍に配置し、一番大きい第３マーカ２３ｃを中心線２１ｈの近傍に設けることで、視認性を高めることができる。ただし、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃの配置は、図１１、１２に示す形態に限られない。

＜マーカの変形例３＞
マーカの変形例３は、マーカが第１マーカ、第２マーカ及び第３マーカを有しない形態である。図１３は、変形例に係るマーカ２３Ｃの概略を示す図である。

マーカ２３Ｃは、先端面２１ｄと略平行な線２３ｇ、２３ｈ、２３ｉ、２３ｊを有する。線２３ｇは、境界線２１ｇ上に設けられており、線２３ｉは、境界線２１ｇから＋ｘ方向に略１ｍｍ離れた位置に設けられている。線２３ｈ、２３ｊは、線２３ｇ、２３ｉより細くかつ短く、それぞれ線２３ｇ、２３ｉの＋ｘ側に線２３ｇ、２３ｉから略０．５ｍｍ離れた位置に設けられている。

線２３ｇ、２３ｈ、２３ｉ、２３ｊはペリクル把持部材２１の両端近傍に配置されているため、ペリクル把持部材２１の上に反射板２４ｂが設けられていたとしてもマーカ２３Ｃを確実に視認することができる。

なお、線２３ｇ、２３ｈ、２３ｉ、２３ｊは同一の長さ及び太さの線であってもよい。また、線２３ｇ、２３ｈ、２３ｉ、２３ｊは、中央が離間した２本の線であるが、連続した１本の線であってもよい。また、マーカ２３Ｃを構成する線の位置及び数もこれに限られない。

なお、棒状の先端部２１ａを用いる場合には、マーカを設けることができる面積が狭いため、線のみで構成される本変形例のマーカ２３Ｃを用いることが望ましい。また、マーカ２３Ｃが先端領域Ｒに設けられていないため、コーティング層によりマーカ２３Ｃを形成してもよいし、先端部２１ａの表面の一部を削ってマーカ２３Ｃを形成してもよい。

＜マーカの変形例４＞
マーカの変形例４は、マーカを先端領域Ｒに設ける形態である。図１４は、変形例に係るマーカ２３Ｄの概略を示す図である。

マーカ２３Ｄは、３本の線２３ｋ、２３ｌ、２３ｍを有する。線２３ｋは先端面２１ｄから＋ｘ方向に略１ｍｍ離れた位置に設けられ、線２３ｌは先端面２１ｄから＋ｘ方向に略２ｍｍ離れた位置に設けられ、線２３ｍは先端面２１ｄから＋ｘ方向に略３ｍｍ離れた位置に設けられる。

溝１０１ｄの深さｄと先端面２１ｄと線２３ｍとの距離が略同一であるため、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていれば、上から見たときに溝１０１ｄの開口部（側面１０１ｃ）と線２３ｍとが重なり、線２３ｋ、２３ｌ、２３ｍは視認できない。

それに対し、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていない場合には、上から見たときに線２３ｋ、２３ｌ、２３ｍのいずれかが視認できる。そして、線２３ｋ、２３ｌ、２３ｍのうちのいずれかが視認できているかにより、溝１０１ｄの底面と先端面２１ｄとの隙間を知ることができる。例えば、線２３ｌ、２３ｍが視認できる場合には、溝１０１ｄの底面と先端面２１ｄとの隙間が２ｍｍ以上であることが分かる。

線２３ｋ、２３ｌ、２３ｍはペリクル把持部材２１の両端近傍にも配置されているため、ペリクル把持部材２１の上に反射板２４ｂが設けられていたとしてもマーカ２３Ｄを確実に視認することができる。

なお、本変形例は、先端領域Ｒにマーカ２３Ｄを設けるため、先端部２１ａの表面をコーティングすることにより形成されるマーカではなく、先端部２１ａの表面の一部を削って凹部とすることにより形成されるマーカとすることが望ましい。ペリクル把持部材２１が溝１０１ｄに挿入されたときに、ペリクル把持部材２１やペリクルフレーム１０１が削れて塵埃が発生し難くすることができる。

＜マーカの変形例５＞
マーカの変形例５は、マーカを先端領域Ｒにも設ける形態である。図１５は、変形例に係るマーカ２３Ｅの概略を示す図である。

マーカ２３Ｅは、先端面２１ｄに当接し、かつ先端面２１ｄに対して傾いている２本の線２３ｎと、目盛り線２３ｏ、２３ｐ、２３ｑとを有する。目盛り線２３ｏ、２３ｐ、２３ｑは、先端面２１ｄと略直交する方向（ｘ方向）に沿って設けられている。目盛り線２３ｏは、線２３ｎと境界線２１ｇ（先端面２１ｄからの距離が略３ｍｍ）とが交差する位置に設けられる。目盛り線２３ｐは、線２３ｎと、先端面２１ｄからの距離が略２ｍｍの位置にひいた仮想線とが交差する位置に設けられる。目盛り線２３ｑは、線２３ｎと、先端面２１ｄからの距離が略１ｍｍの位置に引いた仮想線とが交差する位置に設けられる。

溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていれば、上から見たときに、線２３ｎと目盛り線２３ｏとが交差する位置と、溝１０１ｄの開口部（側面１０１ｃ）とが重なる。

それに対し、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されていない場合には、上から見たときに、線２３ｎと目盛り線２３ｏとが交差する位置が露出する。そして、目盛り線２３ｏ、２３ｐ、２３ｑを参照することで、溝１０１ｄの底面と先端面２１ｄとの隙間を知ることができる。例えば、上から見たときに、側面１０１ｃが線２３ｎと目盛り線２３ｐとが交差する位置の近傍にあれば、溝１０１ｄの底面と先端面２１ｄとの隙間が略０．５ｍｍあることが分かる。

なお、本変形例も、先端領域にマーカ２３Ｅを設けるため、マーカ２３Ｄと同様に、先端部２１ａの表面の一部を削って凹部を設けることで形成されるマーカとすることが望ましい。

＜第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、マーカ２３を目視で確認したが、マーカ２３を確認する方法は目視に限られない。

本発明の第２の実施の形態は、撮像部でマーカ２３を確認する形態である。以下、第２の実施の形態に係るペリクル把持装置２を有するペリクル貼付装置３について説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

図１６は、ペリクル把持装置２及びペリクル貼付装置３の概略を示す斜視図である。図１７は、ペリクル把持装置２及びペリクル貼付装置３の概略を示す平面図である。図１６、１７では、要部のみ図示し、一部の構成の図示を省略している。また、図１６では、枠体１０が鉛直方向に延設されている様子を示し、図１７では、枠体１０が水平方向に延設されている様子を示す。

ペリクル把持装置２は、ペリクル貼付装置３の内部に設けられており、主として、枠体１０と、ペリクル把持部２０と、計測部３１と、撮像部３２、３３、３４と、ステージ４０（図１７では図示省略）とを有する。

ペリクル１００は、搬送装置１１０により、ペリクル貼付装置３の開口部３ａからペリクル貼付装置３の内部空間３ｂに挿入される。内部空間３ｂに挿入されたペリクル１００は、ステージ４０に載置される。ステージ４０は、図示しない移動機構を有し、水平方向及び鉛直方向に移動可能である。ペリクル貼付装置３は、図示しないレーザ照射部を有し、レーザ照射部から照射されたレーザに基づいてステージ４０を移動させることでペリクル１００の位置合わせを行う。

ペリクル１００の位置合わせが終了したら、図１６に示すように鉛直方向に延設されている枠体１０を回動させて、図１７に示すように水平方向に延設させてからペリクル把持部材２１を用いてペリクル１００を把持する。

撮像部３２、３３、３４は、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子を有し、対象物の画像を連続的に撮像することができる。撮像部３２、３３は、開口部３ａに隣接して設けられるが、内部空間３ｂの外側に設けることが望ましい。撮像部３４は、内部空間３ｂの内部に設けられる。

撮像部３２、３３、３４は、マーカ２３を撮像するものであり、枠体１０を水平方向に延設したときに枠体１０よりも高い位置に設けられている。枠体１０を水平方向に延設したときに上方又は斜め上方から視認できる位置にマーカ２３が設けられているため、撮像部３２、３３、３４でマーカ２３を撮像することができる。

撮像部３２は、縦枠部１１に隣接して設けられており、撮像部３３は、縦枠部１２に隣接して設けられている。また、撮像部３２、３３は、鉛直方向上側から見たときに、縦枠部１１と縦枠部１２とに挟まれた領域の外側に設けられている。

図１７では枠体１０がＧ１０サイズのガラス用のペリクル１００を把持するときの様子を示しており、このときに縦枠部１１と縦枠部１２との間隔が最も広い。撮像部３２は、縦枠部１１が最も－ｘ側に位置するときの縦枠部１１のｘ方向の位置又はそれよりも－ｘ側に設けられており、撮像部３３は、縦枠部１２が最も＋ｘ側に位置するときの縦枠部１２のｘ方向の位置又はそれよりも＋ｘ側に設けられている。

図１８は、撮像部３２が縦枠部１１に設けられたペリクル把持部材２１を撮像する様子を示す図であり、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は側面図である。図１８において、撮像部３２がマーカ２３を撮像するときの光軸の向きを太矢印で模式的に示す。撮像部３２が縦枠部１１のｘ方向の位置よりも－ｘ側に設けられているため、撮像部３２がマーカ２３を確実に撮像することができる。仮に撮像部３２が縦枠部１１のｘ方向の位置よりも－ｘ側に設けられているとすると、図１８に点線矢印で示すように、上面１０１ａと側面１０１ｃとの角で遮られてマーカ２３が撮像できないおそれがある。それに対し、鉛直方向上側から見たときに、縦枠部１１と縦枠部１２とに挟まれた領域の外側に撮像部３２、３３を設けることで、撮像部３２、３３がそれぞれ縦枠部１１、１２に設けられたペリクル把持部材２１のマーカ２３を確実に撮像することができる。

図１７の説明に戻る。撮像部３４は、枠１５の下端部１５ａに隣接して設けられている。また、撮像部３４は、鉛直方向上側から見たときに、下端部１５ａの外側（－ｙ側）に設けられている。したがって、撮像部３４が、下端部１５ａに設けられたペリクル把持部材２１のマーカ２３を確実に撮像することができる。

撮像部３２、３３、３４で撮像した画像は、内部空間３ｂの外部に設けられたモニタ（図示省略）に表示される。撮像部３２、３３、３４とモニタは、図示しないネットワークを介して接続されている。

撮像部３２、３３、３４は、光軸の向きが調整可能に構成されていてもよい。これにより、マーカ２３毎に撮像を行うことができる。なお、撮像部３４は内部空間３ｂの内部に設けられているため、塵埃が内部空間３ｂに落下しないように、撮像部３４の周囲に覆いを設けることが望ましい。

本実施の形態によれば、撮像部３２、３３、３４で撮像した画像によりマーカ２３が確認できるため、内部空間３ｂで作業者がマーカ２３を目視する必要はない。したがって、塵埃の発生を防ぎつつ、溝１０１ｄに先端部２１ａが正しく挿入されているかを把握することができる。

また、本実施の形態によれば、マーカ２３を黒くするため、撮像部３２、３３、３４で撮像した画像において先端部２１ａのマーカ２３が設けられていない金属色の部分を目立たせ、マーカ２３の確認が容易となる。また、マーカ２３を黒くするため、撮像部３２、３３、３４で撮像した画像にフレアが発生するのを防ぐことができる。

また、マーカ２３が正方形状の第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃを有するが、撮像部３２、３３、３４で撮像した画像においては第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃが長方形状になる。例えば、撮像部３２から遠くなるにつれて、撮像された画像におけるマーカ２３の第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃの奥行方向の長さが長くなる。そして、画像における第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃの奥行方向の長さにより、撮像されたマーカ２３の大まかな位置を把握することができる。

なお、ペリクル把持部材２１に設けるマーカはマーカ２３に限られず、マーカ２３Ａ～２３Ｅのいずれかをペリクル把持部材２１に設けてもよい。撮像部３２、３３、３４の最も近くに設けられたペリクル把持部材２１を撮像する場合には、撮像部３２、３３、３４でからペリクル把持部材２１を見下ろす角度が略４５度となる。図１２に示すようなマーカ２３Ｂを用いる場合には、反射板２４ｂによりマーカ２３Ｂの一部が遮られたとしても、第１マーカ２３ａ、第２マーカ２３ｂ及び第３マーカ２３ｃを撮像部３２、３３、３４で確実に撮像することができる。

以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。当業者であれば、実施形態の各要素を、適宜、変更、追加、変換等することが可能である。

また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略平行とは、厳密に平行の場合には限られず、例えば数度程度の誤差を含む概念である。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、基準となる位置の近くのある範囲（任意に定めることができる）の領域を含むことを意味する。例えば、Ａの近傍という場合に、Ａの近くのある範囲の領域であって、Ａを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。

１、２ ：ペリクル把持装置
３ ：ペリクル貼付装置
３ａ ：開口部
３ｂ ：内部空間
１０ ：枠体
１１、１２：縦枠部
１３、１４：上枠部
１５ ：枠
１５ａ ：下端部
１５ｂ ：上端部
２０ ：ペリクル把持部
２１ ：ペリクル把持部材
２１ａ ：先端部
２１ｂ ：折り曲げ部
２１ｃ ：保持部
２１ｄ ：先端面
２１ｅ、２１ｆ：面
２１ｇ ：境界線
２１ｈ ：中心線
２２ ：駆動部材
２２ａ ：ロッド
２２ｂ ：アクチュエータ
２３、２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄ、２３Ｅ：マーカ
２３ａ、２３ｄ：第１マーカ
２３ｂ、２３ｅ：第２マーカ
２３ｃ、２３ｆ：第３マーカ
２３ｏ、２３ｐ、２３ｑ：目盛り線
２４ ：計測部
２４ａ ：超音波センサ
２４ｂ ：反射板
２４ｃ ：先端部
３１ ：計測部
３２、３３、３４：撮像部
４０ ：ステージ
１００ ：ペリクル
１０１ ：ペリクルフレーム
１０１ａ ：上面
１０１ｂ ：下面
１０１ｃ ：側面
１０１ｄ ：溝
１０１ｅ ：中空部
１０２ ：ペリクル膜
１０３ ：粘着部材
１１０ ：搬送装置

Claims (12)

1. 側面に溝が形成された略中空筒状のペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの前記側面と略直交する第１面に前記ペリクルフレームの中空部を覆うように設けられたペリクル膜と、を有するペリクルを把持するペリクル把持装置であって、
   複数の棒状部材を略矩形形状に組み合わせた枠状の部材である枠体と、
   前記枠体に設けられる複数のペリクル把持部材と、
   前記ペリクル把持部材毎に設けられた駆動部であって、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１位置と、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２位置との間で前記ペリクル把持部材を第１方向に移動させる駆動部と、
   を備え、
   前記ペリクル把持部材は、前記ペリクル把持部材が前記第１位置にあるときに一部が前記溝に挿入される板状又は棒状の先端部を有し、
   前記先端部には、前記先端部の前記第１方向における位置を示すマーカが設けられている
   ことを特徴とするペリクルフレーム把持装置。
2. 前記先端部は、金属により形成され、
   前記先端部の表面にコーティング層が設けられることで、前記マーカが前記先端部に設けられる
   ことを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム把持装置。
3. 前記ペリクルフレームは、黒色アルマイト処理が施されたアルミニウム合金であり、
   前記コーティング層は黒色である
   ことを特徴とする請求項２に記載のペリクルフレーム把持装置。
4. 前記先端部は、金属により形成され、
   前記先端部の表面の一部を削って凹部を形成することで、前記マーカが前記先端部に設けられる
   ことを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム把持装置。
5. 前記ペリクルフレームは、黒色アルマイト処理が施されたアルミニウム合金であり、
   前記マーカは、前記凹部の内部を黒く着色して形成される
   ことを特徴とする請求項４に記載のペリクルフレーム把持装置。
6. 前記先端部は、前記ペリクル把持部材が前記第１位置にあるときに前記溝に挿入される先端面であって、前記第１方向と略直交する第２方向に延設された先端面を有し、
   前記マーカは、前記先端面からの距離を示す
   ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のペリクルフレーム把持装置。
7. 前記マーカは、前記先端面と、前記第２方向に略沿った仮想線である境界線であって、前記先端面から前記第１方向に所定距離離れた位置に配置された境界線とに挟まれた先端領域には設けられない
   ことを特徴とする請求項６に記載のペリクルフレーム把持装置。
8. 前記先端部は、板状であり、
   前記マーカは、前記先端部の最も広い面に設けられており、
   前記マーカは、前記境界線に沿って並んだ第１マーカ、第２マーカ及び第３マーカを有し、
   前記第１マーカ、前記第２マーカ及び前記第３マーカは、それぞれ前記第１方向の長さが異なる
   ことを特徴とする請求項７に記載のペリクルフレーム把持装置。
9. 前記マーカは、前記第１マーカ、前記第２マーカ及び前記第３マーカをそれぞれ２つずつ有し、
   前記第１マーカ、前記第２マーカ及び前記第３マーカは、前記ペリクル把持部材の長手方向に沿った中心線の両側にそれぞれ設けられている
   ことを特徴とする請求項８に記載のペリクルフレーム把持装置。
10. 前記マーカは、前記枠体を水平方向に延設したときに、上方又は斜め上方から視認できる位置に設けられている
    ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のペリクルフレーム把持装置。
11. 前記マーカを撮像する撮像部を備え、
    前記撮像部は、前記枠体を水平方向に延設したときに、前記枠体よりも高い位置に設けられている
    ことを特徴とする請求項１０に記載のペリクルフレーム把持装置。
12. 前記枠体は、間隔をあけて略平行に保持される棒状の第１縦枠及び第２縦枠を有し、
    前記ペリクル把持部材は、前記第１縦枠及び前記第２縦枠のそれぞれに設けられ、
    前記撮像部は、前記第１縦枠及び前記第２縦枠に隣接してそれぞれ設けられており、
    前記撮像部は、鉛直方向上側から見たときに、前記第１縦枠と前記第２縦枠とに挟まれた領域の外側に設けられている
    ことを特徴とする請求項１１に記載のペリクルフレーム把持装置。

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