WO2016133054A1 - ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法 - Google Patents

ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法 Download PDF

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WO2016133054A1
WO2016133054A1 PCT/JP2016/054317 JP2016054317W WO2016133054A1 WO 2016133054 A1 WO2016133054 A1 WO 2016133054A1 JP 2016054317 W JP2016054317 W JP 2016054317W WO 2016133054 A1 WO2016133054 A1 WO 2016133054A1
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WO
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pellicle
frame
gripping
gripping member
container body
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PCT/JP2016/054317
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重人 杉本
Original Assignee
株式会社ブイ・テクノロジー
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • H—ELECTRICITY
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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention relates to a pellicle frame gripping apparatus and a pellicle frame gripping method.
  • Patent Document 1 after holding the outer peripheral portion of the substrate to which the pellicle frame is attached, a thin bar is attached to each of the holes provided in a plurality of locations on the outer side of each of the two sides constituting the opposite side of the pellicle frame.
  • a pellicle frame removing method is disclosed in which the pellicle frame is supported by aligning and inserting, and a force in a direction perpendicular to the substrate is applied to the thin rod in a direction to uniformly move the pellicle frame away from the substrate.
  • the pellicle frame Since the pellicle frame has a thin plate shape with a wide surface to which the pellicle film is attached, there is a high possibility that distortion occurs in a direction (height direction) perpendicular to the surface to which the pellicle film is attached.
  • the distortion of the pellicle frame is not taken into consideration.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and a pellicle frame gripping device and a pellicle frame that can grip a pellicle frame without an operator even when the pellicle frame or the like is distorted.
  • An object is to provide a gripping method.
  • a pellicle frame gripping device is, for example, a substantially hollow cylindrical pellicle frame, which includes a first end surface on which a pellicle film covering the hollow portion is provided, and an adhesive member.
  • a pellicle frame having a second end surface substantially parallel to the first end surface and a side surface on which a groove is formed, a protective sheet affixed to the adhesive member, and the first surface facing substantially horizontally upward
  • a first driving unit that moves in a vertical direction that is substantially perpendicular to the container body, and a jig frame that is provided above the container body, and is two bars that are held substantially horizontally at a predetermined interval; , Not each of the two bars A plurality of pellicle gripping members provided; and a second drive unit provided for each of the plurality of pellicle gripping members, wherein the pellicle gripping member is inserted into the groove; and the pellicle gripping member
  • Each of the plurality of pellicle gripping members has a jig frame having a second drive unit that moves the pellicle gripping member in a substantially horizontal direction between the second position where the pellicle gripping member is not inserted into the groove.
  • a plurality of distance measuring sensors wherein when the pellicle gripping member is in the first position, the height of the pellicle gripping member, which is a substantially vertical position, is continuously measured, and the pellicle gripping member Is located at the second position, the measurement unit having a plurality of distance measuring sensors for continuously measuring the height of the first end face, and the measurement result continuously measured by the measurement unit based on the measurement result Peri
  • the height of the pellicle gripping member substantially coincides with the height of the groove while moving the container body upward
  • the height of the pellicle gripping member and the groove is determined.
  • the first drive unit and the second drive are configured to move the container body downward.
  • a control unit for controlling the unit.
  • the heights of the grooves formed on the side surfaces of the pellicle gripping member and the pellicle frame are continuously acquired.
  • the container body is moved upward, the pellicle gripping member is inserted into the groove based on the height of the pellicle gripping member and the groove, and when the pellicle gripping member is inserted into the groove, the container body is moved downward.
  • the distance measuring sensor is provided for each pellicle gripping member, the pellicle frame can be reliably gripped.
  • the control unit moves the container body downward by a first distance and then stops the movement of the container body.
  • the control unit controls the first driving unit and then the measurement unit acquires that the height of the first end face has moved upward by the first distance, the protective sheet and the adhesive You may determine with the member having peeled. Thereby, it can be detected that the pellicle frame has been peeled off from the container main body without intervention of an operator.
  • the container main body has a substantially rectangular upper surface on which the pellicle frame is placed, and the first driving unit is a first actuator that moves near the center of the first side of the upper surface. And a second actuator and a third actuator that respectively move positions closer to the end than the center of the second side substantially parallel to the first side of the upper surface, and the control unit includes The first actuator, the second actuator, and the third actuator may be controlled separately. Thereby, the pellicle frame can be moved in various forms.
  • the control unit moves the container body upward
  • the control unit is obtained based on a result measured by a first ranging sensor among a plurality of ranging sensors included in the measuring unit.
  • a relative position between the pellicle gripping member and the groove, and a relative position between the pellicle gripping member and the groove determined based on a result measured by a second distance measuring sensor different from the first distance measuring sensor.
  • the first actuator, the second actuator, and the third actuator may be controlled so as to be substantially the same. Thereby, even when the pellicle frame is distorted or the like, the height of the groove can be made substantially the same, and the time required to insert the pellicle gripping member into the groove can be shortened.
  • the protective sheet is fixed to the upper surface in the vicinity of the center of the first side, and the control unit first drives the first actuator when moving the container body downward. Also good. Thereby, a protective sheet can be peeled from an adhesion layer with weak force.
  • the positions of the ends of the two rods on the side where the rotation shaft is not provided are in a direction perpendicular to the first end surface.
  • tool frame can be stably hold
  • the jig frame includes the first rod and the second rod which are the two rods, the third rod and the fourth rod which are substantially orthogonal to the first rod and the second rod.
  • the first bar, the second bar, and the third bar may be provided so as to be movable in a direction substantially orthogonal to the longitudinal direction. Thereby, pellicle frames of various sizes can be gripped.
  • the jig frame may have a moving mechanism for moving the pellicle gripping member in a direction orthogonal to the first end face.
  • a strong force in a direction perpendicular to the first end surface is applied to the pellicle gripping member, it is possible to prevent the pellicle gripping member from being deformed or broken.
  • a pellicle frame gripping method includes, for example, a first end surface provided with a pellicle film covering a hollow portion, and a first end surface substantially parallel to the first end surface provided with an adhesive member.
  • a container in which a substantially hollow cylindrical pellicle frame having two end surfaces and a side surface in which a groove is formed is placed with the first surface facing substantially horizontally upward and the second surface facing substantially horizontally downward Each of two bars which are main bodies and are held substantially horizontally at a predetermined interval of a jig frame provided above a container main body to which a part of a protective sheet affixed to the adhesive member is fixed.
  • a plurality of pellicle gripping members provided on the pellicle gripping member are arranged at a first position where the pellicle gripping member is inserted into the groove, and one each of the plurality of pellicle gripping members is provided for each of the plurality of pellicle gripping members.
  • the pellicle gripping member is moved from the second position.
  • the first drive unit is controlled to move the container body downward when the pellicle gripping member is moved to the first position and moved to the first position.
  • the pellicle frame can be gripped without an operator.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2. It is a figure which shows the detail of the jig
  • FIG. It is a figure explaining the mechanism which moves the stick
  • FIG. 5 is a diagram showing a state where the pellicle gripping mechanism 24a is not gripping the pellicle frame 101.
  • 2 is a block diagram showing an electrical configuration of the pellicle frame gripping device 1.
  • FIG. 6 is a flowchart showing a flow of a pellicle gripping process performed by the pellicle frame gripping apparatus 1; It is a figure which shows how the height of the upper surface 101a changes with progress of time. 6 is a flowchart showing a flow of a pellicle sticking process performed by the pellicle frame gripping apparatus 1.
  • 3 is a perspective view showing an outline of a jig frame main body 21A of the pellicle frame gripping device 2.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing a pellicle frame gripping device 1 according to the first embodiment.
  • the pellicle frame gripping device 1 mainly includes a pellicle storage container 10 and a jig frame 20 provided above (+ z direction) the pellicle storage container 10.
  • the pellicle storage container 10 mainly includes a container main body 11 and a pellicle 100.
  • the pellicle 100 placed on the container body 11 is supported by the jig frame 20 and removed from the container body 11.
  • FIG. 2 is a perspective view showing details of the pellicle storage container 10.
  • 3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
  • the pellicle 100 mainly includes a pellicle frame 101, a pellicle film 102 stretched on the pellicle frame 101, and an adhesive layer 103 (see FIG. 3) formed on the lower surface of the pellicle frame 101.
  • the pellicle frame 101 has a frame shape (hollow tube shape) having a substantially rectangular outer periphery, and is formed of a metal such as iron or aluminum.
  • the size of the hollow portion 101e is approximately the same as the size of the photomask (for example, about 520 mm ⁇ 800 mm to 1620 mm ⁇ 1780 mm).
  • the width of the frame-like portion of the pellicle frame 101 is about several tens mm, and the thickness is about 2 mm to 10 mm.
  • the pellicle frame 101 has a substantially parallel upper surface 101a and lower surface 101b. Further, a groove 101d is formed along the outer peripheral surface of the side surface 101c orthogonal to the upper surface 101a and the lower surface 101b of the pellicle frame 101. The groove 101d has a height and depth of about 2 mm. A pellicle gripping member 241 (described in detail later) provided in the jig frame 20 is inserted into the groove 101d.
  • the pellicle film 102 is a thin film having a thickness of submicron.
  • the pellicle film 102 is stretched on the upper surface 101 a of the pellicle frame 101 so as to cover the hollow portion 101 e of the pellicle frame 101.
  • the pellicle film 102 is provided at a predetermined interval from the pattern formation surface of the photomask.
  • the adhesive layer 103 is provided on the lower surface 101b of the pellicle frame 101, that is, the surface facing the container body 11.
  • the adhesive layer 103 is formed in a frame shape on the entire periphery of the pellicle frame 101.
  • the adhesive layer 103 is provided so as not to protrude from the pellicle frame 101.
  • a pellicle liner 104 that protects the adhesive layer 103 is provided on the lower surface of the adhesive layer 103.
  • the pellicle liner 104 has a thickness of about 0.1 mm and has a frame shape substantially the same as the shape of the pellicle frame 101.
  • the pellicle liner 104 is formed, for example, by applying a release agent to the surface of a base material made of PET or the like.
  • the pellicle liner 104 functions as a so-called release paper, and is peeled off when the pellicle 100 is taken out from the container body 11.
  • the pellicle liner 104 and the container body 11 come into contact with each other. Therefore, the adhesive layer 103 and the container body 11 do not come into contact with each other.
  • the pellicle liner 104 is formed with one tab 104a in the vicinity of the center of each side of the frame shape.
  • the tab 104a is formed so as to protrude from the outer periphery of the pellicle frame 101.
  • the tab 104a is for facilitating peeling of the pellicle liner 104.
  • the tab 104a is fixed to the upper surface 101a of the container body 11 with, for example, an adhesive tape 105 or the like. Thereby, the tab 104a, that is, the pellicle 100 is fixed to the container body 11.
  • the tab 104a is not limited to the upper surface 101a, but may be fixed anywhere on the container body 11.
  • the pellicle 100 configured in this manner is placed on the upper side (+ z side) of the upper surface 11a of the container body 11, as shown in FIG.
  • a driving member 12 is provided below the upper surface 11a ( ⁇ z side).
  • the drive member 12 moves the upper surface 11a of the container main body 11 up and down (z direction).
  • the drive member 12 mainly includes three actuators 12a, an actuator 12b, and an actuator 12c.
  • the actuators 12a, 12b, and 12c have rods (not shown) whose tips can move in the z direction, and the tips of the rods are respectively provided on the lower side ( ⁇ z side) of the upper surface 11a.
  • the actuator 12a is provided in the vicinity of the long side 11b of the upper surface 11a and in the approximate center of the long side 11b, and the actuator 12b and the actuator 12c are positioned in the vicinity of the long side 11c of the upper surface 11a and closer to the end than the center of the long side 11c. Is provided.
  • the actuator 12a, the actuator 12b, and the actuator 12c are provided to be individually drivable. Thereby, the pellicle frame can be moved in various forms (detailed later).
  • the jig frame 20 mainly includes a jig frame main body 21, a rotating shaft 22, a contact member 23, and a pellicle gripping mechanism 24 (see FIG. 4, the pellicle gripping mechanism 24 includes pellicle gripping mechanisms 24a to 24n). And having. In FIG. 1, the pellicle gripping mechanism 24 is omitted.
  • FIG. 4 is a diagram showing details of the jig frame main body 21 and the rotating shaft 22.
  • FIG. 4 shows a state in which the jig frame main body 21 and the rotation shaft 22 are viewed from the ⁇ z direction.
  • the jig frame main body 21 has four bars 211, 212, 213, and 214 and a frame 215 provided around the bars 212, 213, and 214.
  • the rods 211, 212, 213, 214 and the frame 215 are made of metal, such as iron or aluminum.
  • the two bars 211 and 212 have a longitudinal direction provided along the x direction, and the two bars 213 and 214 have a longitudinal direction provided along the y direction. Thereby, the four rods 211, 212, 213, 214 are combined in a frame shape.
  • the pellicle gripping mechanism 24 is provided on each of the rods 211, 212, 213, and 214.
  • the rods 211 and 212 are each provided with three pellicle gripping mechanisms 24 (24a to 24c, 24h to 24j), and the bars 213 and 214 each have four pellicle gripping mechanisms 24. (24d-24g, 24k-24n) are provided.
  • the frame 215 is a substantially U-shaped (substantially U-shaped) frame-shaped member fixed at both ends to the rod 211, and is provided outside the rods 212, 213, and 214 combined in a frame shape.
  • the bars 212, 213, and 214 are provided so as to be movable with respect to the frame 215.
  • the bars 213 and 214 are provided to be movable along the longitudinal direction of the bars 211 and 212, that is, the x direction.
  • the bar 212 is provided to be movable along the longitudinal direction of the bars 213 and 214, that is, the y direction.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining a mechanism for moving the bars 213 and 214 in the x direction.
  • the rod 214 is described as an example, but the rod 213 is also described using a mechanism similar to that of the rod 214, and thus the description thereof is omitted.
  • the rod 214 is a rod-shaped member in which a plate 214a having the widest surface substantially parallel to the xy plane and a reinforcing plate 214b having the widest surface substantially parallel to the yz plane are combined in a substantially L-shape. Is provided with an end plate 214c. A hole 214d is formed in the end plate 214c.
  • the rod 211 is mainly composed of a plate 211a whose widest surface is substantially parallel to the xy plane, a plate 211b whose widest surface is substantially parallel to the xz plane, and a substantially cylindrical shaft 211c whose longitudinal direction is substantially parallel to the plate 211a. And a rib 211d for attaching the shaft 211c.
  • the plate 211b is not essential.
  • the shaft 211c is inserted into the hole 214d, and the shaft 211c is rotated by the actuator 218 provided in the shaft 211c, so that the rod 214 moves along the shaft 211c, that is, in the x direction.
  • various known mechanisms can be used as the mechanism for moving the bar 214 along the axis 211c.
  • the wiring / pipe guide 216 includes a bar 216a and a bar 216b. One end of the rod 216a and the rod 216b are coupled to each other by a joint. As the bar 214 moves in the x direction, the angle ⁇ formed by the bar 216a and the bar 216b changes. Note that the wiring / piping guide 216 is not an essential component and can be omitted.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining a mechanism for moving the rod 212 along the y direction.
  • the rod 214 has a shaft 214e.
  • the shaft 214e is provided on the end plate 214c (not shown in FIG. 6) so that the longitudinal direction is substantially parallel to the y direction.
  • the shaft 214e is shown only in FIG. 6, and the shaft 214e is omitted in FIG.
  • the rod 212 includes a rod 212a and a guide member 212c in which a hole 212b into which the shaft 214e is inserted is formed.
  • the moving mechanism 217 for moving the rod 212 includes a rack 217a provided on the plate 214a, an actuator 217b provided on the guide member 212c, and a pinion 217c provided on the output shaft of the actuator 217b.
  • the output shaft of the actuator 217b that is a drive member, that is, the pinion 217c rotates
  • the guide member 212c that is, the bar 212 moves in the y direction along the rack 217a.
  • the form in which the bars 213 and 214 are provided to be movable along the x direction and the form in which the bar 212 is provided to be movable along the y direction are not limited thereto, and various forms can be taken.
  • the bars 212, 213, and 214 move in a direction orthogonal to the longitudinal direction, so that the size of the frame formed by the four bars 211, 212, 213, and 214 changes.
  • the size of the frame formed by the bars 211, 212, 213, and 214 can be changed to various sizes of the pellicle 100 ( 100A, 100B, 100C, 100D, and 100E).
  • the pellicle 100A has a size of, for example, about 420 mm ⁇ 720 mm
  • the pellicle 100B has a size of, for example, about 700 mm ⁇ 800 mm
  • the pellicle 100C has a size of, for example, about 520 mm ⁇ 680 mm
  • the pellicle 100D has, for example, The size is about 750 mm ⁇ 1300 mm
  • the pellicle 100E is about 1520 mm ⁇ 1680 mm, for example.
  • the pellicle 100A, pellicle 100B, and pellicle 100C are gripped using the pellicle gripping mechanisms 24b, 24d, 24e, 24m, and 24n.
  • the pellicle 100D is gripped using the pellicle gripping mechanisms 24b, 24d, 24e, 24f, 24l, 24m, and 24n.
  • the pellicle 100E is gripped using all the pellicle gripping mechanisms 24a to 24n.
  • FIG. 7 is a diagram showing details of the pellicle gripping mechanism 24.
  • the pellicle gripping mechanism 24a will be described as an example. However, since the pellicle gripping mechanisms 24b to 24n have the same configuration as the pellicle gripping mechanism 24a, description thereof is omitted.
  • FIG. 7 illustrates a state in which the pellicle gripping mechanism 24 grips the pellicle frame 101. In FIG. 7, the container body 11 is omitted.
  • the pellicle gripping mechanism 24a includes a pellicle gripping member 241a inserted into the groove 101d, a holding portion 242a that holds the pellicle gripping member 241a, and a base 243a that attaches the holding portion 242a to the rod 211.
  • the pellicle gripping member 241a is formed of a metal plate material.
  • the pellicle gripping member 241a in the present embodiment is formed by bending a plate material twice, but the plate material may not be bent.
  • the pellicle gripping member 241a is not limited to a plate-like member, and may be formed using, for example, a rod-like member.
  • the holding member 242a is provided with a driving member 44.
  • the drive member 44 has an actuator 44b having a rod 44a whose tip moves in a direction (y direction) substantially orthogonal to the longitudinal direction (x direction) of the rod 211 (see arrow in FIG. 7).
  • the pellicle gripping member 241a is connected to the rod 44a. As a result, the pellicle gripping member 241a is moved in the horizontal direction (along the xy plane) and in the direction orthogonal to the bar 211.
  • the pellicle gripping member 241a is retracted by the drive member 44 so that the pellicle gripping member 241a is inserted into the groove 101d and the pellicle gripping member 241a is not inserted into the groove 101d so that the pellicle gripping member 241a does not interfere with the pellicle frame 101.
  • the position is moved in the horizontal direction (see the dotted line in FIG. 7).
  • the tip of the pellicle gripping member 241a is covered with a sheet or the like made of resin (for example, ultra high molecular weight polyethylene). Thereby, when the pellicle gripping member 241a is inserted into the groove 101d, the pellicle gripping member 241 and the pellicle frame 101 are prevented from being scraped and generating dust.
  • resin for example, ultra high molecular weight polyethylene
  • the heights of the bars 211, 212, 213, 214 vary by several millimeters to several tens of millimeters. Therefore, it is desirable that the heights of the tips of the pellicle gripping members 241 (241a to 241n) be made substantially the same by changing the heights of the bases 243 (243a to 243n), respectively.
  • the method for making the tips of the pellicle gripping members 241 (241a to 241n) substantially the same height is not limited to this.
  • the pellicle gripping member can be changed by changing the heights of the holding portions 242 (242a to 242n).
  • the height of the tip of 241 (241a to 241n) may be substantially the same.
  • a corresponding measuring unit 25 is provided in each of the pellicle gripping mechanisms 24.
  • One measuring unit 25 (25a to 25n) is provided for each pellicle gripping mechanism 24 (24a to 24n).
  • the measurement unit 25a is provided in the pellicle gripping mechanism 24a
  • the measurement unit 25b is provided in the pellicle gripping mechanism 24b.
  • the pellicle gripping mechanism 24n is provided with a measuring unit 25n.
  • the measurement units 25b to 25n are the same as the configuration of the measurement unit 25a, and thus the description thereof is omitted.
  • the measurement unit 25a mainly includes an ultrasonic sensor 251a and a reflection plate 252a.
  • the ultrasonic sensor 251a is a distance measuring sensor that transmits an ultrasonic wave toward an object, receives a reflected wave thereof, and measures a distance to the target based on a time interval between the signal transmission and the reflected wave reception. is there.
  • the ultrasonic sensor 251a has a resolution of about 0.2 ⁇ m. Since the ultrasonic sensor 251a is already known, detailed description thereof is omitted.
  • the reflector 252a reflects the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic sensor 251a.
  • the ultrasonic sensor 251 a transmits ultrasonic waves in a direction (+ y direction) orthogonal to the longitudinal direction of the bar 211. Therefore, by providing the reflecting plate 252a at an angle of 45 degrees on the yz plane, the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic sensor 251a is reflected downward ( ⁇ z direction) (see the two-dot chain line in FIG. 7). ).
  • the ultrasonic sensor 251a and the reflection plate 252a are provided in the holding unit 242a, but the positions where the ultrasonic sensor 251a and the reflection plate 252a are provided are not limited thereto.
  • the ultrasonic sensor 251a and the reflection plate 252a may be provided on the base 243a or may be provided on the bar 211.
  • FIG. 8 shows a state where the pellicle gripping mechanism 24 is not gripping the pellicle frame 101.
  • the case where the pellicle gripping member 241 is located at the retracted position is indicated by a solid line
  • the case where the pellicle gripping member 241 is located at the insertion position is indicated by a dotted line.
  • the container body 11 is omitted as in FIG.
  • the pellicle film 102 (not shown in FIG. 8) is formed of a material that reflects ultrasonic waves. Therefore, when the pellicle gripping member 241 is located at the retracted position (see the solid line in FIG. 8), the pellicle gripping member 241 does not interfere with the pellicle frame 101 (the position on the xy plane does not overlap), and therefore, from the ultrasonic sensor 251a.
  • the transmitted ultrasonic wave is reflected in the + z direction by the pellicle film 102, turned in the -y direction by the reflecting plate 252a, and received by the ultrasonic sensor 251a.
  • the ultrasonic sensor 251a can measure the distance between the ultrasonic sensor 251a and the upper surface 101a, that is, the height of the upper surface 101a.
  • the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic sensor 251a is blocked by the pellicle gripping member 241 before hitting the pellicle film 102. .
  • the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic sensor 251a is reflected by the pellicle gripping member 241 in the + z direction, changed in the -y direction by the reflecting plate 252a, and received by the ultrasonic sensor 251a.
  • the ultrasonic sensor 251a can measure the distance between the ultrasonic sensor 251a and the pellicle gripping member 241, that is, the height of the pellicle gripping member 241.
  • the measuring unit 25 includes the ultrasonic sensor 251 in order to obtain the height of the upper surface 101a of the pellicle frame 101 or the height of the pellicle gripping member 241, but a sensor for obtaining the distance. Is not limited to the ultrasonic sensor 251.
  • a sensor for obtaining the distance Is not limited to the ultrasonic sensor 251.
  • an optical sensor or an eddy current type sensor in which the measuring unit 25 obtains a distance using light may be used.
  • the optical sensor for example, a laser displacement sensor using a laser or a triangulation optical sensor can be used.
  • the pellicle film 102 has a property of reflecting ultrasonic waves satisfactorily, it is desirable to use an ultrasonic sensor as a distance measuring sensor.
  • the reflection plate 252 is provided, but the reflection plate 252 may not be used.
  • the ultrasonic sensor 251 may be provided at the position of the reflecting plate 252 so that the ultrasonic wave is transmitted downward ( ⁇ z direction).
  • the reflector moving mechanism is provided so that the reflector 252 can be moved to a position where the position on the xy plane does not overlap the position on the xy plane of the pellicle frame 101 (see the long dotted line in FIG. 8). Thereby, the pellicle 100 taken out from the container body 11 can be inspected using a laser beam or the like.
  • the ultrasonic sensor 251 When the ultrasonic sensor 251 is provided at the position of the reflecting plate 252, a mechanism similar to the reflecting plate moving mechanism, that is, the ultrasonic sensor 251 is moved to a position that does not overlap with the position on the xy plane of the pellicle frame 101. It is desirable to add a mechanism.
  • the rod 211 is provided with a rotating shaft 22 along the longitudinal direction (x direction) of the rod 211.
  • the jig frame main body 21 is formed by the peeling position where the surface formed by the rod 211 and the frame 215 is substantially horizontal (substantially parallel to the xy plane), and the rod 211 and the frame 215 around the rotation shaft 22.
  • the surface can be rotated approximately 90 degrees between the pasting position where the surface is substantially vertical (substantially parallel to the xz plane).
  • FIG. 4 illustrates a state where the jig frame main body 21 is in the peeling position.
  • the bars 211, 212, 213, and 214 are provided substantially horizontally, that is, the longitudinal direction thereof is substantially horizontal.
  • the lower surface (the surface on the ⁇ z side in FIG. 1) 215a (see FIG. 4) of the frame 215 contacts the contact member 23 (see FIG. 1).
  • the jig frame main body 21 can be stably held at the peeling position by supporting (both-supporting) the jig frame main body 21 at a plurality of positions (the rotation shaft 22 and the contact member 23). .
  • FIG. 9 is a block diagram showing an electrical configuration of the pellicle frame gripping device 1.
  • the pellicle frame gripping device 1 includes a CPU (Central Processing Unit) 151, a RAM (Random Access Memory) 152, a ROM (Read Only Memory) 153, an input / output interface (I / F) 154, and a communication interface (I / F) 155 and a media interface (I / F) 156, which are connected to the drive member 12, the drive member 44, the measuring unit 25, and the like.
  • a CPU Central Processing Unit
  • RAM Random Access Memory
  • ROM Read Only Memory
  • the CPU 151 operates based on programs stored in the RAM 152 and the ROM 153, and controls each part. Signals are input from the measurement unit 25, the drive member 12, and the drive member 44 to the CPU 151. A signal output from the CPU 151 is output to the drive member 12 and the drive member 44.
  • the RAM 152 is a volatile memory.
  • the ROM 153 is a non-volatile memory in which various control programs and the like are stored.
  • the CPU 151 operates based on programs stored in the RAM 152 and the ROM 153, and controls each unit.
  • the ROM 153 stores a boot program executed by the CPU 151 when the pellicle frame gripping device 1 is started up, a program depending on the hardware of the pellicle frame gripping device 1, and the like.
  • the RAM 152 stores programs executed by the CPU 151, data used by the CPU 151, and the like.
  • the CPU 151 controls the input / output device 161 such as a keyboard and a mouse via the input / output interface 154.
  • the communication interface 155 receives data from other devices via the network 162 and transmits the data to the CPU 151, and transmits data generated by the CPU 151 to other devices via the network 162.
  • the media interface 156 reads the program or data stored in the storage medium 163 and stores it in the RAM 152.
  • the storage medium 163 is, for example, an IC card, an SD card, a DVD, or the like.
  • a program for realizing each function is read from, for example, the storage medium 163, installed in the pellicle frame gripping device 1 via the RAM 152, and executed by the CPU 151.
  • the CPU 151 has a function of a control unit 151a that controls each unit of the pellicle frame gripping device 1 based on an input signal.
  • the control unit 151a is constructed by executing a predetermined program read by the CPU 151.
  • the control unit 151 a controls the drive member 12 and the drive member 44 based on the signal acquired from the measurement unit 25. The processing performed by the control unit 151a will be described in detail later.
  • the configuration of the pellicle frame gripping apparatus 1 shown in FIG. 9 is the main configuration for explaining the features of the present embodiment, and does not exclude, for example, the configuration of a general information processing apparatus.
  • the functional configuration shown in FIG. 9 is classified for easy understanding of the configuration of the pellicle frame gripping apparatus 1, and the classification method and names of the constituent elements are not limited to the form shown in FIG.
  • the configuration of the pellicle frame gripping device 1 may be classified into more components depending on the processing content, or one component may execute processing of a plurality of components.
  • FIG. 10 is a flowchart showing the flow of the pellicle gripping process performed by the pellicle frame gripping apparatus 1. The following processing is mainly performed by the control unit 151a.
  • the control unit 151a positions the pellicle storage container 10 at the initial position (the position shown in FIG. 1), that is, the jig frame main body 21 is positioned above the pellicle 100. It is confirmed that it is in a state (initial state) (step S101).
  • the pellicle gripping member 241 is located at the retracted position. Accordingly, the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic sensor 251a is reflected in the + z direction by the pellicle film 102, is changed in the -y direction by the reflecting plate 252a, and is received by the ultrasonic sensor 251a. Further, the height of the jig frame main body 21, that is, the height of the pellicle gripping member 241 is basically unchanged, and this information is stored in the ROM 153 in advance.
  • the control unit 151a based on the signal acquired from the measurement unit 25 and information on the height of the pellicle gripping member 241 stored in the ROM 153, the control unit 151a has a height of the pellicle 100 that is lower than the height of the jig frame main body 21. That is, it can be determined that the pellicle storage container 10 is in the initial state.
  • the number of measurement units 25 is 14 of measurement units 25a to 25n.
  • the control unit 151a sequentially transmits ultrasonic waves from the ultrasonic sensors 251a to 251n, and acquires measurement results sequentially from the ultrasonic sensors 251a to 251n.
  • the control unit 151a sequentially transmits ultrasonic waves from the ultrasonic sensors 251a to 251n again after a predetermined time has elapsed after acquiring the measurement results from all the ultrasonic sensors 251.
  • the predetermined time is substantially the same as the time required for the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic sensor 251 to be reflected by the pellicle frame 101 at the initial position and received by the ultrasonic sensor 251 (only a minute time). Long case).
  • the time required for sequentially transmitting ultrasonic waves from the ultrasonic sensors 251a to 251n and acquiring the measurement results sequentially by the ultrasonic sensors 251a to 251n is approximately 20 milliseconds. Therefore, the control unit 151a can acquire the measurement value from the measurement unit 25 in almost real time.
  • control unit 151a controls the drive member 44 to move the pellicle gripping member 241 to the insertion position, and confirms the actual position of the pellicle gripping member 241 (step S102).
  • step S102 The process of step S102 will be described in detail.
  • the controller 151a drives the actuator 44b to move the rod 44a in a direction perpendicular to the rods 211, 212, 213, and 214, thereby moving the pellicle gripping member 241 connected to the rod 44a from the retracted position to the insertion position.
  • the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic sensor 251a is transmitted in the + z direction by the pellicle gripping member 241.
  • the direction is changed in the ⁇ y direction by the reflecting plate 252a and is received by the ultrasonic sensor 251a.
  • the measurement unit 25 measures the height of the pellicle gripping member 241, and the control unit 151 a acquires this.
  • the distance between the ultrasonic sensor 251a and the reflecting plate 252a is known, and this value is preset and stored in the ROM 153. Therefore, the control unit 151a determines the pellicle gripping member 241 based on the result of the measurement unit 25 measuring the height of the pellicle gripping member 241 and the distance between the ultrasonic sensor 251a and the reflecting plate 252a stored in the ROM 153. Find the height of.
  • control unit 151a controls the driving member 44 to move the pellicle gripping member 241 from the insertion position to the retracted position. Thereby, the process of step S102 is complete
  • control unit 151a continuously obtains the height of the groove 101d of the pellicle 100 while controlling the driving member 12 to move the container body 11 (pellicle storage container 10) upward (+ z direction) (step S103). ).
  • the measurement unit 25 continuously performs detection, in this state, the measurement unit 25 continuously measures the height of the upper surface 101a of the pellicle 100, and the control unit 151a continuously acquires this. To do.
  • the ROM 153 stores information on the difference in height between the upper surface 101a of the pellicle 100 and the groove 101d (here, a value, for example, 3 mm).
  • the control unit 151a includes a signal acquired from the measurement unit 25, information on a height difference between the upper surface 101a and the groove 101d stored in the ROM 153, an ultrasonic sensor 251a and a reflector 252a stored in the ROM 153, Based on the distance, the height of the groove 101d can be obtained continuously (in real time).
  • the actuator 12a and the actuator 12b are arranged so that the heights of the upper surfaces 101a measured by the measurement units 25a to 25n substantially coincide with each other.
  • the actuator 12c may be driven separately.
  • the height of the upper surface 101a is not constant when placed on the container body 11, but the actuator 12a, the actuator 12b, and the actuator 12c are driven separately.
  • the actuator 12a, the actuator 12b, and the actuator 12c are driven separately.
  • step S105 the time required for the step (step S105) of inserting the pellicle gripping member 241 described later in detail into the groove 101d can be shortened, and the force and distortion applied to the pellicle frame by the pellicle gripping material 241 can be suppressed.
  • step S103 may be performed simultaneously with step S101.
  • the controller 151a determines whether or not the height of the groove 101d obtained in step S103 matches the height of the pellicle gripping member 241 obtained in step S102 (step S104). The control unit 151a performs the process of step S104 for each pellicle gripping member 241.
  • step S104 If the height of the groove 101d does not match the height of the pellicle gripping member 241 (NO in step S104), the control unit 151a returns the process to step S103.
  • the control unit 151a controls the drive member 44 to move the pellicle gripping member 241 from the retracted position to the insertion position. Then, the pellicle gripping member 241 is inserted into the groove 101d (step S105). The control unit 151a performs the process of step S105 for each pellicle gripping mechanism 24. Accordingly, the pellicle gripping member 241 can be reliably inserted into the groove 101d.
  • the control unit 151a determines whether or not all the pellicle gripping members 241 have been inserted into the grooves 101d (step S106). When all the pellicle gripping members 241 are not inserted into the groove 101d (NO in step S106), the control unit 151a returns the process to step S103.
  • step S106 When all the pellicle gripping members 241 are inserted into the grooves 101d (YES in step S106), the control unit 151a controls the driving member 12 to move the container body 11 (pellicle storage container 10) downward ( ⁇ z direction). ), The height of the upper surface 101a of the pellicle 100 is continuously obtained (step S107).
  • the actuator 12b and the actuator 12c are first stopped to drive only the actuator 12a, and the height of the region moved by the actuator 12a on the upper surface 101a and the vicinity thereof are set.
  • the height may be lower by a predetermined height than the other portions of the upper surface 101a.
  • the position of the actuator 12a on the xy plane is one of the four tabs 104a, or the adhesive tape 105 that fixes the tab 104a to the container body 11 and the xy plane.
  • the position on the xy plane of the upper surface 11a driven by the actuator 12a is the position where the pellicle gripping member 241b of the pellicle gripping mechanism 24b is inserted into the groove 101d, that is, the measurement unit 25b measures the height of the upper surface 101a of the pellicle 100. It is almost coincident with the position to be.
  • control unit 151a makes the height of the upper surface 101a measured by the measurement unit 25b lower by a predetermined height than the average value of the heights measured by the other measurement units 25, for example, the measurement units 25e to 25m.
  • the actuator 12a is driven at the beginning of step S107.
  • the force is concentrated on the root 104b (see FIGS. 2 and 3) of the tab 104a at the position overlapping with the position on the xy plane of the upper surface 11a driven by the actuator 12a, and the trigger to peel the pellicle liner 104 from the adhesive layer 103.
  • the pellicle liner 104 can be peeled from the adhesive layer 103 with a weak force.
  • control part 151a determines whether the pellicle liner 104 stuck on the container main body 11 peeled from the container main body 11 (step S108).
  • FIG. 11 is a diagram showing how the control unit 151a moves the container body 11 (pellicle storage container 10), that is, how the height of the upper surface 101a changes with time.
  • the vertical axis indicates the distance D (see FIG. 8) between the reflector 252 and the upper surface 101a, and the horizontal axis indicates time t. Since the measurement unit 25 continuously performs detection, the control unit 151a continuously obtains the distance D between the reflection plate 252 and the upper surface 101a based on the signal acquired from the measurement unit 25.
  • T t1 is the time when all the pellicle gripping members 241 are inserted into the grooves 101d (YES in step S106), and the distance D between the reflecting plate 252 and the upper surface 101a at this time is a. Since the container body 11 is moved upward in step S103, the distance a is smaller than the distance i. At this time, the weight of the pellicle storage container 10 is all supported by the pellicle gripping member 241.
  • control unit 151a performs a process of moving the container body 11 downward (step S107).
  • step S107 the relationship between the distance D between the reflecting plate 252 and the upper surface 101a in step S107 and the time t will be described in detail.
  • control unit 151a continues to move the container body 11 downward (t2 ⁇ t ⁇ t3) as it is, the distance D between the reflection plate 252 and the upper surface 101a becomes as the control unit 151a moves the container body 11 downward. Gradually grows.
  • the control unit 151a stops moving the container body 11 downward, and the control unit 151a stops the movement between the reflection plate 252 and the upper surface 101a.
  • the distance D is kept at a + ⁇ a.
  • An arbitrary value is set in advance for ⁇ a.
  • the ROM 153 stores information (here, a value) related to ⁇ a. Based on the signal acquired from the measurement unit 25 and information on ⁇ a stored in the ROM 153, the control unit 151a moves the container body 11 downward at a position where the distance D between the reflecting plate 252 and the upper surface 101a becomes a + ⁇ a. Stop moving.
  • the pellicle liner 104 is gradually peeled from the adhesive layer 103.
  • t4 and t5 are slightly separated from each other, but it is actually a very short time, and it can be said that t4 and t5 have substantially the same timing.
  • step S108 If the pellicle liner 104 affixed to the container body 11 has not peeled from the adhesive layer 103 (NO in step S108), the control unit 151a returns the process to step S107.
  • the control unit 151a ends the pellicle gripping process.
  • FIG. 12 is a flowchart showing the flow of the pellicle sticking process performed by the pellicle frame gripping apparatus 1.
  • the pellicle sticking process is performed after the pellicle gripping process.
  • the following processing is mainly performed by the control unit 151a.
  • the control unit 151a drives a drive unit (not shown) to rotate the jig frame main body 21 about 90 degrees around the rotation shaft 22 to move the jig frame main body 21 from the peeling position to the pasting position ( Step S201). Since the jig frame main body 21 holds the pellicle 100, the pellicle 100 also rotates approximately 90 degrees together with the jig frame main body 21.
  • Step S201 is time t6 ⁇ t ⁇ t7 in FIG.
  • the angle between the direction of gravity and the direction perpendicular to the upper surface 101a of the pellicle 100 begins to change, and therefore the distance D between the reflector 252 and the upper surface 101a is Smaller from a.
  • the control unit 151a inspects the pellicle 100 held by the jig frame body 21 using an inspection unit (not shown) (step S202).
  • the inspection unit includes a transmission unit that transmits a laser beam or the like, and inspects the pellicle 100 using various known methods.
  • the control unit 151a moves the reflecting plate 252 to a position where it does not overlap with the pellicle frame 101.
  • control unit 151a uses a moving unit (not shown) to move to the pasting position.
  • a certain jig frame main body 21 is translated into the apparatus on which the photomask is placed (step S203). Then, alignment (alignment) between the photomask and the pellicle 100 is performed (step S204).
  • step S204 the controller 151a attaches the pellicle 100 to the photomask (step S205). Since the pellicle liner 104 is peeled from the pellicle 100, the adhesive layer 103 provided on the lower surface 101b of the pellicle frame 101 is exposed. Therefore, when the pellicle 100 is pressed against the photomask, the pellicle 100 is attached to the photomask by the adhesive layer 103.
  • the controller 151a performs the process of step S205 during t8 ⁇ t ⁇ t10.
  • the control unit 151a moves the pellicle 100 as it is toward the photomask as it is. However, since the pellicle 100 and the photomask are in contact with each other, the distance D between the reflecting plate 252 and the upper surface 101a gradually decreases from b (t9 ⁇ t ⁇ t10) while the pellicle 100 is pressed by the photomask.
  • the control unit 151a continuously obtains the distance D between the reflecting plate 252 and the upper surface 101a based on the signal acquired from the measuring unit 25.
  • control unit 151a performs the pellicle 100. Finishes the process of attaching the image to the photomask (step S205).
  • ⁇ b is set to an arbitrary value in advance.
  • Information (here, a value) regarding ⁇ b is stored in the ROM 153.
  • the control unit 151a Based on the signal acquired from the measurement unit 25 and the information regarding ⁇ b stored in the ROM 153, the control unit 151a parallels the pellicle 100 at a position where the distance D between the reflector 252 and the upper surface 101a is b ⁇ b. Stop moving. The control unit 151a performs this process for each measurement unit 25. Thereby, the pellicle 100 can be affixed to the photomask without any operator intervention.
  • the pellicle frame 101 can be gripped by peeling the pellicle 100 from the container main body 11 without an operator intervening.
  • the pellicle frame 101 can be gripped using the pellicle gripping mechanism 24 without any operator even when the pellicle 100 is deformed. it can.
  • the measurement unit 25 since the measurement unit 25 continuously measures the height of the pellicle frame 101, it can be determined that the pellicle 100 has been peeled from the container body 11 without the operator being involved. it can.
  • the pellicle gripping member 241 is movable between the retracted position and the insertion position, but may be further movable in the vertical direction (z direction).
  • an elastic member that can be elastically deformed in the z direction is provided at the connecting portion between the pellicle gripping member 241 and the rod 44a, and when a force in the ⁇ z direction is applied to the pellicle gripping member 241, the elastic member is deformed.
  • the pellicle gripping member 241 moves in the ⁇ z direction and the force in the ⁇ z direction is removed, the pellicle gripping member 241 may move in the + z direction by returning the elastic member to the original shape.
  • a strong force in the vertical direction is applied to the pellicle gripping member 241
  • the rods 212, 213, and 214 are capable of handling a plurality of pellicles by translating, but it is not essential to be able to handle a plurality of pellicles.
  • the second embodiment has a simpler configuration.
  • the pellicle frame gripping apparatus 2 according to the second embodiment will be described. Since the difference between the pellicle frame gripping device 1 according to the first embodiment and the pellicle frame gripping device 2 is only the jig frame main body, only the jig frame main body will be described for the pellicle frame gripping device 2. To do. Further, in the description of the jig frame main body of the pellicle frame gripping device 2, the same parts as those of the pellicle frame gripping device 1 are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • FIG. 13 is a perspective view showing an outline of the jig frame main body 21A of the pellicle frame gripping device 2.
  • the jig frame main body 21A mainly includes a bar 211A, a bar 213A, and a bar 214A.
  • the bar 213A and the bar 214A are fixed to the bar 211A so as to protrude from the bar 211A.
  • the longitudinal direction of the rod 213A and the rod 214A is substantially orthogonal to the longitudinal direction of the rod 211A.
  • the rod 213A is provided with pellicle gripping mechanisms 24d and 24e and measuring units 25d and 25e (not shown in FIG. 13), and the rod 214A is provided with a pellicle gripping mechanism 24m and 24n and measuring units 25m and 25n (in FIG. 13). (Not shown) is provided.
  • a pellicle frame gripping apparatus that peels the pellicle 100 from the container main body 11 and grips the pellicle frame 101 with a simpler configuration and without operator intervention.
  • substantially is a concept that includes not only a case where they are exactly the same but also errors and deformations that do not lose the identity.
  • substantially parallel is not limited to being strictly parallel, and is a concept including an error of, for example, several degrees.
  • near means including a region in a certain range (which can be arbitrarily determined) near a reference position. For example, in the case of the vicinity of A, it is a concept indicating that it is an area in a certain range near A and may or may not include A.
  • Pellicle frame gripping device 10 Pellicle storage container 11: Container body 11a: Upper surface 12: Drive members 12a, 12b, 12c: Actuator 20: Jig frame 21, 21A: Jig frame body 22: Rotating shaft 23 : Contact member 24: pellicle gripping mechanism 25: measuring unit 44: drive member 44a: rod 44b: actuators 100, 100A, 100B, 100C, 100D, 100E: pellicle 101: pellicle frame 101a: upper surface 101b: lower surface 101c: side surface 101d : Groove 101e: hollow portion 102: pellicle membrane 103: adhesive layer 104: pellicle liner 104a: tab 104b: root 105: adhesive tape 151: CPU 151a: Control unit 152: RAM 153: ROM 154: Input / output interface 155: Communication interface 156: Media interface 157: Storage medium 211, 211A: Bar 211a, 211b: Plate 211c: Shaft 211d: Rib

Landscapes

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Abstract

ペリクルフレーム等に歪みが生じている場合にも、作業者が介在することなくペリクルフレームを把持することができる。 所定の間隔で略水平に保持される２本の棒２１３、２１４のそれぞれに複数ずつ設けられたペリクル把持部材にそれぞれ設けられた計測部によりペリクル把持部材及びペリクル１００の側面に形成された溝の高さを連続して取得する。容器本体１１を上方へ移動させ、ペリクル把持部材の高さと溝の高さとが略一致した場合には、ペリクル把持部材を溝に挿入し、ペリクル把持部材が溝に挿入されたら容器本体１１を下方へ移動させる。

Description

ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法
　本発明は、ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法に関する。
　特許文献１には、ペリクルフレームが貼り付けられた基板の外周部を保持した後に、ペリクルフレームの対向辺を構成する２辺各々の外側面の複数箇所に設けられた穴のそれぞれに細棒を位置合わせして差し込むことでペリクルフレームを支持し、基板からペリクルフレームを均一に遠ざける方向に細棒に対して基板に垂直な方向の力を加えるペリクルフレーム除去方法が開示されている。
特開２０１３－１２５１２０号公報
　ペリクルフレームは、ペリクル膜が貼付される面が広い薄板形状であるため、ペリクル膜が貼付される面と直交する方向（高さ方向）に歪みが発生する可能性が高い。しかしながら、特許文献１に記載の発明においては、ペリクルフレームの歪みは考慮されていない。
　したがって、特許文献１に記載の発明では、ペリクルフレーム等の歪みにより、ペリクルフレームに設けた穴の位置が高さ方向にずれてしまった場合には、ペリクルフレームに設けた穴に細棒が挿入できないという不具合が生ずる可能性がある。
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ペリクルフレーム等に歪みが生じている場合にも、作業者が介在することなくペリクルフレームを把持することができるペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するために、本発明に係るペリクルフレーム把持装置は、例えば、略中空筒状のペリクルフレームであって、中空部を覆うペリクル膜が設けられる第１の端面と、粘着部材が設けられる前記第１の端面と略平行な第２の端面と、溝が形成される側面と、を有するペリクルフレームと、前記粘着部材に貼付された保護シートと、前記第１の面が略水平上向き、前記第２の面が略水平下向きの状態で前記ペリクルフレームが載置される容器本体であって、前記保護シートの一部が固定される容器本体と、前記容器本体を前記第１の面と略直交する方向である上下方向に移動させる第１の駆動部と、前記容器本体の上方に設けられた治具枠であって、所定の間隔で略水平に保持される２本の棒と、前記２本の棒のそれぞれに複数ずつ設けられる複数のペリクル把持部材と、前記複数のペリクル把持部材毎に設けられた第２の駆動部であって、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１の位置と、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２の位置との間で前記ペリクル把持部材を略水平方向に移動させる第２の駆動部と、を有する治具枠と、前記複数のペリクル把持部材のそれぞれに各１個設けられた測距センサであって、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置にあるときには、前記ペリクル把持部材の略鉛直方向の位置である高さを連続して計測し、前記ペリクル把持部材が前記第２の位置にあるときには、前記第１の端面の高さを連続して計測する測距センサを複数有する計測部と、前記計測部により連続して計測された計測結果に基づいて前記ペリクル把持部材及び前記溝の高さを求めると共に、前記容器本体を上方へ移動させつつ前記ペリクル把持部材の高さと前記溝の高さとが略一致した場合には前記ペリクル把持部材を前記第２の位置から前記第１の位置へ移動させ、前記ペリクル把持部材が全て前記第１の位置へ移動した場合には前記容器本体を下方へ移動させるように前記第１の駆動部及び前記第２の駆動部を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。
　本発明に係るペリクルフレーム把持装置によれば、ペリクル把持部材及びペリクルフレームの側面に形成された溝の高さを連続して取得する。容器本体を上方へ移動させ、ペリクル把持部材及び溝の高さに基づいてペリクル把持部材を溝に挿入し、ペリクル把持部材が溝に挿入されたら容器本体を下方へ移動させる。これにより、ペリクルフレーム等に歪みが生じている場合にも、作業者が介在することなくペリクルフレームを把持することができる。また、測距センサがペリクル把持部材毎に設けられることで、ペリクルフレームの把持を確実に行うことができる。
　ここで、前記制御部は、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置へ移動した場合には、前記容器本体を第１の距離だけ下方へ移動させてから前記容器本体の移動を停止するように前記第１の駆動部を制御し、その後、前記第１の端面の高さが前記第１の距離だけ上方に移動したことが前記計測部から取得された場合には、前記保護シートと前記粘着部材とが剥離したと判定してもよい。これにより、作業者が介在することなく、ペリクルフレームが容器本体から剥離したことを検知することができる。
　ここで、前記容器本体は、前記ペリクルフレームが載置される略矩形形状の上面を有し、前記第１の駆動部は、前記上面の第１の辺の中央近傍を移動させる第１のアクチュエータと、前記上面の前記第１の辺と略平行な第２の辺の中央より端に近い位置をそれぞれ移動させる第２のアクチュエータ及び第３のアクチュエータと、を有し、前記制御部は、前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータ、前記第３のアクチュエータを別々に制御してもよい。これにより、ペリクルフレームの移動を様々な形態で行うことができる。
　ここで、前記制御部は、前記容器本体を上方へ移動させるときに、前記計測部が有する複数の測距センサのうちの第１の測距センサで計測された結果に基づいて求められた前記ペリクル把持部材と前記溝との相対位置と、前記第１の測距センサと異なる第２の測距センサで計測された結果に基づいて求められた前記ペリクル把持部材と前記溝との相対位置と、が略同一となるように前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータ、及び前記第３のアクチュエータを制御してもよい。これにより、ペリクルフレームに歪みがある場合等にも溝の高さを略同一にし、ペリクル把持部材を溝に挿入するのに要する時間を短縮することができる。
　ここで、前記保護シートは、前記第１の辺の中央近傍で前記上面に固定され、前記制御部は、前記容器本体を下方へ移動させるときに、前記第１のアクチュエータを最初に駆動してもよい。これにより、弱い力で保護シートを粘着層から剥離することができる。
　ここで、前記治具枠は、前記２本の棒の端近傍に設けられた回動軸を有し、前記２本の棒は、前記回動軸を中心に略９０度回動可能に設けられてもよい。これにより、１つのペリクルフレーム把持装置を用いて、ペリクルフレームを把持することと、ペリクルフレームをフォトマスク等に貼付することと、を行うことができる。また、測距センサがペリクル把持部材毎に設けられることで、作業者が介在することなく、ペリクルフレームがフォトマスク等に貼付されたことを検知することができる。
　ここで、前記２本の棒が略水平に配置されたときに、前記２本の棒の前記回動軸が設けられていない側の端の、前記第１の端面と直交する方向の位置を位置決めする位置決め部材を有してもよい。これにより、安定して治具枠を剥離位置に保持することができる。
　ここで、前記治具枠は、前記２本の棒である第１の棒及び第２の棒と、前記第１の棒及び前記第２の棒と略直交する第３の棒及び第４の棒と、を有し、前記第１の棒、前記第２の棒及び前記第３の棒は、それぞれ、長手方向と略直交する方向に移動可能に設けられてもよい。これにより、様々な大きさのペリクルフレームを把持することができる。
　ここで、前記治具枠は、前記ペリクル把持部材を前記第１の端面と直交する方向に移動させる移動機構を有してもよい。これにより、ペリクル把持部材に第１の端面と直交する方向の強い力が加わった場合に、ペリクル把持部材の変形、破壊等を防止することができる。
　上記課題を解決するために、本発明に係るペリクルフレーム把持方法は、例えば、中空部を覆うペリクル膜が設けられる第１の端面と、粘着部材が設けられる前記第１の端面と略平行な第２の端面と、溝が形成される側面と、を有する略中空筒状ペリクルフレームが、前記第１の面が略水平上向き、前記第２の面が略水平下向きの状態で載置される容器本体であって、前記粘着部材に貼付された保護シートの一部が固定される容器本体の上方に設けられた治具枠の、所定の間隔で略水平に保持される２本の棒のそれぞれに複数ずつ設けられる複数のペリクル把持部材を、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１の位置に配置し、前記複数のペリクル把持部材のそれぞれに各１個設けられた測距センサの計測結果に基づいて、前記ペリクル把持部材の高さを求め、前記ペリクル把持部材を、前記第１の位置から、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２の位置へ移動させ、前記容器本体が上方へ移動させつつ、前記測距センサの計測結果に基づいて前記溝の高さを求め、当該求められた前記溝の高さが前記ペリクル把持部材の高さと略一致したら前記ペリクル把持部材を前記第２の位置から前記第１の位置へ移動させ、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置へ移動したら前記容器本体を下方へ移動させるように前記第１の駆動部を制御することを特徴とする。これにより、ペリクルフレーム等に歪みが生じている場合にも、作業者が介在することなくペリクルフレームを把持することができる。
　本発明によれば、ペリクルフレーム等に歪みが生じている場合にも、作業者が介在することなくペリクルフレームを把持することができる。
第１の実施の形態に係るペリクルフレーム把持装置１の概略を示す正面図である。 ペリクル収納容器１０の詳細を示す斜視図である。 図２のＡ－Ａ断面図である。 治具枠本体２１及び回動軸２２の詳細を示す図である。 棒２１４をｘ方向に移動させる機構を説明する図である。 棒２１２をｙ方向に沿って移動させる機構を説明する図である。 ペリクル把持機構２４ａの詳細を示す図である。 ペリクル把持機構２４ａがペリクルフレーム１０１を把持していない状態を示す図である。 ペリクルフレーム把持装置１の電気的な構成を示すブロック図である。 ペリクルフレーム把持装置１が行うペリクル把持処理の流れを示すフローチャートである。 時間の経過と共に上面１０１ａの高さがどのように変化するかを示す図である。 ペリクルフレーム把持装置１が行うペリクル貼付処理の流れを示すフローチャートである。 ペリクルフレーム把持装置２の治具枠本体２１Ａの概略を示す斜視図である。
　以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、重複する部分については説明を省略する。
　＜第１の実施の形態＞
　図１は、第１の実施の形態に係るペリクルフレーム把持装置１の概略を示す斜視図である。ペリクルフレーム把持装置１は、主として、ペリクル収納容器１０と、ペリクル収納容器１０の上方（＋ｚ方向）に設けられる治具枠２０と、を有する。
　ペリクル収納容器１０は、主として、容器本体１１と、ペリクル１００と、を有する。容器本体１１上に載置されたペリクル１００は、治具枠２０により支持されて、容器本体１１から外される。
　図２は、ペリクル収納容器１０の詳細を示す斜視図である。図３は、図２のＡ－Ａ断面図である。
　ペリクル１００は、主として、ペリクルフレーム１０１と、ペリクルフレーム１０１の上に張設されたペリクル膜１０２と、ペリクルフレーム１０１に下面に形成された粘着層１０３（図３参照）と、を有する。
　ペリクルフレーム１０１は、略矩形の外周を有する枠状（中空筒状）であり、金属、例えば、鉄、アルミ等で形成される。ペリクルフレーム１０１は、中空部１０１ｅの大きさがフォトマスクの大きさ（例えば５２０ｍｍ×８００ｍｍ～１６２０ｍｍ×１７８０ｍｍ程度）と同程度である。ペリクルフレーム１０１の枠状の部分の幅は数十ｍｍ程度であり、厚さは２ｍｍ～１０ｍｍ程度である。
　ペリクルフレーム１０１は、略平行な上面１０１ａ及び下面１０１ｂを有する。また、ペリクルフレーム１０１の上面１０１ａ及び下面１０１ｂに直交する側面１０１ｃには、外周面に沿って溝１０１ｄが形成される。溝１０１ｄは、高さ及び深さが２ｍｍ程度である。溝１０１ｄには、治具枠２０に設けられるペリクル把持部材２４１（後に詳述）が挿入される。
　ペリクル膜１０２は、サブミクロンの厚さの薄膜である。ペリクル膜１０２は、ペリクルフレーム１０１の上面１０１ａに、ペリクルフレーム１０１の中空部１０１ｅを覆うように張設される。ペリクルフレーム１０１がフォトマスク基板上に貼付されると、ペリクル膜１０２は、フォトマスクのパターン形成面と所定の間隔で設けられる。
　粘着層１０３は、ペリクルフレーム１０１の下面１０１ｂ、すなわち、容器本体１１と対向する側の面に設けられる。粘着層１０３は、ペリクルフレーム１０１の全周に、額縁状に形成されている。また、粘着層１０３は、ペリクルフレーム１０１からはみ出さないように設けられる。粘着層１０３の下面には、粘着層１０３を保護するペリクルライナー１０４が設けられる。
　ペリクルライナー１０４は、厚みが略０．１ｍｍ程度であり、ペリクルフレーム１０１の形状と略同一の枠状である。ペリクルライナー１０４は、例えば、ＰＥＴ等からなる基材表面に、離型剤を塗布することにより形成される。ペリクルライナー１０４は、いわゆる離型紙として機能するものであり、容器本体１１からペリクル１００を取り出す際に剥離される。
　ペリクル１００が容器本体１１の上面１０１ａに載置されるときには、ペリクルライナー１０４と容器本体１１とが当接する。したがって、粘着層１０３と容器本体１１とは当接しない。
　ペリクルライナー１０４には、枠状の各辺の中央近傍にそれぞれ１か所、タブ１０４ａが形成される。タブ１０４ａは、ペリクルフレーム１０１の外周から突出するように形成される。タブ１０４ａは、ペリクルライナー１０４の剥離を容易にするためのものである。
　タブ１０４ａは、例えば接着テープ１０５等により、容器本体１１の上面１０１ａに固定される。これにより、タブ１０４ａ、すなわちペリクル１００が容器本体１１に固定される。なお、タブ１０４ａは、上面１０１ａに限らず、容器本体１１のどこかに固定されていればよい。
　このように構成されたペリクル１００は、図２に示すように、容器本体１１の上面１１ａの上側（＋ｚ側）に載置される。上面１１ａの下側（－ｚ側）には、駆動部材１２が設けられる。
　駆動部材１２は、容器本体１１の上面１１ａを上下（ｚ方向）に移動させる。駆動部材１２は、主として、３つのアクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、アクチュエータ１２ｃを有する。アクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、及びアクチュエータ１２ｃは、先端がｚ方向に移動可能なロッド（図示せず）を有し、ロッドの先端がそれぞれ上面１１ａの下側（－ｚ側）に設けられる。アクチュエータ１２ａは、上面１１ａの長辺１１ｂの近傍かつ長辺１１ｂの略中央に設けられ、アクチュエータ１２ｂ、及びアクチュエータ１２ｃは、上面１１ａの長辺１１ｃの近傍かつ長辺１１ｃの中央より端に近い位置に設けられる。アクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、及びアクチュエータ１２ｃは、個々に駆動可能に設けられる。これにより、ペリクルフレームの移動を様々な形態（後に詳述）で行うことができる。
　図１の説明に戻る。治具枠２０は、主として、治具枠本体２１と、回動軸２２と、当接部材２３と、ペリクル把持機構２４（図４参照、ペリクル把持機構２４はペリクル把持機構２４ａ～２４ｎを含む）と、を有する。なお、図１では、ペリクル把持機構２４を省略している。
　図４は、治具枠本体２１及び回動軸２２の詳細を示す図である。図４では、治具枠本体２１及び回動軸２２を－ｚ方向から視認した状態を示す。治具枠本体２１は、４本の棒２１１、２１２、２１３、２１４と、棒２１２、２１３、２１４の周囲に設けられた枠２１５と、を有する。棒２１１、２１２、２１３、２１４及び枠２１５は、金属、例えば、鉄、アルミニウム等で形成される。２本の棒２１１、２１２は、長手方向がｘ方向に沿って設けられ、２本の棒２１３、２１４は、長手方向がｙ方向に沿って設けられる。これにより、４本の棒２１１、２１２、２１３、２１４が枠状に組み合わされる。
　棒２１１、２１２、２１３、２１４には、それぞれペリクル把持機構２４が設けられる。図４に示す例では、棒２１１、２１２には、それぞれ３個のペリクル把持機構２４（２４ａ～２４ｃ、２４ｈ～２４ｊ）が設けられ、棒２１３、２１４には、それぞれ４個のペリクル把持機構２４（２４ｄ～２４ｇ、２４ｋ～２４ｎ）が設けられる。
　枠２１５は、棒２１１に両端が固定された略コの字（略Ｕ字）形状の枠状の部材であり、枠状に組み合わされた棒２１２、２１３、２１４の外側に設けられる。棒２１２、２１３、２１４は、枠２１５に対して移動可能に設けられる。
　棒２１３、２１４は、棒２１１、２１２の長手方向、すなわちｘ方向に沿って移動可能に設けられる。棒２１２は、棒２１３、２１４の長手方向、すなわちｙ方向に沿って移動可能に設けられる。
　図５は、棒２１３、２１４をｘ方向に移動させる機構を説明する図である。図５では、棒２１４を例に説明するが、棒２１３についても、棒２１４と同様の機構を用いるため、説明を省略する。
　棒２１４は、最も広い面がｘｙ平面と略平行な板２１４ａと、最も広い面がｙｚ平面と略平行な補強板２１４ｂと、が略Ｌ字形状に組み合わされた棒状の部材であり、両端には端部板２１４ｃが設けられる。端部板２１４ｃには、穴２１４ｄが形成されている。
　棒２１１は、主として、最も広い面がｘｙ平面と略平行な板２１１ａと、最も広い面がｘｚ平面と略平行な板２１１ｂと、長手方向が板２１１ａと略平行な略円筒形状の軸２１１ｃと、軸２１１ｃを取り付けるリブ２１１ｄと、を有する。なお、板２１１ｂは必須ではない。
　軸２１１ｃは穴２１４ｄに挿入され、軸２１１ｃに設けられたアクチュエータ２１８により軸２１１ｃが回転されることで、棒２１４が軸２１１ｃに沿って、すなわちｘ方向に移動する。図示及び詳細な説明は省略するが、軸２１１ｃに沿って棒２１４を移動させる機構としては、すでに公知の様々な機構を用いることができる。
　配線・配管ガイド２１６は、棒２１６ａと、棒２１６ｂと、を有する。棒２１６ａと、棒２１６ｂとは、一端がジョイント（関節）により回動可能に連結されている。棒２１４がｘ方向に移動するのに伴い、棒２１６ａと、棒２１６ｂとの成す角θが変化する。なお、配線・配管ガイド２１６は必須の構成ではなく、省略が可能である。
　図６は、棒２１２をｙ方向に沿って移動させる機構を説明する図である。棒２１４は、軸２１４ｅを有する。軸２１４ｅは、長手方向がｙ方向と略平行となるように、端部板２１４ｃ（図６では図示省略）に設けられる。なお、軸２１４ｅは図６においてのみ図示し、図５では軸２１４ｅを省略している。
　棒２１２は、棒２１２ａと、軸２１４ｅが挿入される孔２１２ｂが形成されるガイド部材２１２ｃと、を有する。
　棒２１２を移動させる移動機構２１７は、板２１４ａに設けられたラック２１７ａと、ガイド部材２１２ｃに設けられるアクチュエータ２１７ｂと、アクチュエータ２１７ｂの出力軸に設けられたピニオン２１７ｃと、を有する。駆動部材であるアクチュエータ２１７ｂの出力軸、すなわちピニオン２１７ｃが回転することで、ガイド部材２１２ｃ、すなわち棒２１２がラック２１７ａに沿ってｙ方向に移動する。
　なお、棒２１３、２１４をｘ方向に沿って移動可能に設ける形態、及び棒２１２をｙ方向に沿って移動可能に設ける形態は、これに限られず、様々な形態を取り得る。
　図４の説明に戻る。このように棒２１２、２１３、２１４がそれぞれ、長手方向に直交して移動することで、４本の棒２１１、２１２、２１３、２１４により形成される枠の大きさが変化する。棒２１１、２１２、２１３、２１４により形成される枠の大きさを変化可能とすることで、棒２１１、２１２、２１３、２１４により構成される枠の大きさを、様々な大きさのペリクル１００（１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ及び１００Ｅ）に対応した大きさとすることができる。
　ペリクル１００Ａは、例えば４２０ｍｍ×７２０ｍｍ程度の大きさであり、ペリクル１００Ｂは、例えば７００ｍｍ×８００ｍｍ程度の大きさであり、ペリクル１００Ｃは、例えば５２０ｍｍ×６８０ｍｍ程度の大きさであり、ペリクル１００Ｄは、例えば７５０ｍｍ×１３００ｍｍ程度の大きさであり、ペリクル１００Ｅは、例えば１５２０ｍｍ×１６８０ｍｍ程度の大きさである。
　ペリクル１００Ａ、ペリクル１００Ｂ、ペリクル１００Ｃに対しては、ペリクル把持機構２４ｂ、２４ｄ、２４ｅ、２４ｍ、２４ｎを用いて把持を行う。ペリクル１００Ｄに対しては、ペリクル把持機構２４ｂ、２４ｄ、２４ｅ、２４ｆ、２４ｌ、２４ｍ、２４ｎを用いて把持を行う。ペリクル１００Ｅに対しては、全てのペリクル把持機構２４ａ～２４ｎを用いて把持を行う。このように、棒２１１、２１２、２１３、２１４のそれぞれに複数のペリクル把持機構２４を設けることで、様々な大きさのペリクル１００（１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ及び１００Ｅ）を把持することができる。
　図７は、ペリクル把持機構２４の詳細を示す図である。図７においてはペリクル把持機構２４ａを例に説明するが、ペリクル把持機構２４ｂ～２４ｎは、ペリクル把持機構２４ａと同一の構成であるため、説明を省略する。図７は、ペリクル把持機構２４がペリクルフレーム１０１を把持した状態を図示しているまた、図７では、容器本体１１を省略している。
　ペリクル把持機構２４ａは、溝１０１ｄに挿入されるペリクル把持部材２４１ａと、ペリクル把持部材２４１ａを保持する保持部２４２ａと、保持部２４２ａを棒２１１に取り付ける土台２４３ａと、を有する。
　ペリクル把持部材２４１ａは、金属製の板材により形成される。本実施の形態におけるペリクル把持部材２４１ａは、板材を２回折り曲げて形成されるが、板材は折り曲げなくてもよい。なお、ペリクル把持部材２４１ａは、板状の部材に限らず、例えば棒状の部材を用いて形成してもよい。
　保持部２４２ａには、駆動部材４４が設けられる。駆動部材４４は、棒２１１の長手方向（ｘ方向）と略直交する方向（ｙ方向）に先端が移動する（図７矢印参照）ロッド４４ａを有するアクチュエータ４４ｂを有する。ペリクル把持部材２４１ａは、ロッド４４ａに連結されている。これにより、ペリクル把持部材２４１ａは、水平方向（ｘｙ平面に沿って）に、かつ棒２１１に直交する方向に移動される。
　ペリクル把持部材２４１ａは、駆動部材４４により、ペリクル把持部材２４１ａが溝１０１ｄに挿入される挿入位置と、ペリクル把持部材２４１ａが溝１０１ｄに挿入されず、ペリクル把持部材２４１ａがペリクルフレーム１０１と干渉しない退避位置（図７点線参照）と、の間で水平方向に移動される。
　ペリクル把持部材２４１ａの先端は、樹脂（例えば、超高分子量ポリエチレン）で形成されたシート等により覆われる。これにより、ペリクル把持部材２４１ａが溝１０１ｄに挿入されたときに、ペリクル把持部材２４１やペリクルフレーム１０１が削れて塵埃が発生することが防止される。
　棒２１１、２１２、２１３、２１４の高さ（ｚ方向の位置、以下同じ）は、数ミリ～数十ミリ程度の差がある。したがって、土台２４３（２４３ａ～２４３ｎ）の高さをそれぞれ変えることで、ペリクル把持部材２４１（２４１ａ～２４１ｎ）の先端の高さを略同一にすることが望ましい。なお、ペリクル把持部材２４１（２４１ａ～２４１ｎ）の先端の高さを略同一にする方法はこれに限られず、例えば、保持部２４２（２４２ａ～２４２ｎ）の高さをそれぞれ変えることで、ペリクル把持部材２４１（２４１ａ～２４１ｎ）の先端の高さを略同一にしてもよい。
　ペリクル把持機構２４のそれぞれには、対応する計測部２５が設けられる。計測部２５（２５ａ～２５ｎ）は、ペリクル把持機構２４（２４ａ～２４ｎ）にそれぞれ１個ずつ設けられる。具体的には、ペリクル把持機構２４ａには、計測部２５ａが設けられ、同様にペリクル把持機構２４ｂには、計測部２５ｂが設けられる。そして、ペリクル把持機構２４ｎには、計測部２５ｎが設けられる。計測部２５ｂ～２５ｎは、計測部２５ａの構成と同様であるため、説明を省略する。
　計測部２５ａは、主として、超音波センサ２５１ａと、反射板２５２ａと、を有する。　超音波センサ２５１ａは、超音波を対象物に向けて発信してその反射波を受信し、信号発信と反射波受信との時間間隔に基づいて、目標物までの距離を測定する測距センサである。本実施の形態では、超音波センサ２５１ａは、分解能が約０．２μｍのものを使用する。超音波センサ２５１ａは、すでに公知であるため、詳細な説明を省略する。
　反射板２５２ａは、超音波センサ２５１ａから発信された超音波を反射する。超音波センサ２５１ａは、超音波を棒２１１の長手方向と直交する方向（＋ｙ方向）に発信する。したがって、反射板２５２ａをｙｚ平面上で斜め４５度に設けることで、超音波センサ２５１ａから発信された超音波が下（－ｚ方向）に向かうように反射される（図７における２点鎖線参照）。
　なお、本実施の形態では、超音波センサ２５１ａ及び反射板２５２ａは、保持部２４２ａに設けられるが、超音波センサ２５１ａ及び反射板２５２ａが設けられる位置はこれに限られない。例えば、超音波センサ２５１ａ及び反射板２５２ａは、土台２４３ａに設けられてもよいし、棒２１１に設けられてもよい。
　図８は、ペリクル把持機構２４がペリクルフレーム１０１を把持していない状態を図示している。図８においては、ペリクル把持部材２４１が退避位置の位置する場合を実線で示し、ペリクル把持部材２４１が挿入位置の位置する場合を点線で示す。なお、図８では、図７と同様に、容器本体１１を省略している。
　ペリクル膜１０２（図８では図示省略）は、超音波を反射する素材で形成される。したがって、ペリクル把持部材２４１が退避位置に位置する場合（図８における実線参照）には、ペリクル把持部材２４１がペリクルフレーム１０１と干渉しない（ｘｙ平面における位置が重ならない）ため、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル膜１０２で＋ｚ方向に反射し、反射板２５２ａで－ｙ方向に向きを変えて、超音波センサ２５１ａで受信される。
　ペリクル膜１０２はサブミクロンの厚さであるため、ペリクル膜１０２の高さはペリクルフレーム１０１の上面１０１ａの高さと略同一である。したがって、超音波センサ２５１ａは、超音波センサ２５１ａと上面１０１ａとの距離、すなわち上面１０１ａの高さを計測することができる。
　それに対し、図８の点線で示すように、ペリクル把持部材２４１が挿入位置にある場合には、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル膜１０２に当たる前にペリクル把持部材２４１で遮られる。その結果、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル把持部材２４１で＋ｚ方向に反射し、反射板２５２ａで－ｙ方向に向きを変えて、超音波センサ２５１ａで受信される。これにより、超音波センサ２５１ａは、超音波センサ２５１ａとペリクル把持部材２４１との距離、すなわちペリクル把持部材２４１の高さを計測することができる。
　なお、本実施の形態では、ペリクルフレーム１０１の上面１０１ａの高さ、又はペリクル把持部材２４１の高さを求めるために、計測部２５が超音波センサ２５１を有したが、距離を求めるためのセンサは超音波センサ２５１に限られない。測距センサとして、計測部２５が光を用いて距離を求める光学式センサや、渦電流式のセンサを用いてもよい。光学式センサとしては、例えば、レーザを用いるレーザ変位センサや、三角測距式光学センサを用いることができる。ただし、ペリクル膜１０２が良好に超音波を反射する性質を有するため、測距センサとして超音波センサを用いることが望ましい。
　また、本実施の形態では、反射板２５２を設けたが、反射板２５２を用いなくてもよい。この場合には、超音波センサ２５１を、反射板２５２の位置に、超音波が下向き（－ｚ方向）に発信されるように設ければよい。
　また、本実施の形態に加えて、反射板２５２をｘｙ平面に略沿って移動させる（図８における鎖線矢印参照）機構（反射板移動機構）を追加してもよい。反射板移動機構は、例えば、ペリクル把持部材２４１を移動させる機構と同様の機構を用いることができる。
　反射板移動機構は、反射板２５２を、ｘｙ平面における位置が、ペリクルフレーム１０１のｘｙ平面における位置と重ならないような位置（図８長点線参照）まで移動可能に設ける。これにより、容器本体１１から取り出したペリクル１００を、レーザービーム等を用いて検査することができる。
　なお、反射板２５２の位置に超音波センサ２５１を設ける場合には、反射板移動機構と同様の機構、すなわち超音波センサ２５１をペリクルフレーム１０１のｘｙ平面における位置と重ならないような位置まで移動させる機構を追加することが望ましい。
　図４の説明に戻る。棒２１１には、棒２１１の長手方向（ｘ方向）に沿って、回動軸２２が設けられる。治具枠本体２１は、回動軸２２を中心に、棒２１１及び枠２１５により形成される面が略水平（ｘｙ平面と略平行）となる剥離位置と、棒２１１及び枠２１５により形成される面が略鉛直（ｘｚ平面と略平行）となる貼付位置との間で、略９０度回動可能である。なお、図４では、治具枠本体２１が剥離位置にある状態を図示している。
　治具枠本体２１が剥離位置に位置する場合には、棒２１１、２１２、２１３、２１４は、それぞれ略水平、すなわち長手方向が略水平に設けられる。治具枠本体２１が剥離位置に位置する場合には、枠２１５の下面（図１における－ｚ側の面）２１５ａ（図４参照）が当接部材２３（図１参照）に当接する。このように、治具枠本体２１を複数の位置（回動軸２２及び当接部材２３）で支える（両持ち）ことで、安定して治具枠本体２１を剥離位置に保持することができる。
　図９は、ペリクルフレーム把持装置１の電気的な構成を示すブロック図である。ペリクルフレーム把持装置１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１５１と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１５２と、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）１５３と、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）１５４と、通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）１５５と、メディアインターフェース（Ｉ／Ｆ）１５６と、を有し、これらは駆動部材１２、駆動部材４４、計測部２５等と互いに接続されている。
　ＣＰＵ１５１は、ＲＡＭ１５２、ＲＯＭ１５３に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ＣＰＵ１５１には、計測部２５、駆動部材１２、駆動部材４４から信号が入力される。ＣＰＵ１５１から出力された信号は、駆動部材１２、駆動部材４４に出力される。
　ＲＡＭ１５２は、揮発性メモリである。ＲＯＭ１５３は、各種制御プログラム等が記憶されている不揮発性メモリである。ＣＰＵ１５１は、ＲＡＭ１５２、ＲＯＭ１５３に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。また、ＲＯＭ１５３は、ペリクルフレーム把持装置１の起動時にＣＰＵ１５１が行うブートプログラムや、ペリクルフレーム把持装置１のハードウェアに依存するプログラムなどを格納する。また、ＲＡＭ１５２は、ＣＰＵ１５１が実行するプログラム及びＣＰＵ１５１が使用するデータなどを格納する。
　ＣＰＵ１５１は、入出力インターフェース１５４を介して、キーボードやマウス等の入出力装置１６１を制御する。通信インターフェース１５５は、ネットワーク１６２を介して他の機器からデータを受信してＣＰＵ１５１に送信すると共に、ＣＰＵ１５１が生成したデータを、ネットワーク１６２を介して他の機器に送信する。
　メディアインターフェース１５６は、記憶媒体１６３に格納されたプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ１５２に格納する。なお、記憶媒体１６３は、例えば、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤ等である。
　なお、各機能を実現するプログラムは、例えば、記憶媒体１６３から読み出されて、ＲＡＭ１５２を介してペリクルフレーム把持装置１にインストールされ、ＣＰＵ１５１によって実行される。
　ＣＰＵ１５１は、入力信号に基づいてペリクルフレーム把持装置１の各部を制御する制御部１５１ａの機能を有する。制御部１５１ａは、ＣＰＵ１５１が読み込んだ所定のプログラムを実行することにより構築される。制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて、駆動部材１２及び駆動部材４４を制御する。制御部１５１ａが行う処理については、後に詳述する。
　図９に示すペリクルフレーム把持装置１の構成は、本実施形態の特徴を説明するにあたって主要構成を説明したのであって、例えば一般的な情報処理装置が備える構成を排除するものではない。図９に示す機能構成は、ペリクルフレーム把持装置１の構成を理解しやすくするために分類したものであり、構成要素の分類の仕方や名称は図９に記載の形態に限定されない。ペリクルフレーム把持装置１の構成は、処理内容に応じてさらに多くの構成要素に分類してもよいし、１つの構成要素が複数の構成要素の処理を実行してもよい。
　このように構成されたペリクルフレーム把持装置１の作用について説明する。図１０は、ペリクルフレーム把持装置１が行うペリクル把持処理の流れを示すフローチャートである。以下の処理は、主として制御部１５１ａによって行われる。
　まず、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて、ペリクル収納容器１０が初期位置（図１に示す位置）に位置する、すなわち治具枠本体２１がペリクル１００の上方に位置する状態（初期状態）であることを確認する（ステップＳ１０１）。
　この初期状態では、ペリクル把持部材２４１は退避位置に位置している。したがって、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル膜１０２で＋ｚ方向に反射し、反射板２５２ａで－ｙ方向に向きを変えて、超音波センサ２５１ａで受信される。また、治具枠本体２１の高さ、すなわちペリクル把持部材２４１の高さは基本的に不変であり、この情報はあらかじめＲＯＭ１５３に格納されている。そのため、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号と、ＲＯＭ１５３に格納されたペリクル把持部材２４１の高さの情報に基づいて、ペリクル１００の高さが治具枠本体２１の高さより低い、すなわちペリクル収納容器１０が初期状態にあると判定することができる。
　本実施の形態では、計測部２５は計測部２５ａ～２５ｎの１４個である。制御部１５１ａは、超音波センサ２５１ａ～２５１ｎから順次超音波を発信し、超音波センサ２５１ａ～２５１ｎから順次計測結果を取得する。制御部１５１ａは、全ての超音波センサ２５１から計測結果を取得してから、所定の時間だけ経過した後で、再度超音波センサ２５１ａ～２５１ｎから順次超音波を発信する。所定の時間は、例えば、超音波センサ２５１から発信された超音波が、初期位置にあるペリクルフレーム１０１で反射して、超音波センサ２５１で受信されるまでに要する時間と略同一（微小時間だけ長い場合を含む）である。このようにすると、超音波センサ２５１ａ～２５１ｎから順次超音波を発信し、超音波センサ２５１ａ～２５１ｎで順次計測結果を取得するまでに要する時間は、略２０ミリ秒程度である。したがって、制御部１５１ａは、計測部２５からほぼリアルタイムで測定値を取得することができる。
　次に、初期状態において、制御部１５１ａは、駆動部材４４を制御してペリクル把持部材２４１を挿入位置に移動させて、ペリクル把持部材２４１の実際の位置を確認する（ステップＳ１０２）。
　ステップＳ１０２の処理を詳細に説明する。制御部１５１ａは、アクチュエータ４４ｂを駆動してロッド４４ａを棒２１１、２１２、２１３、２１４と直交する方向に移動させることで、ロッド４４ａに連結されたペリクル把持部材２４１を退避位置から挿入位置へ移動させる。現段階では、治具枠本体２１が容器本体１１の上方に位置するため、ペリクル把持部材２４１が挿入位置に移動すると、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル把持部材２４１で＋ｚ方向に反射し、反射板２５２ａで－ｙ方向に向きを変えて、超音波センサ２５１ａで受信される。これにより、計測部２５がペリクル把持部材２４１の高さを計測し、制御部１５１ａはこれを取得する。
　超音波センサ２５１ａと反射板２５２ａとの距離は既知であり、この値はあらかじめ設定され、ＲＯＭ１５３に記憶されている。したがって、制御部１５１ａは、計測部２５がペリクル把持部材２４１の高さを計測した結果と、ＲＯＭ１５３に記憶された超音波センサ２５１ａと反射板２５２ａとの距離と、に基づいて、ペリクル把持部材２４１の高さを求める。
　制御部１５１ａは、ペリクル把持部材２４１の高さが求められたら、駆動部材４４を制御してペリクル把持部材２４１を挿入位置から退避位置に移動させる。これにより、ステップＳ１０２の処理が終了する。
　その後、制御部１５１ａは、駆動部材１２を制御して容器本体１１（ペリクル収納容器１０）を上方（＋ｚ方向）へ移動させながら、ペリクル１００の溝１０１ｄの高さを連続して求める（ステップＳ１０３）。
　計測部２５は連続して検出を行っているため、この状態では、計測部２５は、ペリクル１００の上面１０１ａの高さを連続して計測しており、制御部１５１ａはこれを連続して取得する。
　ＲＯＭ１５３には、ペリクル１００の上面１０１ａと溝１０１ｄとの高さの差に関する情報（ここでは、値、例えば３ｍｍ）が格納されている。制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号と、ＲＯＭ１５３に格納された上面１０１ａと溝１０１ｄの高さとの高さの差に関する情報と、ＲＯＭ１５３に記憶された超音波センサ２５１ａと反射板２５２ａとの距離とに基づいて、溝１０１ｄの高さを連続して（リアルタイムで）求めることができる。
　なお、制御部１５１ａは、ステップＳ１０３において容器本体１１を上方（＋ｚ方向）へ移動させる時に、計測部２５ａ～２５ｎで測定された上面１０１ａの高さが略一致するように、アクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、アクチュエータ１２ｃを別々に駆動するようにしてもよい。例えば、容器本体１１やペリクルフレーム１０１が歪んでいる場合には、容器本体１１に載置された状態において上面１０１ａの高さが一定ではないが、アクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、アクチュエータ１２ｃを別々に駆動することで、ペリクルフレーム１０１に歪みがある場合等にも、上面１０１ａすなわち溝１０１ｄの高さを略一定にすることができる。これにより、後に詳述するペリクル把持部材２４１を溝１０１ｄに挿入するステップ（ステップＳ１０５）に要する時間を短縮するとともに、ペリクル把持材２４１がペリクル枠に加える力と歪みを抑制することができる。なお、ステップＳ１０３は、ステップＳ１０１と同時に行ってもよい。
　制御部１５１ａは、ステップＳ１０３で求められた溝１０１ｄの高さが、ステップＳ１０２で求められたペリクル把持部材２４１の高さと一致したか否かを判定する（ステップＳ１０４）。制御部１５１ａは、ペリクル把持部材２４１毎に、ステップＳ１０４の処理を行う。
　溝１０１ｄの高さがペリクル把持部材２４１の高さと一致していない場合（ステップＳ１０４でＮＯ）は、制御部１５１ａは、ステップＳ１０３に処理を戻す。
　溝１０１ｄの高さがペリクル把持部材２４１の高さと一致した（ステップＳ１０４でＹＥＳ）場合には、制御部１５１ａは、駆動部材４４を制御してペリクル把持部材２４１を退避位置から挿入位置へ移動させて、ペリクル把持部材２４１を溝１０１ｄに挿入する（ステップＳ１０５）。制御部１５１ａは、ステップＳ１０５の処理を、ペリクル把持機構２４毎に行う。これにより、確実にペリクル把持部材２４１を溝１０１ｄに挿入することができる。
　制御部１５１ａは、全てのペリクル把持部材２４１が溝１０１ｄに挿入されたか否かを判定する（ステップＳ１０６）。全てのペリクル把持部材２４１が溝１０１ｄに挿入されていない場合（ステップＳ１０６でＮＯ）は、制御部１５１ａは、ステップＳ１０３に処理を戻す。
　全てのペリクル把持部材２４１が溝１０１ｄに挿入された（ステップＳ１０６でＹＥＳ）場合には、制御部１５１ａは、駆動部材１２を制御して容器本体１１（ペリクル収納容器１０）を下方（－ｚ方向）に移動させながら、ペリクル１００の上面１０１ａの高さを連続して求める（ステップＳ１０７）。
　ステップＳ１０７において容器本体１１を下方に移動させるときに、最初にアクチュエータ１２ｂ、アクチュエータ１２ｃの駆動を止めてアクチュエータ１２ａのみを駆動し、上面１０１ａのアクチュエータ１２ａにより移動される領域及びその近傍の高さを、上面１０１ａの他の部分の高さより所定の高さだけ低くしてもよい。
　図２及び図３に示すように、アクチュエータ１２ａのｘｙ平面上の位置は、４つのタブ１０４ａのうちの１つのタブ１０４ａ、又はこのタブ１０４ａを容器本体１１に固定する接着テープ１０５とｘｙ平面上の位置が重なっている。すなわち、アクチュエータ１２ａが駆動する上面１１ａのｘｙ平面上の位置は、ペリクル把持機構２４ｂのペリクル把持部材２４１ｂが溝１０１ｄに挿入される位置、すなわち計測部２５ｂがペリクル１００の上面１０１ａの高さを測定する位置と略一致している。
　したがって、制御部１５１ａは、計測部２５ｂにより測定された上面１０１ａの高さが、他の計測部２５、例えば計測部２５ｅ～２５ｍにより測定された高さの平均値より所定の高さだけ低くなるように、ステップＳ１０７の最初にアクチュエータ１２ａのみを駆動する。
　その結果、アクチュエータ１２ａが駆動する上面１１ａのｘｙ平面上の位置と重なる位置にあるタブ１０４ａの根元１０４ｂ（図２、３参照）に力を集中させ、ペリクルライナー１０４が粘着層１０３から剥離するきっかけを作ることができる。したがって、弱い力でペリクルライナー１０４を粘着層１０３から剥離することができる。
　そして、制御部１５１ａは、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が容器本体１１から剥離したか否かを判定する（ステップＳ１０８）。
　図１１は、制御部１５１ａがどのように容器本体１１（ペリクル収納容器１０）を移動させるか、すなわち時間の経過と共に上面１０１ａの高さがどのように変化するかを示す図である。図１１において、縦軸は反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄ（図８参照）を示し、横軸は時間ｔを示す。計測部２５は連続して検出を行っているため、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄを連続して求めている。
　ｔ＝０の時は、ステップＳ１０３を開始する時であり、ペリクル収納容器１０、すなわちペリクル１００は初期位置に位置し、この時の反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄはｉである。距離ｉは、５０ｍｍ程度である。
　ｔ＝ｔ１の時は、全てのペリクル把持部材２４１が溝１０１ｄに挿入された（ステップＳ１０６でＹＥＳ）時であり、このときの反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄをａとする。ステップＳ１０３で容器本体１１が上に移動しているため、距離ａは距離ｉより小さい。このときには、ペリクル収納容器１０の加重はすべてペリクル把持部材２４１で支えている。
　ｔ１＜ｔ＜ｔ５では、制御部１５１ａは、容器本体１１を下方に移動させる処理（ステップＳ１０７）を行っている。以下、ステップＳ１０７における反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄと時間ｔとの関係について、詳細に説明する。
　図３に示すように、ペリクル１００の側面１０１ｃの位置と、接着テープ１０５の位置との間には、隙間αが存在する。したがって、制御部１５１ａが容器本体１１を下方に移動させたとしても、隙間αにあるペリクルライナー１０４が突っ張るまでの間（ｔ１≦ｔ≦ｔ２）、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄはａのまま変化しない。なお、ｔ＝ｔ２の時は、隙間αにあるペリクルライナー１０４が突っ張り終わった時である。
　そのまま制御部１５１ａが容器本体１１を下方に移動させ続ける（ｔ２＜ｔ＜ｔ３）と、制御部１５１ａが容器本体１１を下方に移動させるのに伴い、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄは徐々に大きくなる。
　制御部１５１ａは、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａとなった（ｔ＝ｔ３）場合には、容器本体１１を下方に移動させるのを停止し、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄをａ＋Δａに保つ。Δａは、あらかじめ任意の値を設定しておく。
　ＲＯＭ１５３には、Δａに関する情報（ここでは、値）が格納されている。制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号と、ＲＯＭ１５３に格納されたΔａに関する情報とに基づいて、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａとなった位置で容器本体１１を下方に移動させるのを停止させる。
　ｔ３≦ｔ＜ｔ４の間は、ペリクルライナー１０４が粘着層１０３から徐々に剥離している状態である。ペリクルライナー１０４が容器本体１１から剥離し終わる（ｔ＝ｔ４）と、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａからａに戻る（ｔ＝ｔ５）。なお、図１１では、説明のため、ｔ４とｔ５とが少し離れているが、実際にはごく短い時間であり、ｔ４とｔ５は略同一のタイミングであるといってよい。
　制御部１５１ａは、計測部２５から連続して信号を取得しており、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄを連続して求めている。したがって、制御部１５１ａは、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａからａになっていない場合（ｔ＜ｔ５）は、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が容器本体１１から剥離していないと判定し（ステップＳ１０８でＮＯ）、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａからａになった場合（ｔ＝ｔ５）は、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が容器本体１１から剥離したと判定する（ステップＳ１０８でＹＥＳ）。このように反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄに基づいて処理を行うことで、作業者が介在することなく、ペリクルライナー１０４が粘着層１０３から剥離したか否かを判定することができる。
　図１０の説明に戻る。制御部１５１ａは、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が粘着層１０３から剥離していない（ステップＳ１０８でＮＯ）場合には、ステップＳ１０７へ処理を戻す。制御部１５１ａは、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が粘着層１０３から剥離した（ステップＳ１０８でＹＥＳ）場合には、ペリクル把持処理を終了する。
　図１２は、ペリクルフレーム把持装置１が行うペリクル貼付処理の流れを示すフローチャートである。ペリクル貼付処理は、ペリクル把持処理の後で行われる。以下の処理は、主として制御部１５１ａによって行われる。
　制御部１５１ａは、図示しない駆動部を駆動して、回動軸２２を中心に治具枠本体２１を略９０度回動させて、治具枠本体２１を剥離位置から貼付位置へ移動させる（ステップＳ２０１）。治具枠本体２１はペリクル１００を把持しているため、治具枠本体２１と一緒にペリクル１００も略９０度回動している。
　ステップＳ２０１は、図１１におけるｔ６≦ｔ≦ｔ７の時である。治具枠本体２１を剥離位置から回動し始めると、重力の向きと、ペリクル１００の上面１０１ａと直交する向きとがなす角度が変化し始めるため、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａから少しずつ小さくなる。そして、治具枠本体２１が貼付位置に位置すると（ｔ＝ｔ７）、重力の向きと、ペリクル１００の上面１０１ａとが略平行となるため、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがｂ（ｂ＜ａ）となる。
　図１２の説明に戻る。次に、制御部１５１ａは、図示しない検査部を用いて、治具枠本体２１に把持されたペリクル１００を検査する（ステップＳ２０２）。検査部は、レーザービーム等を発信する発信部を有し、すでに公知の様々な方法を用いてペリクル１００を検査する。ペリクルフレーム把持装置１が反射板移動機構を有する場合には、ステップＳ２０２において、制御部１５１ａは、ペリクルフレーム１０１と重ならない位置まで反射板２５２を移動させる。
　検査処理（ステップＳ２０２）によりペリクル１００に異常がないことが確認できたら、（異物が付着している場合はエアブローで除去する）、制御部１５１ａは、図示しない移動部を用いて、貼付位置にある治具枠本体２１を、フォトマスクが載置されている装置内へ平行移動させる（ステップＳ２０３）。そして、フォトマスクとペリクル１００との位置あわせ（アライメント）を行う（ステップＳ２０４）。
　アライメント（ステップＳ２０４）の次に、制御部１５１ａは、ペリクル１００をフォトマスクに貼付する（ステップＳ２０５）。ペリクル１００からペリクルライナー１０４が剥離されているため、ペリクルフレーム１０１の下面１０１ｂに設けられた粘着層１０３が露出している。したがって、ペリクル１００をフォトマスクに押圧することで、粘着層１０３によりペリクル１００がフォトマスクに貼り付けられる。
　図１１において、ｔ８≦ｔ≦ｔ１０の間は、制御部１５１ａがステップＳ２０５の処理を行っている。まず、制御部１５１ａは、図示しない移動部を用いて、フォトマスクが載置されている装置内で治具枠本体２１を平行移動させて、ペリクル１００をフォトマスクに近づける。すると、ペリクル１００とフォトマスクとが当接する（ｔ＝ｔ９）。
　制御部１５１ａは、そのままペリクル１００をフォトマスクに近づける方向へ移動させる。しかしながら、ペリクル１００とフォトマスクとが当接しているため、ペリクル１００がフォトマスクに押圧されつつ、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがｂから少しずつ小さくなる（ｔ９＜ｔ＜ｔ１０）。
　計測部２５は治具枠本体２１に設けられているため、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄを連続して求めている。
　そして、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて求められた反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄが、ｂからΔｂだけ小さくなった（ｔ＝ｔ１０）場合には、ペリクル１００をフォトマスクに貼付する処理（ステップＳ２０５）を終了する。
　Δｂは、あらかじめ任意の値に設定しておく。Δｂに関する情報（ここでは、値）は、ＲＯＭ１５３に格納されている。制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号と、ＲＯＭ１５３に格納されたΔｂに関する情報とに基づいて、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがｂ－Δｂとなった位置でペリクル１００の平行移動を停止する。なお、制御部１５１ａは、計測部２５毎にこの処理を行う。これにより、作業者が介在することなく、ペリクル１００をフォトマスクに貼付することができる。
　本実施の形態によれば、作業者が介在することなく、容器本体１１からペリクル１００を剥離して、ペリクルフレーム１０１を把持することができる。特に、ペリクル把持機構２４毎に計測部２５を設けることで、ペリクル１００の変形等がある場合にも、作業者が介在することなく、ペリクル把持機構２４を用いてペリクルフレーム１０１を把持することができる。
　また、本実施の形態によれば、計測部２５が連続してペリクルフレーム１０１の高さを計測するため、作業者が介在することなく、容器本体１１からペリクル１００が剥離されたと判定することができる。
　なお、本実施の形態では、ペリクル把持部材２４１は、退避位置と挿入位置との間で移動可能であるが、さらに上下方向（ｚ方向）に移動可能であってもよい。例えば、ペリクル把持部材２４１とロッド４４ａとの連結部に、ｚ方向に弾性変形が可能な弾性部材を設け、ペリクル把持部材２４１に－ｚ方向の力が加わった場合には、弾性部材が変形してペリクル把持部材２４１が－ｚ方向に移動し、－ｚ方向の力が除去されると、弾性部材が元の形状に戻ることによりペリクル把持部材２４１が＋ｚ方向に移動するようにすればよい。これにより、ペリクル把持部材２４１に上下方向の強い力が加わった場合に、ペリクル把持部材２４１の変形、破壊等を防止することができる。
　＜第２の実施の形態＞
　第１の実施の形態は、棒２１２、２１３、２１４が平行移動することで複数の大きさのペリクルに対応可能な形態であるが、複数の大きさのペリクルに対応できることは必須ではない。
　第２の実施の形態は、構成をより簡単にした形態である。以下、第２の実施の形態に係るペリクルフレーム把持装置２について説明する。なお、第１の実施の形態に係るペリクルフレーム把持装置１と、ペリクルフレーム把持装置２との差異は、治具枠本体のみであるため、ペリクルフレーム把持装置２については治具枠本体についてのみ説明する。また、ペリクルフレーム把持装置２の治具枠本体の説明において、ペリクルフレーム把持装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
　図１３は、ペリクルフレーム把持装置２の治具枠本体２１Ａの概略を示す斜視図である。治具枠本体２１Ａは、主として、棒２１１Ａと、棒２１３Ａと、棒２１４Ａと、を有する。棒２１３Ａ及び棒２１４Ａは、棒２１１Ａから突出するように棒２１１Ａに固定される。棒２１３Ａ及び棒２１４Ａの長手方向は、棒２１１Ａの長手方向と略直交する。棒２１３Ａには、ペリクル把持機構２４ｄ、２４ｅ及び計測部２５ｄ、２５ｅ（図１３では図示せず）が設けられ、棒２１４Ａには、ペリクル把持機構２４ｍ、２４ｎ及び計測部２５ｍ、２５ｎ（図１３では図示せず）が設けられる。
　本実施の形態によれば、より簡単な構成で、作業者が介在することなく、容器本体１１からペリクル１００を剥離して、ペリクルフレーム１０１を把持するペリクルフレーム把持装置を提供することができる。
　以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。当業者であれば、実施形態の各要素を、適宜、変更、追加、変換等することが可能である。
　また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略平行とは、厳密に平行の場合には限られず、例えば数度程度の誤差を含む概念である。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、基準となる位置の近くのある範囲（任意に定めることができる）の領域を含むことを意味する。例えば、Ａの近傍という場合に、Ａの近くのある範囲の領域であって、Ａを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。
１、２：ペリクルフレーム把持装置
１０：ペリクル収納容器
１１：容器本体
１１ａ：上面
１２：駆動部材
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ：アクチュエータ
２０：治具枠
２１、２１Ａ：治具枠本体
２２：回動軸
２３：当接部材
２４：ペリクル把持機構
２５：計測部
４４：駆動部材
４４ａ：ロッド
４４ｂ：アクチュエータ
１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ：ペリクル
１０１：ペリクルフレーム
１０１ａ：上面
１０１ｂ：下面
１０１ｃ：側面
１０１ｄ：溝
１０１ｅ：中空部
１０２：ペリクル膜
１０３：粘着層
１０４：ペリクルライナー
１０４ａ：タブ
１０４ｂ：根元
１０５：接着テープ
１５１：ＣＰＵ
１５１ａ：制御部
１５２：ＲＡＭ
１５３：ＲＯＭ
１５４：入出力インターフェース
１５５：通信インターフェース
１５６：メディアインターフェース
１５７：記憶媒体
２１１、２１１Ａ：棒
２１１ａ、２１１ｂ：板
２１１ｃ：軸
２１１ｄ：リブ
２１２：棒
２１２ａ：棒
２１２ｂ：孔
２１２ｃ：ガイド部材
２１３、２１３Ａ：棒
２１４、２１４Ａ：棒
２１４ａ：板
２１４ｂ：補強板
２１４ｃ：端部板
２１４ｄ：穴
２１４ｅ：軸
２１５：枠
２１６：補強部
２１６ａ、２１６ｂ：棒
２１７：移動機構
２１７ａ：ラック
２１７ｂ：アクチュエータ
２１７ｃ：ピニオン
２１８：アクチュエータ
２４１：ペリクル把持部材
２４２：保持部
２４３：土台
２４３ａ：土台
２５１：超音波センサ
２５２：反射板

Claims (10)

  1. 　略中空筒状のペリクルフレームであって、中空部を覆うペリクル膜が設けられる第１の端面と、粘着部材が設けられる前記第１の端面と略平行な第２の端面と、溝が形成される側面と、を有するペリクルフレームと、
    　前記粘着部材に貼付された保護シートと、
    　前記第１の面が略水平上向き、前記第２の面が略水平下向きの状態で前記ペリクルフレームが載置される容器本体であって、前記保護シートの一部が固定される容器本体と、
    　前記容器本体を前記第１の面と略直交する方向である上下方向に移動させる第１の駆動部と、
    　前記容器本体の上方に設けられた治具枠であって、所定の間隔で略水平に保持される２本の棒と、前記２本の棒のそれぞれに複数ずつ設けられる複数のペリクル把持部材と、前記複数のペリクル把持部材毎に設けられた第２の駆動部であって、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１の位置と、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２の位置との間で前記ペリクル把持部材を略水平方向に移動させる第２の駆動部と、を有する治具枠と、
    　前記複数のペリクル把持部材のそれぞれに各１個設けられた測距センサであって、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置にあるときには、前記ペリクル把持部材の略鉛直方向の位置である高さを連続して計測し、前記ペリクル把持部材が前記第２の位置にあるときには、前記第１の端面の高さを連続して計測する測距センサを複数有する計測部と、
    　前記計測部により連続して計測された計測結果に基づいて前記ペリクル把持部材及び前記溝の高さを求めると共に、前記容器本体を上方へ移動させつつ前記ペリクル把持部材の高さと前記溝の高さとが略一致した場合には前記ペリクル把持部材を前記第２の位置から前記第１の位置へ移動させ、前記ペリクル把持部材が全て前記第１の位置へ移動した場合には前記容器本体を下方へ移動させるように前記第１の駆動部及び前記第２の駆動部を制御する制御部と、
    　を備えたことを特徴とするペリクルフレーム把持装置。
  2. 　前記制御部は、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置へ移動した場合には、前記容器本体を第１の距離だけ下方へ移動させてから前記容器本体の移動を停止するように前記第１の駆動部を制御し、その後、前記第１の端面の高さが前記第１の距離だけ上方に移動したことが前記計測部から取得された場合には、前記保護シートと前記粘着部材とが剥離したと判定することを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム把持装置。
  3. 　前記容器本体は、前記ペリクルフレームが載置される略矩形形状の上面を有し、
    　前記第１の駆動部は、前記上面の第１の辺の中央近傍を移動させる第１のアクチュエータと、前記上面の前記第１の辺と略平行な第２の辺の中央より端に近い位置をそれぞれ移動させる第２のアクチュエータ及び第３のアクチュエータと、を有し、
    　前記制御部は、前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータ、前記第３のアクチュエータを別々に制御することを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム把持装置。
  4. 　前記制御部は、前記容器本体を上方へ移動させるときに、前記計測部が有する複数の測距センサのうちの第１の測距センサで計測された結果に基づいて求められた前記ペリクル把持部材と前記溝との相対位置と、前記第１の測距センサと異なる第２の測距センサで計測された結果に基づいて求められた前記ペリクル把持部材と前記溝との相対位置と、が略同一となるように前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータ、及び前記第３のアクチュエータを制御することを特徴とする請求項３に記載のペリクルフレーム把持装置。
  5. 　前記保護シートは、前記第１の辺の中央近傍で前記上面に固定され、
    　前記制御部は、前記容器本体を下方へ移動させるときに、前記第１のアクチュエータを最初に駆動することを特徴とする請求項３又は４に記載のペリクルフレーム把持装置。
  6. 　前記治具枠は、前記２本の棒の端近傍に設けられた回動軸を有し、
    　前記２本の棒は、前記回動軸を中心に略９０度回動可能に設けられることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のペリクルフレーム把持装置。
  7. 　前記２本の棒が略水平に配置されたときに、前記２本の棒の前記回動軸が設けられていない側の端の、前記第１の端面と直交する方向の位置を位置決めする位置決め部材を有することを特徴とする請求項６に記載のペリクルフレーム把持装置。
  8. 　前記治具枠は、前記２本の棒である第１の棒及び第２の棒と、前記第１の棒及び前記第２の棒と略直交する第３の棒及び第４の棒と、を有し、
    　前記第１の棒、前記第２の棒及び前記第３の棒は、それぞれ、長手方向と略直交する方向に移動可能に設けられることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のペリクルフレーム把持装置。
  9. 　前記治具枠は、前記ペリクル把持部材を前記第１の端面と直交する方向に移動させる移動機構を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のペリクルフレーム把持装置。
  10. 　中空部を覆うペリクル膜が設けられる第１の端面と、粘着部材が設けられる前記第１の端面と略平行な第２の端面と、溝が形成される側面と、を有する略中空筒状ペリクルフレームが、前記第１の面が略水平上向き、前記第２の面が略水平下向きの状態で載置される容器本体であって、前記粘着部材に貼付された保護シートの一部が固定される容器本体の上方に設けられた治具枠の、所定の間隔で略水平に保持される２本の棒のそれぞれに複数ずつ設けられる複数のペリクル把持部材を、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１の位置に配置し、
    　前記複数のペリクル把持部材のそれぞれに各１個設けられた測距センサの計測結果に基づいて、前記ペリクル把持部材の高さを求め、
    　前記ペリクル把持部材を、前記第１の位置から、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２の位置へ移動させ、
    　前記容器本体が上方へ移動させつつ、前記測距センサの計測結果に基づいて前記溝の高さを求め、当該求められた前記溝の高さが前記ペリクル把持部材の高さと略一致したら前記ペリクル把持部材を前記第２の位置から前記第１の位置へ移動させ、
    　前記ペリクル把持部材が前記第１の位置へ移動したら前記容器本体を下方へ移動させるように前記第１の駆動部を制御する
    　ことを特徴とするペリクルフレーム把持方法。
     
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